JPH11273998A - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
- Publication number
- JPH11273998A JPH11273998A JP10074755A JP7475598A JPH11273998A JP H11273998 A JPH11273998 A JP H11273998A JP 10074755 A JP10074755 A JP 10074755A JP 7475598 A JP7475598 A JP 7475598A JP H11273998 A JPH11273998 A JP H11273998A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- movable
- electrode
- end plate
- fixed
- cylindrical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空コンデンサを高耐電圧、大容量、小形に
する。 【解決手段】 固定電極６及び可動電極８を構成する各
円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレス、ニッケ
ル、モリブデン、ニオブ、タンタル、チタン、タングス
テン、モネル、銅ニッケル合金及び洋白のうちのいずれ
かにより形成する。
する。 【解決手段】 固定電極６及び可動電極８を構成する各
円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレス、ニッケ
ル、モリブデン、ニオブ、タンタル、チタン、タングス
テン、モネル、銅ニッケル合金及び洋白のうちのいずれ
かにより形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、大電力送信機の
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘
導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサ
に関するものである。
発振回路、半導体製造装置用の高周波電源、あるいは誘
導加熱装置のタンク回路等に用いられる真空コンデンサ
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】真空コンデンサの耐電圧、静電容量特性
を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとして、特
願平６−２３３９１２号で提案したようなコンデンサが
ある。図１はこのような真空コンデンサの縦断面図、図
２はその一部拡大図を示し、１はセラミック等の絶縁円
筒であり、その両端に銅製の円筒２ａ，２ｂを接合して
円筒部を形成し、この円筒部の両端を固定側端板３と可
動側端板４により閉塞して真空容器５を形成する。固定
側端板３の内面側には、径が異なる複数の円筒状電極板
Ｆ1〜Ｆnを同心状の一定間隔で立設し、固定電極６を形
成する。
を安定させ、かつ全長の小形化を図ったものとして、特
願平６−２３３９１２号で提案したようなコンデンサが
ある。図１はこのような真空コンデンサの縦断面図、図
２はその一部拡大図を示し、１はセラミック等の絶縁円
筒であり、その両端に銅製の円筒２ａ，２ｂを接合して
円筒部を形成し、この円筒部の両端を固定側端板３と可
動側端板４により閉塞して真空容器５を形成する。固定
側端板３の内面側には、径が異なる複数の円筒状電極板
Ｆ1〜Ｆnを同心状の一定間隔で立設し、固定電極６を形
成する。
【０００３】７は真空容器５内において固定側端板３に
対向して配置された可動電極取付導体であり、その固定
側端板３側には径が異なる複数の円筒状電極板Ｍ1〜Ｍn
を固定電極６の各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn間に等間隔で挿
出入でき、かつ同心状の等間隔で立設して可動電極８を
形成する。９は固定側端板３の内面側中心に一端が取り
付けられたガイドピン、１０は可動電極取付導体７の中
心に貫通して取り付けられた可動リード兼用の筒状のガ
イド部であり、ガイドピン９が摺動自在に挿入される。
対向して配置された可動電極取付導体であり、その固定
側端板３側には径が異なる複数の円筒状電極板Ｍ1〜Ｍn
を固定電極６の各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn間に等間隔で挿
出入でき、かつ同心状の等間隔で立設して可動電極８を
形成する。９は固定側端板３の内面側中心に一端が取り
付けられたガイドピン、１０は可動電極取付導体７の中
心に貫通して取り付けられた可動リード兼用の筒状のガ
イド部であり、ガイドピン９が摺動自在に挿入される。
【０００４】１５は真空状態を保持するための円筒状で
伸縮自在のベローズであり、その一端は可動側端板４に
取り付けられ、他端はガイド部１０に取り付けられてい
