JP2001085211A - 軟磁性粒子,軟磁性成形体及びその製造方法 - Google Patents

軟磁性粒子,軟磁性成形体及びその製造方法

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JP2001085211A
JP2001085211A JP26168699A JP26168699A JP2001085211A JP 2001085211 A JP2001085211 A JP 2001085211A JP 26168699 A JP26168699 A JP 26168699A JP 26168699 A JP26168699 A JP 26168699A JP 2001085211 A JP2001085211 A JP 2001085211A
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Yoshiharu Iyoda
義治 伊豫田
Toshihisa Terasawa
俊久 寺澤
Joji Hachisuga
譲二 蜂須賀
Hiroyuki Mitani
宏幸 三谷
Yuichi Seki
勇一 関
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Kobe Steel Ltd
Aisin Corp
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Aisin Seiki Co Ltd
Kobe Steel Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 高密度で,かつ,比抵抗が高い軟磁性成形
体,及びこれを構成する軟磁性粒子,並びにこれらの製
造方法を提供すること。 【解決手段】 軟磁性の金属粒子10と,その表面に被
覆された高抵抗物質2と,高抵抗物質2の表面に被覆さ
れたリン酸系化成処理被膜3とよりなる。金属粒子10
は,鉄を主成分とすると共に鉄よりも酸化性の強い合金
元素を3.5重量%未満含有してなる合金よりなり,か
つ,高抵抗物質2は,金属粒子10を熱処理することに
より金属粒子10の表面において上記合金元素を選択酸
化させて生成させた酸化物であることが好ましい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,磁心等に用いられる軟磁性材料
に関する。
【0002】
【従来技術】近年,軟磁性材料は高周波数量域での使用
を前提として,高飽和磁束密度,高透磁率という特性の
他に,高い電気抵抗(比抵抗)が求められている。この
要求に対し,これまで種々の研究が進められ,種々の軟
磁性材料が提案されてきた。
【0003】
【解決しようとする課題】例えば,文献1(National T
echnical Report Vlo.40 No.1 Feb.1994),文献2(特
開平5−326289号公報)に示された軟磁性材料
は,軟磁性の金属粒子の表面に高電気抵抗の酸化物を形
成した軟磁性粒子を作製し,この軟磁性粒子を高温・高
圧焼結することにより鉄損の少ない軟磁性材料(軟磁性
成形体)が得られている。
【0004】しかしながら,これらの軟磁性材料は,金
属粒子としてAlあるいはSiを3.5重量%以上含有
するFe合金を用いているため,磁束密度が低下する。
また,各軟磁性粒子を被覆している酸化物は,上記高温
・高圧焼結時に部分的に破壊され,内部の金属粒子同士
が直接接合されてしまう。そのため,軟磁性材料(成形
体)の比抵抗が低下する。
【0005】また,文献3(特開平5−47541号公
報)においては,軟磁性の金属粒子上にメカノフュージ
ョンにより高抵抗軟磁性物質を被覆した軟磁性粒子を作
製し,これを高温・高圧焼結することにより鉄損の少な
い軟磁性材料が得られている。しかしながら,この軟磁
