JP2000354351A - エアスピンドルのアース構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ハウジング１に対し回転軸２がラジアル軸受
５，５及びスラスト軸受１１により浮動状態で支持され
たエアスピンドルＡにおいて、回転軸２を導電性流体Ｆ
ｃを介してアースする場合、導電性流体Ｆｃを磁性流体
Ｆｍにより確実に封止して両者の混合を防ぎ、長期間に
亘り安定して導電性流体Ｆｃの酸化や接地抵抗の増大を
防いで静電気を除去する。 【解決手段】 ハウジング１の下壁部に、回転軸２下端
の接触部２ｅが浸漬される導電性流体Ｆｃを収容する導
電性流体収容部２８と、その上側に位置し、導電性流体
Ｆｃを導電性流体収容部２８に密封する磁性流体Ｆｍを
収容する磁性流体収容部２９とを設け、磁性流体収容部
２９の上側に、磁性流体Ｆｍを導電性流体Ｆｃから分離
するように磁力により吸引する永久磁石３２を設けるこ
とで、回転軸２の回転により導電性流体Ｆｃ及び磁性流
体Ｆｍが撹拌されても、磁性流体Ｆｍが絶えず導電性流
体Ｆｃから分離方向に付勢されるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、空気膜軸受により
浮動状態で支持された回転軸を有するエアスピンドルに
おいて、その回転軸のアース構造に関する技術分野に属
する。

【０００２】

【従来の技術】従来より、この種のエアスピンドルのア
ース構造として、例えば特開平１０―２１０７１２号公
報に示されるように、先端部に磁気ディスクが装着され
る回転軸を空気膜軸受により浮動状態で支持し、その回
転軸基端部の小径の接触部を、収容部に収容されたガリ
ウムＧａやインジウムＩｎ、又はガリウム−インジウム
合金等からなる導電性流体に浸漬することで、磁気ディ
スクに帯電した静電気を回転軸の接触部から導電性流体
を介して逃がすようにしたものは知られている。

【０００３】ところで、上記ガリウム−インジウム合金
等の導電性流体は空気中で酸化し易く、酸化に伴って固
化するのみならず接地抵抗が過度に増大するという特性
があり、このため、表面が空気と接触しないように導電
性流体を収容部内に封じ込めておく必要がある。この封
じ込めの手段として、上記従来のものでは磁性流体を用
い、その磁性流体により導電性流体の表面を覆って導電
性流体を収容部内に封じ込めるようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のも
のでは問題がないわけではなく、改良の余地があった。
すなわち、磁性流体が導電性流体の表面を覆って封じ込
めてはいるものの、回転軸が回転すると、その回転に伴
い、磁性流体と導電性流体とが撹拌されて次第に短時間
で混合してしまうようになり、そのときには導電性流体
の酸化や接地抵抗の増大を十分に防ぎ得ないこととな
る。尚、このような問題は磁性流体に限らず、導電性流
体を酸化防止用オイル等の流体で封止する場合でも同様
に生じる。

【０００５】本発明は斯かる諸点に鑑みてなされたもの
であり、その目的とするところは、上記磁性流体の保持
構造を改良することで、その磁性流体により導電性流体
を確実に封止しながら両者の混合を防止するようにし、
長期間に亘り安定して導電性流体の酸化や接地抵抗の増
大を防いで静電気を除去できるようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、この発明では、磁性流体が磁力により吸引される
ことを利用し、その磁性流体を封じ込めのカバー部とす
べく導電性流体側に向かうように吸引するのではなく、
磁性流体を導電性流体から離れる側に吸引することによ
り、磁性流体が導電性流体に向かって移動して混合され
るのを可及的に阻止するようにした。

【０００７】具体的には、請求項１の発明では、ハウジ
ングに対し回転軸がエア軸受により浮動状態で支持され
たエアスピンドルの上記回転軸をアースするようにした
構造として、上記回転軸の端部が浸漬される導電性流体
を収容する導電性流体収容部と、該導電性流体収容部に
導電性流体を密封する磁性流体を収容する磁性流体収容
部とが設けられ、上記磁性流体を導電性流体から分離す
るように磁力により吸引する磁性流体吸引手段が設けら
れていることを特徴としている。

【０００８】上記の構成によると、磁性流体収容部に収
容されている磁性流体は常に磁性流体吸引手段からの磁
力により吸引されているので、エアスピンドルの作動に
より回転軸が回転して、その回転軸の回転により各収容
部内で導電性流体及び磁性流体が撹拌されても、磁性流
体は上記磁力の吸引により絶えず導電性流体から分離さ
れるようになり、両流体が混合するのを抑制できる。こ
のことで、導電性流体がその収容部内に確実に封止され
ることとなり、その酸化や接地抵抗の増大を長期間に亘
り安定して防いで静電気を除去することができる。

【０００９】請求項２の発明では、上記磁性流体吸引手
段は、回転軸の端部を隙間をあけて挿通させる開口部が
形成された磁石を有するものとする。また、請求項３の
発明では、上記磁石の両側に、回転軸の端部を隙間をあ
けて挿通させる開口部を有する磁性片が積層状態に配置
されているものとする。さらに、請求項４の発明では、
磁石は複数設けられていて、それら複数の磁石間には回
転軸の端部を隙間をあけて挿通させる開口部を有する磁
性片が積層状態に配置されているものとする。このこと
で、望ましい磁性流体吸引手段が容易に得られる。

【００１０】請求項５の発明では、上記磁性流体吸引手
段に対し磁性流体収容部と反対側に、磁性流体収容部内
の磁性流体が回転軸の他方の端部側に移動するのを規制
する規制手段が設けられている構成とする。このこと
で、磁性流体がその収容部から飛び出すのを規制手段に
より効果的に防ぐことができる。

【００１１】請求項６の発明では、上記導電性流体収容
部及び磁性流体収容部に臨む回転軸の端部は他の部分よ
りも小径とされている構成とする。このことで、回転軸
の小径の端部が各収容部内の導電性流体及び磁性流体と
接触して回転したとき、その回転に伴う発熱を防止し、
或いは撹拌ロスを低減したり撹拌を抑制したりすること
ができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】（実施形態１）図２は本発明の実
施形態１に係るエアスピンドルＡの全体構成を示し、こ
のエアスピンドルＡは、例えばクリーンルーム内のクリ
ーン雰囲気中で磁気ディスクや光ディスク等のディスク
Ｗを回転させてその記憶領域の物理的な欠陥やソフト的
な記憶性能等の良否を検査するために使用される。

【００１３】図２において、１はエアスピンドルＡのハ
ウジングで、このハウジング１内には、回転軸２（ディ
スク駆動軸）が配置収容されている。この回転軸２は、
ハウジング１内上部に位置する大径の支持部２ａと、ハ
ウジング１内の上部寄りに位置する円板状のスラストカ
ラー２ｂと、ハウジング１内の略上下中央部に位置する
中径のモータ結合部２ｃと、ハウジング１内の下部寄り
に位置する小径のエンコーダ結合部２ｄと、ハウジング
１内下端部に位置する接触部２ｅとを備え、この接触部
２ｅは他の部分２ａ〜２ｄよりも小径とされている。上
記支持部２ａの上端はハウジング１外に突出して、その
上端には連結フランジ３が一体に設けられ、この連結フ
ランジ３には、回転軸２の軸心を通るエア通路（図示せ
ず）からの加圧エアにより作動するエア駆動タイプのデ
ィスククランプ装置２３が回転一体に結合固定されてお
り、このディスククランプ装置２３により、中心孔（図
示せず）を有するディスクＷを回転軸２に一体的にクラ
ンプ保持して回転させるようになっている。

【００１４】上記ハウジング１内には回転軸２をエアの
静圧により浮動状態で回転可能にかつ軸方向に移動不能
に支持する上下２つのラジアル軸受５，５と１つのスラ
スト軸受１１とが設けられている。すなわち、回転軸２
の支持部２ａ外周面と、この支持部２ａに対応するハウ
ジング１内周面との間には僅かな隙間があけられ、この
回転軸２の支持部２ａに対応するハウジング１内周面の
上端部には半径方向に延びる複数の第１エアノズル孔
６，６，…が、また下端部には同様の複数の第２エアノ
ズル孔７，７，…がそれぞれ形成されている。ハウジン
グ１の外周部には図外の加圧エア供給源が接続される軸
受エア供給口８が形成され、この軸受エア供給口８は、
ハウジング１の壁部内の加圧エア供給通路９を介して上
記各第１及び第２エアノズル孔６，７に常時連通されて
いる。そして、加圧エア供給源からの加圧エアを軸受エ
ア供給口８を介して加圧エア供給通路９に供給し、その
加圧エア供給通路９内の加圧エアの一部を上下の第１及
び第２エアノズル孔６，７を経て支持部２ａ外周面に噴
出させることで、そのエア圧（静圧）により回転軸２を
支持部２ａの上下２箇所にてハウジング１内面に接触し
ない浮動状態で回転可能に支持するようになっている。

【００１５】ハウジング１内の上部寄りの内周には、上
記回転軸２のスラストカラー２ｂを内部に収容する環状
凹溝１２が形成され、この環状凹溝１２の上面はスラス
トカラー２ｂ上面に、また環状凹溝１２の下面はスラス
トカラー２ｂ下面にそれぞれ僅かな隙間をあけて対向し
ている。尚、環状凹溝１２の底面（外周側面）とスラス
トカラー２ｂの外周面との間は比較的大きな隙間があけ
られている。上記環状凹溝１２の上面には上下方向に貫
通する複数の上側エアノズル孔１３，１３，…（１つの
み図示する）が、また環状凹溝１２の下面には、同様に
上下方向に貫通する下側エアノズル孔１４，１４，…
（１つのみ図示する）がそれぞれ周方向に等間隔をあけ
て形成され、この各エアノズル孔１３，１４は上記加圧
エア供給通路９に常時連通しており、加圧エア供給通路
９に供給された加圧エアの残りをエアノズル孔１３，１
４を経てスラストカラー２ｂの上下面に噴出させること
で、そのエア圧（静圧）により回転軸２を環状凹溝１２
の上下面（ハウジング１内面）に接触しない浮動状態で
上下方向（軸方向）に移動不能に支持するようになって
いる。

【００１６】上記ハウジング１内の略上下中央部の空間
には、回転軸２を介してディスククランプ装置２３及び
ディスクＷを所定回転数（例えば２００００ｒｐｍ）で
回転駆動するためのモータ１６が装着されている。この
モータ１６は、ハウジング１の内周壁に固定されたステ
ータ１７（固定電極）と、このステータ１７の内側にあ
る回転軸２のモータ結合部２ｃに固定された永久磁石か
らなるロータ１８とで構成されている。また、上記ハウ
ジング１内の下部寄りには、エンコーダ結合部２ｄに固
定されかつ回転軸２の回転数等を検出するためのロータ
リエンコーダ２０が収容されている。

【００１７】尚、上記モータ１６とロータリエンコーダ
２０との間のハウジング１には図外の排気管が接続され
る排気口２２が開口されており、上記ラジアル軸受５，
５及びスラスト軸受１１から排出されたエアの大半部を
排気口２２から排気管に排出するようにしている。

【００１８】また、図１に拡大して示すように、ハウジ
ング１下端部の壁部は、下側に開放されかつ底壁中心部
に上記回転軸２下部のエンコーダ結合部２ｄが隙間をあ
けて挿通される上下方向の貫通孔２５ａを有する箱状の
上壁部材２５と、この上壁部材２５の下端部にその下端
開口を塞いで上壁部材２５との間に密閉状の空間を形成
するように取付固定された円板状の下壁部材２６とを組
み合わせてなり、上下壁部材２５，２６間の空間には、
ＳＵＳ３０４やＳＵＳ３０３等の非磁性金属からなる容
器２７が配置固定されている。これらの容器２７及び上
下壁部材２５，２６は互いに導電可能とされていて、上
下壁部材２５，２６は図外のアース部に接続されてい
る。

【００１９】上記容器２７の上面中心部には、上記回転
軸２下端部の接触部２ｅが隙間をあけて挿入される有底
状の凹部からなる収容部２８〜３０が形成されている。
この収容部２８〜３０は、最下端部（奥底部）に位置す
る小径の導電性流体収容部２８と、この導電性流体収容
部２８の上側に段差状に連続する磁性流体収容部２９
と、この磁性流体収容部２９の上側に段差状に連続する
磁石収容部３０とからなり、上記導電性流体収容部２８
には、室温（常温）で液状となるガリウム−インジウム
合金等の非磁性の導電性流体Ｆｃ（ガリウム又はインジ
ウムでもよい）が収容され、この導電性流体Ｆｃには上
記回転軸２下端部の接触部２ｅが下端部にて浸漬されて
いる。

【００２０】また、上記磁性流体収容部２９には磁性流
体Ｆｍが回転軸２の接触部２ｅを挿通接触（浸漬）させ
た状態で収容され、この磁性流体Ｆｍは、その下側の導
電性流体Ｆｃを導電性流体収容部２８に密封して同流体
Ｆｃが空気と接触するのを遮断するために用いられる。

【００２１】さらに、上記磁性流体収容部２９に対し導
電性流体収容部２８と反対側、つまり上記容器２７の磁
石収容部３０には、上記磁性流体収容部２９内の磁性流
体Ｆｍを導電性流体Ｆｃから分離するように磁力により
吸引する磁性流体吸引部３１が設けられている。この磁
性流体吸引部３１は、回転軸２の接触部２ｅを隙間をあ
けて挿通させる開口部３２ａが形成された円板状の永久
磁石３２を有し、この磁石３２の上下両側には、回転軸
２の接触部２ｅを隙間をあけて挿通させる開口部３３
ａ，３３ａを有する１対の同じ形状の円板状磁性片３
３，３３が配置され、この磁性片３３は磁石３２からの
磁路を形成するもので、これら磁石３２及び磁性片３
３，３３は積層状態に一体化されて磁石収容部３０内に
嵌合固定されている。上記各磁性片３３の開口部３３ａ
の径は永久磁石３２の開口部３２ａよりも小径で、これ
ら３つの開口部３３ａ，３２ａ，３３ａにより中凸形状
の孔部が形成されている。尚、このような構造であれ
ば、市販の磁性流体シールをそのまま磁性流体吸引部３
１として用いることができて有利である。

【００２２】したがって、上記実施形態においては、デ
ィスククランプ装置２３によりディスクＷがクランプさ
れると、そのクランプ状態で、エアスピンドルＡのモー
タ１６による回転駆動によりディスクＷがディスククラ
ンプ装置２３と共に回転されて、その記憶領域の物理的
な欠陥やソフト的な記憶性能等の良否が検査される。

【００２３】そのとき、上記回転軸２下端部の接触部２
ｅは、ハウジング１下部の容器２７における導電性流体
収容部２８内の導電性流体Ｆｃに浸漬されているので、
上記浮動状態にある回転軸２と共に回転するディスクＷ
に静電気が発生しても、その静電気を回転軸２の接触部
２ｅ、導電性流体Ｆｃ及び容器２７を介してハウジング
１及びアース部に逃がすことができる。

【００２４】また、上記導電性流体収容部２８内の導電
性流体Ｆｃ及び磁性流体収容部２９の磁性流体Ｆｍに浸
漬されている接触部２ｅは、回転軸２の他の部分２ａ〜
２ｄよりも小径のものであるので、この接触部２ｅが導
電性流体Ｆｃ及び磁性流体Ｆｍと接触して回転したと
き、その回転に伴う発熱を防止し、或いは撹拌ロスを低
減したり撹拌を抑制したりすることができる。

【００２５】さらに、上記磁性流体収容部２９に収容さ
れている磁性流体Ｆｍは常に磁性流体吸引部３１の磁石
３２からの磁力により上側に吸引され、その一部が、磁
性片３３，３３及び永久磁石３２の３つの開口部３３
ａ，３２ａ，３３ａにより形成される中凸形状の孔部に
吸着状態で充填される。このため、エアスピンドルＡの
作動により回転軸２の接触部２ｅが回転して、その接触
部２ｅの回転により各収容部２８，２９内で導電性流体
Ｆｃ及び磁性流体Ｆｍが撹拌されたとしても、磁性流体
Ｆｍは上記磁石３２の吸引により絶えず導電性流体Ｆｃ
から分離するように付勢され、その磁性流体Ｆｍが導電
性流体Ｆｃと混合するのを抑制することができる。この
ことで、導電性流体Ｆｃがその収容部２８内に空気と接
触しないように確実に封止されて、その酸化や接地抵抗
の増大を防止でき、長期間に亘り安定してディスクＷの
静電気を除去することができ、延いてはエアスピンドル
Ａのメンテナンスの容易化やその期間の延長を図ること
ができる。

【００２６】（実施形態２）図３は本発明の実施形態２
を示し（尚、以下の各実施形態では図１及び図２と同じ
部分については同じ符号を付してその詳細な説明は省略
する）、上記実施形態１では、磁性流体吸引部３１にお
ける各磁性片３３の開口部３３ａの径を永久磁石３２の
開口部３２ａよりも小径として、これら３つの開口部３
３ａ，３２ａ，３３ａにより中凸形状の孔部を形成して
いるのに対し、この実施形態では、磁性片３３及び永久
磁石３２の各開口部３３ａ，３２ａを同径として、これ
ら３つの開口部３３ａ，３２ａ，３３ａにより円筒形状
の孔部を形成したものである。その他の構成は実施形態
１と同じであり、この実施形態でも実施形態１と同様の
作用効果を得ることができる。

【００２７】尚、上記実施形態１又は２の構成におい
て、永久磁石３２と各磁性片３３との各位置をそのまま
変えてもよい。すなわち、磁石３２を２つ（３つ以上で
もよい）として、それら両磁石３２，３２間に、回転軸
２の接触部２ｅを隙間をあけて挿通させる開口部３３ａ
を有する磁性片３３を磁石３２と積層状態に配置するの
である。その場合も上記と同様の作用効果を奏すること
ができる。

【００２８】（実施形態３）図４は実施形態３を示し、
上記各実施形態では、永久磁石３２と磁性片３３とを組
み合わせて磁性流体吸引部３１を構成しているのに対
し、１つの永久磁石３２で構成したものである。３５は
永久磁石３２を磁石収容部３０から抜け出さないように
係止する止め輪である。その他は上記実施形態１と同じ
構成である。よって、この実施形態でも実施形態１又は
２と同様の作用効果が得られる。そのことに加え、部品
点数を少なくできる利点がある。

【００２９】（実施形態４）図５は実施形態４を示す。
この実施形態では、上記実施形態３の構成において、ハ
ウジング１下部を構成する上壁部材２５の貫通孔２５ａ
周縁に、すなわち磁性流体吸引部３１の永久磁石３２に
対し磁性流体収容部２９と反対側たる上側に、シール部
３７が回転軸２のエンコーダ結合部２ｄと隙間をあけて
設けられている。このシール部３７は、磁性流体収容部
２９内の磁性流体Ｆｍが上側（回転軸２の他方の端部
側）に移動するのを規制するためのもので、例えばエア
シールやねじシール、オイルシールが望ましい。

【００３０】したがって、この場合、磁性流体収容部２
９内の磁性流体Ｆｍが上側に移動するのを規制するシー
ル部３７が設けられているので、エアスピンドルＡを上
下方向からある程度傾けた姿勢で使用しても、磁性流体
Ｆｍがその収容部２９から飛び出すことはない。

【００３１】尚、以上の各実施形態では、磁性流体吸引
部３１は永久磁石３２を有するものとしているが、この
永久磁石３２に代えて電磁石を設けてもよく、その他の
構造でもよい。要は、磁性流体Ｆｍを導電性流体Ｆｃか
ら分離するように磁力により吸引する手段であればよ
い。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よると、エアスピンドルにおける回転軸のアース構造と
して、回転軸の端部が浸漬される導電性流体を収容する
導電性流体収容部と、該導電性流体収容部に導電性流体
を密封する磁性流体を収容する磁性流体収容部とを設
け、この磁性流体収容部の磁性流体を導電性流体から分
離するように磁力により吸引する磁性流体吸引手段を設
けたことにより、回転軸の回転により導電性流体及び磁
性流体が撹拌されても、磁性流体を絶えず導電性流体か
ら分離して両流体の混合を抑制でき、導電性流体の確実
な封止により、長期間に亘り安定して導電性流体の酸化
や接地抵抗の増大を防いで静電気を除去することができ
る。

【００３３】請求項２の発明では、磁性流体吸引手段
は、回転軸の端部を隙間をあけて挿通させる開口部を有
する磁石を備えたものとした。また、請求項３の発明で
は、上記磁石の両側に、回転軸の端部を隙間をあけて挿
通させる開口部を有する磁性片が積層状態に配置されて
いるものとした。さらに、請求項４の発明では、磁石は
複数設けられていて、それら複数の磁石間に、回転軸の
端部を隙間をあけて挿通させる開口部を有する磁性片が
積層状態に配置されているものとした。従って、これら
の発明によると、望ましい磁性流体吸引手段が容易に得
られる。

【００３４】請求項５の発明によると、磁性流体吸引手
段に対し磁性流体収容部と反対側に、磁性流体収容部内
の磁性流体が回転軸の他方の端部側に移動するのを規制
する規制手段を設けたことにより、磁性流体の収容部か
らの飛出しを防ぐことができる。

【００３５】請求項６の発明によると、回転軸の導電性
流体収容部及び磁性流体収容部に臨む端部は他の部分よ
りも小径のものとしたことにより、この回転軸の小径の
端部が各収容部内の導電性流体及び磁性流体と接触して
回転したときの発熱を防止し、或いは撹拌ロスを低減し
たり撹拌を抑制したりすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】エアスピンドルのアース構造を拡大して示す断
面図である。

【図２】本発明の実施形態１に係るエアスピンドルの全
体構成を示す断面図である。

【図３】本発明の実施形態２を示す図１相当図である。

【図４】実施形態３を示す図１相当図である。

【図５】実施形態４を示す図１相当図である。

【符号の説明】

Ａ エアスピンドル １ ハウジング ２ 回転軸 ２ｅ 接触部 ５ ラジアル軸受 １１ スラスト軸受 １６ モータ ２７ 容器 ２８ 導電性流体収容部 ２９ 磁性流体収容部 ３１ 磁性流体吸引部（磁性流体吸引手段） ３２ 永久磁石 ３２ａ 開口部 ３３ 磁性片 ３３ａ 開口部 ３７ シール部（規制手段） Ｗ 磁気ディスク（ディスク） Ｆｃ 導電性流体 Ｆｍ 磁性流体

フロントページの続き Ｆターム(参考） 3J102 AA02 BA03 BA19 EA02 EA06 EA22 GA07 5H607 AA00 BB01 BB14 BB25 DD14 FF12 GG01 GG02 GG13 GG14 GG19 HH03 HH05 KK01 KK03 5H611 AA03 BB01 PP07 QQ01 RR00 SS00 UA05 UB00

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ハウジングに対し回転軸がエア軸受によ
   り浮動状態で支持されたエアスピンドルの上記回転軸を
   アースするようにした構造であって、 上記回転軸の端部が浸漬される導電性流体を収容する導
   電性流体収容部と、該導電性流体収容部に導電性流体を
   密封する磁性流体を収容する磁性流体収容部とが設けら
   れ、 上記磁性流体を導電性流体から分離するように磁力によ
   り吸引する磁性流体吸引手段が設けられていることを特
   徴とするエアスピンドルのアース構造。
2. 【請求項２】 請求項１のエアスピンドルのアース構造
   において、 磁性流体吸引手段は、回転軸の端部を隙間をあけて挿通
   させる開口部が形成された磁石を有することを特徴とす
   るエアスピンドルのアース構造。
3. 【請求項３】 請求項２のエアスピンドルのアース構造
   において、 磁石の両側には、回転軸の端部を隙間をあけて挿通させ
   る開口部を有する磁性片が積層状態に配置されているこ
   とを特徴とするエアスピンドルのアース構造。
4. 【請求項４】 請求項２のエアスピンドルのアース構造
   において、 磁石は複数設けられていて、これら複数の磁石間には、
   回転軸の端部を隙間をあけて挿通させる開口部を有する
   磁性片が積層状態に配置されていることを特徴とするエ
   アスピンドルのアース構造。
5. 【請求項５】 請求項１のエアスピンドルのアース構造
   において、 磁性流体吸引手段に対し磁性流体収容部と反対側には、
   磁性流体収容部内の磁性流体が回転軸の他方の端部側に
   移動するのを規制する規制手段が設けられていることを
   特徴とするエアスピンドルのアース構造。
6. 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか１つのエアスピ
   ンドルのアース構造において、 導電性流体収容部及び磁性流体収容部に臨む回転軸の端
   部は他の部分よりも小径とされていることを特徴とする
   エアスピンドルのアース構造。