JP2001009687A - 研磨機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 長い加工時間を必要とするワークであって
も、各ユニットの動作タクトの整合性が取れるようにし
て、生産性を向上させる。 【解決手段】 水平方向に所定の間隔をおいて２つの加
工部１、１を設けるとともに、両加工部１、１に加工前
のワーク８及び加工後のワーク８を搬送する搬送部１０
を並設し、両加工部１、１間に、搬送部１０から加工前
のワーク８を取り出してテーブル１６上に一時待機させ
るローディング部１５と、加工後のワーク８をテーブル
２１上に一時待機させた後に搬送部１０に収納するアン
ローディング部２０とを設け、両加工部１、１に並設し
て、ローディング部１５のテーブル１６から加工前のワ
ーク８を加工部１に移載し、加工部１から加工後のワー
ク８を取り出してアンローディング部２０のテーブル２
１に移載する移載部２５を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は研磨機に関し、特
に、磁気ディスク用アルミ基板、ガラスディスク基板等
の両面を研磨するのに有効な研磨機に関するものであ
る。

【０００２】

【従来技術およびその問題点】一般に、この種の研磨機
は図３及び図４に示すように構成されている。すなわ
ち、この研磨機は、磁気ディスク用アルミ基板等の円板
状のワークの表面を研磨する加工部３１と、加工部３１
に連設されるとともに、加工前のワーク８及び加工済み
のワーク８を搬送する搬送部（図示せず）と、加工部３
１に連設されるとともに、搬送部４０から加工前のワー
ク８を取り出して加工部３１に移載する前に一時待機さ
せるローディング部４５と、加工部３１に連設されると
ともに、加工部３１から取り出した加工済みのワーク８
を一時待機させた後に搬送部４０に収納するアンローデ
ィング部５０と、加工部３１、ローディング部４５及び
アンローディング部５０に連設されるとともに、ローデ
ィング部４５から加工前のワーク８を取り出して加工部
３１へ移載し、又は加工部３１から加工済みのワーク８
を取り出してアンローディング部５０に移載する移載部
５５とを具えている。

【０００３】加工部３１は、水平方向に回転可能に設け
られる下定盤３２と、下定盤３２の上方に回転可能かつ
上下方向に移動可能に設けられる上定盤３３と、下定盤
３２の中心部に回転可能に設けられるドライバ３４と、
ドライバ３４の外周側に回転可能に設けられるサンギア
３５と、下定盤３２の外周側に回転可能に設けられるイ
ンターナルギア３６と、サンギア３５とインターナルギ
ア３６に噛合して下定盤３２上を自転、公転するととも
に、複数箇所にワーク８を保持する孔を有するキャリヤ
３７とを具えている。

【０００４】搬送部（図示せず）は、加工前のワーク８
を収納するローディングカセットと、加工済みのワーク
８を収納するアンローディングカセットと、ローディン
グカセット及びアンローディングカセットを搬送する搬
送ベルトとを具えている。

【０００５】ローディング部４５は、加工部３１に連設
される回転可能なローディングテーブル４６と、ローデ
ィングテーブル４６と搬送部との間に設けられるローデ
ィングロボット４７とからなるものであって、ローディ
ングロボット４７を作動させることで、搬送部のローデ
ィングカセットから加工前のワーク８を取り出してロー
ディングテーブル４６上に載置することができるもので
ある。

【０００６】アンローディング部５０は、加工部３１に
連設される回転可能なアンローディングテーブル５１
と、アンローディングテーブル５１と搬送部との間に設
けられるアンローディングロボット５２とからなるもの
であって、アンローディングロボット５２を作動させる
ことで、アンローディングテーブル５１上に載置した加
工済みのワーク８を搬送部のアンローディングカセット
に収納することができるものである。

【０００７】移載部５５は、上下動可能かつ水平方向に
移動可能に設けられるとともに、ワーク８を掴持するチ
ャックを有するローディングヘッド５７と、ローディン
グヘッド５７を水平方向に移動可能に支持する案内ガイ
ド５８とからなるローディング側移載部５６と、上下動
可能かつ水平方向に移動可能に設けられるとともに、ワ
ーク８を掴持するチャックを有するアンローディングヘ
ッド６０と、アンローディングヘッド６０を水平方向に
移動可能に支持する案内ガイド６１とからなるアンロー
ディング側移載部５９とを具えたものであって、ローデ
ィング側移載部５６によってローディングテーブル４６
上の加工前のワーク８を加工部３１のキャリヤ３７に移
載し、アンローディング側移載部５９によって加工部３
１のキャリヤ３７から加工済みのワーク８を取り出して
アンローディングテーブル５１上に移載することができ
るものである。

