JP2000338188A - Testing circuit for semiconductor integrated circuit - Google Patents

Testing circuit for semiconductor integrated circuit

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JP2000338188A
JP2000338188A JP11146874A JP14687499A JP2000338188A JP 2000338188 A JP2000338188 A JP 2000338188A JP 11146874 A JP11146874 A JP 11146874A JP 14687499 A JP14687499 A JP 14687499A JP 2000338188 A JP2000338188 A JP 2000338188A
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JP
Japan
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circuit
scan path
test
output
semiconductor integrated
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JP11146874A
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Japanese (ja)
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Tetsuya Mizuguchi
哲也 水口
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NEC Platforms Ltd
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NEC AccessTechnica Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce the number of test patterns and the test time to reduce the cost for testing by mounting a serial-to-parallel converting circuit, etc., for converting the input data for scan pass test into parallel data. SOLUTION: The input data for scan pass test input from a data input terminal 7 for scan pass test is input to a serial-to-parallel converting circuit 9 to simultaneously determine two kinds of test pattern data. On the other hand, a semiconductor IC having a data input terminal 1 and an output terminal 4 is divided into functional modules 15, 16 respectively including combinational circuits 2, 3. The test pattern data output from the serial-parallel converting circuit 9 are respectively input to the functional modules 15, 16 for simultaneously testing them in parallel. Further the results of the scan pass test of the functional modules 15, 16 tested in parallel are input to an output selection circuit 11, and output from an output terminal for scan pass test. Whereby the fault of the functional modules 15, 16 is detected.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路に
おける試験回路に関し、特にスキャンパステスト方式の
試験回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a test circuit in a semiconductor integrated circuit, and more particularly to a test circuit of a scan path test system.

【0002】[0002]

【従来の技術】スキャンパステスト方式は、従来、半導
体集積回路の故障を検出するうえで、簡単な回路構成で
高い故障検出率を得ることを目的として用いられてい
る。図8は従来のスキャンパステスト方式の回路の一例
を示すブロック図である。スキャンパステスト方法は、
図9に示すように回路の総てのフリップフロップ回路2
1の入力部分にセレクタ回路20を追加して、このセレ
クタ回路20をスキャンデータの取り込み及び出力を行
うシフトモードと組み合わせ回路の試験を行うノーマル
モードとに切り替えてテストを行っている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a scan path test method has been used for detecting a failure in a semiconductor integrated circuit with a view to obtaining a high failure detection rate with a simple circuit configuration. FIG. 8 is a block diagram showing an example of a circuit of a conventional scan path test method. The scan path test method is
As shown in FIG. 9, all flip-flop circuits 2 of the circuit
The selector circuit 20 is added to the input portion of the switch 1 and the test is performed by switching the selector circuit 20 between a shift mode for taking in and outputting scan data and a normal mode for testing a combinational circuit.

【0003】そして、このシフトモードとスキャンモー
ドを繰り返し行うことで半導体集積回路の故障検出率を
高めている。具体的には、シフトモード時にはスキャン
パステスト用データ入力端子7よりスキャンデータをシ
リアルに入力し、これをスキャンパステスト用フリップ
フロップX1に取り込み、次段のスキャンパステスト用
フリップフロップX2〜Xnまでシフトすることにより
組み合わせ回路2にデータを設定することができる。次
にノーマルモードに切り替えて、組み合わせ回路2の出
力データをスキャンパステスト用フリップフロップY1
〜Ynに取り込む。そして再びシフトモードに切り替え
て、スキャンパステスト用フリップフロップY1〜Yn
の値をシフトしてスキャンデータ専用出力端子12から
出力する。この出力端子12から出力されるデータをチ
ェックすることにより、半導体集積回路内部の故障を検
出することができる。そして、これらの動作を繰り返し
行ない半導体集積回路の故障検出の精度を高めている。
[0005] By repeatedly performing the shift mode and the scan mode, the failure detection rate of the semiconductor integrated circuit is increased. More specifically, in the shift mode, scan data is serially input from the scan path test data input terminal 7 and is taken into the scan path test flip-flop X1 to the next scan path test flip-flops X2 to Xn. By shifting, data can be set in the combinational circuit 2. Next, the mode is switched to the normal mode, and the output data of the combinational circuit 2 is switched to the scan path test flip-flop Y1.
To Yn. Then, the mode is again switched to the shift mode, and the scan path test flip-flops Y1 to Yn
Is shifted and output from the scan data dedicated output terminal 12. By checking the data output from the output terminal 12, a failure inside the semiconductor integrated circuit can be detected. By repeating these operations, the accuracy of the failure detection of the semiconductor integrated circuit is improved.

