JP2001066060A - 乾燥装置 - Google Patents
乾燥装置Info
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の表面から飛散した水滴がカバーの内面
で跳ね返って基板の表面に再付着するのを防止する。 【解決手段】 回転軸１と、回転軸１の下端部に一体に
取り付けられるとともに、磁気ディスク等の基板３０を
保持する保持部材４と、保持部材４に取り付けられると
ともに、基板３０の周囲を囲むカバー２０とから構成さ
れる。回転軸１を回転させると、回転軸１と一体に保持
部材４、基板３０及びカバー２０が回転し、基板３０の
表面に付着している水滴に遠心力が作用して基板３０の
表面から飛散し、除去される。基板３０の表面から飛散
した水滴は、カバー２０の内面に当たって跳ね返ろうと
するが、基板３０とカバー２０とは回転が同期している
ので跳ね返ることはなく内面を伝わって排出孔２４に導
かれ、排出孔２４からカバー２０外に排出されることに
なる。
で跳ね返って基板の表面に再付着するのを防止する。 【解決手段】 回転軸１と、回転軸１の下端部に一体に
取り付けられるとともに、磁気ディスク等の基板３０を
保持する保持部材４と、保持部材４に取り付けられると
ともに、基板３０の周囲を囲むカバー２０とから構成さ
れる。回転軸１を回転させると、回転軸１と一体に保持
部材４、基板３０及びカバー２０が回転し、基板３０の
表面に付着している水滴に遠心力が作用して基板３０の
表面から飛散し、除去される。基板３０の表面から飛散
した水滴は、カバー２０の内面に当たって跳ね返ろうと
するが、基板３０とカバー２０とは回転が同期している
ので跳ね返ることはなく内面を伝わって排出孔２４に導
かれ、排出孔２４からカバー２０外に排出されることに
なる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は乾燥装置に関し、
特に、洗浄工程で磁気ディスク等の基板の表面に付着し
た水滴を遠心力の作用によって飛散させて除去するスピ
ン乾燥型の乾燥装置に関するものである。
特に、洗浄工程で磁気ディスク等の基板の表面に付着し
た水滴を遠心力の作用によって飛散させて除去するスピ
ン乾燥型の乾燥装置に関するものである。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】この種の乾燥装置の一例
が特許第２８０２７８３号公報に記載されている。この
乾燥装置は、磁気ディスク等の基板を保持する保持部材
と、保持部材を回転駆動させる駆動源と、保持部材の外
側に基板を囲むように設けられるカバーとを具えてい
る。
が特許第２８０２７８３号公報に記載されている。この
乾燥装置は、磁気ディスク等の基板を保持する保持部材
と、保持部材を回転駆動させる駆動源と、保持部材の外
側に基板を囲むように設けられるカバーとを具えてい
る。
【０００３】そして、駆動源によって保持部材と一体に
基板を回転させることで、基板の表面に付着した水滴に
遠心力が作用して基板の表面から飛散し、除去されるも
のである。この場合、基板の表面から飛散した水滴は、
カバーの内面に当たって装置外に飛散するのが防止され
るものである。
基板を回転させることで、基板の表面に付着した水滴に
遠心力が作用して基板の表面から飛散し、除去されるも
のである。この場合、基板の表面から飛散した水滴は、
カバーの内面に当たって装置外に飛散するのが防止され
るものである。
【０００４】しかしながら、上記のような構成の乾燥装
置にあっては、基板の表面から飛散した水滴がカバーの
内面に当たった場合に、その一部が跳ね返って回転して
いる基板の表面に再付着してしまうことがある。
置にあっては、基板の表面から飛散した水滴がカバーの
内面に当たった場合に、その一部が跳ね返って回転して
いる基板の表面に再付着してしまうことがある。
【０００５】このような水滴の基板表面への再付着を防
止するため、カバーの内面に軟質スポンジ等を貼り付け
て、カバー内面での水滴の跳ね返り量を減少させた乾燥
装置が提案されている。
止するため、カバーの内面に軟質スポンジ等を貼り付け
て、カバー内面での水滴の跳ね返り量を減少させた乾燥
装置が提案されている。
【０００６】しかしながら、このような乾燥装置であっ
ても、水滴が基板の表面に再付着するのを完全に防止す
ることができない。このため、本来の水滴の除去に必要
な回転以上の高回転で基板を回転させて、再付着した水
滴を除去しなければならないため、各部の性能を高めて
高回転型の装置としなければならず、装置の価格が高く
なってしまう。