【０００８】そして、上記のような構成の研磨機を用い
てアルミディスク基板等の円板状のワーク８の表面を研
磨するには、まず、ローディング部４５のローディング
ロボット４７を作動させ、搬送部４０のローディングカ
セットから加工前のワーク８を取り出してローディング
テーブル４６上に載置する作業を、ローディングテーブ
ル４６を回転、停止させながら繰り返し、ローディング
テーブル４６上に１バッチ分の加工前のワーク８を並べ
る。

【０００９】次に、ローディングテーブル４６上に待機
しているローディング側移載部５６のローディングヘッ
ド５７を下降させてローディングテーブル４６上に載置
されている１バッチ分のワーク８を掴持し、ローディン
グヘッド５７を上昇させるとともに、水平方向に移動さ
せて加工部３１の下定盤３２の上方に位置させ、ローデ
ィングヘッド５７を下降させてキャリヤ３７の孔内にワ
ーク８を移載し、ワーク８の掴持状態を解除する。

【００１０】次に、ローディングヘッド５７を上昇させ
るとともに、水平方向に移動させてローディングテーブ
ル４６の上方に位置させて待機させ、加工部３１の上定
盤３３を下降させて上定盤３３の中心部にドライバ３４
を嵌合させ、上定盤３３、下定盤３２、サンギア３５及
びインターナルギア３６を回転させて上定盤３３と下定
盤３２との間でキャリヤ３７を自転、公転させ、ワーク
８の表面の研磨を開始する。

【００１１】そして、ワーク８の研磨が終了した後に、
上定盤３３を上昇させるとともに、アンローディングテ
ーブル５１の上方に待機しているアンローディング側移
載部５９のアンローディングヘッド６０を水平方向へ移
動させて下定盤３２の上方へ位置させ、アンローディン
グヘッド６０を下降させてキャリヤ３７の孔内に位置し
ている加工済みのワーク８を掴持し、アンローディング
ヘッド６０を上昇させるとともに、水平方向へ移動させ
てアンローディングテーブル５１の上方に位置させ、ア
ンローディングヘッド６０を下降させてワーク８をアン
ローディングテーブル５１上に載置し、ワーク８の掴持
状態を解除し、アンローディングヘッド６０を上昇させ
て待機させる。

【００１２】次に、アンローディングロボット５２によ
ってアンローディングテーブル５１上のワーク８を掴持
して搬送部のアンローディングカセット内に収納する作
業を繰り返し、アンローディングテーブル５１上の全て
の加工済みのワーク８をアンローディングカセット内に
収納する。

【００１３】そして、上記のような工程を繰り返すこと
によって、複数のワーク８を連続して研磨することがで
きるものである。

【００１４】しかしながら、上記のような構成の従来の
研磨機にあっては、１つの加工部３１と、加工部３１に
連設されるローディング部４５とアンローディング部５
０と、加工部３１に並設される搬送部と、加工部３１に
並設されるローディング側移載部５６とアンローディン
グ側移載部５９からなる移載部５５とを具えた構成とし
ているので、加工時間の短いワーク８の場合には各ユニ
ットの動作タクトの整合性を取ることができて、生産性
を高めることができるが、加工時間の長いワーク８（ガ
ラスディスク等）の場合には、各ユニットの動作タクト
の整合性を取ることができないので、生産性が著しく低
下してしまう。

【００１５】この発明は前記のような従来のもののもつ
問題点を解決したものであって、加工時間の長いワーク
であっても、各ユニットの動作タクトの整合性を取るこ
とができて、生産性を高めることができる研磨機を提供
することを目的とするものである。

【００１６】

【問題点を解決するための手段】上記の問題点を解決す
るためにこの発明は、ワークの表面を研磨する少なくと
も２つの加工部と、加工部に連設されるとともに、加工
前のワーク及び加工済みのワークを搬送する搬送部と、
加工部間に設けられるとともに、搬送部から加工前のワ
ークを取り出して加工部に供給する前に一時待機させる
ローディング部と、加工部間に設けられるとともに、加
工部から取り出した加工済みのワークを一時待機させた
後に搬送部に収納するアンローディング部と、加工部に
連設されるとともに、ローディング部から加工前のワー
クを取り出して各加工部へ移載し、又は各加工部から加
工済みのワークを取り出してアンローディング部に移載
する移載部とを具えた手段を採用したものである。

【００１７】

【作用】この発明は前記のような手段を採用したことに
より、ローディング部を作動させて搬送部から加工前の
ワークを取り出して待機させ、移載部を作動させてロー
ディング部に待機させてあるワークを第１の加工部に移
載し、第１の加工部を作動させてワークの表面の研磨を
行う。そして、第１の加工部によるワークの研磨中に、
ローディング部を作動させて搬送部から加工前のワーク
を取り出して待機させ、移載部を作動させてローディン
グ部に待機させてあるワークを第２の加工部に移載し、
第２の加工部を作動させてワークの表面の研磨を行う。
そして、第１の加工部によるワークの研磨が終了した後
に、移載部を作動させて第１の加工部から加工済みのワ
ークを取り出してアンローディング部に移載して待機さ
せ、アンローディング部を作動させてアンローディング
部に待機させてあるワークを搬送部に収納する。これと
同時に、ローディング部を作動させて搬送部から加工前
のワークを取り出して待機させるとともに、第２の加工
部によるワークの研磨が終了した後に、移載部を作動さ
せて第２の加工部から加工済みのワークを取り出してア
ンローディング部に移載して待機させ、アンローディン
グ部を作動させてアンローディング部に待機させてある
ワークを搬送部に収納する。このようなことを繰り返す
ことによって、複数のワークを連続して研磨することが
できるものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、図面に示すこの発明の実施
の形態について説明する。図１及び図２には、この発明
による研磨機の一実施の形態が示されていて、この実施
の形態に示す研磨機は、水平方向に所定の間隔をおいて
設けられる２つの加工部１、１と、両加工部１、１間に
一連に設けられるローディング部１５とアンローディン
グ部２０と、両加工部１、１に連設される搬送部１０
と、両加工部１、１に連設される移載部２５とを具えて
いる。

【００１９】加工部１は、水平方向に回転可能に設けら
れる下定盤２と、下定盤２の上方に回転可能かつ上下方
向に移動可能に設けられる上定盤３と、下定盤２の中心
部に回転可能に設けられるドライバ４と、ドライバ４の
外周側に回転可能に設けられるサンギア５と、下定盤２
の外周側に回転可能に設けられるインターナルギア６
と、サンギア５とインターナルギア６に噛合するととも
に、ワーク８を保持する孔を複数箇所に有するキャリヤ
７とを具えたものであって、上定盤３を下降させた際に
上定盤３の中心部にドライバ４が嵌合して上定盤３とド
ライバ４が一体に回転可能となり、サンギア５とインタ
ーナルギア６との回転時にキャリヤ７が上定盤３と下定
盤２との間を自転、公転するものである。

【００２０】搬送部１０は、両加工部１、１、ローディ
ング部及びアンローディング部の手前側に並設されるも
のであって、加工前のワーク８を収納するローディング
カセット１１と、加工済みのワーク８を収納するアンロ
ーディングカセット１２と、ローディングカセット１１
及びアンローディングカセット１２を水平方向に搬送す
る搬送ベルト１３とから構成されている。

【００２１】ローディング部１５は、両加工部１、１間
に一連に設けられる水平方向に回転可能なローディング
テーブル１６と、ローディングテーブル１６と搬送部１
０との間に設けられるローディングロボット１７とから
なるものであって、ローディングロボット１７を作動さ
せることによって、搬送部１０のローディングカセット
１１から加工前のワーク８を取り出してローディングテ
ーブル１６上に載置することができるものである。した
がって、ローディングテーブル１６を回転、停止させな
がら、ローディングロボット１７を搬送部１０とローデ
ィングテーブル１６との間で往復させることで、ローデ
ィングテーブル１６上に１バッチ分の加工前のワーク８
を並べることができるものである。

【００２２】アンローディング部２０は、両加工部１、
１間に一連に設けられる水平方向に回転可能なアンロー
ディングテーブル２１と、アンローディングテーブル２
１と搬送部１０との間に設けられるアンローディングロ
ボット２２とからなるものであって、アンローディング
ロボット２２を作動させることで、アンローディングテ
ーブル２１上に載置した加工済みのワーク８を搬送部１
０のアンローディングカセット１２に収納することがで
きるものである。したがって、アンローディングテーブ
ル２１を回転、停止させながら、アンローディングロボ
ット２２を搬送部１０とアンローディングテーブル２１
との間で往復させることで、アンローディングテーブル
２１上から加工済みのワーク８を連続して搬送部１０の
アンローディングカセット１２内に収納することができ
るものである。

【００２３】移載部２５は、両加工部１、１、ローディ
ング部１５及びアンローディング部２０の奥側に並設さ
れるものであって、上下動可能かつ両加工部１、１間を
水平方向に移動可能に設けられるワーク８を掴持するチ
ャックを有する移載ヘッド２６と、移載ヘッド２６を水
平方向に移動可能に支持する案内ガイド２７とから構成
されている。

【００２４】そして、上記のような構成の研磨機を用い
てアルミディスク基板等の円板状のワーク８の表面を研
磨するには、まず、ローディング部１５のローディング
ロボット１７を作動させ、搬送部１０のローディングカ
セット１１から加工前のワーク８を取り出してローディ
ングテーブル１６上に載置する。この場合、ローディン
グテーブル１６を回転、停止させながら、ローディング
ロボット１７を搬送部１０とローディングテーブル１６
との間で往復させ、ローディングテーブル１６上に１バ
ッチ分のワーク８を並べる。

【００２５】次に、ローディングテーブル１６の上方に
待機している移載部２５の移載ヘッド２６を下降させて
ローディングテーブル１６上のワーク８を掴持し、この
状態で移載ヘッド２６を上昇させるとともに、水平方向
に移動させて一方の加工部１の下定盤２の上方に位置さ
せ、移載ヘッド２６を下降させてワーク８をキャリヤ７
の孔内に移載し、ワーク８の掴持状態を解除する。

【００２６】次に、移載ヘッド２６を上昇させるととも
に、水平方向に移動させてローディングテーブル１６の
上方に位置させて待機させ、一方の加工部１の上定盤３
を下降させて上定盤３の中心部にドライバ４を嵌合させ
るとともに、上定盤３、下定盤２、サンギア５及びイン
ターナルギア６を回転させて両定盤２、３間でキャリヤ
７を自転、回転させ、ワーク８の表面の研磨を行う。

【００２７】そして、一方の加工部１でワーク８の研磨
を行っている間に、ローディング部１５のローディング
ロボット１７を作動させ、ローディングテーブル１６を
回転、停止させながら、搬送部１０のローディングカセ
ット１１から加工前のワーク８を取り出してローディン
グテーブル１６上に載置する作業を繰り返し、ローディ
ングテーブル１６上に１バッチ分のワーク８を並べる。

【００２８】次に、ローディングテーブル１６の上方に
待機している移載部２５の移載ヘッド２６を下降させて
ローディングテーブル１６上のワーク８を掴持し、この
状態で移載ヘッド２６を上昇させるとともに、水平方向
に移動させて他方の加工部１の下定盤２の上方に位置さ
せ、移載ヘッド２６を下降させてワーク８をキャリヤ７
の孔内に移載し、ワーク８の掴持状態を解除する。

【００２９】次に、移載ヘッド２６を上昇させるととも
に、水平方向に移動させてローディングテーブル１６の
上方に位置させて待機させ、他方の加工部１の上定盤３
を下降させて上定盤３の中心部にドライバ４を嵌合させ
るとともに、上定盤３、下定盤２、サンギア５及びイン
ターナルギア６を回転させて両定盤２、３間でキャリヤ
７を自転、回転させ、ワーク８の表面の研磨を行う。

【００３０】そして、一方の加工部１においてワーク８
の研磨が終了した後に、上定盤３を上昇させるととも
に、移載部２５の移載ヘッド２６を水平方向に移動させ
て一方の加工部１の下定盤２の上方に位置させ、移載ヘ
ッド２６を下降させてキャリヤ７内の加工済みのワーク
８を掴持する。

【００３１】次に、移載ヘッド２６を上昇させるととも
に、水平方向に移動させてアンローディングテーブル２
１の上方に位置させ、移載ヘッド２６を下降させてワー
ク８をアンローディングテーブル２１上に載置し、ワー
ク８の掴持状態を解除して移載ヘッド２６を上昇させ、
水平方向に移動させて所定の位置に待機させる。

【００３２】次に、アンローディング部２０のアンロー
ディングロボット２２を作動させてアンローディングテ
ーブル２１上のワーク８を掴持して搬送部１０のアンロ
ーディングカセット１２内に収納する作業を繰り返し、
アンローディングテーブル２１上のワーク８を全てアン
ローディングカセット１２内に収納する。

【００３３】そして、他方の加工部１においてワーク８
の研磨が終了した後、上定盤３を上昇させるとともに、
移載部２５の移載ヘッド２６を水平方向に移動させて他
方の加工部１の下定盤２の上方に位置させ、移載ヘッド
２６を下降させてキャリヤ７内の加工済みのワーク８を
掴持し、移載ヘッド２６を上昇させるとともに、水平方
向に移動させてアンローディングテーブル２１の上方に
位置させる。

【００３４】次に、移載ヘッド２６を下降させてワーク
８をアンローディングテーブル２１上に載置し、ワーク
８の掴持状態を解除して移載ヘッド２６を上昇させ、水
平方向に移動させて所定の位置に待機させる。

【００３５】次に、アンローディングロボット２２を作
動させてアンローディングテーブル２１上のワーク８を
掴持して搬送部１０のアンローディングカセット１２内
に収納する作業を繰り返し、アンローディングテーブル
２１上のワーク８を全てアンローディングカセット１２
内に収納する。

【００３６】そして、上記のような工程を繰り返すこと
で、複数のワーク８を連続して研磨することができるも
のである。

【００３７】上記のように構成したこの実施の形態によ
る研磨機にあっては、２つの加工部１、１と、加工部
１、１に並設される搬送部１０と、加工部１、１に並設
される１つの移載部２５と、両加工部１、１間に設けら
れるローディング部１５とアンローディング部２０とを
具えた構成としたので、各ユニットの動作タクトの整合
性を簡単に取ることができることになる。したがって、
加工時間が数分に及ぶようなワーク８（磁気ディスクア
ルミ基板、ガラスディスク基板等）であっても、生産性
を高めることができることになる。

【００３８】なお、この実施の形態においては、２つの
加工部１、１を具えた研磨機について説明したが、２つ
以上の加工部１、１……を具えた研磨機であっても同様
の効果が得られるのは勿論のことである。

【００３９】

【発明の効果】この発明は前記のように、少なくとも２
つの加工部と、加工部に連設される搬送部と、加工部間
に設けられるローディング部とアンローディング部と、
両加工部に連設される移載部とを具えた構成としたこと
により、各ユニットの動作タクトの整合性を簡単に取る
ことができることになる。したがって、加工時間が数分
に及ぶようなワーク（磁気ディスクアルミ基板、ガラス
ディスク基板等）であっても、生産性を高めることがで
きることになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明による研磨機の一実施の形態の全体を
示した平面図である。

【図２】図１に示すものの正面図である。

【図３】従来の研磨機の一例の全体を示した平面図であ
る。

【図４】図３に示すものの正面図である。

【符号の説明】

１、３１……加工部 ２、３２……下定盤 ３、３３……上定盤 ４、３４……ドライバ ５、３５……サンギア ６、３６……インターナルギア ７、３７……キャリヤ ８……ワーク １０、４０……搬送部 １１……ローディングカセット １２……アンローディングカセット １３……搬送ベルト １５、４５……ローディング部 １６、４６……ローディングテーブル １７、４７……ローディングロボット ２０、５０……アンローディング部 ２１、５１……アンローディングテーブル ２２、５２……アンローディングロボット ２５、５５……移載部 ２６……移載ヘッド ２７、５８、６１……案内ガイド ５６……ローディング側移載部 ５７……ローディングヘッド ５９……アンローディング側移載部 ６０……アンローディングヘッド

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワークの表面を研磨する少なくとも２つ
   の加工部と、加工部に連設されるとともに、加工前のワ
   ーク及び加工済みのワークを搬送する搬送部と、加工部
   間に設けられるとともに、搬送部から加工前のワークを
   取り出して加工部に供給する前に一時待機させるローデ
   ィング部と、加工部間に設けられるとともに、加工部か
   ら取り出した加工済みのワークを一時待機させた後に搬
   送部に収納するアンローディング部と、加工部に連設さ
   れるとともに、ローディング部から加工前のワークを取
   り出して各加工部へ移載し、又は各加工部から加工済み
   のワークを取り出してアンローディング部に移載する移
   載部とを具えたことを特徴とする研磨機。