性材料は,上記高温・高圧焼結時における粒子同士の摩
擦によって,上記メカノフュージョンにより形成した被
膜の剥離が生じてしまう。そのため,得られた軟磁性材
料(成形体)の比抵抗が低下する。
【0006】また,文献4(特開平8−167519号
公報)においては,軟磁性の金属粒子を大気中で酸化さ
せ,その表面に鉄酸化物を形成し,さらにその表面にリ
ン酸化成処理にて絶縁被膜を形成した軟磁性粒子を作製
し,これを高圧焼結することにより軟磁性材料(成形
体)が得られる。しかしながら,この軟磁性材料は,上
記高圧焼結時の温度を300℃を超える高温にした場合
には,上記絶縁被膜が変質して絶縁性が低下し,成形体
全体の比抵抗が低下してしまう。また,変質させないた
めに300℃未満の温度において高圧焼結させた場合に
は,高密度化が困難であり,磁束密度が低いものとな
る。
【0007】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,高密度で,かつ,比抵抗が高い軟磁性成
形体,及びこれを構成する軟磁性粒子,並びにこれらの
製造方法を提供しようとするものである。
【0008】
【課題の解決手段】請求項1の発明は,軟磁性の金属粒
子と,その表面に被覆された高抵抗物質と,該高抵抗物
質の表面に被覆されたリン酸系化成処理被膜とよりなる
ことを特徴とする軟磁性粒子にある。
【0009】本発明において最も注目すべきことは,上
記軟磁性の金属粒子は,上記高抵抗物質と上記リン酸系
化成処理被膜とによって,二重に被覆されていることで
ある。上記金属粒子としては,Fe,Fe−Al,Fe
−Si等の軟磁性金属又は合金を用いることができる。
また,上記高抵抗物質としては,金属あるいは半金属の
酸化物,金属あるいは半金属の窒化物等を用いることが
できる。具体的には,例えば,Al23,SiO2,M
n−Znフェライト,Ni−Znフェライト,AlN,
BN等がある。また,上記リン酸系化成処理被膜として
は,例えば,鉄水酸化物被膜,鉄酸化物被膜,ガラス状
被膜等がある。
【0010】次に,本発明の作用につき説明する。本発
明の軟磁性粒子は,上記のごとく,金属粒子の表面を上
記高抵抗物質により被覆し,さらに上記リン酸系化成処
理被膜により被覆してなる。そのため,この軟磁性粒子
を用いれば,高密度で,かつ,比抵抗が高い軟磁性成形
体を比較的容易な製造方法により得ることができる。
【0011】即ち,上記軟磁性粒子は,最表面を上記リ
ン酸系化成処理被膜により被覆してあるので,高圧力に
より加圧しても上記二重の被膜による被覆状態を維持す
ることができる。また,上記軟磁性粒子を高温にさらし
た場合においては,上記リン酸系化成処理被膜は変質す
るおそれがあるが,その内部に上記高抵抗物質が存在す
るので,軟磁性粒子の高抵抗比を十分に維持することが
できる。
【0012】そのため,この軟磁性粒子を用いた場合に
は,各粒子の被覆状態を維持しつつ,成形に適した温度
及び圧力を選択することができるので,高密度で,か
つ,比抵抗が高い軟磁性成形体を容易に製造することが
できる。
【0013】次に,請求項2の発明のように,上記金属
粒子は,鉄を主成分とすると共に鉄よりも酸化性の強い
合金元素を3.5重量%未満含有してなる合金よりな
り,かつ,上記高抵抗物質は,上記金属粒子を熱処理す
ることにより該金属粒子の表面において上記合金元素を
選択酸化させて生成させた酸化物であることが好まし
い。
【0014】この場合には,上記金属粒子に含有させる
合金元素を3.5重量%未満とするので,Fe本来の優
れた磁束密度を維持することができ,かつ,上記選択酸
化により容易かつ均一に高抵抗物質を形成することがで
きる。なお,上記金属粒子に含有させる合金元素が少な
すぎる場合には比抵抗の高い上記酸化物を形成すること
が困難となるので,合金元素の含有量下限値は,0.5