る。１１はベローズ取付部より内側において可動側端板
４に設けられた開口部４ａの内面側周縁部に立設された
ナット受け部であり、内端に鍔部１１ａが形成されてい
る。１２は一端がガイド部１０に連結されたねじ軸であ
り、他端は鍔部１１ａを挿通してナット受け部１１内に
突出している。１３は調整ナットであり、その一端は軸
受１４を介して鍔部１１ａに回転自在に支持されている
とともに、この一端側にはねじ孔１３ａを有し、ねじ軸
１２の他端と螺合している。又、ねじ軸１２の他端側に
は同軸状にねじ穴１２ａが設けられ、このねじ穴１２ａ
には頭部１４ａを有する調整ねじ１６が螺合される。
又、調整ナット１３にはねじ孔１３ａと連続してより大
径の大径孔１３ｂが設けられ、ねじ孔１３ａと大径孔１
３ｂとの間には段部１３ｃが形成される。
伸縮自在のベローズであり、その一端は可動側端板４に
取り付けられ、他端はガイド部１０に取り付けられてい
る。１１はベローズ取付部より内側において可動側端板
４に設けられた開口部４ａの内面側周縁部に立設された
ナット受け部であり、内端に鍔部１１ａが形成されてい
る。１２は一端がガイド部１０に連結されたねじ軸であ
り、他端は鍔部１１ａを挿通してナット受け部１１内に
突出している。１３は調整ナットであり、その一端は軸
受１４を介して鍔部１１ａに回転自在に支持されている
とともに、この一端側にはねじ孔１３ａを有し、ねじ軸
１２の他端と螺合している。又、ねじ軸１２の他端側に
は同軸状にねじ穴１２ａが設けられ、このねじ穴１２ａ
には頭部１４ａを有する調整ねじ１６が螺合される。
又、調整ナット１３にはねじ孔１３ａと連続してより大
径の大径孔１３ｂが設けられ、ねじ孔１３ａと大径孔１
３ｂとの間には段部１３ｃが形成される。
【０００５】上記構成の真空コンデンサにおいて、最大
静電容量値を調整する場合は、まず調整ナット１３を若
干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン９の下端とね
じ軸１２の上端とが当接する最大静電容量位置より若干
ねじ軸１２を下方へ移動させ、定義した最大静電容量値
に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電
容量のばらつきの程度で決まる。次に、この状態で調整
ねじ１４をその頭部１４ａが段部１３ｃに当接するまで
ねじ穴１２ａに螺入し、接着剤等でねじ軸１２に固定す
る。これによって、調整ナット１３はこの最大静電容量
位置で左回転しようとしても頭部１４ａが段部１３ｃに
当接して回転できなくなり、ねじ軸１２はこの位置以上
に上昇できなくなり、最大静電容量値は固定され、その
調整は容易となる。
静電容量値を調整する場合は、まず調整ナット１３を若
干右に回し（右ねじの場合）、ガイドピン９の下端とね
じ軸１２の上端とが当接する最大静電容量位置より若干
ねじ軸１２を下方へ移動させ、定義した最大静電容量値
に調節する。この若干の調節量は真空コンデンサの静電
容量のばらつきの程度で決まる。次に、この状態で調整
ねじ１４をその頭部１４ａが段部１３ｃに当接するまで
ねじ穴１２ａに螺入し、接着剤等でねじ軸１２に固定す
る。これによって、調整ナット１３はこの最大静電容量
位置で左回転しようとしても頭部１４ａが段部１３ｃに
当接して回転できなくなり、ねじ軸１２はこの位置以上
に上昇できなくなり、最大静電容量値は固定され、その
調整は容易となる。
【０００６】又、真空コンデンサの静電容量の調整は、
調整ナット１３を回転させると、ガイド部１０を介して
可動電極８が上下動し、固定電極６との対向総面積が可
変されることにより行われる。又、ナット受け部１１を
内向きに設けたので、小形化が可能となる。もちろん、
ガイドピン９とガイド部１０を設けたことにより可動電
極８の移動が安定し、耐電圧特性及び静電容量特性が安
定する。
調整ナット１３を回転させると、ガイド部１０を介して
可動電極８が上下動し、固定電極６との対向総面積が可
変されることにより行われる。又、ナット受け部１１を
内向きに設けたので、小形化が可能となる。もちろん、
ガイドピン９とガイド部１０を設けたことにより可動電
極８の移動が安定し、耐電圧特性及び静電容量特性が安
定する。
【０００７】なお、真空容器５の円筒部を全体的に絶縁
材により形成してもよく、要は固定側と可動側が絶縁さ
れればよい。又、ガイド部１０は可動リードを兼用して
いるが、別々に設けてもよい。又、ガイドピン９とガイ
ド部１０は電気的に絶縁する必要があり、例えばガイド
ピン９をアルミナセラミック、ガイド部１０をリン青銅
で形成すればよく、あるいはガイドピン９を金属製にし
てナイロン樹脂をコーティングしてもよい。さらに、ガ
イドピン９とガイド部１０の摺動面にキーとキー溝を設
けることにより、ガイド部１０の回転を防ぐことができ
る。又、ベローズ１５の一端をガイド部１０に取り付け
たが、可動電極取付導体７に取り付けてもよく、またガ
イドピン９を可動電極取付導体７側に、ガイド部１０を
固定側端板３側に取り付けてもよい。ただし、この場合
は可動リードを別体にして可動電極取付導体７に取り付
