JPH06265922A - Liquid crystal display device - Google Patents

Liquid crystal display device

Info

Publication number
JPH06265922A
JPH06265922A JP5191293A JP5191293A JPH06265922A JP H06265922 A JPH06265922 A JP H06265922A JP 5191293 A JP5191293 A JP 5191293A JP 5191293 A JP5191293 A JP 5191293A JP H06265922 A JPH06265922 A JP H06265922A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
film
liquid crystal
crystal display
rubber layer
conductive rubber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP5191293A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
正典 ▼高▲森
Masanori Takamori
Shiro Ueda
史朗 上田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Japan Display Inc
Original Assignee
Hitachi Device Engineering Co Ltd
Hitachi Ltd
Hitachi Consumer Electronics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Device Engineering Co Ltd, Hitachi Ltd, Hitachi Consumer Electronics Co Ltd filed Critical Hitachi Device Engineering Co Ltd
Priority to JP5191293A priority Critical patent/JPH06265922A/en
Publication of JPH06265922A publication Critical patent/JPH06265922A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reinforce a ground line, to enhance assembly workability and to prevent short-circuiting by electrically conducting a part of the ground line and the inside surface of a metallic shielding cse via a conductive rubber layer inserted between this ground line and the inside surface of the shielding case. CONSTITUTION:This liquid crystal display device is provided with the conductive rubber layer ECG for electrically connecting a frame ground pad FGP and the metallic shielding case SHD and is provided with a projecting part CV integrally with the metallic shielding case SHD at the point where the inside surface of the metallic shielding case SHD comes into contact with the conductive rubber layer ECG. Namely, the conductive rubber layer ECG is clamped between the frame ground pad FGP formed on the surface of a driving circuit substrate PCB(printed circuit board) and electrically connected to the ground line and the inside surface of the shielding case SHD.The frame ground pad FGP and the shielding case SHD are electrically conducted to each other via this conductive rubber layer ECG.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、アクティブ・マトリク
ス方式または単純マトリクス方式の液晶表示装置に係
り、特に、安定したグランドラインを容易に供給し得る
液晶表示装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an active matrix type or a simple matrix type liquid crystal display device, and more particularly to a liquid crystal display device which can easily supply a stable ground line.

【0002】[0002]

【従来の技術】アクティブ・マトリクス方式の液晶表示
装置は、マトリクス状に配列された複数の画素電極のそ
れぞれに対応して非線形素子(スイッチング素子)を設
けたものである。各画素における液晶は理論的には常時
駆動(デューティ比 1.0)されているので、時分割駆動
方式を採用している、いわゆる単純マトリクス方式と比
べてアクティブ方式はコントラストが良く、特にカラー
液晶表示装置では欠かせない技術となりつつある。スイ
ッチング素子として代表的なものとしては薄膜トランジ
スタ(TFT)がある。
2. Description of the Related Art An active matrix type liquid crystal display device is provided with a non-linear element (switching element) corresponding to each of a plurality of pixel electrodes arranged in a matrix. Since the liquid crystal in each pixel is theoretically always driven (duty ratio 1.0), the active system has better contrast than the so-called simple matrix system, which employs the time-division driving system, and especially the color liquid crystal display device. Then it is becoming an indispensable technology. A typical example of the switching element is a thin film transistor (TFT).

【0003】例えば、液晶表示装置は、透明導電膜から
なる画素電極と配向膜等を積層した面がそれぞれ対向す
るように所定の間隔を隔てて上部透明ガラス基板と下部
透明ガラス基板とを重ね合わせ、両基板間の縁周囲に設
けたシール材により、両基板を貼り合わせると共に両基
板間に液晶を封止し、さらに両基板の外側に偏光板を設
置または貼り付けてなる液晶表示素子と、該液晶表示素
子の3辺の外側に配置され、液晶表示素子の駆動回路を
有する駆動回路基板と、液晶表示素子の下に配置され、
液晶表示素子に光を供給するバックライトと、これらの
各部材を保持するモールド成型品である枠状体と、これ
らの各部材を収納し、液晶表示窓があけられた金属製シ
ールドケース(フレーム)等を含んで構成されている。
For example, in a liquid crystal display device, an upper transparent glass substrate and a lower transparent glass substrate are superposed on each other with a predetermined gap so that the surfaces on which a pixel electrode made of a transparent conductive film and an alignment film are laminated face each other. A liquid crystal display element in which both substrates are bonded to each other and a liquid crystal is sealed between both substrates by a sealing material provided around the edge between the two substrates, and a polarizing plate is installed or bonded to the outside of both substrates, A driving circuit board disposed outside the three sides of the liquid crystal display element and having a driving circuit for the liquid crystal display element, and disposed below the liquid crystal display element,
A backlight that supplies light to the liquid crystal display element, a frame-shaped body that is a molded product that holds each of these members, and a metal shield case (frame that houses each of these members and has a liquid crystal display window) ) And the like are included.

【0004】なお、薄膜トランジスタを使用したアクテ
ィブ・マトリクス方式の液晶表示装置は、例えば特開昭
63−309921号公報や、「冗長構成を採用した1
2.5型アクティブ・マトリクス方式カラー液晶ディスプ
レイ」、日経エレクトロニクス、頁193〜210、1986年12
月15日、日経マグロウヒル社発行、で知られている。
An active matrix type liquid crystal display device using thin film transistors is disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 63-309921, "1.
2.5-inch active matrix color LCD ", Nikkei Electronics, pages 193-210, 1986 12
Known on the 15th of March, published by Nikkei McGraw-Hill, Inc.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】液晶表示装置の液晶表
示素子の高精細化に伴って、液晶表示素子の駆動回路が
形成されたPCB(プリンティド サーキット ボード)
やFPC(フレキシブルプリンティド サーキット)等
の駆動回路基板は高密度に配線され、電子部品が高密度
に実装される傾向にあるが、高密度配線、高密度部品実
装の両面駆動回路基板の場合、駆動回路基板の配線パタ
ーン形成のために許される面積が減少し、駆動回路基板
上に形成されるグランドラインを充分広く取ることが困
難となっている。グランドラインが充分広く取れない
と、装置の外部から侵入するノイズや装置の内部で発生
するノイズにより、安定した表示品質が得られなかった
り、EMI(エレクトロ マグネティック インタフィア
レンス)を引き起こす不要な輻射電波が発生するという
問題がある。なお、液晶表示装置の駆動周波数は年々高
くなっており、ノイズの防止は特に重要となっている。
A PCB (Printed Circuit Board) in which a drive circuit for a liquid crystal display element is formed in accordance with the higher definition of the liquid crystal display element of a liquid crystal display device.
Drive circuit boards such as FPCs (Flexible Printed Circuits) are wired in high density, and electronic parts tend to be mounted in high density. The area allowed for forming the wiring pattern of the drive circuit board is reduced, and it is difficult to make the ground line formed on the drive circuit board sufficiently wide. If the ground line is not wide enough, noise that enters from the outside of the device or noise that is generated inside the device may not provide stable display quality, or unnecessary radiated radio waves that cause EMI (electro magnetic interference). There is a problem that occurs. The drive frequency of the liquid crystal display device is increasing year by year, and prevention of noise is particularly important.

【0006】この問題を解決するために、駆動回路基板
の面上に形成され、グランドラインに電気的に接続され
たフレームグランドパッドと、金属製シールドケースと
をリード線を介して半田付けにより電気的に接続する
か、あるいは金属製シールドケースに切り込みを設けて
該シールドケースと一体に設けた爪を上記フレームグラ
ンドパッドに半田付けにより直接固定して電気的に接続
し、グランドライン、すなわち、交流接地電位をインピ
ーダンスが十分に低い金属製シールドケースに接続する
ことにより、高周波領域におけるグランドラインを強化
することが行なわれている。
In order to solve this problem, a frame ground pad formed on the surface of the drive circuit board and electrically connected to the ground line and a metal shield case are electrically connected by soldering via lead wires. Or the metal shield case is provided with a notch and the claw provided integrally with the shield case is directly fixed to the frame ground pad by soldering to electrically connect the ground line, that is, the alternating current. By connecting the ground potential to a metal shield case having a sufficiently low impedance, the ground line in the high frequency region is strengthened.

【0007】リード線やシールドケースの爪を用いてシ
ールドケースとフレームグランドパッドとを接続する方
法では、接続の作業性が悪く、また、半田付け作業の
際、半田材料から成る粒(以下、半田ボールと称す)が
発生する場合がある。半田ボールが発生すると、該半田
ボールが駆動回路内に入り込み、ショートが発生するこ
とがある。
In the method of connecting the shield case and the frame ground pad by using the lead wire or the claw of the shield case, the workability of the connection is poor, and at the time of the soldering work, the particles made of the solder material (hereinafter, solder Called a ball) may occur. When a solder ball is generated, the solder ball may enter the drive circuit and cause a short circuit.

【0008】本発明の目的は、安定したグランドライン
を有し、外部から侵入したり装置の内部で発生するノイ
ズの影響を除き、安定した表示品質が得られ、かつ、E
MIを引き起こす不要な輻射電波の発生を抑制できる液
晶表示装置を提供することにある。
An object of the present invention is to have a stable ground line, to obtain a stable display quality by removing the influence of noise that intrudes from the outside or generated inside the device, and E
An object of the present invention is to provide a liquid crystal display device capable of suppressing the generation of unnecessary radiated radio waves that cause MI.

【0009】本発明の別の目的は、駆動回路基板のグラ
ンドラインと金属製シールドケースとの接続作業性が良
く、また、ショートの原因となる半田ボールが発生しな
い液晶表示装置を提供することにある。
Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device in which the workability of connecting the ground line of the drive circuit board and the metal shield case is good, and solder balls which cause short circuits are not generated. is there.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、PCBやFPC等の駆動回路基板の面
上に設けたグランドラインの一部(グランドライン自体
でもよいし、また、グランドラインと電気的に接続され
たフレームグランドパッドでもよい)と、金属性シール
ドケースの内面との間に導電ゴム層を挟ませ、該導電ゴ
ム層を介してグランドラインとシールドケースとを電気
的に導通させた液晶表示装置を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides a part of a ground line (the ground line itself may be provided, or a part of the ground line provided on the surface of a drive circuit board such as PCB or FPC. , A frame ground pad that is electrically connected to the ground line) and the inner surface of the metallic shield case, and a conductive rubber layer is sandwiched between the ground line and the shield case via the conductive rubber layer. Provided is a liquid crystal display device which is electrically connected.

【0011】また、本発明は、金属性シールドケースの
内面の導電ゴム層と接触する該導電ゴム層の実装箇所に
凸部を設けた液晶表示装置を提供する。
The present invention also provides a liquid crystal display device, wherein a convex portion is provided at a mounting portion of the conductive rubber layer which is in contact with the conductive rubber layer on the inner surface of the metallic shield case.

【0012】[0012]

【作用】本発明では、駆動回路基板のグランドラインと
金属性シールドケースとを電気的に接続したので、高周
波領域におけるグランドラインが強化され、安定したグ
ランドラインを供給することができる。従って、外部か
ら侵入したり内部で発生するノイズの影響を除くことが
できるので、安定した表示品質が得られ、かつ、EMI
を引き起こす不要な輻射電波の発生を抑制することがで
きる。また、グランドラインと金属性シールドケースと
を導電ゴム層を介して接続するので、接続作業性が良
く、また、半田付けによらないので、ショートの原因と
なる半田ボールが発生しない。
In the present invention, since the ground line of the drive circuit board and the metallic shield case are electrically connected, the ground line in the high frequency region is reinforced and a stable ground line can be supplied. Therefore, it is possible to eliminate the influence of noise that intrudes from the outside or that is generated inside, so that stable display quality can be obtained and EMI can be obtained.
It is possible to suppress the generation of unnecessary radiated radio waves that cause noise. Further, since the ground line and the metallic shield case are connected via the conductive rubber layer, the connection workability is good, and since soldering is not used, solder balls that cause short circuits do not occur.

【0013】さらに、金属性シールドケースの内面の導
電ゴム層の実装箇所に凸部を設けたことにより、導電ゴ
ム層の実装の作業性と導電ゴム層の圧着性を向上でき
る。
Further, by providing a convex portion on the inner surface of the metallic shield case where the conductive rubber layer is mounted, the workability of mounting the conductive rubber layer and the pressure-bonding property of the conductive rubber layer can be improved.

【0014】[0014]

【実施例】本発明、本発明の更に他の目的及び本発明の
更に他の特徴は図面を参照した以下の説明から明らかと
なるであろう。
The invention, further objects of the invention and further features of the invention will be apparent from the following description with reference to the drawings.

【0015】図1(a)は、本発明の一実施例の液晶表
示装置の要部(グランドラインとシールドケースとの接
続部)断面図である。図1(b)、(c)は、本発明と
比較するために従来技術を示した図である。すなわち、
図1(b)は、金属製シールドケースと一体に設けた爪
を半田付けにより接続した従来の液晶表示装置の斜視
図、図1(c)は、図1(a)に対応する従来の液晶表
示装置の要部断面図(グランドラインとシールドケース
との接続部、すなわち、図1(b)のA部)である。
FIG. 1A is a sectional view of a main part (a connecting part between a ground line and a shield case) of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 1 (b) and 1 (c) are diagrams showing a conventional technique for comparison with the present invention. That is,
1B is a perspective view of a conventional liquid crystal display device in which a claw integrally provided with a metal shield case is connected by soldering, and FIG. 1C is a conventional liquid crystal display device corresponding to FIG. 1 is a cross-sectional view of a main part of a display device (a connecting portion between a ground line and a shield case, that is, a portion A in FIG. 1B).

【0016】図において、SHDは金属製シールドケー
ス、PCBはPCB(プリンティドサーキット ボー
ド)からなる駆動回路基板、FGPは駆動回路基板PC
Bの面上に形成されたグランドライン(図示省略)と電
気的に接続され、同じく駆動回路基板PCBの面上に形
成されたフレームグランドパッド(図17参照)、MF
Rは駆動回路基板PCB等を保持するモールド成型によ
り形成された中間フレーム(枠状体。図16参照)であ
る。
In the figure, SHD is a metal shield case, PCB is a drive circuit board composed of a PCB (Printed Circuit Board), and FGP is a drive circuit board PC.
A frame ground pad (see FIG. 17) electrically connected to a ground line (not shown) formed on the surface of B, and also formed on the surface of the drive circuit board PCB (see FIG. 17).
R is an intermediate frame (frame-shaped body, see FIG. 16) formed by molding for holding the drive circuit board PCB and the like.

【0017】図1(a)において、ECGは、フレーム
グランドパッドFGPと金属製シールドケースSHDと
を電気的に接続する導電ゴム層、CVは金属性シールド
ケースSHDの内面の導電ゴム層ECGと接触する箇所
に金属性シールドケースSHDと一体に設けた凸部であ
る。
In FIG. 1A, ECG is a conductive rubber layer for electrically connecting the frame ground pad FGP and the metal shield case SHD, and CV is a contact with the conductive rubber layer ECG on the inner surface of the metal shield case SHD. It is a convex portion integrally provided with the metallic shield case SHD at a portion to be formed.

【0018】図1(b)において、MDLは液晶表示モ
ジュール、LCWは表示窓、PNLは液晶表示パネル、
NLは金属製シールドケースSHDと一体に設けた爪で
ある。
In FIG. 1B, MDL is a liquid crystal display module, LCW is a display window, PNL is a liquid crystal display panel,
NL is a claw provided integrally with the metal shield case SHD.

【0019】図1(c)において、SOLは金属性シー
ルドケースSHDの爪NLをフレームグランドパッドF
GPに接続するための半田付け部である。
In FIG. 1C, SOL is the claw NL of the metallic shield case SHD and the frame ground pad F.
It is a soldering part for connecting to the GP.

【0020】まず、図1(b)、(c)を参照して従来
技術について説明すると、液晶表示モジュールMDLに
おいて、シールドケースSHDに「コ」の字状の開口を
切り込むことにより形成された四角い開口部中に伸びる
細長い突起部である複数個の爪NLが、モジュールMD
L内部に向かう方向に折り曲げられ、駆動回路基板PC
Bのグランドラインが接続されたフレームグランドパッ
ドFGPに半田付けにより固定、接続され、フレームグ
ランドパッドFGPとシールドケースSHDとを電気的
に接続していた。
First, the prior art will be described with reference to FIGS. 1B and 1C. In the liquid crystal display module MDL, a rectangular shape formed by cutting a U-shaped opening in the shield case SHD. The plurality of claws NL, which are elongated protrusions extending into the opening, are provided in the module MD.
The drive circuit board PC is bent in the direction toward the inside of L
The frame ground pad FGP, to which the B ground line is connected, is fixed and connected by soldering, and the frame ground pad FGP and the shield case SHD are electrically connected.

【0021】従って、フレームグランドパッドFGPと
シールドケースSHDとを接続するのに、複数個の爪N
Lを一々半田付けするので、非常に時間がかかり、作業
性が悪い問題があり、また、半田付け作業の際、半田材
料から成る半田ボールが発生し、この半田ボールが駆動
回路内に入り込むと、ショートが発生することがある問
題があった。
Therefore, in order to connect the frame ground pad FGP and the shield case SHD, a plurality of claws N are used.
Since L is soldered one by one, there is a problem that it takes a very long time and the workability is poor. Further, when soldering work, a solder ball made of a solder material is generated, and if this solder ball gets into the drive circuit, There was a problem that a short circuit might occur.

【0022】本発明による図1(a)に示す本実施例で
は、駆動回路基板PCBの面上に形成され、グランドラ
インと電気的に接続されたフレームグランドパッドFG
Pと、シールドケースSHDの内面との間に導電ゴム層
ECGを挟ませ、この導電ゴム層ECGを介することに
よりフレームグランドパッドFGPとシールドケースS
HDとの電気的導通が取られている。
In the present embodiment shown in FIG. 1A according to the present invention, a frame ground pad FG formed on the surface of the drive circuit board PCB and electrically connected to the ground line.
A conductive rubber layer ECG is sandwiched between P and the inner surface of the shield case SHD, and the frame ground pad FGP and the shield case S are sandwiched by the conductive rubber layer ECG.
Electrical connection with the HD is established.

【0023】従って、高周波領域におけるグランドライ
ンが強化され、安定したグランドラインを供給すること
ができるので、外部から侵入したり内部で発生するノイ
ズの影響を除くことができるので、安定した表示品質が
得られ、かつ、EMIを引き起こす不要な輻射電波の発
生を抑制することができる。また、フレームグランドパ
ッドFGPとシールドケースSHDとを導電ゴム層EC
Gを介して接続するので、接続作業性が良く、また、半
田付けによらないので、ショートの原因となる半田ボー
ルが発生しない。なお、フレームグランドパッドFGP
を特別設けないで、太さの太いグランドラインの一部に
直接導電ゴム層ECGを接続してもよい。従って、従来
の爪NLを用いる場合と比較して容易に接続が可能で、
接続の場所を選ぶ自由度、すなわち、駆動回路基板PC
BのグランドラインあるいはフレームグランドパッドF
GPの設計の自由度が向上できる。
Therefore, the ground line in the high frequency region is reinforced and a stable ground line can be supplied, so that the influence of noise invading from the outside or internally generated can be eliminated, and stable display quality can be obtained. It is possible to suppress the generation of unnecessary radiated radio waves that are obtained and cause EMI. Further, the frame ground pad FGP and the shield case SHD are connected to each other by the conductive rubber layer EC.
Since the connection is made via G, the connection workability is good, and since soldering is not used, solder balls that cause short circuits do not occur. The frame ground pad FGP
It is also possible to directly connect the conductive rubber layer ECG to a part of the thick ground line without specially providing. Therefore, compared to the case of using the conventional nail NL, it is possible to easily connect,
The degree of freedom to choose the place of connection, that is, the drive circuit board PC
B ground line or frame ground pad F
The degree of freedom in GP design can be improved.

【0024】また、シールドケースSHDの内面の導電
ゴム層ECGと接触する該導電ゴム層ECGの実装箇所
に凸部CVを設けたので、導電ゴム層ECGの実装の作
業性および導電ゴム層ECGの圧着性が良い。なお、凸
部CVを必ずしも設けなくてもよい。また、導電ゴム層
ECGの位置決め用に、凸部CVと反対の凹部を設けて
も良い。さらに、本実施例では、駆動回路基板PCBと
してPCBを用いたが、柔軟なFPCを用いてもよい。
また、導電ゴム層ECGを所定の位置に固定するのに、
シールドケースSHD側、駆動回路基板PCB側の少な
くとも一方に両面テープ(図示省略)を用いても良い。
Further, since the convex portion CV is provided at the mounting portion of the conductive rubber layer ECG which is in contact with the conductive rubber layer ECG on the inner surface of the shield case SHD, the workability of mounting the conductive rubber layer ECG and the conductive rubber layer ECG are improved. Good crimpability. The convex portion CV does not necessarily have to be provided. Further, a concave portion opposite to the convex portion CV may be provided for positioning the conductive rubber layer ECG. Further, in this embodiment, the PCB is used as the drive circuit board PCB, but a flexible FPC may be used.
Also, to fix the conductive rubber layer ECG in place,
A double-sided tape (not shown) may be used on at least one of the shield case SHD side and the drive circuit board PCB side.

【0025】《アクティブ・マトリクス液晶表示装置》
以下、アクティブ・マトリクス方式のカラー液晶表示装
置にこの発明を適用した実施例を説明する。なお、以下
説明する図面で、同一機能を有するものは同一符号を付
け、その繰り返しの説明は省略する。
<< Active Matrix Liquid Crystal Display Device >>
An embodiment in which the present invention is applied to an active matrix type color liquid crystal display device will be described below. In the drawings described below, components having the same function are designated by the same reference numeral, and repeated description thereof will be omitted.

【0026】《マトリクス部の概要》図2はこの発明が
適用されるアクティブ・マトリクス方式カラー液晶表示
装置の一画素とその周辺を示す平面図、図3は図2の3
−3切断線における断面を示す図、図4は図2の4−4
切断線における断面図である。
<< Outline of Matrix Unit >> FIG. 2 is a plan view showing one pixel and its periphery of an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied, and FIG.
-3 is a view showing a section taken along a cutting line, and FIG.
It is sectional drawing in a cutting line.

【0027】図2に示すように、各画素は隣接する2本
の走査信号線(ゲート信号線または水平信号線)GL
と、隣接する2本の映像信号線(ドレイン信号線または
垂直信号線)DLとの交差領域内(4本の信号線で囲ま
れた領域内)に配置されている。各画素は薄膜トランジ
スタTFT、透明画素電極ITO1および保持容量素子
Caddを含む。走査信号線GLは図では左右方向に延在
し、上下方向に複数本配置されている。映像信号線DL
は上下方向に延在し、左右方向に複数本配置されてい
る。
As shown in FIG. 2, each pixel has two adjacent scanning signal lines (gate signal lines or horizontal signal lines) GL.
And an adjacent two video signal lines (drain signal line or vertical signal line) DL are intersected with each other (in a region surrounded by four signal lines). Each pixel includes a thin film transistor TFT, a transparent pixel electrode ITO1 and a storage capacitor element Cadd. The scanning signal lines GL extend in the left-right direction in the figure, and a plurality of scanning signal lines GL are arranged in the vertical direction. Video signal line DL
Extend in the up-down direction and are arranged in the left-right direction.

【0028】図3に示すように、液晶層LCを基準にし
て下部透明ガラス基板SUB1側には薄膜トランジスタ
TFTおよび透明画素電極ITO1が形成され、上部透
明ガラス基板SUB2側にはカラーフィルタFIL、遮
光用ブラックマトリクスパターンBMが形成されてい
る。透明ガラス基板SUB1、SUB2の両面にはディ
ップ処理等によって形成された酸化シリコン膜SIOが
設けられている。
As shown in FIG. 3, a thin film transistor TFT and a transparent pixel electrode ITO1 are formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side with respect to the liquid crystal layer LC, and a color filter FIL and a light-shielding film are provided on the upper transparent glass substrate SUB2 side. A black matrix pattern BM is formed. Silicon oxide films SIO formed by dipping or the like are provided on both surfaces of the transparent glass substrates SUB1 and SUB2.

【0029】上部透明ガラス基板SUB2の内側(液晶
LC側)の表面には、遮光膜BM、カラーフィルタFI
L、保護膜PSV2、共通透明画素電極ITO2(CO
M)および上部配向膜ORI2が順次積層して設けられ
ている。
On the inner surface (liquid crystal LC side) of the upper transparent glass substrate SUB2, a light shielding film BM and a color filter FI are provided.
L, protective film PSV2, common transparent pixel electrode ITO2 (CO
M) and the upper alignment film ORI2 are sequentially stacked.

【0030】《マトリクス周辺の概要》図5は上下のガ
ラス基板SUB1,SUB2を含む表示パネルPNLの
マトリクス(AR)周辺の要部平面を、図6はその周辺
部を更に誇張した平面を、図7は図5及び図6のパネル
左上角部に対応するシール部SL付近の拡大平面を示す
図である。また、図8は図3の断面を中央にして、左側
に図7の8a−8a切断線における断面を、右側に映像
信号駆動回路が接続されるべき外部接続端子DTM付近
の断面を示す図である。同様に図9は、左側に走査回路
が接続されるべき外部接続端子GTM付近の断面を、右
側に外部接続端子が無いところのシール部付近の断面を
示す図である。
<< Outline of Matrix Periphery >> FIG. 5 is a plan view of a main part around a matrix (AR) of a display panel PNL including upper and lower glass substrates SUB1 and SUB2, and FIG. 7 is a diagram showing an enlarged plane near the seal portion SL corresponding to the upper left corner of the panel in FIGS. 5 and 6. Further, FIG. 8 is a diagram showing a cross section taken along a cutting line 8a-8a in FIG. 7 on the left side and a cross section near the external connection terminal DTM to which the video signal drive circuit is to be connected on the right side with the cross section of FIG. is there. Similarly, FIG. 9 is a diagram showing a cross section near the external connection terminal GTM to which the scanning circuit is to be connected on the left side and a cross section near the seal portion where there is no external connection terminal on the right side.

【0031】このパネルの製造では、小さいサイズであ
ればスループット向上のため1枚のガラス基板で複数個
分のデバイスを同時に加工してから分割し、大きいサイ
ズであれば製造設備の共用のためどの品種でも標準化さ
れた大きさのガラス基板を加工してから各品種に合った
サイズに小さくし、いずれの場合も一通りの工程を経て
からガラスを切断する。図5〜図7は後者の例を示すも
ので、図5、図6の両図とも上下基板SUB1,SUB
2の切断後を、図7は切断前を表しており、LNは両基
板の切断前の縁を、CT1とCT2はそれぞれ基板SU
B1,SUB2の切断すべき位置を示す。いずれの場合
も、完成状態では外部接続端子群Tg,Td(添字略)
が存在する(図で上下辺と左辺の)部分はそれらを露出
するように上側基板SUB2の大きさが下側基板SUB
1よりも内側に制限されている。端子群Tg,Tdはそ
れぞれ後述する走査回路接続用端子GTM、映像信号回
路接続用端子DTMとそれらの引出配線部を集積回路チ
ップCHIが搭載されたテープキャリアパッケージTC
P(図18、図19)の単位に複数本まとめて名付けた
ものである。各群のマトリクス部から外部接続端子部に
至るまでの引出配線は、両端に近づくにつれ傾斜してい
る。これは、パッケージTCPの配列ピッチ及び各パッ
ケージTCPにおける接続端子ピッチに表示パネルPN
Lの端子DTM,GTMを合わせるためである。
[0031] Any For this panel In the manufacture of, if small size divided from simultaneously processing a plurality fraction of the device in one glass substrate for increased throughput, manufacturing facilities if large size shared In each type of product, a standardized glass substrate is processed, and then the size is reduced to a size suitable for each product. In each case, the glass is cut after going through one step. 5 to 7 show an example of the latter case. In both of FIGS. 5 and 6, the upper and lower substrates SUB1 and SUB are shown.
2 shows the state after cutting, and FIG. 7 shows the state before cutting. LN is the edge of both substrates before cutting, and CT1 and CT2 are the substrate SU.
The positions where B1 and SUB2 should be cut are shown. In either case, in the completed state, the external connection terminal groups Tg, Td (subscripts omitted)
Are present (on the upper and lower sides and the left side in the figure), the size of the upper substrate SUB2 is such that the lower substrate SUB2 is exposed.
It is restricted to the inside of 1. The terminal groups Tg and Td are a tape carrier package TC in which a scanning circuit connection terminal GTM, a video signal circuit connection terminal DTM, and their lead-out wiring portions, which will be described later, are mounted on an integrated circuit chip CHI.
A plurality of Ps (FIGS. 18 and 19) are collectively named. The lead wiring from the matrix portion of each group to the external connection terminal portion is inclined toward both ends. This is due to the arrangement pitch of the package TCP and the connection terminal pitch of each package TCP on the display panel PN.
This is for matching the L terminals DTM and GTM.

【0032】透明ガラス基板SUB1、SUB2の間に
はその縁に沿って、液晶封入口INJを除き、液晶LC
を封止するようにシールパターンSLが形成される。シ
ール材は例えばエポキシ樹脂から成る。上部透明ガラス
基板SUB2側の共通透明画素電極ITO2は、少なく
とも一箇所において、本実施例ではパネルの4角で銀ペ
ースト材AGPによって下部透明ガラス基板SUB1側
に形成されたその引出配線INTに接続されている。こ
の引出配線INTは後述するゲート端子GTM、ドレイ
ン端子DTMと同一製造工程で形成される。
Between the transparent glass substrates SUB1 and SUB2, along the edge thereof, except for the liquid crystal sealing port INJ, the liquid crystal LC
A seal pattern SL is formed so as to seal the. The sealing material is made of epoxy resin, for example. The common transparent pixel electrode ITO2 on the upper transparent glass substrate SUB2 side is connected to at least one of the lead wirings INT formed on the lower transparent glass substrate SUB1 side by the silver paste material AGP at four corners of the panel in this embodiment. ing. The lead wiring INT is formed in the same manufacturing process as a gate terminal GTM and a drain terminal DTM described later.

【0033】配向膜ORI1、ORI2、透明画素電極
ITO1、共通透明画素電極ITO2、それぞれの層
は、シールパターンSLの内側に形成される。偏光板P
OL1、POL2はそれぞれ下部透明ガラス基板SUB
1、上部透明ガラス基板SUB2の外側の表面に形成さ
れている。液晶LCは液晶分子の向きを設定する下部配
向膜ORI1と上部配向膜ORI2との間でシールパタ
ーンSLで仕切られた領域に封入されている。下部配向
膜ORI1は下部透明ガラス基板SUB1側の保護膜P
SV1の上部に形成される。
The alignment layers ORI1 and ORI2, the transparent pixel electrode ITO1 and the common transparent pixel electrode ITO2, and the respective layers are formed inside the seal pattern SL. Polarizing plate P
OL1 and POL2 are lower transparent glass substrates SUB, respectively.
1. Formed on the outer surface of the upper transparent glass substrate SUB2. The liquid crystal LC is enclosed in a region partitioned by a seal pattern SL between a lower alignment film ORI1 and an upper alignment film ORI2 that set the orientation of liquid crystal molecules. The lower alignment film ORI1 is a protective film P on the lower transparent glass substrate SUB1 side.
It is formed on top of SV1.

【0034】この液晶表示装置は、下部透明ガラス基板
SUB1側、上部透明ガラス基板SUB2側で別個に種
々の層を積み重ね、シールパターンSLを基板SUB2
側に形成し、下部透明ガラス基板SUB1と上部透明ガ
ラス基板SUB2とを重ね合わせ、シール材SLの開口
部INJから液晶LCを注入し、注入口INJをエポキ
シ樹脂などで封止し、上下基板を切断することによって
組み立てられる。
In this liquid crystal display device, various layers are separately stacked on the lower transparent glass substrate SUB1 side and the upper transparent glass substrate SUB2 side, and the seal pattern SL is applied to the substrate SUB2.
Formed on the side, the lower transparent glass substrate SUB1 and the upper transparent glass substrate SUB2 are overlapped, the liquid crystal LC is injected from the opening INJ of the sealing material SL, and the injection port INJ is sealed with epoxy resin or the like to form the upper and lower substrates. It is assembled by cutting.

【0035】《薄膜トランジスタTFT》次に、図2、
図3に戻り、TFT基板SUB1側の構成を詳しく説明
する。
<< Thin Film Transistor TFT >> Next, referring to FIG.
Returning to FIG. 3, the configuration on the TFT substrate SUB1 side will be described in detail.

【0036】薄膜トランジスタTFTは、ゲート電極G
Tに正のバイアスを印加すると、ソース−ドレイン間の
チャネル抵抗が小さくなり、バイアスを零にすると、チ
ャネル抵抗は大きくなるように動作する。
The thin film transistor TFT has a gate electrode G
When a positive bias is applied to T, the channel resistance between the source and the drain decreases, and when the bias is zero, the channel resistance increases.

【0037】各画素には複数(2つ)の薄膜トランジス
タTFT1、TFT2が冗長して設けられる。薄膜トラ
ンジスタTFT1、TFT2のそれぞれは、実質的に同
一サイズ(チャネル長、チャネル幅が同じ)で構成さ
れ、ゲート電極GT、ゲート絶縁膜GI、i型(真性、
intrinsic、導電型決定不純物がドープされていない)
非晶質シリコン(Si)からなるi型半導体層AS、一
対のソース電極SD1、ドレイン電極SD2を有す。な
お、ソース、ドレインは本来その間のバイアス極性によ
って決まるもので、この液晶表示装置の回路ではその極
性は動作中反転するので、ソース、ドレインは動作中入
れ替わると理解されたい。しかし、以下の説明では、便
宜上一方をソース、他方をドレインと固定して表現す
る。
A plurality of (two) thin film transistors TFT1 and TFT2 are redundantly provided in each pixel. Each of the thin film transistors TFT1 and TFT2 has substantially the same size (channel length and channel width are the same), and has a gate electrode GT, a gate insulating film GI, and an i-type (intrinsic,
intrinsic, conductivity type determination impurities are not doped)
It has an i-type semiconductor layer AS made of amorphous silicon (Si), a pair of source electrodes SD1 and a drain electrode SD2. It should be understood that the source and drain are originally determined by the bias polarity between them, and the polarity is inverted during operation in the circuit of this liquid crystal display device, so it should be understood that the source and drain are switched during operation. However, in the following description, for convenience, one is fixed as the source and the other is fixed as the drain.

【0038】《ゲート電極GT》ゲート電極GTは走査
信号線GLから垂直方向に突出する形状で構成されてい
る(T字形状に分岐されている)。ゲート電極GTは薄
膜トランジスタTFT1、TFT2のそれぞれの能動領
域を越えるよう突出している。薄膜トランジスタTFT
1、TFT2のそれぞれのゲート電極GTは、一体に
(共通のゲート電極として)構成されており、走査信号
線GLに連続して形成されている。本例では、ゲート電
極GTは、単層の第2導電膜g2で形成されている。第
2導電膜g2としては例えばスパッタで形成されたアル
ミニウム(Al)膜が用いられ、その上にはAlの陽極
酸化膜AOFが設けられている。
<< Gate Electrode GT >> The gate electrode GT is formed in a shape protruding vertically from the scanning signal line GL (branched into a T shape). The gate electrode GT projects so as to extend beyond the respective active regions of the thin film transistors TFT1 and TFT2. Thin film transistor TFT
The gate electrodes GT of the TFT 1 and the TFT 2 are integrally formed (as a common gate electrode) and are formed continuously with the scanning signal line GL. In this example, the gate electrode GT is formed of the single-layer second conductive film g2. An aluminum (Al) film formed by sputtering, for example, is used as the second conductive film g2, and an Al anodic oxide film AOF is provided thereon.

【0039】このゲート電極GTはi型半導体層ASを
完全に覆うよう(下方からみて)それより大き目に形成
され、i型半導体層ASに外光やバックライト光が当た
らないよう工夫されている。
The gate electrode GT is formed larger than it so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS (as viewed from below), and is devised so that the i-type semiconductor layer AS is not exposed to outside light or backlight light. .

【0040】《走査信号線GL》走査信号線GLは第2
導電膜g2で構成されている。この走査信号線GLの第
2導電膜g2はゲート電極GTの第2導電膜g2と同一
製造工程で形成され、かつ一体に構成されている。ま
た、走査信号線GL上にもAlの陽極酸化膜AOFが設
けられている。
<< Scanning Signal Line GL >> The scanning signal line GL is the second
It is composed of a conductive film g2. The second conductive film g2 of the scanning signal line GL is formed in the same manufacturing process as the second conductive film g2 of the gate electrode GT, and is integrally formed. Also, an Al anodic oxide film AOF is provided on the scanning signal line GL.

【0041】《絶縁膜GI》絶縁膜GIは、薄膜トラン
ジスタTFT1、TFT2において、ゲート電極GTと
共に半導体層ASに電界を与えるためのゲート絶縁膜と
して使用される。絶縁膜GIはゲート電極GTおよび走
査信号線GLの上層に形成されている。絶縁膜GIとし
ては例えばプラズマCVDで形成された窒化シリコン膜
が選ばれ、1200〜2700Åの厚さに(本実施例で
は、2000Å程度)形成される。ゲート絶縁膜GIは
図7に示すように、マトリクス部ARの全体を囲むよう
に形成され、周辺部は外部接続端子DTM,GTMを露
出するよう除去されている。絶縁膜GIは走査信号線G
Lと映像信号線DLの電気的絶縁にも寄与している。
<< Insulating Film GI >> The insulating film GI is used as a gate insulating film for applying an electric field to the semiconductor layer AS in the thin film transistors TFT1 and TFT2 together with the gate electrode GT. The insulating film GI is formed on the gate electrode GT and the scanning signal line GL. As the insulating film GI, for example, a silicon nitride film formed by plasma CVD is selected and is formed to a thickness of 1200 to 2700Å (in this embodiment, about 2000Å). As shown in FIG. 7, the gate insulating film GI is formed so as to surround the entire matrix portion AR, and the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM. The insulating film GI is a scanning signal line G
It also contributes to the electrical insulation between L and the video signal line DL.

【0042】《i型半導体層AS》i型半導体層AS
は、本例では薄膜トランジスタTFT1、TFT2のそ
れぞれに独立した島となるよう形成され、非晶質シリコ
ンで、200〜2200Åの厚さに(本実施例では、2
000Å程度の膜厚)で形成される。層d0はオーミッ
クコンタクト用のリン(P)をドープしたN(+)型非晶
質シリコン半導体層であり、下側にi型半導体層ASが
存在し、上側に導電層d2(d3)が存在するところの
みに残されている。
<< i-type semiconductor layer AS >> i-type semiconductor layer AS
In this example, each of the thin film transistors TFT1 and TFT2 is formed as an independent island, and is made of amorphous silicon and has a thickness of 200 to 2200Å (2 in this example.
The film thickness is about 000Å). The layer d0 is a phosphorus (P) -doped N (+)-type amorphous silicon semiconductor layer for ohmic contact, the i-type semiconductor layer AS exists on the lower side, and the conductive layer d2 (d3) exists on the upper side. It is left only where you do.

【0043】i型半導体層ASは走査信号線GLと映像
信号線DLとの交差部(クロスオーバ部)の両者間にも
設けられている。この交差部のi型半導体層ASは交差
部における走査信号線GLと映像信号線DLとの短絡を
低減する。
The i-type semiconductor layer AS is also provided between both the intersections (crossover portions) of the scanning signal lines GL and the video signal lines DL. The i-type semiconductor layer AS at the intersection reduces the short circuit between the scanning signal line GL and the video signal line DL at the intersection.

【0044】《透明画素電極ITO1》透明画素電極I
TO1は液晶表示部の画素電極の一方を構成する。
<< Transparent Pixel Electrode ITO1 >> Transparent Pixel Electrode I
TO1 constitutes one of the pixel electrodes of the liquid crystal display section.

【0045】透明画素電極ITO1は薄膜トランジスタ
TFT1のソース電極SD1および薄膜トランジスタT
FT2のソース電極SD1の両方に接続されている。こ
のため、薄膜トランジスタTFT1、TFT2のうちの
1つに欠陥が発生しても、その欠陥が副作用をもたらす
場合はレーザ光等によって適切な箇所を切断し、そうで
ない場合は他方の薄膜トランジスタが正常に動作してい
るので放置すれば良い。透明画素電極ITO1は第1導
電膜d1によって構成されており、この第1導電膜d1
はスパッタリングで形成された透明導電膜(Indium-Tin
-Oxide ITO:ネサ膜)からなり、1000〜200
0Åの厚さに(本実施例では、1400Å程度の膜厚)
形成される。
The transparent pixel electrode ITO1 is the source electrode SD1 of the thin film transistor TFT1 and the thin film transistor T1.
It is connected to both source electrodes SD1 of FT2. Therefore, even if a defect occurs in one of the thin film transistors TFT1 and TFT2, if the defect causes a side effect, an appropriate portion is cut by laser light or the like, and if not, the other thin film transistor operates normally. You can leave it alone because it does. The transparent pixel electrode ITO1 is composed of the first conductive film d1.
Is a transparent conductive film (Indium-Tin) formed by sputtering.
-Oxide ITO: Nesa film), 1000-200
With a thickness of 0Å (in this embodiment, a film thickness of about 1400Å)
It is formed.

【0046】《ソース電極SD1、ドレイン電極SD
2》ソース電極SD1、ドレイン電極SD2のそれぞれ
は、N(+)型半導体層d0に接触する第2導電膜d2と
その上に形成された第3導電膜d3とから構成されてい
る。
<< Source Electrode SD1, Drain Electrode SD
2 >> Each of the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is composed of a second conductive film d2 in contact with the N (+) type semiconductor layer d0 and a third conductive film d3 formed thereon.

【0047】第2導電膜d2はスパッタで形成したクロ
ム(Cr)膜を用い、500〜1000Åの厚さに(本
実施例では、600Å程度)で形成される。Cr膜は膜
厚を厚く形成するとストレスが大きくなるので、200
0Å程度の膜厚を越えない範囲で形成する。Cr膜はN
(+)型半導体層d0との接着性を良好にし、第3導電膜
d3のAlがN(+)型半導体層d0に拡散することを防
止する(いわゆるバリア層の)目的で使用される。第2
導電膜d2として、Cr膜の他に高融点金属(Mo、T
i、Ta、W)膜、高融点金属シリサイド(MoS
2、TiSi2、TaSi2、WSi2)膜を用いてもよ
い。
The second conductive film d2 is a chromium (Cr) film formed by sputtering and is formed to a thickness of 500 to 1000 Å (in this embodiment, about 600 Å). If the Cr film is formed thicker, the stress increases.
It is formed within a range not exceeding the film thickness of 0Å. Cr film is N
It is used for the purpose of improving adhesion to the (+) type semiconductor layer d0 and preventing Al of the third conductive film d3 from diffusing into the N (+) type semiconductor layer d0 (so-called barrier layer). Second
As the conductive film d2, in addition to the Cr film, refractory metal (Mo, T
i, Ta, W) film, refractory metal silicide (MoS
An i 2 , TiSi 2 , TaSi 2 , WSi 2 ) film may be used.

【0048】第3導電膜d3はAlのスパッタリングで
3000〜5000Åの厚さに(本実施例では、400
0Å程度)形成される。Al膜はCr膜に比べてストレ
スが小さく、厚い膜厚に形成することが可能で、ソース
電極SD1、ドレイン電極SD2および映像信号線DL
の抵抗値を低減したり、ゲート電極GTやi型半導体層
ASに起因する段差乗り越えを確実にする(ステップカ
バーレッジを良くする)働きがある。
The third conductive film d3 is formed by sputtering Al to a thickness of 3000 to 5000Å (400 in this embodiment).
0 Å) formed. The Al film has less stress than the Cr film and can be formed to have a large film thickness, and the source electrode SD1, the drain electrode SD2 and the video signal line DL can be formed.
Of the gate electrode GT and the i-type semiconductor layer AS are ensured (step coverage is improved).

【0049】第2導電膜d2、第3導電膜d3を同じマ
スクパターンでパターニングした後、同じマスクを用い
て、あるいは第2導電膜d2、第3導電膜d3をマスク
として、N(+)型半導体層d0が除去される。つまり、
i型半導体層AS上に残っていたN(+)型半導体層d0
は第2導電膜d2、第3導電膜d3以外の部分がセルフ
アラインで除去される。このとき、N(+)型半導体層d
0はその厚さ分は全て除去されるようエッチングされる
ので、i型半導体層ASも若干その表面部分がエッチン
グされるが、その程度はエッチング時間で制御すればよ
い。
After patterning the second conductive film d2 and the third conductive film d3 with the same mask pattern, an N (+) type film is formed by using the same mask or by using the second conductive film d2 and the third conductive film d3 as a mask. The semiconductor layer d0 is removed. That is,
The N (+) type semiconductor layer d0 remaining on the i type semiconductor layer AS
The portions other than the second conductive film d2 and the third conductive film d3 are removed by self-alignment. At this time, the N (+) type semiconductor layer d
Since 0 is etched so that the entire thickness thereof is removed, the surface portion of the i-type semiconductor layer AS is also slightly etched, but the degree may be controlled by the etching time.

【0050】《映像信号線DL》映像信号線DLはソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2と同層の第2導電膜
d2、第3導電膜d3で構成されている。
<Video Signal Line DL> The video signal line DL is composed of a second conductive film d2 and a third conductive film d3 in the same layer as the source electrode SD1 and the drain electrode SD2.

【0051】《保護膜PSV1》薄膜トランジスタTF
Tおよび透明画素電極ITO1上には保護膜PSV1が
設けられている。保護膜PSV1は主に薄膜トランジス
タTFTを湿気等から保護するために形成されており、
透明性が高くしかも耐湿性の良いものを使用する。保護
膜PSV1はたとえばプラズマCVD装置で形成した酸
化シリコン膜や窒化シリコン膜で形成されており、1μ
m程度の膜厚で形成する。
<< Protective Film PSV1 >> Thin Film Transistor TF
A protective film PSV1 is provided on the T and the transparent pixel electrode ITO1. The protective film PSV1 is formed mainly for protecting the thin film transistor TFT from moisture and the like,
Use one with high transparency and good moisture resistance. The protective film PSV1 is formed of, for example, a silicon oxide film or a silicon nitride film formed by a plasma CVD apparatus, and has a thickness of 1 μm.
It is formed with a film thickness of about m.

【0052】保護膜PSV1は図7に示すように、マト
リクス部ARの全体を囲むように形成され、周辺部は外
部接続端子DTM,GTMを露出するよう除去され、ま
た上基板側SUB2の共通電極COMを下側基板SUB
1の外部接続端子接続用引出配線INTに銀ペーストA
GPで接続する部分も除去されている。保護膜PSV1
とゲート絶縁膜GIの厚さ関係に関しては、前者は保護
効果を考え厚くされ、後者はトランジスタの相互コンダ
クタンスgmを薄くされる。従って図7に示すように、
保護効果の高い保護膜PSV1は周辺部もできるだけ広
い範囲に亘って保護するようゲート絶縁膜GIよりも大
きく形成されている。
As shown in FIG. 7, the protective film PSV1 is formed so as to surround the entire matrix portion AR, the peripheral portion is removed so as to expose the external connection terminals DTM and GTM, and the common electrode of the upper substrate side SUB2 is formed. COM to the lower substrate SUB
Silver paste A on the lead wire INT for connecting the external connection terminal 1
The part connected by GP is also removed. Protective film PSV1
Regarding the thickness relationship between the gate insulating film GI and the gate insulating film GI, the former is made thicker in consideration of the protection effect, and the latter is made thin in the transconductance gm of the transistor. Therefore, as shown in FIG.
The protective film PSV1 having a high protective effect is formed so as to be larger than the gate insulating film GI so as to protect the peripheral portion over as wide a range as possible.

【0053】《遮光膜BM》上部透明ガラス基板SUB
2側には、外部光又はバックライト光がi型半導体層A
Sに入射しないよう遮光膜BMが設けられている。図2
に示す遮光膜BMの閉じた多角形の輪郭線は、その内側
が遮光膜BMが形成されない開口を示している。遮光膜
BMは光に対する遮蔽性が高いたとえばアルミニウム膜
やクロム膜等で形成されており、本実施例ではクロム膜
がスパッタリングで1300Å程度の厚さに形成され
る。
<< Light-shielding film BM >> Upper transparent glass substrate SUB
On the second side, external light or backlight is exposed to the i-type semiconductor layer A.
A light shielding film BM is provided so as not to enter S. Figure 2
The closed polygonal contour line of the light-shielding film BM shown in (3) indicates an opening inside which the light-shielding film BM is not formed. The light-shielding film BM is formed of, for example, an aluminum film or a chromium film having a high light-shielding property, and in this embodiment, the chromium film is formed by sputtering to a thickness of about 1300Å.

【0054】従って、薄膜トランジスタTFT1、TF
T2のi型半導体層ASは上下にある遮光膜BMおよび
大き目のゲート電極GTによってサンドイッチにされ、
外部の自然光やバックライト光が当たらなくなる。遮光
膜BMは各画素の周囲に格子状に形成され(いわゆるブ
ラックマトリクス)、この格子で1画素の有効表示領域
が仕切られている。従って、各画素の輪郭が遮光膜BM
によってはっきりとし、コントラストが向上する。つま
り、遮光膜BMはi型半導体層ASに対する遮光とブラ
ックマトリクスとの2つの機能をもつ。
Therefore, the thin film transistors TFT1 and TF
The i-type semiconductor layer AS of T2 is sandwiched by the upper and lower light-shielding films BM and the large gate electrode GT,
External natural light or backlight does not hit. The light-shielding film BM is formed in a lattice shape around each pixel (so-called black matrix), and the effective display area of one pixel is partitioned by this lattice. Therefore, the outline of each pixel is the light-shielding film BM.
Improves clarity and contrast. That is, the light blocking film BM has two functions of blocking the i-type semiconductor layer AS and serving as a black matrix.

【0055】透明画素電極ITO1のラビング方向の根
本側のエッジ部分(図2右下部分)も遮光膜BMによっ
て遮光されているので、上記部分にドメインが発生した
としても、ドメインが見えないので、表示特性が劣化す
ることはない。
Since the edge portion of the transparent pixel electrode ITO1 on the root side in the rubbing direction (lower right portion in FIG. 2) is also shielded by the light shielding film BM, even if a domain is generated in the above portion, the domain cannot be seen. The display characteristics do not deteriorate.

【0056】遮光膜BMは図6に示すように周辺部にも
額縁状に形成され、そのパターンはドット状に複数の開
口を設けた図2に示すマトリクス部のパターンと連続し
て形成されている。周辺部の遮光膜BMは図6〜図9に
示すように、シール部SLの外側に延長され、パソコン
等の実装機に起因する反射光等の漏れ光がマトリクス部
に入り込むのを防いでいる。他方、この遮光膜BMは基
板SUB2の縁よりも約0.3〜1.0mm程内側に留
められ、基板SUB2の切断領域を避けて形成されてい
る。
As shown in FIG. 6, the light-shielding film BM is also formed in a frame shape in the peripheral portion, and its pattern is formed continuously with the pattern of the matrix portion shown in FIG. 2 in which a plurality of dots-like openings are provided. There is. As shown in FIGS. 6 to 9, the light-shielding film BM in the peripheral portion is extended to the outside of the seal portion SL to prevent leak light such as reflected light caused by a mounting machine such as a personal computer from entering the matrix portion. . On the other hand, the light-shielding film BM is retained inside about 0.3 to 1.0 mm from the edge of the substrate SUB2, and is formed so as to avoid the cut region of the substrate SUB2.

【0057】《カラーフィルタFIL》カラーフィルタ
FILは画素に対向する位置に赤、緑、青の繰り返しで
ストライプ状に形成される。カラーフィルタFILは透
明画素電極ITO1の全てを覆うように大き目に形成さ
れ、遮光膜BMはカラーフィルタFILおよび透明画素
電極ITO1のエッジ部分と重なるよう透明画素電極I
TO1の周縁部より内側に形成されている。
<< Color Filter FIL >> The color filter FIL is formed in stripes by repeating red, green and blue at positions facing the pixels. The color filter FIL is formed to have a large size so as to cover all of the transparent pixel electrode ITO1, and the light shielding film BM overlaps with the edge portions of the color filter FIL and the transparent pixel electrode ITO1.
It is formed inside the peripheral portion of TO1.

【0058】カラーフィルタFILは次のように形成す
ることができる。まず、上部透明ガラス基板SUB2の
表面にアクリル系樹脂等の染色基材を形成し、フォトリ
ソグラフィ技術で赤色フィルタ形成領域以外の染色基材
を除去する。この後、染色基材を赤色染料で染め、固着
処理を施し、赤色フィルタRを形成する。つぎに、同様
な工程を施すことによって、緑色フィルタG、青色フィ
ルタBを順次形成する。
The color filter FIL can be formed as follows. First, a dyeing base material such as an acrylic resin is formed on the surface of the upper transparent glass substrate SUB2, and the dyeing base material other than the red filter forming region is removed by a photolithography technique. After that, the dyed substrate is dyed with a red dye and a fixing process is performed to form a red filter R. Next, the green filter G and the blue filter B are sequentially formed by performing the same process.

【0059】《保護膜PSV2》保護膜PSV2はカラ
ーフィルタFILの染料が液晶LCに漏れることを防止
するために設けられている。保護膜PSV2はたとえば
アクリル樹脂、エポキシ樹脂等の透明樹脂材料で形成さ
れている。
<< Protective Film PSV2 >> The protective film PSV2 is provided to prevent the dye of the color filter FIL from leaking to the liquid crystal LC. The protective film PSV2 is formed of a transparent resin material such as acrylic resin or epoxy resin.