ても、水滴が基板の表面に再付着するのを完全に防止す
ることができない。このため、本来の水滴の除去に必要
な回転以上の高回転で基板を回転させて、再付着した水
滴を除去しなければならないため、各部の性能を高めて
高回転型の装置としなければならず、装置の価格が高く
なってしまう。
【０００７】各部の性能を高めて高回転型の装置とする
ことなく、水滴の基板表面への再付着を防止した乾燥装
置が特開平１０−１２２７４６号公報に記載されてい
る。
ことなく、水滴の基板表面への再付着を防止した乾燥装
置が特開平１０−１２２７４６号公報に記載されてい
る。
【０００８】この乾燥装置は、磁気ディスク等の基板を
保持する保持部材と、保持部材を回転駆動させる第１の
駆動源と、保持部材の外側に基板を囲むように設けられ
るカバーと、カバーを回転させる第２の駆動源とを具え
たものである。
保持する保持部材と、保持部材を回転駆動させる第１の
駆動源と、保持部材の外側に基板を囲むように設けられ
るカバーと、カバーを回転させる第２の駆動源とを具え
たものである。
【０００９】そして、第１の駆動源によって保持部材と
一体に基板を回転させるとともに、第２の駆動源によっ
てカバーを同時に回転させることで、基板の表面に付着
している水滴に遠心力が作用して基板の表面から飛散
し、除去されるものである。
一体に基板を回転させるとともに、第２の駆動源によっ
てカバーを同時に回転させることで、基板の表面に付着
している水滴に遠心力が作用して基板の表面から飛散
し、除去されるものである。
【００１０】この場合、基板の回転とカバーの回転とは
同期するように調整されているので、基板の表面から飛
散した水滴がカバーの内面に当たっても、内面で跳ね返
るようなことはなく、カバーの内面に当たった水滴は内
面を伝わって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排
出されるものである。
同期するように調整されているので、基板の表面から飛
散した水滴がカバーの内面に当たっても、内面で跳ね返
るようなことはなく、カバーの内面に当たった水滴は内
面を伝わって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排
出されるものである。
【００１１】しかしながら、上記のような構成の乾燥装
置にあっては、第１の駆動源と、第２の駆動源の２つの
駆動源を必要とするため、回転部の構造が複雑になると
ともに、全体が大型化してしまう。また、２つの駆動源
の回転を同期させるための制御が複雑になってしまう。
置にあっては、第１の駆動源と、第２の駆動源の２つの
駆動源を必要とするため、回転部の構造が複雑になると
ともに、全体が大型化してしまう。また、２つの駆動源
の回転を同期させるための制御が複雑になってしまう。
【００１２】２つの駆動源を必要とすることなく、複雑
な制御を必要とすることなく、水滴の基板表面への再付
着を防止した乾燥装置が特開平８−３２３３０３号公報
に記載されている。
な制御を必要とすることなく、水滴の基板表面への再付
着を防止した乾燥装置が特開平８−３２３３０３号公報
に記載されている。
【００１３】この乾燥装置は、磁気ディスク等の基板を
保持する保持部材と、保持部材を回転駆動させる駆動源
と、保持部材と一体に回転駆動する気流発生板と、保持
部材の外側に基板を囲むように設けられるカバーとを具
えたものである。
保持する保持部材と、保持部材を回転駆動させる駆動源
と、保持部材と一体に回転駆動する気流発生板と、保持
部材の外側に基板を囲むように設けられるカバーとを具
えたものである。
【００１４】そして、駆動源によって保持部材と一体に
基板を回転させることで、基板の表面に付着している水
滴に遠心力が作用して基板の表面から飛散し、除去され
るものである。
基板を回転させることで、基板の表面に付着している水
滴に遠心力が作用して基板の表面から飛散し、除去され
るものである。
【００１５】この場合、保持部材とカバーとの間には気
流発生板の回転によって排出孔の方向に向かう気流が発
生しているので、基板の表面から飛散した水滴はこの気
流によって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排出
されるものである。
流発生板の回転によって排出孔の方向に向かう気流が発
生しているので、基板の表面から飛散した水滴はこの気
流によって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排出
されるものである。
【００１６】しかしながら、上記のような構成の乾燥装
置にあっては、気流を発生させるための気流発生板を必
要とするため、その部分の構造が複雑になる。また、回
転初期の気流が完全に発生していない段階では、基板の
表面から飛散した水滴がカバーの内面に当たって跳ね返
って基板の表面に再付着してしまうことがある。このた
め、再付着した水滴を除去するために、本来の水滴の除
去に必要な回転以上の高回転で基板を回転させて、再付
着した水滴を除去しなければならない。
置にあっては、気流を発生させるための気流発生板を必
要とするため、その部分の構造が複雑になる。また、回
転初期の気流が完全に発生していない段階では、基板の
表面から飛散した水滴がカバーの内面に当たって跳ね返
って基板の表面に再付着してしまうことがある。このた
め、再付着した水滴を除去するために、本来の水滴の除
去に必要な回転以上の高回転で基板を回転させて、再付
着した水滴を除去しなければならない。
【００１７】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、回転部の構造を複雑に
することなく、全体を大型化することなく、複雑な制御
を必要とすることなく、基板の表面に付着した水滴を再
付着することなく確実に除去することができるととも
に、本来の水滴の除去に必要な回転で基板の表面に付着
した水滴を再付着することなく確実に除去することがで
きる乾燥装置を提供することを目的とするものである。
問題点を解決したものであって、回転部の構造を複雑に
することなく、全体を大型化することなく、複雑な制御
を必要とすることなく、基板の表面に付着した水滴を再
付着することなく確実に除去することができるととも
に、本来の水滴の除去に必要な回転で基板の表面に付着
した水滴を再付着することなく確実に除去することがで
きる乾燥装置を提供することを目的とするものである。
【００１８】
【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、回転軸と、該回転軸を回転駆動さ
せる駆動源と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一
体に回転するとともに、磁気ディスク等の基板を保持す
る保持部材と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一
体に回転するとともに、前記基板を囲むカバーとを具え
た手段を採用したものである。また、前記カバーの前記
基板に対向する内面はテーパ面に形成されるとともに、
該テーパ面に連続する部分に水滴の排出孔が設けられて
いる手段を採用したものである。
るためにこの発明は、回転軸と、該回転軸を回転駆動さ
せる駆動源と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一
体に回転するとともに、磁気ディスク等の基板を保持す
る保持部材と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一
体に回転するとともに、前記基板を囲むカバーとを具え
た手段を採用したものである。また、前記カバーの前記
基板に対向する内面はテーパ面に形成されるとともに、
該テーパ面に連続する部分に水滴の排出孔が設けられて
いる手段を採用したものである。
【００１９】
【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、駆動源によって回転軸を回転させると、回転軸と
一体に保持部材及び保持部材に保持されている基板が回
転し、基板の表面に付着している水滴に遠心力が作用し
て基板の表面から飛散し、除去されることになる。この
場合、基板の表面から飛散した水滴はカバーの内面に当
たって跳ね返ろうとするが、基板とカバーとは一体に回
転しているので、水滴がカバーの内面で跳ね返ることは
なく、カバーの内面に当たった水滴はカバーの内面を伝
わって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排出され
ることになる。
より、駆動源によって回転軸を回転させると、回転軸と
一体に保持部材及び保持部材に保持されている基板が回
転し、基板の表面に付着している水滴に遠心力が作用し
て基板の表面から飛散し、除去されることになる。この
場合、基板の表面から飛散した水滴はカバーの内面に当
たって跳ね返ろうとするが、基板とカバーとは一体に回
転しているので、水滴がカバーの内面で跳ね返ることは
なく、カバーの内面に当たった水滴はカバーの内面を伝
わって排出孔に導かれ、排出孔からカバー外に排出され
