JP2000512703A - クライオポンプのパージおよび低真空化による再生方法、クライオポンプおよび制御装置 - Google Patents
クライオポンプのパージおよび低真空化による再生方法、クライオポンプおよび制御装置Info
- Publication number
- JP2000512703A JP2000512703A JP09533463A JP53346397A JP2000512703A JP 2000512703 A JP2000512703 A JP 2000512703A JP 09533463 A JP09533463 A JP 09533463A JP 53346397 A JP53346397 A JP 53346397A JP 2000512703 A JP2000512703 A JP 2000512703A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cryopump
- vacuum
- low
- valve
- purge
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/06—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means
- F04B37/08—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for evacuating by thermal means by condensing or freezing, e.g. cryogenic pumps
- F04B37/085—Regeneration of cryo-pumps
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S417/00—Pumps
- Y10S417/901—Cryogenic pumps
Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. クライオポンプの再生方法であって、 クライオポンプにガスパージを施すためにパージバルブを開き、クライオポン プからガスを放出するために周囲の温度よりも十分に上回る高温にクライオポン プ面を昇温させる工程と、 前記高温よりも十分に低い温度にクライオポンプを冷却する工程と、 前記パージバルブを閉じる工程と、 このパージバルブが閉じた状態で低温を維持しつつクライオポンプを低真空化 し、低真空化テストを実施する工程とを備えたクライオポンプの再生方法。 2. 請求項1において、前記冷却工程が、 前記ガスパージを施し続け、クライオポンプを前記低温に冷却している間に低 真空化用ポンプに接続された低真空化用バルブを開く工程を備えたクライオポン プの再生方法。 3. 請求項2において、前記クライオポンプの冷凍機を起動することにより前 記クライオポンプを前記低温に冷却するクライオポンプの再生方法。 4. 請求項2において、前記高温下で前記ガスパージを施している間に低真空 化用バルブが開かれるクライオポンプの再生方法。 5. 請求項4において、前記高温は約330Kであり、前記低温はほぼ周囲の 温度であるクライオポンプの再生方法。 6. 請求項4において、さらに、前記クライオポンプが前記低真空化テストに 合格しない時には、パージと低真空化をクライオポンプに同時に施し、次に再び 前記パージバルブを閉じ、クライオポンプを低真空化して低真空化テストを実施 する工程を備えたクライオポンプの再生方法。 7. 請求項6において、前記低真空化テストに合格しない場合のクライオポン プのパージおよび低真空化は、低温においてのみ行われるクライオポンプの再生 方法。 8. 請求項7において、前記低温下でのパージおよび低真空化は、クライオポ ンプの冷凍機を起動しながら行われるクライオポンプの再生方法。 9. 請求項8において、前記高温は約330Kであり、前記低温はほぼ周囲の 温度であるクライオポンプの再生方法。 10. 請求項1において、さらに、 前記パージガスを高温下で供給している間に低真空化用ポンプに接続された低 真空化用バルブを開く工程を備えたクライオポンプの再生方法。 11. 請求項10において、前記クライオポンプがその冷凍機により低温に冷 却され、ほぼ周囲の温度に維持されるクライオポンプの再生方法。 12. 請求項11において、前記クライオポンプがほぼ周囲の温度に冷却され る際に、前記パージバルブが開状態に維持され、前記低真空化用バルブが開状態 に維持されているクライオポンプの再生方法。 13. クライオポンプの再生方法であって、 ガスパージによりクライオポンプをパージする工程と、 クライオポンプを低真空排気する工程と、 クライオポンプが適切に低真空化されたことをテストする工程と、 クライオポンプがテストに合格しない場合には、 クライオポンプにパージと低真空化同時に施し、 パージを停止し、再びクライオポンプを低真空化してテストを行う工程とを 備えたクライオポンプの再生方法。 14. 請求項13において、前記クライオポンプのパージおよび低真空化がほ ぼ周囲の温度下で行われるクライオポンプの再生方法。 15. 請求項13において、前記パージおよび低真空化の間にクライオポンプ の冷凍機が起動されるクライオポンプの再生方法。 16. クライオポンプの再生方法であって、 クライオポンプのクライオポンプ面を周囲の温度よりも十分に高い温 度にまで昇温させ、クライオポンプにガスパージを施すためにパージバルブを開 き、パージガスを高温下で供給している間に低真空化用ポンプに接続された低真 空化用バルブを開く工程と、 パージバルブおよび低真空化用バルブを開いた状態に保ちつつクライオポンプ の冷凍機を起動し、クライオポンプをほぼ周囲の温度レベルの低温にまで冷却す る工程と、 パージバルブを閉じ、クライオポンプをベース圧力に低真空排気するためにク ライオポンプを低温に維持しつつ低真空化用バルブを開状態に維持する工程と、 クライオポンプを低真空排気しつつ低真空化テストを実施し、クライオポンプ がテストに合格しない場合には低真空化用バルブを開状態に保ちつつパージバル ブを再び開くことにより、クライオポンプを低温下で再パージし低真空化する工 程とを備えたクライオポンプの再生方法。 17. クライオポンプチャンバと、 このクライオポンプチャンバにパージガスを施すための高温パージガスバルブ と、 前記クライオポンプチャンバを低真空化用ポンプに接続するための低真空化用 バルブと、 クライオポンプにガスパージを施すためにパージバルブを開き、クライオポ ンプからガスを放出するために周囲の温度よりも十分に高い温度にクライオポン プを昇温させ、 クライオポンプを前記高温よりも十分に低い温度にまで冷却し、低温を維持 しつつクライオポンプを低真空化し、低真空化テストを実施することにより再生 処理を制御するようにプログラミングされた前記パージガスバルブおよび前記低 真空化用バルブをコントロールするための電子制御装置とを備えたクライオポン プ。 18. 請求項17において、前記制御装置は、 パージガスを供給し続け、クライオポンプを低温に冷却している間に 低真空化用ポンプに接続された低真空化用バルブを開き、 真空ポンプとして十分に低い圧力にクライオポンプを低真空化するために低真 空化用バルブを開状態に維持している間にパージバルブを閉じるようにプログラ ミングされているクライオポンプ。 19. 請求項18において、前記制御装置は、前記クライオポンプの冷凍機を 起動することによりクライオポンプを低温に冷却するクライオポンプ。 20. 請求項18において、前記制御装置は、前記ガスパージが高温において 実施されている間に前記低真空化用バルブを開くクライオポンプ。 21. 請求項20において、前記高温はほぼ330Kであり、前記低温はほぼ 周囲の温度であるクライオポンプ。 22. 請求項20において、前記クライオポンプが低真空化テストに合格しな い場合に、前記制御装置が前記クライオポンプにパージと低真空化を同時に実施 し、次に再びパージバルブを閉じ、クライオポンプを低真空化して低真空化テス トを行うクライオポンプ。 23. 請求項22において、前記クライオポンプが低真空化テストに合格しな い場合に、前記制御装置が低温下でのみ前記クライオポンプをパージし、低真空 化するクライオポンプ。 24. 請求項23において、前記制御装置は前記クライオポンプの冷凍機を起 動させつつ前記低温下でパージと低真空化を行うクライオポンプ。 25. 請求項24において、前記高温はほぼ330Kであり、前記低温はほぼ 周囲の温度であるクライオポンプ。 26. 請求項17において、前記制御装置は、高温下で前記パージガスを供給 している間に低真空化用ポンプに接続された低真空化用バルブを開くようにプロ グラミングされているクライオポンプ。 27. 請求項26において、前記制御装置は、前記クライオポンプの 冷凍機により前記クライオポンプを低温に冷却し、ほぼ周囲の温度の低温に維持 するようにプログラミングされているクライオポンプ。 28. 請求項27において、前記制御装置は、クライオポンプがほぼ周囲の温 度に冷却される時に、前記パージバルブを開状態に維持し、又前記低真空化用バ ルブを開状態に維持するようにプログラミングされているクライオポンプ。 29. クライオポンプチャンバと、 このクライオポンプチャンバにパージガスを供給するための高温パージガスバ ルブと、 前記クライオポンプチャンバを低真空化用ポンプに接続するための低真空化用 バルブと、 クライオポンプをパージするためにパージバルブを開き、 クライオポンプを低真空排気するための低真空化用バルブを開き、 クライオポンプの低真空化が適切に行われたか否かをテストし、クライオポ ンプがこのテストに合格しない場合には、 パージガスバルブおよび低真空化用バルブを同時に開くことによりクライ オポンプをパージおよび低真空化し、 パージガスバルブを閉じ、再び低真空排気を行い、クライオポンプをテス トすることにより再生処理を制御するようにプログラミングされた前記パージガ スバルブおよび低真空化用バルブをコントロールするための電子制御装置とを備 えたクライオポンプ。 30. 請求項29において、前記制御装置は、前記クライオポンプの周囲の温 度下でのパージと低真空化をコントロールするクライオポンプ。 31. 請求項29において、前記制御装置は、前記パージと低真空化の間にク ライオポンプの冷凍機を起動させるクライオポンプ。 32. クライオポンプの再生をコントロールするようにプログラミングされた 電子制御装置であって、 クライオポンプにガスパージを施すためにパージバルブを開き、クラ イオポンプからガスを放出するためにクライオポンプを周囲の温度よりも十分に 上回る高温にまで昇温させるための第1の手段と、 クライオポンプを前記高温よりも十分に低い温度に冷却し、クライオポンプを 低真空化し、低真空化テストを実施する間この低温を維持する第2の手段とを備 えた電子制御装置。 33. 請求項32において、前記第2の手段は、 前記パージガスを供給し続け、クライオポンプを前記低温に冷却している間に 低真空化用ポンプに接続された低真空化用バルブを開く手段と、 クライオポンプを排気のための十分に低い圧力にまで低真空化するために低真 空化用バルブを開状態に維持しつつパージバルブを閉じる手段とを備えた電子制 御装置。 34. 請求項33において、前記制御装置は、ガスパージが高温下で行われて いる間に低真空化用バルブを開く電子制御装置。 35. 請求項34において、前記クライオポンプが低真空化テストに合格しな い場合に、前記制御装置は前記クライオポンプにパージと低真空化を同時に施し 、次に再びパージバルブを閉じ、クライオポンプを低真空化して低真空化テスト を行う電子制御装置。 36. 請求項35において、前記クライオポンプが低真空化テストに合格しな い場合に、前記制御装置が低温下でのみ前記クライオポンプをパージして低真空 化を行う電子制御装置。 37. 請求項36において、前記制御装置は前記クライオポンプの冷凍機を起 動させつつ前記低温下でパージと低真空化を行うな電子制御装置。 38. 請求項32において、前記パージガスを高温下で供給している間に低真 空化用ポンプに接続された低真空化用バルブを開くようにプログラミングされて いる電子制御装置。 39. 請求項38において、前記クライオポンプの冷凍機により前記クライオ ポンプを低温に冷却し、ほぼ周囲の温度である低温に維持する ようにプログラミングされた電子制御装置。 40. 請求項39において、前記クライオポンプがほぼ周囲の温度に冷却され る時に、前記パージバルブを開状態に維持し、前記低真空化用バルブを開状態に 維持するようにプログラミングされた電子制御装置。 41. クライオポンプ再生をコントロールするようにプログラミングされた電 子制御装置であって、 クライオポンプをパージするためにパージガスバルブを開く手段と、 クライオポンプを低真空排気するための低真空化用ポンプを開く手段と、 低真空化が適切に行われたか否かを確かめるためにクライオポンプをテストし 、クライオポンプがこのテストに合格しない場合には、 クライオポンプをパージおよび低真空化するためにパージガスバルブおよび 低真空化用バルブを同時に開き、 パージガスバルブを閉じ、再びクライオポンプを低真空化してテストする手 段とを備えた電子制御装置。 42. 請求項41において、前記制御装置は、パージおよび低真空化の間にク ライオポンプ冷凍機を起動させる電子制御装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US61913196A | 1996-03-20 | 1996-03-20 | |
US08/619,131 | 1996-03-20 | ||
PCT/US1997/002194 WO1997035111A1 (en) | 1996-03-20 | 1997-02-12 | Purge and rough cryopump regeneration process, cryopump and controller |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000512703A true JP2000512703A (ja) | 2000-09-26 |
JP4297975B2 JP4297975B2 (ja) | 2009-07-15 |
Family
ID=24480598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP53346397A Expired - Lifetime JP4297975B2 (ja) | 1996-03-20 | 1997-02-12 | クライオポンプのパージおよび低真空化による再生方法、クライオポンプおよび制御装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5862671A (ja) |
JP (1) | JP4297975B2 (ja) |
DE (2) | DE19781645T1 (ja) |
FR (1) | FR2746453B1 (ja) |
GB (2) | GB2340187B (ja) |
WO (1) | WO1997035111A1 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012237293A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 |
JP2015175342A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
JP2017083171A (ja) * | 2011-03-04 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ヘリウム管理制御システム |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6327863B1 (en) | 2000-05-05 | 2001-12-11 | Helix Technology Corporation | Cryopump with gate valve control |
US7091882B2 (en) | 2001-05-29 | 2006-08-15 | Terion, Incorporated | Automated exchange for determining availability of assets shareable among entities |
US6510697B2 (en) | 2001-06-07 | 2003-01-28 | Helix Technology Corporation | System and method for recovering from a power failure in a cryopump |
US7127901B2 (en) * | 2001-07-20 | 2006-10-31 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
DE602004015858D1 (de) | 2003-06-27 | 2008-09-25 | Helix Tech Corp | Automatisierung der Sicherheits-Regenerierung bei einer Kryopumpe |
WO2005052369A1 (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-09 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | 水の再生方法及び装置 |
US7297055B2 (en) * | 2004-03-16 | 2007-11-20 | Raytheon Company | Vacuum-insulating system and method for generating a high-level vacuum |
US7194867B2 (en) * | 2004-03-19 | 2007-03-27 | Brooks Automation, Inc. | Integrated rough/purge/vent (RPV) valve |
US7228687B2 (en) * | 2004-08-12 | 2007-06-12 | Vat Holding Ag | Valve device |
KR100706818B1 (ko) * | 2005-11-07 | 2007-04-12 | 박병직 | 크라이오 펌프 |
US20090038319A1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopanel and Cryopump Using the Cryopanel |
KR101456892B1 (ko) * | 2008-07-01 | 2014-10-31 | 브룩스 오토메이션, 인크. | 극저온 펌프에 대한 온도 제어를 제공하기 위한 방법 및 장치 |
JP5732404B2 (ja) * | 2008-11-19 | 2015-06-10 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 排気系が組み込まれたプロセスチャンバ |
JP5846966B2 (ja) * | 2012-03-01 | 2016-01-20 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びその再生方法 |
US9186601B2 (en) * | 2012-04-20 | 2015-11-17 | Sumitomo (Shi) Cryogenics Of America Inc. | Cryopump drain and vent |
JP6124626B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2017-05-10 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ及びその再生方法 |
JP6351525B2 (ja) | 2015-03-04 | 2018-07-04 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプシステム、クライオポンプ制御装置、及びクライオポンプ再生方法 |
JP7455040B2 (ja) * | 2020-10-05 | 2024-03-25 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの再生方法 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2949092A1 (de) * | 1979-12-06 | 1981-06-11 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Kryopumpe |
US4356810A (en) * | 1981-02-17 | 1982-11-02 | William J. Ferlin | Plural burner gas cooker |
US4514204A (en) * | 1983-03-21 | 1985-04-30 | Air Products And Chemicals, Inc. | Bakeable cryopump |
US4718240A (en) * | 1985-03-01 | 1988-01-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump regeneration method and apparatus |
JPS62502276A (ja) * | 1985-03-01 | 1987-09-03 | ヘリックス・テクノロジ−・コ−ポレ−ション | 低温ポンプの再生方法および装置 |
DE3680335D1 (de) * | 1986-06-23 | 1991-08-22 | Leybold Ag | Kryopumpe und verfahren zum betrieb dieser kryopumpe. |
JPS6312890A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Sumitomo Precision Prod Co Ltd | クライオポンプの始動及び再生方法 |
US4918930A (en) * | 1988-09-13 | 1990-04-24 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
US5157928A (en) * | 1988-09-13 | 1992-10-27 | Helix Technology Corporation | Electronically controlled cryopump |
WO1990012231A1 (en) * | 1989-04-07 | 1990-10-18 | Helix Technology Corporation | Pressure relief valve and cryopump utilizing the same |
CA2096419A1 (en) * | 1990-11-19 | 1992-05-20 | Gerd Flick | Process for regenerating a cryopump and suitable cryopump for implementing this process |
JPH04326943A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Hitachi Ltd | 真空排気システム及び排気方法 |
DE9111236U1 (ja) * | 1991-09-10 | 1992-07-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | |
US5228299A (en) * | 1992-04-16 | 1993-07-20 | Helix Technology Corporation | Cryopump water drain |
GB2300885B (en) * | 1993-02-26 | 1997-09-24 | Helix Tech Corp | Cryogenic vacuum pump with electronically controlled regeneration |
US5375424A (en) * | 1993-02-26 | 1994-12-27 | Helix Technology Corporation | Cryopump with electronically controlled regeneration |
US5513499A (en) * | 1994-04-08 | 1996-05-07 | Ebara Technologies Incorporated | Method and apparatus for cryopump regeneration using turbomolecular pump |
US5517823A (en) * | 1995-01-18 | 1996-05-21 | Helix Technology Corporation | Pressure controlled cryopump regeneration method and system |
-
1997
- 1997-02-12 JP JP53346397A patent/JP4297975B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-12 WO PCT/US1997/002194 patent/WO1997035111A1/en active Application Filing
- 1997-02-12 GB GB9922209A patent/GB2340187B/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-02-12 DE DE19781645T patent/DE19781645T1/de active Pending
- 1997-02-12 DE DE19781645A patent/DE19781645B4/de not_active Expired - Lifetime
- 1997-02-12 GB GB9820453A patent/GB2325707B/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-03-19 FR FR9703345A patent/FR2746453B1/fr not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-02 US US08/848,973 patent/US5862671A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017083171A (ja) * | 2011-03-04 | 2017-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | ヘリウム管理制御システム |
US10113781B2 (en) | 2011-03-04 | 2018-10-30 | Brooks Automation, Inc. | Helium management control system |
US10900699B2 (en) | 2011-03-04 | 2021-01-26 | Edwards Vacuum Llc | Helium management control system |
JP2012237293A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-06 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプのための再生方法 |
JP2015175342A (ja) * | 2014-03-18 | 2015-10-05 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプ、及びクライオポンプの再生方法 |
US10156228B2 (en) | 2014-03-18 | 2018-12-18 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopump and method for regenerating the cryopump |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2340187B (en) | 2000-06-21 |
FR2746453A1 (fr) | 1997-09-26 |
GB9922209D0 (en) | 1999-11-17 |
GB2340187A (en) | 2000-02-16 |
GB9820453D0 (en) | 1998-11-11 |
JP4297975B2 (ja) | 2009-07-15 |
DE19781645B4 (de) | 2005-12-01 |
WO1997035111A1 (en) | 1997-09-25 |
US5862671A (en) | 1999-01-26 |
DE19781645T1 (de) | 1999-03-25 |
GB2325707A (en) | 1998-12-02 |
FR2746453B1 (fr) | 2001-01-05 |
GB2325707B (en) | 2000-06-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2000512703A (ja) | クライオポンプのパージおよび低真空化による再生方法、クライオポンプおよび制御装置 | |
JP3888691B2 (ja) | クライオポンプの再生方法及びクライオポンプ | |
US4763483A (en) | Cryopump and method of starting the cryopump | |
US4438632A (en) | Means for periodic desorption of a cryopump | |
JP3296821B2 (ja) | 電子制御再生を有する極低温真空ポンプ | |
JP6672054B2 (ja) | クライオポンプ、真空処理装置 | |
US20140260338A1 (en) | Cryopump and method for regenerating the cryopump | |
EP1730401B1 (en) | Valve assembly for a cryopump | |
JP2012237263A (ja) | クライオポンプ及びその製造方法 | |
TWI599722B (zh) | Cryogenic pump system, cryogenic pump control device and cryogenic pump regeneration method | |
US4815303A (en) | Vacuum cryopump with improved first stage | |
US5906102A (en) | Cryopump with gas heated exhaust valve and method of warming surfaces of an exhaust valve | |
US6116032A (en) | Method for reducing particulate generation from regeneration of cryogenic vacuum pumps | |
CN111365213A (zh) | 低温泵 | |
US5356270A (en) | Ultra high vacuum cryopump relief valve assembly | |
JP4301532B2 (ja) | クライオポンプの再生方法 | |
US20110265496A1 (en) | Process chamber with integrated pumping | |
JP5669893B2 (ja) | クライオポンプ及びその製造方法 | |
GB2300885A (en) | Cryopump with electronically controlled regeneration | |
JPH02252982A (ja) | クライオポンプ | |
TW202235748A (zh) | 低溫泵 | |
JPH06213154A (ja) | 真空クライオポンプの制御装置 | |
JPS59211778A (ja) | 真空排気装置 | |
JPH04314981A (ja) | クライオポンプ | |
JPH0355678B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070116 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070328 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20070329 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20070521 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080212 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20080208 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080508 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080718 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080930 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20081229 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090407 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090415 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120424 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130424 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140424 Year of fee payment: 5 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |