JP2000348907A - ワイドレンジ用サーミスタ材料 - Google Patents

ワイドレンジ用サーミスタ材料

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 低温から高温まで広い温度範囲において電気
抵抗が低く,調整が可能なワイドレンジ用サーミスタ材
料を提供すること。 【解決手段】 第1相と第2相とよりなり,第1相は絶
縁性のマトリックス粒子より構成され,第2相は三次元
網目状に不連続に分散した半導体性または導電性の第2
相粒子より構成され,硼素または硼素化合物の少なくと
もいずれか一方を含有する。このものを製造するに当た
り,マトリックス粒子用原料と第2相粒子用原料とに対
し,金属硼素粉末または硼素化合物の少なくともいずれ
か一方を添加して,焼成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【技術分野】本発明は,温度センサ,液量用センサ,流
速用センサ等に利用するワイドレンジ用サーミスタ材料
に関する。
【0002】
【従来技術】従来,絶縁性のマトリックス粒子より構成
された第1相と,該第1相に対し,三次元網目状に不連
続に分散した半導体性または導電性の第2相粒子より構
成された第2相とよりなる複合材料が提案されていた。
近年,この材料が持つ,温度と電気抵抗の対数との間の
直線的な関係を利用して,サーミスタ材料として利用す
ることが考えられていた。
【0003】
【解決しようとする課題】しかしながら,従来技術にか
かる上記複合材料は,例えば,−50〜1000℃とい
う幅広い温度範囲で使用するサーミスタや,液量検出用
及び流速検出用のサーミスタの材料として使うためには
電気抵抗が高く,また100Ω〜100kΩという抵抗
値範囲外にあるか,さらには設計上必要な抵抗値範囲に
調整できないため,実用的ではなかった。
【0004】本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので,低温から高温まで広い温度範囲において
電気抵抗が低く,調整が可能なワイドレンジ用サーミス
タ材料を提供しようとするものである。
【0005】
【課題の解決手段】請求項1に記載の発明は,第1相と
第2相とよりなり,上記第1相は絶縁性のマトリックス
粒子より構成され,上記第2相は上記第1相中に三次元
網目状に不連続に分散した半導体性または導電性の第2
相粒子より構成されてなるワイドレンジ用サーミスタ材
料において,硼素または硼素化合物の少なくともいずれ
か一方を含有することを特徴とするワイドレンジ用サー
ミスタ材料にある。
【0006】本発明のサーミスタ材料において,第1相
に対し分散する第2相粒子は次のような状態にあると考
えられる。第2相粒子はマトリックス粒子に対し均一に
分散するのではなく,マトリックス粒子の粒界に存在し
ていて,全体として二次元もしくは三次元網目状の組織
を形成しつつ分散している。また,第1相は絶縁性で,
第2相は半導体性または導電性である。第2相粒子同士
はサブミクロンまたはナノメートルオーダーで近接して
上記第2相を形成するため,本発明のサーミスタ材料に
通電した場合,電流は第2相を経路として流れることと
なる。つまり第2相は導電パスとして機能するのであ
る。
【0007】上記マトリックス粒子としては,後述する
窒化珪素や酸窒化物系セラミックスの他,イットリア,
イットリビュウム,ハフニア,シリカ,またはこれらの
元素化合物,アルミナ,ジルコニア,マグネシア,酸化
鉄等が好ましい。上記第2相粒子としては,後述する炭
化珪素の他,IVa〜VIIIa族の中の珪化物,炭化
物,硼化物,酸化物,窒化物またはIa〜IIb族の元
素で構成される複合酸化物等が好ましい。上記硼素化合
物としては,IVa〜VIa族の硼化物等が挙げられ
る。
【0008】次に,本発明の作用につき説明する。本発
明において最も注目すべきことは,硼素または硼素化合
物の少なくともいずれか一方が含有されていることにあ
る。硼素または硼素化合物は,次のような役割を果たす
と考えられる。まず,本発明にかかるサーミスタ材料中
において,硼素または硼素化合物は第2相に対して固溶
した状態または粒界相構成元素と化合物を形成した状態
にあることが考えられるが,この場合には第2相の電気
伝導度を高めることができる。本発明のサーミスタ材料
における導電性は半導体性または導電性の第2相粒子よ
りなる第2相(第2相間の粒界相も関与している可能性
もある)が主として司っているため,これによりサーミ
スタ材料全体の電気伝導度を高め,電気抵抗を下げるこ
とができる。
【0009】また,硼素または硼素化合物が第2相粒子
間に分散して第3相を形成したり,またはサーミスタ材
料中の他の成分等と共に第3相を形成することが考えら
れるが,この場合は第2相と第3相とがサーミスタ材料
の導電性を司ることになるため,上記と同様にサーミス
タ材料の電気抵抗を下げることができる。
【0010】また,硼素または硼素化合物は0℃以下の
低温から1000℃を越える高温まで高い導電性を有す
る。そのため,硼素または硼素化合物による電気抵抗の
低下は,0℃以下の低温から1000℃を越える高温ま
での幅広い温度範囲において発生する。
【0011】また,本発明にかかるサーミスタ材料にお
いて硼素や硼素化合物の量を制御することで任意の電気
抵抗を持つサーミスタ材料を得ることができる(図1参
照)。これにより,例えば,目的とする温度範囲におい
て温度測定に都合のよい電気抵抗を持ったサーミスタ素
子を容易に製作することができる。
【0012】以上,本発明によれば,低温から高温まで
広い温度範囲において電気抵抗が低く,調整が可能なワ
イドレンジ用サーミスタ材料を提供することができる。
【0013】また,本発明にかかるサーミスタ材料は,
後述するごとくマトリックス粒子や第2相粒子用の原料
に硼素や硼素化合物を添加して焼成することで作製する
ことができる。硼素または硼素化合物を原料の段階で添
加する場合には,焼成時にこれらが液相を生成するた
め,第2相粒子が移動し易くなり,第2相粒子による三
次元網目状の組織の形成をより確実なものとすることが
できる。第2相は導電パスとして機能するため,これに
より,電気抵抗を確実に下げることができる。
【0014】また,本発明にかかるサーミスタ材料にお
いて,マトリックス粒子の平均粒子径R1と第2相粒子
の平均粒子径R2との比R2/R1は,1/2以下であ
ることが好ましい。比R2/R1が1/2より大きい場
合には,マトリックス粒子と第2相粒子との粒子径があ
まり変わらないことから,両者が均一に混ざり合ったよ
うな組織となり,三次元網目状に不連続に分散した第2
相が形成されなくなるおそれがあり,この場合は温度と
電気抵抗の対数との関係から直線性が失われてしまい,
サーミスタ材料として使用できなくなるおそれがある。
なお,比R2/R1は1/6以下であることが更に好ま
しい。また,上記粒子径比の下限はマトリックス粒子間
に形成される三重点で第2相粒子が凝集しやすくなるた
め,10-4以上であることが好ましい。
【0015】また,本発明にかかるサーミスタ材料は,
マトリックス粒子,第2相粒子,硼素及び/または硼素
化合物の他に,焼結助剤,添加剤を含有することが好ま
しい。上記焼結助剤としては,酸化イットリウム等の希
土類酸化物,酸化アルミニウム,酸化珪素,酸化マグネ
シウム,スピネルから選ばれる少なくとも1種類を用い
ることが好ましい。また,上記焼結助剤はサーミスタ材
料100重量%に対し0.5〜20重量%含まれること
が好ましい。
【0016】0.5重量%未満では焼結助剤としての効
果が現れないおそれがある。また,20重量%より多い
場合には,焼結助剤の粒子によって第2相粒子間の距離
が拡がってしまい,第2相の導電性が低下するおそれが
ある。また,マトリックスと粒界相との熱膨張差によっ
て割れが生じやすくなるおそれがある。なお,焼結助剤
の含有量は3重量%〜10重量%とすることが好まし
い。
【0017】また,上記添加剤としては,IVa族〜V
Ia族およびIb族〜Vb族の窒化物,硼化物,珪化
物,硫化物,弗化物または炭化物より得らばれる少なく
とも1種類を用いることが好ましい。添加剤は高温での
耐酸化性を高める等の付加的な効果を得るために添加さ
れる物質である。
【0018】また,これらの添加剤は,サーミスタ材料
100重量部に対して,0.1〜10重量%含まれるこ
とが好ましい。0.1重量%未満である場合には,充分
な効果が現れないおそれがある。また,10重量%より
多く添加しても,効果が飽和してしまうため,添加が無
為となるおそれがある。または抵抗値及び温度抵抗率変
化の大幅低下を招くおそれがある。なお,添加剤の含有
量は0.2〜2重量%とすることが更に好ましい。
【0019】また,請求項2記載の発明のように,上記
硼素または硼素化合物は,金属硼素換算で,ワイドレン
ジ用サーミスタ材料100重量%に対して,0.1〜1
0重量%含まれていることが好ましい。これにより,本
発明にかかる効果を確実に得ることができる。0.1重
量%未満では本発明にかかる効果が得られないおそれが
あり,10重量%より多い場合には高温においてサーミ
スタ材料の強度が低下するおそれがある。
【0020】また,上記第2相粒子はワイドレンジ用サ
ーミスタ材料100重量%に対して,5〜50重量%含
まれていることが好ましい。これにより,本発明にかか
る効果を確実に得ることができる。5重量%未満ではサ
ーミスタ材料から導電性が失われるおそれがあり,50
重量%より多い場合には第2相粒子が第1相に対し連続
的に分散してしまい,サーミスタ材料から電気抵抗の対
数と温度との直線的な関係が失われてしまうおそれがあ
る。
【0021】また,請求項3記載の発明のように,上記
マトリックス粒子は窒化珪素粒子または酸窒化物系セラ
ミックスからなり,上記第2相粒子は炭化珪素粒子より
なることが好ましい。これにより,耐熱性,耐食性や機
械的特性等の優れた特性を得ることができる。
【0022】また,本発明のワイドレンジ用サーミスタ
材料を製造するに当たっては,マトリックス粒子用原料
と第2相粒子用原料とに対し,金属硼素粉末または硼素
化合物の少なくともいずれか一方を添加し,これらを焼
成することが好ましい。
【0023】この製造方法により,金属硼素や硼素化合
物を含んだサーミスタ材料を得ることができ,上述する
ごとく,電気抵抗の低いワイドレンジ用サーミスタ材料
を得ることができる。
【0024】上記硼素化合物としては,硼素を含む酸化
物粉末,硼素を含む窒化物粉末,硼素を含む炭化物粉
末,硼酸,硼素を含むハロゲン化物,硼素を含むアルコ
キシド等を用いることができる。なお,上記硼素を含む
ハロゲン化物,硼素を含むアルコキシドは,ある程度の
温度以上の熱で分解し,金属硼素を析出することができ
る物質である。
【0025】上記製造方法において,第2相粒子用原料
を湿式で粉砕してスラリーとなし,該スラリーに対しマ
トリックス粒子用原料を加え,焼成してサーミスタ材料
となすことが好ましい。また,上記製造方法において,
第2相粒子と同じ組成の物質を析出可能なゾル,ゲル,
または無機塩溶液等のスラリー状の第2相粒子用原料を
準備し,このスラリーとマトリックス粒子用原料とを混
合し,2相粒子を析出させつつ,これを焼成し,本発明
にかかるサーミスタ材料を作成することが好ましい。ま
た,第2相粒子の析出であるが,第2相粒子としてSi
Cを採用した場合には,例えば炭素粉とSiOゾルか
らSiC粒子を内部合成するような形態であってもかま
わない。
【0026】また,上記製造方法において,マトリック
ス粒子用原料と第2相粒子用原料とを混合して,焼成す
ることも好ましい。また,マトリックス粒子用原料を造
粒した後,第2相粒子用原料を添加,混合し,焼成する
ことも好ましい。
【0027】また,マトリックス粒子用原料及び第2相
粒子用原料に後述するごとき焼結助剤等を添加して予加
熱し,再粉砕した後,本焼成することでサーミスタ材料
を作成することが好ましい。この結果,焼結助材が予加
熱によって液相となり,この液相がマトリックス粒子間
に浸透し,第2相粒子がマトリックス粒子の粒界に分散
することを促進することができる。これによりサーミス
タ材料の電気抵抗の均質性を高めることができる。つま
り,どの場所の電気抵抗も略等しいサーミスタ材料を得
ることができる。また,サーミスタ材料の導電性のバラ
ツキを防止することもできる。
【0028】また,マトリックス粒子の粒度分布を狭く
するために,マトリックス粒子用原料を単独で湿式粉砕
し,スラリー状態となす。このスラリーに第2相粒子用
原料を粉砕して作製したスラリーと混合し,その後両者
を乾燥,焼成することでサーミスタ材料を作製すること
もできる。
【0029】また,本発明にかかる製造方法において,
前述したごとく焼結助剤や添加剤を加えて焼成すること
が好ましい。
【0030】
【発明の実施の形態】実施形態例 本発明の実施形態例にかかるワイドレンジ用サーミスタ
材料につき,説明する。本例にかかるワイドレンジ用サ
ーミスタ材料は,第1相と第2相とよりなり,上記第1
相は絶縁性のマトリックス粒子より構成され,上記第2
相は上記第1相中に三次元網目状に不連続に分散した半
導体性または導電性の第2相粒子より構成されてなる。
そして,本例のサーミスタ材料には,硼素または硼素化
合物の少なくともいずれか一方が含有されている。
【0031】このようなサーミスタ材料を次の方法にて
作製し,その性能を測定した。マトリックス粒子となる
窒化ケイ素粉末(平均粒径0.7μm),第2相粒子と
なる炭化ケイ素粉末(平均粒径0.2μm)に,焼結助
剤である酸化イットリウム粉末(平均粒径0.5μ
m),添加剤(高温での耐酸化性を高めるために添加)
である硼化チタン粉末(平均粒径0.4μm),金属硼
素粉末(平均粒径0.5μm)を準備した。これらの粉
末を同時にエタノールを用いて24時間ボールミル混合
した。乾燥後の混合原料粉末を金型に入れて一軸プレス
成形(圧力:20MPa)し,1850℃×1時間(N
2中)×プレス圧20MPaの条件でホットプレスし,
焼結体を得た。
【0032】このような製造方法で,表1に示すごと
く,原料組成を変えて試料1〜3の焼結体を作製した。
また,上記と同様の製造方法であるが,金属硼素を添加
しないようにして比較試料C1を作製した。その結果,
製造時に金属硼素を添加して作製した試料1〜試料3は
硼素を含んだ焼結体となったが,比較試料C1に硼素は
含まれていなかった。なお,比較試料C1を作製する際
に加えた添加剤は硼化チタニウムであるが,添加剤中の
硼素はごく微量であるため,焼結中に揮発してしまい,
焼結体中には殆ど残留しなかったと考えられる。
【0033】そして,上記試料1〜3と比較試料C1と
にかかる焼結体の,室温(25℃)〜1050℃の温度
域における電気抵抗値(4接点法)を昇温・降温連続し
て測定した。以上の結果を表2,図1に記載した。表2
によれば,試料1〜3の焼結体は,25℃においても,
1050℃においても,比較試料C1よりも,比抵抗値
が小さいことが分かった。特に金属硼素も2wt%(焼
結体中)添加した試料3は比較試料C1と比べて1/1
000近く比抵抗値が小さくなったことが分かった。
【0034】また,図1より,試料2,試料3及び比較
試料C1にかかる焼結体はいずれも温度−比抵抗の対数
の関係が直線的であることが分かった。更に,図1よ
り,硼素の量に応じて,比抵抗の値が変化することが分
かった。
【0035】本例の作用効果について説明する。本例の
サーミスタ材料中において,硼素は第2相に対して固溶
した状態にある。本例のサーミスタ材料における導電性
は半導体性または導電性の第2相粒子よりなる第2相が
司っているため,ここに硼素が混じることにより,より
第2相の導電性が高くなる。よって,サーミスタ材料全
体の電気伝導度を高め,電気抵抗を下げることができる
(表2参照)。
【0036】また,第1相マトリックスと第2相粒子と
の熱膨張差による粒子間隙の変化等の熱的膨張減少に依
存しない,または依存度が小さい導電機構であることか
ら,本例のサーミスタ材料は比抵抗の対数と温度との関
係が直線的である(図1参照,)。このためサーミスタ
材料に最適である。
【0037】さらに,図1にかかる直線は同図より知れ
るごとく,硼素の量によって傾きが変動し,硼素が多け
れば多いほど傾きが減っていく。これを利用して,硼素
の量を調整することで,サーミスタ材料の抵抗値を容易
に制御することができ,所望の抵抗値をもつサーミスタ
材料の設計が容易である。
【0038】また,本例の製造方法では,マトリックス
粒子や第2相粒子,添加物,焼結助剤と共に,金属硼素
を添加する。従来よりしばしば硼素化合物を添加物とし
て加えることがあったが,このような硼素は高温で焼成
するために材料中の元素と反応しやすく,焼結中に揮発
し,出来上がったサーミスタ材料には殆ど残留しない。
本発明の製造方法によれば,硼素を添加することで,分
解反応を抑制して硼素の揮発を防止し,確実に硼素を含
んだサーミスタ材料を得ることができる。
【0039】以上,本例によれば,低温から高温まで広
い温度範囲において電気抵抗が低く,調整が可能なワイ
ドレンジ用サーミスタ材料を提供することができる。
【0040】
【表1】
【0041】
【表2】
【0042】
【発明の効果】上述のごとく,本発明によれば,低温か
ら高温まで広い温度範囲において電気抵抗が低く,調整
が可能なワイドレンジ用サーミスタ材料を提供すること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】実施形態例における,試料2,3及び比較試料
C1の温度−比抵抗の関係を示す線図。
フロントページの続き (72)発明者 浅井 満 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の1 株式会社豊田中央研究所内 (72)発明者 神谷 信雄 愛知県愛知郡長久手町大字長湫字横道41番 地の1 株式会社豊田中央研究所内 Fターム(参考) 5E034 BA09 BB01 BC13 BC17 BC20

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1相と第2相とよりなり,上記第1相
    は絶縁性のマトリックス粒子より構成され,上記第2相
    は上記第1相中に三次元網目状に不連続に分散した半導
    体性または導電性の第2相粒子より構成されてなるワイ
    ドレンジ用サーミスタ材料において,硼素または硼素化
    合物の少なくともいずれか一方を含有することを特徴と
    するワイドレンジ用サーミスタ材料。
  2. 【請求項2】 請求項1において,上記硼素または硼素
    化合物は,金属硼素換算で,ワイドレンジ用サーミスタ
    材料100重量%に対して,0.1〜10重量%含まれ
    ていることを特徴とするワイドレンジ用サーミスタ材
    料。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2において,上記マトリッ
    クス粒子は窒化珪素粒子または酸窒化物系セラミックス
    からなり,上記第2相粒子は炭化珪素粒子よりなること
    を特徴とするワイドレンジ用サーミスタ材料。
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