JP2001099893A - テストヘッドの位置決め装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＩＣテスタのテストヘッドをオートハンドラ
に容易に接続できるテストヘッドの位置決め装置を提供
する。 【解決手段】 テストヘッド３を搭載し、該テストヘッ
ドをオートハンドラに対して位置決めするテストヘッド
の位置決め装置１である。鉛直方向をＺ軸方向、テスト
ヘッドとオートハンドラが近接・離間する水平方向をＹ
軸方向、Ｙ軸と直交する水平方向をＸ軸方向として、テ
ストヘッドのＸ軸方向における位置を調整可能なＸ軸調
整手段と、テストヘッドのＹ軸方向における位置を調整
可能なＹ軸調整手段と、テストヘッドのＺ軸方向におけ
る位置を調整可能なＺ軸調整手段と、Ｘ軸を軸心とする
回転方向におけるテストヘッドの回転位置を調整可能な
θ１軸調整手段と、Ｙ軸を軸心とする回転方向における
テストヘッドの回転位置を調整可能なθ２軸調整手段
と、Ｚ軸を軸心とする回転方向におけるテストヘッドの
回転位置を調整可能なθ３軸調整手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ＩＣテスタのテス
トヘッドを搭載し、該テストヘッドをオートハンドラに
対して位置決めするテストヘッドの位置決め装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】組立完了した半導体デバイスの電気的特
性を試験するデバイス試験装置は、例えば図１６に示す
ように、オートハンドラ１００、ＩＣテスタ１０１など
により構成される。ＩＣテスタ１０１は、テスタ本体１
０２、テストヘッド３などにより構成され、これらはケ
ーブルを介して接続される。テスタ本体１０２には、主
要な制御回路、電源回路等が収納される一方、テストヘ
ッド３には、複数のＩＣソケットを有するテストボード
１０３が搭載される。テストヘッド３は、オートハンド
ラ１００のテスト部１００Ａに接続され、例えば、試験
する半導体デバイスの種類、試験内容等に応じて適宜交
換される。テストヘッド３は、テストヘッドの位置決め
装置１０５に搭載され、この位置決め装置１０５によ
り、交換に伴う移動や位置決めがなされる。従来のテス
トヘッドの位置決め装置１０５では、テストヘッド３を
オートハンドラ１００と近接・離間する水平方向（Ｙ軸
方向）に移動させる水平移動機構と、テストヘッド３を
鉛直方向（Ｚ軸方向）に移動させる昇降機構とを備える
のが一般的である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来のテストヘッド３の位置決め装置では、上記水平移動
機構と上記昇降機構とを備えるのみであったため、上記
Ｙ軸方向及び上記Ｚ軸方向以外の方向にテストヘッド３
を微調整することができなかった。そのため、テストヘ
ッド３をオートハンドラ１００に接続する際には、オー
トハンドラ１００を前後左右に移動させて接続位置を微
調整しなければならず、その調整作業は大変煩わしく時
間のかかる作業であった。近年、半導体デバイスの生産
においては多品種少量生産が進む傾向にあり、テストヘ
ッド３をオートハンドラ１００に容易に接続できるテス
トヘッドの位置決め装置が要望されている。

【０００４】本発明は、上記問題点を解決するためにな
されたもので、テストヘッドをオートハンドラに容易に
接続できるテストヘッドの位置決め装置を提供すること
を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、例えば、図１〜図４に示す
ように、ＩＣテスタのテストヘッド（３）を搭載し、該
テストヘッドをオートハンドラに対して位置決めするテ
ストヘッドの位置決め装置（１）であって、鉛直方向を
Ｚ軸方向、前記テストヘッドと前記オートハンドラが近
接・離間する水平方向をＹ軸方向、前記Ｙ軸と直交する
水平方向をＸ軸方向として、前記テストヘッドを前記Ｘ
軸方向に移動させて、前記テストヘッドの前記Ｘ軸方向
における位置を調整可能なＸ軸調整手段と、前記テスト
ヘッドを前記Ｙ軸方向に移動させて、前記テストヘッド
の前記Ｙ軸方向における位置を調整可能なＹ軸調整手段
と、前記テストヘッドを前記Ｚ軸方向に移動させて、前
記テストヘッドの前記Ｚ軸方向における位置を調整可能
なＺ軸調整手段と、前記Ｘ軸を軸心とする回転方向に前
記テストヘッドを回転させて、該回転方向における前記
テストヘッドの回転位置を調整可能なθ１軸調整手段
と、前記Ｙ軸を軸心とする回転方向に前記テストヘッド
を回転させて、該回転方向における前記テストヘッドの
回転位置を調整可能なθ２軸調整手段と、前記Ｚ軸を軸
心とする回転方向に前記テストヘッドを回転させて、該
回転方向における前記テストヘッドの回転位置を調整可
能なθ３軸調整手段とを備える構成とした。

【０００６】請求項１記載の発明によれば、Ｘ軸調整手
段により、テストヘッドのＸ軸方向における位置が調整
され、Ｙ軸調整手段により、テストヘッドのＹ軸方向に
おける位置が調整され、Ｚ軸調整手段により、テストヘ
ッドのＺ軸方向における位置が調整され、θ１軸調整手
段により、Ｘ軸を軸心とする回転方向におけるテストヘ
ッドの回転位置が調整され、θ２軸調整手段により、Ｙ
軸を軸心とする回転方向におけるテストヘッドの回転位
置が調整され、θ３軸調整手段により、Ｚ軸を軸心とす
る回転方向におけるテストヘッドの回転位置が調整され
るので、オートハンドラに対してテストヘッドを正確に
位置決めできる。従って、オートハンドラを移動しなく
ともテストヘッドをオートハンドラに接続でき、テスト
ヘッドとオートハンドラの接続が容易となる。

【０００７】請求項２記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
７、図８に示すように、前記Ｙ軸調整手段は、架台
（２）と前記テストヘッドの間に設けられるＹ軸移動テ
ーブル（２１）と、前記Ｙ軸移動テーブルを前記Ｙ軸方
向に案内するＹ軸案内手段（例えば、レール２４Ａ及び
摺動部２４Ｂなど）と、前記Ｙ軸移動テーブルを前記Ｙ
軸方向に調整するためのＹ軸調整つまみ（２２）と、前
記Ｙ軸調整つまみの回転量に応じて、前記Ｙ軸移動テー
ブルを前記Ｙ軸方向に所要量移動させるＹ軸移動機構
（例えば、シャフト２７、２８、移動ブロック２６、か
さ歯車２７ａ、２８ａ、ベアリング２７ｂ、２８ｂ、ガ
イドブロック２６ｂ、位置決めピン２５、ストッパブロ
ック２９などにより構成されるＹ軸移動機構２０など）
と、前記Ｙ軸調整つまみを回転不能に固定するＹ軸固定
手段（例えば、Ｙ軸固定ねじ２３など）とを有する構成
とした。

【０００８】具体的に、Ｙ軸案内手段は、例えば、Ｙ軸
方向に延在するレールと、レールに沿って摺動する摺動
部とにより構成される。例えば、摺動部は、Ｙ軸移動テ
ーブルの下面に設けられ、レールは、架台上に敷設され
る。

【０００９】請求項２記載の発明によれば、Ｙ軸調整つ
まみを回転することにより、Ｙ軸移動テーブルをＹ軸方
向に移動させて、テストヘッドをＹ軸方向に調整でき
る。また、Ｙ軸固定手段で、Ｙ軸調整つまみを回転不能
に固定することにより、テストヘッドをＹ軸方向に位置
決めできる。