%であることが好ましい。また,上記の鉄よりも酸化性
の強い合金元素としては,例えば,Al,Si,Mg,
Ca等がある。
【0015】また,請求項3の発明のように,上記高抵
抗物質は,上記軟磁性粒子に対して,メカノフュージョ
ンによる機械的エネルギーを用いて被覆することもでき
る。この場合にも,メカノフュージョンにより形成した
高抵抗物質の上にさらに上記リン酸系化成処理被膜を形
成するので,従来のように高抵抗物質が剥離することが
ない。
【0016】また,請求項4の発明のように,上記リン
酸系化成処理被膜は,リン酸,ホウ酸,マグネシアを含
有する処理液を上記高抵抗物質の表面に塗布し,該処理
液を乾燥させることにより得ることができる。この場合
には,上記高抵抗物質の表面に容易にリン酸系化成処理
被膜を形成することができる。
【0017】次に,上記優れた軟磁性粒子を用いて作製
した軟磁性成形体としては,次の発明がある。即ち,請
求項5の発明のように,請求項1〜4のいずれか1項に
記載の上記軟磁性粒子同士が上記リン酸系化成処理被膜
による被覆状態を維持したまま該リン酸系化成処理被膜
を介して接合されていることを特徴とする軟磁性成形体
がある。この軟磁性成形体は,上記のごとく,リン酸系
化成処理被膜による被覆状態を維持しているので,その
内部の高抵抗物質による被覆状態も維持されている。そ
のため,高い比抵抗を容易に確保することができる。
【0018】次に,請求項6の発明は,鉄を主成分とす
ると共に鉄よりも酸化性の強い合金元素を3.5重量%
未満含有してなる合金よりなる軟磁性の金属粒子を準備
し,鉄に対しては還元雰囲気であると共に上記合金元素
に対しては酸化雰囲気である雰囲気下において上記金属
粒子を熱処理することによりその表面において上記合金
元素を選択酸化させた酸化物よりなる高抵抗物質を形成
し,次いで,該高抵抗物質の表面に,リン酸,ホウ酸,
マグネシアを含有する処理液を塗布し,該処理液を乾燥
させることにより,上記金属粒子と,その表面に被覆さ
れた高抵抗物質と,該高抵抗物質の表面に被覆されたリ
ン酸系化成処理被膜とよりなる軟磁性粒子を得ることを
特徴とする軟磁性粒子の製造方法にある。本製造方法に
よれば,上記優れた軟磁性粒子を容易かつ確実に製造す
ることができる。
【0019】また,請求項7の発明は,軟磁性の金属粒
子を準備し,該金属粒子と高抵抗物質との存在下におい
てメカノフュージョンによる機械的エネルギーを付与す
ることにより,上記金属粒子の表面を上記高抵抗物質を
被覆し,次いで,該高抵抗物質の表面に,リン酸,ホウ
酸,マグネシアを含有する処理液を塗布し,該処理液を
乾燥させることにより,上記金属粒子と,その表面に被
覆された高抵抗物質と,該高抵抗物質の表面に被覆され
たリン酸系化成処理被膜とよりなる軟磁性粒子を得るこ
とを特徴とする軟磁性粒子の製造方法にある。この場合
には,上記高抵抗物質の被覆を上記機械的エネルギーに
より行うので,金属粒子と高抵抗物質との組み合わせの
自由度を非常に大きくすることができる。
【0020】また,請求項8の発明は,請求項1〜4の
いずれか1項に記載の上記軟磁性粒子の集まりを加熱・
加圧成形することにより,各軟磁性粒子同士が上記リン
酸系化成処理被膜による被覆状態を維持したまま該リン
酸系化成処理被膜を介して接合された軟磁性成形体を得
ること特徴とする軟磁性成形体の製造方法にある。ここ
で,加熱・加圧成形とは,粒子の集まりを加熱すると共
に加圧することにより一体的に結合させる成形方法を言
う。本製造方法によれば,上記優れた軟磁性成形体を容
易かつ確実に製造することができる。
【0021】また,請求項9の発明のように,上記加熱
・加圧成形は,温度150〜600℃において行うこと
が好ましい。温度が150℃未満の場合には,変形抵抗
が大きすぎて緻密な焼結体を得ることが困難であるとい
う問題がある。一方,600℃を超える場合には,リン
酸系化成被膜の変質という問題がある。
【0022】
【発明の実施の形態】実施形態例 本発明の実施形態例にかかる軟磁性粒子,軟磁性成形体
及びその製造方法につき,図1〜図8を用いて説明す
る。本例においては,本発明品である軟磁性粒子を用い
て成形した4種類の軟磁性成形体(実施例E1〜E4)
と,従来品である軟磁性粒子を用いて成形した6種類の
軟磁性成形体(比較例C1〜C6)とを作製し,その特
性を評価した。まず,各軟磁性粒子および軟磁性成形体
の製造方法につき説明する。
【0023】(実施例E1)実施例E1において用いた
軟磁性粒子1は,図2(c)に示すごとく,軟磁性の金
属粒子10と,その表面に被覆された高抵抗物質2と,
該高抵抗物質2の表面に被覆されたリン酸系化成処理被
膜3とよりなる。この軟磁性粒子1を作製するに当たっ
ては,図1(a)に示すごとく,鉄を主成分とすると共
に鉄よりも酸化性の強い合金元素を3.5重量%未満含
有してなる合金よりなる金属粒子10を準備する。この
金属粒子10は,具体的には,組成がFe−1%Al,
製法がガスアトマイズ法,粒径が150μm以下の粒子
である。
【0024】次に,この金属粒子10を,鉄に対しては
還元雰囲気であると共に上記合金元素(Al)に対して
は酸化雰囲気である雰囲気下において熱処理する。具体
的には,N2+3%H2よりなる雰囲気下において,上記
金属粒子10を750℃に2時間保持した。これによ
り,図1(b)に示すごとく,金属粒子10の表面にお
いて上記合金元素を選択酸化させた酸化物(Al23
よりなる高抵抗物質2を形成した(得られた粒子を中間
粒子12とする)。
【0025】次いで,図2(a)に示すごとく,上記高
抵抗物質2を有する金属粒子10(中間粒子12)の集
合である粉末100gにリン酸系化成処理液30(リン
酸,ホウ酸,マグネシアを含有する処理液)5ccを加
えて混合した。これにより,各粒子の高抵抗物質2の表
面に,上記処理液が塗布される。
【0026】次いで,図2(b)に示すごとく,温度2
00℃に20分間保持することにより,上記処理液を乾
燥させた。乾燥後には塊状となっていた粉末を解砕し
た。これにより,図2(c)に示すごとく,金属粒子1
0と,その表面に被覆された高抵抗物質2と,さらにそ
の表面に被覆されたリン酸系化成処理被膜3とよりなる
軟磁性粒子1が得られた。
【0027】次に,図3(a)(b)に示すごとく,上
記軟磁性粒子1の集まりである粉末50gを,大気中に
おいて成形温度450℃,成形圧力7ton/cm2
条件で,外径30mmの円柱状高密度成形体(軟磁性成
形体4)に成形した。得られた軟磁性成形体4は,図3
(b)に示すごとく,金属粒子10を覆う2重の被膜
2,3が健全に維持された状態で,各粒子が接合されて
いた。
【0028】(実施例E2)実施例E2においては,上
記実施例E1における金属粒子10として,組成がFe
−1%Si,製法がガスアトマイズ法,粒径が150μ
m以下の粒子を用いたこと以外は上記実施例E1と同様
にして,軟磁性成形体を作製した。得られた軟磁性成形
体の組織構造は,実施例E1(図3(b))と同様であ
った。
【0029】(実施例E3)実施例E3においては,金
属粒子10として,水アトマイズ法により作製した平均
粒径80μmのFe粉(Fe100)を用いた。そして,
金属粒子10の表面に対して,メカノフュージョンによ
る機械的エネルギーを用いて高抵抗物質2を被覆した。
メカノフュージョンにより金属粒子10の表面に被覆す
る材料としては,組成がMn0.6Zn0.3Fe2.14(M
n−Znフェライト)であり,平均粒径が0.5μm,
比抵抗(ρ)が1Ω・cmの酸化物粉末7を用いた。
【0030】メカノフュージョン処理を行うメカノフュ
ージョン装置8は,図4に示すごとく,内径150mm
の円筒形のケース81と,その内部に配置したスクレー
パ82及びインナーピース83とよりなる。ケース81
はその中に金属粒子10と酸化物粉末7を入れた状態で
回動するよう構成されている。
【0031】本例では,ケース内に金属粒子1と酸化物
粉末7とを重量比にて96.2:3.8の割合で入れ,
ケース内にアルゴンガスを5リットル/分の流速で供給
しながら,ケース81を回転数1100rpmで回転さ
せた。そして,この処理を40分間行った。この処理に
おいては,遠心力でケース81の内面に配置された上記
金属粒子10と酸化物粉末7との混合物をスクレーパ8
2によるかき取りと,インナーピース83による圧縮を
繰り返した。これにより,金属粒子10の表面に酸化物
粉末7が付着する。
【0032】次いで,実施例E1と同様にしてリン酸系
化成処理を行い,金属粒子10と,その表面に被覆され
た高抵抗物質2と,さらにその表面に被覆されたリン酸
系化成処理被膜3とよりなる軟磁性粒子1を得た。さら
に,実施例E1と同様の加熱・加圧成形を行うことによ
り,外径30mmの円柱状高密度成形体(軟磁性成形
体)に成形した。得られた軟磁性成形体の組織構造は,
実施例E1(図3(b))と同様であった。
【0033】(実施例E4)実施例E4は,実施例E3
における酸化物粒子7として,組成がSiO2,平均粒
径が30nm,比抵抗(ρ)が1013Ω・cmの粒子を
用いたこと以外は上記実施例E3と同様にして,軟磁性
成形体を作製した。得られた軟磁性成形体の組織構造
は,実施例E1(図3(b))と同様であった。
【0034】(比較例C1)比較例C1は,図5に示す
ごとく,実施例E3におけるメカノフュージョン処理の
工程を除いた以外は実施例E3と同様にして軟磁性成形
体を作製した。即ち,同図(a)(b)に示すごとく,
金属粒子10(Fe粒子)の表面に実施例E3と同様に
してリン酸系化成処理被膜3を形成した粒子を作製し,
次いで同図(c)に示すごとく,これをそのまま用いて
加圧・加熱成形することにより軟磁性成形体を得た。
【0035】(比較例C2)比較例C2は,比較例C1
における成形条件を変更した以外は比較例C1と同様と
した。成形条件は,雰囲気をアルゴン雰囲気として,成
形温度450℃,成形圧力4.5ton/cm2,処理
時間30分の条件に変更した。
【0036】(比較例C3〜C6)比較例C3〜C6
は,それぞれ実施例E1〜E4における高抵抗物質の表
面へのリン酸系化成処理被膜の形成は行わなかった例で
ある。その他は実施例E1と同様にして軟磁性成形体を
形成した。即ち,比較例C3及びC4は,図6に示すご
とく,金属粒子10を選択酸化させて高抵抗物質2によ
り被覆した粒子を作製し,次いで同図(c)に示すごと
く,これをそのまま用いて加圧・加熱成形することによ
り軟磁性成形体を得る。得られた成形体においては,同
図(d)に示すごとく,各粒子の高抵抗物質2の膜が部
分的に破れて,金属粒子10同士が接合された部分が多
く見られた。
【0037】また,比較例C5及びC6は,図7に示す
ごとく,金属粒子10の表面にメカノフュージョンによ
り高抵抗物質としての酸化物粉末7を被覆した粒子を作
製し,次いで同図(c)に示すごとく,これをそのまま
用いて加圧・加熱成形することにより軟磁性成形体を得
る。得られた成形体においては,各粒子の高抵抗物質と
しての酸化物粉末が部分的に剥離し,金属粒子10同士
が接合された部分が多く見られる(図示略)。
【0038】次に,本例では,各軟磁性成形体の密度
(g/cm3),磁束密度B625(T),比抵抗(μΩ・
cm),体積鉄損(kW/m3)をそれぞれ測定した。
まず,密度は,各成形体の重量を電子上皿天秤により測
定すると共に,成形体の寸法をマイクロメータにて測定
して体積を求めた。そして,密度=重量/体積を算出し
た。
【0039】上記磁束密度は,各成形体から直径φ10
mm×長さ10mmの円柱形の試料をワイヤーカットに
より作製し,これを直流磁化特性自動記録装置(理研電
子(株)製,BHU-60)の電磁石に挟んでH=625Oe
(エルステッド)の印加磁場中において測定した。
【0040】上記体積鉄損は,各成形体から内径φ11
mm×外径φ15mm×長さ2mmのリング状の試料を
ワイヤーカットにより作製し,これに1次側,2次側と
もに50ターンのコイルを巻き,交流磁気特性測定装置
(岩崎通信機(株)製,B-Hanalyzer SY-8232)を用い
て,10kHz,50mTの場合について測定した。
【0041】上記比抵抗は,各成形体から厚みaが2m
m,幅bが3mm,長さcが12mmの直方体形状の試
料(図8)をマイクロカッターにより作製し,この表面
をバフ研磨により鏡面仕上げした後,4端子法により測
定した。4端子法は,図8に示すごとく,試料49に所
定の電流を流し,その先端491と後端492との間の
電流値と,上面493の中央において間隔d=1mmの
間の電圧値とを求め,これらの値から算出した。
【0042】測定結果を表1に示す。表1より知られる
ごとく,実施例E1〜E4は,いずれも比較例C1〜C
6よりも優れた磁束密度,比抵抗及び体積鉄損の値を示
した。特に,比抵抗については,実施例E1〜E4は,
比較例C1〜C6に比べて大幅に向上した結果となっ
た。また,密度は,実施例も比較例もほぼ同等の優れた
値となった。
【0043】
【表1】
【0044】
【発明の効果】上述のごとく,本発明によれば,高密度
で,かつ,比抵抗が高い軟磁性成形体,及びこれを構成
する軟磁性粒子,並びにこれらの製造方法を提供するこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施例E1における,(a)金属粒子,(b)
高抵抗物質により被覆された金属粒子(中間粒子),を
それぞれ示す説明図。
【図2】実施例E1における,(a)中間粒子と処理液
とを混合した状態,(b)処理液を乾燥させた状態,
(c)得られた軟磁性粒子,をそれぞれ示す説明図。
【図3】実施例E1における,(a)加圧・加熱成形を
行っている状態,(b)得られた軟磁性成形体の組織構
造,をそれぞれ示す説明図。
【図4】実施例E3における,メカノフュージョン装置
を示す説明図。
【図5】比較例C1における,(a)金属粒子,(b)
リン酸系化成処理被膜により被覆された金属粒子(中間
粒子),(c)加圧・加熱成形を行っている状態,をそ
れぞれ示す説明図。
【図6】比較例C3における,(a)金属粒子,(b)
高抵抗物質により被覆された金属粒子,(c)加圧・加
熱成形を行っている状態,(d)得られた軟磁性成形体
の組織構造,をそれぞれ示す説明図。
【図7】比較例C5における,(a)金属粒子,(b)
高抵抗物質により被覆された金属粒子,(c)加圧・加
熱成形を行っている状態,をそれぞれ示す説明図。
【図8】実施形態例における,比抵抗測定用の4端子法
を示す説明図。
【符号の説明】
1...軟磁性粒子, 10...金属粒子, 2...高抵抗物質, 3...リン酸系化成処理被膜, 4...軟磁性成形体,
フロントページの続き (72)発明者 寺澤 俊久 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイシ ン精機株式会社内 (72)発明者 蜂須賀 譲二 愛知県刈谷市朝日町2丁目1番地 アイシ ン精機株式会社内 (72)発明者 三谷 宏幸 神戸市中央区脇浜町1丁目3番18号 株式 会社神戸製鋼所内 (72)発明者 関 勇一 神戸市中央区脇浜町1丁目3番18号 株式 会社神戸製鋼所内 Fターム(参考) 5E041 AA02 AA03 AA11 BC01 BC05 BC08 CA02 HB07 HB09 HB11 HB14 HB17 NN01 NN18

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 軟磁性の金属粒子と,その表面に被覆さ
    れた高抵抗物質と,該高抵抗物質の表面に被覆されたリ
    ン酸系化成処理被膜とよりなることを特徴とする軟磁性
    粒子。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記金属粒子は,鉄
    を主成分とすると共に鉄よりも酸化性の強い合金元素を
    3.5重量%未満含有してなる合金よりなり,かつ,上
    記高抵抗物質は,上記金属粒子を熱処理することにより
    該金属粒子の表面において上記合金元素を選択酸化させ
    て生成させた酸化物であることを特徴とする軟磁性粒
    子。
  3. 【請求項3】 請求項1において,上記高抵抗物質は,
    上記軟磁性粒子に対して,メカノフュージョンによる機
    械的エネルギーを用いて被覆してあることを特徴とする
    軟磁性粒子。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項において,
    上記リン酸系化成処理被膜は,リン酸,ホウ酸,マグネ
    シアを含有する処理液を上記高抵抗物質の表面に塗布
    し,該処理液を乾燥させることにより得られたものであ
    ることを特徴とする軟磁性粒子。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載の上
    記軟磁性粒子同士が上記リン酸系化成処理被膜による被
    覆状態を維持したまま該リン酸系化成処理被膜を介して
    接合されていることを特徴とする軟磁性成形体。
  6. 【請求項6】 鉄を主成分とすると共に鉄よりも酸化性
    の強い合金元素を3.5重量%未満含有してなる合金よ
    りなる軟磁性の金属粒子を準備し,鉄に対しては還元雰
    囲気であると共に上記合金元素に対しては酸化雰囲気で
    ある雰囲気下において上記金属粒子を熱処理することに
    よりその表面において上記合金元素を選択酸化させた酸
    化物よりなる高抵抗物質を形成し,次いで,該高抵抗物
    質の表面に,リン酸,ホウ酸,マグネシアを含有する処
    理液を塗布し,該処理液を乾燥させることにより,上記
    金属粒子と,その表面に被覆された高抵抗物質と,該高
    抵抗物質の表面に被覆されたリン酸系化成処理被膜とよ
    りなる軟磁性粒子を得ることを特徴とする軟磁性粒子の
    製造方法。
  7. 【請求項7】 軟磁性の金属粒子を準備し,該金属粒子
    と高抵抗物質との存在下においてメカノフュージョンに
    よる機械的エネルギーを付与することにより,上記金属
    粒子の表面に上記高抵抗物質を被覆し,次いで,該高抵
    抗物質の表面に,リン酸,ホウ酸,マグネシアを含有す
    る処理液を塗布し,該処理液を乾燥させることにより,
    上記金属粒子と,その表面に被覆された高抵抗物質と,
    該高抵抗物質の表面に被覆されたリン酸系化成処理被膜
    とよりなる軟磁性粒子を得ることを特徴とする軟磁性粒
    子の製造方法。
  8. 【請求項8】 請求項1〜4のいずれか1項に記載の上
    記軟磁性粒子の集まりを加熱・加圧成形することによ
    り,各軟磁性粒子同士が上記リン酸系化成処理被膜によ
    る被覆状態を維持したまま該リン酸系化成処理被膜を介
    して接合された軟磁性成形体を得ること特徴とする軟磁
    性成形体の製造方法。
  9. 【請求項9】 請求項8において,上記加熱・加圧成形
    は,温度150〜600℃において行うことを特徴とす
    る軟磁性成形体の製造方法。
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