JP2001050995A - 電子部品のインピーダンス測定装置 - Google Patents
電子部品のインピーダンス測定装置Info
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
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- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
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Abstract
(57)【要約】
【課題】測定端子の接触不良時に不良品を良品と誤判定
することを簡単な回路で防止しうる電子部品のインピー
ダンス測定装置を提供する。 【解決手段】４端子法により電子部品Ｒdut のインピー
ダンスを測定する装置において、電子部品Ｒdut の一方
の電極ＴH に接続される電流印加線Ｈｃと電圧検出線Ｈ
ｐとが第１の抵抗器ＲH1を介して接続され、電子部品Ｒ
dut の他方の電極ＴL に接続される電流印加線Ｌｃと電
圧検出線Ｌｐとが第２の抵抗器ＲL1を介して接続され
る。第１および第２の抵抗器ＲH1, ＲL1の抵抗値は電子
部品の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じ
る接触抵抗ＲHC, ＲHP, ＲLP, ＲLCより十分に大きい。
することを簡単な回路で防止しうる電子部品のインピー
ダンス測定装置を提供する。 【解決手段】４端子法により電子部品Ｒdut のインピー
ダンスを測定する装置において、電子部品Ｒdut の一方
の電極ＴH に接続される電流印加線Ｈｃと電圧検出線Ｈ
ｐとが第１の抵抗器ＲH1を介して接続され、電子部品Ｒ
dut の他方の電極ＴL に接続される電流印加線Ｌｃと電
圧検出線Ｌｐとが第２の抵抗器ＲL1を介して接続され
る。第１および第２の抵抗器ＲH1, ＲL1の抵抗値は電子
部品の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じ
る接触抵抗ＲHC, ＲHP, ＲLP, ＲLCより十分に大きい。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は４端子法により電子
部品のインピーダンスを測定する装置に関するものであ
る。この明細書では、説明を簡単にするためＤＣによる
抵抗測定を取り上げる。ＤＣであるため、回路中に生じ
る寄生パラメータも抵抗成分のみである。ＡＣ測定では
これらはインピーダンスであり、複素数として表現され
るものであるが、ＤＣと同様な議論が成り立つ。
部品のインピーダンスを測定する装置に関するものであ
る。この明細書では、説明を簡単にするためＤＣによる
抵抗測定を取り上げる。ＤＣであるため、回路中に生じ
る寄生パラメータも抵抗成分のみである。ＡＣ測定では
これらはインピーダンスであり、複素数として表現され
るものであるが、ＤＣと同様な議論が成り立つ。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子部品のインピーダンス測定を
行なうため、図１に示すような２端子法が使用されてい
る。この場合には、インピーダンスの測定値ＲM ＝Ｖ／
Ｉとして測定することができるが、この方法で測定され
るＲM は被検体である電子部品のインピーダンスＲdut
のほかに、測定ケーブル（または端子）との接触抵抗Ｒ
H,ＲL も加算される。なお、この接触抵抗には測定ケー
ブル等がもつリード抵抗も含まれる。 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲH ＋ＲL
行なうため、図１に示すような２端子法が使用されてい
る。この場合には、インピーダンスの測定値ＲM ＝Ｖ／
Ｉとして測定することができるが、この方法で測定され
るＲM は被検体である電子部品のインピーダンスＲdut
のほかに、測定ケーブル（または端子）との接触抵抗Ｒ
H,ＲL も加算される。なお、この接触抵抗には測定ケー
ブル等がもつリード抵抗も含まれる。 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲH ＋ＲL
【０００３】このため、インピーダンスＲdut に対して
接触抵抗ＲH,ＲL が無視し得ない大きさの場合、測定誤
差となる。接触抵抗ＲH,ＲL は被検体と測定端子との接
触の度に変化するため、この影響は補正等の手段では取
り除くことができない。被検体が低インピーダンスの場
合のように接触抵抗ＲH,ＲL による測定誤差が問題とな
る場合には、図２に示すような４端子法が用いられる。
この方法では、測定値Ｒ M ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut であり、Ｒ
H,ＲL は測定誤差要因にはならない。
接触抵抗ＲH,ＲL が無視し得ない大きさの場合、測定誤
差となる。接触抵抗ＲH,ＲL は被検体と測定端子との接
触の度に変化するため、この影響は補正等の手段では取
り除くことができない。被検体が低インピーダンスの場
合のように接触抵抗ＲH,ＲL による測定誤差が問題とな
る場合には、図２に示すような４端子法が用いられる。
この方法では、測定値Ｒ M ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut であり、Ｒ
H,ＲL は測定誤差要因にはならない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、４端子法で
は、電圧検出線（Ｈｐ，Ｌｐ）に接触不良が発生した場
合に問題を生じる。例えば、連続的に多数の被検体を測
定している時に、図３に示すようにＨｐラインに接触不
良が発生したとする。この時、Ｈｐラインに浮遊容量Ｃ
HPが存在したとすると、この浮遊容量は１個前の被検体
を測定した時の電圧に充電されていることになる。この
状態で被検体を測定すると、次式のようになる。
は、電圧検出線（Ｈｐ，Ｌｐ）に接触不良が発生した場
合に問題を生じる。例えば、連続的に多数の被検体を測
定している時に、図３に示すようにＨｐラインに接触不
良が発生したとする。この時、Ｈｐラインに浮遊容量Ｃ
HPが存在したとすると、この浮遊容量は１個前の被検体
を測定した時の電圧に充電されていることになる。この
状態で被検体を測定すると、次式のようになる。
【０００５】
【数１】
【０００６】こうして求まる値は現在測定しようとして
いる被検体のものではなく、直前に正常な測定を行なっ
た被検体の影響を受けたものとなる。Ｈｐラインに限ら
