JP2001042337A - 液晶表示素子ならびにその製造方法 - Google Patents

液晶表示素子ならびにその製造方法

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JP2001042337A
JP2001042337A JP11214430A JP21443099A JP2001042337A JP 2001042337 A JP2001042337 A JP 2001042337A JP 11214430 A JP11214430 A JP 11214430A JP 21443099 A JP21443099 A JP 21443099A JP 2001042337 A JP2001042337 A JP 2001042337A
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Masami Kido
政美 城戸
Katsuhiko Kishimoto
克彦 岸本
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Sharp Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 少なくとも電極を有する一対の基板間に液晶
層を配設してなる液晶表示素子において、一対の基板を
一定間隔に規定するスペーサが、基板上に一定形状で配
置された感光性材料からなる被膜上にのみ配置された液
晶素子を提供すること。 【解決手段】 スペーサとして熱硬化性または熱可塑性
を有するビーズ8を使用し、感光性材料からなる被膜上
21に散布し加熱固着させた後、該被膜を露光、現像す
ることにより、画素部分2、3、4上にあるスペーサビ
ーズ8を除去しスペーサビーズ8を一定形状で被膜21
上に配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示素子に関す
る。さらに詳しくは、液晶表示素子の基板間隔を長期間
安定に規定し、なおかつ表示品位に優れた液晶表示素子
ならびにその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、液晶ディスプレイや液晶プロジ
ェクターなどに用いられている液晶表示素子は、少なく
とも電極と配向膜とを有する一対の基板間に液晶が注
入、封止された構造を持つ。これら一対の基板を一定の
間隔に規定するためには通常、一方の基板上にガラスや
プラスティックからなるビーズやロッド状のスペーサを
散布して、他方の基板と重ね合わせると言う方法が採ら
れている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
スペーサが液晶表示素子の画素内に存在すると液晶の配
向不良を引き起こし、表示品位を低下させる事がある。
【0004】また、特に大型の液晶表示素子を常時立て
て使用する場合などには、重力や振動等の影響により、
基板内に散布したスペーサが基板に沿って下方向に移動
するため、基板間隔に異常が生じる事もある。
【0005】このような問題を解決するために現在、主
に2種類の先行技術が提案されている。
【0006】第1の方法は、感光性を持つ高分子材料な
どを基板に塗布し、これをフォトリソ法により選択的に
剥離する事により、基板上にスペーサを形成する方法で
ある(特開平2−223922号公報、特開平6−17
5133号公報など。高分子スペーサ法と呼ぶ)。
【0007】しかしながら、このような高分子スペーサ
法には以下のような問題が有る。1つは、高分子スペー
サを形成するための高分子材料自体に起因するコストア
ップならびにその露光、現像による液晶表示素子作成工
程の増加ならびにコストアップであり、もう1つは、高
分子スペーサはスペーサビーズに比べて高さの精度が低
いと言う問題である。例えば、高分子材料などを基板に
塗布する方法のうち、最も精度が高いとされているスピ
ンコート法によっても、塗布被膜厚の精度は±3%であ
るとされている。よって、例えば5μmの高分子スペー
サには±0.15μmの高さむらが存在する事になり、
なおかつこの精度むらは基板サイズが大きくなればなる
ほど制御が困難になる。
【0008】これに比ベてスペーサビーズを基板上に散
布する方法においては、例えばビーズ径5μm±0.0
8μmの製品の作製、入手も可能である。よって第2の
方法としてスペーサビーズを基板上に選択的に配置し
て、画素領城に、スペーサビーズを残さないようにする
方法が複数提案されている。
【0009】例えば特開平4−110827号公報には
図7に示す技術が開示されている。これは画素電極部以
外に遮光膜22が存在する基板を用いて、これに光溶融
性感光スペーサビーズ23を散布した後に基板1裏面か
らの背面露光31により画素電極部6のスペーサビーズ
23を除去するものである。しかし本従来例は、遮光膜
22部分以外では露光に用いる紫外線を遮断しない基板
(例えばTFT基板)を用いる必要があるので、一般の
カラーフィルタ基板に対しては使用できない。
【0010】ここで、もともと製造コストが高いTFT
基板に新たな製造プロセスを追加する事は、歩留まりを
低下させてさらに製造コストを上昇させる可能性が有る
ので好ましい事ではない。
【0011】また、特開平7−270806号公報には
図8に示す技術が開示されている。これはTFT基板2
6上にゲート絶縁膜27、パッシベーション膜28、I
TO電極6および配向膜29を形成した後、熱溶融性樹
脂を含有した黒色感光性樹脂30を塗布して露光32
し、次いでスペーサビーズ8を散布して加熱する事によ
りスペーサビーズ8と黒色感光性樹脂30との密着性を
あげ、これを現像する事により黒色感光性樹脂30をブ
ラックマトリクスとすると同時に、ブラックマトリクス
部分以外のビーズを除去するものである。しかし本従来
例は、熱溶融性樹脂を含有した黒色感光性樹脂30とい
う、一般の液晶表示素子作製には使用しない特殊な材料
を用いる上に、TFT基板26側への新たなブラックマ
トリクス形成という本来不要な工程を必要とするので素
子の作製工程数や材料コストの増加によって製造コスト
を上昇させる可能性が有るので好ましい事ではない。加
えて本従来例においては基板上26に配向膜29を形成
し、ラビングなどの配向処理を行った後に、黒色感光性
樹脂30の塗布、現像を行っているが、この方法は感光
性樹脂材料に含まれている有機溶剤や、現像に用いられ
る現像液に配向膜29がさらされるために配向膜29が
汚染され、配向規制力の低下が起こるので好ましい方法
ではない。
【0012】さらに特開平9−292619号公報には
黒色感光性樹脂を用いてブラックマトリクスを作成する
際に、その樹脂にスペーサビーズを混入しておき、現
像、露光によりブラックマトリクス部分以外のビーズを
除去するという技術が開示されている。しかし本従来例
においては、まずスペーサビーズを粘性の高い樹脂に均
一分散する事が難しいという問題がある。黒色感光性樹
脂内でビーズが均一に分散されないと、基板内でスペー
サビーズの分布が不均一になり、基板間隔の規定ができ
なくなる。また、本従来例にはビーズを混入した樹脂を
基板全体に均一に塗る事が難しいという問題もある。例
えばもっとも一般的な溶液塗布方法であるスピンコート
法によっては、遠心力により基板中央と周辺部でのスペ
ーサビーズ密度が変わってくる事がある。
【0013】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、液晶表示素子の基板間隔を正確に制御できると言う
スペーサビーズの特長を生かしつつ、画素内部にあると
表示品位を落とす事があり、また重力や振動等の影響を
受けやすいという欠点を補う事により、液晶表示素子の
基板間隔を長期間安定に規定し、なおかつ表示品位に優
れた液晶表示素子を提供することを目的とし、さらにそ
れらを比較的安価に製造する方法を提供することを目的
としている。
【0014】
【課題を解決するための手段】本発明による液晶表示素
子は、少なくとも電極を有する一対の基板間に液晶層を
配設してなる液晶表示素子であって、該一対の基板を一
定間隔に規定するスペーサが熱硬化性または熱可塑性を
有し、且つ、該スペーサが、該基板上に一定形状で配置
された感光性材料からなる被膜上にのみ配置されている
事を特徴とする液晶表示素子もしくは、少なくとも電極
を有する一対の基板間に液晶層を配設してなる液晶表示
素子であって、該一対の基板を一定間隔に規定するスペ
ーサが熱硬化性または熱可塑性を有し、且つ、該基板上
に接着または固着された該スペーサが、該基板上に一定
形状で配置された感光性材料からなる被膜下にのみ配置
されている事を特徴とする液晶表示素子であり、このこ
とにより上記問題を解決できる。
【0015】ここで本発明に使用する、スペーサは、基
板を一定間隔に規定するための熱硬化性または熱可塑性
を有さないスペーサのコアの表面に熱硬化性または熱可
塑性を有した高分子層を形成した、少なくとも2層構造
である事が好ましく、さらに遮光性を有していても良
い。
【0016】また、本発明による液晶表示素子は、上記
感光性材料からなる被膜が液晶表示素子のブラックマト
リクスを兼ねている事を特徴とする液晶表示素子であ
り、さらには上記液晶層が、上記一対の基板の少なくと
も一方に形成された壁によって分割された複数の液晶頒
域からなり、該複数の液晶領域内の液晶分子は、該一対
の基板に垂直な軸を中心に軸対称配向している液晶表示
素子(特開平6−301015号公報、特開平7−12
0728号公報等。軸対称配向(AxiallySym
metrical Alignment Microc
e11)である事からASMと呼ばれ、広視野角な液晶
表示素子である)において、上記感光性材料からなる被
膜が、該一対の基板の少なくとも一方に形成された壁で
ある事を特徴とする液晶表示素子であり、このことによ
っても上記問題を解決できる。
【0017】さらに、本発明による液晶表示素子の製造
方法は、該一対の基板を一定間隔に規定するスペーサが
熱硬化性または熱可塑性を有し、且つ、該基板上に感光
性材料からなる被膜を形成する工程と、該被膜上に該ス
ペーサを散布する工程と、加熱によって該スペーサを該
被膜上に接着または固着する工程と、該感光性材料を選
択的に除去する事により該スペーサを該被膜上に選択的
に配置する工程を含む液晶表示素子の製造方法、もしく
は該一対の基板を一定間隔に規定するスペーサが熱硬化
性または熱可塑性を有し、且つ、該基板上に該スペーサ
を散布する工程と、加熱によって該スペーサを該基板上
に接着または固着する工程と、該基板上に感光性材料か
らなる被膜を形成する工程と、該感光性材料を選択的に
除去する事により該スペーサを該基板上に選択的に配置
する工程を含む液晶表示素子の製造方法であり、このこ
とによっても上記問題を解決できる。
【0018】以下、本発明の作用について説明する。
【0019】本発明においては、基板1上に感光性材料
からなる被膜7を形成し、ここに熱硬化性または熱可塑
性を有するスぺーサビーズ8を散布して、加熱によりこ
れらのスペーサビーズ8を被膜上に固定した後、露光、
現像により被膜の一部を剥離する事により、スペーサビ
ーズ8を選択的に配置する。このように、高分子スペー
サに比べて基板間隔の制御精度の高いスペーサビーズを
用いることにより、および液晶表示素子の画素内部にス
ペーサビーズが存在しないことにより、スペーサビーズ
が原因となる液晶の配向むらによる表示品位の低下が無
い液晶表示素子を作製する事が出来る。
【0020】さらにこの方法によれば、熱硬化性または
熱可塑性を有するスペーサビーズ8を用いているので、
スペーサビーズ8が少なくとも片側の基板に固定され
る。そのためスペーサビーズ8が重力、振動等の影響を
受けて移動する事が無く、長期間の使用においても安定
した基板間隔の制御が可能になる。
【0021】なお、ここで「熱硬化性」は加熱により1
度基板に接着すると、基本的に以後の熱工程によって軟
化しない性質を表す言葉として、「熱可塑性」とは、加
熱により何回でも軟化し、固着性を示す性質を表す言葉
として使用している。ただし本発明においては、これら
のスペーサビーズ8はあくまで基板間隔を規定するもの
であり、基板同士を接着する事は重視していないので、
どちらの性質を示すスペーサビーズを用いても大きな違
いはない。
【0022】また、ここで遮光性スペーサビーズを用い
る事は、万一画素部分にスペーサビーズ8が残った場合
においても表示素子の白抜けを防ぐために有効(遮光性
スペーサビーズを用いた場合、そこは黒点となるが、白
抜けよりも黒点の方が表示品位を下げないとされてい
る)である。
【0023】さらに上記感光性材料からなる被膜7が、
液晶表示素子において必須の部材であるブラックマトリ
クスを兼ねている事により、従来例に見られるように特
殊な材料を用いる事も、スペーサビーズ8を選択配置す
るためだけの余分な製造工程を導入する必要も無い。よ
って極めてコストアップ要因の少ない製造方法を提供す
る事が出来る。
【0024】同じ理由により、ASMと呼ばれる構造を
採る液晶表示素子においても、必須の部材である壁構造
26を上記感光性材料からなる被膜として用いる事が好
ましい。
【0025】また本発明においては、基板上に熱硬化性
または熱可塑性を有するスペーサビーズ8を散布して、
加熱によりこれらのスペーサビーズ8を基板1上のオー
バーコート層上およびITO電極6上に固定した後、こ
こに感光性材料からなる被膜7を形成し、露光、現像に
より被膜の一部を剥離する事により、スペーサビーズ8
を選択的に配置してもよい。この場合には基板上に固定
されたスペーサビーズ8のうち、被膜を剥離した部分の
スペーサビーズを強制的に取り除かねばならないが、こ
れは現像時または現像後の高圧水流による洗浄や、ブラ
シを用いた洗浄などによって良好に除去可能である。こ
のような順番の工程であっても上記と同様の利点のある
液晶表示素子が提供される。
【0026】なお、本発明に用いる熱硬化性または熱可
塑性を有するスペーサビーズは、例えば特開平1−24
7155号公報や特開平9−80448号公報などに示
されるように、ガラスやプラスティックなどからなる微
粒子表面にオレフィン系樹脂、アクリル系樹脂、ビニル
樹脂などをコーティングした少なくとも2層構造(3層
以上であっても構わない)を採る公知のスペーサ材料で
あり、特別なコストアップ要因になるものではない。
【0027】
【発明の実施の形態】以下、実施形態を示しつつ本発明
を更に詳細に説明する。
【0028】(実施形態1)本発明に用いるカラーフィ
ルター付き基板の作成方法について図1を用いて以下に
述べる。
【0029】ガラス基板1上に緑、赤、青各色の画素形
成を、各色のドライフィルムレジスト(DFR)2、
3、4をこの順番に貼りつけ、露光、現像および焼成を
繰り返すことにより行う。図1(a)はガラス基板、図
1(b)はガラス基板に1色目DFRを貼り付けした様
子、図1(c)はその後マスク露光、現像、焼成した様
子、図1(d)は2色目DFRを貼り付けした様子、図
1(e)はその後マスク露光、現像、焼成した様子、図
1(f)は3色目DFRを貼り付けした様子、図1
(g)はその後背面露光、現像、焼成した様子をそれぞ
れ示す。其々の焼成後の膜厚は1.5μmである。
【0030】使用DFRは富士フィルム社製DFR(商
品名トランサー)であり、最後の青作成時に背面露光を
用いる事により、全ての着色層間隙を青のDFR4で埋
める(これにより、着色層表面の平坦化が可能とな
る)。
【0031】この基板にオーバーコート(新日鐵化学社
製V259−PA)5をスピンナーで2μm厚に塗布、
焼成し(図1(h))、次にスパッタ法によりITOを
形成した後、フォトレジスト塗布、マスクによる露光及
び現像、エッチングを経てストライプ状のITO電極6
を形成する(図1(i))。
【0032】次に、この基板に1.5μmの黒色感光性
樹脂(新日鐵化学社製V259−BK0)7を塗布、乾
燥後にマスクによる露光を行う(図1(j))。更にこ
こに3.5μm径の熱可塑性スペーサビーズ(積水ファ
インケミカル社製ミクロパール)8を乾式法により散布
し、100℃に加熱する事により樹脂7上にスペーサビ
ーズ8を固定する(図1(k))。これを現像、焼成し
てカラーフィルタ基板とし(図1(l))、その後これ
に配向膜を塗布して液晶素子を作製する。
【0033】対向基板として、ストライプ状のITO電
極を形成したガラス基板を用い、両基板に配向膜(日産
化学工業社製SE−7511L)を塗布、焼成する。こ
のSE−7511Lは垂直配向膜であり、誘電異方性が
負の液晶材料と組み合わせれば、ラビングなどの配向処
理は必ずしも必要ではない。
【0034】両基板をボンド(三井東圧社製ストラクト
ボンド)を用いて貼り合わせ、誘電異方性が負の液晶材
料を注入して液晶パネルとする。
【0035】このようにすれば、一般の液晶表示素子作
製に用いられる材料のみを用いて、高分子スペーサ形成
時に必要な、高分子材料塗布、露光、現像といった余分
な工程を必要とせず、また通常のスペーサビーズ散布に
よって生じる画素内部のスペーサによる表示品位低下
や、長期使用時のスペーサ移動等を生じることの無い液
晶表示素子を作製することができる。
【0036】(実施形態2)ここでは、液晶表示素子と
してプラズマアドレス液晶表示素子(PALC)を用い
る場合について説明する。PALCとは図2に示すよう
に、ガラス基板1上にカソード13およびアノード14
を有し、リブ隔壁12、ガラス基板1、誘電セパレータ
9により仕切られた空間にプラズマ放電部11を有す
る。そして誘電セパレータ9と上部ガラス基板33に形
成された電極10との間に配設された液晶層20を有す
る構造となる。片側電極として誘電セパレータ(一般に
50μm〜l00μm程度の厚みのガラスからなる)9
を用いているために、通常のITO付きガラス基板を用
いた液晶表示素子に比べて、基板間隔の変動が表示むら
に与える影響が大きい。
【0037】カラーフィルター基板の構成は実施形態1
に準じるが、スペーサビーズ8として遮光性を示す材料
を用いる。さらに対向基板としては、公知の方法によっ
て作製したプラズマ基板を使ってPALCを作製する。
【0038】このようにすれば、一般の液晶表示素子作
製に用いる材料のみを用いて、高分子スペーサ形成時に
必要な、余分な高分子材料塗布、露光、現像といった工
程を必要とせず、通常のスペーサ散布によって生じる画
素内部のスペーサビーズによる表示品位低下や長期使用
時のスペーサ移動の無い液晶表示素子を作製することが
できると共に、このPALCにおいては高分子スペーサ
を用いるよりも基板間隔が正確に規定されるので、基板
間隔の変動に起因する表示むらが生じにくい事が分か
る。なお、万一画素部にスペーサビーズの一部が残る事
が有っても、遮光性スペーサビーズを用いる事で表示品
位の低下を最小限に抑える事が出来る。
【0039】(実施形態3)ここでは、液晶表示素子と
してプラズマアドレス液晶表示素子(PALC)を用
い、かつ、その液晶表示部がASM構造を採る場合につ
いて図3、図5を用いて説明する。
【0040】ブラックマトリクス18ならびに緑、赤、
青各色画素17の形成を各色DFRを用いて通常のマス
ク露光により行う(図5(a)、図5(b))。ここに
オーバーコート5を塗布、焼成し、さらにITOのスト
ライプ電極6を形成する(図5(c))。その後感光性
樹脂(新日鐵化学杜製V259−PA)21を1μm厚
になるように塗布、乾燥、マスク露光を行い(図5
(d))、その後4μm径の熱可塑性スペーサビーズ
(積水ファインケミカル社製ミクロパール)8を乾式法
により散布し、120℃に加熱する事により感光性樹脂
21上にスペーサビーズ8を固定する(図5(e))。
【0041】これを現像する事で井形の壁16上にのみ
スペーサ8が配置されたカラーフィルター付き基板とし
(図5(f))、さらにこれに配向膜を塗布した後、液
晶表示素子を作製する。
【0042】この基板を用いて公知の方法によってPA
LCを作製すれば、通常のASM構造において高分子ス
ペーサを形成する際に必要な高分子材料塗布、露光、現
像といった工程を必要とせず、通常のスペーサビーズ散
布によって生じる画素内部のスペーサビーズによる表示
品位低下や、長期使用時のスペーサビーズ移動などの無
い液晶表示素子を作製することができると共に、このP
ALCにおいては高分子スペーサを用いるよりも基板間
隔が正確に規定されるので、基板間隔の変動に起因する
表示むらが生じにくい事が分かる。
【0043】(実施形態4)ここではスペーサビーズ散
布工程と感光性被膜を形成する工程の順番が、上記実施
形態と異なる場合について説明する。
【0044】実施形態1と同様にしてITOストライプ
電極6までを形成した(図6(a)、図6(b))基板
に対し、4μm径の熱可塑性スペーサビーズ(積水ファ
インケミカル社製ミクロパール)8を乾式法により散布
し、l00℃に加熱する事により基板上にスペーサビー
ズ8を固定する(図6(c))。この基板に1.0μm
の黒色感光性樹脂(新日鐵化学社製V259−BK0)
7を塗布、乾燥後にマスクによる露光を行い(図6
(d))、現像、焼成して(図6(e))カラーフィル
ター基板とする。中性洗剤とブラシを用いた洗浄を行う
事でブラックマトリクス部分7以外に残ったスペーサビ
ーズ8を排除する(図6(f))。
【0045】この基板を用いて実施例1と同様に液晶パ
ネルを作製すれば、一般の液晶表示素子作製に用いる材
料のみを用いて、高分子スペーサ形成時に必要な、余分
な高分子材料塗布、露光、現像といった工程を必要とせ
ず、通常のスペーサ散布によって生じる画素内部のスペ
ーサビーズによる表示品位低下や、長期使用時のスペー
サ移動の無い液晶表示素子を作製することができる。さ
らにこの場合、比較形態に比べて高精度に基板間隔を保
ちつつ、実施形態1〜3よりもさらにスペーサビーズの
基板への接着強度を向上させることができる。
【0046】(実施形態5)ここではスペーサビーズ散
布工程と感光性被膜の露光工程の順番が、上記実施形態
と異なる場合について説明する。
【0047】実施形態1同様にしてITOストライプ電
極までを形成した基板に対し、1.5μmの黒色感光性
樹脂(新日鐵化学社製V259−BK0)を塗布、乾燥
後に3.5μm径の熱可塑性スペーサビーズ(積水ファ
インケミカル社製ミクロパール)を乾式法により散布
し、100℃に加熱する事により樹脂上にビーズを固定
する。さらにマスク露光を行い、現像する事でカラーフ
ィルター付き基板とする。この基板を用いて実施例1同
様に液晶パネルを作製すれば、一般の液晶表示素子作製
に用いる材料のみを用いて、高分子スペーサ形成時に必
要な、余分な高分子材料塗布、露光、現像といった工程
を必要とせず、通常のスペーサ散布によって生じる画素
内部のスペーサビーズによる表示品位低下や長期使用時
のスペーサ移動の無い液晶表示素子を作製することがで
きる。
【0048】以上のように、スペーサビーズ散布と露光
工程の順番はどちらが先でも構わない。ただし、ビーズ
散布後に露光する場合の長所としては、露光前の感光性
被膜は露光後よりも柔らかいのでビーズの固着性をより
強固にする事ができる。また、場合によっては感光性被
膜に対する溶解性を持つ溶媒を含む溶液に固着性ビーズ
を混ぜて湿式散布を行ったり、散布後に感光性被膜に対
する溶解性を持つ溶媒を含む溶液を基板状にスプレーす
る事により、さらにビーズの固着性を上げる事が期待で
きる。
【0049】(比較形態)実施形態3同様にオーバーコ
ート5ならびに高分子壁16まで作成した基板に、さら
に感光性樹脂(新日鐵化学社製V259−PA)を5μ
m厚になるように塗布、乾燥、マスク露光を行って高分
子スペーサ19を形成する(図4)。これを用いてPA
LCを作製すると、わずかに表示むら(例えば、単色中
間調表示時)微妙な明るさむら)が確認され、高分子ス
ペーサの高さを測定すると±0.15μm程度の高さむ
らが生じており、これが表示むらの原因だと考えられ
る。
【0050】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、通常のス
ペーサビーズ散布法のような画素内部へのスぺーサビー
ズ混入による表示品位の低下や長期使用時のスペーサビ
ーズ移動が無く、かつ高分子スペーサ法のように特別な
工程が必要ないのでコスト的に有利な液晶表示素子を提
供できる。なお本発明によれば、スペーサビーズの直径
精度は高分子スペーサの高さ精度以上に高いので、基板
間隔の制御精度が高い液晶表示素子を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態1におけるカラーフィルター
基板作成工程を示す説明図である。
【図2】本発明の実施形態2におけるPALCの断面該
略図である。
【図3】本発明の実施形態3におけるカラーフィルター
基板の概略図である。
【図4】比較形態におけるカラーフィルター基板の概略
図である。
【図5】本発明の実施形態3におけるカラーフィルター
基板作成工程を示す説明図である。
【図6】実施形態4におけるカラーフィルター基板作成
工程を示す説明図である。
【図7】先行技術に示された液晶基板作成工程を示す説
明図である。
【図8】先行技術に示された液晶基板作成工程を示す説
明図である。
【符号の説明】
1 ガラス基板 2 1色目ドライフィルムレジスト 3 2色目ドライフィルムレジスト 4 3色目ドライフィルムレジスト 5 オーバーコート 6 ITO電極 7 黒色感光性樹脂 8 スペーサビーズ 17 着色画素部 18 ブラックマトリクス 20 液晶層 21 感光性樹脂 22 遮光膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H089 HA36 KA15 LA03 LA07 LA16 LA19 LA20 MA15X NA14 NA15 NA24 NA25 NA27 NA44 NA45 NA53 NA60 PA02 PA09 QA05 QA12 QA14 SA01 TA04 TA06 TA07 TA13 5C094 AA03 AA42 AA43 AA55 BA43 CA19 CA24 EC03 ED20 FB02 GA10 GB01

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも電極を有する一対の基板間に
    液晶層を配設してなる液晶表示素子であって、該一対の
    基板を一定間隔に規定するスペーサが熱硬化性または熱
    可塑性を有し、且つ、該スペーサが、該基板上に一定形
    状で配置された感光性材料からなる被膜上にのみ配置さ
    れている事を特徴とする液晶表示素子。
  2. 【請求項2】 少なくとも電極を有する一対の基板間に
    液晶層を配設してなる液晶表示素子であって、該一対の
    基板を一定間隔に規定するスペーサが熱硬化性または熱
    可塑性を有し、且つ、該基板上に接着または固着された
    該スペーサが、該基板上に一定形状で配置された感光性
    材料からなる被膜下にのみ配置されている事を特徴とす
    る液晶表示素子。
  3. 【請求項3】 前記被膜が感光性材料からなり、前記液
    晶表示素子のブラックマトリクスである事を特徴とする
    請求項1または請求項2に記載の液晶表示素子。
  4. 【請求項4】 前記液晶層が、前記一対の基板の少なく
    とも一方に形成された壁によって分割された複数の液晶
    領域からなり、該複数の液晶領域内の液晶分子は、該一
    対の基板に垂直な軸を中心に軸対称配向している液晶表
    示素子において、前記感光性材料からなる被膜が、該一
    対の基板の少なくとも一方に形成された壁である事を特
    徴とする請求項1または請求項2に記載の液晶表示素
    子。
  5. 【請求項5】 前記スペーサが、基板を一定間隔に規定
    するための熱硬化性または熱可塑性を有さないスペーサ
    のコア表面に熱硬化性または熱可塑性を有する高分子層
    を形成した、少なくとも2層構造である事を特徴とする
    請求項1〜請求項4のいずれかに記載の液晶表示素子。
  6. 【請求項6】 前記スペーサが遮光性を持つ事を特徴と
    する請求項1〜請求項5のいずれかに記載の液晶表示素
    子。
  7. 【請求項7】 少なくとも電極を有する一対の基板間に
    液晶層を配設してなる液晶表示素子の製造方法であっ
    て、該基板上に感光性材料からなる被膜を形成する工程
    と、該被膜上に該一対の基板を一定間隔に規定する熱硬
    化性または熱可塑性を有するスペーサを散布する工程
    と、加熱によって該スペーサを該被膜上に接着または固
    着する工程と、該感光性材料からなる該被膜を選択的に
    除去する事により該スペーサを該被膜上に選択的に配置
    する工程を含む事を特徴とする液晶表示素子の製造方
    法。
  8. 【請求項8】 少なくとも電極を有する一対の基板間に
    液晶層を配設してなる液晶表示素子の製造方法であっ
    て、該基板上に該一対の基板を一定間隔に規定する熱硬
    化性または熱可塑性を有するスペーサを散布する工程
    と、加熱によって該スペーサを該基板上に接着または固
    着する工程と、該基板上に感光性材料からなる被膜を形
    成する工程と、該感光性材料を選択的に除去する事によ
    り該スペーサを該基板上に選択的に配置する工程を含む
    事を特徴とする液晶表示素子の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101033460B1 (ko) * 2003-12-29 2011-05-09 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 어레이 기판 및 그 제조 방법
JP2016170417A (ja) * 2007-07-06 2016-09-23 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
CN111344635A (zh) * 2017-11-24 2020-06-26 株式会社Lg化学 用于生产基板的方法

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