JP2001091204A

JP2001091204A - 距離測定装置

Info

Publication number: JP2001091204A
Application number: JP26979799A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Shimamoto; 篤嶋本; Norihiko Karasawa; 憲彦柄澤; Momoyao Karasaki; 百谷王唐崎
Original assignee: FOTONIKUSU KK
Current assignee: FOTONIKUSU KK
Priority date: 1999-09-24
Filing date: 1999-09-24
Publication date: 2001-04-06
Anticipated expiration: 2019-09-24
Also published as: JP4524011B2

Abstract

(57)【要約】【課題】各種材質の測定対象体との間の距離を短時間
で測定可能な距離測定装置を提供する。【解決手段】一対の電極１３〜１５が形成されて距離
測定基準面を形成する基準面手段１２と、一対の電極１
３〜１５間の容量を発振周波数定数の一部とする発振回
路２１と、発振回路２１の発振周波数およびその発振周
波数に応じて変動する所定のパラメータの少なくとも一
方に基づいて距離測定基準面および測定対象体５間の距
離を測定する測定回路２６とを備えた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、非接触方式で測定
対象体との間の距離を測定するための距離測定装置に関
するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の距離測定装置として、出願人
は、図６に示す距離測定装置４１を既に提案している
（特願平１１−９０８０５号）。この距離測定装置４１
は、距離センサ１１と、測定装置本体４２と、測定装置
本体４２および測定対象体６１のグランド電位を共通接
続するための接続用ケーブル６２とを備えている。距離
センサ１１は、図５（ａ），（ｂ）に示すように、例え
ば円盤状に形成されたプリント基板１２を備え、そのプ
リント基板１２の表面側には、輪状パターン１３〜１５
が形成され、かつその裏面側には、接続用パターン１６
が形成されている。また、プリント基板１２の中央部に
は、挿通用孔１２ａが形成されており、例えばモータの
回転軸などが挿通可能な構造となっている。この場合、
輪状パターン１３は、プリント基板１２の裏面側に形成
されたランド１９にスルーホール１７を介して接続され
ている。輪状パターン１４は、輪状パターン１３の外周
に沿って輪状パターン１３を取り囲むようにして形成さ
れている。また、輪状パターン１５は、輪状パターン１
３の内周に沿って形成されている。この両輪状パターン
１４，１５は、スルーホール１８ａ，１８ｂおよび接続
用パターン１６を介して互いに接続されており、輪状パ
ターン１３をシールドする。

【０００３】一方、測定装置本体４２は、図６に示すよ
うに、測定信号生成回路５１、増幅回路５２、検波回路
５３および演算回路５４を備えている。この場合、測定
信号生成回路５１は、例えば、２０ＫＨｚの正弦波交流
信号を測定信号ＳM として生成し、その測定信号ＳM を
増幅回路５２のプラス入力部に出力する。

【０００４】また、増幅回路５２は、プラス入力部にお
ける測定信号ＳM とマイナス入力部の入力電圧とを差動
増幅する。この場合、増幅回路５２のプラス入力部は信
号ケーブルを介して距離センサ１１の輪状パターン１３
に接続され、マイナス入力部は、信号ケーブルを介して
距離センサ１１の輪状パターン１４，１５に接続され
る。この増幅回路５２は、例えば、モータのロータなど
の測定対象体６１との間の距離を測定する場合、その距
離に応じた電圧の出力電圧Ｖ1 を生成する。具体的に
は、測定対象体６１がプリント基板１２に対して相対的
に移動する場合、輪状パターン１３および測定対象体６
１の間の静電容量Ｃ１１と、輪状パターン１４，１５お
よび測定対象体６１の間の静電容量Ｃ１２とがそれぞれ
変化する。この場合、増幅回路５２は、静電容量Ｃ１１
の変化に応じて変化する輪状パターン１３（つまり、プ
ラス入力部）における測定信号ＳM の電圧値と、増幅回
路５２の出力部からフィードバックされるマイナス入力
部における測定信号ＳM の電圧値とが互いに等しくなる
ように差動増幅する。これにより、増幅回路５２は、静
電容量Ｃ１１の変化に応じた電圧値の測定信号ＳM を出
力電圧Ｖ1 として生成する。一方、検波回路５３は、増
幅回路５２の出力電圧Ｖ1 を全波整流することにより直
流のセンサ信号ＳDCを生成して演算回路５４に出力す
る。また、演算回路５４は、センサ信号ＳDCの電圧値に
基づいて距離を演算する。

