JP2001056320A - 超音波音速測定方法及び装置 - Google Patents

超音波音速測定方法及び装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】気泡の影響を受けて超音波が減衰し、充分に受
信波が得られない場合であっても精度よく測定値を得る
ことができる。 【解決手段】本発明は 超音波送信部より超音波を送信
し、該超音波送信部と超音波受信部との間を伝播する超
音波の伝播時間に基づいて試料中の音速を求める超音波
音速測定方法を前提としている。該超音波音速測定方法
において、複数回の送信における上記超音波受信部が受
信した少なくとも1つの受信波の受信タイミングにのみ
位相が同期する連続波を発振するようにし、且つ、その
連続発振波から送信タイミングを生成する機構を有した
局部発振器の周期を計測する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、超音波音速測定方
法及び装置に関し、特に、気泡が存在する試料中を伝播
する超音波の音速を測定する方法及び装置に関するもの
である。
【0002】
【従来の技術】図4は、超音波音速測定装置が備えた超
音波送受信装置を示す外観図である。超音波送受信部2
aより所定距離の位置に反射板2bが設けられており、
上記超音波送受信部2aと反射板2bとの間に試料が充
填されるようになっている。この構造で上記超音波送受
信部2aに設けられた発振素子(図示せず)より送出さ
れた超音波が、反射板2bで反射され上記超音波送受信
部2aに設けられた受信素子(図示せず)に受信されて
電気信号に変換されるようになっている。
【0003】上記超音波音速測定装置において試料中に
超音波を伝播させると、その伝播周期Tと伝播距離Lと
からc=L/Tとして音速を求めることができ、該音速
に基づいて試料の物理量、例えば密度を算出することが
できるようになっている。
【0004】この伝播周期Tを精度よく求めるための方
法として、オーバラップ法やシングアラウンド法が広く
知られている。
【0005】オーバラップ法は図5、図6に示すように
なっている。すなわち、矩形波発振器101より出力さ
れる矩形波Wsを分周器107で分周した分周波Dsを
パルサ102に入力し、該パルサ102で駆動パルスP
dを形成し、該駆動パルスPdを超音波送受信部103
に入力する。更に、ここで得られた、受信波をアンプ1
04を介してオシロスコープ105に入力するようにな
ている。
【0006】一方オシロスコープは上記矩形波発振器1
01の出力によって駆動されており、従って、当該オシ
ロスコープを駆動する矩形波Wsの周期と超音波送受信
部103より得られる反射波Srの周期とが一致したと
きに、オシロスコープの画面が静止し、その時の周期
が、上記周期Tとなる。
【0007】この方法は、上記矩形波発振器101の発
振周波数を手動で調整することによって、オシロスコー
プの表示状態を静止状態に保つようになっているので、
自動測定ができない難点がある。
【0008】更に、シングアラウンド法は図7に示すよ
うになっている。すなわち、起動トリガの入力でパルサ
201より駆動パルスを発振させて超音波送受信部10
3に入力し、該超音波送受信部103より得られる受信
波に基づいてパルス成形器203で新たなトリガを形成
して、該トリガを上記パルサ201に入力するようにな
っている。この場合は上記パルス成形器203の生成す
るパルスを周波数カウンタ204に入力し、該周波数カ
ウンタ204で所定時間に得られる計数値に基づいての
周期Tを算出することができるようになっている。
【0009】この方法は、上記外部回路の構成等の影響
を受けやすく、得られた周期Tは真の周期τ0 と回路上
の遅れ時間τe の加算値で現れることになる。
【0010】そこで、特開平6−235721号に開示
される超音波音速測定装置では、図8に示すように、伝
播周期Tを,連続波を発振するようにした局部発振器を
用いることによって、精度よく自動測定できるようにし
ている。
【0011】まず、駆動パルス発振回路301より発振
されたある時点での駆動パルスに基づいて、超音波送受
信部103よりより少なくとも2回の受信波を得る。そ
して、1回目の受信波と2回目の受信波を分離手段30
2で分離して、1回目の受信波に基づいて、次の駆動
パルスを駆動パルス発振回路301で発生するように
し、2回目の受信波に基づいて局部発振器304で伝搬
周期Tに対応するパルスを発振するようにしている。こ
のパルスに基づいて時間計測回路305で伝搬周期Tを