【００１０】ここで、上記Ｙ軸調整手段は、例えば、架
台に設けられるストッパブロックと係合可能な位置決め
ピンを有し、この位置決めピンとストッパブロックが係
合した状態（Ｙ軸移動テーブルを仮位置決めした状態）
において、Ｙ軸移動テーブルをＹ軸方向に調整可能な構
成とされる。

【００１１】請求項３記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
５、図６に示すように、前記Ｚ軸調整手段は、架台
（２）と前記テストヘッドの間に設けられるＺ軸移動テ
ーブル（３１）と、駆動源としてのモータ（３３）と、
前記モータを制御する制御ボックス（３６）と、前記モ
ータの出力に応じて、前記Ｚ軸移動テーブルを前記Ｚ軸
方向に所要量移動させるＺ軸移動機構（例えば、ベルト
３７、水平軸３４、３６、連結軸３５、昇降軸３８、ウ
ォームギヤ３２などにより構成されるＺ軸移動機構３０
など）とを有する構成とした。

【００１２】請求項３記載の発明によれば、制御ボック
スを操作してモータを駆動することにより、Ｚ軸移動テ
ーブルをＺ軸方向に移動させて、テストヘッドをＺ軸方
向に調整できる。また、制御ボックスを操作してモータ
の駆動を停止することにより、テストヘッドをＺ軸方向
に位置決めできる。

【００１３】請求項４記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
６に示すように、前記Ｘ軸調整手段は、架台（２）と前
記テストヘッドの間に設けられるＸ軸移動テーブル（１
１）と、前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に案内す
るＸ軸案内手段（例えば、ガイド部１２Ａ及び摺動部１
２Ｂなど）と、前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に
移動させて、前記Ｘ軸移動テーブルの前記Ｘ軸方向にお
ける位置を調整可能なＸ軸操作レバー（例えば、Ｘ−θ
３軸共通操作レバー７０など）と、前記Ｘ軸操作レバー
を操作不能に固定するＸ軸固定手段（例えば、ナールド
ノブ７３など）とを有する構成とした。

【００１４】ここで、Ｘ軸案内手段は、例えば、Ｘ軸に
平行な直線状のガイド部と、ガイド部に沿って摺動する
摺動部とにより構成される。例えば、摺動部は、Ｘ軸移
動テーブルの下面に設けられ、ガイド部は、Ｚ軸移動テ
ーブル上に設けられる。

【００１５】請求項４記載の発明によれば、Ｘ軸操作レ
バーでＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動することによ
り、テストヘッドをＸ軸方向に調整でき、Ｘ軸固定手段
で、Ｘ軸操作レバーを操作不能に固定することにより、
テストヘッドをＸ軸方向に位置決めできる。また、オー
トハンドラとテストヘッドの接続を完了した後に、Ｘ軸
固定手段でＸ軸操作レバーを操作不能に固定することも
可能である。その場合、テストヘッドをＸ軸方向に位置
決めするのが容易となる。

【００１６】請求項５記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
６に示すように、前記θ３軸調整手段は、架台（２）と
前記テストヘッドの間に設けられるθ３軸回転テーブル
（６１）と、前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に回転自在
な状態で前記θ３軸回転テーブルを保持するθ３軸回転
保持手段（例えば、ガイド部６３Ａ及び摺動部６３Ｂな
ど）と、前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に前記θ３軸回
転テーブルを回転させて、該回転方向における前記θ３
軸回転テーブルの回転位置を調整可能なθ３軸操作レバ
ー（例えば、Ｘ−θ３軸共通操作レバー７０など）と、
前記θ３軸操作レバーを操作不能に固定するθ３軸固定
手段（例えば、ナールドノブ７３など）とを有する構成
とした。

【００１７】請求項５記載の発明によれば、θ３軸操作
レバーで、Ｚ軸を軸心とする回転方向にθ３軸回転テー
ブルを回転することにより、Ｚ軸を軸心とする回転方向
にテストヘッドを調整できる。また、θ３軸固定手段
で、θ３軸操作レバーを操作不能に固定することによ
り、Ｚ軸を軸心とする回転方向にテストヘッドを位置決
めできる。また、オートハンドラとテストヘッドの接続
を完了した後に、θ３軸固定手段でθ３軸操作レバーを
操作不能に固定することも可能である。その場合、Ｚ軸
を軸心とする回転方向にテストヘッドを位置決めするの
が容易となる。

【００１８】請求項６記載の発明は、請求項５記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図６に示
すように、前記θ３軸回転テーブルの回転中心を中心と
する円弧状のガイド部（６３Ａ）と、該ガイド部に沿っ
て摺動自在な摺動部（６３Ｂ）とにより、前記θ３軸回
転保持手段が構成される。

【００１９】例えば、摺動部は、θ３軸回転テーブルの
下面に設けられ、ガイド部は、Ｘ軸移動テーブル上に設
けられる。

【００２０】請求項６記載の発明によれば、θ３軸回転
テーブルの回転中心を中心とする円弧状のガイド部と、
該ガイド部に沿って摺動自在な摺動部とによりθ３軸回
転保持手段が構成されるので、θ３軸回転テーブルの回
転中心付近に開口部や切欠部を形成することが可能にな
る。

【００２１】請求項７記載の発明は、請求項６記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図６及び
図１１に示すように、前記θ３軸回転テーブルの回転中
心（Ｃ１）付近には、前記テストヘッドに備わる排気ホ
ースを通す開口部又は切欠部（１１ａ、３１ａ、６１
ａ）が設けられている構成とした。

【００２２】請求項７記載の発明によれば、θ３軸回転
テーブルの回転中心付近にはテストヘッドの排気ホース
を通す開口部又は切欠部が設けられているので、テスト
ヘッドの排気ホースを配設するのが容易となる。

【００２３】請求項８記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
１３、図１４に示すように、前記θ２軸調整手段は、架
台（２）と前記テストヘッドの間に設けられるθ２軸回
転部（例えば、アーム５１など）と、前記Ｙ軸を軸心と
する回転方向に回転自在な状態で前記θ２軸回転部を保
持するθ２軸回転保持手段（例えば、ボールベアリング
５５など）と、前記Ｙ軸を軸心とする回転方向に前記θ
２軸回転部を調整するためのθ２軸調整つまみ（５２）
と、前記θ２軸調整つまみの回転量に応じて、前記Ｙ軸
を軸心とする回転方向に前記θ２軸回転部を所要量回転
させるθ２軸回転機構（例えば、シャフト５７、５８、
移動ブロック５６、かさ歯車５７ａ、５８ａ、ベアリン
グ５７ｂ、５８ｂ、ガイドブロック５６ｂ、リンク５
９、連結ピン５９ａなどにより構成されるθ２軸回転機
構５０など）と、前記θ２軸調整つまみを回転不能に固
定するθ２軸固定手段（例えば、θ２軸固定ねじ５３な
ど）とを有する構成とした。

【００２４】ここで、θ２軸回転保持手段は、例えば、
軸線をＹ軸方向とするボールベアリングにより構成され
る。例えば、ボールベアリングの外周部は、θ２軸回転
部に固定され、ボールベアリングの内周部は、θ３軸回
転テーブルに固定される。