【０００５】この距離測定装置３１では、例えば、測定
対象体６１としてのモータのロータと距離センサ１１と
の間の距離を測定する場合、まず、モータの回転軸がプ
リント基板１２の挿通用孔２ａを挿通し、かつ輪状パタ
ーン１３と、測定対象体６１とが対向するように距離セ
ンサ１１を配置する。次いで、ロータおよび測定装置本
体４２間に接続用ケーブル６２を接続することによって
両者のグランド電位を共通接続した後、距離センサ１１
と測定対象体６１との間の距離を測定する。この際に
は、距離センサ１１における輪状パターン１３と、測定
対象体６１としてのロータとの間に測定信号ＳM を印加
することにより、輪状パターン１３の全面とロータとの
間の静電容量Ｃ１１に基づいて距離を測定する。この場
合、この距離センサ１１では、輪状パターン１３が円形
輪状に形成されているため、静電容量Ｃ１１は、ロータ
の表面状態による影響を含めた総和の静電容量として測
定される。したがって、凹凸などが輪状パターン１３の
どの部位に対向していても、静電容量Ｃ１１は、常に同
一容量となる。したがって、測定装置本体４２では、そ
の総和の静電容量１１に基づいての距離センサ１１およ
び測定対象体６１間の距離を１回の演算で瞬時に求める
ことができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、出願人が既
に提案している距離測定装置４１には、以下の改善点が
ある。すなわち、この距離測定装置４１では、測定対象
体６１の電位を測定装置本体４２のグランド電位と同電
位にする必要がある。したがって、距離測定装置４１に
は、測定対象体６１が金属などの導電体に限られ、非導
電体との間の距離を測定するのが困難であるため、これ
を改善すべきとの要請がある。また、距離測定装置４１
では、距離測定に先立って、測定対象体６１および測定
装置本体４２間のグランド電位を同電位にするために、
接続用ケーブル６２を接続しなければならない。したが
って、距離測定に若干時間を要するため、距離測定に要
する時間の短縮化も要請されている。

【０００７】なお、測定対象体６１の裏面側に金属など
の導電体ベースを用いて、その導電体ベースと測定装置
本体４２のグランド電位とを接続用ケーブル６２で接続
する場合には、その導電体ベースおよび距離センサ１１
間の距離を測定することができ、この場合には、測定対
象体６１および距離センサ１１間の距離を近似的に測定
することもできる。しかし、測定対象体６１および距離
センサ１１間の距離を正確に測定するためには、測定し
た距離から測定対象体６１の厚みを減算しなければなら
ず、その演算処理が煩雑となる。また、測定対象体６１
の厚みが厚い場合には、測定自体が困難である。加え
て、測定可能な場合であっても、接続用ケーブル６２の
接続工程が必要のため、距離測定に要する時間の短縮化
の要請に応えるのは困難である。

【０００８】本発明は、かかる改善点に鑑みてなされた
ものであり、各種材質の測定対象体との間の距離を短時
間で測定可能な距離測定装置を提供することを主目的と
する。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成すべく請
求項１記載の距離測定装置は、一対の電極が形成されて
距離測定基準面を形成する基準面手段と、一対の電極間
の容量を発振周波数定数の一部とする発振回路と、発振
回路の発振周波数およびその発振周波数に応じて変動す
る所定のパラメータの少なくとも一方に基づいて距離測
定基準面および測定対象体間の距離を測定する測定回路
とを備えていることを特徴とする。この発明において、
「発振周波数に応じて変動する所定のパラメータ」に
は、発振回路における発振信号自体の電圧値、その発振
信号を整流した電圧値、およびこれらの電圧値に応じて
変動する電流値などが含まれる。

【００１０】この測定装置では、発振回路は、測定対象
体６が存在しないときには、一対の電極間の容量を発振
周波数定数の一部とする所定の周波数で発振する。一
方、例えば、ハードディスクなどの測定対象体に基準面
手段を対向配置したときには、発振回路は、一対の電極
間の容量と、測定対象体を介しての一対の電極間容量と
を発振周波数定数の一部とする所定の周波数で発振す
る。この場合、後者の容量が基準面手段と測定対象体と
の間の距離に応じて変化するため、発振回路の発振周波
数は、基準面手段と測定対象体との間の距離に応じて変
化することになる。したがって、発振回路の発振周波数
または所定のパラメータに基づいて、基準面手段および
測定対象体間の距離を測定することが可能となる。この
際には、各種材質の測定対象体に対する距離を測定でき
ると共に、接続ケーブルによる測定対象体および発振回
路間の接続が不要になるため、迅速に距離を測定するこ
とが可能となる。

【００１１】請求項２記載の距離測定装置は、請求項１
記載の距離測定装置において、測定した距離を測定対象
体の誘電率に応じて補正する補正回路を備えていること
を特徴とする。

【００１２】距離測定の際における測定対象体を介して
の一対の電極間容量は、測定対象体の誘電率に応じて変
化する。したがって、最終的には、発振回路の発振周波
数定数も、測定対象体の誘電率に応じて変化する。この
距離測定装置では、例えば、測定対象体の材質に対応す
る誘電率をメモリなどに予め記憶させ、その測定対象体
を測定する際には、その材質に対応する誘電率に応じ
て、測定した距離を補正する。したがって、誘電率が互
いに異なる各種材質の測定対象体との間の距離を正確か
つ短時間で測定することが可能となる。

【００１３】請求項３記載の距離測定装置は、請求項１
または２記載の距離測定装置において、基準面手段は、
輪状に形成された第１のパターンと、第１のパターンの
外周または内周に沿って輪状に形成された第２のパター
ンとを一対の電極として備えたプリント基板で構成され
ていることを特徴とする。

【００１４】この距離測定では、測定対象体の表面に凹
凸などがある場合、一対の電極がそれぞれ輪状に形成さ
れているため、測定対象体を介しての一対の電極間容量
は、その凹凸などの表面状態による影響を含めた総和の
容量として発振周波数定数の一部となる。この場合、測
定対象体が回転状態および回転停止状態のいずれであっ
ても、また、凹凸などが両パターンのどの部位に対向し
ていても、同一距離であれば、その容量は、常に同一容
量となる。したがって、この距離測定装置は、測定対象
体が回転体であっても、測定対象体の回転状態／回転停
止状態、およびその表面状態に影響されることなく、常
に正確かつ短時間でその距離を測定することが可能とな
る。また、複雑なディジタル処理を行うことなく、瞬時
に距離を測定できるため、距離測定装置を簡易に構成で
き、これにより、製造コストの低減を図ることが可能に
なる。さらに、両パターンをシールドするシールドパタ
ーンを形成した場合には、第１，第２のパターンへの雑
音の混入が低減または防止される結果、距離測定精度の
さらなる向上を図ることが可能となる。

【００１５】請求項４記載の測定装置は、請求項１から
３のいずれかに記載の距離測定装置において、液晶また
はハードディスクを測定対象体とすることを特徴とす
る。

【００１６】この測定装置では、非導電体である測定対
象体と基準面手段との間の距離を短時間で測定すること
ができる。このため、液晶やハードディスクなどの測定
対象体と基準面手段との間の距離を確実かつ短時間で測
定することが可能となる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係る距離測定装置の好適な発明の実施の形態につい
て説明する。なお、距離測定装置４１の構成要素と同一
のものについては、同一の符号を付して重複した説明を
省略する。

【００１８】図１に示すように、距離測定装置１は、距
離センサ１１と、距離センサ１１および測定対象体５間
の距離を測定する測定装置本体２と、距離センサ１１お
よび測定装置本体２間を接続する接続ケーブル３，４と
を備えている。

【００１９】測定装置本体２は、発振回路２１、検波回
路２２、ＬＰＦ（ローパスフィルタ）２３、リニアライ
ザ２４、Ａ／Ｄ変換回路２５、ＣＰＵ２６、ＲＯＭ２
７、ＲＡＭ２８、表示部２９、コンデンサ３１および抵
抗３２を備えて構成されている。

【００２０】この場合、発振回路２１は、ＣＲ発振器で
構成され、コンデンサ３１、抵抗３２、および接続ケー
ブル３，４間の容量を発振周波数定数として発振し、そ
の発振信号ＳO を出力する。検波回路２２は、発振信号
ＳO を検波して検波信号ＳDを出力する。ＬＰＦ２３
は、検波信号ＳD に含まれている交流成分を除去して直
流電圧の検出信号ＳDCを生成する。リニアライザ２４
は、検出信号ＳDCの電圧値が測定対象体５および距離セ
ンサ１１間の距離にほぼ比例するように検出信号ＳDCを
直線補正し、その補正後の検出電圧ＳR を出力する。Ａ
／Ｄ変換回路２５は、検出電圧ＳR をアナログ−ディジ
タル変換して測定データＤM を生成する。ＣＰＵ２６
は、本発明における測定回路および補正回路に相当し、
測定データＤMに基づいての距離演算、および測定した
距離測定値の表示部２９への表示制御などを実行する。
ＲＯＭ２７は、ＣＰＵ２６の動作プログラム、測定デー
タＤM によって特定される検出電圧ＳR の電圧値と距離
との対応関係を示す距離データテーブル、および測定対
象体５の誘電率などを記憶する。ＲＡＭ２８は、ＣＰＵ
２６の演算結果を一時的に記憶する。表示部２９は、例
えば、カラー液晶パネルで構成され、ＣＰＵ２６の制御
下で距離測定値などを表示する。

【００２１】一方、距離センサ１１は、例えば距離測定
装置４１における距離センサ１１と同一に構成されてい
る。具体的には、距離センサ１１は、図５（ａ），
（ｂ）に示すように、円盤状に形成されたプリント基板
１２を備えている。この場合、プリント基板１２の表面
が本発明における基準面手段に相当し、その表面側に
は、本発明における第１のパターンに相当する輪状パタ
ーン１３と、本発明における第２のパターンにそれぞれ
相当する輪状パターン１４，１５とが形成されている。
また、輪状パターン１３は、図４に示すように、プリン
ト基板１２の裏面側に形成されたランド１９にスルーホ
ール１７を介して接続されている。さらに、輪状パター
ン１４，１５は、スルーホール１８ａ，１８ｂおよび接
続用パターン１６を介して互いに接続されている。

【００２２】次に、距離測定装置３１の全体的な動作に
ついて、回転体であるハードディスクを測定対象体５と
して測定する場合を例に挙げて説明する。

【００２３】まず、距離センサ１１の輪状パターン１
４，１５と発振回路２１の一方の入力端子とを接続ケー
ブル３で接続し、かつ距離センサ１１の輪状パターン１
３と発振回路２１の他方の入力端子とを接続ケーブル４
で接続した後、図２に示すように、距離センサ１１を測
定対象体５に対向配置する。この際には、輪状パターン
１３，１４間、および輪状パターン１３，１５間にそれ
ぞれ容量Ｃ１および容量Ｃ２が存在する。また、等価的
に、輪状パターン１３，１４間には、輪状パターン１３
および測定対象体５間の容量Ｃ３と、測定対象体５内の
誘電率に応じた容量と、測定対象体５および輪状パター
ン１４間の容量Ｃ４との直列回路（以下、この直列回路
の容量をＣａとする）が形成され、輪状パターン１３，
１５間には、輪状パターン１３および測定対象体５間の
容量Ｃ３と、測定対象体５内の誘電率に応じた容量と、
測定対象体５および輪状パターン１５間の容量Ｃ４との
直列回路（以下、この直列回路の容量をＣｂとする）が
形成される。この場合、容量Ｃａ，Ｃｂは、測定対象体
５の誘電率が大きいほど、大きい容量値となる。

【００２４】したがって、発振回路２１は、コンデンサ
３１の容量、容量Ｃ１，Ｃ２の並列容量、および容量Ｃ
ａ，Ｃｂの並列容量の合成容量と、抵抗３２の抵抗値と
からなる発振周波数定数で規定される発振周波数で発振
する。この場合、測定対象体５および距離センサ１１間
の距離が短くなるほど容量Ｃａ，Ｃｂが大きくなる。こ
のため、発振回路２１は、測定対象体５および距離セン
サ１１間の距離が短くなるほど低い周波数で発振する。
次いで、検波回路２２が、発振回路２１から出力された
発振信号ＳO を検波して検波信号ＳD を生成する。この
際には、検波回路２２は、発振信号ＳO の周波数が低い
ほど低電圧値の検波信号ＳD を出力する。したがって、
検波信号ＳD の電圧値は、測定対象体５および距離セン
サ１１間の距離が短くなるほど低電圧となる。次に、Ｌ
ＰＦ２３が、検波信号ＳD をろ波することにより検出信
号ＳDCをリニアライザ２４に出力する。

【００２５】続いて、リニアライザ２４は、検出信号Ｓ
DCの電圧値が測定対象体５および距離センサ１１間の距
離にほぼ比例するように検出信号ＳDCを直線補正した
後、補正後の検出電圧ＳR をＡ／Ｄ変換回路２５に出力
する。次いで、Ａ／Ｄ変換回路２５が、検出電圧ＳR を
アナログ−ディジタル変換することにより生成した測定
データＤM をＣＰＵ２６に出力する。次に、ＣＰＵ２６
は、測定データＤM に基づいて距離演算を実行する。こ
の際には、ＣＰＵ２６は、ＲＯＭ２７内の距離データテ
ーブルを参照することにより、測定データＤM に基づい
て距離センサ１１および測定対象体５間の距離を演算す
る。また、ＣＰＵ２６は、ＲＯＭ２７に記憶されている
測定対象体５の誘電率に応じて、演算した距離を補正す
る。つまり、測定対象体５の誘電率が異なると、その誘
電率に応じて容量Ｃａ，Ｃｂが増減する。このため、何
ら補正しない場合には、発振信号ＳO の発振周波数も変
動する結果、演算した距離に誤差が生じる。このため、
この補正処理では、測定対象体５の材質を入力すること
により、ＣＰＵ２６が、その材質に対応する誘電率に応
じて、演算した距離を補正する。この結果、測定対象体
５および距離センサ１１間の正確な距離が測定される。
次いで、自動的またはオペレータの操作に応じて、ＣＰ
Ｕ２６が、演算結果である測定距離を表示部２９に表示
させる。

【００２６】なお、この距離測定装置１では、測定対象
体５の表面に凹凸などがある場合、一対の電極としての
輪状パターン１３〜１５がそれぞれ輪状に形成されてい
るため、測定対象体５を介しての容量Ｃａ，Ｃｂは、そ
の凹凸などの表面状態による影響を含めた総和の容量と
して発振回路２１の発振周波数定数の一部となる。この
場合、測定対象体５が回転状態および回転停止状態のい
ずれであっても、また、凹凸などが輪状パターン１３〜
１５のどの部位に対向していても、同一距離であれば、
その容量Ｃａ，Ｃｂは、常に同一容量となる。したがっ
て、この距離測定装置１は、測定対象体５が回転体であ
っても、その回転体の回転状態／回転停止状態、および
その表面状態に影響されることなく、常に正確かつ短時
間でその距離を測定することができる。

【００２７】このように、この距離測定装置１では、発
振回路２１が輪状パターン１３および輪状パターン１
４，１５間の容量と、測定対象体５を介しての容量Ｃ
ａ，Ｃｂとを発振周波数定数の一部とする所定の周波数
で発振し、発振回路２１の発振信号ＳO を整流した検波
信号ＳD の電圧値に基づいて、距離センサ１１における
プリント基板１２の表面および測定対象体５間の距離を
測定する。このため、この距離測定装置１によれば、測
定対象体５の材質を問わず、接続ケーブルによる測定対
象体５および発振回路２１間の接続を不要にすることが
できるため、両者間の距離を迅速に測定することができ
る。また、複雑なディジタル処理を行うことなく、瞬時
に距離を測定できるため、距離測定装置１を簡易に構成
でき、これにより、製造コストの低減を図ることができ
る。加えて、プリント基板１２上に輪状パターン１３〜
１５を形成して距離センサ１１を構成したことにより、
距離センサ１１全体としての厚みを薄形化することがで
きる。

【００２８】なお、本発明は、上記した本発明の実施の
形態に示した構成に限定されない。例えば、本発明の実
施の形態では、発振回路２１の発振信号ＳO を整流した
検波信号ＳD の電圧値に基づいて距離を測定している
が、これに限らず、発振信号ＳO の周波数を測定するこ
とによって距離を演算することもできる。また、本発明
における距離測定装置１は、距離センサ１１および非導
電測定対象体間の距離測定に限らず、距離センサ１１お
よび導電測定対象体間の距離を測定できるのは勿論であ
る。また、その用途も限定されず、例えば、投影機の被
写体と拡大用レンズとの距離を測定するための距離測定
装置、レーザ切断機におけるレーザ焦点用レンズと切断
対象体との距離を測定するための焦点位置補正用の距離
測定装置、および油面や水面までの距離を測定する距離
測定装置として用いることもできる。

【００２９】また、本発明の実施の形態では、本発明に
おける一対の電極を円形環状に形成した例について説明
したが、これに限定されず、例えば、図３（ａ）に示す
距離センサ１１ａのように、一対の電極パターン１３
ａ，１４ａを四角形状に形成することもできるし、楕円
状、三角形状、多角形状など任意の形状に規定すること
ができる。また、その大きさも、測定対象体の大きさに
応じて適宜定めることができる。さらに、一対の電極
は、環状に限らず、同図（ｂ）に示す距離センサ１１ｂ
のように、一対の電極パターン１３ｂ，１４ｂを平面視
棒状に形成することもできるし、任意の形状に規定する
ことができる。また、距離センサ１１では、３つの輪状
パターン１３〜１５を用いた例について説明したが、輪
状パターン１５（または１４）は必ずしも必要とされ
ず、輪状パターン１３および輪状パターン１４（または
１５）のみで構成することができるのは勿論である。ま
た、本発明における基準面手段は、プリント基板１２に
限定されず、例えば、ガラス板に一対の電極を蒸着して
構成してもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上のように、請求項１記載の距離測定
装置によれば、基準面手段に形成された一対の電極間容
量を発振周波数定数の一部とする発振回路の発振周波数
または所定のパラメータに基づいて基準面および測定対
象体間の距離を測定することにより、測定対象体の材質
を問わず測定することができ、しかも、測定対象体およ
び距離測定装置間を接続する接続ケーブルを不要にする
ことができる結果、その距離を短時間で測定することが
できる。

【００３１】また、請求項２記載の距離測定装置によれ
ば、補正回路が、測定した距離を測定対象体の誘電率に
応じて補正することにより、誘電率が互いに異なる各種
材質の測定対象体との間の距離を正確かつ短時間で測定
することができる。

【００３２】さらに、請求項３記載の距離測定装置によ
れば、輪状に形成された第１のパターンと、第１のパタ
ーンの外周または内周に沿って輪状に形成された第２の
パターンとを一対の電極としたことにより、測定対象体
が回転体であっても、測定対象体の回転状態／回転停止
状態、およびその表面状態に影響されることなく、常に
正確かつ短時間でその距離を測定することができる。ま
た、複雑なディジタル処理を行うことなく、瞬時に距離
を測定できるため、距離測定装置を簡易に構成でき、こ
れにより、製造コストの低減を図ることができる。

【００３３】さらに、請求項４記載の測定装置によれ
ば、非導電体である測定対象体と基準面手段との間の距
離を短時間で測定することができるため、液晶やハード
ディスクと基準面手段との間の距離を確実かつ短時間で
測定することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係る距離測定装置１のブ
ロック図である。

【図２】測定対象体５および距離センサ１１間の距離を
測定する際の説明図である。

【図３】（ａ）は他の形態に係る距離センサ１１ａの平
面図、（ｂ）はさらに他の実施の形態に係る距離センサ
１１ｂの平面図である。

【図４】距離センサ１１の断面図である。

【図５】本発明の実施の形態に係る距離測定装置１およ
び出願人が既に提案している距離測定装置４１における
距離センサ１１の斜視図であって、（ａ）は、表面側か
ら見た斜視図、（ｂ）は裏面側から見た斜視図である。

【図６】出願人が既に提案している距離測定装置４１の
ブロック図である。

【符号の説明】

１距離測定装置２測定装置本体５測定対象体１１距離センサ１２プリント基板１３輪状パターン１４，１５輪状パターン２１発振回路２６ＣＰＵ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者唐崎百谷王東京都豊島区南大塚３丁目34番６号南大塚エースビル401号株式会社フォトニクス内Ｆターム(参考） 2F063 AA02 BA25 BA30 BB03 BC06 CA11 CB05 CB20 DA01 DD03 HA04 HA11 HA12 LA06 LA19 LA30 MA00 2H088 FA11 HA06 MA20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】一対の電極が形成されて距離測定基準面
を形成する基準面手段と、前記一対の電極間の容量を発
振周波数定数の一部とする発振回路と、前記発振回路の
発振周波数およびその発振周波数に応じて変動する所定
のパラメータの少なくとも一方に基づいて前記距離測定
基準面および測定対象体間の距離を測定する測定回路と
を備えていることを特徴とする距離測定装置。
【請求項２】前記測定した距離を前記測定対象体の誘
電率に応じて補正する補正回路を備えていることを特徴
とする請求項１記載の距離測定装置。
【請求項３】前記基準面手段は、輪状に形成された第
１のパターンと、当該第１のパターンの外周または内周
に沿って輪状に形成された第２のパターンとを前記一対
の電極として備えたプリント基板で構成されていること
を特徴とする請求項１または２記載の距離測定装置。
【請求項４】液晶またはハードディスクを前記測定対
象体とすることを特徴とする請求項１から３のいずれか
に記載の距離測定装置。