JP2001062704A - 研磨布および平面研磨加工方法 - Google Patents
研磨布および平面研磨加工方法Info
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Abstract
化を図り、特にコロイド状研磨液と組合せて使用するこ
とによりその特性を効果的に発揮できるように改良した
研磨布,および平面研磨加工方法を提供する。 【解決手段】上下一対の回転式定盤1,2の内面に研磨
布5を被着して被加工ワーク4を上下から挟み、ワーク
と研磨布との間に研磨液6を滴下供給してワークの研磨
加工を行う平面研磨装置等に適用する研磨布であり、該
研磨布がベス層5aと該ベース層の上に積層した軟質プ
ラスチックフォームで作られたシート状の表面層5bか
らなるものにおいて、表面層5aを、その表面が非発泡
のスキン層で覆われ、かつセル(気泡)5b-1を表面に
開口させずに層内に内包した独立気泡フォームで形成
し、研磨液としてコロイダルシリカを砥粒としたコロイ
ド状研磨液と組合せてワークの平面研磨加工を行う。
Description
装置に適用する磁気記録媒体のディスク基板,あるいは
半導体用のシリコンウエーハ,液晶ガラスなどを対象
に、メカノケミカルポリッシング(CMP)法によりワ
ークの表面を研磨する回転式平面研磨装置に適用して好
適な研磨布,および研磨加工方法に関する。
は、例えばアルミニウム合金製の円盤状基板の表面に膜
厚10μm程度のNi−Pめっきを施した後、磁性層を
成層する以前にディスク基板の両面に平面研磨加工(ラ
ッピング加工)を施して平滑面に仕上げるようにしてい
る。また、シリコンウエーハ,液晶ガラスについても同
様に、その基板両面を研磨加工を施して平坦面に仕上げ
るようにしている。
ーハなどを研磨加工する平面研磨装置として、上下一対
の回転式定盤,各定盤の内面に被着した研磨布,上下定
盤の間に介装したワーク保持用のキャリヤからなり、キ
ャリヤに設けたワーク挿入穴に一枚ずつ装荷したワーク
(被加工物)を上下から定盤に被着した研磨布で挟んで
加圧し、この状態で上定盤側から研磨布とワークとの間
に研磨液を滴下供給しつつ、上下の定盤,およびキャリ
ヤを回転駆動してワークの上下両面を同時に研磨加工す
るようにした回転式の平面研磨装置が広く採用されてい
る。
ング装置)の構成,および研磨加工の動作を図4〜図6
で説明する。まず、図4(a),(b) および図5において、
1は上定盤、2は下定盤、3は上定盤1と下定盤2との
間に介装したキャリヤ、4は研磨を行うワーク(頭記し
たディスク基板,シリコンウエーハなど)、5が上下定
盤1,2の内面に被着して取付けた研磨布である。
円盤3aを歯車機構3bを介して自転,公転させるよう
にした遊星歯車式の構成になり、各円盤3aにはワーク
4を1枚ずつ装荷する複数のワーク挿入穴が開口(図示
例は挿入穴の数が4)している。
ャリヤ3の円盤3aに開口したワーク挿入穴に1枚ずつ
装荷したワーク4を上下から定盤1,2の内面に被着し
た研磨布5でで挟み込み、この状態で上定盤1と下定盤
2を互いに逆方向に回転し、かつ各キャリヤ3を自転,
公転させながら、上定盤1に開口した研磨供給穴1aを
通じて研磨液6を滴下供給する。これにより、ワーク4
がキャリヤ3と一緒に上下定盤1,2の間の面上を移動
し、研磨布5と研磨液6による研磨作用を受けて上下両
面の研磨加工が行われる。なお、研磨液6として、従来
では金属酸化物,炭素などを主成分とした硬質の固形物
をミルなどで細かく破砕し、さらに分級した所定粒径の
微粉を砥粒とし、エッチング機能を有する薬液中に分散
させたものが一般に使われている。
プラスチックフォームを素材としたものが一般に採用さ
れており、その従来構造は図6の模式図で表すようにシ
ート状のベース層5aの上にプラスチックフォームで作
られたの表面層5bを積層した構成になる。ここで、表
面層5bはポリエチレン,ポリウレタン樹脂などを発泡
処理した上でこれをシート状に展延し、さらにバフィン
グ加工により表面層5bの表面を形成しているスキン層
(プラスチックフォームの表面を形成する非発泡層)を
研削してフォームの層内に内包しているセル(気泡)5
b-1を横から切断し、セル空洞を表面層5bの表面に開
口させてハニカム状のセル構造を作り出すようにしてい
る。
り合う表面層5bの表面がハニカム状せる構造で凹凸面
を呈しており、研磨加工の際にセル5b-1のクレータ状
空洞部分が外部から滴下供給した研磨液6を保持し、図
示のように上下の研磨布5の間をワーク4が相対移動す
る際にセル内に保持していた研磨液が絞り出されてワー
ク4の表面を研磨する。また、研磨加工の進行に伴って
生じたスラッジ,その他の混入異物などはセル5b-1の
空洞内に取り込んでここに滞留保持し、ワーク4の表面
にスクラッチ(切り傷)などが生じるの防ぐようにして
いる。
来構造の研磨布と研磨液を組合せてワークを研磨加工す
る方法においては、次記のような解決すべき問題点があ