【００２５】請求項８記載の発明によれば、θ２軸調整
つまみを回転することにより、Ｙ軸を軸心とする回転方
向にθ２軸回転部を回転させて、Ｙ軸を軸心とする回転
方向にテストヘッドを調整できる。また、θ２軸固定手
段で、θ２軸調整つまみを回転不能に固定することによ
り、Ｙ軸を軸心とする回転方向にテストヘッドを位置決
めできる。

【００２６】請求項９記載の発明は、請求項１記載のテ
ストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、図
１３、図１５に示すように、前記θ１軸調整手段は、架
台（２）と前記テストヘッドの間に設けられるθ１軸回
転部（例えば、側板４１など）と、前記Ｘ軸を軸心とす
る回転方向に回転自在な状態で前記θ１軸回転部を保持
するθ１軸回転保持手段（例えば、支軸４４Ａ及び軸受
け４４Ｂなど）と、前記Ｘ軸を軸心とする回転方向に前
記θ１軸回転部を調整するためのθ１軸調整つまみ（４
２）と、前記θ１軸調整つまみの回転量に応じて、前記
Ｘ軸を軸心とする回転方向に前記θ１軸回転部を所要量
回転させるθ１軸回転機構（例えば、シャフト４７、４
８、移動ブロック４６、かさ歯車４７ａ、４８ａ、ベア
リング４７ｂ、４８ｂ、ガイドブロック４６ｂ、リンク
４９、固定ブロック４５などにより構成されるθ１軸回
転機構４０など）と、前記θ１軸調整つまみを回転不能
に固定するθ１軸固定手段（例えば、θ１軸固定ねじ４
３など）とを有する構成とした。

【００２７】ここで、θ１軸回転保持手段は、例えば、
軸線をＸ軸方向とする支軸と、支軸を回転可能な状態で
支持する軸受けとにより構成される。例えば、支軸は、
θ１軸回転部に設けられ、軸受けはθ２軸回転部に設け
られる。

【００２８】請求項９記載の発明によれば、θ１軸調整
つまみを回転することにより、Ｘ軸を軸心とする回転方
向にθ１軸回転部を回転させて、Ｘ軸を軸心とする回転
方向にテストヘッドを調整できる。また、θ１軸固定手
段で、θ１軸調整つまみを回転不能に固定することによ
り、Ｘ軸を軸心とする回転方向にテストヘッドを位置決
めできる。

【００２９】請求項１０記載の発明は、請求項１記載の
テストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１、
図６に示すように、前記Ｘ軸調整手段は、架台と前記テ
ストヘッドの間に設けられるＸ軸移動テーブル（１１）
と、前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に案内するＸ
軸案内手段（例えば、ガイド部１２Ａ及び摺動部１２Ｂ
など）とを有する一方、前記θ３軸調整手段は、前記架
台と前記テストヘッドの間に設けられるθ３軸回転テー
ブル（６１）と、前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に回転
自在な状態で前記θ３軸回転テーブルを保持するθ３軸
回転保持手段（例えば、ガイド部６３Ａ及び摺動部６３
Ｂなど）とを有する構成とし、前記Ｘ軸移動テーブルを
前記Ｘ軸方向に移動させて、前記Ｘ軸移動テーブルの前
記Ｘ軸方向における位置を調整可能であると共に、前記
Ｚ軸を軸心とする回転方向に前記θ３軸回転テーブルを
回転させて、該回転方向における前記θ３軸回転テーブ
ルの回転位置を調整可能なＸ−θ３軸共通操作レバー
（７０）を備える構成とした。

【００３０】請求項１０記載の発明によれば、Ｘ−θ３
軸共通操作レバーでＸ軸移動テーブルをＸ軸方向に移動
することにより、テストヘッドをＸ軸方向に調整でき、
Ｘ−θ３軸共通操作レバーで、Ｚ軸を軸心とする回転方
向にθ３軸回転テーブルを回転することにより、Ｚ軸を
軸心とする回転方向にテストヘッドを調整できる。

【００３１】請求項１１記載の発明は、請求項１０記載
のテストヘッドの位置決め装置において、前記Ｘ−θ３
軸共通操作レバーを操作不能に固定する操作レバー固定
手段を備える構成とした。

【００３２】請求項１１記載の発明によれば、操作レバ
ー固定手段で、Ｘ−θ３軸共通操作レバーを操作不能に
固定することにより、Ｚ軸を軸心とする回転方向にテス
トヘッドを位置決めすると同時に、Ｘ軸方向にテストヘ
ッドを位置決めできる。また、オートハンドラとテスト
ヘッドの接続を完了した後に、Ｘ−θ３軸共通操作レバ
ーを操作不能に固定することも可能である。その場合、
Ｚ軸を軸心とする回転方向及びＸ軸方向にテストヘッド
を位置決めするのが容易となる。

【００３３】請求項１２記載の発明は、請求項１１記載
のテストヘッドの位置決め装置において、例えば、図１
０に示すように、前記操作レバー固定手段は、前記Ｘ軸
方向に移動不能に固定されると共に前記Ｚ軸を軸心とす
る回転方向に回転不能に固定される基準部（例えば、ブ
レーキシュー７６など）と、前記Ｘ−θ３軸共通操作レ
バーに設けられ、前記基準部と係合可能であると共に、
該係合した状態を保持可能な係合保持部（例えば、クラ
ンプブラケット７１、クランプレバー７２、ナールドノ
ブ７３など）とを有する構成とした。

【００３４】請求項１２記載の発明によれば、基準部と
係合保持部との係合により、Ｘ−θ３軸共通操作レバー
が操作不能に固定される。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図１〜図１５の図面を参照しながら説明する。図１
〜図４は、本発明に係るテストヘッドの位置決め装置の
一実施の形態例を示す図であり、図１は正面図、図２は
平面図、図３は側面図、図４は裏面図である。なお、以
下の説明において、鉛直方向をＺ軸方向、テストヘッド
とオートハンドラ（図１６参照）が近接・離間する水平
方向をＹ軸方向、Ｙ軸と直交する水平方向をＸ軸方向、
Ｘ軸を軸心とする転方向をθ１方向、Ｙ軸を軸心とする
回転方向をθ２方向、Ｚ軸を軸心とする回転方向をθ３
方向とする。

【００３６】図１〜図４に示すように、架台２上には、
架台２に対してＹ軸方向に移動可能な状態でＹ軸移動テ
ーブル２１（Ｙ軸調整手段）が配置され、Ｙ軸移動テー
ブル２１上には、Ｙ軸移動テーブル２１に対してＺ軸方
向に移動可能な状態でＺ軸移動テーブル３１（Ｚ軸調整
手段）が配置されている。また、Ｚ軸移動テーブル３１
上には、Ｚ軸移動テーブル３１に対してＸ軸方向に移動
可能な状態でＸ軸移動テーブル１１（Ｘ軸調整手段）が
配置され、Ｘ軸移動テーブル１１上には、Ｘ軸移動テー
ブル１１に対してθ３方向に回転可能な状態でθ３軸回
転テーブル６１（θ３軸調整手段）が配置されている。
また、θ３軸回転テーブル６１上の一端には、Ｙ軸に対
して垂直な起立壁６２が設けられ、この起立壁６２に
は、起立壁６２に対してθ２方向に回転可能な状態で平
面視略コ字状のアーム５１（θ２軸調整手段）が取り付
けられている。そして、アーム５１の両側壁部５４Ａに
は、側壁部５４Ａに対してθ１方向に回転可能な状態で
側板４１（θ１軸調整手段）が取り付けられ、それら側
板４１の間には、テストヘッド３が装着されている。