ることになる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１には、この発明による乾
燥装置の一実施の形態が示されていて、この乾燥装置
は、回転自在に設けられる回転軸１と、回転軸１に取り
付けられて回転軸１と一体に回転する保持部材４と、回
転軸１に取り付けられて回転軸１と一体に回転するカバ
ー２０と、回転軸１を回転駆動させる駆動源２６とを具
えている。
の形態について説明する。図１には、この発明による乾
燥装置の一実施の形態が示されていて、この乾燥装置
は、回転自在に設けられる回転軸１と、回転軸１に取り
付けられて回転軸１と一体に回転する保持部材４と、回
転軸１に取り付けられて回転軸１と一体に回転するカバ
ー２０と、回転軸１を回転駆動させる駆動源２６とを具
えている。
【００２１】回転軸１は棒状に形成されるものであっ
て、基枠３１に取り付けられている筒状の軸受ケース３
２の内側に軸受３３を介して回転自在に挿着されるよう
になっている。
て、基枠３１に取り付けられている筒状の軸受ケース３
２の内側に軸受３３を介して回転自在に挿着されるよう
になっている。
【００２２】回転軸１の下端部は軸受ケース３２の下端
から下方に突出し、その突出している部分に後述する保
持部材４が取り付けられるようになっている。回転軸１
の上端部は軸受ケース３２の上端から上方に突出し、そ
の突出している部分の下端部にプーリー２９が取り付け
られるとともに、このプーリー２９と駆動源であるモー
タ２６の駆動軸に取り付けられているプーリー２７との
間にはＶベルト２８が張設されるようになっている。
から下方に突出し、その突出している部分に後述する保
持部材４が取り付けられるようになっている。回転軸１
の上端部は軸受ケース３２の上端から上方に突出し、そ
の突出している部分の下端部にプーリー２９が取り付け
られるとともに、このプーリー２９と駆動源であるモー
タ２６の駆動軸に取り付けられているプーリー２７との
間にはＶベルト２８が張設されるようになっている。
【００２３】回転軸１の中心部には上下方向に貫通する
スライド孔２が穿設され、このスライド孔２内に棒状の
スライド軸３がスライド自在に挿着されるようになって
いる。
スライド孔２が穿設され、このスライド孔２内に棒状の
スライド軸３がスライド自在に挿着されるようになって
いる。
【００２４】回転軸１の上方には押圧シリンダ１８が設
けられ、この押圧シリンダ１８を作動させてロッド１９
を下方に突出させることで、スライド軸３が下方に押圧
されて回転軸１のスライド孔２内を下方にスライドし、
回転軸１の下端部に位置している後述する保持部材４の
シフター９を下方に押圧するようになっている。
けられ、この押圧シリンダ１８を作動させてロッド１９
を下方に突出させることで、スライド軸３が下方に押圧
されて回転軸１のスライド孔２内を下方にスライドし、
回転軸１の下端部に位置している後述する保持部材４の
シフター９を下方に押圧するようになっている。
【００２５】保持部材４は、回転軸１の下端部にボルト
（図示せず）によって取り付けられるとともに、中心部
に上下方向に貫通する孔を有するボディ５と、ボディ５
の内側の中心部に設けられるシフター９と、ボディ５の
中心部に設けられるスプリング１１と、ボディ５の周縁
部に揺動自在に設けられるチャック１２と、チャック１
２とシフター９とを連結するアーム１７とを具えてい
る。
（図示せず）によって取り付けられるとともに、中心部
に上下方向に貫通する孔を有するボディ５と、ボディ５
の内側の中心部に設けられるシフター９と、ボディ５の
中心部に設けられるスプリング１１と、ボディ５の周縁
部に揺動自在に設けられるチャック１２と、チャック１
２とシフター９とを連結するアーム１７とを具えてい
る。
【００２６】シフター９の中心部には上方に突出する突
部１０が一体に設けられ、この突部１０をボディ５の中
心部の孔内に挿入させることで、ボディ５の内側の中心
部においてシフター９が上下動自在となるものである。
部１０が一体に設けられ、この突部１０をボディ５の中
心部の孔内に挿入させることで、ボディ５の内側の中心
部においてシフター９が上下動自在となるものである。
【００２７】シフター９の突部１０の中心部にはスプリ
ング１１が挿着され、このスプリング１１の付勢力によ
ってシフター９は通常状態ではボディ５の内面に密着し
た位置に保持され、スライド軸３を介して押圧された際
には、ボディ５の内面から離間した位置に保持されるよ
うになっている。
ング１１が挿着され、このスプリング１１の付勢力によ
ってシフター９は通常状態ではボディ５の内面に密着し
た位置に保持され、スライド軸３を介して押圧された際
には、ボディ５の内面から離間した位置に保持されるよ
うになっている。
【００２８】チャック１２は、ボディ５の周縁部にヒン
ジピン１４を介して揺動自在に取り付けられるフィンガ
ーピン１３と、フィンガーピン１３の下端部に回動自在
に取り付けられるＶ字状のフィンガーローラー１５と、
フィンガーピン１３の上端部に取り付けられる重り１６
とからなるものであって、ボディ５の周縁部の３箇所に
等配で設けられるようになっている。なお、チャック１
２は３箇所に限らず、それ以上の箇所に設けてもよいも
のである。
ジピン１４を介して揺動自在に取り付けられるフィンガ
ーピン１３と、フィンガーピン１３の下端部に回動自在
に取り付けられるＶ字状のフィンガーローラー１５と、
フィンガーピン１３の上端部に取り付けられる重り１６
とからなるものであって、ボディ５の周縁部の３箇所に
等配で設けられるようになっている。なお、チャック１
２は３箇所に限らず、それ以上の箇所に設けてもよいも
のである。
【００２９】そして、押圧シリンダ１８を作動させてス
ライド軸３を下方にスライドさせて、保持部材４のシフ
ター９をスプリング１１の付勢力に抗して下方に移動さ
せることで、アーム１７を介してチャック１２が径方向
外方に揺動してチャック１２間に磁気ディスク等の基板
を装着することができ、この状態で押圧シリンダ１８の
作動を停止させて、スプリング１１の付勢力によってシ
フター９を上方に移動させることによって、アーム１７
を介してチャック１２を径方向内方に揺動して基板の外
周部がチャック１２間で保持されるものである。
ライド軸３を下方にスライドさせて、保持部材４のシフ
ター９をスプリング１１の付勢力に抗して下方に移動さ
せることで、アーム１７を介してチャック１２が径方向
外方に揺動してチャック１２間に磁気ディスク等の基板
を装着することができ、この状態で押圧シリンダ１８の
作動を停止させて、スプリング１１の付勢力によってシ
フター９を上方に移動させることによって、アーム１７
を介してチャック１２を径方向内方に揺動して基板の外
周部がチャック１２間で保持されるものである。
【００３０】なお、磁気ディスク等の基板３０を保持す
る保持部材４として、前記したようなタイプのものを使
用せずに、他の周知のタイプの保持部材を使用しても良
いのは勿論のことである。
る保持部材４として、前記したようなタイプのものを使
用せずに、他の周知のタイプの保持部材を使用しても良
いのは勿論のことである。
【００３１】カバー２０は、上方に行くに従って順次大
径となるテーパ筒状の側部２１と、側部２１の上端開口
部を閉塞する円板状の蓋部２２とからなるものであっ
て、蓋部２２の中心部に保持部材４のボディ５がボルト
（図示せず）によって一体に取り付けられるようになっ
ている。
径となるテーパ筒状の側部２１と、側部２１の上端開口
部を閉塞する円板状の蓋部２２とからなるものであっ
て、蓋部２２の中心部に保持部材４のボディ５がボルト
（図示せず）によって一体に取り付けられるようになっ
ている。
【００３２】側部２１は、保持部材４のチャック１２間
で磁気ディスク等の基板３０を保持した場合に、基板３
０の周囲を所定の間隔をおいて囲むことのできる大きさ
に形成されている。蓋部２２には保持部材４のチャック
１２をスムーズに揺動させるための溝２３が設けられる
とともに、蓋部２２の側部２１に連続する部分にはそこ
を上下方向に貫通する水滴の排出孔２４が複数箇所に設
けられ、この排出孔２４を介して水滴がカバー２０外に
排出されるようになっている。
で磁気ディスク等の基板３０を保持した場合に、基板３
０の周囲を所定の間隔をおいて囲むことのできる大きさ
に形成されている。蓋部２２には保持部材４のチャック
１２をスムーズに揺動させるための溝２３が設けられる
とともに、蓋部２２の側部２１に連続する部分にはそこ
を上下方向に貫通する水滴の排出孔２４が複数箇所に設
けられ、この排出孔２４を介して水滴がカバー２０外に
排出されるようになっている。
【００３３】次に、前記に示すものの作用について説明
する。まず、保持部材４のチャック１２のフィンガーロ
ーラー１５の内側に、洗浄工程が終了した磁気ディスク
等の基板３０を位置し、押圧シリンダ１８を作動させて
ロッド１９を突出させると、スライド軸３が押圧されて
回転軸１のスライド孔２内を下方にスライドし、スライ
ド軸３の下端部で保持部材４のシフター９が下方に押圧
され、シフター９がスプリング１１の付勢力に抗して下
方に移動し、シフター９の下方への移動に追従してアー
ム１７を介してチャック１２が径方向内方に揺動し、チ
ャック１２のフィンガーローラー１５間で基板３０の外
周部が径方向内方に押圧されて保持される。
する。まず、保持部材４のチャック１２のフィンガーロ
ーラー１５の内側に、洗浄工程が終了した磁気ディスク
等の基板３０を位置し、押圧シリンダ１８を作動させて
ロッド１９を突出させると、スライド軸３が押圧されて
回転軸１のスライド孔２内を下方にスライドし、スライ
ド軸３の下端部で保持部材４のシフター９が下方に押圧
され、シフター９がスプリング１１の付勢力に抗して下
方に移動し、シフター９の下方への移動に追従してアー
ム１７を介してチャック１２が径方向内方に揺動し、チ
ャック１２のフィンガーローラー１５間で基板３０の外
周部が径方向内方に押圧されて保持される。
【００３４】そして、この状態でモータ２６を作動させ
ると、モータ２６の駆動軸の回転がプーリー２７、Ｖベ
ルト２８及びプーリー２９を介して回転軸１に伝達し、
回転軸１が回転を開始するとともに、回転軸１と一体に
保持部材４、保持部材４のチャック１２間に保持されて
いる基板３０及びカバー２０が回転を開始する。
ると、モータ２６の駆動軸の回転がプーリー２７、Ｖベ
ルト２８及びプーリー２９を介して回転軸１に伝達し、
回転軸１が回転を開始するとともに、回転軸１と一体に
保持部材４、保持部材４のチャック１２間に保持されて
いる基板３０及びカバー２０が回転を開始する。
【００３５】この場合、保持部材４のチャック１２の重
り１６に遠心力が作用することによって、基板３０はチ
ャック１２のフィンガーローラー１５間で強固に保持さ
れるものである。
り１６に遠心力が作用することによって、基板３０はチ
ャック１２のフィンガーローラー１５間で強固に保持さ
れるものである。
【００３６】そして、基板３０が回転することによって
基板３０の表面に付着している水滴に遠心力が作用して
基板３０の表面から飛散し、除去されることになる。
基板３０の表面に付着している水滴に遠心力が作用して
基板３０の表面から飛散し、除去されることになる。
【００３７】この場合、基板３０の表面から飛散した水
滴は、カバー２０の側部２１の内面に当たって跳ね返ろ
うとするが、カバー２０と基板３０とは一体に回転して
いるので、すなわち、両者の回転は同期しているので、
水滴がカバー２０の側部２１の内面に当たっても跳ね返
るようなことはなく、カバー２０の側部２１の内面に当
たった水滴は側部２１の内面を伝わって蓋部２２の方向
に移動し、蓋部２２の排出孔２４に導かれ、排出孔２４
からカバー２０外に排出されることになる。
滴は、カバー２０の側部２１の内面に当たって跳ね返ろ
うとするが、カバー２０と基板３０とは一体に回転して
いるので、すなわち、両者の回転は同期しているので、
水滴がカバー２０の側部２１の内面に当たっても跳ね返
るようなことはなく、カバー２０の側部２１の内面に当
たった水滴は側部２１の内面を伝わって蓋部２２の方向
に移動し、蓋部２２の排出孔２４に導かれ、排出孔２４
からカバー２０外に排出されることになる。
【００３８】上記のように構成したこの実施の形態によ
る乾燥装置にあっては、１つの駆動源２６で基板３０と
カバー２０とを一体に回転させることができるので、回
転部の構造を複雑にすることなく、全体を大型化するこ
となく、また、複雑な制御を必要とすることなく、基板
３０の表面に付着した水滴を再付着することなく確実に
除去することができることになる。また、カバー２０の
内面で跳ね返った水滴が基板３０の表面に再付着するこ
とがないので、本来の水滴の除去に必要な回転で基板３
０の表面に付着した水滴を確実に除去することができる
ことになる。したがって、各部の性能を高めて高回転型
の装置とする必要はなく、安価な装置を提供することが
できることになる。
る乾燥装置にあっては、１つの駆動源２６で基板３０と
カバー２０とを一体に回転させることができるので、回
転部の構造を複雑にすることなく、全体を大型化するこ
となく、また、複雑な制御を必要とすることなく、基板
３０の表面に付着した水滴を再付着することなく確実に
除去することができることになる。また、カバー２０の
内面で跳ね返った水滴が基板３０の表面に再付着するこ
とがないので、本来の水滴の除去に必要な回転で基板３
０の表面に付着した水滴を確実に除去することができる
ことになる。したがって、各部の性能を高めて高回転型
の装置とする必要はなく、安価な装置を提供することが
できることになる。
【００３９】
【発明の効果】この発明は前記のように、１つの駆動源
で基板とカバーとを一体に回転させるように構成したの
で、回転部の構造を複雑にすることなく、全体を大型化
することなく、複雑な制御を必要とすることなく、基板
の表面に付着した水滴を再付着することなく確実に除去
することができることになる。また、基板の表面から付
着した水滴がカバーの内面で跳ね返って基板の表面に再
付着することがないので、基板を本来の水滴の除去に必
要な回転以上の高回転で回転させる必要はなく、本体の
水滴の除去に必要な回転で回転させれば十分に水滴を除
去することができるので、各部の性能を高めて高回転型
の装置とする必要はなく、安価な装置を提供することが
できることになる。
で基板とカバーとを一体に回転させるように構成したの
で、回転部の構造を複雑にすることなく、全体を大型化
することなく、複雑な制御を必要とすることなく、基板
の表面に付着した水滴を再付着することなく確実に除去
することができることになる。また、基板の表面から付
着した水滴がカバーの内面で跳ね返って基板の表面に再
付着することがないので、基板を本来の水滴の除去に必
要な回転以上の高回転で回転させる必要はなく、本体の
水滴の除去に必要な回転で回転させれば十分に水滴を除
去することができるので、各部の性能を高めて高回転型
の装置とする必要はなく、安価な装置を提供することが
できることになる。
【図１】この発明による乾燥装置の一実施の形態の全体
を示した概略縦断面図である。
を示した概略縦断面図である。
１……回転軸 ２……スライド孔 ３……スライド軸 ４……保持部材 ５……ボディ ９……シフター １０……突部 １１……スプリング １２……チャック １３……フィンガーピン １４……ヒンジピン １５……フィンガーローラー １６……重り １７……アーム １８……押圧シリンダ １９……ロッド ２０……カバー ２１……側部 ２２……蓋部 ２３……溝 ２４……排出孔 ２６……駆動源（モータ） ２７、２９……プーリー ２８……Ｖベルト ３０……基板 ３１……基枠 ３２……軸受ケース ３３……軸受
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3L113 AA04 AB08 AC19 AC63 AC69 AC75 AC76 BA34 DA06 DA13 DA14 DA24 5D112 AA02 AA24 GA08
Claims (2)
- 【請求項１】 回転軸と、該回転軸を回転駆動させる駆
動源と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一体に回
転するとともに、磁気ディスク等の基板を保持する保持
部材と、前記回転軸に取り付けられて回転軸と一体に回
転するとともに、前記基板を囲むカバーとを具えたこと
を特徴とする乾燥装置。 - 【請求項２】 前記カバーの前記基板に対向する内面は
テーパ面に形成されるとともに、該テーパ面に連続する
部分に水滴の排出孔が設けられている請求項１記載の乾
燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24280799A JP2001066060A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24280799A JP2001066060A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001066060A true JP2001066060A (ja) | 2001-03-16 |
Family
ID=17094589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24280799A Withdrawn JP2001066060A (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001066060A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112484453A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-03-12 | 天津市职业大学 | 一种对清洗后的周转箱进行甩干及烘干的处理方法 |
-
1999
- 1999-08-30 JP JP24280799A patent/JP2001066060A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112484453A (zh) * | 2020-11-27 | 2021-03-12 | 天津市职业大学 | 一种对清洗后的周转箱进行甩干及烘干的处理方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20061107 |