る。すなわち、 (1) 図6の模式図で表すように、従来構造の研磨布5で
はプラスチックフォームで作られた表面層5bの表面が
凹凸面を呈しており、研磨加工時にはセル5b-1を取り
巻く壁の切り口部分のみがワーク4に局部的に当接して
摺動するだけであってワーク4の全面に均一に接触しな
い。このために、ワーク4に対する研磨ムラが生じ易
く、これが原因でワーク4の研磨加工面に微小な「うね
り」(waviness) りが生成して製品仕様で要求される表
面精度を確保することが困難である。なお、前記した
「うねり」は、「表面粗さ」とともにディスク基板,シ
リコンウエーハなどに対する表面精度を評価する測定項
目の一つであり、光学式非接触表面粗さ計(ZYGO)
で観測した単位面積当たりの表面像のうねり量(Wa)
をオングストローム(Å)で表す。特に浮動式磁気ヘッ
ドと組み合わせて使用する固定磁気ディスク装置に使用
するディスク基板では、この「うねり」が大きくなると
磁気ヘッドの浮上特性が悪化することから、研磨加工の
際にこの「うねり」をできるだけ小さく抑えることが重
要である。
磨液6は、砥粒として先記のように固形物を破砕,分級
して得た微粉体(粒子の表面が角張っている)を液体中
に混在させたものが主流であるが、この種の研磨液は砥
粒,スラッジなどが液中に沈降,凝集し易く、図6で述
べた従来構造の研磨布5と組合せて使用すると、研磨布
に多量の研磨液を滞留保持できる反面、研磨液中の砥
粒,スラッジ,その他の異物が研磨加工中に表面層5b
の表面に開口したセル5b-1の中で凝集,固化して研磨
布5に付着するようになる。このために、凝集,固化し
た異物をそのまま放置しておくと研磨中にワーク4の表
面を擦ってスクラッチなどがトラブルを引き起こす原因
となる。そこで、従来ではブラシ,ジェット水流などに
より研磨布5の表面を短期間サイクルで頻繁に清掃して
研磨布に付着している異物(凝集,固化物)を排除する
ようにしているが、このメンテナンス(清掃)作業には
手間が掛かるほか、その間は研磨装置の運転を中断しな
ければならず、研磨装置の稼働率にも影響を及ぼす。
層の状態にバラツキが多いことから、平面研磨装置に取
付けて実際に製品研磨を行うには、その前段の作業とし
てダミーワークについて研磨を行って研磨布の表面を整
形する慣らし運転を行っているが、この慣らし運転には
長い時間が掛かり、研磨装置の稼働率を低める原因の一
つになっている。
の凝集,固化を防いで研磨布のメンテナンス性改善を狙
いに、研磨液としてコロイド状研磨液が多く採用される
傾向にあるが、前記した従来構造の研磨布と併用した場
合には研磨ムラ,微小な「うねり」が生成してコロイド
状研磨液のもつ特性を十分に生かせられない。
り、その目的は前記課題を解決してワークに対する研磨
加工精度の向上化を図り、特にコロイド状研磨液と組合
せて均質な研磨加工性能が効果的に発揮できるように改
良した研磨布,および平面研磨加工方法を提供すること
にある。
に、本発明によれば、シート状のベース層と該ベース層
に積層した軟質プラスチックフォームの表面層とからな
る研磨布において、前記表面層を、その表面がスキン層
で覆われ、セルを開口させずに層内に内包した独立気泡
フォームで形成する(請求項1)ものとし、その具体的
な態様として次記のような構成がある。
対し、層内に内包したセルが開口しないようスキン層の
外面にバフィング加工を施して表面を平坦化する(請求
項2)。 (2) 研磨布のベース層を高硬度樹脂として、このベース
層に表面層を積層する(請求項3)。
として、このベース層に表面層を積層する(請求項
4)。 (4) 研磨布のベース層を合成繊維の織布として、このベ
ース層に表面層を積層する(請求項5)。
フォームのセル(気泡)を表面に開口させた従来の研磨
布と比べて、機能,メンテナンス性の面で次に記すよう
な利点を有する。
チックフォームのスキン層がワークの加工面全域に直接
当接して研磨作用に関与し、層内に内包した発泡セルは
クッションの役目を果たす。したがってワークの全域で
研磨面圧をほぼ一定に保って研磨加工を行うことがで
き、これにより従来の研磨布を使用する研磨加工で問題
となっていた研磨ムラ,ワーク表面の「うねり」発生を
抑えて表面精度の高い研磨加工が行える。また、研磨布
の表面に供給した研磨液はワークの全面域に展開して作
用するので、高い研磨能力が発揮できる。
磨液は、ワークと研磨布のスキン層表面との間を流れた
後にそのまま系外へ流出するので、研磨に伴って生じた
スラッジなどの異物も研磨布に付着,滞留することなく
研磨液に随伴して素早く系外に排出れさる。したがっ
て、研磨布に付着したスラッジの凝集,固化物に起因し
てワークにスクラッチなどの表面欠陥が生じることが防
げ、また、メンテナンス面でも研磨布を清掃する頻度が
少なくて済み、メンテナンスフリーのまま長期間連続し
て使用できる。
平坦な独立気泡フォームのスキン層で覆われているの
で、研磨加工装置にセットして実使用する場合でも、当