ける。また、固定電極６及び可動電極８を構成する各円
筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnとしては、加工性がよ
く、高周波回路に使用しても発熱しない非磁性材である
銅が使用される。
材により形成してもよく、要は固定側と可動側が絶縁さ
れればよい。又、ガイド部１０は可動リードを兼用して
いるが、別々に設けてもよい。又、ガイドピン９とガイ
ド部１０は電気的に絶縁する必要があり、例えばガイド
ピン９をアルミナセラミック、ガイド部１０をリン青銅
で形成すればよく、あるいはガイドピン９を金属製にし
てナイロン樹脂をコーティングしてもよい。さらに、ガ
イドピン９とガイド部１０の摺動面にキーとキー溝を設
けることにより、ガイド部１０の回転を防ぐことができ
る。又、ベローズ１５の一端をガイド部１０に取り付け
たが、可動電極取付導体７に取り付けてもよく、またガ
イドピン９を可動電極取付導体７側に、ガイド部１０を
固定側端板３側に取り付けてもよい。ただし、この場合
は可動リードを別体にして可動電極取付導体７に取り付
ける。また、固定電極６及び可動電極８を構成する各円
筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnとしては、加工性がよ
く、高周波回路に使用しても発熱しない非磁性材である
銅が使用される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図３に簡略
化して示したように、円筒状電極板Ｆ3，Ｍ3，Ｆ2，
Ｍ2，Ｆ1，Ｍ1の半径をａ〜ｆ（厚さ０．２５ｍｍ）、
ギャップをＧ、交差距離をＬとすると、Ｇ＝ｆ−ｅ＝ｅ
−ｄ＝ｄ−ｃ＝ｃ−ｂ＝ｂ−ａとなる。また、静電容量
ｃ及び耐電圧Ｖは（１），（２）式で示される。
化して示したように、円筒状電極板Ｆ3，Ｍ3，Ｆ2，
Ｍ2，Ｆ1，Ｍ1の半径をａ〜ｆ（厚さ０．２５ｍｍ）、
ギャップをＧ、交差距離をＬとすると、Ｇ＝ｆ−ｅ＝ｅ
−ｄ＝ｄ−ｃ＝ｃ−ｂ＝ｂ−ａとなる。また、静電容量
ｃ及び耐電圧Ｖは（１），（２）式で示される。
【０００９】
【数１】
【００１０】ただし、ｋは円筒状電極板Ｆ1〜Ｆ3，Ｍ1
〜Ｍ3の材質によって決まる定数である。ここで、真空
コンデンサの耐電圧を大きくするには（２）式よりギャ
ップＧを大きくすればよいが、Ｇを大きくすると（１）
式より静電容量Ｃが小さくなる。このため、高耐電圧で
大静電容量の真空コンデンサを作るには、円筒状電極板
Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnの数を多くするかあるいは交差距離
Ｌを大きくすることが考えられるが、真空コンデンサが
大形化するという課題があった。近年、半導体製造装置
の分野では高周波電源の大容量化が要求されており、こ
れに伴って真空コンデンサの高耐電圧化も要求され、か
つ装置の省スペース化のために小形化も要求されてい
る。
〜Ｍ3の材質によって決まる定数である。ここで、真空
コンデンサの耐電圧を大きくするには（２）式よりギャ
ップＧを大きくすればよいが、Ｇを大きくすると（１）
式より静電容量Ｃが小さくなる。このため、高耐電圧で
大静電容量の真空コンデンサを作るには、円筒状電極板
Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnの数を多くするかあるいは交差距離
Ｌを大きくすることが考えられるが、真空コンデンサが
大形化するという課題があった。近年、半導体製造装置
の分野では高周波電源の大容量化が要求されており、こ
れに伴って真空コンデンサの高耐電圧化も要求され、か
つ装置の省スペース化のために小形化も要求されてい
る。
【００１１】この発明は上記のような課題を解決するた
めに成されたものであり、高耐電圧、大容量で小形の真
空コンデンサを得ることを目的とする。
めに成されたものであり、高耐電圧、大容量で小形の真
空コンデンサを得ることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】この発明に係る真空コン
デンサは、固定電極及び可動電極を構成する各円筒状電
極板をステンレス、ニッケル、モリブデン、ニオブ、タ
ンタル、チタン、タングステン、モネル、銅ニッケル合
金及び洋白のうちのいずれかにより形成したものであ
る。
デンサは、固定電極及び可動電極を構成する各円筒状電
極板をステンレス、ニッケル、モリブデン、ニオブ、タ
ンタル、チタン、タングステン、モネル、銅ニッケル合
金及び洋白のうちのいずれかにより形成したものであ
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】実施形態１ 以下、この発明の実施の形態を図面とともに説明する。
実施形態１においては、固定電極６及び可動電極８を構
成する各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレス
（ＳＵＳ３０４）で形成する。その他の構成は図１及び
