JP2000343373A - 薄板状物の送り装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 薄板状物の品質を損なうことがな
い上で、その薄板状物をスリップさせずに均一に移送
し、また移送中の薄板状物の蛇行を防止する薄板状物の
送り装置を提供する。 【解決手段】 加工機のワーク送入側又は送出側
に、薄板状物１００を上下から挟んだ状態で回転して該
薄板状物１００を移送させる上下一対のローラー１１，
１２と、薄板状物１００を少なくとも下面から両縁を包
み込んで案内する幅ガイド部材１３とを一体的に備え、
ローラー１１，１２は、その両方又は一方の外周面に粗
面加工が施され、薄板状物１００の加工エリア１０２以
外の箇所を挟むべく設けてなり、薄板状物１００を、ス
リップすることなく、蛇行したり、撓んだりすることも
なく均一に送る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置におけ
るフレキシブル基板等を構成するテープやセラミックス
グリーンシート等の薄板状物を、穿孔機や切断機等の加
工機に送入したり加工機から送出したりする薄板状物の
送り装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置には、薄板状物の略
幅寸法の長さを有するゴム製ローラーを上下一対に設
け、これらローラーが薄板状物を挟んだ状態で駆動源に
よって回転して該薄板状物を移送させるように構成した
ものがある。

【０００３】しかしながら、従来の送り装置では、薄板
状物の面にローラーを係合させるものでなく、ローラー
外周のゴム面と薄板状物の面との摩擦にのみ頼って薄板
状物を送っているためスリップを生じやすい。そのた
め、上下のローラー間を狭めてローラー面と薄板状物と
の接触圧を高めると、薄板状物の面に印刷等による凹凸
がある場合、この凹凸によってローラー面と薄板状物の
面との接触圧がローラー長手方向において均一でなくな
る。従って、薄板状物が蛇行したり変形したりする等の
問題を生ずる。また、この送り装置では、製品となる加
工エリアにローラが接触するため、ローラが加工エリア
内を傷つけたり変形させたりする場合もある。そこで、
加工エリア以外の箇所のみにローラーを接触させるよう
にすることが提案されるが、ローラーと薄板状物との接
触面積が少なくなるため、上記スリップの問題をなおさ
ら著しくしてしまう。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記従来事情
に鑑みてなされたものであり、その目的とする処は、薄
板状物の品質を損なうことがない上で、その薄板状物を
スリップさせずに均一に移送し、また移送中の薄板状物
の蛇行を防止する薄板状物の送り装置を提供することに
ある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の技術的手段として、請求項１は、加工機のワ
ーク送入側又は送出側に、薄板状物を上下から挟んだ状
態で回転して該薄板状物を移送させる上下一対のローラ
ーと、前記薄板状物を少なくとも下面から両縁を包み込
んで案内する幅ガイド部材とを一体的に備え、前記ロー
ラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施さ
れ、且つ前記薄板状物の加工エリア以外の箇所を挟むべ
く配置されていることを特徴とする。ここで、薄板状物
とは、フレキシブル基板等を構成するテープ状物やセラ
ミックスグリーンシート等を含むものである。また、駆
動源は、上下一対のローラーの一方又は両方を回転させ
るように設けられており、一方のローラーのみを回転さ
せるように構成する場合、他方のローラーは、回動自在
に設けられて、薄板状物を挟んで前記一方のローラーと
同期回転するようにすればよい。また、双方のローラー
共回転させるように構成する場合には、ベルトやギヤ等
の伝動手段により双方のローラーが同期するように構成
すればよい。また、粗面加工とは、例えば、ローラーの
外周面に、チェック目、又は平目、あや目等のローレッ
ト目を形成したり、凹凸状の表面処理を施したりすこと
である。また、薄板状物の加工エリア以外の箇所とは、
例えば、薄板状物が加工機により所定の穿孔パターンで
穿孔されるテープ状物であった場合、そのテープ状物に
おいて穿孔される穿孔エリア以外の箇所、即ち、テープ
状物の両縁等であり、また、テープ状物が二列の穿孔エ
リアを確保できる多丁取りテープであった場合には、両
縁と二列の穿孔エリアの略中央部等である。また、薄板
状物がスプロケット孔を有する一般的なテープ状物の場
合、請求項２に記載したように、加工機のワーク送入側
又は送出側に、複数列状のスプロケット孔を長手方向に
有するテープ状物を上下から挟んだ状態で回転して該テ
ープ状物を移送させる上下一対のローラーを備え、前記
ローラーは、その両方又は一方の外周面に粗面加工が施
され、且つ前記テープ状物のスプロケット孔近傍を上下
から挟むべく配置されることで、前記テープ状物をスリ
ップさせることなく均一に送ることができる。ここで、
テープ状物とは、両縁のそれぞれに沿って多数のスプロ
ケット孔を有するものや、二列の加工エリアを確保すべ
く幅方向の略中央にもスプロケット孔を有する多丁取り
テープ等を含む。更に、請求項３に記載したように、請
求項２の薄板状物の送り装置において、上記テープ状物
を少なくとも下面から両縁を包み込んで案内する幅ガイ
ド部材を、上記上下一対のローラーと一体的に備えるこ
とで、テープ状物を安定的に直進させて更に均一に送る
ことができる。

【０００６】上記技術的手段によれば、本発明は、下記
の作用を奏する。 （請求項１）上下一対のローラーが駆動源によって回転
すると、薄板状物は加工エリア以外の箇所をローラーに
挟まれた状態でローラー軸と略直交する方向に送られ
る。この際、上下一対のローラーの両方又は一方には、
その外周面に粗面加工が施されているため、ローラーと
薄板状物との摩擦力が向上する。よって、薄板状物は、
スリップすることがない上、幅ガイド部材によって下面
から両縁を包み込まれて案内されることで、蛇行した
り、撓んだりすることもなく均一に送られる。 （請求項２）上下一対のローラーが駆動源によって回転
すると、テープ状物は加工エリア以外の箇所であるスプ
ロケット孔近傍をローラーに挟まれた状態でローラー軸
と略直交する方向に送られる。この際、ローラー両方又
は一方には、その外周面に粗面加工が施されているた
め、ローラーとテープ状物との摩擦力が向上し、テープ
状物はスリップすることなく均一に送られる。 （請求項３）更に、テープ状物は、幅ガイド部材によっ
て下面から両縁を包み込まれて案内されることで、蛇行
したり撓んだりすることもなく、より均一に送られる。

【０００７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図１乃至４は、本発明に係る実施
の形態である薄板状物の送り装置１０を示している。

【０００８】この送り装置１０は、薄板状物１００に所
定の穿孔パターンの穿孔を施す穿孔装置Ａにおいて複数
の穿孔機３１からなるパンチユニット３０に薄板状物１
００が送入されるワーク送入側の上流に設けられ、薄板
状物１００を挿通して案内する幅ガイド部材１３と、薄
板状物１００をパンチユニット３０側に移送させるよう
に構成された上下一対の送りローラー１２及び押圧ロー
ラー１１と、薄板状物１００に帯電した静電気を除去す
る静電気除去装置２０等を備える（図１参照）。

【０００９】尚、上記穿孔装置Ａの場合、送り対象物で
ある薄板状物１００は、フレキシブル基板等を構成する
テープ状物であるが、送り装置１０を搭載する加工機が
切削機であった場合等、その加工機の形態によってはセ
ラミックスグリーンシート等の矩形薄板状物も送り対象
となる。また、図２において、薄板状物１００は、両縁
各々に多数のスプロケット孔１０１を有するテープ状物
を図示しているが、スプロケット孔１０１のないテープ
状物でも構わない。

【００１０】上記幅ガイド部材１３は、薄板状物１００
を案内導入するように曲面状に形成された案内板１３ｄ
と、この案内板１３ｄに連続すると共に、薄板状物１０
０の下面を案内すべく薄板状物１００の幅寸法より若干
広い平板状に形成された台板１３ａと、この台板１３ａ
の両縁各々の端面に、台板１３ａと略垂直に固定された
側板１３ｂ，１３ｂと、同様にして側板１３ｂ，１３ｂ
に両端面を固定されて、薄板状物１００を通過可能な適
度なクリアランスを形成した状態で台板１３ａと略平行
に設けられた上板１３ｃとからなる（図２参照）。

【００１１】台板１３ａは、両縁側の各々において送り
ローラー１２に対応する位置に、送りローラー１２の外
周部を回動自在に貫挿可能な矩形孔１７を形成してあ
る。また、同様にして、上板１３ｃは、両縁側の各々に
おいて押圧ローラー１１に対応する位置に、押圧ローラ
ー１１の外周部を回動自在に貫挿可能な矩形孔１６を形
成してある。従って、幅ガイド部材１３に挿通される薄
板状物１００は、矩形孔１６に外周部を貫挿させた送り
ローラー１２と、矩形孔１７に外周部を貫挿させた押圧
ローラー１１とによって挟まれる。

【００１２】そして、この幅ガイド部材１３は、上記台
板１３ａと側板１３ｂ，１３ｂと上板１３ｃとにより、
薄板状物１００における下面から両縁を包み込み、更に
上面も覆うことで、薄板状物１００を、その長手方向に
安定的に直進させると共に撓みも防止しながら案内す
る。尚、符号１５は、台板１３ａの略中央部に穿設され
た長孔状の手送り孔１５であり、薄板状物１００を幅ガ
イド部材１３内に初期セットする際に指で薄板状物１０
０を手送りするために設けてある。

【００１３】送りローラー１２及び押圧ローラー１１
は、薄板状物１００を上下から挟んだ状態で回転して該
薄板状物１００を移送させる上下一対のローラーであ
り、薄板状物１００の両縁側に設けられたスプロケット
孔１０１，１０１の各々について、その近傍を上下から
挟んだ状態で回転するように設けられている。

【００１４】送りローラー１２は、円柱状を呈する金属
製のロール部１２ａの外周面に粗面部１２ｂを形成して
なる。そして、これら双方の送りローラー１２，１２
は、一端を図示しない駆動源に連結されると共に、両側
板１３ｂ，１３ｂ間に回転自在に取り付けられた軸１２
ｃに、それぞれが固定されている。

【００１５】粗面部１２ｂは、図４（イ）乃至（ロ）に
示すように、送りローラー１２の外周面に、凹凸状の表
面処理を施したり、あるいはチェック目，平目，あや目
等のローレット目を形成したものであり、薄板状物１０
０を送る際に、その摩擦力を向上するように作用する。
そして、この粗面部１２ｂは、ロール部１２ａの外周面
より若干突出し、薄板状物１００における縁近傍の加工
エリア１０２以外の箇所、即ちスプロケット孔１０１の
近傍に接触するように、その幅寸法を設定することで、
加工エリア１０２を傷つけることがないように形成され
ている。

【００１６】押圧ローラー１１は、送りローラー１２よ
りもやや小径の円柱状を呈する金属製のロール部１１ａ
の外周面に、上記した送りローラー１２の粗面部１２ｂ
と同様の粗面部１１ｂを形成してなる。そして、この押
圧ローラー１１は、後述する押圧機構１４に回動自在に
軸着されている。

【００１７】押圧機構１４は、Ｌ字型部材１４ａと、軸
１４ｂと、圧縮バネ１４ｃとからなり、両側板１３ｂ，
１３ｂの各々に設けられる。Ｌ字型部材１４ａは、幅ガ
イド部材１３の上板１３ｃに略平行状に配置される一片
部１４ａ’と、先端を上方に向け且つ前記一片部１４
ａ’に略直角な他片部１４ａ”とから一体に形成される
側面視略Ｌ字型を呈し、一片部１４ａ’の先端側に押圧
ローラー１１を回動自在に軸着する。軸１４ｂは、上記
一片部１４ａ’における中途箇所に設けられて、Ｌ字型
部材１４ａを側板１３ｂに回動自在に軸着する。圧縮バ
ネ１４ｃは、上記一片部１４ａ’の後端側と上板１３ｃ
との間に設けられ、一片部１４ａ’の後端側を上方に付
勢する。

【００１８】従って、この押圧機構１４は、圧縮バネ１
４ｃの付勢により一片部１４ａ’の先端側が下方に周運
動するため、押圧ローラー１１が薄板状物１００を押圧
する。尚、両側板１３ｂ，１３ｂの各々に設けられた双
方の押圧機構１４，１４は、双方の他片部１４ａ”，１
４ａ”同士をそれらの先端側で連結棒１４ｄによって連
結されることで、連動して回動するように構成してあ
る。

【００１９】静電気除去装置２０は、幅ガイド部材１３
の上方側と下方側のそれぞれに、薄板状物１００の幅方
向に略平行に配置されたイオン放出管２１，２１と、こ
れらイオン放出管２１，２１に略平行させて複数穿設さ
れると共に、台板１３ａ及び上板１３ｃの双方を貫通す
るように、これら台板１３ａ及び上板１３ｃの各々に設
けられた貫通孔２２とを備える。そして、この静電気除
去装置２０は、イオン放出管２１，２１から放射された
イオンを上下から台板１３ａ及び上板１３ｃそれぞれの
貫通孔２２に通過させ、そのイオンと薄板状物１００に
帯電した静電気とを中和させる。

【００２０】尚、上記構成の送り装置１０の上流側上方
には、送り位置検知手段５０が設けられ、この送り位置
検知手段５０が薄板状物１００の送り量を検出し、その
検出信号に応じて、送り装置１０は薄板状物１００を定
量送りするように制御されている。送り位置検知手段５
０は、ＣＣＤカメラ，又は位置検出センサー等であり、
薄板状物１００のスプロケット孔１０１等の目印を検出
し、送り装置１０を制御する制御部（図示せず）にその
検出信号を出力する。

【００２１】また、図中に示す符号１００ａは、テープ
状の薄板状物１００が巻かれたロール原反１００ａであ
り、符号１１０は、その薄板状物１００を送り装置１０
へ繰り出す繰り出し機構１１０である。そして、符号１
２０は、薄板状物１００を巻き取る巻取り機構、符号１
２１は、薄板状物１００を巻取り機構１２０に送るスプ
ロケットホイール、符号７０は、穿孔の基準座標となる
基準孔や基準マークを撮像するカメラユニット７０、符
号４０は、カメラユニット７０及びパンチユニット３０
をＸＹ方向に制御動するＸＹ移動機構４０である。

【００２２】また、符号８０及び９０は、それぞれ固定
クランプと可動クランプであり、固定クランプ８０は、
薄板状物１００を上下からクランプするように構成した
クランパー８２を、機台１上に固定された台座８１上に
設けてなり、可動クランプ９０は、前記固定クランプ８
０同様に薄板状物１００を上下からクランプするクラン
パー９２を、機台１上に固定される台座９１上にＸ軸方
向へ制御動可能に取り付けてなる。そして、これら両ク
ランプ８０，９０は、薄板状物１００を長手方向に引っ
張って弛みを除去する。

【００２３】而して、送り装置１０は、穿孔装置Ａに搭
載されて下記の作用効果を奏する。薄板状物１００は、
幅ガイド部材１３における台板１３ａ、両側板１３ｂ，
１３ｂ、上板１３ｃに囲まれた空間に挿通され、送りロ
ーラー１２と押圧ローラー１１の間に挟まれて、上面を
押圧ローラー１１に押圧された状態で装着される。送り
装置１０は、駆動源によって送りローラー１２を回転す
ると、薄板状物１００をパンチユニット３０に送る。こ
の際、送りローラー１２及び押圧ローラー１１は、それ
ぞれ粗面部１１ｂ外周を薄板状物１００に接触させるた
め、その凹凸による摩擦力によりスリップすることなく
薄板状物１００を送る。しかも、薄板状物１００におけ
る粗面部１１ｂが接触する箇所は、スプロケット孔１０
１近傍であるため、加工エリア１０２が傷つくことはな
い。また、薄板状物１００は、幅ガイド部材１３によっ
て下面から両縁、更に上面を包み込まれて案内されるの
で、蛇行したり、撓んだりすることもなく均一に送られ
る。

【００２４】尚、図示例の送り装置１０では、上下一対
の送りローラー１２及び押圧ローラー１１を、薄板状物
１００における両スプロケット孔１０１，１０１の各々
の近傍に配置するように二箇所設けたが、薄板状物１０
０が二列の加工エリア１０２を確保する多丁取りテープ
である場合には、その幅方向中央に沿って設けられたス
プロッケット孔の近傍にも上下一対の送りローラー１２
及び押圧ローラー１１を設けることが好ましく、それに
よって、幅広な多丁取りテープであっても、スリップす
ることなく均一に送ることができる。

【００２５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、以下に記載されるような効果を奏する。請
求項１に係る発明によれば、ローラー外周面の粗面加工
により、ローラーと薄板状物との摩擦力が向上するた
め、ローラーと薄板状物との接触面積が加工エリア以外
の少ない範囲であっても、その薄板状物をスリップさせ
ることなく均一に送ることができる。この際、ローラー
は、薄板状物の加工エリア以外の箇所を挟んで回転する
ので、薄板状物の加工エリアを傷つけたり変形したりす
ることがない。しかも、薄板状物は、その搬送中、幅ガ
イド部材に案内されているため、蛇行したり、撓んだり
することもない。よって、薄板状物の品質を損なうこと
がない上で、その薄板状物をスリップさせず、蛇行させ
ることもなく均一に送れる薄板状物の送り装置を提供す
ることができる。また、請求項２に係る発明によれば、
従来から用いられているスプロケット孔付きのテープ状
物を、その品質を損なうことなく、最小限の接触面積で
スリップさせずに均一に送ることができる。更に、請求
項３に係る発明によれば、テープ状物は、幅ガイド部材
に案内されるため、蛇行したり、撓んだりすることな
く、より均一に送られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明に係る薄板状物の送り装置の一例を搭
載した穿孔装置を示す正面図である。

【図２】 本発明に係る薄板状物の送り装置の一例を示
す斜視図である。

【図３】 同薄板状物の送り装置を示す縦断面図であ
る。

【図４】 同薄板状物の送り装置のローラーを示す斜視
図であり、（イ）は外周面に凹凸状の表面処理を施した
一例、（ロ）は外周面にチェック目を形成した一例、
（ハ）は外周面にあや目を形成した一例を示す。

【符号の説明】

１０：送り装置 １１：押圧ローラー １１ａ：ロール部 １１ｂ：粗面部 １２：送りローラー １２ａ：ロール部 １２ｂ：粗面部 １３：幅ガイド部材 １３ａ：台板 １３ｂ：側板 １３ｃ：上板 １３ｄ：案内板 １４：押圧機構 ２０：静電気除去装置 １００：薄板状物 １０１：スプロケット
孔 １０２：加工エリア Ａ：穿孔装置

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工機のワーク送入側又は送出側に、薄
   板状物を上下から挟んだ状態で回転して該薄板状物を移
   送させる上下一対のローラーと、前記薄板状物を少なく
   とも下面から両縁を包み込んで案内する幅ガイド部材と
   を一体的に備え、前記ローラーは、その両方又は一方の
   外周面に粗面加工が施され、且つ前記薄板状物の加工エ
   リア以外の箇所を挟むべく配置されていることを特徴と
   する薄板状物の送り装置。
2. 【請求項２】 加工機のワーク送入側又は送出側に、複
   数列状のスプロケット孔を長手方向に有するテープ状物
   を上下から挟んだ状態で回転して該テープ状物を移送さ
   せる上下一対のローラーを備え、前記ローラーは、その
   両方又は一方の外周面に粗面加工が施され、且つ前記テ
   ープ状物のスプロケット孔近傍を上下から挟むべく配置
   されていることを特徴とする薄板状物の送り装置。
3. 【請求項３】 上記テープ状物を少なくとも下面から両
   縁を包み込んで案内する幅ガイド部材を、上記上下一対
   のローラーと一体的に備えたことを特徴とする請求項２
   記載の薄板状物の送り装置。