JPH11230704A - 静電容量型変位センサ - Google Patents
静電容量型変位センサInfo
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- JPH11230704A JPH11230704A JP10029751A JP2975198A JPH11230704A JP H11230704 A JPH11230704 A JP H11230704A JP 10029751 A JP10029751 A JP 10029751A JP 2975198 A JP2975198 A JP 2975198A JP H11230704 A JPH11230704 A JP H11230704A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、静電容量の変化により変位を測定
する静電容量型変位センサに関し、被測定物の一方向へ
の変位量の測定精度を従来より大幅に向上することを目
的とする。 【解決手段】 センサ本体の検出部に、第１の測定電極
と第２の測定電極とを間隔を置いて配置してなることを
特徴とする。また、前記第１の測定電極および第２の測
定電極を、被測定物の回転中心に向けて配置してなるこ
とを特徴とする。
する静電容量型変位センサに関し、被測定物の一方向へ
の変位量の測定精度を従来より大幅に向上することを目
的とする。 【解決手段】 センサ本体の検出部に、第１の測定電極
と第２の測定電極とを間隔を置いて配置してなることを
特徴とする。また、前記第１の測定電極および第２の測
定電極を、被測定物の回転中心に向けて配置してなるこ
とを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、静電容量の変化に
より変位を測定する静電容量型変位センサに関する。
より変位を測定する静電容量型変位センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】近時、例えば、超精密分野においては、
ナノメートルオーダの測定精度を得るために、静電容量
の変化により変位を測定する静電容量型変位センサが多
用されている。図７は、このような静電容量型変位セン
サの測定原理を示すもので、この静電容量型変位センサ
では、静電容量をＣ，誘導エリア１の誘電率をＫ，検出
部２と被測定物３との間の測定ギャップをＤ，測定電極
４の面積をＡとすると、次式が成立する。
ナノメートルオーダの測定精度を得るために、静電容量
の変化により変位を測定する静電容量型変位センサが多
用されている。図７は、このような静電容量型変位セン
サの測定原理を示すもので、この静電容量型変位センサ
では、静電容量をＣ，誘導エリア１の誘電率をＫ，検出
部２と被測定物３との間の測定ギャップをＤ，測定電極
４の面積をＡとすると、次式が成立する。
【０００３】Ｃ＝Ｋ（Ａ／Ｄ）・・・（１） すなわち、検出部２と被測定物３との間で生じる電気的
静電容量は、２点間の距離に反比例することになる。そ
して、変位量を静電容量の変化としてとらえ、この静電
容量を電圧に変換することにより、変位の測定が可能に
なる。
静電容量は、２点間の距離に反比例することになる。そ
して、変位量を静電容量の変化としてとらえ、この静電
容量を電圧に変換することにより、変位の測定が可能に
なる。
【０００４】図８は、このような静電容量型変位センサ
５を使用して、円柱状の回転体からなる被測定物６の外
周の真円度を測定している状態を示している。この測定
では、被測定物６の中心を通るＸ軸上に、センサ本体７
の検出部８の測定電極９が位置され、ベアリング１０に
支持される被測定物６のＸ軸方向の変位を測定すること
により被測定物６の外周の真円度が求められる。
５を使用して、円柱状の回転体からなる被測定物６の外
周の真円度を測定している状態を示している。この測定
では、被測定物６の中心を通るＸ軸上に、センサ本体７
の検出部８の測定電極９が位置され、ベアリング１０に
支持される被測定物６のＸ軸方向の変位を測定すること
により被測定物６の外周の真円度が求められる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな測定では、図９に示すように、被測定物６の回転に
伴い、被測定物６の中心ＯがＹ軸方向に変位することが
あり、このような場合には、被測定物６のＹ軸方向への
変位量が、検出部８と被測定物６との間に生じる電気的
静電容量に影響し、被測定物６のＸ軸方向への変位を正
確に測定することが困難になるという問題があった。
うな測定では、図９に示すように、被測定物６の回転に
伴い、被測定物６の中心ＯがＹ軸方向に変位することが