ず、Ｌｐラインにおいても同じ理由から測定値異常を生
じる可能性がある。このように電圧検出線に接触不良が
発生した場合には、純粋な４端子法による測定値が予測
できないので、不良品が良品として流出する危険性があ
る。なお、電流印加線ＨｃやＬｃが接触不良を発生した
場合には、電流Ｉが０になるため、測定不能となる。
いる被検体のものではなく、直前に正常な測定を行なっ
た被検体の影響を受けたものとなる。Ｈｐラインに限ら
ず、Ｌｐラインにおいても同じ理由から測定値異常を生
じる可能性がある。このように電圧検出線に接触不良が
発生した場合には、純粋な４端子法による測定値が予測
できないので、不良品が良品として流出する危険性があ
る。なお、電流印加線ＨｃやＬｃが接触不良を発生した
場合には、電流Ｉが０になるため、測定不能となる。
【０００７】また、測定器の電圧検出部には入力インピ
ーダンスＲINH,ＲINL が高いものが用いられるが、その
入力インピーダンスは無限大ではなく、さらにこれには
測定ケーブルの持つ浮遊容量のインピーダンスが並列に
入るため入力インピーダンスは低下する。このため、電
圧検出部の検出する電圧は、被検体の電圧を接触抵抗Ｒ
HP，ＲLPとＲINH,ＲINL で分圧したものとなり、ＲHP，
ＲLPが無視し得ない大きさの時に測定誤差となる。ま
た、ＲHP，ＲLPは被検体と測定ケーブルが接触する度に
変化するため、これによる測定誤差は補正等の手段では
取り除けない。さらに、ＡＣ測定においても、Ｈｃ，Ｌ
ｃラインとＨｐ，Ｌｐライン間の静電的・電磁誘導的結
合により測定値異常を発生する可能性がある。
ーダンスＲINH,ＲINL が高いものが用いられるが、その
入力インピーダンスは無限大ではなく、さらにこれには
測定ケーブルの持つ浮遊容量のインピーダンスが並列に
入るため入力インピーダンスは低下する。このため、電
圧検出部の検出する電圧は、被検体の電圧を接触抵抗Ｒ
HP，ＲLPとＲINH,ＲINL で分圧したものとなり、ＲHP，
ＲLPが無視し得ない大きさの時に測定誤差となる。ま
た、ＲHP，ＲLPは被検体と測定ケーブルが接触する度に
変化するため、これによる測定誤差は補正等の手段では
取り除けない。さらに、ＡＣ測定においても、Ｈｃ，Ｌ
ｃラインとＨｐ，Ｌｐライン間の静電的・電磁誘導的結
合により測定値異常を発生する可能性がある。
【０００８】そこで、本発明の目的は、測定端子の接触
不良時に不良品を良品と誤判定することを簡単な回路で
防止しうる電子部品のインピーダンス測定装置を提供す
ることにある。他の目的は、接触抵抗による測定誤差を
低減できる電子部品のインピーダンス測定装置を提供す
ることにある。
不良時に不良品を良品と誤判定することを簡単な回路で
防止しうる電子部品のインピーダンス測定装置を提供す
ることにある。他の目的は、接触抵抗による測定誤差を
低減できる電子部品のインピーダンス測定装置を提供す
ることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、４端子法により電子部品
のインピーダンスを測定する装置において、電子部品の
一方の電極に接続される電流印加線と電圧検出線とが第
１の抵抗器を介して接続され、電子部品の他方の電極に
接続される電流印加線と電圧検出線とが第２の抵抗器を
介して接続され、上記第１および第２の抵抗器は電子部
品の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じる
接触抵抗より十分に大きい抵抗値を有することを特徴と
する電子部品のインピーダンス測定装置を提供する。
め、請求項１に記載の発明は、４端子法により電子部品
のインピーダンスを測定する装置において、電子部品の
一方の電極に接続される電流印加線と電圧検出線とが第
１の抵抗器を介して接続され、電子部品の他方の電極に
接続される電流印加線と電圧検出線とが第２の抵抗器を
介して接続され、上記第１および第２の抵抗器は電子部
品の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じる
接触抵抗より十分に大きい抵抗値を有することを特徴と
する電子部品のインピーダンス測定装置を提供する。
【００１０】また、請求項３に記載の発明は、４端子法
により電子部品のインピーダンスを測定する装置におい
て、電子部品の一方の電極に接続される電流印加線と電
子部品の他方の電極に接続される電圧検出線とが第１の
抵抗器を介して接続され、電子部品の他方の電極に接続
される電流印加線と電子部品の一方の電極に接続される
電圧検出線とが第２の抵抗器を介して接続され、上記第
１および第２の抵抗器は電子部品の電極と電流印加線お
よび電圧検出線との間に生じる接触抵抗より十分に大き
い抵抗値を有することを特徴とする電子部品のインピー
ダンス測定装置を提供する。
により電子部品のインピーダンスを測定する装置におい
て、電子部品の一方の電極に接続される電流印加線と電
子部品の他方の電極に接続される電圧検出線とが第１の
抵抗器を介して接続され、電子部品の他方の電極に接続
される電流印加線と電子部品の一方の電極に接続される
電圧検出線とが第２の抵抗器を介して接続され、上記第
１および第２の抵抗器は電子部品の電極と電流印加線お
よび電圧検出線との間に生じる接触抵抗より十分に大き
い抵抗値を有することを特徴とする電子部品のインピー
ダンス測定装置を提供する。
【００１１】請求項１に記載の発明は、インピーダンス
が規格値より大きいものが不良品である場合の良否判定
に有効である。すなわち、この測定装置の場合、測定端
子と電子部品との接触が良好である場合には、通常の４
端子法による測定と等価であり、測定値は電子部品のイ
ンピーダンス値となる。もし、測定端子のいずれかが電
子部品に接触しなかった場合には、接触不良を起こした
電極部での測定法が４端子法から２端子法へ変化すると
見なせる。そして、接触不良時には接触抵抗分だけ測定
値が大きくなる、換言すれば電圧検出線をプルアップす
ることで、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品と
して流出する恐れがない。
が規格値より大きいものが不良品である場合の良否判定
に有効である。すなわち、この測定装置の場合、測定端
子と電子部品との接触が良好である場合には、通常の４
端子法による測定と等価であり、測定値は電子部品のイ
ンピーダンス値となる。もし、測定端子のいずれかが電
子部品に接触しなかった場合には、接触不良を起こした
電極部での測定法が４端子法から２端子法へ変化すると
見なせる。そして、接触不良時には接触抵抗分だけ測定
値が大きくなる、換言すれば電圧検出線をプルアップす
