JP2001091955A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

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JP2001091955A
JP2001091955A JP27085099A JP27085099A JP2001091955A JP 2001091955 A JP2001091955 A JP 2001091955A JP 27085099 A JP27085099 A JP 27085099A JP 27085099 A JP27085099 A JP 27085099A JP 2001091955 A JP2001091955 A JP 2001091955A
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JP
Japan
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liquid crystal
signal line
film
electrode
crystal display
Prior art date
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Application number
JP27085099A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masamitsu Furuya
政光 古家
Noboru Kunimatsu
登 國松
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a sealant from being released by improving the adhesive power of the sealant. SOLUTION: The liquid crystal display device is equipped with a pair of transparent substrates placed opposite to each other through a liquid crystal and the sealant, which sticks one transparent substrate to the other transparent substrate and encloses the liquid crystal. The surface of the transparent substrate on the side stuck to the sealant is roughened at least on a part of the sticking part of the sealant.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示装置に関す
る。
[0001] The present invention relates to a liquid crystal display device.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示装置は、液晶を介して互いに対
向配置される一対の透明基板を外囲器とし、該液晶の広
がり方向に多数の画素からなる表示部が形成されてい
る。
2. Description of the Related Art In a liquid crystal display device, a pair of transparent substrates disposed to face each other with a liquid crystal interposed therebetween is used as an envelope, and a display portion including a large number of pixels is formed in a direction in which the liquid crystal spreads.

【0003】そして、一方の透明基板側に対する他方の
透明基板側の固着は、該液晶の封止を兼ね該表示部を囲
んで形成されるシール材によってなされている。
[0006] The fixing of the other transparent substrate side to the one transparent substrate side is performed by a sealing material formed to surround the display portion and also to seal the liquid crystal.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかし、このように構
成された液晶表示装置は、それに加えられる衝撃や熱ス
トレスによりシール材が剥がれることがあることが指摘
されるに到った。
However, it has been pointed out that in the liquid crystal display device thus constructed, the sealing material may be peeled off due to impact or thermal stress applied thereto.

【0005】また、シール材からの汚染物質が液晶に溶
け出し、表示不良が発生することがあることが指摘され
るに到った。
Further, it has been pointed out that contaminants from the sealing material may be dissolved in the liquid crystal and display defects may occur.

【0006】このことから、接着力が強く、かつ、液晶
を汚染しないシール材料を用いることが好ましいものと
なる。
For this reason, it is preferable to use a sealing material that has a strong adhesive force and does not contaminate the liquid crystal.

【0007】しかしながら、液晶の汚染防止を優先し
て、液晶を汚染させない材料でシール材を調合した場
合、その接着力を高くすることは困難となってしまうこ
とが判明した。
However, it has been found that it is difficult to increase the adhesive strength when a sealing material is prepared using a material that does not contaminate the liquid crystal, giving priority to preventing the contamination of the liquid crystal.

【0008】本発明は、このような事情に基づいてなさ
れたもので、その目的は、材料の種類に拘らず剥がれの
少ないシール材を備える液晶表示装置を提供することに
ある。
[0008] The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a seal material that is less likely to peel regardless of the type of material.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、
以下の通りである。
SUMMARY OF THE INVENTION Among the inventions disclosed in the present application, the outline of a representative one will be briefly described.
It is as follows.

【0010】すなわち、本発明による液晶表示装置は、
液晶を介して対向配置される一対の透明基板と、これら
一方の透明基板側に対する他方の透明基板側の固着とと
もに該液晶を封入するシール材とを備え、このシール材
が接着される透明基板側の面が、少なくとも該シール材
の接着部分の一部において、粗面になっていることを特
徴とするものである。
That is, the liquid crystal display device according to the present invention comprises:
A pair of transparent substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween, and a sealing material for sealing the liquid crystal together with the fixing of the other transparent substrate side to the one transparent substrate side, and the transparent substrate side to which the sealing material is bonded Is roughened at least in a part of the bonding portion of the sealing material.

【0011】このように構成した液晶表示装置におい
て、そのシール材の透明基板側の接着力は該シール材と
透明基板側との間に生じる化学的な結合の数と強さで決
定される。
In the liquid crystal display device configured as described above, the adhesive strength of the sealing material on the transparent substrate side is determined by the number and strength of the chemical bonds generated between the sealing material and the transparent substrate side.

【0012】この場合、透明基板側には粗面が形成され
ているので、シール材と透明基板側との接触面積が増大
し、化学的結合の数が増大するようになる。
In this case, since the rough surface is formed on the transparent substrate side, the contact area between the sealing material and the transparent substrate side increases, and the number of chemical bonds increases.

【0013】したがって、同じ量のシール材を塗布した
場合に、接着力が大きくなり、シール剥がれの発生を低
減させることができる。
Therefore, when the same amount of the sealing material is applied, the adhesive force is increased, and the occurrence of peeling of the seal can be reduced.

【0014】また、接着力が弱くかつ液晶汚染の少ない
シール材を高い信頼性を確保して使用することが可能と
なるため、表示品質を向上することができる。
Further, since it is possible to use a sealing material having a low adhesive strength and a small amount of liquid crystal contamination while ensuring high reliability, it is possible to improve display quality.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、図面を用いて本発明の実施
の形態について詳細に説明する。なお、以下で説明する
図面で、同一機能を有するものは同一符号を付け、その
繰り返しの説明は省略する。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. In the drawings described below, those having the same functions are denoted by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted.

【0016】《アクティブ・マトリックス液晶表示装
置》以下、本発明を適用したアクティブ・マトリックス
方式のカラー液晶表示装置について詳細に説明する。
<< Active Matrix Liquid Crystal Display Device >> Hereinafter, an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied will be described in detail.

【0017】《マトリックス部(画素部)の平面構成》
図1は本発明のアクティブ・マトリックス方式カラー液
晶表示装置の一画素とその周辺を示す平面図である。
<< Planar Configuration of Matrix Part (Pixel Part) >>
FIG. 1 is a plan view showing one pixel of an active matrix type color liquid crystal display device of the present invention and its periphery.

【0018】図1に示すように、各画素は走査信号線
(ゲート信号線または水平信号線)GLと、対向電圧信
号線(対向電極配線)CLと、隣接する2本の映像信号
線(ドレイン信号線または垂直信号線)DLとの交差領
域内(4本の信号線で囲まれた領域内)に配置されてい
る。各画素は薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cst
g、画素電極PXおよび対向電極CTを含む。走査信号
線GL、対向電圧信号線CLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。画素電極PXは薄膜トランジスタTFTと接続さ
れ、対向電極CTは対向電圧信号線CLと一体になって
いる。
As shown in FIG. 1, each pixel has a scanning signal line (gate signal line or horizontal signal line) GL, a counter voltage signal line (counter electrode wiring) CL, and two adjacent video signal lines (drain). The signal line or the vertical signal line) is arranged in an intersecting region with the DL (in a region surrounded by four signal lines). Each pixel is a thin film transistor TFT, a storage capacitor Cst
g, the pixel electrode PX and the counter electrode CT. The scanning signal lines GL and the counter voltage signal lines CL extend in the left-right direction in FIG. Video signal line DL
Extend in the up-down direction and are arranged in a plurality in the left-right direction. The pixel electrode PX is connected to the thin film transistor TFT, and the counter electrode CT is integrated with the counter voltage signal line CL.

【0019】画素電極PXと対向電極CTは互いに対向
し、各画素電極PXと対向電極CTとの間の電界により
液晶LCの光学的な状態を制御し、表示を制御する。画
素電極PXと対向電極CTは櫛歯状に構成され、それぞ
れ、図の上下方向に長細い電極となっている。
The pixel electrode PX and the counter electrode CT are opposed to each other, and the optical state of the liquid crystal LC is controlled by the electric field between each pixel electrode PX and the counter electrode CT to control the display. The pixel electrode PX and the counter electrode CT are formed in a comb shape, and each is an electrode that is elongated in the vertical direction in the figure.

【0020】《マトリックス部(画素部)の断面構成》
図2は図1の3−3切断線における断面を示す図、図3
は図1の4−4切断線における薄膜トランジスタTFT
の断面図、図4は図1の5−5切断線における蓄積容量
Cstgの断面を示す図である。図2〜図4に示すよう
に、液晶層LCを基準にして下部透明ガラス基板SUB
1側には薄膜トランジスタTFT、蓄積容量Cstgおよ
び電極群が形成され、上部透明ガラス基板SUB2側に
はカラーフィルタFIL、遮光用ブラックマトリックス
パターンBMが形成されている。
<< Cross-Sectional Structure of Matrix (Pixel) >>
FIG. 2 is a view showing a cross section taken along line 3-3 in FIG.
Is a thin film transistor TFT along the section line 4-4 in FIG.
FIG. 4 is a view showing a cross section of the storage capacitor Cstg taken along the line 5-5 in FIG. As shown in FIGS. 2 to 4, the lower transparent glass substrate SUB is
A thin film transistor TFT, a storage capacitor Cstg, and an electrode group are formed on one side, and a color filter FIL and a light-shielding black matrix pattern BM are formed on the upper transparent glass substrate SUB2 side.