あり、このような場合には、被測定物６のＹ軸方向への
変位量が、検出部８と被測定物６との間に生じる電気的
静電容量に影響し、被測定物６のＸ軸方向への変位を正
確に測定することが困難になるという問題があった。
【０００６】本発明は、かかる従来の問題を解決するた
めになされたもので、被測定物の一方向への変位量の測
定精度を従来より大幅に向上することができる静電容量
型変位センサを提供することを目的とする。
めになされたもので、被測定物の一方向への変位量の測
定精度を従来より大幅に向上することができる静電容量
型変位センサを提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】請求項１の静電容量型変
位センサは、センサ本体の検出部に、第１の測定電極と
第２の測定電極とを間隔を置いて配置してなることを特
徴とする。
位センサは、センサ本体の検出部に、第１の測定電極と
第２の測定電極とを間隔を置いて配置してなることを特
徴とする。
【０００８】請求項２の静電容量型変位センサは、請求
項１記載の静電容量型変位センサにおいて、前記第１の
測定電極および第２の測定電極を、被測定物の回転中心
に向けて配置してなることを特徴とする。請求項３の静
電容量型変位センサは、請求項２記載の静電容量型変位
センサにおいて、前記検出部を、前記被測定物の回転中
心に対して同心状の円弧形状にしてなることを特徴とす
る。
項１記載の静電容量型変位センサにおいて、前記第１の
測定電極および第２の測定電極を、被測定物の回転中心
に向けて配置してなることを特徴とする。請求項３の静
電容量型変位センサは、請求項２記載の静電容量型変位
センサにおいて、前記検出部を、前記被測定物の回転中
心に対して同心状の円弧形状にしてなることを特徴とす
る。
【０００９】（作用）請求項１の静電容量型変位センサ
では、センサ本体の検出部に、第１の測定電極と第２の
測定電極とが間隔を置いて配置される。そして、この静
電容量型変位センサにより、例えば、外周が円形状の回
転体からなる被測定物の外周と検出部との間の変位が測
定される。
では、センサ本体の検出部に、第１の測定電極と第２の
測定電極とが間隔を置いて配置される。そして、この静
電容量型変位センサにより、例えば、外周が円形状の回
転体からなる被測定物の外周と検出部との間の変位が測
定される。
【００１０】そして、この測定において、被測定物が検
出部に対して平行に移動した場合には、間隔を置いて配
置される第１の測定電極と第２の測定電極とにより、静
電容量の変化が相殺される。請求項２の静電容量型変位
センサでは、第１の測定電極および第２の測定電極が、
被測定物の回転中心に向けて配置される。従って、例え
ば、外周が円形状の被測定物が検出部に対して平行に移
動した場合には、この移動による第１の測定電極と被測
定物との間のギャップの変化値と、第２の測定電極と被
測定物との間のギャップの変化値との差が最小になる。
出部に対して平行に移動した場合には、間隔を置いて配
置される第１の測定電極と第２の測定電極とにより、静
電容量の変化が相殺される。請求項２の静電容量型変位
センサでは、第１の測定電極および第２の測定電極が、
被測定物の回転中心に向けて配置される。従って、例え
ば、外周が円形状の被測定物が検出部に対して平行に移
動した場合には、この移動による第１の測定電極と被測
定物との間のギャップの変化値と、第２の測定電極と被
測定物との間のギャップの変化値との差が最小になる。
【００１１】請求項３の静電容量型変位センサでは、検
出部が、被測定物の回転中心に対して同心状の円弧形状
にされる。
出部が、被測定物の回転中心に対して同心状の円弧形状
にされる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
用いて詳細に説明する。
用いて詳細に説明する。
【００１３】図１および図２は、本発明の静電容量型変
位センサの一実施形態を示している。この静電容量型変
位センサ１１は、断面円形状のセンサ本体１３を有して
いる。センサ本体１３の一端には、検出部１５が形成さ
れ、他端側からは、リード線１７が導出されている。セ
ンサ本体１３の検出部１５には、第１の測定電極１９と
第２の測定電極２１とが、間隔を置いて配置され、これ
により第１のセンサ部２３と第２のセンサ部２５が形成
されている。
位センサの一実施形態を示している。この静電容量型変
位センサ１１は、断面円形状のセンサ本体１３を有して
いる。センサ本体１３の一端には、検出部１５が形成さ
れ、他端側からは、リード線１７が導出されている。セ
ンサ本体１３の検出部１５には、第１の測定電極１９と
第２の測定電極２１とが、間隔を置いて配置され、これ
により第１のセンサ部２３と第２のセンサ部２５が形成
されている。
【００１４】そして、この実施形態では、第１の測定電
極１９および第２の測定電極２１が、被測定物２７の回
転中心Ｏに向けて配置されている。また、検出部１５
が、被測定物２７の回転中心Ｏに対して同心状の円弧形
状にされている。この実施形態では、図１に示したよう
に、円柱状の回転体からなる被測定物２７の外周の真円
度が測定される。
極１９および第２の測定電極２１が、被測定物２７の回
転中心Ｏに向けて配置されている。また、検出部１５
が、被測定物２７の回転中心Ｏに対して同心状の円弧形
状にされている。この実施形態では、図１に示したよう
に、円柱状の回転体からなる被測定物２７の外周の真円
度が測定される。
【００１５】そして、この測定では、被測定物２７の回
転中心Ｏを通るＸ軸上に、センサ本体１３の検出部１５
の第１の測定電極１９と第２の測定電極２１との中間部
が位置され、ベアリング２９に支持される被測定物２７
のＸ軸方向の変位を測定することにより被測定物２７の
外周の真円度が求められる。以上のように構成された静
電容量型変位センサでは、センサ本体１３の検出部１５
に、第１の測定電極１９と第２の測定電極２１とを間隔
を置いて配置したので、例えば、図３に示すように、被
測定物２７が検出部１５に対して平行に移動した場合に
も、被測定物２７のＸ軸方向への変位量を高い精度で求
めることができる。
転中心Ｏを通るＸ軸上に、センサ本体１３の検出部１５
の第１の測定電極１９と第２の測定電極２１との中間部
が位置され、ベアリング２９に支持される被測定物２７
のＸ軸方向の変位を測定することにより被測定物２７の
外周の真円度が求められる。以上のように構成された静
電容量型変位センサでは、センサ本体１３の検出部１５
に、第１の測定電極１９と第２の測定電極２１とを間隔
を置いて配置したので、例えば、図３に示すように、被
測定物２７が検出部１５に対して平行に移動した場合に
も、被測定物２７のＸ軸方向への変位量を高い精度で求
めることができる。
【００１６】すなわち、図４に示すように、第１のセン
サ部２３の静電容量をＣ1，第１の測定電極１９と被測
定物２７との間の測定ギャップをＤ1，測定電極の面積
をＡ1とする。また、第２のセンサ部２５の静電容量を
Ｃ2，第２の測定電極２１と被測定物２７との間の測定
ギャップをＤ2，測定電極の面積をＡ2とする。
サ部２３の静電容量をＣ1，第１の測定電極１９と被測
定物２７との間の測定ギャップをＤ1，測定電極の面積
をＡ1とする。また、第２のセンサ部２５の静電容量を
Ｃ2，第２の測定電極２１と被測定物２７との間の測定
ギャップをＤ2，測定電極の面積をＡ2とする。
【００１７】さらに、誘導エリアの誘電率をＫ，測定シ
ステム全体の静電容量をＣとする。このような条件の基
では、第１のセンサ部２３および第２のセンサ部２５で
検出される静電容量Ｃ1およびＣ2は、上述した（１）式
を用いて、 Ｃ＝Ｃ1＋Ｃ2＝Ｋ（Ａ1／Ｄ1）＋Ｋ（Ａ2／Ｄ2） となる。
ステム全体の静電容量をＣとする。このような条件の基
では、第１のセンサ部２３および第２のセンサ部２５で
検出される静電容量Ｃ1およびＣ2は、上述した（１）式
を用いて、 Ｃ＝Ｃ1＋Ｃ2＝Ｋ（Ａ1／Ｄ1）＋Ｋ（Ａ2／Ｄ2） となる。
【００１８】ここで、Ａ1＝Ａ2＝Ａとすると、 Ｃ＝ＫＡ｛（1／Ｄ1）＋（1／Ｄ2）｝＝ＫＡ（Ｄ1＋Ｄ
2）／Ｄ1・Ｄ2 ここで、図４に矢符Ｅで示すように、被測定物２７が横
方向に移動した時の測定システム全体の静電容量をＣ’
とすると、 Ｃ’＝ＫＡ｛（Ｄ1＋ΔＤ1）＋（Ｄ2−ΔＤ2）｝／（Ｄ
1＋ΔＤ1）・（Ｄ2−ΔＤ2）＝ＫＡ｛（Ｄ1＋Ｄ2）＋
（ΔＤ1−ΔＤ2）｝／｛Ｄ1・Ｄ2−Ｄ1ΔＤ2＋Ｄ2ΔＤ
1）−ΔＤ1・ΔＤ2）｝ ここで、Ｄ1＝Ｄ2とすると、ΔＤ1≒ΔＤ2であり、ま
た、微小な変位であれば、ΔＤ1・ΔＤ2≒０であるか
ら、 Ｃ’＝ＫＡ（Ｄ1＋Ｄ2）／Ｄ1・Ｄ2 となる。
2）／Ｄ1・Ｄ2 ここで、図４に矢符Ｅで示すように、被測定物２７が横
方向に移動した時の測定システム全体の静電容量をＣ’
とすると、 Ｃ’＝ＫＡ｛（Ｄ1＋ΔＤ1）＋（Ｄ2−ΔＤ2）｝／（Ｄ
1＋ΔＤ1）・（Ｄ2−ΔＤ2）＝ＫＡ｛（Ｄ1＋Ｄ2）＋
（ΔＤ1−ΔＤ2）｝／｛Ｄ1・Ｄ2−Ｄ1ΔＤ2＋Ｄ2ΔＤ
1）−ΔＤ1・ΔＤ2）｝ ここで、Ｄ1＝Ｄ2とすると、ΔＤ1≒ΔＤ2であり、ま
た、微小な変位であれば、ΔＤ1・ΔＤ2≒０であるか
ら、 Ｃ’＝ＫＡ（Ｄ1＋Ｄ2）／Ｄ1・Ｄ2 となる。
【００１９】従って、被測定物２７の移動前後における
測定システム全体の静電容量の変化をΔＣとすると、Δ
Ｃ＝Ｃ’−Ｃ≒０となる。すなわち、上述した静電容量
型変位センサでは、センサ本体１３の検出部１５に、第
１の測定電極１９と第２の測定電極２１とを間隔を置い
て配置したので、被測定物２７が移動した場合には、間
隔を置いて配置される第１の測定電極１９と第２の測定
電極２１とにより、静電容量の変化が相殺されることに
なり、これにより、被測定物２７のＸ軸方向への変位量
の測定精度を従来より大幅に向上することができる。
測定システム全体の静電容量の変化をΔＣとすると、Δ
Ｃ＝Ｃ’−Ｃ≒０となる。すなわち、上述した静電容量
型変位センサでは、センサ本体１３の検出部１５に、第
１の測定電極１９と第２の測定電極２１とを間隔を置い
て配置したので、被測定物２７が移動した場合には、間
隔を置いて配置される第１の測定電極１９と第２の測定
電極２１とにより、静電容量の変化が相殺されることに
なり、これにより、被測定物２７のＸ軸方向への変位量
の測定精度を従来より大幅に向上することができる。
【００２０】また、上述した静電容量型変位センサで
は、第１の測定電極１９および第２の測定電極２１を、
被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置したので、間隔
を置いて配置される第１の測定電極１９と第２の測定電
極２１とにより、静電容量の変化をより確実に相殺する
ことができる。すなわち、図５に示すように、被測定物
２７が横方向に移動した場合には、第１の測定電極１９
および第２の測定電極２１を、被測定物２７の回転中心
Ｏに向けて配置しない時には、第１の測定電極１９と被
測定物２７との間のギャップの変化値がΔｄ1となり、
第２の測定電極２１と被測定物２７との間のギャップの
変化値がΔｄ2となる。
は、第１の測定電極１９および第２の測定電極２１を、
被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置したので、間隔
を置いて配置される第１の測定電極１９と第２の測定電
極２１とにより、静電容量の変化をより確実に相殺する
ことができる。すなわち、図５に示すように、被測定物
２７が横方向に移動した場合には、第１の測定電極１９
および第２の測定電極２１を、被測定物２７の回転中心
Ｏに向けて配置しない時には、第１の測定電極１９と被
測定物２７との間のギャップの変化値がΔｄ1となり、
第２の測定電極２１と被測定物２７との間のギャップの
変化値がΔｄ2となる。
【００２１】一方、第１の測定電極１９および第２の測
定電極２１を、被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置
した時には、第１の測定電極１９と被測定物２７との間
のギャップの変化値がΔＤ1となり、第２の測定電極２
１と被測定物２７との間のギャップの変化値がΔＤ2と
なる。そして、図５から明らかなように、（Δｄ1−Δ
ｄ2）＞（ΔＤ1−ΔＤ2）となる。
定電極２１を、被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置
した時には、第１の測定電極１９と被測定物２７との間
のギャップの変化値がΔＤ1となり、第２の測定電極２
１と被測定物２７との間のギャップの変化値がΔＤ2と
なる。そして、図５から明らかなように、（Δｄ1−Δ
ｄ2）＞（ΔＤ1−ΔＤ2）となる。
【００２２】すなわち、被測定物２７が横方向に移動し
た場合に、第１の測定電極１９および第２の測定電極２
１を、被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置した時に
は、ギャップの変化が、回転中心Ｏに向けて配置しない
時のギャップの変化より小さく最小になり、静電容量の
変化をより確実に相殺することができる。さらに、上述
した静電容量型変位センサでは、検出部１５を、被測定
物２７の回転中心Ｏに対して同心状の円弧形状にしたの
で、この円弧形状を基準面として使用することにより、
被測定物２７の回転中心Ｏに向けて第１の測定電極１９
および第２の測定電極２１を容易，確実に配置すること
ができる。
た場合に、第１の測定電極１９および第２の測定電極２
１を、被測定物２７の回転中心Ｏに向けて配置した時に
は、ギャップの変化が、回転中心Ｏに向けて配置しない
時のギャップの変化より小さく最小になり、静電容量の
変化をより確実に相殺することができる。さらに、上述
した静電容量型変位センサでは、検出部１５を、被測定
物２７の回転中心Ｏに対して同心状の円弧形状にしたの
で、この円弧形状を基準面として使用することにより、
被測定物２７の回転中心Ｏに向けて第１の測定電極１９
および第２の測定電極２１を容易，確実に配置すること
ができる。
【００２３】なお、上述した実施形態では、センサ本体
１３の検出部１５に、第１の測定電極１９と第２の測定
電極２１とを間隔を置いて配置した例について述べた
が、例えば、図６に示すように、センサ本体１３Ａの検
出部１５Ａを球面状に形成し、この検出部１５Ａに、９
０度の角度を置いて４個の測定電極３１を配置すること
により、例えば、球体の真球度等を容易，確実に測定す
ることができる。
１３の検出部１５に、第１の測定電極１９と第２の測定
電極２１とを間隔を置いて配置した例について述べた
が、例えば、図６に示すように、センサ本体１３Ａの検
出部１５Ａを球面状に形成し、この検出部１５Ａに、９
０度の角度を置いて４個の測定電極３１を配置すること
により、例えば、球体の真球度等を容易，確実に測定す
ることができる。
【００２４】
【発明の効果】以上述べたように、請求項１の静電容量
型変位センサでは、センサ本体の検出部に、第１の測定
電極と第２の測定電極とを間隔を置いて配置した。従っ
て、例えば、外周が円形状の被測定物が検出部に対して
平行に移動した場合には、間隔を置いて配置される第１
の測定電極と第２の測定電極とにより、静電容量の変化
が相殺され、これにより、被測定物の一方向への変位量
の測定精度を従来より大幅に向上することができる。
型変位センサでは、センサ本体の検出部に、第１の測定
電極と第２の測定電極とを間隔を置いて配置した。従っ
て、例えば、外周が円形状の被測定物が検出部に対して
平行に移動した場合には、間隔を置いて配置される第１
の測定電極と第２の測定電極とにより、静電容量の変化
が相殺され、これにより、被測定物の一方向への変位量
の測定精度を従来より大幅に向上することができる。
【００２５】請求項２の静電容量型変位センサでは、第
１の測定電極および第２の測定電極を、被測定物の回転
中心に向けて配置した。従って、例えば、外周が円形状
の被測定物が検出部に対して平行に移動した場合には、
この移動による第１の測定電極と被測定物との間のギャ
ップの変化値と、第２の測定電極と被測定物との間のギ
ャップの変化値との差が最小になる。そのため、間隔を
置いて配置される第１の測定電極と第２の測定電極とに
より、静電容量の変化をより確実に相殺することができ
る。
１の測定電極および第２の測定電極を、被測定物の回転
中心に向けて配置した。従って、例えば、外周が円形状
の被測定物が検出部に対して平行に移動した場合には、
この移動による第１の測定電極と被測定物との間のギャ
ップの変化値と、第２の測定電極と被測定物との間のギ
ャップの変化値との差が最小になる。そのため、間隔を
置いて配置される第１の測定電極と第２の測定電極とに
より、静電容量の変化をより確実に相殺することができ
る。
【００２６】請求項３の静電容量型変位センサでは、検
出部を、被測定物の回転中心に対して同心状の円弧形状
にしたので、被測定物の回転中心に向けて第１の測定電
極および第２の測定電極を容易，確実に配置することが
できる。
出部を、被測定物の回転中心に対して同心状の円弧形状
にしたので、被測定物の回転中心に向けて第１の測定電
極および第２の測定電極を容易，確実に配置することが
できる。
【図１】本発明の静電容量型変位センサの一実施形態を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図２】図１の静電容量型変位センサを示す正面図であ
る。
る。
【図３】図１において被測定物が検出部に対して平行に
移動した状態を示す説明図である。
移動した状態を示す説明図である。
【図４】被測定物が検出部に対して平行に移動した場合
にもＸ軸方向の変位のみを高い精度で測定できる原理を
示す説明図である。
にもＸ軸方向の変位のみを高い精度で測定できる原理を
示す説明図である。
【図５】第１の測定電極および第２の測定電極を被測定
物の回転中心に向けて配置した場合の利点を示す説明図
である。
物の回転中心に向けて配置した場合の利点を示す説明図
である。
【図６】本発明の静電容量型変位センサの他の例を示す
説明図である。
説明図である。
【図７】従来の静電容量型変位センサの原理を示す説明
図である。
図である。
【図８】従来の静電容量型変位センサによる被測定物の
測定方法を示す説明図である。
測定方法を示す説明図である。
【図９】図８において被測定物が検出部に対して平行に
移動した状態を示す説明図である。
移動した状態を示す説明図である。
１１ 静電容量型変位センサ １３ センサ本体 １５ 検出部 １９ 第１の測定電極 ２１ 第２の測定電極 ２７ 被測定物 Ｏ 回転中心
Claims (3)
- 【請求項１】 センサ本体の検出部に、第１の測定電極
と第２の測定電極とを間隔を置いて配置してなることを
特徴とする静電容量型変位センサ。 - 【請求項２】 請求項１記載の静電容量型変位センサに
おいて、 前記第１の測定電極および第２の測定電極を、被測定物
の回転中心に向けて配置してなることを特徴とする静電
容量型変位センサ。 - 【請求項３】 請求項２記載の静電容量型変位センサに
おいて、 前記検出部を、前記被測定物の回転中心に対して同心状
の円弧形状にしてなることを特徴とする静電容量型変位
センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029751A JPH11230704A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 静電容量型変位センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10029751A JPH11230704A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 静電容量型変位センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11230704A true JPH11230704A (ja) | 1999-08-27 |
Family
ID=12284808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10029751A Pending JPH11230704A (ja) | 1998-02-12 | 1998-02-12 | 静電容量型変位センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11230704A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001091204A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Fotonikusu:Kk | 距離測定装置 |
| JP2005010044A (ja) * | 2003-06-19 | 2005-01-13 | Canon Inc | 計測装置 |
| US7019538B2 (en) | 2003-01-28 | 2006-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrostatic capacitance sensor type measurement apparatus |
| WO2013011731A1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-01-24 | 三菱電機株式会社 | 面倒れ量検出装置、加工位置制御装置およびレーザ加工装置 |
| WO2016047274A1 (ja) * | 2014-09-26 | 2016-03-31 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状測定装置および形状測定方法 |
-
1998
- 1998-02-12 JP JP10029751A patent/JPH11230704A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2001091204A (ja) * | 1999-09-24 | 2001-04-06 | Fotonikusu:Kk | 距離測定装置 |
| JP4524011B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2010-08-11 | 株式会社フォトニクス | 距離測定装置 |
| US7019538B2 (en) | 2003-01-28 | 2006-03-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Electrostatic capacitance sensor type measurement apparatus |
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| JP2016070691A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 株式会社神戸製鋼所 | 形状測定装置および形状測定方法 |
| US10001360B2 (en) | 2014-09-26 | 2018-06-19 | Kobe Steel, Ltd. | Shape measurement device and shape measurement method |
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