JPH1167590A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
- Publication number
- JPH1167590A JPH1167590A JP22211297A JP22211297A JPH1167590A JP H1167590 A JPH1167590 A JP H1167590A JP 22211297 A JP22211297 A JP 22211297A JP 22211297 A JP22211297 A JP 22211297A JP H1167590 A JPH1167590 A JP H1167590A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable lead
- movable
- bolt
- adjusting nut
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 容量調整ねじ部の寿命を延ばす。
【解決手段】 固定電極Ｆ1〜Ｆnと、可動電極Ｍ1〜Ｍn
取付導体１８が設けられた可動リード２と、可動リード
にロー付された可動リードボルト３２と、これに螺合す
る容量調整ナット３３と、真空容器１０の一部を構成す
るベローズ１９を備えた真空コンデンサにおいて、可動
リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付可能でか
つ非磁性でビッカス硬度（Ｈｖ）が２００以上のステン
レス又はニッケル合金あるいはセラミックで構成し、調
整ナット３３を可動リードボルトと同等の硬度を有する
材料で構成する。調整ナット３３のねじ部にはベローズ
１９に加わる大気圧による荷重が常に加わっているが、
可動リードボルト３２は従来用いていたリン青銅（Ｈｖ
１３５）より十分硬度の大きい材料で構成されているの
で、調整ナット３３を回転させてもそのねじ部に摩耗や
変形が生じない。
取付導体１８が設けられた可動リード２と、可動リード
にロー付された可動リードボルト３２と、これに螺合す
る容量調整ナット３３と、真空容器１０の一部を構成す
るベローズ１９を備えた真空コンデンサにおいて、可動
リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付可能でか
つ非磁性でビッカス硬度（Ｈｖ）が２００以上のステン
レス又はニッケル合金あるいはセラミックで構成し、調
整ナット３３を可動リードボルトと同等の硬度を有する
材料で構成する。調整ナット３３のねじ部にはベローズ
１９に加わる大気圧による荷重が常に加わっているが、
可動リードボルト３２は従来用いていたリン青銅（Ｈｖ
１３５）より十分硬度の大きい材料で構成されているの
で、調整ナット３３を回転させてもそのねじ部に摩耗や
変形が生じない。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、大電力送信機の
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路あるいは
誘導加熱装置のタンク回路などに使用される真空コンデ
ンサに関するものである。
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源回路あるいは
誘導加熱装置のタンク回路などに使用される真空コンデ
ンサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１に、耐電圧及び静電容量特性を安定
させ、かつ全長の小形化を図った真空コンデンサを示
す。この真空コンデンサは、円筒状の固定電極Ｆ1〜Ｆn
が真空容器１０の１部を構成する固定電極取付導体１３
に固定され、円筒状の可動電極Ｍ1〜Ｍnが可動電極取付
導体１８に固定されている。
させ、かつ全長の小形化を図った真空コンデンサを示
す。この真空コンデンサは、円筒状の固定電極Ｆ1〜Ｆn
が真空容器１０の１部を構成する固定電極取付導体１３
に固定され、円筒状の可動電極Ｍ1〜Ｍnが可動電極取付
導体１８に固定されている。
【０００３】上記固定電極取付導体１３の固定電極軸心
部にガイドピン１が設けられ、可動電極取付導体１８は
ガイドピン１に案内されるガイド部５を有する可動リー
ド２に設けられている。可動リード２は真空容器の一部
を構成するベローズ１９の可動側に接続され、ベローズ
１９の固定側は真空容器の１部を構成する可動側端板１
４に固定されている。また、可動リード２の下端２ａに
は容量調整ナット３３の回動により軸方向に移動する可
動リードボルト３２がロー付けされている。
部にガイドピン１が設けられ、可動電極取付導体１８は
ガイドピン１に案内されるガイド部５を有する可動リー
ド２に設けられている。可動リード２は真空容器の一部
を構成するベローズ１９の可動側に接続され、ベローズ
１９の固定側は真空容器の１部を構成する可動側端板１
４に固定されている。また、可動リード２の下端２ａに
は容量調整ナット３３の回動により軸方向に移動する可
動リードボルト３２がロー付けされている。
【０００４】この真空コンデンサは容量調整ナット３３
を回動させると、可動リードボルト３２を介して可動リ
ードボルト３２がガイドピンに案内されて軸方向に移動
し、可動リード２に可動電極取付導体１８を介して接続
された可動電極Ｍ1〜Ｍnが軸方向に移動して固定電極Ｆ
1〜Ｆnとの対向面積が変わり静電容量が調整される。
を回動させると、可動リードボルト３２を介して可動リ
ードボルト３２がガイドピンに案内されて軸方向に移動
し、可動リード２に可動電極取付導体１８を介して接続
された可動電極Ｍ1〜Ｍnが軸方向に移動して固定電極Ｆ
1〜Ｆnとの対向面積が変わり静電容量が調整される。
【０００５】なお、調整ねじ３６は、最大静電容量値を
調整するとともに、最大静電容量位置より調整ナット３
３が左回転しないように設けたものである。
調整するとともに、最大静電容量位置より調整ナット３
３が左回転しないように設けたものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記図１の真空コンデ