図２と同様である。真空中の耐電圧は使用される金属材
料の硬度、融点と関係し、一般に高硬度、高融点の金属
材料ほど高い耐電圧特性を示すため、各円筒状電極板Ｆ
1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnを従来の銅（Ｃｕ）より高硬度、高融
点のステンレスにより形成したものである。
実施形態１においては、固定電極６及び可動電極８を構
成する各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレス
（ＳＵＳ３０４）で形成する。その他の構成は図１及び
図２と同様である。真空中の耐電圧は使用される金属材
料の硬度、融点と関係し、一般に高硬度、高融点の金属
材料ほど高い耐電圧特性を示すため、各円筒状電極板Ｆ
1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnを従来の銅（Ｃｕ）より高硬度、高融
点のステンレスにより形成したものである。
【００１４】図４は各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍn
の電極板間ギャップＧ（ｍｍ）と耐電圧（比）との関係
を示し、従来のように銅を用いた場合にはイに示すよう
になり、ステンレスを用いた場合にはロに示すようにな
り、耐電圧が上昇したことがわかる。
の電極板間ギャップＧ（ｍｍ）と耐電圧（比）との関係
を示し、従来のように銅を用いた場合にはイに示すよう
になり、ステンレスを用いた場合にはロに示すようにな
り、耐電圧が上昇したことがわかる。
【００１５】実施形態１においては、円筒状電極板Ｆ1
〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレスで形成することにより耐
電圧を高くしており、電極板間ギャップＧを小さくする
ことができ、静電容量を大きくすることができる。又、
円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnの数を少なく、交差距
離Ｌを小さくすることができ、真空コンデンサを小形
化，低コスト化することができる。又、真空コンデンサ
を搭載するマッチングボックスの小形化，省スペース化
も可能となる。
〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnをステンレスで形成することにより耐
電圧を高くしており、電極板間ギャップＧを小さくする
ことができ、静電容量を大きくすることができる。又、
円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍnの数を少なく、交差距
離Ｌを小さくすることができ、真空コンデンサを小形
化，低コスト化することができる。又、真空コンデンサ
を搭載するマッチングボックスの小形化，省スペース化
も可能となる。
【００１６】実施形態２〜４ 実施形態２〜４においては、円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ
1〜Ｍnをそれぞれモリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔ
ａ）、タングステン（Ｗ）により形成した。これらの場
合も電極板間ギャップＧ−耐電圧特性は図４のロとな
り、やはり耐電圧を高めて実施形態１と同様の効果を有
する。
1〜Ｍnをそれぞれモリブデン（Ｍｏ）、タンタル（Ｔ
ａ）、タングステン（Ｗ）により形成した。これらの場
合も電極板間ギャップＧ−耐電圧特性は図４のロとな
り、やはり耐電圧を高めて実施形態１と同様の効果を有
する。
【００１７】実施形態５〜７ 実施形態５〜７においては、各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，
Ｍ1〜Ｍnをそれぞれニッケル（Ｎｉ）、ニオブ（Ｎ
ｂ）、チタン（Ｔｉ）で形成する。これらの場合の電極
板間ギャップＧ−耐電圧特性は図４のハに示すようにな
り、耐電圧が高くなって実施形態１と同様の効果を奏す
る。
Ｍ1〜Ｍnをそれぞれニッケル（Ｎｉ）、ニオブ（Ｎ
ｂ）、チタン（Ｔｉ）で形成する。これらの場合の電極
板間ギャップＧ−耐電圧特性は図４のハに示すようにな
り、耐電圧が高くなって実施形態１と同様の効果を奏す
る。
【００１８】実施形態８，９ 実施形態８，９においては、各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，
Ｍ1〜Ｍnをそれぞれモネル（Ｃｕ３３％，Ｎｉ６５％，
Ｆｅ２％）、及び銅ニッケル合金（Ｃｕ５３％，Ｎｉ４
５％，Ｆｅ２％）で形成する。これらの場合の電極板間
ギャップＧ−耐電圧特性は図４のニに示すようになり、
耐電圧が高くなって実施形態１と同様な効果を奏する。
Ｍ1〜Ｍnをそれぞれモネル（Ｃｕ３３％，Ｎｉ６５％，
Ｆｅ２％）、及び銅ニッケル合金（Ｃｕ５３％，Ｎｉ４
５％，Ｆｅ２％）で形成する。これらの場合の電極板間
ギャップＧ−耐電圧特性は図４のニに示すようになり、
