JP2000350991A - 電気脱イオン装置 - Google Patents
電気脱イオン装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電気脱イオン装置の脱塩室内の水解離や炭酸
ガス、シリカ等のイオン化を積極的に行うことにより、
より純度の高い脱イオン水を得る。 【解決手段】 陰極と陽極との間に、複数のアニオン交
換膜とカチオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩
室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填し
てなる電気脱イオン装置において、カチオン交換膜の脱
塩室側の表面に金属水酸化物を担持させる；該脱塩室に
イオン交換体と金属水酸化物を担持させた触媒との混合
物を充填する；或いは、該脱塩室にマグネシウム又は重
金属の水酸化物を担持させたスペーサを設ける。
ガス、シリカ等のイオン化を積極的に行うことにより、
より純度の高い脱イオン水を得る。 【解決手段】 陰極と陽極との間に、複数のアニオン交
換膜とカチオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩
室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填し
てなる電気脱イオン装置において、カチオン交換膜の脱
塩室側の表面に金属水酸化物を担持させる；該脱塩室に
イオン交換体と金属水酸化物を担持させた触媒との混合
物を充填する；或いは、該脱塩室にマグネシウム又は重
金属の水酸化物を担持させたスペーサを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は電気脱イオン装置に
係り、特に、電気脱イオン装置の脱塩室内の水解離や炭
酸ガス、シリカ等のイオン化を積極的に行うことによ
り、より純度の高い脱イオン水を得ることを可能とする
電気脱イオン装置に関する。
係り、特に、電気脱イオン装置の脱塩室内の水解離や炭
酸ガス、シリカ等のイオン化を積極的に行うことによ
り、より純度の高い脱イオン水を得ることを可能とする
電気脱イオン装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体製造工場、液晶製造工場、
製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業ないし研
究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図
１（ａ）に示す如く、電極（陽極１１，陰極１２）の間
に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を
交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成
し、脱塩室１６にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂
との混合イオン交換樹脂や、イオン交換繊維等のイオン
交換体１０を充填した電気脱イオン装置が多用されてい
る（特許第１７８２９４３号）。なお、図１（ａ）にお
いて、１７は陽極室、１８は陰極室である。
製薬工業、食品工業、電力工業等の各種の産業ないし研
究施設等において使用される脱イオン水の製造には、図
１（ａ）に示す如く、電極（陽極１１，陰極１２）の間
に複数のアニオン交換膜１３及びカチオン交換膜１４を
交互に配列して濃縮室１５と脱塩室１６とを交互に形成
し、脱塩室１６にアニオン交換樹脂とカチオン交換樹脂
との混合イオン交換樹脂や、イオン交換繊維等のイオン
交換体１０を充填した電気脱イオン装置が多用されてい
る（特許第１７８２９４３号）。なお、図１（ａ）にお
いて、１７は陽極室、１８は陰極室である。
【０００３】電気脱イオン装置は効率的な脱塩処理が可
能であり、イオン交換樹脂のような再生を必要とせず、
完全な連続採水が可能で、極めて高純度の水が得られる
という優れた効果を奏する。
能であり、イオン交換樹脂のような再生を必要とせず、
完全な連続採水が可能で、極めて高純度の水が得られる
という優れた効果を奏する。