初に行う慣らし運転の時間が少なくてすみ、これにより
研磨装置の立ち上がりが早くて稼働率の向上に寄与す
る。
記した構造の研磨布を平面研磨装置の定盤に被着し、か
つ研磨液としてコロイド状研磨液を用いてワークの研磨
加工を行う(請求項6)ものとし、前記コロイド状研磨
液は、例えばコロイダルシリカの微粒子を砥粒として分
散媒中に分散させたもを用いる(請求項7)。
で作られたものであって、固形物をミルなどで機械的に
破砕したものとは異なり、粒径が0.02〜0.1μm
程度で表面が滑らかな硬質の微粒子である。また、この
コロイダルシリカを砥粒として分散媒に分散させたコロ
イド状研磨液は、分散性が高くて砥粒が沈降,凝集し難
く、研磨加工の工程中に砥粒が凝集,固化してワークの
表面にスクラッチなどの加工欠陥が生じるおそれは殆ど
ない。したがって、このような性質をもったコロイド状
研磨液を前記した本発明の研磨布と組合せて使用するこ
とにより、コロイド状研磨液の特性を十分に生かして高
い研磨加工性能と、表面精度の高い研磨加工が行える。
〜図3の実施例に基づいて説明する。なお、実施例の図
中で図5,図6に対応する部材には同じ符号を付してそ
の詳細な説明は省略する。
の上下定盤1,2に被着したシート状の研磨布5は、ポ
リエチレンテレフタレート(PET)などの高硬度樹
脂,あるいは合成繊維の織布ないし不織布で作られたシ
ート状のベース層5aに独立気泡形プラスチックフォー
ムの表面層5bを貼り合わせた構成になる。
ォームは、ポリエチレン,ポリウレタンなどの樹脂を発
泡処理してシート状に展開したものであり、図2の模式
図で表すように均一に発泡したセル(気泡)5b-1を内
包したコア層5cの両側に非発泡のスキン層5dが形成
されたストラクチュアルフォームと同等なセル構造を有
し、セル5b-1は層内に閉じ込め、スキン層5dをワー
ク4と向かい合う表面に露呈させた状態でベース層5b
に積層して研磨布5を構成している。なお、成形後にお
ける表面層5bの表面平坦度が低い場合には、表面層5
bをベース層5aに積層した状態で、そのスキン層5d
の表面に層内のセル5b-1が口を開かない程度にバフィ
ング加工を施して表面を平坦化するのがよい。
に装着するには、図1で示すように表面層5bのスキン
層5dをワーク4に向けて上下定盤1,2の内面にベー
ス層5aを貼り付ける。そして、研磨装置のキャリヤ3
にワーク4を図示のように装荷し、上下の定盤1,2を
互いに逆方向に回転させながら外部より研磨液6を滴下
供給してワーク4の平面研磨を行う。この研磨加工で
は、図2で示すように研磨布5の表面層5bを形成する
プラスチックフォームの平坦なスキン層5dがワーク4
の加工面全域に対峙して均一な研磨面圧を加えつつ、そ
の表面に沿って研磨液6が流動してワーク4の表面を平
滑に研磨する。
れるコロイダルシリカ6aの微粒子を砥粒とし、この砥
粒を分散媒に分散させたコロイド状の研磨液を前記の研
磨布5と組合せてワーク4の研磨加工を行っている状態
を表した模式図であり、図示のようにワーク4の表面全
域には粒径の揃った球状の砥粒(コロイダルシリカ6
a)が均等に展開して研磨作用に関与する。しかも、砥
粒であるコロイダルシリカ6aの粒子は表面が角張って
ないので研磨布5の表面に引っ掛かって付着することな
しにワーク4の表面との間を円滑に流動する。
比べて、ワークの研磨ムラを生成することなしに高い研
磨加工能力が発揮できる。しかもスラッジなどの異物も
研磨布の表面に滞留することなしにコロイド状研磨液に
随伴して素早く系外に排除されるので、ワークに対して
スクラッチなどの研磨欠陥が発生し難く、表面精度の高
い研磨加工が行える。
ストの結果によれば、本発明による研磨布を採用してワ
ークの研磨加工を行うことにより、従来の研磨布を使用
した場合と比べてワークの表面精度が大幅に向上し、特
にコロイド状研磨液と組合せて研磨加工を行った場合に
は、先記した「うねり」(Wa)が従来の研磨布で研磨
加工した製品の測定値Wa=5Åと比べて、本発明によ
りWa=2Åまで改善できることが確認されている。
を採用してワークの平面研磨加工を行うことにより、従
来の研磨布を使用した場合と比べて研磨能力,および加
工表面精度を大幅に高めることができ、特に本発明の研
磨布にコロイド状研磨液を組合せることにより、コロイ
ド状研磨液のもつ特性を十分に生かした表面精度の高い
研磨加工が行え、ワークの表面精度の測定項目の一つで
ある「うねり」を従来と比べて半分以下に改善すること
ができる。また、研磨布を清掃するメンテナンス作業の
頻度,並びに研磨布の実使用に際して製品研磨の前に行
う慣らし時間が短くて済むなど、研磨装置の稼働率向上
にも寄与する実用的効果が得られる。
に取付けた研磨加工状態の構成断面図
大断面図
ークを研磨する本発明の平面研磨加工方法を模式的に表
した説明図
理図であり、(a) は断面図、(b) はキャリヤの平面図
動を模式的に表した拡大図
Claims (7)