【0021】また、透明ガラス基板SUB1、SUB2
のそれぞれの内側(液晶LC側)の表面には、液晶の初
期配向を制御する配向膜ORI1、ORI2が設けられ
ており、透明ガラス基板SUB1、SUB2のそれぞれ
の外側の表面には、偏光軸が直交して配置された(クロ
スニコル配置)偏光板が設けられている。
Further, transparent glass substrates SUB1, SUB2
Are provided with alignment films ORI1 and ORI2 for controlling the initial alignment of the liquid crystal on the inner surface of each (liquid crystal LC side), and the polarizing axes are provided on the outer surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2. A polarizing plate arranged orthogonally (crossed Nicols arrangement) is provided.

【0022】《薄膜トランジスタTFT》薄膜トランジ
スタTFTは、ゲート電極GTに正のバイアスを印加す
ると、ソース−ドレイン間のチャネル抵抗が小さくな
り、バイアスを零にすると、チャネル抵抗は大きくなる
ように動作する。
<< Thin Film Transistor TFT >> The thin film transistor TFT operates so that the channel resistance between the source and the drain decreases when a positive bias is applied to the gate electrode GT, and the channel resistance increases when the bias is reduced to zero.

【0023】薄膜トランジスタTFTは、図3に示すよ
うに、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真
性、intrinsic、導電型決定不純物がドープされていな
い)非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層A
S、一対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有
す。なお、ソース、ドレインは本来その間のバイアス極
性によって決まるもので、この液晶表示装置の回路では
その極性は動作中反転するので、ソース、ドレインは動
作中入れ替わると理解されたい。しかし、以下の説明で
は、便宜上一方をソース、他方をドレインと固定して表
現する。
As shown in FIG. 3, the thin film transistor TFT has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic, intrinsic, not doped with conductivity type determining impurities) amorphous silicon (Si). Type semiconductor layer A
S, a pair of source electrode SD1 and drain electrode SD2. It should be understood that the source and the drain are originally determined by the bias polarity between them, and in the circuit of this liquid crystal display device, the polarity is inverted during the operation, so that the source and the drain are interchanged during the operation. However, in the following description, one is fixed and the other is fixed as a drain for convenience.

【0024】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLと連続して形成されており、走査信号線GL
の一部の領域がゲート電極GTとなるように構成されて
いる。ゲート電極GTは薄膜トランジスタTFTの能動
領域を超える部分であり、i型半導体層ASを完全に覆
うよう(下方からみて)それより大きめに形成されてい
る。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed continuously with the scanning signal line GL.
Is configured to be a gate electrode GT. The gate electrode GT is a portion exceeding the active region of the thin film transistor TFT, and is formed larger than that so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below).

【0025】これにより、ゲート電極GTの役割のほか
に、i型半導体層ASに外光やバックライト光が当たら
ないように工夫されている。本例では、ゲート電極GT
は、単層の導電膜g1で形成されている。導電膜g1と
しては例えばスパッタで形成されたアルミニュウム(A
l)膜が用いられ、その上にはAlの陽極酸化膜AOF
が設けられている。
Thus, in addition to the role of the gate electrode GT, the device is designed so that external light and backlight do not hit the i-type semiconductor layer AS. In this example, the gate electrode GT
Is formed of a single-layer conductive film g1. As the conductive film g1, for example, aluminum (A
1) A film is used, on which an anodic oxide film AOF of Al
Is provided.

【0026】《走査信号線GL》走査信号線GLは導電
膜g1で構成されている。この走査信号線GLの導電膜
g1はゲート電極GTの導電膜g1と同一製造工程で形
成され、かつ一体に構成されている。この走査信号線G
Lにより、外部回路からゲート電圧Vgをゲート電極G
Tに供給する。また、走査信号線GL上にもAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。なお、映像信号線DL
と交差する部分は映像信号線DLとの短絡の確率を小さ
くするため細くし、また、短絡しても、レーザートリミ
ングで切り離すことができるように二股にしている。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is formed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, and is integrally formed. This scanning signal line G
L, the gate voltage Vg is applied from an external circuit to the gate electrode G.
Supply to T. An anodic oxide film AOF of Al is also provided on the scanning signal line GL. Note that the video signal line DL
The portion that intersects with the video signal line DL is made thin in order to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, and is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0027】《対向電極CT》対向電極CTはゲート電
極GTおよび走査信号線GLと同層の導電膜g1で構成
されている。また、対向電極CT上にもAlの陽極酸化
膜AOFが設けられている。対向電極CTは、陽極酸化
膜AOFで完全に覆われていることから、映像信号線と
限りなく近づけても、それらが短絡してしまうことがな
くなる。また、それらを交差させて構成させることもで
きる。対向電極CTには対向電圧Vcomが印加されるよ
うに構成されている。本実施例では、対向電圧Vcomは
映像信号線DLに印加される最小レベルの駆動電圧Vd
minと最大レベルの駆動電圧Vdmaxとの中間直流電位か
ら、薄膜トランジスタ素子TFTをオフ状態にするとき
に発生するフィードスルー電圧△Vs分だけ低い電位に
設定されるが、映像信号駆動回路で使用される集積回路
の電源電圧を約半分に低減したい場合は、交流電圧を印
加すれば良い。
<< Counter Electrode CT >> The counter electrode CT is formed of a conductive film g1 in the same layer as the gate electrode GT and the scanning signal line GL. An Al anodic oxide film AOF is also provided on the counter electrode CT. Since the counter electrode CT is completely covered with the anodic oxide film AOF, even if the counter electrode CT is brought as close as possible to the video signal line, they are not short-circuited. Further, they may be configured to cross each other. The counter electrode CT is configured to apply a counter voltage Vcom. In this embodiment, the counter voltage Vcom is the minimum level drive voltage Vd applied to the video signal line DL.
From the intermediate DC potential between min and the maximum drive voltage Vdmax, the potential is set to a potential lower by a feedthrough voltage ΔVs generated when the thin film transistor element TFT is turned off, but is used in a video signal drive circuit. When it is desired to reduce the power supply voltage of the integrated circuit to about half, an AC voltage may be applied.

【0028】《対向電圧信号線CL》対向電圧信号線C
Lは導電膜g1で構成されている。この対向電圧信号線
CLの導電膜g1はゲート電極GT、走査信号線GLお
よび対向電極CTの導電膜g1と同一製造工程で形成さ
れ、かつ対向電極CTと一体に構成されている。この対
向電圧信号線CLにより、外部回路から対向電圧Vcom
を対向電極CTに供給する。また、対向電圧信号線CL
上にもAlの陽極酸化膜AOFが設けられている。な
お、映像信号線DLと交差する部分は、走査信号線GL
と同様に映像信号線DLとの短絡の確率を小さくするた
め細くし、また、短絡しても、レーザートリミングで切
り離すことができるように二股にしている。
<< Counter voltage signal line CL >> Counter voltage signal line C
L is composed of the conductive film g1. The conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is formed in the same manufacturing process as the conductive film g1 of the gate electrode GT, the scanning signal line GL, and the counter electrode CT, and is formed integrally with the counter electrode CT. The opposing voltage signal line CL allows the opposing voltage Vcom
Is supplied to the counter electrode CT. Also, the counter voltage signal line CL
An anodic oxide film AOF of Al is also provided thereon. The portion that intersects with the video signal line DL is the scanning signal line GL.
In the same manner as described above, the width is made thinner in order to reduce the probability of short-circuiting with the video signal line DL, and it is made bifurcated so that even if it is short-circuited, it can be separated by laser trimming.

【0029】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFTにおいて、ゲート電極GTと共に半導体層
ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜として使用され
る。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走査信号線GL
の上層に形成されている。絶縁膜GIとしては例えばプ
ラズマCVDで形成された窒化シリコン膜が選ばれ、1
200〜2700Åの厚さに(本実施例では、2400
Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは、マトリック
ス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外部接
続端子DTM、GTMを露出するよう除去されている。
絶縁膜GIは走査信号線GLおよび対向電圧信号線CL
と映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS together with the gate electrode GT in the thin film transistor TFT. The insulating film GI includes the gate electrode GT and the scanning signal line GL.
Is formed in the upper layer. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is selected.
In a thickness of 200 to 2700 ° (in this embodiment, 2400
Å) formed. The gate insulating film GI is formed so as to surround the entire matrix part AR, and the peripheral part is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM.
The insulating film GI includes the scanning signal line GL and the counter voltage signal line CL.
And the video signal line DL.

【0030】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、非晶質シリコンで、200〜2200Åの厚さに
(本実施例では、2000Å程度の膜厚)で形成され
る。層d0はオーミックコンタクト用のリン(P)をド
ープしたN(+)型非晶質シリコン半導体層であり、下側
にi型半導体層ASが存在し、上側に導電層d1(d
2)が存在するところのみに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
Is amorphous silicon and is formed to a thickness of 200 to 2200 ° (in this embodiment, a film thickness of about 2000 °). The layer d0 is an N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer doped with phosphorus (P) for ohmic contact. The i-type semiconductor layer AS is present on the lower side, and the conductive layer d1 (d
2) is left only where it exists.

【0031】i型半導体層ASは走査信号線GLおよび
対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの交差部(クロ
スオーバ部)の両者間にも設けられている。この交差部
のi型半導体層ASは交差部における走査信号線GLお
よび対向電圧信号線CLと映像信号線DLとの短絡を低
減する。
The i-type semiconductor layer AS is also provided between the scanning signal line GL and the intersection (crossover portion) between the counter voltage signal line CL and the video signal line DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces a short circuit between the scanning signal line GL and the counter voltage signal line CL and the video signal line DL at the intersection.

【0032】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する導電膜d1とその
上に形成された導電膜d2とから構成されている。
<< Source electrode SD1, drain electrode SD
2 >> Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is composed of a conductive film d1 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a conductive film d2 formed thereon.

【0033】導電膜d1はスパッタで形成したクロム
(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに(本実
施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜は膜厚
を厚く形成するとストレスが大きくなるので、2000
Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、導電膜d2
のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防止す
る(いわゆるバリア層の)目的で使用される。導電膜d
1として、Cr膜の他に高融点金属(Mo、Ti、T
a、W)膜、高融点金属シリサイド(MoSi2、Ti
Si2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよい。
The conductive film d1 uses a chromium (Cr) film formed by sputtering and is formed to a thickness of 500 to 1000 ° (about 600 ° in this embodiment). When the Cr film is formed with a large thickness, the stress becomes large.
The film is formed in a range not exceeding about 膜厚. Cr film is N
The adhesion to the (+) type semiconductor layer d0 is improved, and the conductive film d2 is formed.
Is used for the purpose of preventing Al from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0 (so-called barrier layer). Conductive film d
In addition to the Cr film, refractory metals (Mo, Ti, T
a, W) film, refractory metal silicide (MoSi 2 , Ti)
Si 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used.

【0034】導電膜d2はAlのスパッタリングで30
00〜5000Åの厚さに(本実施例では、4000Å
程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレスが
小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース電極
SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DLの抵
抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層AS
に起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカバー
レッジを良くする)働きがある。
The conductive film d2 has a thickness of 30
To a thickness of 00 to 5000 mm (in this embodiment, 4000 mm).
Degree) is formed. The Al film has a smaller stress than the Cr film and can be formed to have a large thickness, and can reduce the resistance values of the source electrode SD1, the drain electrode SD2 and the video signal line DL, and can reduce the gate electrode GT and the i-type semiconductor. Layer AS
Has the function of ensuring that the vehicle gets over a step (improves step coverage).

【0035】導電膜d1、導電膜d2を同じマスクパタ
ーンでパターニングした後、同じマスクを用いて、ある
いは導電膜d1、導電膜d2をマスクとして、N(+)型
半導体層d0が除去される。つまり、i型半導体層AS
上に残っていたN(+)型半導体層d0は導電膜d1、導
電膜d2以外の部分がセルフアラインで除去される。こ
のとき、N(+)型半導体層d0はその厚さ分は全て除去
されるようエッチングされるので、i型半導体層ASも
若干その表面部分がエッチングされるが、その程度はエ
ッチング時間で制御すればよい。
After patterning the conductive films d1 and d2 with the same mask pattern, the N (+) type semiconductor layer d0 is removed using the same mask or using the conductive films d1 and d2 as a mask. That is, the i-type semiconductor layer AS
The portion of the N (+) type semiconductor layer d0 remaining on the portion other than the conductive films d1 and d2 is removed by self-alignment. At this time, since the N (+)-type semiconductor layer d0 is etched so as to remove the entire thickness, the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched at its surface, but the degree is controlled by the etching time. do it.

【0036】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。また、映像信
号線DLはドレイン電極SD2と一体に形成されてい
る。
<< Video Signal Line DL >> The video signal line DL is composed of the second conductive film d2 and the third conductive film d3 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2. The video signal line DL is formed integrally with the drain electrode SD2.

【0037】《画素電極PX》画素電極PXはソース電
極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜d
2、第3導電膜d3で構成されている。また、画素電極
PXはソース電極SD1と一体に形成されている。
<< Pixel Electrode PX >> The pixel electrode PX is a second conductive film d of the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.
2, the third conductive film d3. Further, the pixel electrode PX is formed integrally with the source electrode SD1.

【0038】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図1からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The pixel electrode PX is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is clear from FIG.
The pixel electrode PX is used as one electrode PL2, and the counter voltage signal C
Storage capacitance (capacitance element) where L is the other electrode PL1
Construct Cstg. The dielectric film of the storage capacitor Cstg includes an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0039】図1に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
As shown in FIG. 1, the storage capacitance Cst
g is formed at a portion where the width of the conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is increased. In this case, the storage capacity Cstg is
Since the material of the electrode positioned on the lower side of the insulating film GI is made of Al and the surface thereof is anodized, the point defect caused by so-called whiskers of Al (positioned on the upper side) (A short circuit with the electrode to be used) can be obtained.

【0040】《蓄積容量Cstg》画素電極PXは、薄膜
トランジスタTFTと接続される端部と反対側の端部に
おいて、対向電圧信号線CLと重なるように形成されて
いる。この重ね合わせは、図4からも明らかなように、
画素電極PXを一方の電極PL2とし、対向電圧信号C
Lを他方の電極PL1とする蓄積容量(静電容量素子)
Cstgを構成する。この蓄積容量Cstgの誘電体膜は、薄
膜トランジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される
絶縁膜GIおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
<< Storage Capacitor Cstg >> The pixel electrode PX is formed so as to overlap the counter voltage signal line CL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. This superposition is clear from FIG.
The pixel electrode PX is used as one electrode PL2, and the counter voltage signal C
Storage capacitance (capacitance element) where L is the other electrode PL1
Construct Cstg. The dielectric film of the storage capacitor Cstg includes an insulating film GI used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT and an anodic oxide film AOF.

【0041】図1に示すように平面的には蓄積容量Cst
gは対向電圧信号線CLの導電膜g1の幅を広げた部分
に形成されている。この場合、この蓄積容量Cstgは、
その絶縁膜GIに対して下側に位置づけられる電極の材
料がAlで形成され、かつ、その表面が陽極化成された
ものであることから、Alのいわゆるホイスカ等が原因
する点欠陥(上側に位置づけられる電極との短絡)によ
る弊害を発生しにくくする蓄積容量を得ることができ
る。
As shown in FIG. 1, the storage capacitance Cst
g is formed at a portion where the width of the conductive film g1 of the counter voltage signal line CL is increased. In this case, the storage capacity Cstg is
Since the material of the electrode positioned on the lower side of the insulating film GI is made of Al and the surface thereof is anodized, the point defect caused by so-called whiskers of Al (positioned on the upper side) (A short circuit with the electrode to be used) can be obtained.

【0042】《マトリックス周辺の構成》図5は上下の
ガラス基板SUB1、SUB2を含む表示パネルPNL
のマトリックス(AR)周辺の要部平面を示す図であ
る。また、図6は、左側に走査回路が接続されるべき外
部接続端子GTM付近の断面を、右側に外部接続端子が
無いところのシール部付近の断面を示す図である。
<< Configuration around Matrix >> FIG. 5 shows a display panel PNL including upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2.
FIG. 4 is a diagram showing a main part plane around a matrix (AR). FIG. 6 is a diagram showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side, and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0043】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。
[0043] Any For this panel In the manufacture of, if small size divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for increased throughput, manufacturing facilities if large size shared A glass substrate of a standardized size is processed even in a variety, and the size is reduced to a size suitable for each type. In each case, the glass is cut after passing through one process.