【０００４】電気脱イオン装置による脱イオン水の製造
においては、水解離によって酸とアルカリを生成させ、
脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続的に再生
する必要があり、この脱塩室内の水解離が十分でない
と、脱イオン水の純度や処理の安定性に問題が生じるよ
うになる。また、炭酸ガスやシリカなどの酸性ないし中
性域ではイオン化しない物質を除去するためには、下記
のようなイオン化反応を脱塩室内で生起させて除去する
必要がある。
においては、水解離によって酸とアルカリを生成させ、
脱塩室内に充填されているイオン交換体を連続的に再生
する必要があり、この脱塩室内の水解離が十分でない
と、脱イオン水の純度や処理の安定性に問題が生じるよ
うになる。また、炭酸ガスやシリカなどの酸性ないし中
性域ではイオン化しない物質を除去するためには、下記
のようなイオン化反応を脱塩室内で生起させて除去する
必要がある。
【０００５】ＣＯ2＋ＯＨ- → ＨＣＯ3 - ＳｉＯ2＋ＯＨ- → ＨＳｉＯ3 - 従来、脱塩室内の水解離や上記イオン化を促進するため
に、アニオン交換膜の表面層に弱塩基型のアニオン交換
基を導入する方法（特開平８−１８２９９１号公報）、
或いはカチオン交換膜の表面層に弱酸型のカチオン交換
基を導入する方法（特開平８−１９２１６４号公報）等
が提案されている。
に、アニオン交換膜の表面層に弱塩基型のアニオン交換
基を導入する方法（特開平８−１８２９９１号公報）、
或いはカチオン交換膜の表面層に弱酸型のカチオン交換
基を導入する方法（特開平８−１９２１６４号公報）等
が提案されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来法でも水解離量やイオン化率が十分であるとは言え
ず、より一層容易かつ効率的に水解離量やイオン化率を
増大させて高純度の脱イオン水を製造することが望まれ
ている。
来法でも水解離量やイオン化率が十分であるとは言え
ず、より一層容易かつ効率的に水解離量やイオン化率を
増大させて高純度の脱イオン水を製造することが望まれ
ている。
【０００７】本発明は上記従来の実情に鑑みてなされた
ものであって、脱塩室内の水解離や炭酸ガス、シリカ等
のイオン化を積極的に行うことにより、より純度の高い
脱イオン水を得ることを可能とする電気脱イオン装置を
提供することを目的とする。
ものであって、脱塩室内の水解離や炭酸ガス、シリカ等
のイオン化を積極的に行うことにより、より純度の高い
脱イオン水を得ることを可能とする電気脱イオン装置を
提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の電気脱イオン装
置は、陰極と陽極との間に、複数のアニオン交換膜とカ
チオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交
互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電
気脱イオン装置において、例えば次のようにして脱塩室
内にマグネシウム又は重金属の水酸化物（以下、これら
を「金属水酸化物」と称す。）を存在させたものであ
る。
置は、陰極と陽極との間に、複数のアニオン交換膜とカ
チオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩室とを交
互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填してなる電
気脱イオン装置において、例えば次のようにして脱塩室
内にマグネシウム又は重金属の水酸化物（以下、これら
を「金属水酸化物」と称す。）を存在させたものであ
る。
【０００９】 カチオン交換膜の脱塩室側の表面に金
属水酸化物を担持させる。 脱塩室にイオン交換体と金属水酸化物を担持させた
触媒との混合物を充填する。この場合、触媒の混合割合
はイオン交換体に対して３〜７０重量％であることが好
ましい。 脱塩室に金属水酸化物を担持させたスペーサを設け
る。
属水酸化物を担持させる。 脱塩室にイオン交換体と金属水酸化物を担持させた
触媒との混合物を充填する。この場合、触媒の混合割合
はイオン交換体に対して３〜７０重量％であることが好
ましい。 脱塩室に金属水酸化物を担持させたスペーサを設け
る。
【００１０】即ち、本発明者は、脱塩室内に金属水酸化
物を導入することにより、その触媒作用によって水を効
率的に解離させることができ、また、前述のイオン化も
促進されることを見出し、本発明に到達した。
物を導入することにより、その触媒作用によって水を効
率的に解離させることができ、また、前述のイオン化も
促進されることを見出し、本発明に到達した。
【００１１】本発明では、脱塩室内の金属水酸化物の触
媒作用で、金属水酸化物表面で水の解離や、前記炭酸ガ
スやシリカのイオン化が促進され、この結果、脱塩室内
のイオン交換効率が高められ、得られる脱イオン水の純
度が著しく向上する。
媒作用で、金属水酸化物表面で水の解離や、前記炭酸ガ
スやシリカのイオン化が促進され、この結果、脱塩室内
のイオン交換効率が高められ、得られる脱イオン水の純
度が著しく向上する。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００１３】本発明の電気脱イオン装置の基本的な構成
は、図１（ａ）に示す従来の一般的な電気脱イオン装置
と同様の構成とされている。さらに濃縮室や電極室にイ
オン交換体、イオン導電体を充填した装置も使用可能で
ある。
は、図１（ａ）に示す従来の一般的な電気脱イオン装置
と同様の構成とされている。さらに濃縮室や電極室にイ
オン交換体、イオン導電体を充填した装置も使用可能で
ある。
【００１４】本発明においては、このような電気脱イオ
ン装置において、例えば次の〜のような方法で電気
脱イオン装置の脱塩室内に金属水酸化物を導入する。
ン装置において、例えば次の〜のような方法で電気
脱イオン装置の脱塩室内に金属水酸化物を導入する。
【００１５】なお、本発明において、金属水酸化物とし
ては、一般的には水酸化マグネシウムが用いられるが、
何らこれに限定されずニッケル、マンガン、鉄、コバル
ト、銅、パラジウム、鉛、チタン、クロム、白金、イン
ジウム、イリジウム等の重金属の水酸化物であっても良
い。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用して
も良い。
ては、一般的には水酸化マグネシウムが用いられるが、
何らこれに限定されずニッケル、マンガン、鉄、コバル
ト、銅、パラジウム、鉛、チタン、クロム、白金、イン
ジウム、イリジウム等の重金属の水酸化物であっても良
い。これらは１種を単独で用いても２種以上を併用して
も良い。
【００１６】 カチオン交換膜の脱塩室側の表面に金
属水酸化物を担持させる。この担持方法としては、例え
ば、０．１〜１０重量％程度の塩化マグネシウム水溶液
をカチオン交換膜の脱塩室側の表面に塗布した後、アル
カリ水溶液に浸漬し、その後乾燥する方法を採用するこ
とができる。
属水酸化物を担持させる。この担持方法としては、例え
ば、０．１〜１０重量％程度の塩化マグネシウム水溶液
をカチオン交換膜の脱塩室側の表面に塗布した後、アル
カリ水溶液に浸漬し、その後乾燥する方法を採用するこ
とができる。
【００１７】なお、アニオン交換膜表面に金属水酸化物
を担持した場合は、図１（ｂ）に示す如く、アニオン交
換膜１３の表面は、ＯＨ-イオンが透過することでＨ+イ
オンが多く存在して酸性となり、金属水酸化物が析出し
ないため、金属水酸化物を安定に担持し得ない。従っ
て、Ｈ+イオンが透過し、ＯＨ-イオンが多く存在してア
ルカリ性となるカチオン交換膜１４の脱塩室１６側の表
面に金属水酸化物を担持する。
を担持した場合は、図１（ｂ）に示す如く、アニオン交
換膜１３の表面は、ＯＨ-イオンが透過することでＨ+イ
オンが多く存在して酸性となり、金属水酸化物が析出し
ないため、金属水酸化物を安定に担持し得ない。従っ
て、Ｈ+イオンが透過し、ＯＨ-イオンが多く存在してア
ルカリ性となるカチオン交換膜１４の脱塩室１６側の表
面に金属水酸化物を担持する。
【００１８】 脱塩室にイオン交換体と金属水酸化物
を担持させた触媒との混合物を充填する。ここで、触媒
に金属水酸化物を担持させる方法としては、繊維状、ビ
ーズ状等の活性炭、ゼオライト等の触媒を０．１〜１０
重量％程度の塩化マグネシウム水溶液に浸漬した後引き
上げ、その後、アルカリ水溶液に浸漬し乾燥する方法を