耐電圧が高くなって実施形態１と同様な効果を奏する。
【００１９】実施形態１０ 実施形態１０においては、各円筒状電極板Ｆ1〜Ｆn，Ｍ
1〜Ｍnを洋白（Ｃｕ６５％，Ｚｎ２０％，Ｎｉ１８％）
で形成した。この場合の電極板間ギャップＧ−耐電圧特
性は図４のホに示すようになり、耐電圧が高くなって実
施形態１と同様な効果を奏する。
1〜Ｍnを洋白（Ｃｕ６５％，Ｚｎ２０％，Ｎｉ１８％）
で形成した。この場合の電極板間ギャップＧ−耐電圧特
性は図４のホに示すようになり、耐電圧が高くなって実
施形態１と同様な効果を奏する。
【００２０】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、各電極
を構成する各円筒状電極板をステンレス、ニッケル、モ
リブデン、ニオブ、タンタル、チタン、タングステン、
モネル、銅ニッケル合金及び洋白のうちのいずれかによ
り形成しており、真空コンデンサの耐電圧を高くするこ
とができる。又、これにより電極板間ギャップを小さく
することができ、静電容量を大きくすることができる。
このため、円筒状電極板の数を少なく、交差距離Ｌを小
さくすることができ、真空コンデンサの小形化、低コス
ト化を達成することができる。
を構成する各円筒状電極板をステンレス、ニッケル、モ
リブデン、ニオブ、タンタル、チタン、タングステン、
モネル、銅ニッケル合金及び洋白のうちのいずれかによ
り形成しており、真空コンデンサの耐電圧を高くするこ
とができる。又、これにより電極板間ギャップを小さく
することができ、静電容量を大きくすることができる。
このため、円筒状電極板の数を少なく、交差距離Ｌを小
さくすることができ、真空コンデンサの小形化、低コス
ト化を達成することができる。
【図１】従来及びこの発明による真空コンデンサの縦断
面図である。
面図である。
【図２】図１の一部拡大図である。
【図３】従来及びこの発明による真空コンデンサの電極
部分の簡略縦断面図である。
部分の簡略縦断面図である。
【図４】従来及びこの発明による真空コンデンサの円筒
状電極板間ギャップＧと耐電圧（比）の関係図である。
状電極板間ギャップＧと耐電圧（比）の関係図である。
１…絶縁円筒 ２ａ，２ｂ…円筒 ３…固定側端板 ４…可動側端板 ４ａ…開口部 ５…真空容器 ６…固定電極 ７…可動電極取付導体 ８…可動電極 １０…可動リード兼用ガイド部 １２…ねじ軸 １３…調整ナット １５…ベローズ Ｆ1〜Ｆn，Ｍ1〜Ｍn…円筒状電極板
Claims (1)
- 【請求項１】 一端側と他端側が絶縁された円筒部の両
端に固定側端板及び可動側端板を取り付けた真空容器
と、固定側端板の内面側に径が異なる複数の円筒状電極
板を等間隔の同心状に立設して形成した固定電極と、真
空容器内において固定側端板に対向して配置された可動
電極取付導体と、可動電極取付導体に一体的に取り付け
られた可動リードと、可動電極取付導体の固定側端板側
に径が異なる複数の円筒状電極板を等間隔の同心状でか
つ固定電極の各円筒状電極板間に等間隔で挿入できるよ
うに立設して形成した可動電極と、一端が可動側端板に
取り付けられるとともに、他端が可動リードまたは可動
電極取付導体に取り付けられ、真空状態を保持する円筒
状のベローズと、ベローズ取付部より内側において可動
側端板に設けられた開口部を介して可動リードと接続さ
れ、可動リードを軸方向に移動させて静電容量を調整す
る静電容量調整部を備えた真空コンデンサにおいて、固
定電極及び可動電極を構成する各円筒状電極板を、ステ
ンレス、ニッケル、モリブデン、ニオブ、タンタル、チ
タン、タングステン、モネル、銅ニッケル合金及び洋白
のうちのいずれかにより形成したことを特徴とする真空
コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074755A JPH11273998A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074755A JPH11273998A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 真空コンデンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11273998A true JPH11273998A (ja) | 1999-10-08 |
Family
ID=13556415
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10074755A Pending JPH11273998A (ja) | 1998-03-24 | 1998-03-24 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11273998A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6462930B1 (en) | 2000-03-23 | 2002-10-08 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum variable capacitor device |