測定するようになっている。更に。上記局部発振器30
4の出力より1回目の受信波に対応するパルスを抽出
して局部発振器304の基準パルスとし、2回目の受信
波に対応するパルスを抽出して駆動パルス発振回路3
01の基準パルスとしている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
6−235721号に開示される超音波音速測定装置で
は、1つの送信波(駆動パルス)毎に最低2つの受信波
が必要であるため、試料中に気泡が存在する場合、満足
な測定結果が得られないという問題があった。すなわ
ち、上記超音波音速測定装置によれば、気泡の影響を受
けて超音波が減衰し1つの送信波毎に2つ以上の受信波
が得られない場合、連続発振が大きく乱れ、測定値に大
きなばらつきが生じる。
【0013】本発明は上記従来の事情に基づいて提案さ
れたものであって、試料中に気泡が存在する場合であっ
ても高精度に超音波の音速を測定できるようにした超音
波音速測定方法及び装置を提供することを目的とするも
のである。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために以下の手段を採用している。すなわち図1に
示すように、超音波送信部より超音波を送信し、該超音
波送信部と超音波受信部との間を伝播する超音波の伝播
時間に基づいて試料中の音速を求める超音波音速測定方
法を前提としている。
【0015】上記超音波音速測定方法において、複数回
の送信における上記超音波受信部が受信した少なくとも
1つの受信波の受信タイミングにのみ位相が同期する連
続波を発振するようにし、且つ、その連続発振波から送
信タイミングを生成する機構を有した局部発振器の周期
を計測する。具体的には、上記超音波受信部が受信した
波を所定量遅延させた後、遅延受信波の受信タイミング
にのみ位相が同期する連続波を発振するようにし、且
つ、その連続発振波から送信タイミングを生成する機構
を有した局部発振器の周期を計測する。そして、このよ
うに計測した周期に基づいた上記伝播時間より超音波の
音速を求める。
【0016】このようにすれば、受信された信号にのみ
位相同期をかけることができるため、気泡の影響を殆ど
受けない安定した測定が可能となる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
に従って詳細に説明する。
【0018】図1は、本発明を適用した超音波音速測定
装置のブロック図であり、図2はそのタイミングチャー
トである。
【0019】超音波の送信部と受信ぶより構成される送
受信部2aと反射板2bの間に試料が充填された状態
で、送信回路1による駆動に基づいて、送受信部2aよ
り図2(a) に示すように超音波S0,S10… が発振され
る。この超音波(以下「送信波」という)S0,S10…
は、試料中に超音波送受信部2aと所定距離をおいて設
置した反射板2bで反射して超音波送受信部2aに返
り、再び超音波送受信部2aで反射して超音波送受信部
2a・反射板2b間で図2(a) に示すように多重反射波
(R0,R1…),(R10,R11…) …を起こす。
【0020】この多重反射波を、超音波送受信部2aで
受信し、受信回路3で増幅した後、検出回路4で整形す
ると、図2(b) に示す受信検出波Srが得られる。な
お、検出回路4では、所定レベル以上の強度で検出した
反射波のみを受信波として採用するようにし、例えば、
図2に示す1回目の発振波S0に対して、第1回目の反射
波R0と2回目の反射波R1が、また、2回目の発振波S10
に対して、1回目の反射波R10 に対応する受信検出波S
0 Sr1 Sr10が所定レベル以上であったので採用さ
れている。3回目の発振波S20 に対応する全部の反射波
が所定レベル以下であったので、全く反射波が受信され
ていない。
【0021】ところで、上記のように反射波が所定レベ
ル以下となる原因は、例えば、試料液中に泡等の障害物
が発生する場合が考えられる。このように受信波が検出
されない状態で以下に説明するPLL回路が作動すると
誤った測定値を得ることになる。そこで、本発明では、
上記所定レベル以上の強度で検出した反射波のみを受信
波として採用する構成が採用されている。
【0022】すなわち、上記受信検出波Srを所定時間
τだけ受信波遅延回路5(第1の遅延回路)で遅延させ
ることによって、図2(c) に示す遅延受信波LSrを
得、該遅延受信波LSrは、PLL16の位相比較器8
の比較信号として入力される。一方、PLL16の局部
発振器10の出力である発振波(送信タイミング用連続