【0044】図5、図6は後者の例を示すもので、図
5、図6の両図とも上下基板SUB1、SUB2の切断
後を表しており、LNは両基板の切断前の縁を示す。い
ずれの場合も、完成状態では外部接続端子群Tg、Td
および端子CTMが存在する(図で上辺と左辺の)部分
はそれらを露出するように上側基板SUB2の大きさが
下側基板SUB1よりも内側に制限されている。
FIGS. 5 and 6 show the latter example. Both FIGS. 5 and 6 show the upper and lower substrates SUB1 and SUB2 after cutting, and LN shows the edge of both substrates before cutting. . In any case, in the completed state, the external connection terminal groups Tg, Td
The size of the upper substrate SUB2 is limited to the inside of the lower substrate SUB1 so that the portions where the terminals CTM are present (the upper side and the left side in the figure) are exposed.

【0045】端子群Tg、Tdはそれぞれ後述する走査
回路接続用端子GTM、映像信号回路接続用端子DTM
とそれらの引出配線部を集積回路チップCHIが搭載さ
れたテープキャリアパッケージTCP(図16、図1
7)の単位に複数本まとめて名付けたものである。各群
のマトリックス部から外部接続端子部に至るまでの引出
配線は、両端に近づくにつれ傾斜している。これは、パ
ッケージTCPの配列ピッチ及び各パッケージTCPに
おける接続端子ピッチに表示パネルPNLの端子DT
M、GTMを合わせるためである。
The terminal groups Tg and Td are a scanning circuit connection terminal GTM and a video signal circuit connection terminal DTM, respectively, which will be described later.
1 and a tape carrier package TCP on which an integrated circuit chip CHI is mounted (see FIGS. 16 and 1).
A plurality of units are collectively named in the unit of 7). The lead wiring from the matrix part of each group to the external connection terminal part is inclined as approaching both ends. This is because the terminals DT of the display panel PNL correspond to the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch of each package TCP.
This is for matching M and GTM.

【0046】また、対向電極端子CTMは、対向電極C
Tに対向電圧を外部回路から与えるための端子である。
マトリックス部の対向電極信号線CLは、走査回路用端
子GTMの反対側(図では右側)に引き出し、各対向電
圧信号線を共通バスラインCBで一纏めにして、対向電
極端子CTMに接続している。
The counter electrode terminal CTM is connected to the counter electrode C
A terminal for applying a counter voltage to T from an external circuit.
The counter electrode signal line CL in the matrix section is drawn out on the opposite side (right side in the figure) of the scanning circuit terminal GTM, and the respective counter voltage signal lines are grouped together by a common bus line CB and connected to the counter electrode terminal CTM. .

【0047】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal sealing opening INJ, the liquid crystal LC
Is formed to seal the sealing pattern SL. The sealing material is made of, for example, an epoxy resin.

【0048】配向膜ORI1、ORI2の層は、シール
パターンSLの内側に形成される。偏光板POL1、P
OL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB1、上部透
明ガラス基板SUB2の外側の表面に構成されている。
液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配向膜ORI
1と上部配向膜ORI2との間でシールパターンSLで
仕切られた領域に封入されている。
The layers of the orientation films ORI1 and ORI2 are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plates POL1, P
OL2 is formed on the outer surfaces of the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2, respectively.
The liquid crystal LC is a lower alignment film ORI for setting the direction of liquid crystal molecules.
1 and the upper alignment film ORI2 are sealed in a region partitioned by a seal pattern SL.

【0049】下部配向膜ORI1は下部透明ガラス基板
SUB1側の保護膜PSV1の上部に形成される。
The lower alignment film ORI1 is formed above the protective film PSV1 on the lower transparent glass substrate SUB1 side.

【0050】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and a seal pattern SL is formed on the substrate SUB2.
Side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped, liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the sealing material SL, the injection port INJ is sealed with epoxy resin or the like, and the upper and lower substrates are sealed. Assembled by cutting.

【0051】図19は図6のA部(シール材SL塗布
部)を拡大した図である。このシール材SL塗布部で
は、透明ガラス基板SUB1上のシール材塗布部SAA
1、及びSUB2上のシール材塗布部SAA2に凹凸U
ENが形成された粗面となっている。
FIG. 19 is an enlarged view of the portion A (the sealing material SL coating portion) in FIG. In the sealing material SL application section, the sealing material application section SAA on the transparent glass substrate SUB1 is used.
1 and unevenness U on the sealant application portion SAA2 on SUB2
It has a rough surface on which EN is formed.

【0052】この凹凸UENはシール材SLを塗布する
前に研磨剤を含んだ高圧空気を吹き付けることにより形
成されている。研磨剤の吹き付けは、たとえばSAA
1、SAA2以外の部分に研磨剤が当たらないようにマ
スクをして行われる。
The unevenness UEN is formed by blowing high-pressure air containing an abrasive before applying the sealing material SL. Abrasive spraying is performed, for example, using SAA.
1. The masking is performed so that the abrasive does not hit parts other than SAA2.

【0053】凹凸UENはシール材SLと透明ガラス基
板SUB1、SUB2との接触面積を広くするために形
成されたものである。
The unevenness UEN is formed in order to increase the contact area between the sealing material SL and the transparent glass substrates SUB1 and SUB2.

【0054】図19では、シール材SLはシール材塗布
部SAA1、SAA2に形成された凹凸UENに入り込
んで接着されている。
In FIG. 19, the sealing material SL enters and is bonded to the unevenness UEN formed in the sealing material application portions SAA1 and SAA2.

【0055】ここでシール材SLのシール材塗布部SA
A1、SAA2に対する接着力を考察する。接着力は接
着剤と被着体との界面で発生する化学結合の強さとその
数で決まる。化学結合の強さは、接着剤と被着体の種類
で決まり、化学結合の数は接着剤と被着体の接触面積で
決まる。通常は透明ガラス基板SUB1、SUB2上に
膜(本実施例では、SUB1上に保護膜PSV、SUB
2上にオーバーコート膜OC)を形成しただけであるの
で、シール材塗布部SAA1、SAA2の表面はなめら
かでシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2
との接触面積は広くなっていない。
Here, the sealing material application portion SA of the sealing material SL
Consider the adhesive strength to A1 and SAA2. The adhesive strength is determined by the strength and the number of chemical bonds generated at the interface between the adhesive and the adherend. The strength of the chemical bond is determined by the type of the adhesive and the adherend, and the number of chemical bonds is determined by the contact area between the adhesive and the adherend. Normally, a film is formed on the transparent glass substrates SUB1 and SUB2 (in this embodiment, the protective films PSV and SUB are formed on the SUB1).
2, only the overcoat film OC) is formed on the sealing material SLA and the sealing material application portions SAA1 and SAA2.
The contact area with is not wide.

【0056】これに対して本実施例では、凹凸UENが
形成されシール材SLが凹凸UENに入り込んで接着し
ているため、凹凸UENが形成されていない場合と比べ
てシール材SLとシール材塗布部SAA1、SAA2と
の接触面積が格段に広くなっている。
On the other hand, in this embodiment, since the unevenness UEN is formed and the sealing material SL enters the unevenness UEN and adheres, the sealing material SL and the sealing material application are compared with the case where the unevenness UEN is not formed. The contact area with the portions SAA1 and SAA2 is significantly larger.

【0057】従ってシール材SLとシール材塗布部SA
A1、SAA2との界面で発生する化学結合の数が多く
なるためシール材SLのシール材塗布部SAA1、SA
A2に対する接着力が向上する。
Therefore, the sealing material SL and the sealing material application portion SA
Since the number of chemical bonds generated at the interface with A1 and SAA2 increases, the sealing material application portions SAA1 and SA of the sealing material SL
The adhesive strength to A2 is improved.

【0058】シール材SLとシール材塗布部SAA1、
SAA2の接触面積を広くすることで接着力を向上させ
ることの利点として、 (1)シール材剥がれ不良を低減することができる。
The sealing material SL and the sealing material application section SAA1,
The advantages of improving the adhesive force by increasing the contact area of the SAA 2 include: (1) it is possible to reduce the peeling failure of the sealing material.

【0059】(2)接着力が弱くかつ液晶汚染の少ない
シール材を使用することが可能となり、表示品質を向上
することができる。
(2) It is possible to use a sealing material having a low adhesive force and a small amount of liquid crystal contamination, and display quality can be improved.

【0060】《ゲート端子部》図7は表示マトリックス
の走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接
続構造を示す図であり、(a)は平面であり(b)は
(a)のB−B切断線における断面を示している。な
お、同図は図7下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
<< Gate Terminal >> FIG. 7 is a diagram showing a connection structure from the scanning signal line GL of the display matrix to its external connection terminal GTM, where (a) is a plane and (b) is B in (a). 4 shows a cross section taken along section line -B. This figure corresponds to the vicinity of the lower part of FIG. 7, and the diagonal wiring portion is represented by a straight line for convenience.

【0061】AOはホトレジスト直接描画の境界線、言
い換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後に除去さ
れ、図に示すパターンAOは完成品としては残らない
が、ゲート配線GLには断面図に示すように酸化膜AO
Fが選択的に形成されるのでその痕跡が残る。平面図に
おいて、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側は
レジストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジスト
から露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化され
たAL層g1は表面にその酸化物Al23膜AOFが形
成され下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化
はその導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定
して行われる。
AO is a border line for direct drawing of photoresist, in other words, a photoresist pattern of selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodic oxidation, and the pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but the oxide film AO is formed on the gate wiring GL as shown in the sectional view.
Since F is selectively formed, its trace remains. In the plan view, the left side is a region which is covered with the resist and is not anodized, and the right side is a region which is exposed from the resist and is anodized with reference to the boundary line AO of the photoresist. The anodized AL layer g1 has an oxide Al 2 O 3 film AOF formed on its surface, and the lower conductive portion has a reduced volume. Of course, anodic oxidation is performed by setting an appropriate time, voltage and the like so that the conductive portion remains.

【0062】ゲート端子GTMはAl層g1と、更にそ
の表面を保護し、かつ、TCP(Tape Carrier Packeg
e)との接続の信頼性を向上させるための透明導電層g
2とで構成されている。この透明導電膜g2はスパッタ
リングで形成された透明導電膜(Indium-Tin-Oxide I
TO:ネサ膜)からなり、1000〜2000Åの厚さ
に(本実施例では、1400Å程度の膜厚)形成され
る。またAl層g1上及びその側面部に形成された導電
層d1及びd2は、Al層と透明導電層g2との接続不
良を補うために、Al層と透明導電層g2の両方に接続
性の良いCr層d1を接続し、接続抵抗の低減を図るた
めのものであり、導電層d2は導電層d1と同一マスク
形成しているために残っているものである。
The gate terminal GTM protects the surface of the Al layer g1 and the surface thereof, and also uses a TCP (Tape Carrier Package).
e) transparent conductive layer g for improving the reliability of connection with
And 2. This transparent conductive film g2 is a transparent conductive film (Indium-Tin-Oxide I) formed by sputtering.
TO: Nessa film) and is formed to a thickness of 1000 to 2000 (in this embodiment, a thickness of about 1400). In addition, the conductive layers d1 and d2 formed on the Al layer g1 and on the side surfaces thereof have good connectivity to both the Al layer and the transparent conductive layer g2 in order to compensate for poor connection between the Al layer and the transparent conductive layer g2. This is for connecting the Cr layer d1 to reduce the connection resistance, and the conductive layer d2 remains because the same mask is formed as the conductive layer d1.

【0063】平面図において、ゲート絶縁膜GIはその
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg(図
5)が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程では、
基板の切断領域を越えて延長され配線SHg(図示せ
ず)によって短絡される。製造過程におけるこのような
短絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜ORI1の
ラビング時等の静電破壊防止に役立つ。
In the plan view, the gate insulating film GI is formed on the right side of the boundary line, the protective film PSV1 is formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located on the left end is formed.
Are exposed from them so that they can make electrical contact with external circuits. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown. However, in practice, a plurality of such pairs are arranged vertically as shown in FIG. 7 to form a terminal group Tg (FIG. 5). The left end of the gate terminal is
It is extended beyond the cutting area of the substrate and short-circuited by a wiring SHg (not shown). Such a short-circuit line SHg in the manufacturing process is useful for power supply during anodization and prevention of electrostatic breakdown during rubbing of the alignment film ORI1 and the like.

【0064】《ドレイン端子DTM》図8は映像信号線
DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図で
あり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)のB−
B切断線における断面を示す。なお、同図は図5右上付
近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方向
が基板SUB1の上端部に該当する。
<< Drain Terminal DTM >> FIGS. 8A and 8B are diagrams showing the connection from the video signal line DL to the external connection terminal DTM. FIG. 8A shows the plane, and FIG.
4 shows a cross section taken along section line B. 5 corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 5, and the direction of the drawing is changed for convenience, but the right end direction corresponds to the upper end of the substrate SUB1.

【0065】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。外部接続ドレイン端子DTMは上下方向
に配列され、ドレイン端子DTMは、図5に示すように
端子群Td(添字省略)を構成し基板SUB1の切断線
を越えて更に延長され、製造過程中は静電破壊防止のた
めその全てが互いに配線SHd(図示せず)によって短
絡される。
TSTd is an inspection terminal to which an external circuit is not connected, but is wider than a wiring portion so that a probe needle or the like can be contacted. Similarly, the drain terminal D
The TM is also wider than the wiring part so that it can be connected to an external circuit. The external connection drain terminals DTM are vertically arranged, and the drain terminals DTM constitute a terminal group Td (subscript omitted) as shown in FIG. 5 and are further extended beyond the cutting line of the substrate SUB1. All of them are short-circuited to each other by a wiring SHd (not shown) to prevent electric breakdown.

【0066】検査端子TSTdは図8に示すように一本
置きの映像信号線DLに形成される。
The test terminals TSTd are formed on every other video signal line DL as shown in FIG.

【0067】ドレイン接続端子DTMは透明導電層g2
単層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した部
分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜G
Iの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜G
Iの縁をテーパ状にエッチングするためのものである。
端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護膜P
SV1は勿論のこと取り除かれている。
The drain connection terminal DTM is connected to the transparent conductive layer g2.
It is formed of a single layer, and is connected to the video signal line DL at a portion where the gate insulating film GI is removed. Gate insulating film G
The semiconductor layer AS formed on the end of the gate insulating film G
This is for etching the edge of I into a tapered shape.
On the terminal DTM, a protective film P for connection with an external circuit is provided.
SV1 has of course been removed.

【0068】マトリックス部からドレイン端子部DTM
までの引出配線は、映像信号線DLと同じレベルの層d
1、d2が保護膜PSV1の途中まで構成されており、
保護膜PSV1の中で透明導電膜g2と接続されてい
る。これは、電触し易いAl層d2を保護膜PSV1や
シールパターンSLでできるだけ保護する狙いである。
From the matrix portion to the drain terminal portion DTM
Up to the layer d of the same level as the video signal line DL.
1 and d2 are partially formed in the protective film PSV1,
The protective film PSV1 is connected to the transparent conductive film g2. This aims to protect the easily contacted Al layer d2 with the protective film PSV1 and the seal pattern SL as much as possible.

【0069】《対向電極端子CTM》図9は対向電極信
号線CLからその外部接続端子CTMまでの接続を示す
図であり、(a)はその平面を示し、(b)は(a)の
B−B切断線における断面を示す。なお、同図は図5左
上付近に対応する。
<< Counter Electrode Terminal CTM >> FIGS. 9A and 9B are diagrams showing the connection from the counter electrode signal line CL to its external connection terminal CTM. FIG. 9A shows the plane, and FIG. 4 shows a cross section taken along section line -B. This figure corresponds to the vicinity of the upper left of FIG.

【0070】各対向電圧信号線CLは共通バスラインC
Bで一纏めして対向電極端子CTMに引き出されてい
る。共通バスラインCBは導電層g1の上に導電層d
1、導電層d2を積層した構造となっている。これは、
共通バスラインCBの抵抗を低減し、対向電圧が外部回
路から各対向電圧信号線CLに十分に供給されるように
するためである。これにより、対向電極CTが末端の画
素まで充分に伝達され、これら各対向電極CTの映像信
号線DLに供給される映像信号に応じた歪みによるクロ
ストーク(特に画面の左右方向のクロストーク)の発生
を低減できる。本構造では、特に新たに導電層を負荷す
ることなく、共通バスラインの抵抗を下げられるのが特
徴である。共通バスラインCBの導電層g1は導電層d
1、導電層d2と電気的に接続されるように、陽極化成
はされていない。また、ゲート絶縁膜GIからも露出し
ている。
Each counter voltage signal line CL is connected to a common bus line C
B collectively leads to the counter electrode terminal CTM. The common bus line CB has a conductive layer d on the conductive layer g1.
1. A structure in which conductive layers d2 are stacked. this is,
This is to reduce the resistance of the common bus line CB so that the opposing voltage is sufficiently supplied from the external circuit to each opposing voltage signal line CL. As a result, the counter electrode CT is sufficiently transmitted to the terminal pixel, and crosstalk (particularly, crosstalk in the horizontal direction of the screen) due to distortion according to the video signal supplied to the video signal line DL of each counter electrode CT is generated. Generation can be reduced. This structure is characterized in that the resistance of the common bus line can be reduced without particularly adding a new conductive layer. The conductive layer g1 of the common bus line CB is a conductive layer d.
1. No anodization is performed so as to be electrically connected to the conductive layer d2. Also, it is exposed from the gate insulating film GI.

【0071】対向電極端子CTMは、導電層g1の上に
透明導電層g2が積層された構造になっている。透明導
電層g2により、その表面を保護し、電触等を防ぐため
に耐久性のよい透明導電層g2で、導電層g1を覆って
いる。
The counter electrode terminal CTM has a structure in which a transparent conductive layer g2 is laminated on a conductive layer g1. The transparent conductive layer g2 covers the conductive layer g1 with the durable transparent conductive layer g2 to protect the surface and prevent electric contact and the like.

【0072】《表示装置全体等価回路》表示マトリック
ス部の等価回路とその周辺回路の結線図を図10に示
す。同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対
応して描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配
列したマトリックス・アレイである。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 10 shows a connection diagram of the equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits. Although the figure is a circuit diagram, it is drawn corresponding to an actual geometric arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are arranged two-dimensionally.

【0073】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1、2、3、…、endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
In the figure, X indicates a video signal line DL, and suffixes G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. Y means the scanning signal line GL, and the suffixes 1, 2, 3,..., End are added according to the order of the scanning timing.

【0074】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されており、映像信号線X(添字省略)は映像
信号駆動回路Hに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V, and the video signal line X (subscript omitted) is connected to the video signal driving circuit H.

【0075】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
The SUP uses a TFT liquid crystal display device to transfer information for a CRT (cathode ray tube) from a power supply circuit or a host (upper processing unit) for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source. This is a circuit that includes a circuit that exchanges information for use.

【0076】《駆動方法》図11に本発明の液晶表示装
置の駆動波形を示す。対向電圧をVchとVclの2値の交
流矩型波にし、それに同期させて走査信号Vg(i-1)、
Vg(i)の非選択電圧を1走査期間ごとに、VglhとVg
llの2値で変化させる。対向電圧の振幅値と非選択電圧
の振幅値は同一にする。映像信号電圧は、液晶層に印加
したい電圧から、対向電圧の振幅の1/2を差し引いた
電圧である。
<< Driving Method >> FIG. 11 shows a driving waveform of the liquid crystal display device of the present invention. The opposite voltage is converted into a binary AC rectangular wave of Vch and Vcl, and the scanning signal Vg (i-1),
Vgh and Vg are applied to the non-selection voltage Vg (i) every scanning period.
It changes with two values of ll. The amplitude value of the counter voltage and the amplitude value of the non-selection voltage are the same. The video signal voltage is a voltage obtained by subtracting half of the amplitude of the counter voltage from the voltage to be applied to the liquid crystal layer.

【0077】対向電圧は直流でもよいが、交流化するこ
とで映像信号電圧の最大振幅を低減でき、映像信号駆動
回路(信号側ドライバ)に耐圧の低いものを用いること
が可能になる。
The counter voltage may be DC, but by converting it to AC, the maximum amplitude of the video signal voltage can be reduced, and a video signal drive circuit (signal side driver) having a low withstand voltage can be used.

【0078】《蓄積容量Cstgの働き》蓄積容量Cstg
は、画素に書き込まれた(薄膜トランジスタTFTがオ
フした後の)映像情報を、長く蓄積するために設ける。
本発明で用いている電界を基板面と平行に印加する方式
では、電界を基板面に垂直に印加する方式と異なり、画
素電極と対向電極で構成される容量(いわゆる液晶容
量)がほとんど無いため、蓄積容量Cstgが映像情報を
画素に蓄積することができない。したがって、電界を基
板面と平行に印加する方式では、蓄積容量Cstgは必須
の構成要素である。
<< Function of Storage Capacitance Cstg >> Storage Capacitance Cstg
Is provided in order to accumulate video information (after the thin film transistor TFT is turned off) written in the pixel for a long time.
In the method of applying an electric field parallel to the substrate surface used in the present invention, unlike the method of applying the electric field perpendicular to the substrate surface, there is almost no capacitance (so-called liquid crystal capacitance) formed by the pixel electrode and the counter electrode. However, the storage capacity Cstg cannot store video information in the pixel. Therefore, in a system in which an electric field is applied in parallel with the substrate surface, the storage capacitor Cstg is an essential component.

【0079】また、蓄積容量Cstgは、薄膜トランジス
タTFTがスイッチングするとき、画素電極電位Vsに
対するゲート電位変化△Vgの影響を低減するようにも
働く。この様子を式で表すと、次のようになる。
The storage capacitor Cstg also works to reduce the effect of the gate potential change ΔVg on the pixel electrode potential Vs when the thin film transistor TFT switches. This situation is represented by the following equation.

【0080】[0080]

【数1】 △Vs={Cgs/(Cgs+Cstg+Cpix)}×△
Vg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは画素電極PXと対向電極CTとの間に形成される
容量、△Vsは△Vgによる画素電極電位の変化分いわゆ
るフィードスルー電圧を表わす。この変化分△Vsは液
晶LCに加わる直流成分の原因となるが、保持容量Cst
gを大きくすればする程、その値を小さくすることがで
きる。液晶LCに印加される直流成分の低減は、液晶L
Cの寿命を向上し、液晶表示画面の切り替え時に前の画
像が残るいわゆる焼き付きを低減することができる。
[Expression 1] ΔVs = {Cgs / (Cgs + Cstg + Cpix)} × △
Vg where Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TFT.
Parasitic capacitance formed between T and the source electrode SD1, C
pix represents a capacitance formed between the pixel electrode PX and the counter electrode CT, and ΔVs represents a so-called feedthrough voltage corresponding to a change in the pixel electrode potential due to ΔVg. This change ΔVs causes a DC component applied to the liquid crystal LC, but the storage capacitance Cst
The larger the value of g, the smaller the value. The reduction of the DC component applied to the liquid crystal LC
The life of C can be improved, and so-called burn-in in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched can be reduced.

【0081】《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装
置の基板SUB1側の製造方法について図12〜図14
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図3に示す薄膜トランジス
タTFT部分、右側は図7に示すゲート端子付近の断面
形状でみた加工の流れを示す。
<< Manufacturing Method >> Next, a method of manufacturing the liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described with reference to FIGS.
This will be described with reference to FIG. In the same figure, the letters at the center are abbreviations of the process names, and the left side shows the processing flow as viewed from the cross-sectional shape near the gate terminal shown in FIG.

【0082】工程B、工程Dを除き工程A〜工程Hは各
写真処理に対応して区分けしたもので、各工程のいずれ
の断面図も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを
除去した段階を示している。なお、写真処理とは本説明
ではフォトレジストの塗布からマスクを使用した選択露
光を経てそれを現像するまでの一連の作業を示すものと
し、繰返しの説明は避ける。以下区分けした工程に従っ
て、説明する。
Steps A to H except for Steps B and D are classified according to the respective photographic processes. Each of the cross-sectional views of each of the processes corresponds to the stage where the processing after the photographic process is completed and the photoresist is removed. Is shown. In the present description, photographic processing refers to a series of operations from application of a photoresist to selective exposure using a mask to development thereof, and a repeated description will be omitted. A description will be given below according to the divided steps.

【0083】工程A、図12 AN635ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基
板SUB1上に膜厚が3000ÅのAl−Pd、Al−
Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等からなる導電膜
g1をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン
酸と硝酸と氷酢酸との混酸液で導電膜g1を選択的にエ
ッチングする。それによって、ゲート電極GT、走査信
号線GL、対向電極CT、対向電圧信号線CL、電極P
L1、ゲート端子GTM、共通バスラインCBの第1導
電層、対向電極端子CTMの第1導電層、ゲート端子G
TMを接続する陽極酸化バスラインSHg(図示せず)
および陽極酸化バスラインSHgに接続された陽極酸化
パッド(図示せず)を形成する。
Step A, FIG. 12 A 3000 mm thick Al-Pd or Al-Pd film is formed on a lower transparent glass substrate SUB1 made of AN635 glass (trade name).
A conductive film g1 made of Si, Al—Ta, Al—Ti—Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film g1 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid, and glacial acetic acid. Thereby, the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode P
L1, gate terminal GTM, first conductive layer of common bus line CB, first conductive layer of counter electrode terminal CTM, gate terminal G
Anodizing bus line SHg for connecting TM (not shown)
Then, an anodic oxidation pad (not shown) connected to the anodic oxidation bus line SHg is formed.