ることで、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品と
して流出する恐れがない。
【００１２】接触不良が発生した時、どの箇所に発生し
たかを判定できるようにするのが望ましい。そこで、請
求項２のように、電子部品の一方の電極と第１の抵抗器
との間の電流印加線に第３の抵抗器を接続し、電子部品
の他方の電極と第２の抵抗器との間の電流印加線に第４
の抵抗器を接続してもよい。第３，４の抵抗器は第１，
第２の抵抗器よりも抵抗値が十分小さく、接触抵抗より
十分に大きく、かつ互いに異なる抵抗値を有するものが
よい。この場合には、第３，第４の抵抗器の抵抗値を変
えることで、どの電圧端子が接触不良となったかを判定
できる。なお、電流印加線だけでなく、電圧検出線にも
第５，第６の抵抗器を接続し、第３〜第６の抵抗器の抵
抗値をそれぞれ異ならせれば、接触不良箇所のすべての
判定が可能となる。
たかを判定できるようにするのが望ましい。そこで、請
求項２のように、電子部品の一方の電極と第１の抵抗器
との間の電流印加線に第３の抵抗器を接続し、電子部品
の他方の電極と第２の抵抗器との間の電流印加線に第４
の抵抗器を接続してもよい。第３，４の抵抗器は第１，
第２の抵抗器よりも抵抗値が十分小さく、接触抵抗より
十分に大きく、かつ互いに異なる抵抗値を有するものが
よい。この場合には、第３，第４の抵抗器の抵抗値を変
えることで、どの電圧端子が接触不良となったかを判定
できる。なお、電流印加線だけでなく、電圧検出線にも
第５，第６の抵抗器を接続し、第３〜第６の抵抗器の抵
抗値をそれぞれ異ならせれば、接触不良箇所のすべての
判定が可能となる。
【００１３】請求項３に記載の発明は、インピーダンス
が規格値より小さいものが不良品である場合の良否判定
に有効である。この測定装置では、測定端子のいずれか
が接触不良となった時には接触抵抗分だけ測定値が小さ
くなる、換言すれば電圧検出線をプルダウンすること
で、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品として流
出する恐れがない。
が規格値より小さいものが不良品である場合の良否判定
に有効である。この測定装置では、測定端子のいずれか
が接触不良となった時には接触抵抗分だけ測定値が小さ
くなる、換言すれば電圧検出線をプルダウンすること
で、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品として流
出する恐れがない。
【００１４】請求項１または３に記載の発明の場合、測
定器の電圧検出部の入力インピーダンスが十分に高いこ
とが必要となる。４端子法によるＡＣ測定を行なう場合
には、ＤＣ的には高い入力インピーダンスを持っている
測定器でも入力容量によってＡＣ的にはインピーダンス
が低い場合がある。また、測定器の入力インピーダンス
が高くても、測定ケーブルの浮遊容量によって入力イン
ピーダンスは低下する。このような場合には、請求項４
のように測定器の入力部の前に高入力インピーダンスの
ボルテージフォロワを挿入することで、接触抵抗の影響
を少なくし、測定誤差を減らすことができる。なお、こ
のボルテージフォロワは、少なくとも電圧検出線の高電
位検出側に設ける必要があるが、必要に応じて電圧検出
線の低電位検出側にも設けてもよい。
定器の電圧検出部の入力インピーダンスが十分に高いこ
とが必要となる。４端子法によるＡＣ測定を行なう場合
には、ＤＣ的には高い入力インピーダンスを持っている
測定器でも入力容量によってＡＣ的にはインピーダンス
が低い場合がある。また、測定器の入力インピーダンス
が高くても、測定ケーブルの浮遊容量によって入力イン
ピーダンスは低下する。このような場合には、請求項４
のように測定器の入力部の前に高入力インピーダンスの
ボルテージフォロワを挿入することで、接触抵抗の影響
を少なくし、測定誤差を減らすことができる。なお、こ
のボルテージフォロワは、少なくとも電圧検出線の高電
位検出側に設ける必要があるが、必要に応じて電圧検出
線の低電位検出側にも設けてもよい。
【００１５】
【発明の実施の形態】図４は本発明にかかる４端子法に
よるインピーダンス測定装置の第１実施例を示す。この
測定装置は、例えばインダクタのようにインピーダンス
値が規格値より大きいものが不良品である場合の良否判
定に用いられる。
よるインピーダンス測定装置の第１実施例を示す。この
測定装置は、例えばインダクタのようにインピーダンス
値が規格値より大きいものが不良品である場合の良否判
定に用いられる。
【００１６】図において、Ｒdut は被検体である電子部
品、ＴH ，ＴL は被検体Ｒdut の電極である。インピー
ダンス測定器１は電流源２（ここでは直流電流源を示し
ているが、交流電流源であってもよい）、内部抵抗３、
電流計４および電圧計５を備えている。電流源２には電
流印加線Ｈｃ，Ｌｃを介して電流端子６，７が接続さ
れ、電圧計５には電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐを介して電圧端
子８，９が接続されている。電流端子６と電圧端子８は
一方の電極ＴH に接触し、電流端子７と電圧端子９は他
方の電極ＴL に接触するようになっている。
品、ＴH ，ＴL は被検体Ｒdut の電極である。インピー
ダンス測定器１は電流源２（ここでは直流電流源を示し
ているが、交流電流源であってもよい）、内部抵抗３、
電流計４および電圧計５を備えている。電流源２には電
流印加線Ｈｃ，Ｌｃを介して電流端子６，７が接続さ
れ、電圧計５には電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐを介して電圧端
子８，９が接続されている。電流端子６と電圧端子８は
一方の電極ＴH に接触し、電流端子７と電圧端子９は他
方の電極ＴL に接触するようになっている。
【００１７】ＲHC, ＲLCは電流端子６，７と電極ＴH ，
ＴL との接触抵抗であるが、電流印加線Ｈｃ，Ｌｃを構
成する測定ケーブル等のリード抵抗も含まれる。ＲHP,
ＲLPは電圧端子８，９と電極ＴH ，ＴL との接触抵抗で
あり、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐを構成する測定ケーブル等
のリード抵抗も含まれる。一方の電極ＴH に接続される
電流印加線Ｈｃと電圧検出線Ｈｐとの間には第１抵抗器
ＲH1が接続されており、他方の電極ＴL に接続される電
流印加線Ｌｃと電圧検出線Ｌｐとの間には第２抵抗器Ｒ
L1が接続されている。これら第１および第２抵抗器Ｒ
H1, ＲL1の抵抗値は接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが
通常取りうる値（一般に１０Ω以下）より十分に大きく
（例えば１００ｋΩなど）設定されている。 ＲH1≫ＲHC, ＲHP ＲL1≫ＲLC, ＲLP なお、ここでは測定器１の電圧検出部５の入力インピー
ダンスＲINH,ＲINL は十分大きいと仮定する。
ＴL との接触抵抗であるが、電流印加線Ｈｃ，Ｌｃを構
成する測定ケーブル等のリード抵抗も含まれる。ＲHP,
ＲLPは電圧端子８，９と電極ＴH ，ＴL との接触抵抗で
あり、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐを構成する測定ケーブル等
のリード抵抗も含まれる。一方の電極ＴH に接続される
電流印加線Ｈｃと電圧検出線Ｈｐとの間には第１抵抗器
ＲH1が接続されており、他方の電極ＴL に接続される電
流印加線Ｌｃと電圧検出線Ｌｐとの間には第２抵抗器Ｒ
L1が接続されている。これら第１および第２抵抗器Ｒ
H1, ＲL1の抵抗値は接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが
通常取りうる値（一般に１０Ω以下）より十分に大きく
（例えば１００ｋΩなど）設定されている。 ＲH1≫ＲHC, ＲHP ＲL1≫ＲLC, ＲLP なお、ここでは測定器１の電圧検出部５の入力インピー
ダンスＲINH,ＲINL は十分大きいと仮定する。
【００１８】上記測定器１の測定値ＲM は次式で与えら
れる。
れる。
【数２】 上記測定端子６〜９と被検体Ｒdut との接触が良好であ
る場合（ＲHC, ＲLC, Ｒ HP, ＲLPが例えば１０Ω未満）
には、通常の４端子測定と等価であり、上式の第２項と
第３項とがほぼ０となるので、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut となる。
る場合（ＲHC, ＲLC, Ｒ HP, ＲLPが例えば１０Ω未満）
には、通常の４端子測定と等価であり、上式の第２項と
第３項とがほぼ０となるので、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut となる。
【００１９】また、電圧端子８，９が被検体に接触しな
かった場合、つまり電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接触不良を
起こした場合の測定値は次のようになる。 電圧端子８（Ｈｐライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHC 電圧端子９（Ｌｐライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲLC 電圧端子８，９（Ｈｐ・Ｌｐライン）が非接触の場合、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHC＋ＲLC となる。
かった場合、つまり電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接触不良を
起こした場合の測定値は次のようになる。 電圧端子８（Ｈｐライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHC 電圧端子９（Ｌｐライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲLC 電圧端子８，９（Ｈｐ・Ｌｐライン）が非接触の場合、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHC＋ＲLC となる。
【００２０】上記のように、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接
触不良を起こした場合には、電流印加線Ｈｃ，Ｌｃによ
る２端子法による測定が行なわれたとみなすことができ
る。電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐに接触不良が発生した場合に
は、純粋な４端子測定では測定値が予測できなくなるの
で、不良品を良品と判定してしまう危険性がある。これ
に対し、本発明では電圧検出線をプルアップすること
で、接触不良時には接触抵抗分だけ測定値が大きくな
る。そのため、抵抗値が選別規格値より大きい製品を不
良とする選別では、不良品を良品と誤判定する危険を避
けることができる。接触抵抗を含んでなお、選別規格値
より抵抗値が小さい場合には、勿論良品として安全であ
る。
触不良を起こした場合には、電流印加線Ｈｃ，Ｌｃによ
る２端子法による測定が行なわれたとみなすことができ
る。電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐに接触不良が発生した場合に
は、純粋な４端子測定では測定値が予測できなくなるの
で、不良品を良品と判定してしまう危険性がある。これ
に対し、本発明では電圧検出線をプルアップすること
で、接触不良時には接触抵抗分だけ測定値が大きくな
る。そのため、抵抗値が選別規格値より大きい製品を不
良とする選別では、不良品を良品と誤判定する危険を避
けることができる。接触抵抗を含んでなお、選別規格値
より抵抗値が小さい場合には、勿論良品として安全であ
る。
【００２１】なお、電流端子６，７が被検体に接触しな
かった場合も同様に検出できる。すなわち、電流端子６
（Ｈｃライン）が非接触の場合、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHP 電流端子７（Ｌｃライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲLPとなり、Ｈｐ，Ｌｐラインによる２端
子法による測定が行なわれたとみなすことができる。
かった場合も同様に検出できる。すなわち、電流端子６
（Ｈｃライン）が非接触の場合、 ＲM ＝Ｖ／Ｉ＝Ｒdut ＋ＲHP 電流端子７（Ｌｃライン）が非接触の場合、ＲM ＝Ｖ／
Ｉ＝Ｒdut ＋ＲLPとなり、Ｈｐ，Ｌｐラインによる２端
子法による測定が行なわれたとみなすことができる。
【００２２】図５は本発明にかかる測定装置の第２実施
例を示し、図４に示す測定装置の一部を変更した例であ
る。これは、被検体の抵抗値が比較的小さい場合に、ど
ちらの電圧検出線または電流印加線が接触不良を起こし
たかを測定値から判断できるようにしたものである。
例を示し、図４に示す測定装置の一部を変更した例であ
る。これは、被検体の抵抗値が比較的小さい場合に、ど
ちらの電圧検出線または電流印加線が接触不良を起こし
たかを測定値から判断できるようにしたものである。
【００２３】被検体Ｒdut の一方の電極ＴH と第１抵抗
器ＲH1との間の電流印加線Ｈｃに第３抵抗器ＲH3が接続
され、他方の電極ＴL と第２抵抗器ＲL1との間の電流印
加線Ｌｃに第４抵抗器ＲL3が接続されている。また、一
方の電極ＴH と第１抵抗器ＲH1との間の電圧検出線Ｈｐ
には第５抵抗器ＲH4が、他方の電極ＴL と第２抵抗器Ｒ
L1との間の電圧検出線Ｌｐには第６抵抗器ＲL4が接続さ
れている。第３〜６の抵抗器ＲH3, ＲL3, ＲH4, ＲL4の
抵抗値は、第１，第２の抵抗器ＲH1，ＲL1よりも十分小
さく、接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる
値より十分に大きく、かつ互いに異なる値を有する。 ＲH1≫ＲH3, ＲH4≫ＲHC, ＲHP ＲL1≫ＲL3, ＲL4≫ＲLC, ＲLP
器ＲH1との間の電流印加線Ｈｃに第３抵抗器ＲH3が接続
され、他方の電極ＴL と第２抵抗器ＲL1との間の電流印
加線Ｌｃに第４抵抗器ＲL3が接続されている。また、一
方の電極ＴH と第１抵抗器ＲH1との間の電圧検出線Ｈｐ
には第５抵抗器ＲH4が、他方の電極ＴL と第２抵抗器Ｒ
L1との間の電圧検出線Ｌｐには第６抵抗器ＲL4が接続さ
れている。第３〜６の抵抗器ＲH3, ＲL3, ＲH4, ＲL4の
抵抗値は、第１，第２の抵抗器ＲH1，ＲL1よりも十分小
さく、接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる
値より十分に大きく、かつ互いに異なる値を有する。 ＲH1≫ＲH3, ＲH4≫ＲHC, ＲHP ＲL1≫ＲL3, ＲL4≫ＲLC, ＲLP
【００２４】例えば、Ｒdut が１００ｍΩ前後で、Ｒ
HC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値が１Ω未満の場
合、ＲH3＝２０Ω, ＲL3＝１０Ω, ＲH4＝４０Ω, ＲL4
＝８０Ωとすると、各接触不良箇所によって測定値が次
のように異なる。 ・Ｈｐラインが接触不良・・・測定値は２０Ω台の値 ・Ｌｐラインが接触不良・・・測定値は１０Ω台の値 ・Ｈｐライン，Ｌｐラインとも接触不良・・・測定値は
３０Ω台の値 ・Ｈｃラインが接触不良・・・測定値は４０Ω台の値 ・Ｌｃラインが接触不良・・・測定値は８０Ω台の値 ・Ｈｃライン，Ｌｃラインとも接触不良・・・測定値は
１２０Ω台の値 以上のように、接触不良を発生した箇所を測定値から簡
単に判断できる。
HC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値が１Ω未満の場
合、ＲH3＝２０Ω, ＲL3＝１０Ω, ＲH4＝４０Ω, ＲL4
＝８０Ωとすると、各接触不良箇所によって測定値が次
のように異なる。 ・Ｈｐラインが接触不良・・・測定値は２０Ω台の値 ・Ｌｐラインが接触不良・・・測定値は１０Ω台の値 ・Ｈｐライン，Ｌｐラインとも接触不良・・・測定値は
３０Ω台の値 ・Ｈｃラインが接触不良・・・測定値は４０Ω台の値 ・Ｌｃラインが接触不良・・・測定値は８０Ω台の値 ・Ｈｃライン，Ｌｃラインとも接触不良・・・測定値は
１２０Ω台の値 以上のように、接触不良を発生した箇所を測定値から簡
単に判断できる。
【００２５】なお、図５では電流印加線Ｈｃ，Ｌｃと電
圧検出線Ｈｐ，Ｌｐにそれぞれ抵抗器ＲH3, ＲL3, Ｒ
H4, ＲL4を接続したが、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐ上の抵抗
器ＲH4, ＲL4は省略可能である。なぜなら、抵抗器ＲH4,
ＲL4は電流印加線Ｈｃ，Ｌｃの接触不良を検出するも
のであるが、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接触正常である限
り、測定誤差が生じないからである。
圧検出線Ｈｐ，Ｌｐにそれぞれ抵抗器ＲH3, ＲL3, Ｒ
H4, ＲL4を接続したが、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐ上の抵抗
器ＲH4, ＲL4は省略可能である。なぜなら、抵抗器ＲH4,
ＲL4は電流印加線Ｈｃ，Ｌｃの接触不良を検出するも
のであるが、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接触正常である限
り、測定誤差が生じないからである。
【００２６】図６は本発明にかかるインピーダンス測定
装置の第３実施例を示し、この測定装置はインピーダン
ス値が規格値より小さいものが不良品である場合の良否
判定に用いられる。被検体Ｒdut の一方の電極ＴH に接
続される電流印加線Ｈｃと他方の電極ＴL に接続される
電流印加線Ｌｃと電圧検出線Ｌｐとの間に第１抵抗器Ｒ
H2が接続されており、他方の電極ＴL に接続される電流
印加線Ｌｃと一方の電極ＴH に接続される電圧検出線Ｌ
ｐとの間に第２抵抗器ＲL2が接続されている。これら第
１および第２抵抗器ＲH2，ＲL2の抵抗値は接触抵抗Ｒ
HC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値（一般に１０Ω
以下）より十分に大きく（例えば５０ｋΩなど）設定さ
れている。 ＲH2≫ＲHC, ＲHP ＲL2≫ＲLC, ＲLP
装置の第３実施例を示し、この測定装置はインピーダン
ス値が規格値より小さいものが不良品である場合の良否
判定に用いられる。被検体Ｒdut の一方の電極ＴH に接
続される電流印加線Ｈｃと他方の電極ＴL に接続される
電流印加線Ｌｃと電圧検出線Ｌｐとの間に第１抵抗器Ｒ
H2が接続されており、他方の電極ＴL に接続される電流
印加線Ｌｃと一方の電極ＴH に接続される電圧検出線Ｌ
ｐとの間に第２抵抗器ＲL2が接続されている。これら第
１および第２抵抗器ＲH2，ＲL2の抵抗値は接触抵抗Ｒ
HC, ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値（一般に１０Ω
以下）より十分に大きく（例えば５０ｋΩなど）設定さ
れている。 ＲH2≫ＲHC, ＲHP ＲL2≫ＲLC, ＲLP
【００２７】図６の測定装置の場合、電圧検知線Ｈｐ，
Ｌｐの接触不良時の測定値ＲM は次のようになる。 ＲM ＝−ＲLC（Ｈｐラインが非接触のとき） ＲM ＝−ＲHC（Ｌｐラインが非接触のとき） ＲM ＝−Ｒdut −ＲLC−ＲHC（Ｈｐ・Ｌｐラインが非接
触のとき）
Ｌｐの接触不良時の測定値ＲM は次のようになる。 ＲM ＝−ＲLC（Ｈｐラインが非接触のとき） ＲM ＝−ＲHC（Ｌｐラインが非接触のとき） ＲM ＝−Ｒdut −ＲLC−ＲHC（Ｈｐ・Ｌｐラインが非接
触のとき）
【００２８】このように電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐが接触不
良を起こした場合には、電圧検出線をプルダウンするこ
とで、測定値が小さくなる。そのため、抵抗値が選別規
格値より小さい製品を不良とする選別では、接触不良時
に不良品を良品として流出する危険を排除できる。
良を起こした場合には、電圧検出線をプルダウンするこ
とで、測定値が小さくなる。そのため、抵抗値が選別規
格値より小さい製品を不良とする選別では、接触不良時
に不良品を良品として流出する危険を排除できる。
【００２９】図７は本発明にかかるインピーダンス測定
装置の第４実施例を示し、この測定装置は図６の実施例
の変形例である。図６では接触不良時に測定値が負にな
ることがあったが、接触不良時にも測定値を正の値にし
たい場合、またはあるい決まった抵抗値付近の値とした
い場合には、図７のように抵抗器ＲH2，ＲL2に加えて、
同一の電極に接触する電流印加線と電圧検出線との間に
それぞれ抵抗器ＲH1, ＲL1を接続するのが望ましい。な
お、これら抵抗器ＲH1, ＲL1の抵抗値は接触抵抗ＲHC,
ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値（一般に１０Ω以
下）より十分に大きく（例えば１００ｋΩなど）設定さ
れている。
装置の第４実施例を示し、この測定装置は図６の実施例
の変形例である。図６では接触不良時に測定値が負にな
ることがあったが、接触不良時にも測定値を正の値にし
たい場合、またはあるい決まった抵抗値付近の値とした
い場合には、図７のように抵抗器ＲH2，ＲL2に加えて、
同一の電極に接触する電流印加線と電圧検出線との間に
それぞれ抵抗器ＲH1, ＲL1を接続するのが望ましい。な
お、これら抵抗器ＲH1, ＲL1の抵抗値は接触抵抗ＲHC,
ＲLC, ＲHP, ＲLPが通常取りうる値（一般に１０Ω以
下）より十分に大きく（例えば１００ｋΩなど）設定さ
れている。
【００３０】上記測定装置では、電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐ
に接触不良がある場合、電圧計Ｖによってこれらの抵抗
器ＲH1, ＲL1，ＲH2，ＲL2で印加電圧を分圧したものを
検出することで、接触不良時の測定値にある程度の大き
さをみかけ上持たせることができる。これら抵抗値の大
きさや分圧比は被検体Ｒdut によって選択される。
に接触不良がある場合、電圧計Ｖによってこれらの抵抗
器ＲH1, ＲL1，ＲH2，ＲL2で印加電圧を分圧したものを
検出することで、接触不良時の測定値にある程度の大き
さをみかけ上持たせることができる。これら抵抗値の大
きさや分圧比は被検体Ｒdut によって選択される。
【００３１】図８は本発明にかかるインピーダンス測定
装置の第５実施例を示す。第１〜第４実施例のように、
電圧検出線のプルアップまたはダウンさせる方法を実際
に用いるには、測定器１の電圧検出部の入力インピーダ
ンスＲINH,ＲINL が十分に高いことが前提として必要で
ある。例えば、ＤＣ的には高い入力インピーダンスを有
する測定器でも入力容量によってＡＣ的には低い場合が
あり、また測定ケーブルの浮遊容量によって入力インピ
ーダンスが低下する場合もある。このような場合、第１
〜第４実施例のように電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐに直列に接
触抵抗が入ると、測定誤差が拡大する。
装置の第５実施例を示す。第１〜第４実施例のように、
電圧検出線のプルアップまたはダウンさせる方法を実際
に用いるには、測定器１の電圧検出部の入力インピーダ
ンスＲINH,ＲINL が十分に高いことが前提として必要で
ある。例えば、ＤＣ的には高い入力インピーダンスを有
する測定器でも入力容量によってＡＣ的には低い場合が
あり、また測定ケーブルの浮遊容量によって入力インピ
ーダンスが低下する場合もある。このような場合、第１
〜第４実施例のように電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐに直列に接
触抵抗が入ると、測定誤差が拡大する。
【００３２】そこで、この実施例では、測定器１の電圧
検出部（Ｈｐ，Ｌｐ）の前に高入力インピーダンスのボ
ルテージフォロワＶＦH,ＶＦL を挿入し、接触抵抗によ
る測定誤差を低減したものである。ボルテージフォロワ
ＶＦH,ＶＦL は、被検体側からみた測定系の入力インピ
ーダンスを極めて高くし、測定器側からみた被検体の出
力インピーダンスを極めて低くする働き（インピーダン
ス変換）をする。また、ボルテージフォロワＶＦH,ＶＦ
L として、余分なノイズの発生を避けるため、低ノイズ
タイプのオペアンプなどを用いて構成するのが望まし
い。なお、図８は図４における実施例にボルテージフォ
ロワＶＦH,ＶＦL を適用したものであるが、図５，図
６，図７の実施例にも同様に適用できる。また、ボルテ
ージフォロワＶＦH,ＶＦL は電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐのう
ち、少なくとも高電位検出側に設けるのが効果的であ
る。
検出部（Ｈｐ，Ｌｐ）の前に高入力インピーダンスのボ
ルテージフォロワＶＦH,ＶＦL を挿入し、接触抵抗によ
る測定誤差を低減したものである。ボルテージフォロワ
ＶＦH,ＶＦL は、被検体側からみた測定系の入力インピ
ーダンスを極めて高くし、測定器側からみた被検体の出
力インピーダンスを極めて低くする働き（インピーダン
ス変換）をする。また、ボルテージフォロワＶＦH,ＶＦ
L として、余分なノイズの発生を避けるため、低ノイズ
タイプのオペアンプなどを用いて構成するのが望まし
い。なお、図８は図４における実施例にボルテージフォ
ロワＶＦH,ＶＦL を適用したものであるが、図５，図
６，図７の実施例にも同様に適用できる。また、ボルテ
ージフォロワＶＦH,ＶＦL は電圧検出線Ｈｐ，Ｌｐのう
ち、少なくとも高電位検出側に設けるのが効果的であ
る。
【００３３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、請求項１
に記載の発明によれば、インピーダンスが規格値より大
きいものが不良品である場合の４端子法のインピーダン
ス測定において、電圧検出線の接触不良時には電圧検出
線をプルアップつまり接触抵抗分だけ測定値を大きくす
ることで、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品と
して誤判定するのを防止できる。また、測定回路に抵抗
器を追加するだけで構成でき、格別な接触検出回路を必
要としないので、低コストで実現できるという効果があ
る。
に記載の発明によれば、インピーダンスが規格値より大
きいものが不良品である場合の４端子法のインピーダン
ス測定において、電圧検出線の接触不良時には電圧検出
線をプルアップつまり接触抵抗分だけ測定値を大きくす
ることで、接触不良を容易に判定でき、不良品を良品と
して誤判定するのを防止できる。また、測定回路に抵抗
器を追加するだけで構成でき、格別な接触検出回路を必
要としないので、低コストで実現できるという効果があ
る。
【００３４】また、請求項３に記載の発明によれば、イ
ンピーダンスが規格値より小さいものが不良品である場
合の４端子法のインピーダンス測定において、電圧検出
線の接触不良時には電圧検出線をプルダウンつまり接触
抵抗分だけ測定値を小さくすることで、接触不良を容易
に判定でき、不良品を良品として誤判定するのを防止で
きる。また、測定回路に抵抗器を追加するだけで構成で
き、格別な接触検出回路を必要としないので、低コスト
で実現できる。
ンピーダンスが規格値より小さいものが不良品である場
合の４端子法のインピーダンス測定において、電圧検出
線の接触不良時には電圧検出線をプルダウンつまり接触
抵抗分だけ測定値を小さくすることで、接触不良を容易
に判定でき、不良品を良品として誤判定するのを防止で
きる。また、測定回路に抵抗器を追加するだけで構成で
き、格別な接触検出回路を必要としないので、低コスト
で実現できる。
【図１】従来の２端子法によるインピーダンス測定装置
の回路図である。
の回路図である。
【図２】従来の４端子法によるインピーダンス測定装置
の回路図である。
の回路図である。
【図３】従来の４端子法により電圧検出線が接触不良を
発生した場合の回路図である。
発生した場合の回路図である。
【図４】本発明におけるインピーダンス測定装置の第１
実施例の回路図である。
実施例の回路図である。
【図５】本発明におけるインピーダンス測定装置の第２
実施例の回路図である。
実施例の回路図である。
【図６】本発明におけるインピーダンス測定装置の第３
実施例の回路図である。
実施例の回路図である。
【図７】本発明におけるインピーダンス測定装置の第４
実施例の回路図である。
実施例の回路図である。
【図８】本発明におけるインピーダンス測定装置の第５
実施例の回路図である。
実施例の回路図である。
Ｒdut 被測定用電子部品 Ｈｐ，Ｌｐ 電圧検出線 Ｈｃ，Ｌｃ 電流印加線 ＲHC, ＲLC, ＲHP, ＲLP 接触抵抗 ＲH1〜ＲH4, ＲL1〜ＲL4 抵抗器 １ 測定器
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１２年６月２９日（２０００．６．２
９）
９）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２６
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２６】図６は本発明にかかるインピーダンス測定
装置の第３実施例を示し、この測定装置はインピーダン
ス値が規格値より小さいものが不良品である場合の良否
判定に用いられる。被検体Ｒdut の一方の電極ＴH に接
続される電流印加線Ｈｃと他方の電極ＴL に接続される
電圧検出線Ｌｐとの間に第１抵抗器ＲH2が接続されてお
り、他方の電極ＴL に接続される電流印加線Ｌｃと一方
の電極ＴH に接続される電圧検出線Ｈｐとの間に第２抵
抗器ＲL2が接続されている。これら第１および第２抵抗
器ＲH2，ＲL2の抵抗値は接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, Ｒ
LPが通常取りうる値（一般に１０Ω以下）より十分に大
きく（例えば５０ｋΩなど）設定されている。 ＲH2≫ＲHC, ＲHP ＲL2≫ＲLC, ＲLP
装置の第３実施例を示し、この測定装置はインピーダン
ス値が規格値より小さいものが不良品である場合の良否
判定に用いられる。被検体Ｒdut の一方の電極ＴH に接
続される電流印加線Ｈｃと他方の電極ＴL に接続される
電圧検出線Ｌｐとの間に第１抵抗器ＲH2が接続されてお
り、他方の電極ＴL に接続される電流印加線Ｌｃと一方
の電極ＴH に接続される電圧検出線Ｈｐとの間に第２抵
抗器ＲL2が接続されている。これら第１および第２抵抗
器ＲH2，ＲL2の抵抗値は接触抵抗ＲHC, ＲLC, ＲHP, Ｒ
LPが通常取りうる値（一般に１０Ω以下）より十分に大
きく（例えば５０ｋΩなど）設定されている。 ＲH2≫ＲHC, ＲHP ＲL2≫ＲLC, ＲLP
Claims (4)
- 【請求項１】４端子法により電子部品のインピーダンス
を測定する装置において、電子部品の一方の電極に接続
される電流印加線と電圧検出線とが第１の抵抗器を介し
て接続され、電子部品の他方の電極に接続される電流印
加線と電圧検出線とが第２の抵抗器を介して接続され、
上記第１および第２の抵抗器は電子部品の電極と電流印
加線および電圧検出線との間に生じる接触抵抗より十分
に大きい抵抗値を有することを特徴とする電子部品のイ
ンピーダンス測定装置。 - 【請求項２】上記電子部品の一方の電極と第１の抵抗器
との間の電流印加線に第３の抵抗器が接続され、上記電
子部品の他方の電極と第２の抵抗器との間の電流印加線
に第４の抵抗器が接続され、上記第３，４の抵抗器は第
１，第２の抵抗器よりも抵抗値が十分小さく、電子部品
の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じる接
触抵抗より十分に大きく、かつ互いに異なる抵抗値を有
することを特徴とする請求項１に記載の電子部品のイン
ピーダンス測定装置。 - 【請求項３】４端子法により電子部品のインピーダンス
を測定する装置において、電子部品の一方の電極に接続
される電流印加線と電子部品の他方の電極に接続される
電圧検出線とが第１の抵抗器を介して接続され、電子部
品の他方の電極に接続される電流印加線と電子部品の一
方の電極に接続される電圧検出線とが第２の抵抗器を介
して接続され、上記第１および第２の抵抗器は電子部品
の電極と電流印加線および電圧検出線との間に生じる接
触抵抗より十分に大きい抵抗値を有することを特徴とす
る電子部品のインピーダンス測定装置。 - 【請求項４】上記第１，第２の抵抗器と測定器との間の
電圧検出線であって少なくとも高電位検出側に、高入力
インピーダンスのボルテージフォロワが挿入されている
ことを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の
電子部品のインピーダンス測定装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22199599A JP3402274B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 電子部品のインピーダンス測定装置 |
| GB0118165A GB2363855B (en) | 1999-08-05 | 2000-07-28 | Impedance measuring apparatus for electronic component |
| GB0018664A GB2353366B (en) | 1999-08-05 | 2000-07-28 | Impedance measuring apparatus for electronic component |
| US09/629,628 US6674295B1 (en) | 1999-08-05 | 2000-07-31 | Impedance measuring apparatus for electronic component |
| SG200004327A SG101426A1 (en) | 1999-08-05 | 2000-07-31 | Impedance measuring apparatus for electronic component |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22199599A JP3402274B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 電子部品のインピーダンス測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050995A true JP2001050995A (ja) | 2001-02-23 |
| JP3402274B2 JP3402274B2 (ja) | 2003-05-06 |
Family
ID=16775449
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22199599A Expired - Fee Related JP3402274B2 (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | 電子部品のインピーダンス測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
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| JP (1) | JP3402274B2 (ja) |
| GB (1) | GB2353366B (ja) |
| SG (1) | SG101426A1 (ja) |
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| JP2007333598A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Nidec-Read Corp | 基板検査装置 |
| JP2019086460A (ja) * | 2017-11-09 | 2019-06-06 | 日置電機株式会社 | 処理装置、検査装置および処理方法 |
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| CN102854386B (zh) * | 2012-08-02 | 2015-08-05 | 深圳市明微电子股份有限公司 | 一种电阻测试方法 |
| CN108710056B (zh) * | 2018-07-19 | 2024-06-18 | 中国科学院高能物理研究所 | 一种倒装焊工艺良率和寄生参数定量评估装置及方法 |
| CN114184841B (zh) * | 2021-11-11 | 2023-11-24 | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 | 一种封装外壳引线电阻的测量方法 |
| CN116699475B (zh) * | 2023-08-09 | 2023-10-27 | 湖南恩智测控技术有限公司 | 基于源表的远端采样接触检测系统、方法及源表装置 |
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| US4954782A (en) * | 1987-05-08 | 1990-09-04 | The Boeing Company | Self-checking ohmmeter that checks for contact resistance of its probes |
| JP2506433B2 (ja) | 1989-03-07 | 1996-06-12 | 富士通株式会社 | ４線式抵抗測定装置 |
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| US5057772A (en) * | 1990-05-29 | 1991-10-15 | Electro Scientific Industries, Inc. | Method and system for concurrent electronic component testing and lead verification |
| JP3110827B2 (ja) * | 1991-10-31 | 2000-11-20 | アジレント・テクノロジー株式会社 | インピーダンス・メータ |
| JP3329555B2 (ja) * | 1993-12-28 | 2002-09-30 | アジレント・テクノロジー株式会社 | インピーダンス・メータ |
| JP3415681B2 (ja) * | 1994-06-29 | 2003-06-09 | アジレント・テクノロジー株式会社 | インピーダンス測定装置 |
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-
1999
- 1999-08-05 JP JP22199599A patent/JP3402274B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2000-07-28 GB GB0018664A patent/GB2353366B/en not_active Expired - Fee Related
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