【００３７】先ず、テストヘッド３をＹ軸方向に調整す
るＹ軸調整手段について説明する。

【００３８】図１〜図５に示すように、架台２上には、
Ｙ軸に平行な一対のレール２４Ａが敷設されている。Ｙ
軸移動テーブル２１は、レール２４Ａに沿って摺動自在
な摺動部２４Ｂを有し、架台２に対してＹ軸方向に移動
可能となっている。つまり、レール２４Ａと摺動部２４
ＢによりＹ軸案内手段が構成されている。

【００３９】また、Ｙ軸移動テーブル２１には、図８に
示すように、位置決めピン２５が設けられる一方、架台
２には、位置決めピン２５と係合可能なストッパブロッ
ク２９が設けられ、位置決めピン２５の先端部をストッ
パブロック２９のガイド穴２９ａに挿入することによ
り、Ｙ軸移動テーブル２１を架台２に対してＹ軸方向に
仮位置決めできるように構成されている。また、位置決
めピン２５には、位置決めピン２５とストッパブロック
２９の係合状態を保持するため、位置決めピン２５をス
トッパブロック２９の方向に付勢するバネ材２５ａが取
り付けられている。

【００４０】また、Ｙ軸移動テーブル２１には、図６及
び図７に示すように、テストヘッド３をＹ軸方向に微調
整するためのＹ軸調整つまみ２２が設けられている。Ｙ
軸調整つまみ２２は、軸線をＸ軸方向とするシャフト２
７の一端に設けられ、シャフト２７の他端には、かさ歯
車２７ａ、２８ａを介して、軸線をＹ軸方向とするシャ
フト２８が接続されている。シャフト２８の他端側には
送りねじが形成され、送りねじには移動ブロック２６の
ナット部２６ａが噛み合わされている。各シャフト２
７、２８は、ベアリング２７ｂ、２８ｂにより、各軸線
を中心に回転自在な状態で保持され、移動ブロック２６
は、ガイドブロック２６ｂにより、Ｙ軸移動テーブル２
１に対してＹ軸方向に摺動自在な状態で保持されてい
る。即ち、Ｙ軸調整つまみ２２を回転すると、Ｙ軸調整
つまみ２２と一体にシャフト２７が回転し、その回転に
伴いシャフト２８が回転すると共に、このシャフト２８
の回転により、該シャフト２８に送りねじ方式で結合さ
れる移動ブロック２６が、Ｙ軸移動テーブル２１に対し
て相対的にＹ軸方向に移動する。

【００４１】移動ブロック２６には、図７及び８に示す
ように、長穴２５ｂを介してＹ軸移動テーブル２１を上
下に貫通した状態で、前述の位置決めピン２５が設けら
れている。従って、位置決めピン２５とストッパブロッ
ク２９を係合させ、Ｙ軸移動テーブル２１を架台２に対
して仮位置決めした状態において、Ｙ軸調整つまみ２２
を回転すると、架台２や移動ブロック２６に対してＹ軸
移動テーブル２１がＹ軸方向に移動することとなる。即
ち、シャフト２７、２８、移動ブロック２６、かさ歯車
２７ａ、２８ａ、ベアリング２７ｂ、２８ｂ、ガイドブ
ロック２６ｂ、位置決めピン２５、ストッパブロック２
９などにより、Ｙ軸移動機構２０が構成されている。ま
た、長穴２５ｂを介して位置決めピン２５がＹ軸移動テ
ーブル２１を上下に貫通することから、Ｙ軸移動テーブ
ル２１を微調整できる範囲は、長穴２５ｂにより制限さ
れている。この実施の形態では、Ｙ軸調整つまみ２２に
よりＹ軸移動テーブル２１を微調整できる範囲（テスト
ヘッド３をＹ軸方向に微調整できる範囲）は±１０ｍｍ
となっている。また、Ｙ軸調整つまみ２２の近傍には、
シャフト２７を締め付けてＹ軸調整つまみ２２を回転不
能に固定するＹ軸固定ねじ（Ｙ軸固定手段）２３が設け
られている。

【００４２】このように構成されるＹ軸調整手段によ
り、テストヘッド３をＹ軸方向に位置決めする場合に
は、先ず、Ｙ軸操作ハンドル４（図１）を操作してＹ軸
移動テーブル２１をＹ軸方向の所定位置まで移動させた
後、位置決めピン２５の先端部をストッパブロック２９
のガイド穴２９ａに挿入して、Ｙ軸移動テーブル２１を
Ｙ軸方向に仮位置決めする。次に、Ｙ軸調整つまみ２２
を回転することにより、Ｙ軸移動テーブル２１をＹ軸方
向に移動させて、テストヘッド３をＹ軸方向に微調整す
る。最後に、Ｙ軸固定ねじ２３でシャフト２７を締め付
けて、Ｙ軸調整つまみ２２を回転不能に固定し、テスト
ヘッド３をＹ軸方向に位置決めする。

【００４３】次に、テストヘッド３をＺ軸方向に調整す
るＺ軸調整手段について説明する。

【００４４】Ｚ軸移動テーブル３１は、図３〜図６に示
すように、軸線をＺ軸方向とする４本の昇降軸３８によ
り、水平に支持されている。各昇降軸３８は、図６に示
すように、Ｙ軸移動テーブル２１上に設置されるウォー
ムギヤ３２にそれぞれ結合され、Ｙ軸移動テーブル２１
に対してＺ軸方向に移動可能な状態で保持されている。

【００４５】図５及び図６に示すように、Ｙ軸移動テー
ブル２１上には、Ｙ軸方向の出力軸３３ａを有するモー
タ３３が設置され、モータ３３の出力軸３３ａには、図
５及び図９に示すように、ベルト３７及びプーリ３７Ａ
を介して、軸線をＹ軸方向とする水平軸３４の一端が接
続されている。水平軸３４の他端には、図６に示すよう
に、かさ歯車３４ａ、３５ａを介して、軸線をＸ軸方向
とする連結軸３５の一端が接続され、この連結軸３５の
他端にはかさ歯車（図示省略）を介して、軸線をＹ軸方
向とする水平軸３６の一端が接続されている。水平軸３
４、３６及び連結軸３５は、Ｙ軸移動テーブル２１上に
取り付けられたベアリング３４ｂ、３６ｂ、３５ｂによ
り、各軸線を中心に回転自在な状態で保持されている。
図６及び図９に示すように、水平軸３４、３６には、ウ
ォームギヤ３２を介して各昇降軸３８が結合され、水平
軸３４、３６の回転に伴い各昇降軸３８がＹ軸移動テー
ブル２１に対してＺ軸方向に移動するように構成されて
いる。

【００４６】即ち、モータ３３が駆動してモータ３３の
出力軸３３ａが回転すると、モータ３３の出力軸３３ａ
にベルト３７や連結軸３５等を介して接続される水平軸
３４、３６が同時にかつ同速度で回転し、これら水平軸
３４、３６の回転に伴い、これら水平軸３４、３６にウ
ォームギヤ３２を介して接続される各昇降軸３８が同時
にＺ軸方向に移動する。これにより、各昇降軸３８に支
持されるＺ軸移動テーブル３１が、Ｙ軸移動テーブル２
１に対してＺ軸方向に移動する。つまり、ベルト３７、
水平軸３４、３６、連結軸３５、昇降軸３８、ウォーム
ギヤ３２などによりＺ軸移動機構３０が構成されてい
る。また、図１及び図２に示すように、テストヘッド３
の位置決め装置の正面には、モータ３３を制御する制御
ボックス３６が設けられている。

【００４７】このように構成されるＺ軸調整手段によ
り、テストヘッド３をＺ軸方向に位置決めする場合に
は、制御ボックス３６を操作してモータ３３を駆動する
ことにより、Ｚ軸移動テーブル３１をＺ軸方向に移動さ
せて、テストヘッド３をＺ軸方向に調整する。その後、
制御ボックス３６を操作してモータ３３の駆動を停止す
ることにより、テストヘッド３をＺ軸方向に位置決めす
る。

【００４８】次に、テストヘッド３をＸ軸方向に調整す
るＸ軸調整手段と、テストヘッド３をθ３方向に調整す
るθ３軸調整手段について説明する。

【００４９】図６に示すように、Ｚ軸移動テーブル３１
上には、Ｘ軸に平行な直線状のガイド部１２Ａが複数設
けられている。Ｘ軸移動テーブル１１は、それら直線状
のガイド部１２Ａに沿って摺動自在な摺動部１２Ｂを有
し、Ｚ軸移動テーブル３１に対してＸ軸方向に移動可能
となっている。つまり、直線状のガイド部１２Ａと摺動
部１２ＢによりＸ軸案内手段が構成されている。また、
図６に示すように、Ｘ軸移動テーブル１１上には、θ３
軸回転テーブル６１の回転中心Ｃ１（図６）を中心とす
る円弧状のガイド部６３Ａが複数設けられている。θ３
軸回転テーブル６１は、それら円弧状のガイド部６３Ａ
に沿って摺動自在な摺動部６３Ｂを有し、Ｘ軸移動テー
ブル１１に対してθ３方向に回転可能となっている。つ
まり、円弧状のガイド部６３Ａと摺動部６３Ｂによりθ
３軸回転保持手段が構成されている。また、θ３軸回転
テーブル６１の回転中心Ｃ１付近には、図６及び図１１
に示すように、テストヘッド３に備わる排気ホース３Ａ
を通すための切欠部１１ａ、３１ａ、６１ａが各テーブ
ル１１、３１、６１に設けられている。

【００５０】また、θ３軸回転テーブル６１には、図
１、図６及び図１０に示すように、Ｘ−θ３軸共通操作
レバー７０が取り付けられている。即ち、Ｘ−θ３軸共
通操作レバー７０をθ３方向に回動することにより、θ
３軸回転テーブル６１をＸ軸移動テーブル１１に対して
θ３方向に回転することができ、Ｘ−θ３軸共通操作レ
バー７０をＸ軸方向に平行移動することにより、Ｘ軸移
動テーブル１１をＺ軸移動テーブル３１に対してＸ軸方
向に移動させることができる。この実施の形態では、Ｘ
−θ３軸共通操作レバー７０により、Ｘ軸移動テーブル
１１を微調整できる範囲（テストヘッド３をＸ軸方向に
微調整できる範囲）は±１０ｍｍ、θ３軸回転テーブル
６１を微調整できる範囲（テストヘッド３をθ３方向に
微調整できる範囲）は±２．５度となっている。

【００５１】Ｘ−θ３軸共通操作レバー７０は、図１０
に示すように、クランプブラケット７１、クランプレバ
ー７２、ナールドノブ７３、ヒンジピン７４などにより
構成されている。クランプブラケット７１は、θ３軸回
転テーブル６１の下面に取り付けられている。クランプ
ブラケット７１の下側には、ヒンジピン７４を介して回
動可能な状態でクランプレバー７２が取り付けられ、ク
ランプブラケット７１の先端には、軸部７３ａにねじ山
を有するナールドノブ７３が取り付けられている。一
方、Ｚ軸移動テーブル３１上には、スペーサブロック７
５を介して平板状のブレーキシュー（基準部）７６が取
り付けられている。ブレーキシュー７６は、クランプレ
バー７２とクランプブラケット７１の間隙Ｓ（ヒンジピ
ン７４を挟んでナールドノブ７３の反対側に形成される
間隙）に水平に配置されている。即ち、ナールドノブ７
３を回転してナールドノブ７３の軸部７３ａをねじ込む
ことにより、ヒンジピン７４を中心にクランプレバー７
２を回動させて、クランプレバー７２とクランプブラケ
ット７１でブレーキシュー７６を締め付けることがで
き、これにより、Ｘ−θ３軸共通操作レバー７０をＺ軸
移動テーブル３１に固定することができる。

【００５２】このように構成されるＸ軸調整手段及びθ
３軸調整手段により、テストヘッド３をＸ軸方向及びθ
３方向に位置決めする場合には、先ず、Ｘ−θ３軸共通
操作レバー７０を操作して、Ｘ軸移動テーブル１１をＸ
軸方向に、θ３軸回転テーブル６１をθ３方向に、それ
ぞれ微調整する。次に、ナールドノブ７３を回転するこ
とにより、クランプレバー７２とクランプブラケット７
１でブレーキシュー７６を締め付けて、Ｘ−θ３軸共通
操作レバー７０をＺ軸移動テーブル３１に固定し、Ｘ軸
方向及びθ３方向にテストヘッド３を位置決めする。

【００５３】次に、テストヘッド３をθ２方向に調整す
るθ２軸調整手段について説明する。

【００５４】θ３軸回転テーブル６１上の起立壁６２に
は、図１３に示すように、θ２軸回転保持手段として例
示するリング状のボールベアリング５５を介して、θ２
軸回転部として例示する平面視略コ字状のアーム５１が
取り付けられている。ボールベアリング５５の内周部５
５Ｂは、起立壁６２よりアーム５１側に突設される取付
支柱６９Ｂに外嵌され、ボールベアリング５５の外周部
５５Ａは、アーム５１の前壁部５４Ｂに形成される取付
穴６９Ａの内周面に沿って取り付けられている。ボール
ベアリング５５により、アーム５１は起立壁６２に対し
てθ２方向に回転可能な状態で保持されている。

【００５５】また、起立壁６２には、図１、図１２〜図
１４に示すように、テストヘッド３をθ２方向に微調整
するためのθ２軸調整つまみ５２が設けられている。θ
２軸調整つまみ５２は、図１４に示すように、軸線をＸ
軸方向とするシャフト５７の一端に設けられ、シャフト
５７の他端には、かさ歯車５７ａ、５８ａを介して、軸
線をＺ軸方向とするシャフト５８が接続されている。シ
ャフト５８の他端側には送りねじが形成され、送りねじ
には移動ブロック５６のナット部５６ａが噛み合わされ
ている。各シャフト５７、５８は、ベアリング５７ｂ、
５８ｂにより、各軸線を中心に回転自在な状態で保持さ
れ、移動ブロック５６は、ガイドブロック５６ｂによ
り、起立壁６２に対してＺ軸方向に摺動自在な状態で保
持されている。また、移動ブロック５６には、ピン５６
ｃを介してリンク５９の一端が連結され、リンク５９の
他端には、図１３及び図１４に示すように、軸線をＹ軸
方向とする連結ピン５９ａを介してアーム５１の前壁部
５４Ｂが連結されている。連結ピン５９ａの取付位置
は、アーム５１の回転中心を除く位置とされる。また、
連結ピン５９ａは、起立壁６２の長穴６２ａを介して起
立壁６２の外側面を貫通した状態で設けられ、その可動
範囲が長穴６２ａにより制限されている。この実施の形
態では、θ２軸調整つまみ５２により、アーム５１を微
調整できる範囲（テストヘッド３をθ２軸方向に微調整
できる範囲）は±３度となっている。

【００５６】即ち、θ２軸調整つまみ５２を回転する
と、θ２軸調整つまみ５２と一体にシャフト５７が回転
し、その回転に伴いシャフト５８が回転すると共に、こ
のシャフト５８の回転により、起立壁６２に対して移動
ブロック５６がＺ軸方向に移動する。移動ブロック５６
の移動に伴い、リンク５９及び連結ピン５９ａがＺ軸方
向に移動し、連結ピン５９ａの移動により、ボールベア
リング５５の軸線Ｃ２（図１３、図１４）を中心にアー
ム５１がθ２方向に回転する。つまり、シャフト５７、
５８、移動ブロック５６、かさ歯車５７ａ、５８ａ、ベ
アリング５７ｂ、５８ｂ、ガイドブロック５６ｂ、リン
ク５９、連結ピン５９ａなどによりθ２軸回転機構５０
が構成されている。また、θ２軸調整つまみ５２の近傍
には、図１２及び図１３に示すように、シャフト５７を
締め付けてθ２軸調整つまみ５２を回転不能に固定する
θ２軸固定ねじ（θ２軸固定手段）５３が設けられてい
る。

【００５７】このように構成されるθ２軸調整手段によ
り、テストヘッド３をθ２方向に位置決めする場合に
は、先ず、θ２軸調整つまみ５２を回転することによ
り、アーム５１をθ２方向に回転させて、テストヘッド
３をθ２方向に微調整する。次に、θ２軸固定ねじ５３
でシャフト５７を締め付けて、θ２軸調整つまみ５２を
回転不能に固定し、テストヘッド３をθ２方向に位置決
めする。

【００５８】次に、テストヘッド３をθ１方向に調整す
るθ１軸調整手段について説明する。

【００５９】θ１軸回転部として例示する一対に側板４
１の外側面には、図１３に示すように、軸線をＸ軸方向
とする支軸４４Ａがそれぞれ突設されている。支軸４４
Ａは、アーム５１の側壁部５４Ａに設けられる軸受け４
４Ｂにより、θ１方向に回転可能な状態で支持されてい
る。即ち、支軸４４Ａ及び軸受け４４Ｂによりθ１軸回
転保持手段が構成されている。なお、支軸４４Ａの先端
には、図１２に示すように、支軸４４Ａの抜けを防止す
る円形板４４Ｃが取り付けられている。また、一対に側
板４１の間には、図１〜図４に示すように、テストヘッ
ド３が装着され、側板４１とテストヘッド３がθ１方向
に一体に回転するように構成されている。

【００６０】また、アーム５１の側壁部５４Ａ（正面
側）には、図１、図１２及び図１５に示すように、テス
トヘッド３をθ１方向に微調整するためのθ１軸調整つ
まみ４２が設けられている。θ１軸調整つまみ４２は、
図１５に示すように、軸線をＸ軸方向とするシャフト４
７の一端に設けられ、シャフト４７の他端には、かさ歯
車４７ａ、４８ａを介して、軸線をＹ軸方向とするシャ
フト４８が接続されている。シャフト４８の他端側には
送りねじが形成され、送りねじには移動ブロック４６の
ナット部４６ａが噛み合わされている。各シャフト４
７、４８は、ベアリング４７ｂ、４８ｂにより、各軸線
を中心に回転自在な状態で保持され、移動ブロック４６
は、ガイドブロック４６ｂにより、側壁部５４Ａに対し
てＹ軸方向に摺動自在な状態で保持されている。また、
移動ブロック４６には、ピン４６ｃを介してリンク４９
の一端が連結され、リンク４９の他端には、ピン４５ａ
を介して、側板４１の固定ブロック４５が連結されてい
る。固定ブロック４５の取付位置は、側板４１の回転中
心を除く位置とされる。

【００６１】即ち、θ１軸調整つまみ４２を回転する
と、θ１軸調整つまみ４２と一体にシャフト４７が回転
し、その回転に伴いシャフト４８が回転すると共に、こ
のシャフト４８の回転により、アーム５１の側壁部５４
Ａに対して移動ブロック４６がＹ軸方向に移動する。移
動ブロック４６の移動に伴い、ピン４６ａを中心にリン
ク４９が回動すると共に、リンク４９の回動により、側
板４１が支軸４４Ａを中心にθ１方向に回転する。つま
り、シャフト４７、４８、移動ブロック４６、かさ歯車
４７ａ、４８ａ、ベアリング４７ｂ、４８ｂ、ガイドブ
ロック４６ｂ、リンク４９、固定ブロック４５などによ
りθ１軸回転機構４０が構成されている。また、θ１軸
調整つまみ４２の近傍には、シャフト４７を締め付けて
θ１軸調整つまみ４２を回転不能に固定するθ１軸固定
ねじ（θ１軸固定手段）４３が設けられている。

【００６２】このように構成されるθ１軸調整手段によ
り、テストヘッド３をθ１方向に位置決めする場合に
は、先ず、θ１軸調整つまみ４２を回転することによ
り、側板４１をθ１方向に回転させて、テストヘッド３
をθ１方向に微調整する。次に、θ１軸固定ねじ４３で
シャフト４７を締め付けて、θ１軸調整つまみ４２を回
転不能に固定し、テストヘッド３をθ１方向に位置決め
する。この実施の形態では、θ１軸調整つまみ４２によ
り、側板４１を微調整できる範囲（テストヘッド３をθ
１軸方向に微調整できる範囲）は±４度となっている。

【００６３】以上のように、この実施の形態のテストヘ
ッド３の位置決め装置によれば、Ｙ軸操作ハンドル４を
操作してＹ軸移動テーブル２１を所定位置まで移動させ
た後、位置決めピン２５の先端部をストッパブロック２
９のガイド穴２９ａに挿入することにより、Ｙ軸移動テ
ーブル２１をＹ軸方向に仮位置決めすることができる。
また、Ｙ軸移動テーブル２１をＹ軸方向に仮位置決めし
た状態で、Ｙ軸調整つまみ２２を回転することにより、
Ｙ軸移動テーブル２１をＹ軸方向に微少移動させて、テ
ストヘッド３をＹ軸方向に微調整できる。そして、Ｙ軸
固定ねじ２３でＹ軸調整つまみ２２を回転不能に固定す
ることにより、テストヘッド３をＹ軸方向に位置決めで
きる。また、制御ボックス３６を操作してモータ３３を
駆動することにより、Ｚ軸移動テーブル３１をＺ軸方向
に移動させて、テストヘッド３をＺ軸方向に調整するこ
とができ、モータ３３の駆動を停止することにより、テ
ストヘッド３をＺ軸方向に位置決めできる。また、Ｘ−
θ３軸共通操作レバー７０を操作することにより、Ｘ軸
移動テーブル１１をＸ軸方向に、θ３軸回転テーブル６
１をθ３方向に、それぞれ微調整できる。そして、ナー
ルドノブ７３を回転してＸ−θ３軸共通操作レバー７０
をＺ軸移動テーブル３１に固定することにより、テスト
ヘッド３をＸ軸方向に位置決めでき、同時に、テストヘ
ッド３をθ３方向に位置決めできる。また、θ２軸調整
つまみ５２を回転することにより、アーム５１をθ２方
向に回転させて、テストヘッド３をθ２方向に調整でき
る。そして、θ２軸固定ねじ５３でθ２軸調整つまみ５
２を回転不能に固定することにより、テストヘッド３を
θ２方向に位置決めできる。また、θ１軸調整つまみ４
２を回転することにより、側板４１をθ１方向に回転さ
せて、テストヘッド３をθ１方向に調整できる。そし
て、θ１軸固定ねじ４３でθ１軸調整つまみ４２を回転
不能に固定することにより、テストヘッド３をθ１方向
に位置決めできる。

【００６４】従って、オートハンドラ（図１６参照）に
対してテストヘッド３を正確に位置決めでき、オートハ
ンドラを移動しなくともテストヘッド３をオートハンド
ラに接続することができる。即ち、テストヘッド３とオ
ートハンドラの接続が容易となる。また、固定ねじ２
３、４３、５３やナールドノブ７３により、各調整つま
み２２、４２、５２や操作レバー７０を操作不能に固定
して、各方向におけるテストヘッド３の調整位置を保持
できるので、一旦テストヘッド３を調整した後には、テ
ストヘッド３の調整を一部（例えば、Ｘ軸方向、θ１方
向、θ２方向、θ３方向など）省略することも可能であ
る。従って、テストヘッド３とオートハンドラの接続が
さらに容易となる。

【００６５】また、オートハンドラとテストヘッド３の
接続を完了した後に、Ｘ−θ３軸共通操作レバー７０を
操作不能に固定することも可能である。従って、θ３方
向及びＸ軸方向にテストヘッド３を簡単に位置決めでき
る。

【００６６】なお、本発明は、この実施の形態で示した
テストヘッドの位置決め装置１に限定されるものではな
く、その他のテストヘッドの位置決め装置に適用するこ
とも可能である。また、この実施の形態では、架台２と
テストヘッド３の間に、Ｙ軸移動テーブル２１、Ｚ軸移
動テーブル３１、Ｘ軸移動テーブル１１、θ３軸回転テ
ーブル６１、アーム（θ２軸回転部）５１、側板（θ１
軸回転部）４１の順で、各調整手段を構成するテーブル
及び回転部を設ける構成としたが、テーブル及び回転部
を設ける順序はこれに限定されるものではなく、適宜に
変更することが可能である。また、この実施の形態で
は、Ｙ軸移動機構２０を、シャフト２７、２８、移動ブ
ロック２６、かさ歯車２７ａ、２８ａ、ベアリング２７
ｂ、２８ｂ、ガイドブロック２６ａ、位置決めピン２
５、ストッパブロック２９などにより構成するとした
が、Ｙ軸調整つまみ２２の回転量に応じて、Ｙ軸移動テ
ーブル２１をＹ軸方向に所要量移動させることが可能で
あれば、どのような構成としても良い。Ｚ軸移動機構３
０、θ１軸回転機構４０、θ２軸回転機構５０などにつ
いても同様である。その他、具体的な細部構造等につい
ても本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜に変更可能で
あることは勿論である。

【００６７】

【発明の効果】本発明に係るテストヘッドの位置決め装
置によれば、Ｘ軸調整手段により、テストヘッドのＸ軸
方向における位置が調整され、Ｙ軸調整手段により、テ
ストヘッドのＹ軸方向における位置が調整され、Ｚ軸調
整手段により、テストヘッドのＺ軸方向における位置が
調整され、θ１軸調整手段により、Ｘ軸を軸心とする回
転方向におけるテストヘッドの回転位置が調整され、θ
２軸調整手段により、Ｙ軸を軸心とする回転方向におけ
るテストヘッドの回転位置が調整され、θ３軸調整手段
により、Ｚ軸を軸心とする回転方向におけるテストヘッ
ドの回転位置が調整されるので、オートハンドラに対し
てテストヘッドを正確に位置決めできる。従って、オー
トハンドラを移動しなくともテストヘッドをオートハン
ドラに接続でき、テストヘッドとオートハンドラの接続
が容易となる。

【００６８】また、θ３軸回転テーブルの回転中心付近
にはテストヘッドの排気ホースを通す開口部又は切欠部
が設けられているので、テストヘッドの排気ホースを配
設するのが容易となる。また、オートハンドラとテスト
ヘッドの接続を完了した後に、Ｘ−θ３軸共通操作レバ
ーを操作不能に固定することができる。従って、Ｚ軸を
軸心とする回転方向及びＸ軸方向にテストヘッドを簡単
に位置決めできる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るテストヘッドの位置決め装置の一
実施の形態例を示す正面図である。

【図２】同、平面図である。

【図３】同、側面図である。

【図４】同、裏面図である。

【図５】図１のＺ軸移動テーブル、Ｘ軸移動テーブル及
びθ３軸回転テーブルの一部を断面で示した側面図であ
る。

【図６】図中Ａ−Ａ線の上側は、図５の矢印ａ１−ａ１
線に沿った平断面図、Ａ−Ａ線の下側は、図５の矢印ａ
２−ａ２線に沿った平断面図である。

【図７】図６のＹ軸移動機構の拡大平面図である。

【図８】図６の矢印Ｂ方向から見た図である。

【図９】図５の矢印Ｃ方向から見た図である。

【図１０】図６の矢印Ｄ方向から見た図である。

【図１１】図１のＺ軸移動テーブル、Ｘ軸移動テーブル
及びθ３軸回転テーブルの位置関係を示す図である。

【図１２】図１のθ３軸回転テーブル、アーム及び側板
の拡大正面図である。

【図１３】同、平面図である。

【図１４】同、右側面図である。

【図１５】図１２の矢印Ｅ方向から見た図である。

【図１６】従来のテストヘッドの位置決め装置を有する
デバイス試験装置の概略正面図である。

【符号の説明】

１ テストヘッドの位置決め装置 ２ 架台 ３ テストヘッド ３Ａ 排気ホース １１ Ｘ軸移動テーブル １２Ａ ガイド部（Ｘ軸案内手段） １２Ｂ 摺動部（Ｘ軸案内手段） ２０ Ｙ軸移動機構 ２１ Ｙ軸移動テーブル ２２ Ｙ軸調整つまみ ２３ Ｙ軸固定ねじ（Ｙ軸固定手段） ２４Ａ レール（Ｙ軸案内手段） ２４Ｂ 摺動部（Ｙ軸案内手段） ２５ 位置決めピン ２６ 移動ブロック ２７、２８ シャフト ３０ Ｚ軸移動機構 ３１ Ｚ軸移動テーブル ３２ ウォームギヤ ３３ モータ ３４、３６ 水平軸 ３５ 連結軸 ３６ 制御ボックス ３８ 昇降軸 ４０ θ１軸回転機構 ４１ 側板（θ１軸回転部） ４２ θ１軸調整つまみ ４３ θ１軸固定ねじ（θ１軸固定手段） ４４Ａ 支軸（θ１軸回転保持手段） ４４Ｂ 軸受け（θ１軸回転保持手段） ４５ 固定ブロック ４６ 移動ブロック ４７、４８ シャフト ５０ θ２軸回転機構 ５１ アーム（θ２軸回転部） ５２ θ２軸調整つまみ ５３ θ２軸固定ねじ（θ２軸固定手段） ５４Ａ 側壁部 ５５ ボールベアリング（θ２軸回転保持手段） ５６ 移動ブロック ５７、５８ シャフト ５９ リンク ５９ａ 連結ピン ６１ θ３軸回転テーブル ６２ 起立壁 ６３Ａ ガイド部（θ３軸回転保持手段） ６３Ｂ 摺動部（θ３軸回転保持手段） ７０ Ｘ−θ３軸共通操作レバー ７１ クランプブラケット（係合保持部） ７２ クランプレバー（係合保持部） ７３ ナールドノブ（係合保持部） ７４ ヒンジピン ７５ スペーサブロック ７６ ブレーキシュー（基準部）

Claims (12)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ＩＣテスタのテストヘッドを搭載し、該テ
   ストヘッドをオートハンドラに対して位置決めするテス
   トヘッドの位置決め装置であって、 鉛直方向をＺ軸方向、前記テストヘッドと前記オートハ
   ンドラが近接・離間する水平方向をＹ軸方向、前記Ｙ軸
   と直交する水平方向をＸ軸方向として、 前記テストヘッドを前記Ｘ軸方向に移動させて、前記テ
   ストヘッドの前記Ｘ軸方向における位置を調整可能なＸ
   軸調整手段と、 前記テストヘッドを前記Ｙ軸方向に移動させて、前記テ
   ストヘッドの前記Ｙ軸方向における位置を調整可能なＹ
   軸調整手段と、 前記テストヘッドを前記Ｚ軸方向に移動させて、前記テ
   ストヘッドの前記Ｚ軸方向における位置を調整可能なＺ
   軸調整手段と、 前記Ｘ軸を軸心とする回転方向に前記テストヘッドを回
   転させて、該回転方向における前記テストヘッドの回転
   位置を調整可能なθ１軸調整手段と、 前記Ｙ軸を軸心とする回転方向に前記テストヘッドを回
   転させて、該回転方向における前記テストヘッドの回転
   位置を調整可能なθ２軸調整手段と、 前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に前記テストヘッドを回
   転させて、該回転方向における前記テストヘッドの回転
   位置を調整可能なθ３軸調整手段とを備えることを特徴
   とするテストヘッドの位置決め装置。
2. 【請求項２】前記Ｙ軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるＹ軸移動テー
   ブルと、 前記Ｙ軸移動テーブルを前記Ｙ軸方向に案内するＹ軸案
   内手段と、 前記Ｙ軸移動テーブルを前記Ｙ軸方向に調整するための
   Ｙ軸調整つまみと、 前記Ｙ軸調整つまみの回転量に応じて、前記Ｙ軸移動テ
   ーブルを前記Ｙ軸方向に所要量移動させるＹ軸移動機構
   と、 前記Ｙ軸調整つまみを回転不能に固定するＹ軸固定手段
   とを有することを特徴とする請求項１記載のテストヘッ
   ドの位置決め装置。
3. 【請求項３】前記Ｚ軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるＺ軸移動テー
   ブルと、 駆動源としてのモータと、 前記モータを制御する制御ボックスと、 前記モータの出力に応じて、前記Ｚ軸移動テーブルを前
   記Ｚ軸方向に所要量移動させるＺ軸移動機構とを有する
   ことを特徴とする請求項１記載のテストヘッドの位置決
   め装置。
4. 【請求項４】前記Ｘ軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるＸ軸移動テー
   ブルと、 前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に案内するＸ軸案
   内手段と、 前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に移動させて、前
   記Ｘ軸移動テーブルの前記Ｘ軸方向における位置を調整
   可能なＸ軸操作レバーと、 前記Ｘ軸操作レバーを操作不能に固定するＸ軸固定手段
   とを有することを特徴とする請求項１記載のテストヘッ
   ドの位置決め装置。
5. 【請求項５】前記θ３軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるθ３軸回転テ
   ーブルと、 前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に回転自在な状態で前記
   θ３軸回転テーブルを保持するθ３軸回転保持手段と、 前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に前記θ３軸回転テーブ
   ルを回転させて、該回転方向における前記θ３軸回転テ
   ーブルの回転位置を調整可能なθ３軸操作レバーと、 前記θ３軸操作レバーを操作不能に固定するθ３軸固定
   手段とを有することを特徴とする請求項１記載のテスト
   ヘッドの位置決め装置。
6. 【請求項６】前記θ３軸回転テーブルの回転中心を中心
   とする円弧状のガイド部と、該ガイド部に沿って摺動自
   在な摺動部とにより、前記θ３軸回転保持手段が構成さ
   れることを特徴とする請求項５記載のテストヘッドの位
   置決め装置。
7. 【請求項７】前記θ３軸回転テーブルの回転中心付近に
   は、前記テストヘッドに備わる排気ホースを通す開口部
   又は切欠部が設けられていることを特徴とする請求項６
   記載のテストヘッドの位置決め装置。
8. 【請求項８】前記θ２軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるθ２軸回転部
   と、 前記Ｙ軸を軸心とする回転方向に回転自在な状態で前記
   θ２軸回転部を保持するθ２軸回転保持手段と、 前記Ｙ軸を軸心とする回転方向に前記θ２軸回転部を調
   整するためのθ２軸調整つまみと、 前記θ２軸調整つまみの回転量に応じて、前記Ｙ軸を軸
   心とする回転方向に前記θ２軸回転部を所要量回転させ
   るθ２軸回転機構と、 前記θ２軸調整つまみを回転不能に固定するθ２軸固定
   手段とを有することを特徴とする請求項１記載のテスト
   ヘッドの位置決め装置。
9. 【請求項９】前記θ１軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるθ１軸回転部
   と、 前記Ｘ軸を軸心とする回転方向に回転自在な状態で前記
   θ１軸回転部を保持するθ１軸回転保持手段と、 前記Ｘ軸を軸心とする回転方向に前記θ１軸回転部を調
   整するためのθ１軸調整つまみと、 前記θ１軸調整つまみの回転量に応じて、前記Ｘ軸を軸
   心とする回転方向に前記θ１軸回転部を所要量回転させ
   るθ１軸回転機構と、 前記θ１軸調整つまみを回転不能に固定するθ１軸固定
   手段とを有することを特徴とする請求項１記載のテスト
   ヘッドの位置決め装置。
10. 【請求項１０】前記Ｘ軸調整手段は、 架台と前記テストヘッドの間に設けられるＸ軸移動テー
    ブルと、 前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に案内するＸ軸案
    内手段とを有する一方、 前記θ３軸調整手段は、 前記架台と前記テストヘッドの間に設けられるθ３軸回
    転テーブルと、 前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に回転自在な状態で前記
    θ３軸回転テーブルを保持するθ３軸回転保持手段とを
    有する構成とし、 前記Ｘ軸移動テーブルを前記Ｘ軸方向に移動させて、前
    記Ｘ軸移動テーブルの前記Ｘ軸方向における位置を調整
    可能であると共に、前記Ｚ軸を軸心とする回転方向に前
    記θ３軸回転テーブルを回転させて、該回転方向におけ
    る前記θ３軸回転テーブルの回転位置を調整可能なＸ−
    θ３軸共通操作レバーを備えることを特徴とする請求項
    １記載のテストヘッドの位置決め装置。
11. 【請求項１１】前記Ｘ−θ３軸共通操作レバーを操作不
    能に固定する操作レバー固定手段を備えることを特徴と
    する請求項１０記載のテストヘッドの位置決め装置。
12. 【請求項１２】前記操作レバー固定手段は、 前記Ｘ軸方向に移動不能に固定されると共に前記Ｚ軸を
    軸心とする回転方向に回転不能に固定される基準部と、 前記Ｘ−θ３軸共通操作レバーに設けられ、前記基準部
    と係合可能であると共に、該係合した状態を保持可能な
    係合保持部とを有すること、 を特徴とする請求項１１記載のテストヘッドの位置決め
    装置。