【0084】工程B、図12 直接描画による陽極酸化マスクAOの形成後、3%酒石
酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調整した
溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した液から
なる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成電流密
度が0.5mA/cm2になるように調整する(定電流化
成)。次に所定のAl23膜厚が得られるのに必要な化
成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。その後こ
の状態で数10分保持することが望ましい(定電圧化
成)。これは均一なAl23膜を得る上で大事なことで
ある。それによって、導電膜g1を陽極酸化され、ゲー
ト電極GT、走査信号線GL、対向電極CT、対向電圧
信号線CLおよび電極PL1上に膜厚が1800Åの陽
極酸化膜AOFが形成される。
Step B, FIG. 12 After the formation of the anodic oxidation mask AO by direct writing, a solution in which 3% tartaric acid is adjusted to PH 6.25 ± 0.05 with ammonia and diluted 1: 9 with ethylene glycol liquid is used. The substrate SUB1 is immersed in an anodizing solution and adjusted so that the formation current density becomes 0.5 mA / cm 2 (constant current formation). Next, anodic oxidation is performed until the formation voltage 125 V necessary for obtaining a predetermined Al 2 O 3 film thickness is reached. Thereafter, it is desirable to hold this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is important for obtaining a uniform Al 2 O 3 film. Thereby, the conductive film g1 is anodized to form an anodic oxide film AOF having a thickness of 1800 ° on the gate electrode GT, the scanning signal line GL, the counter electrode CT, the counter voltage signal line CL, and the electrode PL1.

【0085】工程C、図12 膜厚が1400ÅのITO膜からなる透明導電膜g2を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で透明導電膜g2を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTMの最
上層、ドレイン端子DTMおよび対向電極端子CTMの
第2導電層を形成する。
Step C, FIG. 12 A transparent conductive film g2 made of an ITO film having a thickness of 1400 ° is provided by sputtering. After the photoprocessing, the transparent conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etchant to form the uppermost layer of the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, and the second conductive layer of the counter electrode terminal CTM. I do.

【0086】工程D、図13 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2200Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
Step D, FIG. 13 Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a Si nitride film having a thickness of 2200 °, and silane gas and hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a film. Is provided with a 2000 ° i-type amorphous Si film, and then a hydrogen gas and a phosphine gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a thickness of 300 °.

【0087】工程E、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
Step E, FIG. 13 After photographic processing, SF 6 and CC are used as dry etching gases.
Using l 4 , N (+) type amorphous Si film, i type amorphous Si
By selectively etching the film, islands of the i-type semiconductor layer AS are formed.

【0088】工程F、図13 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F, FIG. 13 After the photographic processing, the Si nitride film is selectively etched using SF 6 as a dry etching gas.

【0089】工程G、図14 膜厚が600ÅのCrからなる導電膜d1をスパッタリ
ングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−P
d、Al−Si、Al−Ta、Al−Ti−Ta等から
なる導電膜d2をスパッタリングにより設ける。写真処
理後、導電膜d2を工程Bと同様な液でエッチングし、
導電膜d1を工程Aと同様な液でエッチングし、映像信
号線DL、ソース電極SD1、ドレイン電極SD2、画
素電極PX、電極PL2、共通バスラインCBの第2導
電層、第3導電層およびドレイン端子DTMを短絡する
バスラインSHd(図示せず)を形成する。つぎに、ド
ライエッチング装置にCCl4、SF6を導入して、N
(+)型非晶質Si膜をエッチングすることにより、ソー
スとドレイン間のN(+)型半導体層d0を選択的に除去
する。
Step G, FIG. 14 A conductive film d1 made of Cr having a thickness of 600 .ANG. Is provided by sputtering, and an Al-P film having a thickness of 4000 .ANG.
A conductive film d2 made of d, Al-Si, Al-Ta, Al-Ti-Ta, or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the conductive film d2 is etched with the same liquid as in Step B,
The conductive film d1 is etched with the same liquid as in step A, and the video signal line DL, the source electrode SD1, the drain electrode SD2, the pixel electrode PX, the electrode PL2, the second conductive layer, the third conductive layer and the drain of the common bus line CB are formed. A bus line SHd (not shown) for short-circuiting the terminal DTM is formed. Next, CCl 4 and SF 6 were introduced into the dry etching apparatus,
By etching the (+) type amorphous Si film, the N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0090】工程H、図14 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。
Step H, FIG. 14 An ammonia gas, a silane gas, and a nitrogen gas are introduced into a plasma CVD apparatus to form a 1 μm-thick Si nitride film. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo etching technique using SF 6 as a dry etching gas.

【0091】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図15は、図5等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路Hと垂直走査回路Vを接続した状態を示す
上面図である。
<< Display Panel PNL and Drive Circuit Board PCB
1 >> FIG. 15 is a top view showing a state where the video signal driving circuit H and the vertical scanning circuit V are connected to the display panel PNL shown in FIG.

【0092】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の5個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左の10個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図16、図17で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサ等が実装された駆動回路基板で、映像信号駆動回路
用と走査信号駆動回路用の2つに分割されている。FG
Pはフレームグランドパッドであり、シールドケースS
HDに切り込んで設けられたバネ状の破片が半田付けさ
れる。FCは下側の駆動回路基板PCB1と左側の駆動
回路基板PCB1を電気的に接続するフラットケーブル
である。フラットケーブルFCとしては図に示すよう
に、複数のリード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施し
たもの)をストライプ状のポリエチレン層とポリビニル
アルコール層とでサンドイッチして支持したものを使用
する。
CHI is a driving IC chip for driving the display panel PNL (the lower five are driving ICs on the vertical scanning circuit side)
The left and right chips are the driving I on the video signal driving circuit side.
C chip). TCP is a tape carrier package in which a driving IC chip CHI is mounted by a tape automated bonding method (TAB), as will be described later with reference to FIGS. 16 and 17, and PCB1 is a driving circuit in which the above-described TCP, capacitors and the like are mounted. The substrate is divided into two, one for a video signal drive circuit and one for a scan signal drive circuit. FG
P is a frame ground pad, and a shield case S
A spring-shaped fragment provided by cutting into the HD is soldered. FC is a flat cable that electrically connects the lower drive circuit board PCB1 and the left drive circuit board PCB1. As shown in the drawing, a flat cable FC is used in which a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) are sandwiched and supported by a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer.

【0093】《TCPの接続構造》図16は走査信号駆
動回路Vや映像信号駆動回路Hを構成する、集積回路チ
ップCHIがフレキシブル配線基板に搭載されたテープ
キャリアパッケージTCPの断面構造を示す図であり、
図17はそれを液晶表示パネルの、本例では走査信号回
路用端子GTMに接続した状態を示す要部断面図であ
る。
<< Connection Structure of TCP >> FIG. 16 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP which forms the scanning signal drive circuit V and the video signal drive circuit H and has the integrated circuit chip CHI mounted on a flexible wiring board. Yes,
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part of the liquid crystal display panel, showing a state where it is connected to a scanning signal circuit terminal GTM in this example.

【0094】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB、T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子GTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子GTM(DTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring portion of the integrated circuit CHI, which is made of, for example, Cu. ) Is the integrated circuit C
The HI bonding pads PAD are connected by a so-called face-down bonding method. Terminal TTB, T
The outer ends (commonly called outer leads) of the TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI, respectively.
CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit S by soldering
A liquid crystal display panel P is formed on the UP by using an anisotropic conductive film ACF.
NL. The package TCP has a protective film PS whose leading end exposes the connection terminal GTM on the panel PNL side.
Since the external connection terminal GTM (DTM) is covered with at least one of the protective film PSV1 and the package TCP, the external connection terminal GTM (DTM) is covered with the panel so as to cover V1.

【0095】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking so that solder does not stick to unnecessary portions during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is washed and protected by an epoxy resin EPX or the like, and the space between the package TCP and the upper substrate SUB2 is further filled with a silicone resin SIL to multiplex protection.

【0096】《駆動回路基板PCB2》駆動回路基板P
CB2は、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載
されている。この駆動回路基板PCB2には、1つの電
圧源から複数の分圧した安定化された電圧源を得るため
の電源回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCR
T(陰極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報
に変換する回路を含む回路SUPが搭載されている。C
Jは外部と接続される図示しないコネクタが接続される
コネクタ接続部である。駆動回路基板PCB1と駆動回
路基板PCB2とはフラットケーブルFCにより電気的
に接続されている。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Drive Circuit Board P
The CB2 has electronic components such as an IC, a capacitor, and a resistor mounted thereon. The drive circuit board PCB2 includes a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and a CR (Crystal Control Unit) from a host (upper processing unit).
A circuit SUP including a circuit for converting information for T (cathode ray tube) into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. C
J is a connector connection portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected. The drive circuit board PCB1 and the drive circuit board PCB2 are electrically connected by a flat cable FC.

【0097】《液晶表示モジュールの全体構成》図18
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。SHDは金属板から成る枠状のシールド
ケース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNL
は液晶表示パネル、SPBは光拡散板、LCBは導光
体、RMは反射板、BLはバックライト蛍光管、LCA
はバックライトケースであり、図に示すような上下の配
置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが組
み立てられる。
<< Overall Configuration of Liquid Crystal Display Module >> FIG.
FIG. 3 is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal display module MDL. SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of metal plate, LCW display window, PNL
Is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, LCB is a light guide, RM is a reflection plate, BL is a backlight fluorescent tube, LCA
Reference numeral denotes a backlight case, and the respective members are stacked in a vertical arrangement as shown in the figure to assemble a module MDL.

【0098】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪とフックによって全体が固定されるよ
うになっている。バックライトケースLCAはバックラ
イト蛍光管BL、光拡散板SPB光拡散板、導光体LC
B、反射板RMを収納する形状になっており、導光体L
CBの側面に配置されたバックライト蛍光管BLの光
を、導光体LCB、反射板RM、光拡散板SPBにより
表示面で一様なバックライトにし、液晶表示パネルPN
L側に出射する。バックライト蛍光管BLにはインバー
タ回路基板PCB3が接続されており、バックライト蛍
光管BLの電源となっている。
The module MDL is a shield case SH
The entirety is fixed by claws and hooks provided on D. The backlight case LCA includes a backlight fluorescent tube BL, a light diffusion plate SPB light diffusion plate, and a light guide LC.
B, a shape for storing the reflection plate RM, and the light guide L
The light of the backlight fluorescent tube BL arranged on the side surface of the CB is made uniform on the display surface by the light guide LCB, the reflection plate RM, and the light diffusion plate SPB, and the liquid crystal display panel PN is formed.
Light is emitted to the L side. An inverter circuit board PCB3 is connected to the backlight fluorescent tube BL, and serves as a power supply for the backlight fluorescent tube BL.

【0099】以上本発明を実施の形態に基づいて具体的
に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変
更可能であることは勿論である。本発明は、横電界方式
のアクティブマトリックス方式の液晶表示装置に適用し
た例を示したが、縦電界方式やCOG(チップオンガラ
ス)方式の液晶表示装置にも、また、単純マトリックス
方式の液晶表示装置にも適用可能なことは言うまでもな
い。
Although the present invention has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and it is needless to say that various changes can be made without departing from the gist of the present invention. It is. Although the present invention has been described with respect to an example in which the present invention is applied to a horizontal electric field type active matrix type liquid crystal display device, the present invention is also applicable to a vertical electric field type or COG (chip-on-glass) type liquid crystal display device. It goes without saying that the present invention can be applied to an apparatus.

【0100】[0100]

【発明の効果】以上説明したように、本発明による液晶
表示装置によれば、シール材の接着力を向上することが
できるため、シール材剥がれを防止することができ、信
頼性が向上する。
As described above, according to the liquid crystal display device of the present invention, since the adhesive force of the sealing material can be improved, peeling of the sealing material can be prevented, and the reliability is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー液
晶表示装置の液晶表示部の一画素とその周辺を示す要部
平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a principal part showing one pixel of a liquid crystal display unit and its periphery in an active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図2】図1の3−3切断線における画素の断面図であ
る。
FIG. 2 is a sectional view of a pixel taken along section line 3-3 in FIG. 1;

【図3】図1の4−4切断線における薄膜トランジスタ
素子TFTの断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of the thin film transistor element TFT taken along section line 4-4 in FIG. 1;

【図4】図1の5−5切断線における蓄積容量Cstgの
断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the storage capacitor Cstg taken along section line 5-5 in FIG. 1;

【図5】表示パネルのマトリックス周辺部の構成を説明
するための平面図である。
FIG. 5 is a plan view for describing a configuration of a matrix peripheral portion of a display panel.

【図6】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の無
いパネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a scanning signal terminal on the left side and a panel edge portion without an external connection terminal on the right side.

【図7】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部近
辺を示す平面と断面の図である。
FIG. 7 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.

【図8】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接続
部付近を示す平面と断面の図である。
FIG. 8 is a plan and cross-sectional view showing the vicinity of a connection between a drain terminal DTM and a video signal line DL.

【図9】共通電極端子CTM、共通バスラインCBおよ
び共通電圧信号線CLの接続部付近を示す平面と断面の
図である。
FIG. 9 is a plan view and a sectional view showing the vicinity of a connection portion of a common electrode terminal CTM, a common bus line CB, and a common voltage signal line CL.

【図10】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置のマトリックス部とその周辺を含む回路図
である。
FIG. 10 is a circuit diagram including a matrix portion and its periphery of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図11】本発明のアクティブ・マトリックス型カラー
液晶表示装置の駆動波形を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing driving waveforms of the active matrix type color liquid crystal display device of the present invention.

【図12】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 12 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes A to C on the substrate SUB1 side.

【図13】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 13 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing processes of processes D to F on the substrate SUB1 side.

【図14】基板SUB1側の工程G〜Hの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 14 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes G to H on the substrate SUB1 side.

【図15】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
FIG. 15 is a top view showing a state where peripheral driving circuits are mounted on the liquid crystal display panel.

【図16】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
FIG. 16 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI constituting a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図17】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの走査信号回路用端子GTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
FIG. 17 is a cross-sectional view of a main part showing a state where the tape carrier package TCP is connected to a scanning signal circuit terminal GTM of the liquid crystal display panel PNL.

【図18】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 18 is an exploded perspective view of the liquid crystal display module.

【図19】図6のA部の拡大図である。19 is an enlarged view of a portion A in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SUB…透明ガラス基板、GL…走査信号線、DL…映
像信号線、CL…対向電圧信号線、PX…画素電極、C
T…対向電極、GI…絶縁膜、GT…ゲート電極、AS
…i型半導体層、SD…ソース電極またはドレイン電
極、PSV…保護膜、BM…遮光膜、LC…液晶、TF
T…薄膜トランジスタ、g,d…導電膜、Cstg…蓄積
容量、AOF…陽極酸化膜、AO…陽極酸化マスク、G
TM…ゲート端子、DTM…ドレイン端子、CB…共通
バスライン、DTM…共通電極端子、SHD…シールド
ケース、PNL…液晶表示パネル、SPB…光拡散板、
LCB…導光体、BL…バックライト蛍光管、LCA…
バックライトケース、RM…反射板、UEN…凹凸、S
AA…シール材塗布部(以上添字省略)。
SUB: transparent glass substrate, GL: scanning signal line, DL: video signal line, CL: counter voltage signal line, PX: pixel electrode, C
T: counter electrode, GI: insulating film, GT: gate electrode, AS
... i-type semiconductor layer, SD: source or drain electrode, PSV: protective film, BM: light shielding film, LC: liquid crystal, TF
T: thin film transistor, g, d: conductive film, Cstg: storage capacitor, AOF: anodized film, AO: anodized mask, G
TM: gate terminal, DTM: drain terminal, CB: common bus line, DTM: common electrode terminal, SHD: shield case, PNL: liquid crystal display panel, SPB: light diffusion plate,
LCB: Light guide, BL: Backlight fluorescent tube, LCA:
Backlight case, RM: reflector, UEN: unevenness, S
AA: Sealing material application section (subscripts are omitted above).

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶を介して対向配置される一対の透明
基板と、これら一方の透明基板側に対する他方の透明基
板側の固着とともに該液晶を封入するシール材とを備
え、 このシール材が接着される透明基板側の面が、少なくと
も該シール材の接着部分の一部において、粗面になって
いることを特徴とする液晶表示装置。
1. A liquid crystal display device comprising: a pair of transparent substrates opposed to each other with a liquid crystal interposed therebetween; and a sealing member for sealing the liquid crystal together with the fixing of the other transparent substrate to the one transparent substrate side. A liquid crystal display device, characterized in that the surface on the side of the transparent substrate is roughened at least in a part of the bonding portion of the sealing material.
【請求項2】 シール材が接着される透明基板の面が、
該シール材の接着部分の全部において、粗面になってい
ることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置。
2. A transparent substrate to which a sealing material is adhered,
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the entire surface of the sealing material has a rough surface.
【請求項3】 粗面は凹凸加工された面として形成され
ていることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装
置。
3. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein the rough surface is formed as an uneven surface.
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