ンサにおいて、可動リードボルト３２の材質は、リン青
銅など摺動性のある材質の可動リード２と真空ロー付で
きること及び加工性の良さから、リン青銅などの銅合金
が用いられていた。
ンサにおいて、可動リードボルト３２の材質は、リン青
銅など摺動性のある材質の可動リード２と真空ロー付で
きること及び加工性の良さから、リン青銅などの銅合金
が用いられていた。
【０００７】また、容量調整ナット３３の材質は、高強
度でかつ非磁性のステンレス鋼が使用されていた。この
容量調整ナットのねじ部にはベローズ１９に加わる大気
圧による荷重が常に加わっており、容量調整ナットを回
転させる時には数Ｋｇｆ・ｃｍ以下（ベローズ径により
異なる）の回転トルクが必要となる。
度でかつ非磁性のステンレス鋼が使用されていた。この
容量調整ナットのねじ部にはベローズ１９に加わる大気
圧による荷重が常に加わっており、容量調整ナットを回
転させる時には数Ｋｇｆ・ｃｍ以下（ベローズ径により
異なる）の回転トルクが必要となる。
【０００８】真空コンデンサは、半導体製造装置の電源
側マッチングボックスの一部品として用いられることが
多いが、近年半導体需要の増加に伴い、装置の長寿命化
が必要とされ、真空コンデンサの長寿命化も必要とされ
てきた。
側マッチングボックスの一部品として用いられることが
多いが、近年半導体需要の増加に伴い、装置の長寿命化
が必要とされ、真空コンデンサの長寿命化も必要とされ
てきた。
【０００９】しかしながら、銅合金の可動リードボルト
３２とステンレス鋼の容量調整ナット３３の組み合わせ
では大気圧によって容量調整ナットのねじ部に荷重が加
わるため、容量調整ナット回転時にボルト３２の銅合金
のねじ山が摩耗・変形されやすくねじ部の寿命が短い。
また、銅合金のねじ山の摩耗が進みねじ山が抜ける場合
もある。これは銅合金の強度が低く（リン青銅の硬度：
１３５Ｈｖ（Ｈｖ：ビッカース硬さ））真空ロー付時の
焼きなましによって更に低下したためである。
３２とステンレス鋼の容量調整ナット３３の組み合わせ
では大気圧によって容量調整ナットのねじ部に荷重が加
わるため、容量調整ナット回転時にボルト３２の銅合金
のねじ山が摩耗・変形されやすくねじ部の寿命が短い。
また、銅合金のねじ山の摩耗が進みねじ山が抜ける場合
もある。これは銅合金の強度が低く（リン青銅の硬度：
１３５Ｈｖ（Ｈｖ：ビッカース硬さ））真空ロー付時の
焼きなましによって更に低下したためである。
【００１０】この発明は、このような従来の問題点に鑑
みてなされたものであり、その目的とするところは、容
量調整ねじ部が長寿命となり、長寿命化される真空コン
デンサを提供することにある。
みてなされたものであり、その目的とするところは、容
量調整ねじ部が長寿命となり、長寿命化される真空コン
デンサを提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】この発明は、固定電極
と、可動電極及び可動電極取付導体を備えた可動リード
と、可動リードにロー付けされた可動リードボルトと、
このボルトと螺合する容量調整ナットと、真空容器の一
部を構成し可動側が可動リードに接続されたベローズを
備えた真空コンデンサにおいて、可動リードボルトを可
動リードと真空ロー付可能でかつ非磁性でビッカース硬
度が２００以上の材料で構成すると共に、容量調整ナッ
トを可動リードボルトと同等の硬度を有する材料で構成
したことを特徴とするものである。
と、可動電極及び可動電極取付導体を備えた可動リード
と、可動リードにロー付けされた可動リードボルトと、
このボルトと螺合する容量調整ナットと、真空容器の一
部を構成し可動側が可動リードに接続されたベローズを
備えた真空コンデンサにおいて、可動リードボルトを可
動リードと真空ロー付可能でかつ非磁性でビッカース硬
度が２００以上の材料で構成すると共に、容量調整ナッ
トを可動リードボルトと同等の硬度を有する材料で構成
したことを特徴とするものである。
【００１２】
【発明の実施の形態】上記従来の技術で説明した図１の
真空コンデンサにおいて、可動リードボルト３２と容量
調整ナット３３のねじ部における寿命を向上させるた
め、可動リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付
可能で、非磁性で且つ硬高度の （１）非磁性のステンレス鋼（硬度：２００Ｈｖ） （２）非磁性のニッケル合金（硬度：２５０〜３００Ｈ
ｖ） （３）セラミック（硬度：２００Ｈｖ） のいずれかの材料で構成し、これに螺合する容量調整ナ
ット３３を可動リードボルト３２と同一材料で構成し
た。
真空コンデンサにおいて、可動リードボルト３２と容量
調整ナット３３のねじ部における寿命を向上させるた
め、可動リードボルト３２を可動リード２と真空ロー付
可能で、非磁性で且つ硬高度の （１）非磁性のステンレス鋼（硬度：２００Ｈｖ） （２）非磁性のニッケル合金（硬度：２５０〜３００Ｈ
ｖ） （３）セラミック（硬度：２００Ｈｖ） のいずれかの材料で構成し、これに螺合する容量調整ナ
ット３３を可動リードボルト３２と同一材料で構成し
た。
【００１３】可動リードボルト３２及び容量調整ナット
３３をそれぞれ上記各材料で構成した場合、いずれも従
来可動リードボルトにリン青銅を使用し容量調整ナット
にステンレス鋼を使用したものより可動リードボルト３
２ないし容量調整ナットのねじ部における摩耗や変形が
著しく低減し、ねじ部の寿命が大幅に延び、真空スイッ
チが長寿命化された。
３３をそれぞれ上記各材料で構成した場合、いずれも従
来可動リードボルトにリン青銅を使用し容量調整ナット
にステンレス鋼を使用したものより可動リードボルト３
２ないし容量調整ナットのねじ部における摩耗や変形が
著しく低減し、ねじ部の寿命が大幅に延び、真空スイッ
チが長寿命化された。
【００１４】また、容量調整ナットの材料をセラミック
とした場合は、従来容量調整ナットを回転するために取
り付けていた容量調整用モータとのカップリング又は手
動用の摘子を従来の絶縁物から導電性のものへ変更する
ことが可能となる。場合によってはカップリング又は摘
子を兼用した構造の容量調整ナットとすることができ