【0004】そして1回の試験に少なくとも、(フリッ
プフロップの数+1)個のクロックが必要となるため、
高い故障検出率を得るためにn回の試験を行った場合に
は、{(フリップフロップの数+1)×2}×nパター
ンが必要になる。
Since one test requires at least (number of flip-flops + 1) clocks,
When n tests are performed to obtain a high failure detection rate, {(number of flip-flops + 1) × 2} × n patterns are required.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来の技
術には次のような問題があった。第一の問題点は、大規
模な半導体集積回路のスキャンパステストを実行した場
合、テストに必要なコストが高くなることである。その
理由は、スキャンパステスト専用のテストパターンのパ
ターン長が長くなるため、テスト時間が長くなる。ま
た、テスタのパターンメモリを多量に使用するため、同
時に別の半導体集積回路の試験を行うことが困難となる
点にある。
However, the prior art has the following problems. A first problem is that when a scan path test is performed on a large-scale semiconductor integrated circuit, the cost required for the test increases. This is because the test pattern dedicated to the scan path test has a longer pattern length, so that the test time is longer. Further, since a large amount of the pattern memory of the tester is used, it is difficult to simultaneously test another semiconductor integrated circuit.

【0006】第二の問題点は、半導体集積回路が大規模
になるほど試験効率が悪くなることにある。なぜなら
ば、半導体集積回路内部のある1個の組み合わせ回路の
試験を行うために、半導体集積回路内部に存在するフリ
ップフロップの数の分だけクロックの繰り返しが必要に
なり、このため、スキャンデータをシフトして行くだけ
の時間が増えるためである。これは、結果として第一の
問題点であるテスト時間の増大にも繋がる。
The second problem is that the test efficiency becomes worse as the semiconductor integrated circuit becomes larger. Because, in order to test one combinational circuit inside the semiconductor integrated circuit, it is necessary to repeat clocks by the number of flip-flops existing inside the semiconductor integrated circuit. This is because there is more time to go. This results in an increase in test time, which is the first problem.

【0007】本発明の目的は、以上の問題点を解決する
半導体集積回路の試験回路を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a test circuit for a semiconductor integrated circuit which solves the above problems.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
の試験回路は、スキャンパステスト用フリップフロップ
と、スキャンパステスト用データ入力端子から入力され
るスキャンデータをパラレルに変換するシリアル−パラ
レル変換回路と、スキャンパステスト結果出力データを
スキャンパステスト用出力端子にシリアルで出力する出
力選択回路を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集積
回路を機能モジュール毎に回路を分割し、前記機能モジ
ュール毎にスキャンパス用シフトレジスタを構成したこ
とを特徴としている。
A test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises a flip-flop for scan path test and a serial-parallel converter for converting scan data input from a data input terminal for scan path test into parallel. A circuit and an output selection circuit for serially outputting scan path test result output data to a scan path test output terminal in the semiconductor integrated circuit, and dividing the semiconductor integrated circuit into functional modules, A scan path shift register is provided for each scan path.

【0009】また、本発明の半導体集積回路の試験回路
は、スキャンパステスト用フリップフロップと、スキャ
ンパステスト用データ入力端子から入力されるスキャン
データをパラレルに変換するシリアル−パラレル変換回
路を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集積回路を機
能モジュール毎に回路を分割し、前記機能モジュール毎
にスキャンパス用シフトレジスタを構成し、前記各機能
モジュールに接続されているスキャンパステスト用出力
端子の出力をそれぞれ観測することを特徴としている。
The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises a scan path test flip-flop and a serial-parallel conversion circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel. The circuit is divided into circuits for each functional module, and a semiconductor integrated circuit is divided for each functional module, a scan path shift register is formed for each functional module, and a scan path test output terminal connected to each functional module is provided. It is characterized by observing each output.

【0010】また、本発明の半導体集積回路の試験回路
は、スキャンパステスト用フリップフロップと、スキャ
ンパステスト用データ入力端子から入力されるスキャン
データをパラレルに変換するシリアル−パラレル変換回
路と、スキャンパステスト結果出力データをスキャンパ
ステスト用出力端子にシリアルで出力する出力選択回路
を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集積回路を機能
モジュール毎に回路を分割し、前記機能モジュール毎に
スキャンパス用シフトレジスタを構成し、前記各機能モ
ジュール内に存在する組み合わせ回路の出力総てのEX
−ORを取ることを特徴としている。
A test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises: a scan path test flip-flop; a serial-parallel conversion circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel; The semiconductor integrated circuit includes an output selection circuit that serially outputs campus test result output data to a scan path test output terminal, and the semiconductor integrated circuit is divided into functional modules, and a scan path is provided for each of the functional modules. All the outputs of the combinational circuits existing in each of the functional modules.
It is characterized by taking -OR.

【0011】また、本発明の半導体集積回路の試験回路
は、EX−OR回路を備えたスキャンパステスト用フリ
ップフロップと、スキャンパステスト用データ入力端子
から入力されるスキャンデータをパラレルに変換するシ
リアル−パラレル変換回路と、スキャンパステスト結果
出力データをスキャンパステスト用出力端子にシリアル
で出力する出力選択回路を半導体集積回路内に有し、か
つ半導体集積回路を機能モジュール毎に回路を分割し、
前記機能モジュール毎にスキャンパス用シフトレジスタ
を構成し、前記各機能モジュール内に存在する組み合わ
せ回路の出力を前記スキャンパステスト用フリップフロ
ップが有するEX−OR回路を通して出力することを特
徴としている。
A test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention includes a scan path test flip-flop provided with an EX-OR circuit and a serial circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel. Having a parallel conversion circuit and an output selection circuit for serially outputting scan path test result output data to a scan path test output terminal in the semiconductor integrated circuit, and dividing the semiconductor integrated circuit into functional modules,
A scan path shift register is configured for each of the function modules, and an output of a combinational circuit existing in each of the function modules is output through an EX-OR circuit included in the scan path test flip-flop.

【0012】また、本発明の半導体集積回路の試験回路
は、スキャンパステスト用フリップフロップと、スキャ
ンパステスト用データ入力端子から入力されるスキャン
データをパラレルに変換するシリアル−パラレル変換回
路を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集積回路を機
能モジュール毎に回路を分割し、前記機能モジュール毎
にスキャンパス用シフトレジスタを構成し、前記各機能
モジュールに接続されているスキャンパステスト用出力
端子の出力をそれぞれ観測し、前記各機能モジュール内
に存在する組み合わせ回路の出力総てのEX−ORを取
ることを特徴としている。
The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises a scan path test flip-flop and a serial-parallel conversion circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel. The circuit is divided into circuits for each functional module, and a semiconductor integrated circuit is divided for each functional module, a scan path shift register is formed for each functional module, and a scan path test output terminal connected to each functional module is provided. It is characterized in that outputs are observed, and EX-OR of all outputs of the combinational circuits existing in the respective function modules is obtained.

【0013】また、本発明の半導体集積回路の試験回路
は、EX−OR回路を備えたスキャンパステスト用フリ
ップフロップと、スキャンパステスト用データ入力端子
から入力されるスキャンデータをパラレルに変換するシ
リアル−パラレル変換回路を半導体集積回路内に有し、
かつ半導体集積回路を機能モジュール毎に回路を分割
し、前記機能モジュール毎にスキャンパス用シフトレジ
スタを構成し、前記各機能モジュールに接続されている
スキャンパステスト用出力端子の出力をそれぞれ観測
し、前記各機能モジュール内に存在する組み合わせ回路
の出力を前記スキャンパステスト用フリップフロップが
有するEX−OR回路を通して出力することを特徴とし
ている。
Further, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to the present invention comprises a scan path test flip-flop having an EX-OR circuit and a serial path for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel. -Having a parallel conversion circuit in the semiconductor integrated circuit;
And, the semiconductor integrated circuit is divided into circuits for each function module, a scan path shift register is formed for each of the function modules, and the output of the scan path test output terminal connected to each of the function modules is observed. The output of a combinational circuit present in each of the functional modules is output through an EX-OR circuit included in the scan path test flip-flop.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について図面
を参照して詳細に説明する。図1は本発明の第一の実施
の形態を示す半導体集積回路の試験回路であり、その構
成は、スキャンパステスト用フリップフロップX1〜Z
nと、スキャンパステスト用データ入力端子7から入力
されるスキャンデータをパラレルに変換するシリアル−
パラレル変換回路9と、スキャンパステスト結果出力デ
ータをスキャンパステスト用出力端子12にシリアルで
出力する出力選択回路11と、を半導体集積回路内に有
し、かつ半導体集積回路を機能モジュール15及び16
に分割し、機能モジュール毎にスキャンパス用シフトレ
ジスタを構成したものである。
Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a test circuit of a semiconductor integrated circuit according to a first embodiment of the present invention, which has scan path test flip-flops X1 to Z
n, and a serial converter for converting scan data input from the scan path test data input terminal 7 into parallel data.
The semiconductor integrated circuit includes a parallel conversion circuit 9 and an output selection circuit 11 that serially outputs scan path test result output data to a scan path test output terminal 12, and the semiconductor integrated circuit includes functional modules 15 and 16.
And a scan path shift register is configured for each functional module.

【0015】図1において、スキャンパステスト用デー
タ入力端子7から入力されるスキャンパステスト用入力
データをシリアル−パラレル変換回路9に入力して、テ
ストパターンデータを複数(図1では2種類)同時に設
定する。一方、データ入力端子1と出力端子4をもつ半
導体集積回路を、組み合わせ回路2と組み合わせ回路3
とをそれぞれ含む機能モジュールに分割(図1では2分
割)し、前記シリアル−パラレル変換回路9を出力した
テストパターンデータを分割した機能モジュール回路1
5、及び16それぞれに入力して、同時並列に試験を行
う。さらに、並列に試験された機能モジュール回路1
5、及び16のスキャンパステスト結果を出力選択回路
11に入力し、スキャンパステスト用出力端子12にお
いてシリアルに故障を検出する。この結果、半導体集積
回路を機能モジュール毎に分割し、スキャンパステスト
をパラレルに行うことによりテストパターン数、及びテ
スト時間を大幅に削減することが可能となり、半導体集
積回路の試験コストを低減できるという効果が得られ
る。
In FIG. 1, scan path test input data input from a scan path test data input terminal 7 is input to a serial-parallel conversion circuit 9, and a plurality of test pattern data (two types in FIG. 1) are simultaneously output. Set. On the other hand, a semiconductor integrated circuit having a data input terminal 1 and an output terminal
The functional module circuit 1 divides the test pattern data output from the serial-parallel conversion circuit 9 into two functional modules each including
5 and 16 are input to each, and the test is performed simultaneously and in parallel. Furthermore, the functional module circuit 1 tested in parallel
The scan path test results of Nos. 5 and 16 are input to the output selection circuit 11, and a failure is serially detected at the scan path test output terminal 12. As a result, by dividing the semiconductor integrated circuit into functional modules and performing scan path tests in parallel, the number of test patterns and test time can be significantly reduced, and the test cost of the semiconductor integrated circuit can be reduced. The effect is obtained.