- 【請求項1】ベース層と該ベース層の上に積層した軟質
プラスチックフォームで作られたシート状の表面層とか
らなる研磨布において、前記表面層を、その表面がスキ
ン層で覆われ、セルを開口させずに層内に内包した独立
気泡フォームで形成したことを特徴とする研磨布。 - 【請求項2】請求項1記載の研磨布において、表面層を
形成する独立気泡フォームに対し、層内に内包したセル
が開口しないようスキン層の外面にバフィング加工を施
して表面を平坦化したことを特徴とする研磨布。 - 【請求項3】請求項1記載の研磨布において、ベース層
が高硬度樹脂であることを特徴とする研磨布。 - 【請求項4】請求項1記載の研磨布において、ベース層
が合成繊維の不織布であることを特徴とする研磨布。 - 【請求項5】請求項1記載の研磨布において、ベース層
が合成繊維の織布であることを特徴とする研磨布。 - 【請求項6】請求項1ないし5のいずれかに記載の研磨
布を平面研磨装置の定盤に被着し、研磨液としてコロイ
ド状研磨液を用いてワークの研磨加工を行うことを特徴
とする平面研磨加工方法。 - 【請求項7】請求項6記載の平面研磨加工方法におい
て、コロイド状研磨液が、コロイダルシリカの微粒子を
砥粒として分散媒中に分散させたものであることを特徴
とする平面研磨加工方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP24362099A JP3697963B2 (ja) | 1999-08-30 | 1999-08-30 | 研磨布および平面研磨加工方法 |
MYPI20003951 MY124043A (en) | 1999-08-30 | 2000-08-28 | Polishing pad and surface polishing method |
US09/651,637 US6439965B1 (en) | 1999-08-30 | 2000-08-30 | Polishing pad and surface polishing method |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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US (1) | US6439965B1 (ja) |
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007260855A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Fujibo Holdings Inc | 仕上げ用研磨布 |
JP2009289338A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
US7922926B2 (en) | 2008-01-08 | 2011-04-12 | Cabot Microelectronics Corporation | Composition and method for polishing nickel-phosphorous-coated aluminum hard disks |
CN102049728A (zh) * | 2010-08-27 | 2011-05-11 | 中国航空工业第六一八研究所 | 一种激光陀螺镜片外圆研磨抛光方法 |
US9039914B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-05-26 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing composition for nickel-phosphorous-coated memory disks |
Families Citing this family (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6736705B2 (en) * | 2001-04-27 | 2004-05-18 | Hitachi Global Storage Technologies | Polishing process for glass or ceramic disks used in disk drive data storage devices |
KR100447255B1 (ko) * | 2001-12-31 | 2004-09-07 | 주식회사 하이닉스반도체 | 입자 함침층 조성물 및 이를 이용한 연마 패드 |
US7087187B2 (en) * | 2002-06-06 | 2006-08-08 | Grumbine Steven K | Meta oxide coated carbon black for CMP |
US7429209B2 (en) * | 2002-12-26 | 2008-09-30 | Hoya Corporation | Method of polishing a glass substrate for use as an information recording medium |
JP4659338B2 (ja) * | 2003-02-12 | 2011-03-30 | Hoya株式会社 | 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法並びにそれに使用する研磨パッド |
JP4790973B2 (ja) * | 2003-03-28 | 2011-10-12 | Hoya株式会社 | 研磨パッドを使用した情報記録媒体用ガラス基板の製造方法及びその方法で得られた情報記録媒体用ガラス基板 |
GB2402941B (en) * | 2003-06-09 | 2007-06-27 | Kao Corp | Method for manufacturing substrate |
US6899602B2 (en) * | 2003-07-30 | 2005-05-31 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Nc | Porous polyurethane polishing pads |
US7004827B1 (en) | 2004-02-12 | 2006-02-28 | Komag, Inc. | Method and apparatus for polishing a workpiece |
CN1328778C (zh) * | 2004-04-07 | 2007-07-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 抛光垫与抛光盘之间的气泡检测方法 |
US7618529B2 (en) * | 2004-05-25 | 2009-11-17 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc | Polishing pad for electrochemical mechanical polishing |
KR101174925B1 (ko) * | 2005-08-31 | 2012-08-17 | 신에쓰 가가꾸 고교 가부시끼가이샤 | 웨이퍼의 연마 방법 및 연마된 웨이퍼 |
JP4744250B2 (ja) * | 2005-09-14 | 2011-08-10 | 株式会社岡本工作機械製作所 | 角形状基板の両面研磨装置および両面研磨方法 |
US20070122546A1 (en) * | 2005-11-25 | 2007-05-31 | Mort Cohen | Texturing pads and slurry for magnetic heads |
DE102008063228A1 (de) * | 2008-12-22 | 2010-06-24 | Peter Wolters Gmbh | Vorrichtung zur beidseitigen schleifenden Bearbeitung flacher Werkstücke |
US8162728B2 (en) | 2009-09-28 | 2012-04-24 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Dual-pore structure polishing pad |
US8696405B2 (en) | 2010-03-12 | 2014-04-15 | Wayne O. Duescher | Pivot-balanced floating platen lapping machine |
US8647172B2 (en) | 2010-03-12 | 2014-02-11 | Wayne O. Duescher | Wafer pads for fixed-spindle floating-platen lapping |
US8647170B2 (en) | 2011-10-06 | 2014-02-11 | Wayne O. Duescher | Laser alignment apparatus for rotary spindles |
US8647171B2 (en) * | 2010-03-12 | 2014-02-11 | Wayne O. Duescher | Fixed-spindle floating-platen workpiece loader apparatus |
US8602842B2 (en) * | 2010-03-12 | 2013-12-10 | Wayne O. Duescher | Three-point fixed-spindle floating-platen abrasive system |