る。
とした場合は、従来容量調整ナットを回転するために取
り付けていた容量調整用モータとのカップリング又は手
動用の摘子を従来の絶縁物から導電性のものへ変更する
ことが可能となる。場合によってはカップリング又は摘
子を兼用した構造の容量調整ナットとすることができ
る。
【００１５】
【発明の効果】この発明は、真空コンデンサの可動リー
ドボルト及び調整ナットの材質をそれぞれ、ステンレス
鋼又はニッケル合金あるいはセラミックとしたので、容
量調整用のボルト，ナットのねじ部の摩耗や変形が低減
し真空コンデンサが長寿命化する。
ドボルト及び調整ナットの材質をそれぞれ、ステンレス
鋼又はニッケル合金あるいはセラミックとしたので、容
量調整用のボルト，ナットのねじ部の摩耗や変形が低減
し真空コンデンサが長寿命化する。
【図１】真空コンデンサの構造を示す側断面図。
Ｆ1〜Ｆn…固定電極 Ｍ1〜Ｍn…可動電極 １…ガイドピン ２…可動リード １０…真空容器 １９…ベローズ ３２…可動リードボルト ３３…容量調整ナット。
Claims (1)
- 【請求項１】 固定電極と、可動電極及び可動電極取付
導体を備えた可動リードと、可動リードにロー付けされ
た可動リードボルトと、このボルトと螺合する容量調整
ナットと、真空容器の一部を構成し可動側が可動リード
に接続されたベローズを備えた真空コンデンサにおい
て、 可動リードボルトを可動リードと真空ロー付可能でかつ
非磁性でビッカース硬度が２００以上の材料で構成する
と共に、容量調整ナットを可動リードボルトと同等の硬
度を有する材料で構成したことを特徴とする真空コンデ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22211297A JPH1167590A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22211297A JPH1167590A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 真空コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1167590A true JPH1167590A (ja) | 1999-03-09 |
Family
ID=16777343
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22211297A Pending JPH1167590A (ja) | 1997-08-19 | 1997-08-19 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1167590A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006332485A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
| WO2009030271A1 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| WO2014191510A1 (en) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Comet Ag | Vacuum variable capacitor |
-
1997
- 1997-08-19 JP JP22211297A patent/JPH1167590A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006332485A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
| JP4710419B2 (ja) * | 2005-05-30 | 2011-06-29 | 株式会社明電舎 | 真空コンデンサ及び真空コンデンサの製造方法 |
| WO2009030271A1 (en) * | 2007-09-04 | 2009-03-12 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| JP2010538480A (ja) * | 2007-09-04 | 2010-12-09 | コメット アクチェンゲゼルシャフト | 可変容量真空コンデンサ用駆動システム |
| US8248751B2 (en) | 2007-09-04 | 2012-08-21 | Comet Ag | Drive system for variable vacuum capacitor |
| WO2014191510A1 (en) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Comet Ag | Vacuum variable capacitor |
| WO2014191041A1 (en) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Comet Ag | Vacuum variable capacitor |
| CN105247635A (zh) * | 2013-05-30 | 2016-01-13 | 康姆艾德公司 | 真空可变电容器 |
| US9721729B2 (en) | 2013-05-30 | 2017-08-01 | Comet Ag | Vacuum variable capacitor |
| US9805873B2 (en) | 2013-05-30 | 2017-10-31 | Comet Ag | Vacuum variable capacitor |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040827 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20041019 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050301 |