JP2001054805A - 切削装置の切削工具取付け機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 回転スピンドルに取り付けられる固定フラン
ジの工具装着部に回転中心を一致させて切削工具を装着
することができる切削装置の切削工具取付け機構を提供
する。 【解決手段】 回転スピンドルと、該回転スピンドルの
先端に装着され工具装着部を備えた固定フランジと、該
固定フランジの工具装着部に嵌合する装着穴を有する環
状の切削工具と、該切削工具を該固定フランジとで挟持
する挟持フランジとを有するスピンドルユニットを具備
する切削装置であって、工具装着部に環状のバネ部材が
嵌合され、該バネ部材の外周に切削工具の該装着穴が嵌
合せしめられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ダイシング装置等
の精密切削装置の切削工具取付け機構の改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体デバイスの製造においお
ては、略円盤状の半導体ウエーハの表面が格子状に配列
されたストリートといわれる切断ラインによって複数個
の矩形領域に区画されており、この矩形領域の各々に所
定の回路パターンが施される。このようにして各々回路
パターンが施された複数個の矩形領域が個々に切断分離
されて、所謂半導体チップを形成する。半導体ウエーハ
の切断は、一般にダイシング装置とよばれる精密切削装
置によって施される。

【０００３】上述した切削装置は、回転スピンドルと、
該回転スピンドルの先端に装着され外周に工具装着部を
有する固定フランジと、該固定フランジの工具装着部に
嵌合する装着穴を有する環状の切削工具と、該切削工具
を上記固定フランジとで挟持する挟持フランジとを有す
るスピンドルユニットを具備しており、切削工具が高速
回転（例えば３００００ｒｐｍ）で回転して被加工物を
切断する。特に、半導体ウエーハを切断する場合におい
ては、半導体ウエーハ上に形成された幅５０μｍ程度の
切断ラインに厚さが１５μｍ程度の切削工具を構成する
砥石ブレードを位置付けて高精度に切削する必要があ
り、このためにはブレードの振動は避けなければならな
い。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】而して、回転スピンド
ルに装着される切削工具の着脱を容易にするためには、
回転スピンドルに取り付けられる固定フランジの工具装
着部とブレードの装着穴との間に数μ程度の僅かな隙間
を設ける必要がある。このため、回転スピンドルの回転
中心と切削工具の回転中心とが合致せずに偏芯して装着
された場合には、回転バランスがとれず、回転スピンド
ルおよびブレードが高速回転することによって振動が発
生する。この振動により切削工具を構成する砥石ブレー
ドによって切削される切削溝の両側に多くのピッチング
が発生し、高精度に切削することができないという問題
がある。

【０００５】本発明は上記事実に鑑みてなされたもので
あり、その主たる技術課題は、回転スピンドルに取り付
けられる固定フランジの工具装着部に回転中心を一致さ
せて切削工具を装着することができる切削装置の切削工
具取付け機構を提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記主たる技術課題を解
決するため、本発明によれば、回転スピンドルと、該回
転スピンドルの先端に装着され工具装着部を備えた固定
フランジと、該固定フランジの工具装着部に嵌合する装
着穴を有する環状の切削工具と、該切削工具を該固定フ
ランジとで挟持する挟持フランジとを有するスピンドル
ユニットを具備する切削装置において、該工具装着部に
環状のバネ部材を嵌合し、該バネ部材の外周に該切削工
具の該装着穴を嵌合せしめた、ことを特徴とする切削装
置の切削工具取付け機構が提供される。

【０００７】上記環状のバネ部材は、上記固定フランジ
の工具装着部に嵌合する内周面を備えた環状の基部と、
該基部の片側縁から径方向外側に設けられた複数個のバ
ネ部とからなり、バネ部は基部の片側縁から径方向外側
に延びる支持部と、該支持部の外側端から基部と平行に
折り曲げ形成された装着部とからなっている

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に従って構成された
切削装置の切削工具取付け機構の実施形態について、添
付図面を参照して詳細に説明する。

【０００９】図１には、本発明に従って構成された切削
工具取付け機構を装備した切削装置であるダイシング装
置の斜視図が示されている。図１に示されたダイシング
装置は、略直方体状の装置ハウジング１０を具備してい
る。この装置ハウジング１０内には、図２に示す静止基
台２と、該静止基台２に切削送り方向である矢印Ｘで示
す方向に移動可能に配設され被加工物を保持するチャッ
クテーブル機構３と、静止基台２に割り出し方向である
矢印Ｙで示す方向（切削送り方向である矢印Ｘで示す方
向に垂直な方向）に移動可能に配設されたスピンドル支
持機構４と、該スピンドル支持機構４に切り込み方向で
ある矢印Ｚで示す方向に移動可能に配設されたスピンド
ルユニット５が配設されている。

【００１０】上記チャックテーブル機構３は、静止基台
２上に配設され複数個の取付けボルト３ａによって固定
された支持台３１と、該支持台３１上に矢印Ｘで示す方
向に沿って平行に配設された２本の案内レール３２、３
２と、該案内レール３２、３２上に矢印Ｘで示す方向に
移動可能に配設されたチャックテーブル３３を具備して
いる。このチャックテーブル３３は、案内レール３２、
３２上に移動可能に配設された吸着チャック支持台３３
１と、該吸着チャック支持台３３１上に装着された吸着
チャック３３２を具備しており、該吸着チャック３３２
上に被加工物である例えば円盤状の半導体ウエーハを図
示しない吸引手段によって保持するようになっている。
なお、チャックテーブル機構３は、チャックテーブル３
３を２本の案内レール３２、３２に沿って矢印Ｘで示す
方向に移動させるための駆動手段３４を具備している。
駆動手段３４は、上記２本の案内レール３２と３２の間
に平行に配設された雄ネジロッド３４１と、該雄ネジロ
ッド３４１を回転駆動するためのパルスモータ３４２等
の駆動源を含んでいる。雄ネジロッド３４１は、その一
端が上記支持台３１に固定された軸受ブロック３４３に
回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモー
タ３４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動連
結されている。なお、雄ネジロッド３４１は、チャック
テーブル３３を構成する吸着チャック支持台３３１の中
央部下面に突出して設けられた図示しない雌ネジブロッ
クに形成された貫通雌ネジ穴に螺合されている。従っ
て、パルスモータ３４２によって雄ネジロッド３４１を
正転および逆転駆動することにより、チャックテーブル
３３は案内レール３２、３２に沿って矢印Ｘで示す方向
に移動せしめられる。

【００１１】上記スピンドル支持機構４は、静止基台２
上に配設され複数個の取付けボルト４ａによって固定さ
れた支持台４１と、該支持台４１上に矢印Ｙで示す方向
に沿って平行に配設された２本の案内レール４２、４２
と、該案内レール４２、４２上に矢印Ｙで示す方向に移
動可能に配設された可動支持基台４３を具備している。
この可動支持基台４３は、案内レール４２、４２上に移
動可能に配設された移動支持部４３１と、該移動支持部
４３１に取り付けられたスピンドル装着部４３２とから
なっている。スピンドル装着部４３２には取付けブラケ
ット４３３が固定されており、この取付けブラケット４
３３を複数個の取付けボルト４０ａによって移動支持部
４３１に締結することにより、スピンドル装着部４３２
は移動支持部４３１に取り付けられる。また、スピンド
ル装着部４３２は、上記取付けブラケット４３３を装着
した面と反対側の面に矢印Ｚで示す方向に延びる２本の
案内レール４３２ａ、４３２ａが平行に設けられてい
る。なお、スピンドル支持機構４は、可動支持基台４３
を２本の案内レール４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方
向に移動させるための駆動手段４４を具備している。駆
動手段４４は、上記２本の案内レール４２、４２の間に
平行に配設された雄ネジロッド４４１と、該雄ねじロッ
ド４４１を回転駆動するためのパルスモータ４４２等の
駆動源を含んでいる。雄ネジロッド４４１は、その一端
が上記支持台４１に固定された図示しない軸受ブロック
に回転自在に支持されており、その他端が上記パルスモ
ータ４４２の出力軸に図示しない減速装置を介して伝動
連結されている。なお、雄ネジロッド４４１は、可動支
持基台４３を構成する移動支持部４３１の中央部下面に
突出して設けられた図示しない雌ネジブロックに形成さ
れた貫通雌ネジ穴に螺合されている。従って、パルスモ
ータ４４２によって雄ネジロッド４４１を正転および逆
転駆動することにより、可動支持基台４３は案内レール
４２、４２に沿って矢印Ｙで示す方向に移動せしめられ
る。

【００１２】上記スピンドルユニット５は、移動基台５
１と、該移動基台５１に複数個の取付けボルト５ａによ
って固定されたスピンドルホルダ５２と、該スピンドル
ホルダ５２に取り付けられたスピンドルハウジング５３
を具備している。移動基台５１は、上記スピンドル支持
機構４のスピンドル装着部４３２に設けられた２本の案
内レール４３２ａ、４３２ａに摺動可能に嵌合する２本
の被案内レール５１ａ、５１ａが設けられており、この
被案内レール５１ａ、５１ａを上記案内レール４３２
ａ、４３２ａに嵌合することにより、矢印Ｚで示す方向
に移動可能に支持される。上記スピンドルハウジング５
３の先端部には、切削工具５４が回転自在に装着されて
いる。そして、スピンドルハウジング５３内には、切削
工具５４を回転駆動するための図示しない回転駆動機構
が配設されている。この回転駆動機構を構成する回転ス
ピンドルと切断ブレード５４およびこれらの取付け機構
については、後で詳細に説明する。なお、スピンドルユ
ニット５は、移動基台５１を２本の案内レール４３２
ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動させるた
めの駆動手段５５を具備している。駆動手段５５は、上
記駆動手段３４および４４と同様に案内レール４３２
ａ、４３２ａの間に配設された雄ネジロッド（図示せ
ず）と、該雄ネジロッドを回転駆動するためのパルスモ
ータ５５２等の駆動源を含んでおり、パルスモータ５５
２によって図示しない雄ネジロッドを正転および逆転駆
動することにより、スピンドルユニット５を案内レール
４３２ａ、４３２ａに沿って矢印Ｚで示す方向に移動せ
しめる。

【００１３】図示のダイシング装置は、図１に示すよう
に被加工物である半導体ウエーハ１１をストックするカ
セット１２と、被加工物排出手段１３と、被加工物搬送
手段１４と、洗浄手段１５と、洗浄搬送手段１６、およ
び顕微鏡やＣＣＤカメラ等で構成されるアライメント手
段１７を具備している。なお、半導体ウエーハ１１は、
フレーム１１１にテープ１１２によって装着されてお
り、フレーム１１１に装着された状態で上記カセット１
２に収容される。また、カセット１２は、図示しない昇
降手段によって上下に移動可能に配設されたカセットテ
ーブル１２０上に載置される。次に、上述したダイシン
グ装置の加工処理動作について簡単に説明する。カセッ
ト１２の所定位置に収容されたフレーム１１１に装着さ
れた状態の半導体ウエーハ１１（以下、フレーム１１１
に装着された状態の半導体ウエーハ１１を単に半導体ウ
エーハ１１という）は、図示しない昇降手段によってカ
セットテーブル１２０が上下動することにより搬出位置
に位置付けられる。次に、被加工物搬出手段１３が進退
作動して搬出位置に位置付けられた半導体ウエーハ１１
を被加工物載置領域１８に搬出する。被加工物載置領域
１８に搬出された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送
手段１４の旋回動作によって上記チャックテーブル機構
３を構成するチャックテーブル３３の吸着チャック３３
２上に搬送され、該吸着チャック３３２に吸引保持され
る。このようにして半導体ウエーハ１１を吸引保持した
チャックテーブル３３は、案内レール３２、３２に沿っ
てアライメント手段１７の直下まで移動せしめられる。
チャックテーブル３３がアライメント手段１７の直下に
位置付けられると、アライメント手段１７によって半導
体ウエーハ１１に形成されている切断ラインが検出さ
れ、精密位置合わせ作業が行われる。その後、半導体ウ
エーハ１１を吸引保持したチャックテーブル３３を切削
送り方向である矢印Ｘで示す方向に移動することによ
り、チャックテーブル３３に保持された半導体ウエーハ
１１は切削工具５４により所定の切断ラインに沿って切
断される。即ち、切削工具５４は割り出し方向である矢
印Ｙで示す方向および切り込み方向である矢印Ｚで示す
方向に移動調整されて位置決めされたスピンドルユニッ
ト５に装着され、回転駆動されているので、チャックテ
ーブル３３を切削工具５４の下側に沿って切削送り方向
に移動することにより、チャックテーブル３３に保持さ
れた半導体ウエーハ１１は切削工具５４により所定の切
断ラインに沿って切断され、半導体チップに分割され
る。分割された半導体チップは、テープ１１２の作用に
よってバラバラにはならず、フレーム１１１に装着され
た半導体ウエーハ１１の状態が維持されている。このよ
うにして半導体ウエーハ１１の切断が終了した後、半導
体ウエーハ１１を保持したチャックテーブル３３は、最
初に半導体ウエーハ１１を吸引保持した位置に戻され、
ここで半導体ウエーハ１１の吸引保持を解除する。次
に、半導体ウエーハ１１は、洗浄搬送手段１６によって
洗浄手段１５に搬送され、ここで洗浄される。このよう
にして洗浄された半導体ウエーハ１１は、被加工物搬送
手段１４によって被加工物載置領域１８に搬出される。
そして、半導体ウエーハ１１は、被加工物搬出手段１３
によってカセット１２の所定位置に収納される。

【００１４】次に、スピンドルユニット５を構成する回
転スピンドルと切削工具５４およびこれらの取付機構の
一実施形態について、図３乃至図７を参照して説明す
る。図３には回転スピンドル５６に切削工具５４が装着
された斜視図が示されており、図４には回転スピンドル
５６に締め付けナット５８によって取り付けられた固定
フランジ５７と切削工具５４および挟持フランジ５９が
分解して示されており、更に図５には回転スピンドル５
６に取り付けられる固定フランジ５７を構成する第１の
固定フランジ５７１および第２の固定フランジ５７２と
該固定フランジ５７に装着される環状のバネ部材６０と
締め付けナット５８が分解して示されている。図示の回
転スピンドル５６は、図５に示すように先端部に後述す
る固定フランジ５７を取り付ける取付部５６０を備えて
いる。この取付部５６０は、フランジ部５６１とテーパ
ー部５６２および円筒状の締め付け部５６３を備えてい
る。締め付け部５６３の先端部外周面には雄ネジ５６３
ａが形成されており、先端面には回転止め工具を嵌合す
る工具嵌合凹部５６３ｂが設けられている。このように
構成された取付部５６０に固定フランジ５７が取り付け
られる。

【００１５】図示の実施形態における固定フランジ５７
は、図５に示すように第１の固定フランジ５７１と第２
の固定フランジ５７２とからなっている。第１の固定フ
ランジ５７１は環状に形成されており、その中心部には
上記取付部５６０のテーパー部５６２に嵌合する嵌合穴
５７１ａが形成されている。なお、嵌合穴５７１ａは、
取付部５６０に嵌合しフランジ部５６１に当接した状態
でテーパー部５６２の外周面に密着するように構成され
ている。第２の固定フランジ５７２は段付き円筒状に形
成されており、上記第１の固定フランジ５７１と対向す
る側には小径の工具装着部５７３が設けられている。こ
の第２の固定フランジ５７２の第１の固定フランジ５７
１と反対側に形成された大径の締め付け部５７４には、
雄ネジ５７４ａが形成されている。また、第２の固定フ
ランジ５７２の中心部には、上記上記取付部５６０のテ
ーパー部５６２に嵌合する嵌合穴５７２ａが形成されて
いる。なお、嵌合穴５７２ａは、上記取付部５６０のテ
ーパー部５６２に装着された第１の固定フランジ５７１
に当接した状態でテーパー部５６２の外周面に密着する
ように構成されている。

【００１６】上記のように構成された固定フランジ５７
の第２の固定フランジ５７２に形成された工具装着部５
７３には、環状のバネ部材６０が嵌合される。この環状
のバネ部材６０はバネ鋼材によって形成されており、図
５および図６に示すように第２の固定フランジ５７２の
工具装着部５７３に嵌合する内周面を備えた環状の基部
６１と、該基部６１の片側縁から径方向外側に設けられ
た複数個のバネ部６２とからなっている。環状の基部６
１は、図６に示すように嵌合部６１１と該嵌合部６１１
の片側縁から径方向外側に延びる側部６１２とからなる
断面Ｌ字状に形成されており、嵌合部６１１の内径は上
記固定フランジ５７を構成する第２の固定フランジ５７
２の工具装着部５７３に圧入嵌合する寸法関係に構成さ
れている。バネ部６２は、基部６１の側部６１２の上端
から連続して径方向外側に延びる支持部６２１と、該支
持部６２１の外側端から基部６１と平行に折り曲げ形成
された装着部６２２とからなっており、図示の実施形態
においては装着部６２２の先端が径方向内側に折り曲げ
形成されている。従って、バネ部６２の装着部６２２
は、外周から中心方向に押圧すると、弾性変形して縮径
するようになっている。なお、装着部６２２の外周面
は、中央部の径が大きく、幅方向両側にいくに従って径
が小さくなるように形成されている。このように構成さ
れた環状のバネ部材６０を工具装着部５７３に圧入嵌合
した第２の固定フランジ５７２は、嵌合穴５７２ａを上
記取付部５６０のテーパー部５６２に嵌合した後、締め
付けナット５８の雌ネジ５８１を上記固定フランジ５７
の締め付け部５６３に形成された雄ネジ５６３ａに螺合
することによって、図４に示すように回転スピンドル５
６の取付部５６０に取り付けられる。

【００１７】図７は、環状のバネ部材６０の他の実施形
態を示すものである。図７に示す環状のバネ部材６０
は、基部６１を構成する嵌合部６１１の他側部が径方向
外側に折り曲げ形成されているとともに、バネ部６２を
構成する装着部６２２における先端の径方向内側への折
り曲げ量が上記図６の実施形態より小さく構成されてい
る。

【００１８】以上のようにして回転スピンドル５６の取
付部５６０に取り付けられた固定フランジ５７に切削工
具５４が装着される。切削工具５４は、ブレード支持部
材５４１と、該ブレード支持部材５４１の外周に設けら
れた環状の砥石ブレード５４２とからなっている。ブレ
ード支持部材５４１には、その中心部に装着穴５４１ａ
を備えている。この装着穴５４１ａは、上記第２の固定
フランジ５７２の工具装着部５７３に圧入嵌合された環
状のバネ部材６０を構成する装着部６２２の幅方向両端
の外径より大きく、装着部６２２の中央部の外径より僅
かに小さい寸法に形成されている。このように構成され
た切削工具５４は、ブレード支持部材５４１の装着穴５
４１ａを環状のバネ部材６０の装着部６２２に嵌合す
る。このとき、装着穴５４１ａは装着部６２２の幅方向
両端の外径より大きく装着部６２２の中央部の外径より
僅かに小さい寸法に形成されているので、装着部６２２
の中央部に嵌合する際に、装着部６２２を弾性変形せし
め縮径させて嵌合する。従って、バネ部材６０の装着部
６２２の中央部外周面と切削工具５４の装着穴５４１ａ
の内周面が密着した状態となるので、バネ部材６０を圧
入嵌合した第２の固定フランジ５７２を取り付けた回転
スピンドル５６の回転中心と、切削工具５４の回転中心
とが合致する。このため、回転スピンドル５６の回転中
心と切削工具５４の回転中心が偏芯することによる生ず
る振動の発生が防止され、高精度の切削が可能となる。
このようにして、切削工具５４が第２の固定フランジ５
７２に装着されたならば、挟持フランジ５９に形成され
た雌ネジ５９１を第２の固定フランジ５７２の締め付け
部５７４に形成された雄ネジ５７４ａに螺合することに
より、図３に示すように切削工具５４は第１の固定フラ
ンジ５７１と挟持フランジ５９によって挟持されて装着
される。

【００１９】次に、切削工具取付け機構の他の実施形態
について、図８を参照して説明する。なお、上記図３乃
至図６に示す実施形態における各部材と同一部材には同
一符号を付して、その詳細な説明は省略する。図８に示
す実施形態における切削工具取付け機構は、回転スピン
ドル５６に取り付けられる固定フランジ５７を一体で構
成したものである。即ち、固定フランジ５７は、フラン
ジ部５７５と、該フランジ部５７５の片側面から突出し
て形成された工具装着部５７６、および該工具装着部５
７６に連続して形成された締め付け部５７７を備え、こ
れらは一体に構成されている。締め付け部５７７は、外
径が工具装着部５７６の外径と同一または小さく形成さ
れており、その外周には雄ネジ５７７ａが形成されてい
る。固定フランジ５７の中心部には軸方向に貫通して形
成された嵌合穴５７８が設けられている。この嵌合穴５
７８は、上記取付部５６０のテーパー部５６２の外周面
に対応するテーパー状に形成されている。このように構
成された固定フランジ５７の工具装着部５７６に上述し
た環状のバネ部材６０が圧入嵌合される。そして、環状
のバネ部材６０の装着部６２２に切削工具５４のブレー
ド支持部材５４１に形成された装着穴５４１ａを圧入嵌
合する。このようにして、切削工具５４が第２の固定フ
ランジ５７２に装着されたならば、挟持フランジ５９に
形成された雌ネジ５９１を締め付け部５７７に形成され
た雄ネジ５７７ａに螺合することにより、切削工具５４
は固定フランジ５７１のフランジ部５７５と挟持フラン
ジ５９によって挟持されて装着される。以上のようにし
て切削工具５４を固定フランジ５７１に装着することに
より、上記図３乃至図６に示す実施形態と同様の作用効
果が得られる。

【００２０】以上、本発明をダイシング装置に適用した
例について説明したが、本発明はこれに限定されるもの
ではなく、ダイシング装置以外の他の切削装置に広く応
用することが可能である。

【００２１】

【発明の効果】本発明による切削装置の切削工具取付け
機構は以上のように構成されているので、次の作用効果
を奏する。

【００２２】即ち、本発明によれば、回転スピンドルに
装着された固定フランジの工具装着部に環状のバネ部材
を嵌合し、該バネ部材の外周に切削工具の装着穴を嵌合
せしめたので、環状のバネ部材のバネ作用によって、切
削工具は装着穴の内周面が環状のバネ部材の外周面と密
着した状態で装着される。従って、バネ部材を工具装着
部に嵌合した固定フランジを取り付けた回転スピンドル
の回転中心と、切削工具の回転中心とが合致する。この
ため、回転スピンドルの回転中心と切削工具の回転中心
が偏芯することによる生ずる振動の発生が防止され、高
精度の切削が可能となる。また、回転スピンドルの回転
中心と切削工具の回転中心が偏芯しないので、切り込み
深さが安定し、更に、高精度の切削が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に従って構成された切削工具取付け機構
を装備した切削装置であるダイシング装置の斜視図。

【図２】図１に示すダイシング装置の要部斜視図。

【図３】図２に示すダイシング装置を構成するスピンド
ルユニットの要部斜視図。

【図４】図３に示すスピンドルユニットを構成する回転
スピンドルに締め付けナットによって取り付けられた固
定フランジと切削工具および挟持フランジを分解して示
す斜視図。

【図５】図３に示すスピンドルユニットを構成する回転
スピンドルに取り付けられる固定フランジおよび締め付
けナットを分解して示す斜視図。

【図６】本発明に従って構成された切削工具取付け機構
を構成する環状のバネ部材の一実施形態を示す要部断面
図。

【図７】本発明に従って構成された切削工具取付け機構
を構成する環状のバネ部材の他の実施形態を示す要部断
面図。

【図８】本発明に従って構成された切削工具取付け機構
の他の実施形態を示す要部断面図。

【符号の説明】

２：静止基台 ３：チャックテーブル機構 ３１：チャックテーブル機構の支持台 ３２：チャックテーブル機構の案内レール ３３：チャックテーブル機構のチャックテーブル ３４：チャックテーブル機構の駆動手段 ４：スピンドル支持機構 ４１：チャックテーブル機構の支持台 ４２：チャックテーブル機構の案内レール ４３：チャックテーブル機構の可動支持基台 ４４：チャックテーブル機構の駆動手段 ５：スピンドルユニット ５３：スピンドルユニットのスピンドルハウジング ５４：切削工具 ５４１：切削工具のブレード支持部材 ５４２：切削工具の砥石ブレード ５５：スピンドルユニットの駆動手段 ５６：回転スピンドル ５７：固定フランジ ５７１：第１の固定フランジ ５７２：第２の固定フランジ ５７３：工具装着部 ６０：環状のバネ部材 ６１：環状のバネ部材の基部 ６２：環状のバネ部材のバネ部 ５７：環状のバネ部材の ５８：締め付けナット ５９：挟持フランジ １０：装置ハウジング １１：半導体ウエーハ １２：カセット １３：被加工物搬出手段 １４：被加工物搬送手段 １５：洗浄手段 １６：洗浄搬送手段 １７：アライメント手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 回転スピンドルと、該回転スピンドルの
   先端に装着され工具装着部を備えた固定フランジと、該
   固定フランジの工具装着部に嵌合する装着穴を有する環
   状の切削工具と、該切削工具を該固定フランジとで挟持
   する挟持フランジとを有するスピンドルユニットを具備
   する切削装置において、 該工具装着部に環状のバネ部材を嵌合し、該バネ部材の
   外周に該切削工具の該装着穴を嵌合せしめた、 ことを特徴とする切削装置の切削工具取付け機構。
2. 【請求項２】 環状のバネ部材は、該固定フランジの工
   具装着部に嵌合する内周面を備えた環状の基部と、該基
   部の片側縁から径方向外側に設けられた複数個のバネ部
   とからなり、 該バネ部は、基部の片側縁から径方向外側に延びる支持
   部と、該支持部の外側端から基部と平行に折り曲げ形成
   された装着部を具備している、請求項１記載の切削装置
   の回転バランス調整機構。