US8740668B2 (en) * | 2010-03-12 | 2014-06-03 | Wayne O. Duescher | Three-point spindle-supported floating abrasive platen |
US8500515B2 (en) * | 2010-03-12 | 2013-08-06 | Wayne O. Duescher | Fixed-spindle and floating-platen abrasive system using spherical mounts |
US8758088B2 (en) | 2011-10-06 | 2014-06-24 | Wayne O. Duescher | Floating abrading platen configuration |
US8641476B2 (en) | 2011-10-06 | 2014-02-04 | Wayne O. Duescher | Coplanar alignment apparatus for rotary spindles |
US8337280B2 (en) | 2010-09-14 | 2012-12-25 | Duescher Wayne O | High speed platen abrading wire-driven rotary workholder |
US8430717B2 (en) | 2010-10-12 | 2013-04-30 | Wayne O. Duescher | Dynamic action abrasive lapping workholder |
CN102642181B (zh) * | 2012-04-18 | 2014-08-13 | 南通睿成机电设备有限公司 | 新型基体砂盘及其生产方法 |
US9011207B2 (en) | 2012-10-29 | 2015-04-21 | Wayne O. Duescher | Flexible diaphragm combination floating and rigid abrading workholder |
US9233452B2 (en) | 2012-10-29 | 2016-01-12 | Wayne O. Duescher | Vacuum-grooved membrane abrasive polishing wafer workholder |
US8998677B2 (en) | 2012-10-29 | 2015-04-07 | Wayne O. Duescher | Bellows driven floatation-type abrading workholder |
US8845394B2 (en) | 2012-10-29 | 2014-09-30 | Wayne O. Duescher | Bellows driven air floatation abrading workholder |
US8998678B2 (en) | 2012-10-29 | 2015-04-07 | Wayne O. Duescher | Spider arm driven flexible chamber abrading workholder |
US9604339B2 (en) | 2012-10-29 | 2017-03-28 | Wayne O. Duescher | Vacuum-grooved membrane wafer polishing workholder |
US9199354B2 (en) | 2012-10-29 | 2015-12-01 | Wayne O. Duescher | Flexible diaphragm post-type floating and rigid abrading workholder |
US9039488B2 (en) | 2012-10-29 | 2015-05-26 | Wayne O. Duescher | Pin driven flexible chamber abrading workholder |
US10926378B2 (en) | 2017-07-08 | 2021-02-23 | Wayne O. Duescher | Abrasive coated disk islands using magnetic font sheet |
CN108372433B (zh) * | 2018-04-04 | 2023-08-15 | 盐城工学院 | 刀具毛刷钝化装置 |
US11826868B2 (en) | 2018-09-26 | 2023-11-28 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Polishing side surfaces of fibers |
US11691241B1 (en) * | 2019-08-05 | 2023-07-04 | Keltech Engineering, Inc. | Abrasive lapping head with floating and rigid workpiece carrier |
US20210323116A1 (en) * | 2020-04-18 | 2021-10-21 | Rohm And Haas Electronic Materials Cmp Holdings, Inc. | Offset pore poromeric polishing pad |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4631220A (en) * | 1985-05-14 | 1986-12-23 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Coated abrasive back-up pad with metal reinforcing plate |
US5564965A (en) * | 1993-12-14 | 1996-10-15 | Shin-Etsu Handotai Co., Ltd. | Polishing member and wafer polishing apparatus |
JP3354744B2 (ja) * | 1995-04-25 | 2002-12-09 | ニッタ株式会社 | 研磨布及びその研磨布の研磨機定盤への脱着方法 |
US5807161A (en) * | 1996-03-15 | 1998-09-15 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Reversible back-up pad |
JPH09254027A (ja) * | 1996-03-25 | 1997-09-30 | Chiyoda Kk | 研磨用マウンテン材 |
JPH11277408A (ja) * | 1998-01-29 | 1999-10-12 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | 半導体ウエーハの鏡面研磨用研磨布、鏡面研磨方法ならびに鏡面研磨装置 |
US6187681B1 (en) * | 1998-10-14 | 2001-02-13 | Micron Technology, Inc. | Method and apparatus for planarization of a substrate |
US6267659B1 (en) * | 2000-05-04 | 2001-07-31 | International Business Machines Corporation | Stacked polish pad |
-
1999
- 1999-08-30 JP JP24362099A patent/JP3697963B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-08-28 MY MYPI20003951 patent/MY124043A/en unknown
- 2000-08-30 US US09/651,637 patent/US6439965B1/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007260855A (ja) * | 2006-03-29 | 2007-10-11 | Fujibo Holdings Inc | 仕上げ用研磨布 |
US7922926B2 (en) | 2008-01-08 | 2011-04-12 | Cabot Microelectronics Corporation | Composition and method for polishing nickel-phosphorous-coated aluminum hard disks |
JP2009289338A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Fuji Electric Device Technology Co Ltd | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
CN102049728A (zh) * | 2010-08-27 | 2011-05-11 | 中国航空工业第六一八研究所 | 一种激光陀螺镜片外圆研磨抛光方法 |
US9039914B2 (en) | 2012-05-23 | 2015-05-26 | Cabot Microelectronics Corporation | Polishing composition for nickel-phosphorous-coated memory disks |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US6439965B1 (en) | 2002-08-27 |
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