JP2001063068A5 - インクジェットヘッド及びその製造方法、画像形成装置 - Google Patents

Description

【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルと、ノズルが連通する圧力室と、圧力室にインク供給路を介してインクを供給す
るための共通インク室とを備えたインクジェットヘッドにおいて、ノズル孔と前記インク
供給路を形成する溝とを同じ部材に形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項２】
ノズルと、ノズルが連通する圧力室と、圧力室にインク供給路を介してインクを供給す
るための共通インク室とを備えたインクジェットヘッドにおいて、１つの圧力室に対して
複数の前記インク供給路を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項３】
ノズルと、ノズルが連通する圧力室と、圧力室にインク供給路を介してインクを供給す
るための共通インク室とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給路の側
方に前記圧力室と共通インク室に連通しない溝を形成したことを特徴とするインクジェッ
トヘッド。
【請求項４】
請求項２又は３に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記ノズルを形成する部材に
前記インク供給路を形成する溝を形成したことを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項５】
請求項１又は４に記載のインクジェットヘッドにおいて、前記インク供給路を形成する
溝幅が前記ノズルの深さの２倍以下であることを特徴とするインクジェットヘッド。
【請求項６】
請求項１、４、５のいずれかに記載のインクジェットヘッドを製造するインクジェット
ヘッドの製造方法において、電鋳支持基板に第1の感光性有機膜を形成し、この第１の感
光性有機膜を第1のマスクを介して露光した後、第1の感光性有機膜上に第２の感光性有機
膜を形成して、この第２の感光性有機膜を第２のマスクを介して露光した後、前記第1、
第２の感光性有機膜を現像して前記ノズル及び溝を形成する部分に対応する積層の有機膜
パターンを形成し、次いで、前記電鋳支持基板上に電鋳法により金属膜を成膜することを
特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項７】
請求項６に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、前記金属膜を成膜後表面
に撥水層を形成することを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
【請求項８】
請求項１ないし５のいずれかに記載のインクジェットヘッドを搭載していることを特徴
とする画像形成装置。

【０００１】
【産業上の利用分野】
本発明はインクジェットヘッド及びその製造方法、画像形成装置に関し、特に圧力室に
インクを供給するインク供給路を有するインクジェットヘッド及びその製造方法、画像形
成装置に関する。

本発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、高精度のインク供給路を低コストで作製できて構成も簡単なインクジェットヘッド及びその製造方法、同ヘッドを備える画像 形成装置を提供することを目的とする。

本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、ノズルを形成する部材にインク供給路を形成する溝を形成するインクジェットヘッドを製造する方法において、電鋳支持基板に第1の感光性有機膜を形成し、この第１の感光性有機膜を第1のマスクを介して露光した後、第1の感光性有機膜上に第２の感光性有機膜を形成して、この第２の感光性有機膜を第２のマスクを介して露光した後、第1、第２の感光性有機膜を現像してノズル及び溝を形成する部分に対応する積層の有機膜パターンを形成し、次いで、電鋳支持基板上に電鋳法により金属膜を成膜する構成としたものである。この場合、金属膜を成膜後表面に撥水層を形成することが好ましい。
本発明に係る画像形成装置は、本発明に係るインクジェットヘッドを搭載したものであ る。

このようにノズル板にインク供給路を形成することにより、インク供給路ほどの精度が要求されない液室を含む振動板／液室基板を異方性エッチングで形成することが可能になり、低コスト化を図れる。
また、本発明に係るインクジェットヘッドは、前述したようにプリンタ、ファクシミリ 、複写装置等の画像記録装置或いは画像形成装置に搭載することができる。

ここで、ノズルを形成する部材にインク供給路を形成する溝を形成する場合、インク供給路を形成する溝幅をノズルの深さの２倍以下にすることにより、電鋳工法でノズルを形成する部材を製作するときの信頼性が向上する。
また、本発明に係る画像形成装置によれば、上述したインクジェットヘッドを搭載する ので、簡単な構成ヘッドを搭載することができる。