採用することができる。この場合、金属水酸化物を担持
した触媒の混合割合は、少な過ぎるとこれを混合したこ
とによる十分な改善効果が得られず、多過ぎると相対的
にイオン交換体が減って、イオン交換能が低下すること
から、イオン交換体に対して３〜７０重量％、特に５〜
２０重量％とするのが好ましい。
を担持させた触媒との混合物を充填する。ここで、触媒
に金属水酸化物を担持させる方法としては、繊維状、ビ
ーズ状等の活性炭、ゼオライト等の触媒を０．１〜１０
重量％程度の塩化マグネシウム水溶液に浸漬した後引き
上げ、その後、アルカリ水溶液に浸漬し乾燥する方法を
採用することができる。この場合、金属水酸化物を担持
した触媒の混合割合は、少な過ぎるとこれを混合したこ
とによる十分な改善効果が得られず、多過ぎると相対的
にイオン交換体が減って、イオン交換能が低下すること
から、イオン交換体に対して３〜７０重量％、特に５〜
２０重量％とするのが好ましい。
【００１９】 脱塩室に金属水酸化物を担持させたス
ペーサを設ける。ここで、スペーサに金属水酸化物を担
持させる方法としては、メッシュ状、ジグザグ状等のポ
リエチレン製、ポリプロピレン製、ポリエステル製等の
カチオン交換基を有したスペーサを１．０〜１０重量％
程度の塩化マグネシウム水溶液に浸漬した後引き上げ、
その後、アルカリ水溶液に浸漬し乾燥する方法を採用す
ることができる。
ペーサを設ける。ここで、スペーサに金属水酸化物を担
持させる方法としては、メッシュ状、ジグザグ状等のポ
リエチレン製、ポリプロピレン製、ポリエステル製等の
カチオン交換基を有したスペーサを１．０〜１０重量％
程度の塩化マグネシウム水溶液に浸漬した後引き上げ、
その後、アルカリ水溶液に浸漬し乾燥する方法を採用す
ることができる。
【００２０】本発明において、金属水酸化物を脱塩室内
に存在させる方法としては、上記〜に何ら限定され
ず、イオン交換体に金属水酸化物を担持させても良い。
に存在させる方法としては、上記〜に何ら限定され
ず、イオン交換体に金属水酸化物を担持させても良い。
【００２１】
【実施例】以下に比較例及び実施例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００２２】なお、以下の比較例及び実施例で用いた試
験装置は、下記の装置を図２に示す如く、直列に配置し
たものである。
験装置は、下記の装置を図２に示す如く、直列に配置し
たものである。
【００２３】 電気脱イオン装置： 栗田工業（株）製「ピュアエースＰＡ−２００」 処理水量１００Ｌ／ｈｒ 活性炭装置 ： 栗田工業（株）製「クリコールＫＷ１０−３０」 逆浸透膜装置 ： 栗田工業（株）製「マクエースＫＮ２００」 比較例１ 電気脱イオン装置のイオン交換膜及び脱塩室に充填する
イオン交換樹脂として次のものを用い、表１に示す条件
で通水を行い、得られた処理水の抵抗値、シリカ濃度及
びシリカ除去率を調べ、結果を表１に示した。 アニオン交換膜： 旭化成工業（株）製「アシプレック
スＡ５０１ＳＢ」 カチオン交換膜： 旭化成工業（株）製「アシプレック
スＫ５０１ＳＢ」 イオン交換樹脂： アニオン交換樹脂；三菱化学（株）
製「ＳＡ１０Ａ」とカチオン交換樹脂；三菱化学（株）
製「ＳＫ１Ｂ」とを体積混合比率６：４で混合したも
の。
イオン交換樹脂として次のものを用い、表１に示す条件
で通水を行い、得られた処理水の抵抗値、シリカ濃度及
びシリカ除去率を調べ、結果を表１に示した。 アニオン交換膜： 旭化成工業（株）製「アシプレック
スＡ５０１ＳＢ」 カチオン交換膜： 旭化成工業（株）製「アシプレック
スＫ５０１ＳＢ」 イオン交換樹脂： アニオン交換樹脂；三菱化学（株）
製「ＳＡ１０Ａ」とカチオン交換樹脂；三菱化学（株）
製「ＳＫ１Ｂ」とを体積混合比率６：４で混合したも
の。
【００２４】実施例１ 比較例１において、カチオン交換膜の脱塩室側の膜表面
に２重量％塩化マグネシウム溶液を塗布した後、ｐＨ１
０のＮａＯＨ水溶液中に１時間浸漬し、その後２５℃で
２時間風乾したものを用いたこと以外は同様にして、表
１に示す通水条件で試験を行い、結果を表１に示した。
に２重量％塩化マグネシウム溶液を塗布した後、ｐＨ１
０のＮａＯＨ水溶液中に１時間浸漬し、その後２５℃で
２時間風乾したものを用いたこと以外は同様にして、表