発振波)P0 は遅延回路6でτe 遅延され更に、遅延回
路7(第2の遅延回路=遅延回路6+遅延回路7)で所
定時間τ遅延され遅延連続発振波P20となって、上記位
相比較器8の基準波として入力される。これによって、
遅延受信波LSrの立ち上がりと、遅延連続発振波P20
の立ち上がりの位相を比較した結果が位相比較器8から
出力されるようになっている。
【0023】また、上記検出回路4の出力はPLL16
のゲート回路9に制御信号として入力され、これによっ
て、受信検出波Srのでているタイミングのみでの位相
比較器8での比較結果(すなわち遅延受信波の立ち上が
りと、遅延連続発振波P20の立ち上がりの位相差)が、
ゲート回路9を通過し局部発振器10での発振周波数に
反映されるようになっている。すなわち、泡等の影響で
受信検出波Srが得られていないときにはゲート回路9
は閉じた状態となっているので、位相比較器8での比較
結果は反映されないことになる。
【0024】以上の構成で、所定の間隔で発振される複
数の発振波S0,S10…に対応して少なくとも1回の反射波
があれば、上記多重反射の時間間隔に同期した連続発振
波P0 を得ることができ、この連続発振波P0 の周期を
カウンタ11で計測し、この周期と、上記温度測定回路
13より得られる温度とに基づいて演算回路14は音速
を算出して、プリンタ、あるいは表示画面等の出力手段
15にその結果を出力する。図2の例では、発振波S0に
対して反射波R0,R1 、発振波S10に対して反射波R10 が
受信されているが、発振波S20 に対しては全く反射波が
受信されていない様子を示している。
【0025】試料液中の泡等の障害物によって受信波が
検出されないときに遅延連続発振波P20と発生していな
い遅延受信波LSrとの比較結果を局部発振器10の発
振周波数に反映すると、目的とする周波数を得ることが
できない。ところが、上記のように検出波を所定時間τ
だけ遅延させると、検出回路4(遅延させる前のタイミ
ングを持った信号)よりゲート回路9に受信波の有無に
基づいた制御信号が入力され、ゲート回路9の開閉が制
御されるようになっている。しかも、反射波が検出され
ない状態では上記ゲート回路9は閉じた状態を維持して
いるので、遅延連続発振波P20と発生していない遅延受
信波LSrとの比較結果が局部発振器10の発振周波数
に反映されることはない。
【0026】また、物理的、電気的な条件で、上記超音
波の発振から第1回目の反射波R0,R10…が得られるまで
の時間間隔と、第1回目の反射波R0,R10…を受信してか
ら第2回目以降の反射波を受信するまでの時間間隔とで
は、前者の方が若干(τe )大きくなっている。そこ
で、上記連続発振波遅延回路6での遅延量は上記τe
対応させている。分周回路12ではτe 時間遅らせる以
前の連続発振波P0 の立ち上がりを利用して駆動信号S
dが形成されるようになっている。すなわち、駆動信号
のタイミングは遅延されていない受信検出波Srに同期
した連続発振波P10よりもτe だけ早くなっている。
【0027】この、τe は、試料の種類に依存するので
はなく超音波発振に必要な素子等の電気的、物理的な要
因に起因するので、装置に特有の値となる。そこで、装
置毎に連続発振波が最も安定に発振するようにτe を調
整するのが好ましい。尚、上記分周回路12での分周比
は試料に応じて変更可能であり、多重反射が次の受信波
に影響を及ぼさない程度の値とする。
【0028】図3は、5分毎に気泡流量を変化させた2
0℃のイオン交換水中を伝播する超音波の音速を本発明
と従来法(シングアラウンド法)とによって測定した結
果を示す図である。気泡は、φ6のチューブノズルにて
空気をバブリングし通気した。本発明に基づく測定結果
Aは気泡の多少に係わらず安定した結果を示しているの
に対して、従来法に基づく測定結果Bは気泡の影響を受
け、気泡の数が多い程真値より大きくずれた値が得られ
ることが理解できる。
【0029】なお、ここでは、試料中に所定距離をおい
て超音波送受信部2aと反射板2bとを設置した構成を
例示しているが、本発明はこれに限定されるものではな
い。すなわち、超音波送信部と超音波受信部とを設置し
た構成では、c=L/Tとして音速を求めることができ
る。
【0030】以上のように本発明によれば、送信波毎に
生じる多重受信波が気泡の存在により不規則に、また、
たまにしか受信されないような状況であっても、受信波
の有無を位相同期回路への入力以前に判定し、受信され
た信号にのみ位相同期をかけることによって、気泡の影
響を殆ど受けない安定した測定が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を適用した超音波音速測定装置のブロッ
ク図である。
【図2】本発明におけるタイミングチャートである。
【図3】本発明と従来法とによる測定結果を示す図であ
る。
【図4】超音波音速測定装置が備えた超音波送受信装置
を示す外観図である。
【図5】従来技術のオーバラップ法の概念図である。
【図6】従来技術のオーバラップ法のタイムチャートで
ある。
【図7】従来技術のシングアラウンド法の概念図であ
る。
【図8】他の従来技術の概念図である。
【符号の説明】
1 送信回路 2a 超音波送受信部 2b 反射板 2c 測温体 3 受信回路 4 検出回路 5 受信波遅延回路 6 連続発振波遅延回路(遅延時間τe ) 7 連続発振波遅延回路(遅延時間τ) 8 位相比較器 9 ゲート回路 10 局部発振器 11 カウンタ 12 分周回路 13 温度測定回路 14 演算回路 15 出力手段 16 PLL

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 超音波送信部より超音波を送信し、該超
    音波送信部と超音波受信部との間を伝播する超音波の伝
    播時間に基づいて試料中の音速を求める超音波音速測定
    方法において、 複数回の送信における上記超音波受信部が受信した少な
    くとも1つの受信波の受信タイミングにのみ位相が同期
    する連続波を発振するようにし、且つ、その連続発振波
    から送信タイミングを生成する機構を有した局部発振器
    の周期を計測し、該周期に基づいた上記伝播時間より超
    音波の音速を求めることを特徴とする超音波音速測定方
    法。
  2. 【請求項2】 上記超音波受信部が受信した波を所定量
    遅延させた後、遅延受信波の受信タイミングにのみ位相
    が同期する連続波を発振するようにし、且つ、その連続
    発振波から送信タイミングを生成する機構を有した局部
    発振器の周期を計測する請求項1に記載の超音波音速測
    定方法。
  3. 【請求項3】 超音波送信部より超音波を送信し、該超
    音波送信部と超音波受信部との間を伝播する超音波の伝
    播時間に基づいて試料中の音速を求める超音波音速測定
    装置において、 複数回の送信における上記超音波受信部が受信した少な
    くとも1つの受信波の受信タイミングにのみ位相が同期
    する連続波を発振するPLL回路と、 上記PLL回路の発振する連続波に基づくタイミングで
    超音波を送信する送信回路と、 上記PLL回路の発振する連続発振波の周期に基づいた
    上記伝播時間より超音波の音速を求める演算回路と、 を備えたことを特徴とする超音波音速測定装置。
  4. 【請求項4】 更に、上記超音波受信部が受信した受信
    波を所定時間遅延させた遅延受信波を形成する遅延回路
    と、 上記PLL回路が、上記遅延受信波の受信タイミングに
    のみ位相が同期する連続波を発振する構成とし、且つ、
    上記送信回路が、該受信タイミングにのみ位相が同期す
    る連続波に基づくタイミングで超音波を送信する請求項
    3に記載の超音波音速測定装置。
  5. 【請求項5】 更に、上記超音波受信部が受信した受信
    検出波を所定時間遅延させた遅延受信波を形成する第1
    の遅延回路と、 上記PLL回路が:該PLL回路を構成する位相比較器
    と局部発振器の間に、受信検出波があったときに、上記
    位相比較器の出力を局部発振器に入力するゲート回路
    と、 上記局部発振器の出力を上記所定時間遅延させて、上記
    位相比較器の基準信号とする第2の遅延回路とを備え、 更に、上記局部発振器の出力のタイミングで超音波を発
    振する上記送信回路とを備えた請求項3に記載の超音波
    音速測定装置。
  6. 【請求項6】 更に、上記第2の遅延回路が上記局部発
    振器の出力を上記所定時間遅延させるとともに、回路構
    成上必要な別の所定時間遅延させる請求項5に記載の超
    音波音速測定装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002286701A (ja) * 2001-03-22 2002-10-03 Kyoto Electron Mfg Co Ltd 超音波音速測定における測定値補正方法および超音波測定装置
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