JP2001050211A - シリンダ装置 - Google Patents
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ロッドの摺動抵抗を低減し、ロッドの推力を高
精度に制御できるシリンダ装置を提供する。 【解決手段】軸受本体１のロッド挿通穴２内に挿通され
たロッド３を備え、ロッド３の軸部３ａの外周面に軸部
３ａの断面積より十分に小さい受圧面積を有する突部３
ｂを設け、軸受本体１のロッド挿通穴２内に突部３ｂに
対応した凹部４を設ける。突部３ｂの軸方向端面と凹部
４の軸方向端面との隙間に圧力流体を供給するための推
力制御用流体通路５，６を軸受本体１に形成するととも
に、推力制御用流体通路５，６のロッド軸方向両側に、
ロッド３を軸受本体１に対して非接触的に支承する一対
の静圧軸受部１０，１１を設ける。静圧軸受部１０，１
１から圧力流体を噴出させることで、ロッド３をフロー
ティング状態で支持する。
精度に制御できるシリンダ装置を提供する。 【解決手段】軸受本体１のロッド挿通穴２内に挿通され
たロッド３を備え、ロッド３の軸部３ａの外周面に軸部
３ａの断面積より十分に小さい受圧面積を有する突部３
ｂを設け、軸受本体１のロッド挿通穴２内に突部３ｂに
対応した凹部４を設ける。突部３ｂの軸方向端面と凹部
４の軸方向端面との隙間に圧力流体を供給するための推
力制御用流体通路５，６を軸受本体１に形成するととも
に、推力制御用流体通路５，６のロッド軸方向両側に、
ロッド３を軸受本体１に対して非接触的に支承する一対
の静圧軸受部１０，１１を設ける。静圧軸受部１０，１
１から圧力流体を噴出させることで、ロッド３をフロー
ティング状態で支持する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高精度な推力の制御
が可能で、精密な直線運動のできるシリンダ装置に関す
るものである。
が可能で、精密な直線運動のできるシリンダ装置に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、実装機の真空吸着装置などにおい
て、エアシリンダやボイスコイルを用いてロッドに推力
を与えるとともに、ロッドをベアリングを介して摺動自
在に支持させたものが知られている。しかしながら、い
ずれの場合も高精度な推力の制御が難しかったり、精密
な直線運動が難しいという欠点があった。
て、エアシリンダやボイスコイルを用いてロッドに推力
を与えるとともに、ロッドをベアリングを介して摺動自
在に支持させたものが知られている。しかしながら、い
ずれの場合も高精度な推力の制御が難しかったり、精密
な直線運動が難しいという欠点があった。
【０００３】このような問題点を解消するものとして、
ロッドの摺動抵抗を低減し、ロッドの制御精度を向上さ
せた真空吸着装置が提案されている（特開平８−２１０
３５４号公報）。この真空吸着装置は、ボールベアリン
グに代えて静圧軸受を用いることでロッドの摺動抵抗を
低減したものである。上記静圧軸受は、ロッド挿通穴内
に設けられた多孔質のスリーブと、スリーブから圧力流
体を噴射させる加圧ポートと、スリーブの軸受面から噴
出する圧力流体を外部へ排出するための吸引ポートとを
備えている。
ロッドの摺動抵抗を低減し、ロッドの制御精度を向上さ
せた真空吸着装置が提案されている（特開平８−２１０
３５４号公報）。この真空吸着装置は、ボールベアリン
グに代えて静圧軸受を用いることでロッドの摺動抵抗を
低減したものである。上記静圧軸受は、ロッド挿通穴内
に設けられた多孔質のスリーブと、スリーブから圧力流
体を噴射させる加圧ポートと、スリーブの軸受面から噴
出する圧力流体を外部へ排出するための吸引ポートとを
備えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記の場合には静圧軸
受によってロッドの摺動抵抗を低減しているが、ロッド
の推力は従前どおりボイスコイルによって与えている。
ボイスコイルは高精度な推力発生手段であり、２０ｇ〜
１００ｇ程度の小さい押圧力を得ることが可能である
が、２０ｇ以下の極めて小さい押圧力を得ることは難し
い。また、所定の場所に載置されているＩＣチップをピ
ックアップするためにロッド先端の吸着部がＩＣチップ
に当たる時の速度や、ロッド先端に吸着されているＩＣ
チップを回路基板上に実装する時の速度を制御すること
ができない。この衝突速度を制御できないということ
は、衝突荷重を制御できないことを意味する。
受によってロッドの摺動抵抗を低減しているが、ロッド
の推力は従前どおりボイスコイルによって与えている。
ボイスコイルは高精度な推力発生手段であり、２０ｇ〜
１００ｇ程度の小さい押圧力を得ることが可能である
が、２０ｇ以下の極めて小さい押圧力を得ることは難し
い。また、所定の場所に載置されているＩＣチップをピ
ックアップするためにロッド先端の吸着部がＩＣチップ
に当たる時の速度や、ロッド先端に吸着されているＩＣ
チップを回路基板上に実装する時の速度を制御すること
ができない。この衝突速度を制御できないということ
は、衝突荷重を制御できないことを意味する。
【０００５】ボイスコイルに代えてエアシリンダを用い
たものもあるが、エアシリンダの場合、ピストン部やロ
ッドにエア漏れを防止するためのパッキンが組み込まれ
ており、このパッキンのために摩擦抵抗が大きくなる。
特に、静摩擦係数は動摩擦係数より大きいので、始動時
における推力変動が大きくなる。また、エアシリンダで
はピストン部の受圧面積が大きいので、推力が大きくな
り過ぎる。そのため、エアシリンダで小さな推力を発生
させようとすると、空気圧を低くかつ精密に制御しなけ
ればならないが、空気圧が低くなると空気圧バラツキが
相対的に大きくなる。このようにエアシリンダを用いた
場合には、摩擦抵抗および空気圧バラツキのために、高
精度な推力制御ができない欠点があった。
たものもあるが、エアシリンダの場合、ピストン部やロ
ッドにエア漏れを防止するためのパッキンが組み込まれ
ており、このパッキンのために摩擦抵抗が大きくなる。
特に、静摩擦係数は動摩擦係数より大きいので、始動時
における推力変動が大きくなる。また、エアシリンダで
はピストン部の受圧面積が大きいので、推力が大きくな
り過ぎる。そのため、エアシリンダで小さな推力を発生
させようとすると、空気圧を低くかつ精密に制御しなけ
ればならないが、空気圧が低くなると空気圧バラツキが
相対的に大きくなる。このようにエアシリンダを用いた
場合には、摩擦抵抗および空気圧バラツキのために、高
精度な推力制御ができない欠点があった。
【０００６】そこで、本発明の目的は、ロッドの摺動抵
抗を低減し、ロッドの推力を高精度に制御できるシリン
ダ装置を提供することにある。
抗を低減し、ロッドの推力を高精度に制御できるシリン
ダ装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明は、軸受本体のロッド挿通穴
内に挿通されたロッドを備え、上記ロッドの軸部の外周
面に軸部の断面積より十分に小さい受圧面積を有する突
部を設け、軸受本体のロッド挿通穴内に上記突部に対応
した凹部を設け、上記突部の軸方向端面と凹部の軸方向
端面との隙間に圧力流体を供給するための推力制御用流
体通路を軸受本体に形成するとともに、上記推力制御用
流体通路のロッド軸方向両側に、ロッドを軸受本体に対
して非接触的に支承する一対の静圧軸受部を設けたこと
を特徴とするシリンダ装置を提供する。
め、請求項１に記載の発明は、軸受本体のロッド挿通穴
内に挿通されたロッドを備え、上記ロッドの軸部の外周
面に軸部の断面積より十分に小さい受圧面積を有する突
部を設け、軸受本体のロッド挿通穴内に上記突部に対応
した凹部を設け、上記突部の軸方向端面と凹部の軸方向
端面との隙間に圧力流体を供給するための推力制御用流
体通路を軸受本体に形成するとともに、上記推力制御用
流体通路のロッド軸方向両側に、ロッドを軸受本体に対
して非接触的に支承する一対の静圧軸受部を設けたこと
を特徴とするシリンダ装置を提供する。
【０００８】ロッドの両端部は軸受本体の内部に静圧軸
受部によってフローティング状態で支持されるので、摺
動抵抗が殆どなく、軸方向へ円滑に移動できる。特に、
始動時に静摩擦力が働かないので、始動時の推力変動を
非常に小さくできる。推力制御用流体通路から圧力流体
を突部の軸方向端面と凹部の軸方向端面との隙間に供給
すると、その圧力と突部の受圧面積との積に応じた推力
がロッドに発生する。しかし、突部の受圧面積はロッド
の軸部の断面積より十分に小さいので、発生する推力は
小さく、推力バラツキも小さくなる。
受部によってフローティング状態で支持されるので、摺
動抵抗が殆どなく、軸方向へ円滑に移動できる。特に、
始動時に静摩擦力が働かないので、始動時の推力変動を
非常に小さくできる。推力制御用流体通路から圧力流体
を突部の軸方向端面と凹部の軸方向端面との隙間に供給
すると、その圧力と突部の受圧面積との積に応じた推力
がロッドに発生する。しかし、突部の受圧面積はロッド
の軸部の断面積より十分に小さいので、発生する推力は
小さく、推力バラツキも小さくなる。
【０００９】請求項２のように突部の受圧面積を０．１
ｃｍ2 以下とした場合には、圧力流体の圧力を０．２Ｍ
Ｐａ±０．５％とすれば、ロッドに作用する推力バラツ
キは、 ０．２ＭＰａ＝２．０３９４４ｋｇｆ／ｃｍ2 であるから ２．０３９４４×０．００５×０．１＝０．００１０１
９７２ｋｇｆ＝１．０１９７２８ｇｆ となり、設定値に対して±１．０ｇｆ以下のバラツキに
推力を制御することが可能となり、極めて高精度な推力
制御を行なうことができる。圧力バラツキが０．２ＭＰ
ａ±０．５％程度であれば、市販の安価な減圧弁を使用
することができる。
ｃｍ2 以下とした場合には、圧力流体の圧力を０．２Ｍ
Ｐａ±０．５％とすれば、ロッドに作用する推力バラツ
キは、 ０．２ＭＰａ＝２．０３９４４ｋｇｆ／ｃｍ2 であるから ２．０３９４４×０．００５×０．１＝０．００１０１
９７２ｋｇｆ＝１．０１９７２８ｇｆ となり、設定値に対して±１．０ｇｆ以下のバラツキに
推力を制御することが可能となり、極めて高精度な推力
制御を行なうことができる。圧力バラツキが０．２ＭＰ
ａ±０．５％程度であれば、市販の安価な減圧弁を使用
することができる。
【００１０】ロッドの半径方向のガタを少なくするとと
もに、空気漏れをできるだけ小さくするために、軸部の
外周面と軸受本体の内周面との隙間、および突部の外周
面と凹部の内周面との隙間はできるだけ小さい方が望ま
しく、１０μｍ以下（望ましくは５μｍ以下）にするの
が望ましい。そのためには、軸部の外周面、軸受本体の
内周面、突部の外周面、凹部の内周面をそれぞれ高精度
に加工しておく必要がある。
もに、空気漏れをできるだけ小さくするために、軸部の
外周面と軸受本体の内周面との隙間、および突部の外周
面と凹部の内周面との隙間はできるだけ小さい方が望ま
しく、１０μｍ以下（望ましくは５μｍ以下）にするの
が望ましい。そのためには、軸部の外周面、軸受本体の
内周面、突部の外周面、凹部の内周面をそれぞれ高精度
に加工しておく必要がある。
【００１１】ロッドに突部を設ける位置としては、請求
項３のように、ロッドの中間部に突部を設け、両端部に
突部より小径な軸部を設けてもよい。この場合には、突
部の軸方向両端面と凹部の軸方向両端面との隙間にそれ
ぞれ第１の推力制御用流体通路と第２の推力制御用流体
通路とを開口させ、第１と第２の推力制御用流体通路に
交互に圧力流体を供給することで、ロッドを軸方向に往
復移動させることができる。
項３のように、ロッドの中間部に突部を設け、両端部に
突部より小径な軸部を設けてもよい。この場合には、突
部の軸方向両端面と凹部の軸方向両端面との隙間にそれ
ぞれ第１の推力制御用流体通路と第２の推力制御用流体
通路とを開口させ、第１と第２の推力制御用流体通路に
交互に圧力流体を供給することで、ロッドを軸方向に往
復移動させることができる。
【００１２】また、請求項４のように、ロッドの一端部
に突部を設け、他端部に突部より小径な軸部を設け、推
力制御用流体通路を突部の軸方向一端面と凹部の軸方向
一端面との隙間に開口させてもよい。この場合には、一
方向の推力を推力制御用流体通路から供給される圧力流
体により得るとともに、戻り力を別の手段（ボイスコイ
ルやエアシリンダなど）によって得ればよい。
に突部を設け、他端部に突部より小径な軸部を設け、推
力制御用流体通路を突部の軸方向一端面と凹部の軸方向
一端面との隙間に開口させてもよい。この場合には、一
方向の推力を推力制御用流体通路から供給される圧力流
体により得るとともに、戻り力を別の手段（ボイスコイ
ルやエアシリンダなど）によって得ればよい。
【００１３】
【発明の実施の形態】図１，図２は本発明にかかるシリ
ンダ装置の第１実施例を示す。軸受本体１には両側方へ
貫通するロッド挿通穴２が形成されており、このロッド
挿通穴２にロッド３が挿通されている。この実施例で
は、ロッド挿通穴２およびロッド３の断面は円形である
が、角形であってもよい。また、ここではロッド３が軸
受本体１に対して横方向に移動する例を示したが、上下
方向に移動するものでもよい。
ンダ装置の第１実施例を示す。軸受本体１には両側方へ
貫通するロッド挿通穴２が形成されており、このロッド
挿通穴２にロッド３が挿通されている。この実施例で
は、ロッド挿通穴２およびロッド３の断面は円形である
が、角形であってもよい。また、ここではロッド３が軸
受本体１に対して横方向に移動する例を示したが、上下
方向に移動するものでもよい。
【００１４】ロッド３は、両端部に直径の小さい軸部３
ａを備え、中央部に軸部３ａより直径の大きな突部３ｂ
を備えており、突部３ｂの受圧面積Ｓｂは０．１ｃｍ2
以下に設定されている。ここで、軸部３ａの直径をＤ
ａ、突部３ｂの直径をＤｂとすると、Ｓａ＝πＤａ 2 ／
４であり、Ｓｂ＝π（Ｄｂ2 −Ｄａ2 ）／４である。し
たがって、π（Ｄｂ2 −Ｄａ2 ）／４≦０．１ｃｍ2 に
設定される。
ａを備え、中央部に軸部３ａより直径の大きな突部３ｂ
を備えており、突部３ｂの受圧面積Ｓｂは０．１ｃｍ2
以下に設定されている。ここで、軸部３ａの直径をＤ
ａ、突部３ｂの直径をＤｂとすると、Ｓａ＝πＤａ 2 ／
４であり、Ｓｂ＝π（Ｄｂ2 −Ｄａ2 ）／４である。し
たがって、π（Ｄｂ2 −Ｄａ2 ）／４≦０．１ｃｍ2 に
設定される。
【００１５】軸受本体１のロッド挿通穴２内には、突部
３ｂに対応した凹部４が形成されている。軸受本体１に
は、突部３ｂの軸方向端面と凹部４の軸方向端面との隙
間に圧力流体を供給するための第１と第２の加圧ポート
（推力制御用流体通路）５，６が形成されている。これ
ら加圧ポート５，６は電磁切替弁７および減圧弁８を介
してエア供給源９と接続されている。減圧弁８は、エア
供給源９から供給される空気圧を必要推力に応じた圧に
減圧するものである。
３ｂに対応した凹部４が形成されている。軸受本体１に
は、突部３ｂの軸方向端面と凹部４の軸方向端面との隙
間に圧力流体を供給するための第１と第２の加圧ポート
（推力制御用流体通路）５，６が形成されている。これ
ら加圧ポート５，６は電磁切替弁７および減圧弁８を介
してエア供給源９と接続されている。減圧弁８は、エア
供給源９から供給される空気圧を必要推力に応じた圧に
減圧するものである。
【００１６】また、軸部３ａを挿通するロッド挿通穴２
の内面には、静圧軸受部を構成するオリフィス穴１０，
１１が形成されている。これらオリフィス穴１０，１１
は、図２に示すようにロッド挿通穴２の周囲に等間隔で
複数個（図では４個）形成され、軸心部に向かって開口
している。オリフィス穴１０，１１の個数は、４個に限
るものではなく、円周方向に等間隔で配置されておれば
何個でもよい。オリフィス穴１０，１１は周回通路１２
ａ，１３ａを介して軸受ポート１２，１３と接続されて
おり、軸受ポート１２，１３は減圧弁１４を介してエア
供給源９と接続されている。したがって、オリフィス穴
１０，１１から吹き出す空気圧は同圧である。なお、減
圧弁１４はエア供給源９から供給される空気圧を静圧軸
受に適した一定圧に減圧するものである。
の内面には、静圧軸受部を構成するオリフィス穴１０，
１１が形成されている。これらオリフィス穴１０，１１
は、図２に示すようにロッド挿通穴２の周囲に等間隔で
複数個（図では４個）形成され、軸心部に向かって開口
している。オリフィス穴１０，１１の個数は、４個に限
るものではなく、円周方向に等間隔で配置されておれば
何個でもよい。オリフィス穴１０，１１は周回通路１２
ａ，１３ａを介して軸受ポート１２，１３と接続されて
おり、軸受ポート１２，１３は減圧弁１４を介してエア
供給源９と接続されている。したがって、オリフィス穴
１０，１１から吹き出す空気圧は同圧である。なお、減
圧弁１４はエア供給源９から供給される空気圧を静圧軸
受に適した一定圧に減圧するものである。
【００１７】なお、ロッド３の軸部３ａとロッド挿通穴
２とのクリアランスＣ1 、突部３ｂと凹部４とのクリア
ランスＣ2 は、それぞれ１０μｍ以下（望ましくは５μ
ｍ以下）に設定されている。したがって、ロッド３の半
径方向のガタは非常に小さい。
２とのクリアランスＣ1 、突部３ｂと凹部４とのクリア
ランスＣ2 は、それぞれ１０μｍ以下（望ましくは５μ
ｍ以下）に設定されている。したがって、ロッド３の半
径方向のガタは非常に小さい。
【００１８】ロッド３の軸受本体１から突出した部位に
は、ストッパ１５，１６が固定されており、このストッ
パ１５，１６が軸受本体１の両端面に当接することによ
って、ロッド３のストローク範囲が規定されている。こ
の実施例では、ロッド３のストローク範囲は１０ｍｍ以
下に設定されている。
は、ストッパ１５，１６が固定されており、このストッ
パ１５，１６が軸受本体１の両端面に当接することによ
って、ロッド３のストローク範囲が規定されている。こ
の実施例では、ロッド３のストローク範囲は１０ｍｍ以
下に設定されている。
【００１９】軸受ポート１２，１３から一定圧のエアを
供給すると、周回通路１２ａ，１３ａを介してオリフィ
ス１０，１１からエアが噴出され、ロッド３を軸受本体
１に対して非接触的に支承する静圧軸受の機能を発揮す
る。そのため、ロッド３と軸受本体１との間には摺動抵
抗が発生せず、始動時の静摩擦抵抗も発生しない。この
状態で、切替弁７によって一方の加圧ポート５から所定
圧のエアを供給し、他方の加圧ポート６をドレーンする
と、図１の突部３ｂの左側端面に圧力が作用し、ロッド
３には右方向への推力が発生する。この時、突部３ｂの
受圧面積が非常に小さいので、推力バラツキが非常に小
さく、高精度な推力制御を行なうことができる。例えば
突部３ｂの受圧面積Ｓｂを０．１ｃｍ2 とした場合、市
販の減圧弁８を使って０．２ＭＰａ±０．５％の圧縮エ
アを加圧ポート５から供給すると、設定値に対して±
１．０ｇｆ以下の精度で推力を制御することが可能とな
る。そのため、極めて小さな推力でロッド３を軸方向に
作動させることができる。加圧ポート６からエアを供給
した場合も、推力の方向が逆になるだけで、同様の効果
が得られる。
供給すると、周回通路１２ａ，１３ａを介してオリフィ
ス１０，１１からエアが噴出され、ロッド３を軸受本体
１に対して非接触的に支承する静圧軸受の機能を発揮す
る。そのため、ロッド３と軸受本体１との間には摺動抵
抗が発生せず、始動時の静摩擦抵抗も発生しない。この
状態で、切替弁７によって一方の加圧ポート５から所定
圧のエアを供給し、他方の加圧ポート６をドレーンする
と、図１の突部３ｂの左側端面に圧力が作用し、ロッド
３には右方向への推力が発生する。この時、突部３ｂの
受圧面積が非常に小さいので、推力バラツキが非常に小
さく、高精度な推力制御を行なうことができる。例えば
突部３ｂの受圧面積Ｓｂを０．１ｃｍ2 とした場合、市
販の減圧弁８を使って０．２ＭＰａ±０．５％の圧縮エ
アを加圧ポート５から供給すると、設定値に対して±
１．０ｇｆ以下の精度で推力を制御することが可能とな
る。そのため、極めて小さな推力でロッド３を軸方向に
作動させることができる。加圧ポート６からエアを供給
した場合も、推力の方向が逆になるだけで、同様の効果
が得られる。
【００２０】図３は本発明にかかるシリンダ装置の第２
実施例を示し、図１と同一部品には同一符号を付して重
複説明を省略する。この実施例では、ロッド３の一端部
に突部３ｂを有し、他端部に突部３ｂより小径な軸部３
ａを有するものであり、推力制御用流体通路である加圧
ポート５は１個のみ形成され、突部３ｂの軸方向一端面
と凹部４の軸方向一端面との隙間に開口している。凹部
４の他端面は軸受本体１の側面へ開放し、突部３ｂは凹
部４から軸方向へ突出している。また、軸部３ａを取り
囲むロッド挿通穴２の内周面、および突部３ｂを取り囲
む凹部４の内周面には、それぞれオリフィス穴１０，１
１が開口しており、オリフィス穴１０，１１には軸受ポ
ート１２，１３を介して一定圧の圧力流体が供給され、
静圧軸受を構成している。
実施例を示し、図１と同一部品には同一符号を付して重
複説明を省略する。この実施例では、ロッド３の一端部
に突部３ｂを有し、他端部に突部３ｂより小径な軸部３
ａを有するものであり、推力制御用流体通路である加圧
ポート５は１個のみ形成され、突部３ｂの軸方向一端面
と凹部４の軸方向一端面との隙間に開口している。凹部
４の他端面は軸受本体１の側面へ開放し、突部３ｂは凹
部４から軸方向へ突出している。また、軸部３ａを取り
囲むロッド挿通穴２の内周面、および突部３ｂを取り囲
む凹部４の内周面には、それぞれオリフィス穴１０，１
１が開口しており、オリフィス穴１０，１１には軸受ポ
ート１２，１３を介して一定圧の圧力流体が供給され、
静圧軸受を構成している。
【００２１】この実施例では、オリフィス１０，１１か
ら一定圧の圧力流体を噴出させることで、ロッド３はフ
ローティング状態で支持され、摺動抵抗を低減できる。
そして、加圧ポート５より圧力流体を供給することによ
り、ロッド３に左方向への推力を与えることができる。
なお、ロッド３に対する右方向への戻り力は、図示しな
い手段（エアシリンダやボイスコイルなど）によって作
用させればよい。この場合も、突部３ａの受圧面積を
０．１ｃｍ2 以下とすることで、推力バラツキを抑制す
ることができる。
ら一定圧の圧力流体を噴出させることで、ロッド３はフ
ローティング状態で支持され、摺動抵抗を低減できる。
そして、加圧ポート５より圧力流体を供給することによ
り、ロッド３に左方向への推力を与えることができる。
なお、ロッド３に対する右方向への戻り力は、図示しな
い手段（エアシリンダやボイスコイルなど）によって作
用させればよい。この場合も、突部３ａの受圧面積を
０．１ｃｍ2 以下とすることで、推力バラツキを抑制す
ることができる。
【００２２】上記実施例では、静圧軸受を軸受本体のロ
ッド挿通穴の内周面に形成したオリフィス穴で構成した
が、従来と同様に多孔質のスリーブを用いて静圧軸受を
構成することもできる。その他、種々の公知の方法を用
いてもよい。また、推力制御用流体通路（加圧ポート）
から供給される圧力流体によってロッドに推力を与える
方法のほか、ロッドに予め一方向の初期推力を与えてお
き、推力制御用流体通路から供給される圧力流体によっ
て初期推力を打ち消す方向の推力を与えることで、対象
物に作用する推力を制御してもよい。
ッド挿通穴の内周面に形成したオリフィス穴で構成した
が、従来と同様に多孔質のスリーブを用いて静圧軸受を
構成することもできる。その他、種々の公知の方法を用
いてもよい。また、推力制御用流体通路（加圧ポート）
から供給される圧力流体によってロッドに推力を与える
方法のほか、ロッドに予め一方向の初期推力を与えてお
き、推力制御用流体通路から供給される圧力流体によっ
て初期推力を打ち消す方向の推力を与えることで、対象
物に作用する推力を制御してもよい。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、ロッドの両端部を静圧軸受部によってフローテ
ィング状態で支持したので、摺動抵抗が殆どなく、軸方
向へ円滑に移動できる。また、ロッドの外周部に受圧面
積の小さな突部を設け、推力制御用流体通路から圧力流
体を突部の軸方向端面と凹部の軸方向端面との隙間に供
給することで、ロッドに推力を発生させるようにしたの
で、発生する推力は小さく、推力バラツキも小さい。そ
のため、微小荷重を必要とする実装機の真空吸着装置な
どに好適なシリンダ装置を実現できる。
よれば、ロッドの両端部を静圧軸受部によってフローテ
ィング状態で支持したので、摺動抵抗が殆どなく、軸方
向へ円滑に移動できる。また、ロッドの外周部に受圧面
積の小さな突部を設け、推力制御用流体通路から圧力流
体を突部の軸方向端面と凹部の軸方向端面との隙間に供
給することで、ロッドに推力を発生させるようにしたの
で、発生する推力は小さく、推力バラツキも小さい。そ
のため、微小荷重を必要とする実装機の真空吸着装置な
どに好適なシリンダ装置を実現できる。
【図１】本発明にかかるシリンダ装置の第１実施例の断
面図である。
面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】本発明にかかるシリンダ装置の第２実施例の断
面図である。
面図である。
１ 軸受本体 ２ ロッド挿通穴 ３ ロッド ３ａ 軸部 ３ｂ 突部 ４ 凹部 ５，６ 加圧ポート（推力制御用流体通路） １０，１１ オリフィス（静圧軸受部）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新田 晃一 京都府長岡京市天神２丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 Ｆターム(参考） 3H081 AA04 BB03 CC11 CC25 DD02 DD21 DD33 EE20 EE29 HH10 3J102 AA02 BA08 CA11 EA02 EA06 EA13 GA01
Claims (4)
- 【請求項１】軸受本体のロッド挿通穴内に挿通されたロ
ッドを備え、上記ロッドの軸部の外周面に軸部の断面積
より十分に小さい受圧面積を有する突部を設け、軸受本
体のロッド挿通穴内に上記突部に対応した凹部を設け、
上記突部の軸方向端面と凹部の軸方向端面との隙間に圧
力流体を供給するための推力制御用流体通路を軸受本体
に形成するとともに、上記推力制御用流体通路のロッド
軸方向両側に、ロッドを軸受本体に対して非接触的に支
承する一対の静圧軸受部を設けたことを特徴とするシリ
ンダ装置。 - 【請求項２】上記ロッドの突部の受圧面積は０．１ｃｍ
2 以下であることを特徴とする請求項１に記載のシリン
ダ装置。 - 【請求項３】上記ロッドは中間部に突部を有し、両端部
に突部より小径な軸部を有し、上記突部の軸方向両端面
と凹部の軸方向両端面との隙間にそれぞれ第１の推力制
御用流体通路と第２の推力制御用流体通路とが開口して
いることを特徴とする請求項１または２に記載のシリン
ダ装置。 - 【請求項４】上記ロッドは一端部に突部を有し、他端部
に突部より小径な軸部を有し、上記推力制御用流体通路
は突部の軸方向一端面と凹部の軸方向一端面との隙間に
開口していることを特徴とする請求項１ないし３のいず
れかに記載のシリンダ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11221996A JP2001050211A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | シリンダ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11221996A JP2001050211A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | シリンダ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001050211A true JP2001050211A (ja) | 2001-02-23 |
Family
ID=16775466
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11221996A Pending JP2001050211A (ja) | 1999-08-05 | 1999-08-05 | シリンダ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001050211A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008288399A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Panasonic Corp | 軸受とこれを使用した実装機 |
| US7701811B2 (en) | 2001-07-11 | 2010-04-20 | Sony Corporation | Editing apparatus for optical disc reproducing device |
| KR20180080580A (ko) * | 2017-01-04 | 2018-07-12 | 한국기계연구원 | 횡력이 제어되는 고 정밀 동심형 고 응답성의 유압서보 액츄에이터 |
-
1999
- 1999-08-05 JP JP11221996A patent/JP2001050211A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7701811B2 (en) | 2001-07-11 | 2010-04-20 | Sony Corporation | Editing apparatus for optical disc reproducing device |
| US7782719B2 (en) | 2001-07-11 | 2010-08-24 | Sony Corporation | Editing apparatus for optical disc reproducing device |
| JP2008288399A (ja) * | 2007-05-18 | 2008-11-27 | Panasonic Corp | 軸受とこれを使用した実装機 |
| KR20180080580A (ko) * | 2017-01-04 | 2018-07-12 | 한국기계연구원 | 횡력이 제어되는 고 정밀 동심형 고 응답성의 유압서보 액츄에이터 |
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