| EP3926651A1 (en) | 2020-06-19 | 2021-12-22 | Comet AG | Electrode unit for a vacuum capacitor and a vacuum capacitor |
-
1998
- 1998-03-24 JP JP10074755A patent/JPH11273998A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6462930B1 (en) | 2000-03-23 | 2002-10-08 | Kabushiki Kaisha Meidensha | Vacuum variable capacitor device |
| EP3926651A1 (en) | 2020-06-19 | 2021-12-22 | Comet AG | Electrode unit for a vacuum capacitor and a vacuum capacitor |
| US11990281B2 (en) | 2020-06-19 | 2024-05-21 | Comet Ag | Electrode unit for a vacuum capacitor and a vacuum capacitor |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US11594371B2 (en) | Conductive powder for internal electrode and capacitor component including the same | |
| JP4710419B2 (ja) | 真空コンデンサ及び真空コンデンサの製造方法 | |
| JPS6161503A (ja) | 誘電体共振器 | |
| JPH11273998A (ja) | 真空コンデンサ | |
| US7041930B2 (en) | Bellows for use in vacuum capacitor | |
| JP3885343B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US7948737B2 (en) | Multilayer capacitor array | |
| US6462930B1 (en) | Vacuum variable capacitor device | |
| JPH10284347A (ja) | 真空可変コンデンサ | |
| JPH0778729A (ja) | 真空コンデンサ | |
| US11830677B2 (en) | Multilayer capacitor | |
| JP3264004B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPS61167202A (ja) | 誘電体共振器 | |
| JP4678239B2 (ja) | 真空可変コンデンサ | |
| JP3160950B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP3160949B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP3882407B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP3264005B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH1167590A (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP3264006B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH05142264A (ja) | 分圧器 | |
| JP3365079B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US20240055186A1 (en) | Multilayer capacitor | |
| JP2001028321A (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH04144036A (ja) | マグネトロン |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040823 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061017 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061031 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |