JP2001028319A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
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- JP2001028319A JP2001028319A JP11201089A JP20108999A JP2001028319A JP 2001028319 A JP2001028319 A JP 2001028319A JP 11201089 A JP11201089 A JP 11201089A JP 20108999 A JP20108999 A JP 20108999A JP 2001028319 A JP2001028319 A JP 2001028319A
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- electrode
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 可動電極を移動方向にガイドするためのガイ
ドピンを固定電極側の端板にロー付けすると、固定電極
端板にメタライズ処理が必要になるし、横方向の応力で
ガイドピンにクラックが発生することがある。 【解決手段】 固定側端板３の中心部にガイドピン９を
摺動自在に支持するガイド部１７をロー付けまたは端板
から一体的に切り出し、ガイドピン９はガイド部１７に
対して摺動自在に設ける。ガイド部１７及びリード部１
０の長さＬ1，Ｌ2は、可動電極の移動最大長さより大き
い寸法にしてガイドピンの外れを防止する。
ドピンを固定電極側の端板にロー付けすると、固定電極
端板にメタライズ処理が必要になるし、横方向の応力で
ガイドピンにクラックが発生することがある。 【解決手段】 固定側端板３の中心部にガイドピン９を
摺動自在に支持するガイド部１７をロー付けまたは端板
から一体的に切り出し、ガイドピン９はガイド部１７に
対して摺動自在に設ける。ガイド部１７及びリード部１
０の長さＬ1，Ｌ2は、可動電極の移動最大長さより大き
い寸法にしてガイドピンの外れを防止する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、大電力送信機の発
振回路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導
加熱装置のタンク回路等に用いられる容量可変形の真空
コンデンサに関する。
振回路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘導
加熱装置のタンク回路等に用いられる容量可変形の真空
コンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図２は、従来の真空コンデンサの断面図
である。セラミック等の絶縁円筒１の両端側に銅製の円
筒管２ａ，２ｂを接合して円筒部を形成し、この円筒部
を固定側端板を兼ねた固定電極取付導体３と可動側端板
４とで閉塞して、コンデンサ部を収容する真空容器５を
形成している。
である。セラミック等の絶縁円筒１の両端側に銅製の円
筒管２ａ，２ｂを接合して円筒部を形成し、この円筒部
を固定側端板を兼ねた固定電極取付導体３と可動側端板
４とで閉塞して、コンデンサ部を収容する真空容器５を
形成している。
【０００３】固定電極取付導体３の内側には、径（半
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2…Ｆnを同心
円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極６を形成し
ており、また、この固定電極６の各電極板間の間隙内
に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異なる複
数の円筒状電極板Ｍ1，Ｎ2…Ｍnを可動電極取付導体７
に設けて可動電極８を形成している。
径）の異なる複数の円筒状電極板Ｆ1，Ｆ2…Ｆnを同心
円状に一定間隔をもって取り付けて固定電極６を形成し
ており、また、この固定電極６の各電極板間の間隙内
に、非接触状態で挿出入できるように、内径の異なる複
数の円筒状電極板Ｍ1，Ｎ2…Ｍnを可動電極取付導体７
に設けて可動電極８を形成している。
【０００４】固定電極取付導体３には、その内側で円筒
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン９が設けられる。可動電極取付導体８に
は、円筒状電極板Ｍ1〜Ｍnの同心部に、ガイドピン９を
挿入するガイド部１０ａをもつ可動リード部１０が設け
られる。
状電極板Ｆ1〜Ｆnの同心部に、円筒状電極板の軸線に沿
ってガイドピン９が設けられる。可動電極取付導体８に
は、円筒状電極板Ｍ1〜Ｍnの同心部に、ガイドピン９を
挿入するガイド部１０ａをもつ可動リード部１０が設け
られる。
【０００５】可動リード部１０と可動側端板４の間には
ベローズ１１がロー付けされ、電極側に真空空間を形成
しながら可動リード部１０の上下動が可能にされる。
ベローズ１１がロー付けされ、電極側に真空空間を形成
しながら可動リード部１０の上下動が可能にされる。
【０００６】ねじ受部１２は可動側端４の内側に立設さ
れ、内端部に鍔部１２ａが設けてある。１３は外周にね
じが螺設された可動リードボルトで、一端は可動リード
部１０の先端部に固定され、他端側は軸線に沿って鍔部
１２ａ内の空隙を遊貫してねじ受部１２内に突設されて
いる。１４は容量調整ナットで、可動リードボルト１３
が螺合するねじ孔を有し、その一端側はねじ受部１２内
に突出した可動リードボルト１３の端部に螺合し、ベア
リング等の軸受１５を介して鍔部１２ａの内底に回転自
在に取付けられている。１６は最大容量を調節するネジ
である。
れ、内端部に鍔部１２ａが設けてある。１３は外周にね
じが螺設された可動リードボルトで、一端は可動リード
部１０の先端部に固定され、他端側は軸線に沿って鍔部
１２ａ内の空隙を遊貫してねじ受部１２内に突設されて
いる。１４は容量調整ナットで、可動リードボルト１３
が螺合するねじ孔を有し、その一端側はねじ受部１２内
に突出した可動リードボルト１３の端部に螺合し、ベア
リング等の軸受１５を介して鍔部１２ａの内底に回転自
在に取付けられている。１６は最大容量を調節するネジ
である。
【０００７】なお、真空容器５の円筒部は、全体をセラ
ミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固定
電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
ミック等による絶縁円筒で形成してもよい。要は、固定
電極と可動電極とを電気的に絶縁されればよい。
【０００８】このように構成したコンデンサで、その静
電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に課電
し、調整ナット１４を回動させることにより、可動リー
ド部１０を軸線方向に移動させて固定電極６の電極板と
可動電極８の電極板との対向面積を変え、両電極６と８
間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
電容量の調整を行う場合は、可動電極と固定電極に課電
し、調整ナット１４を回動させることにより、可動リー
ド部１０を軸線方向に移動させて固定電極６の電極板と
可動電極８の電極板との対向面積を変え、両電極６と８
間に生ずる静電容量の値を連続的に変化させる。
【０００９】なお、固定電極６と可動電極８とは電気的
に絶縁されなければならないので、ガイドピン９と可動
リード部１０とは電気的に絶縁されなければならない
が、この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように
行う必要がある。それにはガイドピン９および可動リー
ド部１０のいずれか一方を絶縁材料で構成する必要があ
る。摺動性の円滑を保つためにガイドピン９をセラミッ
ク、特にアルミナによるセラミックで形成し、可動リー
ド部１０をリン青銅で形成することを好適とし、また、
ガイドピン９を金属性にし、その表面に滑性の優れたナ
イロン樹脂をコーティングしても絶縁を保ちながら円滑
な摺動を確保することができる。
に絶縁されなければならないので、ガイドピン９と可動
リード部１０とは電気的に絶縁されなければならない
が、この絶縁手段は、摺動の円滑性を阻害しないように
行う必要がある。それにはガイドピン９および可動リー
ド部１０のいずれか一方を絶縁材料で構成する必要があ
る。摺動性の円滑を保つためにガイドピン９をセラミッ
ク、特にアルミナによるセラミックで形成し、可動リー
ド部１０をリン青銅で形成することを好適とし、また、
ガイドピン９を金属性にし、その表面に滑性の優れたナ
イロン樹脂をコーティングしても絶縁を保ちながら円滑
な摺動を確保することができる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】従来の真空コンデンサ
では、固定電極６の電極板と可動電極８の電極板との空
隙を精度よく保持して可動電極８を移動させるため、ガ
イドピン９が設けられているが、このガイドピン９は固
定側端板３の中心にロー付け接合で固定されている。こ
こで、ガイドピン９がセラミック製の場合、ロー付け接
合するためには固定側端板３はメタライズ処理される。
では、固定電極６の電極板と可動電極８の電極板との空
隙を精度よく保持して可動電極８を移動させるため、ガ
イドピン９が設けられているが、このガイドピン９は固
定側端板３の中心にロー付け接合で固定されている。こ
こで、ガイドピン９がセラミック製の場合、ロー付け接
合するためには固定側端板３はメタライズ処理される。
【００１１】このような構造において、真空コンデンサ
の容量を多数回変化させると、ガイドピン９と可動リー
ド部１０のガイド部１０ａの間に横方向の応力が発生
し、この応力のためガイドピン９（セラミック製）にそ
の端面でクラックが発生し、固定電極６との接合部が破
損することがある。
の容量を多数回変化させると、ガイドピン９と可動リー
ド部１０のガイド部１０ａの間に横方向の応力が発生
し、この応力のためガイドピン９（セラミック製）にそ
の端面でクラックが発生し、固定電極６との接合部が破
損することがある。
【００１２】本発明の目的は、ガイドピン９のクラック
発生を防止した真空コンデンサを提供することにある。
発生を防止した真空コンデンサを提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を解
決するため、固定側端板にはガイドピンを摺動自在に支
持できるガイド部を設けることで固定側端板と該ガイド
部の間を機械強度を高めて固定し、このガイド部にガイ
ドピンを摺動自在に挿入することで端板のメタライズ処
理及びガイドピンのロー付けを不要にしながらガイド機
能を確保したもので、以下の構成を特徴とする。
決するため、固定側端板にはガイドピンを摺動自在に支
持できるガイド部を設けることで固定側端板と該ガイド
部の間を機械強度を高めて固定し、このガイド部にガイ
ドピンを摺動自在に挿入することで端板のメタライズ処
理及びガイドピンのロー付けを不要にしながらガイド機
能を確保したもので、以下の構成を特徴とする。
【００１４】円筒部の一端側に固定側端板、他端側に可
動側端板を有する真空容器と、前記固定側端板に複数の
円筒状電極板を同心状に取り付けて形成した固定電極
と、前記固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿
出入できるように複数の円筒状電極板を同心状に取り付
けて形成した可動電極と、前記可動電極の取付導体と前
記可動側端板との間に設けられ、真空状態を保持した状
態で前記可動電極の移動を可能とするベローズと、前記
可動電極を前記固定電極側に摺動自在にガイドするガイ
ド手段とを備えた真空コンデンサであって、前記ガイド
手段は、前記固定側端板の中心部に一体的に設けられる
ガイド部と、このガイド部に対向して前記可動側端板の
中心部に設けられる可動リード部と、前記ガイド部と可
動リード部とにそれぞれ摺動自在に挿入されるガイドピ
ンとを備えたことを特徴とする。
動側端板を有する真空容器と、前記固定側端板に複数の
円筒状電極板を同心状に取り付けて形成した固定電極
と、前記固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿
出入できるように複数の円筒状電極板を同心状に取り付
けて形成した可動電極と、前記可動電極の取付導体と前
記可動側端板との間に設けられ、真空状態を保持した状
態で前記可動電極の移動を可能とするベローズと、前記
可動電極を前記固定電極側に摺動自在にガイドするガイ
ド手段とを備えた真空コンデンサであって、前記ガイド
手段は、前記固定側端板の中心部に一体的に設けられる
ガイド部と、このガイド部に対向して前記可動側端板の
中心部に設けられる可動リード部と、前記ガイド部と可
動リード部とにそれぞれ摺動自在に挿入されるガイドピ
ンとを備えたことを特徴とする。
【００１５】また、前記ガイド部と可動リード部の軸方
向の長さは、それぞれ前記固定電極に対する前記可動電
極の最大移動長さより大きい寸法にしたことを特徴とす
る。
向の長さは、それぞれ前記固定電極に対する前記可動電
極の最大移動長さより大きい寸法にしたことを特徴とす
る。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態の構
成図で、縦断正面図を示している。同図が図２と異なる
部分は、固定側端板３にはガイドピン９の取り付け位置
に円筒状のガイド部１７を設けた点にある。
成図で、縦断正面図を示している。同図が図２と異なる
部分は、固定側端板３にはガイドピン９の取り付け位置
に円筒状のガイド部１７を設けた点にある。
【００１７】ガイド部１７は、固定側端板３と同じ部材
または同等の部材で作成され、固定側端板３にロー付け
される。ガイドピン９は、固定側端板３にロー付けされ
ることなく、摺動自在でガイド部１７に挿入される。ま
た、ガイドピン９は、可動リード部１０に対しても固定
されることなく、摺動自在にされる。
または同等の部材で作成され、固定側端板３にロー付け
される。ガイドピン９は、固定側端板３にロー付けされ
ることなく、摺動自在でガイド部１７に挿入される。ま
た、ガイドピン９は、可動リード部１０に対しても固定
されることなく、摺動自在にされる。
【００１８】ガイド部１７の長さ寸法Ｌ1及び可動リー
ド部１０の長さ寸法Ｌ2は、可動電極８の最大移動長さ
Ｌ0よりも大きくされ、可動電極８が最小容量位置にさ
れた場合にもガイドピン９がガイド部１７及び可動リー
ド部１０から外れないようにする。
ド部１０の長さ寸法Ｌ2は、可動電極８の最大移動長さ
Ｌ0よりも大きくされ、可動電極８が最小容量位置にさ
れた場合にもガイドピン９がガイド部１７及び可動リー
ド部１０から外れないようにする。
【００１９】したがって、本実施形態によれば、ガイド
ピン９は、固定側端板３にロー付けされることなく、ガ
イド部１７に挿入される構造にし、ガイド部１７を固定
側端板３にロー付けするため、ガイド部１７と固定側端
板３との間のロー付けはこれらが同一部材又は同等部材
にされて強固な構造を得ることができる。この構造によ
り、ガイドピン９がセラミック製にされる場合で、多数
回の容量変更操作がなされたときにもガイドピン９にク
ラックが発生するのを防止できる。また、固定側端板３
にはメタライズ処理が不要になる。
ピン９は、固定側端板３にロー付けされることなく、ガ
イド部１７に挿入される構造にし、ガイド部１７を固定
側端板３にロー付けするため、ガイド部１７と固定側端
板３との間のロー付けはこれらが同一部材又は同等部材
にされて強固な構造を得ることができる。この構造によ
り、ガイドピン９がセラミック製にされる場合で、多数
回の容量変更操作がなされたときにもガイドピン９にク
ラックが発生するのを防止できる。また、固定側端板３
にはメタライズ処理が不要になる。
【００２０】なお、ガイド部１７は、固定側端板３と一
体構造のものにした切り出し構造とすることができる。
この場合、ガイド部１７と固定側端板３とのロー付けも
不要になる。
体構造のものにした切り出し構造とすることができる。
この場合、ガイド部１７と固定側端板３とのロー付けも
不要になる。
【００２１】また、図１の実施形態はベローズ１１を可
動リード部１０に取付けた場合であるが、可動電極取付
導体７に取付けてもよく、また、可動リード１０は可動
電極取付導体と一体又は別個に設けた構造など、適宜設
計変更できる。
動リード部１０に取付けた場合であるが、可動電極取付
導体７に取付けてもよく、また、可動リード１０は可動
電極取付導体と一体又は別個に設けた構造など、適宜設
計変更できる。
【００２２】
【発明の効果】以上のように、本発明はガイドピンを固
定側端板に摺動自在に支持するガイド部を設けたため、
固定側端板とガイド部とを機械的強度を高めて固定又は
一体構造のものにでき、固定側端板をメタライズ処理す
ること及び固定側端板にガイドピンを直接にロー付けす
る必要性がなくなるし、ガイドピンのクラック発生を防
止できる。
定側端板に摺動自在に支持するガイド部を設けたため、
固定側端板とガイド部とを機械的強度を高めて固定又は
一体構造のものにでき、固定側端板をメタライズ処理す
ること及び固定側端板にガイドピンを直接にロー付けす
る必要性がなくなるし、ガイドピンのクラック発生を防
止できる。
【図１】本発明の実施形態の構成図。
【図２】従来の真空コンデンサの構成図。
１…絶縁円筒 ２ａ，２ｂ…円筒 ３…固定側端板 ４…可動側端板 ５…真空容器 ６…固定電極 ７…可動電極取付導体 ８…可動電極 ９…ガイドピン １０…可動リード部 １１…ベローズ １３…ねじ軸 １４…調整ナット １７…ガイド部 Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍn…円筒状電極板
Claims (2)
- 【請求項１】 円筒部の一端側に固定側端板、他端側に
可動側端板を有する真空容器と、 前記固定側端板に複数の円筒状電極板を同心状に取り付
けて形成した固定電極と、 前記固定電極の各円筒状電極板間に非接触状態で挿出入
できるように複数の円筒状電極板を同心状に取り付けて
形成した可動電極と、 前記可動電極の取付導体と前記可動側端板との間に設け
られ、真空状態を保持した状態で前記可動電極の移動を
可能とするベローズと、 前記可動電極を前記固定電極側に摺動自在にガイドする
ガイド手段とを備えた真空コンデンサであって、 前記ガイド手段は、前記固定側端板の中心部に一体的に
設けられるガイド部と、このガイド部に対向して前記可
動側端板の中心部に設けられる可動リード部と、前記ガ
イド部と可動リード部とにそれぞれ摺動自在に挿入され
るガイドピンとを備えたことを特徴とする真空コンデン
サ。 - 【請求項２】 前記ガイド部と可動リード部の軸方向の
長さは、それぞれ前記固定電極に対する前記可動電極の
最大移動長さより大きい寸法にしたことを特徴とする請
求項１に記載の真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20108999A JP3882406B2 (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20108999A JP3882406B2 (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001028319A true JP2001028319A (ja) | 2001-01-30 |
| JP3882406B2 JP3882406B2 (ja) | 2007-02-14 |
Family
ID=16435222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20108999A Expired - Lifetime JP3882406B2 (ja) | 1999-07-15 | 1999-07-15 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3882406B2 (ja) |
-
1999
- 1999-07-15 JP JP20108999A patent/JP3882406B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3882406B2 (ja) | 2007-02-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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