１に示す通水条件で試験を行い、結果を表１に示した。
【００２５】実施例２ 比較例１において、脱塩室に充填するイオン交換樹脂
に、下記の活性炭に下記の条件で水酸化マグネシウムを
担持させた触媒を５重量％混合したこと以外は同様にし
て、表１に示す通水条件で試験を行い、結果を表１に示
した。 活性炭 ： 栗田工業（株）製「クリコールＫＷ１０−
３０」 担持条件： ２重量％ＭｇＣｌ2水溶液に活性炭を１時
間浸漬した後、ｐＨ１０のＮａＯＨ水溶液に１時間浸漬
後、１００℃で５時間乾燥した。
に、下記の活性炭に下記の条件で水酸化マグネシウムを
担持させた触媒を５重量％混合したこと以外は同様にし
て、表１に示す通水条件で試験を行い、結果を表１に示
した。 活性炭 ： 栗田工業（株）製「クリコールＫＷ１０−
３０」 担持条件： ２重量％ＭｇＣｌ2水溶液に活性炭を１時
間浸漬した後、ｐＨ１０のＮａＯＨ水溶液に１時間浸漬
後、１００℃で５時間乾燥した。
【００２６】実施例３ 比較例１において、脱塩室内に水酸化マグネシウムを下
記条件で担持させたメッシュ状のポリエステル製スペー
サを取り付けたこと以外は同様にして、表１に示す通水
条件で試験を行い、結果を表１に示した。 担持条件： カチオン交換基をグラフト重合で導入した
スペーサを２重量％ＭｇＣｌ2水溶液に１時間浸漬した
後、ｐＨ１０のＮａＯＨ水溶液に１時間浸漬後、８０℃
で３時間乾燥した。
記条件で担持させたメッシュ状のポリエステル製スペー
サを取り付けたこと以外は同様にして、表１に示す通水
条件で試験を行い、結果を表１に示した。 担持条件： カチオン交換基をグラフト重合で導入した
スペーサを２重量％ＭｇＣｌ2水溶液に１時間浸漬した
後、ｐＨ１０のＮａＯＨ水溶液に１時間浸漬後、８０℃
で３時間乾燥した。
【００２７】
【表１】
【００２８】表１より明らかなように、金属水酸化物を
脱塩室内に導入した実施例１〜３では、従来型の比較例
１に比べて処理水質が向上しており、特にシリカの除去
率が著しく向上し、比抵抗値が高く、シリカ濃度が極低
濃度に低減させた処理水を得ることができる。
脱塩室内に導入した実施例１〜３では、従来型の比較例
１に比べて処理水質が向上しており、特にシリカの除去
率が著しく向上し、比抵抗値が高く、シリカ濃度が極低
濃度に低減させた処理水を得ることができる。
【００２９】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の電気脱イオ
ン装置によれば、脱塩室内の水解離や炭酸ガス、シリカ
等のイオン化を促進して、著しく純度の高い脱イオン水
を得ることができる。
ン装置によれば、脱塩室内の水解離や炭酸ガス、シリカ
等のイオン化を促進して、著しく純度の高い脱イオン水
を得ることができる。
【図１】電気脱イオン装置の構成を示す模式的な断面図
である。
である。
【図２】実施例及び比較例で用いた試験装置を示す系統
図である。
図である。
１ 活性炭装置 ２ 逆浸透膜装置 ３ 電気脱イオン装置 １０ イオン交換体 １１ 陽極 １２ 陰極 １３ アニオン交換膜 １４ カチオン交換膜 １５ 濃縮室 １６ 脱塩室 １７ 陽極室 １８ 陰極室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D006 GA03 GA17 HA47 JA30A JA44A KB11 MA13 MA14 PB06 PB08 PB23 PC01 PC11 PC42 4D061 DA08 DB13 DB19 DC18 DC19 DC20 EA09 EB13 FA06 FA08 FA09
Claims (5)
- 【請求項１】 陰極と陽極との間に、複数のアニオン交
換膜とカチオン交換膜とを交互に配列して濃縮室と脱塩
室とを交互に形成し、該脱塩室にイオン交換体を充填し
てなる電気脱イオン装置において、該脱塩室にマグネシ
ウム又は重金属の水酸化物を存在させたことを特徴とす
る電気脱イオン装置。 - 【請求項２】 請求項１において、該カチオン交換膜の
脱塩室側の表面に前記水酸化物を担持させたことを特徴
とする電気脱イオン装置。 - 【請求項３】 請求項１において、該脱塩室にイオン交
換体と前記水酸化物を担持させた触媒との混合物を充填
したことを特徴とする電気脱イオン装置。 - 【請求項４】 請求項３において、該触媒の混合割合が
イオン交換体に対して３〜７０重量％であることを特徴
とする電気脱イオン装置。 - 【請求項５】 請求項１において、該脱塩室に前記水酸
化物を担持させたスペーサを設けたことを特徴とする電
気脱イオン装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16271399A JP4106810B2 (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 電気脱イオン装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16271399A JP4106810B2 (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 電気脱イオン装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000350991A true JP2000350991A (ja) | 2000-12-19 |
| JP4106810B2 JP4106810B2 (ja) | 2008-06-25 |
Family
ID=15759888
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16271399A Expired - Fee Related JP4106810B2 (ja) | 1999-06-09 | 1999-06-09 | 電気脱イオン装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4106810B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003094064A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-02 | Kurita Water Ind Ltd | 電気脱イオン装置 |
| WO2018117035A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | オルガノ株式会社 | 脱イオン水製造システム、電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水製造方法 |
-
1999
- 1999-06-09 JP JP16271399A patent/JP4106810B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003094064A (ja) * | 2001-09-27 | 2003-04-02 | Kurita Water Ind Ltd | 電気脱イオン装置 |
| WO2018117035A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2018-06-28 | オルガノ株式会社 | 脱イオン水製造システム、電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水製造方法 |
| KR20190057377A (ko) | 2016-12-22 | 2019-05-28 | 오르가노 코포레이션 | 탈이온수 제조 시스템, 전기식 탈이온수 제조장치 및 탈이온수 제조방법 |
| JPWO2018117035A1 (ja) * | 2016-12-22 | 2019-10-24 | オルガノ株式会社 | 脱イオン水製造システム、電気式脱イオン水製造装置及び脱イオン水製造方法 |
| KR20200102552A (ko) * | 2016-12-22 | 2020-08-31 | 오르가노 코포레이션 | 탈이온수 제조 시스템, 전기식 탈이온수 제조장치 및 탈이온수 제조방법 |
| KR102210335B1 (ko) * | 2016-12-22 | 2021-02-01 | 오르가노 코포레이션 | 탈이온수 제조 시스템, 전기식 탈이온수 제조장치 및 탈이온수 제조방법 |
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