【0060】《共通透明画素電極ITO2》共通透明画
素電極ITO2は、下部透明ガラス基板SUB1側に画
素ごとに設けられた透明画素電極ITO1に対向し、液
晶LCの光学的な状態は各画素電極ITO1と共通透明
画素電極ITO2との間の電位差(電界)に応答して変
化する。この共通透明画素電極ITO2にはコモン電圧
Vcomが印加されるように構成されている。本実施例で
は、コモン電圧Vcomは映像信号線DLに印加される最
小レベルの駆動電圧Vdminと最大レベルの駆動電圧V
dmaxとの中間直流電位に設定されるが、映像信号駆動
回路で使用される集積回路の電源電圧を約半分に低減し
たい場合は、交流電圧を印加すれば良い。なお、共通透
明画素電極ITO2の平面形状は図6、図7を参照され
たい。
<< Common Transparent Pixel Electrode ITO2 >> The common transparent pixel electrode ITO2 faces the transparent pixel electrode ITO1 provided for each pixel on the lower transparent glass substrate SUB1 side, and the optical state of the liquid crystal LC is the pixel electrode ITO1. And the common transparent pixel electrode ITO2 change in response to a potential difference (electric field). A common voltage Vcom is applied to the common transparent pixel electrode ITO2. In this embodiment, the common voltage Vcom is the minimum level drive voltage Vdmin and the maximum level drive voltage V applied to the video signal line DL.
Although it is set to an intermediate DC potential with respect to dmax, an AC voltage may be applied if it is desired to reduce the power supply voltage of the integrated circuit used in the video signal drive circuit to about half. For the planar shape of the common transparent pixel electrode ITO2, see FIGS. 6 and 7.

【0061】《保持容量素子Caddの構造》透明画素電
極ITO1は、薄膜トランジスタTFTと接続される端
部と反対側の端部において、隣りの走査信号線GLと重
なるように形成されている。この重ね合わせは、図4か
らも明らかなように、透明画素電極ITO1を一方の電
極PL2とし、隣りの走査信号線GLを他方の電極PL
1とする保持容量素子(静電容量素子)Caddを構成す
る。この保持容量素子Caddの誘電体膜は、薄膜トラン
ジスタTFTのゲート絶縁膜として使用される絶縁膜G
Iおよび陽極酸化膜AOFで構成されている。
<< Structure of Storage Capacitance Element Cadd >> The transparent pixel electrode ITO1 is formed so as to overlap the adjacent scanning signal line GL at the end opposite to the end connected to the thin film transistor TFT. In this superposition, as is clear from FIG. 4, the transparent pixel electrode ITO1 is used as one electrode PL2 and the adjacent scanning signal line GL is used as the other electrode PL.
A holding capacitance element (electrostatic capacitance element) Cadd which is 1 is configured. The dielectric film of the storage capacitor Cadd is an insulating film G used as a gate insulating film of the thin film transistor TFT.
I and the anodic oxide film AOF.

【0062】保持容量素子Caddは走査信号線GLの第
2導電膜g2の幅を広げた部分に形成されている。な
お、映像信号線DLと交差する部分の第2導電膜g2は
映像信号線DLとの短絡の確率を小さくするため細くさ
れている。
The storage capacitor element Cadd is formed in a portion where the width of the second conductive film g2 of the scanning signal line GL is widened. The second conductive film g2 at the portion intersecting the video signal line DL is thinned in order to reduce the probability of short circuit with the video signal line DL.

【0063】保持容量素子Caddの電極PL1の段差部
において透明画素電極ITO1が断線しても、その段差
をまたがるように形成された第2導電膜d2および第3
導電膜d3で構成された島領域によってその不良は補償
される。
Even if the transparent pixel electrode ITO1 is broken in the step portion of the electrode PL1 of the storage capacitor Cadd, the second conductive film d2 and the third conductive film d2 formed so as to cross the step.
The defect is compensated by the island region formed of the conductive film d3.

【0064】《ゲート端子部》図10は表示マトリクス
の走査信号線GLからその外部接続端子GTMまでの接
続構造を示す図であり、(A)は平面であり(B)は
(A)のB−B切断線における断面を示している。な
お、同図は図7下方付近に対応し、斜め配線の部分は便
宜状一直線状で表した。
<< Gate Terminal Section >> FIG. 10 is a diagram showing a connection structure from the scanning signal line GL of the display matrix to its external connection terminal GTM. (A) is a plane and (B) is B of (A). -B shows a cross section taken along the line B. It should be noted that the figure corresponds to the lower part of FIG. 7, and the diagonal wiring portions are shown in a straight line for convenience.

【0065】AOは写真処理用のマスクパターン、言い
換えれば選択的陽極酸化のホトレジストパターンであ
る。従って、このホトレジストは陽極酸化後除去され、
図に示すパターンAOは完成品としては残らないが、ゲ
ート配線GLには断面図に示すように酸化膜AOFが選
択的に形成されるのでその軌跡が残る。平面図におい
て、ホトレジストの境界線AOを基準にして左側はレジ
ストで覆い陽極酸化をしない領域、右側はレジストから
露出され陽極酸化される領域である。陽極酸化されたA
L層g2は表面にその酸化物Al23膜AOFが形成さ
れ下方の導電部は体積が減少する。勿論、陽極酸化はそ
の導電部が残るように適切な時間、電圧などを設定して
行われる。マスクパターンAOは走査線GLに単一の直
線では交差せず、クランク状に折れ曲がって交差させて
いる。
AO is a mask pattern for photographic processing, in other words, a photoresist pattern for selective anodic oxidation. Therefore, this photoresist is removed after anodization,
The pattern AO shown in the figure does not remain as a finished product, but since the oxide film AOF is selectively formed on the gate line GL as shown in the cross-sectional view, its locus remains. In the plan view, with respect to the photoresist boundary line AO, the left side is a region covered with the resist and not anodized, and the right side is a region exposed from the resist and anodized. Anodized A
The oxide Al 2 O 3 film AOF is formed on the surface of the L layer g2, and the volume of the conductive portion therebelow is reduced. Of course, the anodic oxidation is performed by setting an appropriate time and voltage so that the conductive portion remains. The mask pattern AO does not intersect with the scanning line GL by a single straight line, but is bent in a crank shape and intersects.

【0066】図中AL層g2は、判り易くするためハッ
チを施してあるが、陽極化成されない領域は櫛状にパタ
ーニングされている。これは、Al層の幅が広いと表面
にホイスカが発生するので、1本1本の幅は狭くし、そ
れらを複数本並列に束ねた構成とすることにより、ホイ
スカの発生を防ぎつつ、断線の確率や導電率の犠牲を最
低限に押さえる狙いである。従って、本例では櫛の根本
に相当する部分もマスクAOに沿ってずらしている。
In the figure, the AL layer g2 is hatched for easy understanding, but the region which is not anodized is patterned in a comb shape. This is because whiskers are generated on the surface when the width of the Al layer is wide. Therefore, by narrowing the width of each one and arranging a plurality of them in parallel, whiskers can be prevented and wire breakage can be prevented. The aim is to minimize the probability of and the sacrifice of conductivity. Therefore, in this example, the portion corresponding to the base of the comb is also displaced along the mask AO.

【0067】ゲート端子GTMは酸化珪素SIO層と接
着性が良くAl等よりも耐電触性の高いCr層g1と、
更にその表面を保護し画素電極ITO1と同レベル(同
層、同時形成)の透明導電層d1とで構成されている。
なお、ゲート絶縁膜GI上及びその側面部に形成された
導電層d2及びd3は、導電層d3やd2のエッチング
時ピンホール等が原因で導電層g2やg1が一緒にエッ
チングされないようその領域をホトレジストで覆ってい
た結果として残っているものである。又、ゲート絶縁膜
GIを乗り越えて右方向に延長されたITO層d1は同
様な対策を更に万全とさせたものである。
The gate terminal GTM has a good adhesion to the silicon oxide SIO layer and a Cr layer g1 having a higher electric contact resistance than Al or the like.
Further, the surface thereof is protected and is composed of a transparent conductive layer d1 of the same level (same layer, simultaneously formed) as the pixel electrode ITO1.
In addition, the conductive layers d2 and d3 formed on the gate insulating film GI and on the side surfaces thereof have their regions so that the conductive layers g2 and g1 are not etched together due to pinholes or the like during the etching of the conductive layers d3 and d2. It remains as a result of being covered with photoresist. In addition, the ITO layer d1 which extends over the gate insulating film GI and extends rightward is one in which the same measures are taken more thoroughly.

【0068】平面図において、ゲート絶縁膜GIはその
境界線よりも右側に、保護膜PSV1もその境界線より
も右側に形成されており、左端に位置する端子部GTM
はそれらから露出し外部回路との電気的接触ができるよ
うになっている。図では、ゲート線GLとゲート端子の
一つの対のみが示されているが、実際はこのような対が
図7に示すように上下に複数本並べられ端子群Tg(図
6、図7)が構成され、ゲート端子の左端は、製造過程
では、基板の切断領域CT1を越えて延長され配線SH
gによって短絡される。製造過程におけるこのような短
絡線SHgは陽極化成時の給電と、配向膜ORI1のラ
ビング時等の静電破壊防止に役立つ。
In the plan view, the gate insulating film GI is formed on the right side of the boundary line and the protective film PSV1 is formed on the right side of the boundary line, and the terminal portion GTM located at the left end is formed.
Are exposed from them to allow electrical contact with external circuitry. In the figure, only one pair of the gate line GL and the gate terminal is shown, but in reality, a plurality of such pairs are arranged vertically as shown in FIG. 7 to form the terminal group Tg (FIGS. 6 and 7). In the manufacturing process, the left end of the gate terminal is extended beyond the cutting region CT1 of the substrate to form the wiring SH.
shorted by g. Such a short-circuit line SHg in the manufacturing process is useful for supplying power during anodization and preventing electrostatic breakdown during rubbing of the alignment film ORI1.

【0069】《ドレイン端子DTM》図11は映像信号
線DLからその外部接続端子DTMまでの接続を示す図
であり、(A)はその平面を示し、(B)は(A)のB
−B切断線における断面を示す。なお、同図は図7右上
付近に対応し、図面の向きは便宜上変えてあるが右端方
向が基板SUB1の上端部(又は下端部)に該当する。
<< Drain Terminal DTM >> FIG. 11 is a diagram showing a connection from the video signal line DL to the external connection terminal DTM thereof. (A) shows the plane thereof, and (B) shows B of (A).
-B shows a cross section taken along the line B. 7 corresponds to the vicinity of the upper right of FIG. 7, and although the orientation of the drawing is changed for convenience, the right end direction corresponds to the upper end (or lower end) of the substrate SUB1.

【0070】TSTdは検査端子でありここには外部回
路は接続されないが、プローブ針等を接触できるよう配
線部より幅が広げられている。同様に、ドレイン端子D
TMも外部回路との接続ができるよう配線部より幅が広
げられている。検査端子TSTdと外部接続ドレイン端
子DTMは上下方向に千鳥状に複数交互に配列され、検
査端子TSTdは図に示すとおり基板SUB1の端部に
到達することなく終端しているが、ドレイン端子DTM
は、図7に示すように端子群Td(添字省略)を構成し
基板SUB1の切断線CT1を越えて更に延長され、製
造過程中は静電破壊防止のためその全てが互いに配線S
Hdによって短絡される。検査端子TSTdが存在する
映像信号線DLのマトリクスを挟んで反対側にはドレイ
ン接続端子が接続され、逆にドレイン接続端子DTMが
存在する映像信号線DLのマトリクスを挟んで反対側に
は検査端子が接続される。
TSTd is an inspection terminal, which is not connected to an external circuit, but is wider than the wiring portion so that a probe needle or the like can come into contact therewith. Similarly, the drain terminal D
The width of the TM is also wider than that of the wiring portion so that the TM can be connected to an external circuit. The inspection terminals TSTd and the external connection drain terminals DTM are alternately arranged in a zigzag pattern in the vertical direction, and the inspection terminals TSTd terminate without reaching the end portion of the substrate SUB1 as shown in the figure, but the drain terminal DTM.
7 further extend beyond the cutting line CT1 of the substrate SUB1 to form a terminal group Td (subscripts omitted) as shown in FIG. 7, all of which are interconnected to each other to prevent electrostatic breakdown during the manufacturing process.
Shorted by Hd. The drain connection terminal is connected to the opposite side of the matrix of the video signal lines DL in which the inspection terminals TSTd are present, and conversely the inspection terminal is placed on the opposite side of the matrix of the video signal lines DL in which the drain connection terminals DTM are present. Are connected.

【0071】ドレイン接続端子DTMは前述したゲート
端子GTMと同様な理由でCr層g1及びITO層d1
の2層で形成されており、ゲート絶縁膜GIを除去した
部分で映像信号線DLと接続されている。ゲート絶縁膜
GIの端部上に形成された半導体層ASはゲート絶縁膜
GIの縁をテーパ状にエッチングするためのものであ
る。端子DTM上では外部回路との接続を行うため保護
膜PSV1は勿論のこと取り除かれている。AOは前述
した陽極酸化マスクでありその境界線はマトリクス全体
をを大きく囲むように形成され、図ではその境界線から
左側がマスクで覆われるが、この図で覆われない部分に
は層g2が存在しないのでこのパターンは直接は関係し
ない。
The drain connection terminal DTM is the same as the above-mentioned gate terminal GTM for the same reason as the Cr layer g1 and the ITO layer d1.
Is formed of two layers, and is connected to the video signal line DL at a portion where the gate insulating film GI is removed. The semiconductor layer AS formed on the end portion of the gate insulating film GI is for etching the edge of the gate insulating film GI in a tapered shape. The protective film PSV1 is, of course, removed on the terminal DTM to connect to an external circuit. AO is the anodizing mask described above, and its boundary line is formed so as to largely surround the entire matrix. In the figure, the left side of the boundary line is covered with the mask, but the layer g2 is covered in the part not covered in this figure. This pattern is not directly relevant as it does not exist.

【0072】マトリクス部からドレイン端子部DTMま
での引出配線は図8の(C)部にも示されるように、ド
レイン端子部DTMと同じレベルの層d1,g1のすぐ
上に映像信号線DLと同じレベルの層d2,d3がシー
ルパターンSLの途中まで積層された構造になっている
が、これは断線の確率を最小限に押さえ、電触し易いA
l層d3を保護膜PSV1やシールパターンSLででき
るだけ保護する狙いである。
The lead wiring from the matrix portion to the drain terminal portion DTM is, as shown in FIG. 8C, a video signal line DL immediately above the layers d1 and g1 at the same level as the drain terminal portion DTM. Although the layers d2 and d3 of the same level are laminated part way up to the middle of the seal pattern SL, this minimizes the probability of disconnection and facilitates electrical contact.
The purpose is to protect the l layer d3 as much as possible with the protective film PSV1 and the seal pattern SL.

【0073】《表示装置全体等価回路》表示マトリクス
部の等価回路とその周辺回路の結線図を図12に示す。
同図は回路図ではあるが、実際の幾何学的配置に対応し
て描かれている。ARは複数の画素を二次元状に配列し
たマトリクス・アレイである。
<< Equivalent Circuit of Entire Display Device >> FIG. 12 shows a connection diagram of the equivalent circuit of the display matrix portion and its peripheral circuits.
Although the figure is a circuit diagram, it is drawn corresponding to the actual geometrical arrangement. AR is a matrix array in which a plurality of pixels are two-dimensionally arranged.

【0074】図中、Xは映像信号線DLを意味し、添字
G、BおよびRがそれぞれ緑、青および赤画素に対応し
て付加されている。Yは走査信号線GLを意味し、添字
1,2,3,…,endは走査タイミングの順序に従って
付加されている。
In the figure, X means a video signal line DL, and subscripts G, B and R are added corresponding to green, blue and red pixels, respectively. Y represents the scanning signal line GL, and subscripts 1, 2, 3, ..., End are added according to the order of scanning timing.

【0075】映像信号線X(添字省略)は交互に上側
(または奇数)映像信号駆動回路He、下側(または偶
数)映像信号駆動回路Hoに接続されている。
The video signal lines X (subscripts omitted) are alternately connected to the upper (or odd) video signal drive circuit He and the lower (or even) video signal drive circuit Ho.

【0076】走査信号線Y(添字省略)は垂直走査回路
Vに接続されている。
The scanning signal line Y (subscript omitted) is connected to the vertical scanning circuit V.

【0077】SUPは1つの電圧源から複数の分圧した
安定化された電圧源を得るための電源回路やホスト(上
位演算処理装置)からのCRT(陰極線管)用の情報を
TFT液晶表示装置用の情報に交換する回路を含む回路
である。
The SUP is a TFT liquid crystal display device for displaying information for a CRT (cathode ray tube) from a power supply circuit or a host (upper processing unit) for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source. It is a circuit including a circuit for exchanging information for use.

【0078】《保持容量素子Caddの働き》保持容量素
子Caddは、薄膜トランジスタTFTがスイッチングす
るとき、中点電位(画素電極電位)Vlcに対するゲート
電位変化ΔVgの影響を低減するように働く。この様子
を式で表すと、次のようになる。
<< Function of Retaining Capacitance Element Cadd >> The retaining capacity element Cadd functions to reduce the influence of the gate potential change ΔVg on the midpoint potential (pixel electrode potential) Vlc when the thin film transistor TFT switches. This situation is expressed by the following equation.

【0079】 ΔVlc={Cgs/(Cgs+Cadd+Cpix)}×ΔVg ここで、Cgsは薄膜トランジスタTFTのゲート電極G
Tとソース電極SD1との間に形成される寄生容量、C
pixは透明画素電極ITO1(PIX)と共通透明画素
電極ITO2(COM)との間に形成される容量、ΔV
lcはΔVgによる画素電極電位の変化分を表わす。この
変化分ΔVlcは液晶LCに加わる直流成分の原因となる
が、保持容量Caddを大きくすればする程、その値を小
さくすることができる。また、保持容量素子Caddは放
電時間を長くする作用もあり、薄膜トランジスタTFT
がオフした後の映像情報を長く蓄積する。液晶LCに印
加される直流成分の低減は、液晶LCの寿命を向上し、
液晶表示画面の切り替え時に前の画像が残るいわゆる焼
き付きを低減することができる。
ΔVlc = {Cgs / (Cgs + Cadd + Cpix)} × ΔVg Here, Cgs is the gate electrode G of the thin film transistor TFT.
Parasitic capacitance formed between T and source electrode SD1, C
pix is a capacitance formed between the transparent pixel electrode ITO1 (PIX) and the common transparent pixel electrode ITO2 (COM), ΔV
lc represents a change amount of the pixel electrode potential due to ΔVg. This variation ΔVlc causes a direct current component applied to the liquid crystal LC, but the value can be reduced as the holding capacitance Cadd is increased. Further, the storage capacitor element Cadd also has the function of prolonging the discharge time, and thus the thin film transistor TFT
Accumulates video information for a long time after is turned off. The reduction of the direct current component applied to the liquid crystal LC improves the life of the liquid crystal LC,
It is possible to reduce so-called burn-in in which the previous image remains when the liquid crystal display screen is switched.

【0080】前述したように、ゲート電極GTはi型半
導体層ASを完全に覆うよう大きくされている分、ソー
ス電極SD1、ドレイン電極SD2とのオーバラップ面
積が増え、従って寄生容量Cgsが大きくなり、中点電位
Vlcはゲート(走査)信号Vgの影響を受け易くなると
いう逆効果が生じる。しかし、保持容量素子Caddを設
けることによりこのデメリットも解消することができ
る。
As described above, since the gate electrode GT is made large so as to completely cover the i-type semiconductor layer AS, the overlap area with the source electrode SD1 and the drain electrode SD2 is increased, so that the parasitic capacitance Cgs is increased. The reverse effect is that the midpoint potential Vlc is easily affected by the gate (scanning) signal Vg. However, this demerit can be eliminated by providing the storage capacitor element Cadd.

【0081】保持容量素子Caddの保持容量は、画素の
書込特性から、液晶容量Cpixに対して4〜8倍(4・C
pix<Cadd<8・Cpix)、寄生容量Cgsに対して8〜3
2倍(8・Cgs<Cadd<32・Cgs)程度の値に設定す
る。
The holding capacitance of the holding capacitance element Cadd is 4 to 8 times (4.C
pix <Cadd <8 · Cpix), 8 to 3 for parasitic capacitance Cgs
Set to a value about twice (8 · Cgs <Cadd <32 · Cgs).

【0082】保持容量電極線としてのみ使用される初段
の走査信号線GL(Y0)は共通透明画素電極ITO2
(Vcom)と同じ電位にする。図7の例では、初段の走
査信号線は端子GT0、引出線INT、端子DT0及び
外部配線を通じて共通電極COMに短絡される。或い
は、初段の保持容量電極線Y0は最終段の走査信号線Ye
ndに接続、Vcom以外の直流電位点(交流接地点)に接
続するかまたは垂直走査回路Vから1つ余分に走査パル
スY0を受けるように接続してもよい。
The first-stage scanning signal line GL (Y 0 ) used only as the storage capacitor electrode line is the common transparent pixel electrode ITO2.
Set to the same potential as (Vcom). In the example of FIG. 7, the scanning signal line at the first stage is short-circuited to the common electrode COM through the terminal GT0, the lead wire INT, the terminal DT0 and the external wiring. Alternatively, the storage capacitor electrode line Y 0 in the first stage is the scanning signal line Ye in the last stage.
It may be connected to nd, connected to a DC potential point (AC ground point) other than Vcom, or connected to receive one extra scanning pulse Y 0 from the vertical scanning circuit V.

【0083】《製造方法》つぎに、上述した液晶表示装
置の基板SUB1側の製造方法について図13〜図15
を参照して説明する。なお同図において、中央の文字は
工程名の略称であり、左側は図3に示す画素部分、右側
は図10に示すゲート端子付近の断面形状でみた加工の
流れを示す。工程Dを除き工程A〜工程Iは各写真処理
に対応して区分けしたもので、各工程のいずれの断面図
も写真処理後の加工が終わりフォトレジストを除去した
段階を示している。なお、写真処理とは本説明ではフォ
トレジストの塗布からマスクを使用した選択露光を経て
それを現像するまでの一連の作業を示すものとし、繰返
しの説明は避ける。以下区分けした工程に従って、説明
する。
<< Manufacturing Method >> Next, a manufacturing method of the above-mentioned liquid crystal display device on the substrate SUB1 side will be described with reference to FIGS.
Will be described with reference to. In the figure, the letters in the center are abbreviations of process names, the left side shows the pixel portion shown in FIG. 3, and the right side shows the processing flow as seen in the sectional shape near the gate terminal shown in FIG. Except for the step D, steps A to I are divided corresponding to each photographic process, and all the cross-sectional views of each process show the stage after the photo process is finished and the photoresist is removed. In this description, the photographic processing means a series of operations from the application of the photoresist to the selective exposure using the mask to the development thereof, and the repetitive description will be omitted. A description will be given below according to the divided steps.

【0084】工程A、図13 7059ガラス(商品名)からなる下部透明ガラス基板
SUB1の両面に酸化シリコン膜SIOをディップ処理
により設けたのち、500℃、60分間のベークを行な
う。下部透明ガラス基板SUB1上に膜厚が1100Å
のクロムからなる第1導電膜g1をスパッタリングによ
り設け、写真処理後、エッチング液として硝酸第2セリ
ウムアンモニウム溶液で第1導電膜g1を選択的にエッ
チングする。それによって、ゲート端子GTM、ドレイ
ン端子DTM、ゲート端子GTMを接続する陽極酸化バ
スラインSHg、ドレイン端子DTMを短絡するバスラ
インSHd、陽極酸化バスラインSHgに接続された陽
極酸化パッド(図示せず)を形成する。
Step A, FIG. 13 A silicon oxide film SIO is formed on both surfaces of a lower transparent glass substrate SUB1 made of 7059 glass (trade name) by dipping, and then baked at 500 ° C. for 60 minutes. The film thickness is 1100Å on the lower transparent glass substrate SUB1.
The first conductive film g1 made of chromium is provided by sputtering, and after the photographic processing, the first conductive film g1 is selectively etched with a cerium ammonium nitrate solution as an etching solution. Thereby, the gate terminal GTM, the drain terminal DTM, the anodized bus line SHg connecting the gate terminal GTM, the bus line SHd shorting the drain terminal DTM, and the anodized pad (not shown) connected to the anodized bus line SHg. To form.

【0085】工程B、図13 膜厚が2800ÅのAl−Pd、Al−Si、Al−S
i−Ti、Al−Si−Cu等からなる第2導電膜g2
をスパッタリングにより設ける。写真処理後、リン酸と
硝酸と氷酢酸との混酸液で第2導電膜g2を選択的にエ
ッチングする。
Step B, FIG. 13 Al-Pd, Al-Si, Al-S having a film thickness of 2800Å
The second conductive film g2 made of i-Ti, Al-Si-Cu, or the like
Are provided by sputtering. After the photographic processing, the second conductive film g2 is selectively etched with a mixed acid solution of phosphoric acid, nitric acid and glacial acetic acid.

【0086】工程C、図13 写真処理後(前述した陽極酸化マスクAO形成後)、3
%酒石酸をアンモニアによりPH6.25±0.05に調
整した溶液をエチレングリコール液で1:9に稀釈した
液からなる陽極酸化液中に基板SUB1を浸漬し、化成
電流密度が0.5mA/cm2になるように調整する(定
電流化成)。次に所定のAl23膜厚が得られるのに必
要な化成電圧125Vに達するまで陽極酸化を行う。そ
の後この状態で数10分保持することが望ましい(定電
圧化成)。これは均一なAl23膜を得る上で大事なこ
とである。それによって、導電膜g2を陽極酸化され、
走査信号線GL、ゲート電極GTおよび電極PL1上に
膜厚が1800Åの陽極酸化膜AOFが形成される。
Step C, FIG. 13 After photographic processing (after forming the above-described anodic oxidation mask AO), 3
Substrate SUB1 is immersed in an anodizing solution consisting of a solution prepared by diluting 1% of tartaric acid with ammonia to pH 6.25 ± 0.05 with ethylene glycol solution, and the formation current density is 0.5 mA / cm. 2 so as to adjust (constant current Kasei). Next, anodic oxidation is performed until the formation voltage 125 V required to obtain a predetermined Al 2 O 3 film thickness is reached. After that, it is desirable to hold this state for several tens of minutes (constant voltage formation). This is important for obtaining a uniform Al 2 O 3 film. Thereby, the conductive film g2 is anodized,
An anodic oxide film AOF having a film thickness of 1800Å is formed on scanning signal line GL, gate electrode GT and electrode PL1.

【0087】工程D、図14 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が2000Åの窒化Si膜を設
け、プラズマCVD装置にシランガス、水素ガスを導入
して、膜厚が2000Åのi型非晶質Si膜を設けたの
ち、プラズマCVD装置に水素ガス、ホスフィンガスを
導入して、膜厚が300ÅのN(+)型非晶質Si膜を設
ける。
Step D, FIG. 14 Ammonia gas, silane gas, and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a 2000 Å-thickness Si nitride film, and silane gas and hydrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus. After forming an i-type amorphous Si film having a thickness of 2000Å, hydrogen gas and phosphine gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form an N (+)-type amorphous Si film having a film thickness of 300Å.

【0088】工程E、図14 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6、CC
4を使用してN(+)型非晶質Si膜、i型非晶質Si
膜を選択的にエッチングすることにより、i型半導体層
ASの島を形成する。
Step E, FIG. 14 After photoprocessing, SF 6 and CC are used as dry etching gas.
Use l 4 N (+) type amorphous Si film, i-type amorphous Si
The island of the i-type semiconductor layer AS is formed by selectively etching the film.

【0089】工程F、図14 写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6を使用
して、窒化Si膜を選択的にエッチングする。
Step F, FIG. 14 After the photo process, the Si nitride film is selectively etched using SF 6 as a dry etching gas.

【0090】工程G、図15 膜厚が1400ÅのITO膜からなる第1導電膜d1を
スパッタリングにより設ける。写真処理後、エッチング
液として塩酸と硝酸との混酸液で第1導電膜d1を選択
的にエッチングすることにより、ゲート端子GTM、ド
レイン端子DTMの最上層および透明画素電極ITO1
を形成する。
Step G, FIG. 15 A first conductive film d1 made of an ITO film having a film thickness of 1400Å is provided by sputtering. After the photographic processing, the first conductive film d1 is selectively etched with a mixed acid solution of hydrochloric acid and nitric acid as an etching solution, whereby the uppermost layers of the gate terminal GTM and the drain terminal DTM and the transparent pixel electrode ITO1.
To form.

【0091】工程H、図15 膜厚が600ÅのCrからなる第2導電膜d2をスパッ
タリングにより設け、さらに膜厚が4000ÅのAl−
Pd、Al−Si、Al−Si−Ti、Al−Si−C
u等からなる第3導電膜d3をスパッタリングにより設
ける。写真処理後、第3導電膜d3を工程Bと同様な液
でエッチングし、第2導電膜d2を工程Aと同様な液で
エッチングし、映像信号線DL、ソース電極SD1、ド
レイン電極SD2を形成する。つぎに、ドライエッチン
グ装置にCCl4、SF6を導入して、N(+)型非晶質S
i膜をエッチングすることにより、ソースとドレイン間
のN(+)型半導体層d0を選択的に除去する。
Step H, FIG. 15 A second conductive film d2 made of Cr having a film thickness of 600 Å is provided by sputtering, and Al- having a film thickness of 4000 Å is formed.
Pd, Al-Si, Al-Si-Ti, Al-Si-C
A third conductive film d3 made of u or the like is provided by sputtering. After the photographic processing, the third conductive film d3 is etched with the same liquid as the process B, and the second conductive film d2 is etched with the same liquid as the process A to form the video signal line DL, the source electrode SD1, and the drain electrode SD2. To do. Next, by introducing CCl 4 and SF 6 into the dry etching apparatus, N (+) type amorphous S
By etching the i film, the N (+) type semiconductor layer d0 between the source and the drain is selectively removed.

【0092】工程I、図15 プラズマCVD装置にアンモニアガス、シランガス、窒
素ガスを導入して、膜厚が1μmの窒化Si膜を設け
る。写真処理後、ドライエッチングガスとしてSF6
使用した写真蝕刻技術で窒化Si膜を選択的にエッチン
グすることによって、保護膜PSV1を形成する。
Step I, FIG. 15 Ammonia gas, silane gas and nitrogen gas are introduced into the plasma CVD apparatus to form a Si nitride film having a thickness of 1 μm. After the photo processing, the protective film PSV1 is formed by selectively etching the Si nitride film by a photo-etching technique using SF 6 as a dry etching gas.

【0093】《液晶表示モジュールの全体構成》図16
は、液晶表示モジュールMDLの各構成部品を示す分解
斜視図である。
<< Overall Structure of Liquid Crystal Display Module >> FIG.
[Fig. 3] is an exploded perspective view showing each component of the liquid crystal display module MDL.

【0094】SHDは金属板から成る枠状のシールドケ
ース(メタルフレーム)、LCWその表示窓、PNLは
液晶表示パネル、SPBは光拡散板、MFRは中間フレ
ーム、BLはバックライト、BLSはバックライト支持
体、LCAは下側ケースであり、図に示すような上下の
配置関係で各部材が積み重ねられてモジュールMDLが
組み立てられる。
SHD is a frame-shaped shield case (metal frame) made of a metal plate, LCW display window, PNL is a liquid crystal display panel, SPB is a light diffusion plate, MFR is an intermediate frame, BL is a backlight, and BLS is a backlight. The support and the LCA are the lower case, and the modules MDL are assembled by stacking the respective members in a vertical arrangement relationship as shown in the figure.

【0095】モジュールMDLは、シールドケースSH
Dに設けられた爪CLとフックFKによって全体が固定
されるようになっている。
The module MDL is a shield case SH.
The whole is fixed by the claw CL and the hook FK provided on D.

【0096】中間フレームMFRは表示窓LCWに対応
する開口が設けられるように枠状に形成され、その枠部
分には拡散板SPB、バックライト支持体BLS並びに
各種回路部品の形状や厚みに応じた凹凸や、放熱用の開
口が設けられている。
The intermediate frame MFR is formed in a frame shape so as to have an opening corresponding to the display window LCW, and the frame portion has a diffusion plate SPB, a backlight support BLS, and various circuit components in accordance with their shapes and thicknesses. There are irregularities and openings for heat dissipation.

【0097】下側ケースLCAはバックライト光の反射
体も兼ねており、効率のよい反射ができるよう、蛍光管
BLに対応して反射山RMが形成されている。
The lower case LCA also serves as a reflector for backlight light, and a reflection mountain RM is formed corresponding to the fluorescent tube BL so as to reflect light efficiently.

【0098】《表示パネルPNLと駆動回路基板PCB
1》図17は、図5等に示した表示パネルPNLに映像
信号駆動回路He、Hoと垂直走査回路Vを接続した状
態を示す上面図である。
<< Display Panel PNL and Drive Circuit Board PCB
1 >> FIG. 17 is a top view showing a state in which the video signal drive circuits He and Ho and the vertical scanning circuit V are connected to the display panel PNL shown in FIG.

【0099】CHIは表示パネルPNLを駆動させる駆
動ICチップ(下側の3個は垂直走査回路側の駆動IC
チップ、左右の6個ずつは映像信号駆動回路側の駆動I
Cチップ)である。TCPは図18、図19で後述する
ように駆動用ICチップCHIがテープ・オートメイテ
ィド・ボンディング法(TAB)により実装されたテー
プキャリアパッケージ、PCB1は上記TCPやコンデ
ンサCDS等が実装された駆動回路基板で、3つに分割
されている。FGPは駆動回路基板PCB1の上面に設
けられ、グランドラインが接続されたフレームグランド
パッドであり、図1(a)を用いて既に説明したよう
に、導電ゴム層(図16では図示省略)を介してシール
ドケースSHDの内面と電気的に接続されている。図1
7に示すように、3個に分割された各駆動回路基板PC
B1の各グランドライン(図示省略)に接続されたフレ
ームグランドパッドFGPは、各基板毎に2個ずつ合計
6個設けてある。駆動回路基板PCB1が複数に分割さ
れている場合、直流的には駆動回路基板のうち少なくと
も1ヶ所がフレームグランドに接続されていれば、電気
的な問題は起きないが、高周波領域ではその箇所が少な
いと、各駆動回路基板の特性インピーダンスの違い等に
より電気信号の反射、グランドラインの電位が振られる
等が原因で、EMIを引き起こす不要な輻射電波の発生
ポテンシャルが高くなる。特に、薄膜トランジスタTF
Tを用いたモジュールMDLでは、高速のクロックを用
いるので、EMI対策が難しい。これを防止するため
に、複数に分割された各駆動回路基板PCB1毎に少な
くとも1ヶ所、本実施例では2ヶ所でグランドライン
(交流接地電位)をインピーダンスが十分に低い共通の
金属製シールドケースSHDに接続する。これにより、
高周波領域におけるグランドラインが強化されるので、
全体で1ヶ所だけシールドケースSHDに接続した場合
と比較すると、本実施例の6ヶ所の場合は輻射の電界強
度で5dB以上の改善が見られた。FCは下側の駆動回
路基板PCB1と左側の駆動回路基板PCB1、および
下側の駆動回路基板PCB1と右側の駆動回路基板PC
B1とを電気的に接続するフラットケーブルである。フ
ラットケーブルFCとしては図に示すように、複数のリ
ード線(りん青銅の素材にSn鍍金を施したもの)をス
トライプ状のポリエチレン層とポリビニルアルコール層
とでサンドイッチして支持したものを使用する。
CHI is a driving IC chip for driving the display panel PNL (the lower three are driving ICs on the vertical scanning circuit side).
Chips, 6 each on the left and right are drive I on the video signal drive circuit side
C chip). TCP is a tape carrier package in which a driving IC chip CHI is mounted by a tape automated bonding method (TAB), as will be described later with reference to FIGS. 18 and 19, and PCB1 is a drive in which the TCP, the capacitor CDS and the like are mounted. It is divided into three parts on the circuit board. The FGP is a frame ground pad provided on the upper surface of the drive circuit board PCB1 and connected to the ground line. As described above with reference to FIG. 1A, the FGP is provided with a conductive rubber layer (not shown in FIG. 16). Is electrically connected to the inner surface of the shield case SHD. Figure 1
As shown in FIG. 7, each drive circuit board PC divided into three
The frame ground pads FGP connected to the ground lines (not shown) of B1 are provided in twos for each substrate, six in total. When the drive circuit board PCB1 is divided into a plurality of parts, no electrical problem will occur if at least one part of the drive circuit board is connected to the frame ground in terms of direct current, but that part is not present in the high frequency region. If the amount is small, the potential for generating unnecessary radiated radio waves that causes EMI increases due to the reflection of electric signals and the fluctuation of the ground line potential due to differences in the characteristic impedance of each drive circuit board. In particular, the thin film transistor TF
Since the module MDL using T uses a high-speed clock, it is difficult to take measures against EMI. In order to prevent this, a common metal shield case SHD having a sufficiently low impedance is provided for the ground line (AC ground potential) at at least one place for each of the plurality of divided drive circuit boards PCB1, and in two places in this embodiment. Connect to. This allows
Since the ground line in the high frequency area is strengthened,
Compared to the case where only one place was connected to the shield case SHD as a whole, an improvement of 5 dB or more was seen in the electric field intensity of radiation in the case of the six places of this example. FC is a lower drive circuit board PCB1 and a left drive circuit board PCB1, and a lower drive circuit board PCB1 and a right drive circuit board PC.
It is a flat cable that electrically connects to B1. As the flat cable FC, as shown in the figure, a plurality of lead wires (phosphor bronze material plated with Sn) sandwiched between a striped polyethylene layer and a polyvinyl alcohol layer are used.

【0100】《TCPの接続構造》図18は走査信号駆
動回路Vや映像信号駆動回路He,Hoを構成する、集
積回路チップCHIがフレキシブル配線基板に搭載され
たテープキャリアパッケージTCPの断面構造を示す図
であり、図19はそれを液晶表示パネルの、本例では映
像信号回路用端子DTMに接続した状態を示す要部断面
図である。
<< TCP Connection Structure >> FIG. 18 shows a sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI, which constitutes the scanning signal driving circuit V and the video signal driving circuits He and Ho, is mounted on a flexible wiring board. FIG. 19 is a cross-sectional view of essential parts showing a state in which it is connected to the liquid crystal display panel, in this example, the video signal circuit terminal DTM.

【0101】同図において、TTBは集積回路CHIの
入力端子・配線部であり、TTMは集積回路CHIの出
力端子・配線部であり、例えばCuから成り、それぞれ
の内側の先端部(通称インナーリード)には集積回路C
HIのボンディングパッドPADがいわゆるフェースダ
ウンボンディング法により接続される。端子TTB,T
TMの外側の先端部(通称アウターリード)はそれぞれ
半導体集積回路チップCHIの入力及び出力に対応し、
半田付け等によりCRT/TFT変換回路・電源回路S
UPに、異方性導電膜ACFによって液晶表示パネルP
NLに接続される。パッケージTCPは、その先端部が
パネルPNL側の接続端子DTMを露出した保護膜PS
V1を覆うようにパネルに接続されており、従って、外
部接続端子DTM(GTM)は保護膜PSV1かパッケ
ージTCPの少なくとも一方で覆われるので電触に対し
て強くなる。
In the figure, TTB is an input terminal / wiring part of the integrated circuit CHI, and TTM is an output terminal / wiring part of the integrated circuit CHI. ) Is the integrated circuit C
The HI bonding pad PAD is connected by a so-called face-down bonding method. Terminals TTB, T
Outer end portions (commonly called outer leads) of TM correspond to the input and output of the semiconductor integrated circuit chip CHI,
CRT / TFT conversion circuit / power supply circuit S by soldering, etc.
A liquid crystal display panel P is formed on the UP by an anisotropic conductive film ACF.
Connected to NL. The package TCP has a protective film PS whose front end exposes the connection terminal DTM on the panel PNL side.
Since it is connected to the panel so as to cover V1, and therefore the external connection terminal DTM (GTM) is covered by at least one of the protective film PSV1 and the package TCP, it is strong against electric contact.

【0102】BF1はポリイミド等からなるベースフィ
ルムであり、SRSは半田付けの際半田が余計なところ
へつかないようにマスクするためのソルダレジスト膜で
ある。シールパターンSLの外側の上下ガラス基板の隙
間は洗浄後エポキシ樹脂EPX等により保護され、パッ
ケージTCPと上側基板SUB2の間には更にシリコー
ン樹脂SILが充填され保護が多重化されている。
BF1 is a base film made of polyimide or the like, and SRS is a solder resist film for masking the solder so that it will not stick to an unnecessary place during soldering. The gap between the upper and lower glass substrates outside the seal pattern SL is protected by an epoxy resin EPX or the like after cleaning, and a silicone resin SIL is further filled between the package TCP and the upper substrate SUB2 for multiple protection.

【0103】《駆動回路基板PCB2》中間フレームM
FRに保持・収納される液晶表示部LCDの駆動回路基
板PCB2は、図31に示すように、L字形をしてお
り、IC、コンデンサ、抵抗等の電子部品が搭載されて
いる。この駆動回路基板PCB2には、1つの電圧源か
ら複数の分圧した安定化された電圧源を得るための電源
回路や、ホスト(上位演算処理装置)からのCRT(陰
極線管)用の情報をTFT液晶表示装置用の情報に変換
する回路を含む回路SUPが搭載されている。CJは外
部と接続される図示しないコネクタが接続されるコネク
タ接続部である。駆動回路基板PCB2とインバータ回
路基板PCB3とはバックライトケーブルにより中間フ
レームMFRに設けたコネクタ穴を介して電気的に接続
される。
<< Drive Circuit Board PCB2 >> Intermediate Frame M
As shown in FIG. 31, the drive circuit board PCB2 of the liquid crystal display unit LCD which is held / stored in the FR is L-shaped, and has electronic parts such as ICs, capacitors and resistors mounted thereon. This drive circuit board PCB2 is provided with a power supply circuit for obtaining a plurality of divided and stabilized voltage sources from one voltage source, and information for a CRT (cathode ray tube) from a host (upper processing unit). A circuit SUP including a circuit for converting into information for a TFT liquid crystal display device is mounted. CJ is a connector connecting portion to which a connector (not shown) connected to the outside is connected. The drive circuit board PCB2 and the inverter circuit board PCB3 are electrically connected by a backlight cable through a connector hole provided in the intermediate frame MFR.

【0104】駆動回路基板PCB1と駆動回路基板PC
B2とは折り曲げ可能なフラットケーブルFCにより電
気的に接続されている。組立て時、駆動回路基板PCB
2は、フラットケーブルFCを180°折り曲げることに
より駆動回路基板PCB1の裏側に重ねられ、中間フレ
ームMFRの所定の凹部に嵌合される。
Drive circuit board PCB1 and drive circuit board PC
B2 is electrically connected by a foldable flat cable FC. When assembled, drive circuit board PCB
2 is stacked on the back side of the drive circuit board PCB1 by bending the flat cable FC by 180 ° and fitted into a predetermined recess of the intermediate frame MFR.

【0105】以上、本発明を上記実施例に基づいて具体
的に説明したが、本発明は上記実施例に限定されるもの
ではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更
可能であることは勿論である。例えば、上記実施例で
は、アクティブ・マトリクス方式の液晶表示装置に適用
した例を示したが、本発明は、単純マトリクス方式の液
晶表示装置にも適用することができる。
Although the present invention has been specifically described based on the above embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments and can be variously modified without departing from the scope of the invention. Is. For example, in the above-described embodiment, an example in which the present invention is applied to an active matrix type liquid crystal display device is shown, but the present invention can also be applied to a simple matrix type liquid crystal display device.

【0106】[0106]

【発明の効果】以上説明したように、本発明では、グラ
ンドラインを強化できると共に、当該液晶表示装置の組
立て作業性を向上でき、かつ、半田ボールに起因するシ
ョートの発生を防止できる。また、グランドラインとシ
ールドケースとを容易に接続できるので、駆動回路基板
のグランドラインあるいはフレームグランドパッドの設
計の自由度を向上できる。
As described above, according to the present invention, the ground line can be strengthened, the assembling workability of the liquid crystal display device can be improved, and the occurrence of short circuit due to the solder ball can be prevented. Further, since the ground line and the shield case can be easily connected, the degree of freedom in designing the ground line of the drive circuit board or the frame ground pad can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)は、本発明の一実施例の液晶表示装置の
要部(グランドラインとシールドケースとの接続部)断
面図、(b)は、従来の金属製シールドケースと一体に
設けた爪を半田付けにより接続した液晶表示装置の斜視
図、(c)は、(b)のA部断面図である。
FIG. 1A is a cross-sectional view of a main part (a connection part between a ground line and a shield case) of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention, and FIG. 1B is an integrated view of a conventional metal shield case. FIG. 3C is a perspective view of the liquid crystal display device in which the provided claws are connected by soldering, and FIG.

【図2】この発明が適用されるアクティブ・マトリック
ス方式のカラー液晶表示装置の液晶表示部の一画素とそ
の周辺を示す要部平面図である。
FIG. 2 is a main-portion plan view showing one pixel and its periphery of a liquid crystal display portion of an active matrix type color liquid crystal display device to which the present invention is applied.

【図3】図2の3−3切断線における1画素とその周辺
を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing one pixel and its periphery taken along the section line 3-3 in FIG.

【図4】図2の4−4切断線における付加容量Caddの
断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view of the additional capacitance Cadd taken along the line 4-4 in FIG.

【図5】表示パネルのマトリクス周辺部の構成を説明す
るための平面図である。
FIG. 5 is a plan view for explaining the configuration of the matrix peripheral portion of the display panel.

【図6】図5の周辺部をやや誇張し更に具体的に説明す
るためのパネル平面図である。
FIG. 6 is a panel plan view for slightly exaggerating the peripheral portion of FIG. 5 to explain it more specifically.

【図7】上下基板の電気的接続部を含む表示パネルの角
部の拡大平面図である。
FIG. 7 is an enlarged plan view of a corner portion of a display panel including electrical connection portions of upper and lower substrates.

【図8】マトリクスの画素部を中央に、両側にパネル角
付近と映像信号端子部付近を示す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing the vicinity of a panel angle and the vicinity of a video signal terminal portion on both sides, with the pixel portion of the matrix at the center.

【図9】左側に走査信号端子、右側に外部接続端子の無
いパネル縁部分を示す断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a scan signal terminal on the left side and a panel edge portion without an external connection terminal on the right side.

【図10】ゲート端子GTMとゲート配線GLの接続部
近辺を示す平面と断面の図である。
FIG. 10 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connecting portion between a gate terminal GTM and a gate wiring GL.

【図11】ドレイン端子DTMと映像信号線DLとの接
続部付近を示す平面と断面の図である。
FIG. 11 is a plan view and a cross-sectional view showing the vicinity of a connection portion between a drain terminal DTM and a video signal line DL.

【図12】アクティブ・マトリックス方式のカラー液晶
表示装置のマトリクス部とその周辺を含む回路図であ
る。
FIG. 12 is a circuit diagram including a matrix portion and its periphery of an active matrix type color liquid crystal display device.

【図13】基板SUB1側の工程A〜Cの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 13 is a flowchart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of steps A to C on the substrate SUB1 side.

【図14】基板SUB1側の工程D〜Fの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 14 is a flow chart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing a manufacturing process of processes D to F on the side of the substrate SUB1.

【図15】基板SUB1側の工程G〜Iの製造工程を示
す画素部とゲート端子部の断面図のフローチャートであ
る。
FIG. 15 is a flow chart of a cross-sectional view of a pixel portion and a gate terminal portion showing manufacturing steps of steps GI on the side of the substrate SUB1.

【図16】液晶表示モジュールの分解斜視図である。FIG. 16 is an exploded perspective view of a liquid crystal display module.

【図17】液晶表示パネルに周辺の駆動回路を実装した
状態を示す上面図である。
FIG. 17 is a top view showing a state in which a peripheral drive circuit is mounted on a liquid crystal display panel.

【図18】駆動回路を構成する集積回路チップCHIが
フレキシブル配線基板に搭載されたテープキャリアパッ
ケージTCPの断面構造を示す図である。
FIG. 18 is a diagram showing a cross-sectional structure of a tape carrier package TCP in which an integrated circuit chip CHI forming a drive circuit is mounted on a flexible wiring board.

【図19】テープキャリアパッケージTCPを液晶表示
パネルPNLの映像信号回路用端子DTMに接続した状
態を示す要部断面図である。
FIG. 19 is a cross-sectional view of essential parts showing a state in which the tape carrier package TCP is connected to the video signal circuit terminal DTM of the liquid crystal display panel PNL.

【図20】周辺駆動回路基板PCB1(上面が見える)
と電源回路回路基板PCB2(下面が見える)との接続
状態を示す上面図である。
FIG. 20: Peripheral drive circuit board PCB1 (top surface visible)
It is a top view which shows the connection state of power supply circuit circuit board PCB2 (a lower surface is visible).

【符号の説明】[Explanation of symbols]

SHD…金属製シールドケース、PCB…駆動回路基
板、FGP…フレームグランドパッド、MFR…中間フ
レーム、ECG…導電ゴム層、CV…凸部。
SHD ... Metal shield case, PCB ... Drive circuit board, FGP ... Frame ground pad, MFR ... Intermediate frame, ECG ... Conductive rubber layer, CV ... Convex part.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】駆動回路基板の面上に設けたグランドライ
ンの一部と、金属性シールドケースの内面とを導電ゴム
層を介して電気的に接続したことを特徴とする液晶表示
装置。
1. A liquid crystal display device, characterized in that a part of a ground line provided on the surface of a drive circuit board and an inner surface of a metallic shield case are electrically connected via a conductive rubber layer.
【請求項2】前記導電ゴム層と接触する前記金属性シー
ルドケースの内面に凸部を設けたことを特徴とする請求
項1記載の液晶表示装置。
2. The liquid crystal display device according to claim 1, wherein a convex portion is provided on an inner surface of the metallic shield case which is in contact with the conductive rubber layer.
JP5191293A 1993-03-12 1993-03-12 Liquid crystal display device Pending JPH06265922A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5191293A JPH06265922A (en) 1993-03-12 1993-03-12 Liquid crystal display device

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5191293A JPH06265922A (en) 1993-03-12 1993-03-12 Liquid crystal display device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06265922A true JPH06265922A (en) 1994-09-22

Family

ID=12900091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP5191293A Pending JPH06265922A (en) 1993-03-12 1993-03-12 Liquid crystal display device

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06265922A (en)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980067764A (en) * 1997-02-12 1998-10-15 김광호 Grounding Structure of Printed Circuit Board for LCD
JP2003015150A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Aiphone Co Ltd Conductive connecting structure for liquid crystal panel
JP2006146121A (en) * 2004-11-23 2006-06-08 Samsung Electronics Co Ltd Receiving container for display device and liquid crystal display device having same
US20100026927A1 (en) * 2004-11-23 2010-02-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Display device
WO2012011328A1 (en) * 2010-07-21 2012-01-26 シャープ株式会社 Display device and television reception device
WO2012111584A1 (en) * 2011-02-17 2012-08-23 シャープ株式会社 Display device
US20150146403A1 (en) * 2013-11-28 2015-05-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR19980067764A (en) * 1997-02-12 1998-10-15 김광호 Grounding Structure of Printed Circuit Board for LCD
JP2003015150A (en) * 2001-06-28 2003-01-15 Aiphone Co Ltd Conductive connecting structure for liquid crystal panel
JP2006146121A (en) * 2004-11-23 2006-06-08 Samsung Electronics Co Ltd Receiving container for display device and liquid crystal display device having same
US20100026927A1 (en) * 2004-11-23 2010-02-04 Samsung Electronics Co., Ltd. Display device
US8786795B2 (en) 2004-11-23 2014-07-22 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US9274374B2 (en) 2004-11-23 2016-03-01 Samsung Display Co., Ltd. Display device
WO2012011328A1 (en) * 2010-07-21 2012-01-26 シャープ株式会社 Display device and television reception device
WO2012111584A1 (en) * 2011-02-17 2012-08-23 シャープ株式会社 Display device
US20150146403A1 (en) * 2013-11-28 2015-05-28 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US9625748B2 (en) * 2013-11-28 2017-04-18 Samsung Display Co., Ltd. Display device
US20170184913A1 (en) * 2013-11-28 2017-06-29 Samsung Display Co., Ltd Display device
US10162205B2 (en) * 2013-11-28 2018-12-25 Samsung Display Co., Ltd. Display device comprising a display panel fixed to a lower chassis by a metal line

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3184853B2 (en) Liquid crystal display
JPH05257142A (en) Liquid crystal display device
JPH07146481A (en) Liquid crystal display substrate
JPH06102534A (en) Thin-film transistor array
JPH0675216A (en) Liquid crystal display device
JPH0794744A (en) Mis transistor
JPH06250221A (en) Production of liquid crystal display substrate
JPH06265922A (en) Liquid crystal display device
JPH06347825A (en) Liquid crystal display device and its production
JP3311838B2 (en) Liquid crystal display
JPH07333636A (en) Liquid crystal display device
JPH0792489A (en) Liquid crystal display device
JPH06258667A (en) Liquid crystal display device
JPH07191339A (en) Liquid crystal display device
JPH05257130A (en) Liquid crystal display device
JPH06265919A (en) Liquid crystal display device
JPH06268218A (en) Manufacture of thin film transistor
JPH06242465A (en) Liquid crystal display substrate
JPH06308529A (en) Thin-film transistor substrate, liquid crystal display panel and liquid crystal display device
JPH0736052A (en) Substrate provided with al alloy layer as wiring layer and its production
JPH07239478A (en) Semiconductor device
JPH06258666A (en) Liquid crystal display device
JPH06265934A (en) Liquid crystal display device
JPH0659270A (en) Liquid crystal display device
JPH05257129A (en) Liquid crystal display device