【0016】以下、本実施例の動作について図1を参照
にして説明する。
The operation of this embodiment will be described below with reference to FIG.

【0017】最初に、機能モジュール15、及び16内
に存在するスキャンパステスト用フリップフロップX1
〜Znに内蔵される図9のセレクタ20をスキャンパス
テスト用モード切り替え制御端子5及び6からの入力に
よりシフトモードにして、スキャンパステスト用データ
入力端子7から入力され、シリアル−パラレル変換回路
9によりパラレルに変換された2種類のスキャンデータ
を、スキャンパステスト用フリップフロップX1及びY
nのスキャンデータ入力端子にそれぞれ入力する。この
時、シリアル−パラレル変換回路9によりパラレルに変
換した2種類のスキャンデータを、機能モジュール15
または16のどちらへ入力するかはスキャンデータ用セ
レクタ回路10により、スキャンデータ用セレクタ回路
制御信号13に基づいて決定する。続いて、前記スキャ
ンパステスト用フリップフロップX1及びYnに入力さ
れたデータをX1〜Yn−m及びYn〜Znまでそれぞ
れシフトして行き、スキャンパステスト用フリップフロ
ップYn−m及びZnの出力を出力データ選択回路11
に入力し、出力データ選択回路制御信号14に基づいて
選択出力することで、スキャンパステスト用出力端子1
2から機能モジュール15及び16の故障が検出され
る。つまり、シリアル−パラレル変換回路9によりパラ
レルに変換されたスキャンデータが、機能モジュール1
5及び16に設定される。そして、それぞれの機能モジ
ュール15及び16から出力されるスキャンデータを出
力選択回路11を通してシリアルに変換し、スキャンパ
ステスト用出力端子12から出力する。これにより、機
能モジュール15及び16の故障が検出可能となる。ク
ロック信号はクロック入力端子8から供給される。
First, the scan path test flip-flop X1 existing in the functional modules 15 and 16
9 is set to the shift mode by the input from the scan path test mode switching control terminals 5 and 6, input from the scan path test data input terminal 7, and output from the serial-parallel conversion circuit 9. The two types of scan data, which have been converted into parallel data, are connected to scan path test flip-flops X1 and Y
n scan data input terminals. At this time, the two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are transferred to the function module 15.
The scan data selector circuit 10 determines which of the signals is input to the scan data selector 16 or the scan data selector 16 based on the scan data selector circuit control signal 13. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops X1 and Yn are shifted to X1 to Yn-m and Yn to Zn, respectively, and the outputs of the scan path test flip-flops Yn-m and Zn are output. Data selection circuit 11
, And selectively output based on the output data selection circuit control signal 14, so that the scan path test output terminal 1
From 2, the failure of the functional modules 15 and 16 is detected. That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is transmitted to the functional module 1.
5 and 16 are set. Then, the scan data output from each of the functional modules 15 and 16 is serially converted through the output selection circuit 11 and output from the scan path test output terminal 12. Thereby, the failure of the functional modules 15 and 16 can be detected. The clock signal is supplied from a clock input terminal 8.

【0018】例えば、半導体集積回路内部にフリップフ
ロップが100個存在し、100通りのパターンを入力
する場合、従来の方法では(100+1)×100×2
=20200パターン必要であるが、図1の実施形態で
は機能モジュール15及び16にそれぞれ50個のフリ
ップフロップが存在するものとすると、最大でも((5
0+1)×100+2))×2=10204パターンあ
れば、従来と同等の故障が検出できることになる。
For example, if there are 100 flip-flops in a semiconductor integrated circuit and 100 patterns are input, the conventional method uses (100 + 1) × 100 × 2
= 20200 patterns are required, but in the embodiment of FIG. 1, assuming that each of the functional modules 15 and 16 has 50 flip-flops, ((5
With 0 + 1) × 100 + 2)) × 2 = 10204 patterns, a fault equivalent to the conventional one can be detected.

【0019】次に、本発明の第二の実施形態の半導体集
積回路の試験回路を図2参照して説明する。図2の第二
の実施形態では、図1の第一の実施形態の回路構成から
出力選択回路11が削除され、スキャンパステスト用出
力端子12及び17が機能モジュール毎に設けられてい
る。
Next, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the second embodiment of FIG. 2, the output selection circuit 11 is deleted from the circuit configuration of the first embodiment of FIG. 1, and scan path test output terminals 12 and 17 are provided for each functional module.

【0020】動作は以下のようになる。シリアル−パラ
レル変換回路9によりパラレルに変換された2種類のス
キャンデータを、スキャンパステスト用フリップフロッ
プX1及びYnのスキャンデータ入力端子にそれぞれ入
力する。この時、シリアル−パラレル変換回路9により
パラレルに変換した2種類のスキャンデータを、機能モ
ジュール15または16のどちらへ入力するかはセレク
タ回路10により決定する。続いて、前記スキャンパス
テスト用フリップフロップX1及びYnに入力されたデ
ータをX1〜Yn−m及びYn〜Znまでそれぞれシフ
トして行くことで、スキャンパステスト用フリップフロ
ップYn−m及びZnの出力に接続されたスキャンパス
テスト用出力端子12及び17から、機能モジュール1
5及び16の故障が検出される。つまり、シリアル−パ
ラレル変換回路9によりパラレルに変換されたスキャン
データが、機能モジュール15及び16に設定される。
そして、それぞれの機能モジュール15及び16から出
力されるスキャンデータをスキャンパステスト用出力端
子12及び17から出力する。これにより、機能モジュ
ール15及び16の故障が図1の実施例よりも更に早く
検出可能となる。
The operation is as follows. The two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are respectively input to the scan data input terminals of the scan path test flip-flops X1 and Yn. At this time, the selector circuit 10 determines which of the two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is input to the functional module 15 or 16. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops X1 and Yn are shifted to X1 to Yn-m and Yn to Zn, respectively, so that the outputs of the scan path test flip-flops Yn-m and Zn are shifted. From the scan path test output terminals 12 and 17 connected to the
5 and 16 faults are detected. That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is set in the function modules 15 and 16.
The scan data output from the functional modules 15 and 16 is output from the scan path test output terminals 12 and 17. As a result, the failure of the functional modules 15 and 16 can be detected earlier than in the embodiment of FIG.

【0021】次に、本発明の第三の実施形態の半導体集
積回路の試験回路を図3参照して説明する。図3の第三
の実施形態では、図1の第一の実施形態において組み合
わせ回路2及び3の出力それぞれのすべての排他的論理
和を取るEX−OR回路18及び19が設けられてい
る。
Next, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the third embodiment shown in FIG. 3, EX-OR circuits 18 and 19 are provided which take exclusive ORs of all the outputs of the combination circuits 2 and 3 in the first embodiment shown in FIG.

【0022】動作は以下のようになる。シリアル−パラ
レル変換回路9によりパラレルに変換された2種類のス
キャンデータを、スキャンパステスト用フリップフロッ
プX1及びYnのスキャンデータ入力端子にそれぞれ入
力する。この時、シリアル−パラレル変換回路9により
パラレルに変換した2種類のスキャンデータを、機能モ
ジュール15または16のどちらへ入力するかはセレク
タ回路10により決定する。続いて、前記スキャンパス
テスト用フリップフロップX1及びYnに入力されたデ
ータをX1〜Yn−m及びYn〜Znまでそれぞれシフ
トして行き、スキャンパステスト用フリップフロップY
n−m及びZnの出力を出力選択回路11に入力し、選
択出力することで、スキャンパステスト用出力端子12
から機能モジュール15及び16の故障が検出される。
ここで、スキャンデータをシフトして行く時、組み合わ
せ回路2及び3の出力が変化するため、それぞれに接続
されたEX−OR回路18及び19の出力も変化する。
つまり、シリアル−パラレル変換回路9によりパラレル
に変換されたスキャンデータが、機能モジュール15及
び16に設定される。そして、それぞれの機能モジュー
ル15及び16から出力されるスキャンデータを出力選
択回路11を通してシリアルに変換し、スキャンパステ
スト用出力端子12から出力する。同時に、組み合わせ
回路2及び3の出力の変化を、それぞれに接続されてい
るEX−OR回路18及び19から出力する。これによ
り、図1の実施例よりもさらに早い時間で、機能モジュ
ール15及び16の故障が検出可能となる。それは、1
回の試験時に捨てられてしまう試験対象外の組み合わせ
回路の出力を、EX−OR回路18及び19を設けるこ
とで有効利用しているためである。
The operation is as follows. The two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are respectively input to the scan data input terminals of the scan path test flip-flops X1 and Yn. At this time, the selector circuit 10 determines which of the two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is input to the functional module 15 or 16. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops X1 and Yn are shifted to X1 to Yn-m and Yn to Zn, respectively.
The outputs of nm and Zn are input to the output selection circuit 11 and selected and output, so that the output terminal 12
Of the functional modules 15 and 16 are detected.
Here, when the scan data is shifted, the outputs of the combination circuits 2 and 3 change, so that the outputs of the EX-OR circuits 18 and 19 connected thereto also change.
That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is set in the function modules 15 and 16. Then, the scan data output from each of the functional modules 15 and 16 is serially converted through the output selection circuit 11 and output from the scan path test output terminal 12. At the same time, changes in the outputs of the combinational circuits 2 and 3 are output from the EX-OR circuits 18 and 19 respectively connected thereto. As a result, the failure of the functional modules 15 and 16 can be detected earlier than in the embodiment of FIG. It is 1
This is because the outputs of the combinational circuits that are not tested and are discarded at the time of the test are used effectively by providing the EX-OR circuits 18 and 19.

【0023】次に、本発明の第四の実施形態の半導体集
積回路の試験回路を図4参照して説明する。図4の第四
の実施形態では、図2の第二の実施形態おいて組み合わ
せ回路2及び3の出力それぞれのすべての排他的論理和
(EX−OR回路)を取る回路18及び19が設けられ
ている。従って、動作は次のようになる。
Next, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the fourth embodiment of FIG. 4, circuits 18 and 19 are provided which take exclusive ORs (EX-OR circuits) of all the outputs of the combination circuits 2 and 3 in the second embodiment of FIG. ing. Therefore, the operation is as follows.

【0024】シリアル−パラレル変換回路9によりパラ
レルに変換された2種類のスキャンデータを、スキャン
パステスト用フリップフロップX1及びYnのスキャン
データ入力端子にそれぞれ入力する。この時、シリアル
−パラレル変換回路9によりパラレルに変換した2種類
のスキャンデータを、機能モジュール15または16の
どちらへ入力するかはセレクタ回路10により決定す
る。続いて、前記スキャンパステスト用フリップフロッ
プX1及びYnに入力されたデータをX1〜Yn−m及
びYn〜Znまでそれぞれシフトして行くことで、スキ
ャンパステスト用フリップフロップYn−m及びZnの
出力に接続されたスキャンパステスト用出力端子12及
び17から、機能モジュール15及び16の故障が検出
される。ここで、スキャンデータをシフトして行く時、
組み合わせ回路2及び3の出力が変化するため、それぞ
れに接続されたEX−OR回路18及び19の出力も変
化する。つまり、シリアル−パラレル変換回路9により
パラレルに変換されたスキャンデータが、機能モジュー
ル15及び16に設定される。そして、それぞれの機能
モジュール15及び16から出力されるスキャンデータ
をスキャンパステスト用出力端子12及び17から出力
する。同時に、組み合わせ回路2及び3の出力の変化
を、それぞれに接続されているEX−OR回路18及び
19から出力する。これにより、図2の実施例よりもさ
らに早い時間で、機能モジュール15及び16の故障が
検出可能となる。それは、1回の試験時に捨てられてし
まう試験対象外の組み合わせ回路の出力を、EX−OR
回路18及び19を設けることで有効利用しているため
である。
The two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are input to scan data input terminals of scan path test flip-flops X1 and Yn, respectively. At this time, the selector circuit 10 determines which of the two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is input to the functional module 15 or 16. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops X1 and Yn are shifted to X1 to Yn-m and Yn to Zn, respectively, so that the outputs of the scan path test flip-flops Yn-m and Zn are shifted. The failure of the functional modules 15 and 16 is detected from the scan path test output terminals 12 and 17 connected to. Here, when shifting the scan data,
Since the outputs of the combination circuits 2 and 3 change, the outputs of the EX-OR circuits 18 and 19 connected thereto also change. That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is set in the function modules 15 and 16. The scan data output from the functional modules 15 and 16 is output from the scan path test output terminals 12 and 17. At the same time, changes in the outputs of the combinational circuits 2 and 3 are output from the EX-OR circuits 18 and 19 respectively connected thereto. As a result, the failure of the function modules 15 and 16 can be detected earlier than in the embodiment of FIG. That is, the output of a combinational circuit that is discarded during one test and that is not a test target is EX-ORed.
This is because the circuits 18 and 19 are provided for effective use.

【0025】次に、本発明の第五の実施形態の半導体集
積回路の試験回路を図5を参照して説明する。図5の第
五の実施形態では、図1の第一の実施形態おいて、スキ
ャンパステスト用フリップフロップX1〜Znを図7の
ように構成されたスキャンパステスト用フリップフロッ
プXX1〜ZZnにしたものである。従って、動作は次
のようになる。
Next, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the fifth embodiment of FIG. 5, the scan path test flip-flops X1 to Zn in the first embodiment of FIG. 1 are replaced with the scan path test flip-flops XX1 to ZZn configured as shown in FIG. Things. Therefore, the operation is as follows.

【0026】シリアル−パラレル変換回路9によりパラ
レルに変換された2種類のスキャンデータを、スキャン
パステスト用フリップフロップXX1及びYYnのスキ
ャンデータ入力端子にそれぞれ入力する。この時、シリ
アル−パラレル変換回路9によりパラレルに変換した2
種類のスキャンデータを、機能モジュール15または1
6のどちらへ入力するかはセレクタ回路10により決定
する。続いて、前記スキャンパステスト用フリップフロ
ップXX1及びYYnに入力されたデータをXX1〜Y
Yn−m及びYYn〜ZZnまでそれぞれシフトして行
き、スキャンパステスト用フリップフロップYYn−m
及びZZnの出力を出力選択回路11に入力し、選択出
力することで、スキャンパステスト用出力端子12から
機能モジュール15及び16の故障が検出される。ここ
で、スキャンデータをシフトして行く時、組み合わせ回
路2及び3の出力が変化するため、図7で構成された前
記スキャンパステスト用フリップフロップXX1〜YY
n−m及びYYn〜ZZnに存在するEX−OR回路2
2の出力が変化する。このEX−OR回路22は、それ
ぞれの機能モジュール15及び16においてシリアルに
接続されているため、最終段にあたるスキャンパステス
ト用フリップフロップYYn−m及びZZnから出力さ
れるデータも変化する。そして、それぞれに接続された
出力端子4の出力も変化する。つまり、シリアル−パラ
レル変換回路9によりパラレルに変換されたスキャンデ
ータが、機能モジュール15及び16に設定される。そ
して、それぞれの機能モジュール15及び16から出力
されるスキャンデータを出力選択回路11を通してシリ
アルに変換し、スキャンパステスト用出力端子12から
出力する。同時に、組み合わせ回路2及び3の出力の変
化を、スキャンパステスト用フリップフロップXX1〜
YYn−m及びYYn〜ZZnに存在するEX−OR回
路22を通して外部端子4から出力する。これにより、
図1の第一の実施形態よりもさらに早い時間で、機能モ
ジュール15及び16の故障が検出可能となる。それ
は、1回の試験時に捨てられてしまう試験対象外の組み
合わせ回路の出力を、EX−OR回路22を設けること
で有効利用しているためである。
The two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are input to the scan data input terminals of the scan path test flip-flops XX1 and YYn, respectively. At this time, the serial-parallel conversion circuit 9 converts
The type of scan data is transferred to the function module 15 or 1
6 is determined by the selector circuit 10. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops XX1 and YYn is
Yn-m and YYn to ZZn are respectively shifted and flip-flops for scan path test YYn-m
And the output of ZZn are input to the output selection circuit 11 and selected and output, whereby the failure of the functional modules 15 and 16 is detected from the output terminal 12 for scan path test. Since the outputs of the combinational circuits 2 and 3 change when the scan data is shifted, the scan path test flip-flops XX1 to YY shown in FIG.
EX-OR circuit 2 existing in nm and YYn to ZZn
2 changes. Since the EX-OR circuit 22 is serially connected in each of the functional modules 15 and 16, the data output from the scan path test flip-flops YYn-m and ZZn, which are the final stage, also changes. Then, the output of the output terminal 4 connected to each also changes. That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is set in the function modules 15 and 16. Then, the scan data output from each of the functional modules 15 and 16 is serially converted through the output selection circuit 11 and output from the scan path test output terminal 12. At the same time, the changes in the outputs of the combinational circuits 2 and 3 are detected by the scan path test flip-flops XX1 to XX1.
The signal is output from the external terminal 4 through the EX-OR circuits 22 existing in YYn-m and YYn to ZZn. This allows
The failure of the functional modules 15 and 16 can be detected earlier than in the first embodiment of FIG. This is because the output of a combinational circuit that is discarded during one test and is not a test target is effectively used by providing the EX-OR circuit 22.

【0027】次に、本発明の第六の実施形態の半導体集
積回路の試験回路を図6を参照して説明する。図6の第
六の実施形態では、図2の第二の実施形態おいて、スキ
ャンパステスト用フリップフロップX1〜Znを図7の
ように構成されたスキャンパステスト用フリップフロッ
プXX1〜ZZnにしたものである。従って、動作は次
のようになる。
Next, a test circuit for a semiconductor integrated circuit according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the sixth embodiment of FIG. 6, the scan path test flip-flops XX1 to Zn in the second embodiment of FIG. 2 are replaced with scan path test flip-flops XX1 to ZZn configured as shown in FIG. Things. Therefore, the operation is as follows.

【0028】シリアル−パラレル変換回路9によりパラ
レルに変換された2種類のスキャンデータを、スキャン
パステスト用フリップフロップXX1及びYYnのスキ
ャンデータ入力端子にそれぞれ入力する。この時、シリ
アル−パラレル変換回路9によりパラレルに変換した2
種類のスキャンデータを、機能モジュール15または1
6のどちらへ入力するかはセレクタ回路10により決定
する。続いて、前記スキャンパステスト用フリップフロ
ップXX1及びYYnに入力されたデータをXX1〜Y
Yn−m及びYYn〜ZZnまでそれぞれシフトして行
くことで、スキャンパステスト用フリップフロップYY
n−m及びZZnの出力に接続されたスキャンパステス
ト用出力端子12及び17から、機能モジュール15及
び16の故障が検出される。ここで、スキャンデータを
シフトして行く時、組み合わせ回路2及び3の出力が変
化するため、図7で構成された前記スキャンパステスト
用フリップフロップXX1〜YYn−m及びYYn〜Z
Znに存在するEX−OR回路22の出力が変化する。
このEX−OR回路22は、それぞれの機能モジュール
15及び16においてシリアルに接続されているため、
最終段にあたるスキャンパス用フリップフロップYYn
−m及びZZnから出力されるデータも変化する。そし
て、それぞれに接続された出力端子4の出力も変化す
る。つまり、シリアル−パラレル変換回路9によりパラ
レルに変換されたスキャンデータが、機能モジュール1
5及び16に設定される。そして、それぞれの機能モジ
ュール15及び16から出力されるスキャンデータをス
キャンパステスト用出力端子12及び17から出力す
る。同時に、組み合わせ回路2及び3の出力の変化を、
スキャンパステスト用フリップフロップXX1〜YYn
−m及びYYn〜ZZnに存在するEX−OR回路22
を通して外部端子4から出力する。これにより、図2の
第二の実施形態よりもさらに早い時間で、機能モジュー
ル15及び16の故障が検出可能となる。それは、1回
の試験時に捨てられてしまう試験対象外の組み合わせ回
路の出力を、EX−OR回路22を設けることで有効利
用しているためである。
The two types of scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 are input to scan data input terminals of flip-flops XX1 and YYn for scan path tests. At this time, the serial-parallel conversion circuit 9 converts
The type of scan data is transferred to the function module 15 or 1
6 is determined by the selector circuit 10. Subsequently, the data input to the scan path test flip-flops XX1 and YYn is
The scan path test flip-flop YY is shifted by Yn-m and YYn to ZZn, respectively.
The failure of the functional modules 15 and 16 is detected from the scan path test output terminals 12 and 17 connected to the outputs of nm and ZZn. Here, when the scan data is shifted, the outputs of the combinational circuits 2 and 3 change. Therefore, the scan path test flip-flops XX1 to YYn-m and YYn to Z configured in FIG.
The output of the EX-OR circuit 22 existing in Zn changes.
Since this EX-OR circuit 22 is serially connected in each of the functional modules 15 and 16,
Scan path flip-flop YYn corresponding to the last stage
The data output from -m and ZZn also changes. Then, the output of the output terminal 4 connected to each also changes. That is, the scan data converted in parallel by the serial-parallel conversion circuit 9 is transmitted to the functional module 1.
5 and 16 are set. The scan data output from the functional modules 15 and 16 is output from the scan path test output terminals 12 and 17. At the same time, the changes in the outputs of the combinational circuits 2 and 3 are
Scan path test flip-flops XX1 to YYn
EX-OR circuit 22 existing in -m and YYn to ZZn
And output from the external terminal 4. As a result, the failure of the functional modules 15 and 16 can be detected earlier than in the second embodiment of FIG. This is because the output of a combinational circuit that is discarded during one test and is not a test target is effectively used by providing the EX-OR circuit 22.

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明によれば、第一の効果は、短いテ
ストパターンで従来と同等の故障が検出できることであ
る。その理由は実施例においても記したように、半導体
集積回路内部にシリアル−パラレル変換回路及び、出力
選択回路を取り込み、さらに機能モジュール毎にスキャ
ンパステスト回路を構成することで、パラレルにスキャ
ンパステストが実行できるためである。
According to the present invention, the first effect is that a fault equivalent to the conventional one can be detected with a short test pattern. The reason is that, as described in the embodiment, a serial-parallel conversion circuit and an output selection circuit are incorporated in the semiconductor integrated circuit, and a scan path test circuit is configured for each functional module, so that the scan path test is performed in parallel Can be executed.

【0030】第二の効果は、半導体集積回路のテストに
必要となるコストが安くなることである。その理由は、
テストに必要となるテストパターン数が短くて済み、そ
の結果テスト時間が短縮されるためである。
The second effect is that the cost required for testing the semiconductor integrated circuit is reduced. The reason is,
This is because the number of test patterns required for the test can be reduced, and as a result, the test time is reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第一の実施の形態を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第二の実施の形態を示す図である。FIG. 2 is a diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第三の実施の形態を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a third embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第四の実施の形態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a fourth embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第五の実施の形態を示す図である。FIG. 5 is a diagram showing a fifth embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第六の実施の形態を示す図である。FIG. 6 is a diagram showing a sixth embodiment of the present invention.

【図7】本発明のスキャンパス用フリップフロップ回路
の一実施例を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing one embodiment of a scan path flip-flop circuit of the present invention.

【図8】従来のスキャンパステスト方式の試験回路の一
例を示すブロック図である。
FIG. 8 is a block diagram showing an example of a conventional test circuit of a scan path test method.

【図9】フリップフロップの入力部分にセレクタを追加
した従来からスキャンパステスト用回路に使われている
構成を示す。
FIG. 9 shows a configuration conventionally used in a scan path test circuit in which a selector is added to an input portion of a flip-flop.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 データ入力端子 2 組み合わせ回路 3 組み合わせ回路 4 出力端子 5 スキャンパステスト用モード切り替え制御端子 6 スキャンパステスト用モード切り替え制御端子 7 スキャンパステスト用データ入力端子 8 クロック入力端子 9 シリアル−パラレル変換回路 10 スキャンデータ用セレクタ回路 11 出力データ選択回路 12 スキャンパステスト用出力端子 13 スキャンデータ用セレクタ回路制御信号 14 出力データ選択回路制御信号 15 機能モジュール 16 機能モジュール 17 スキャンパステスト用出力端子 18 EX−OR回路 19 EX−OR回路 20 セレクタ回路 21 フリップフロップ回路 22 EX−OR回路 Reference Signs List 1 data input terminal 2 combination circuit 3 combination circuit 4 output terminal 5 scan path test mode switching control terminal 6 scan path test mode switching control terminal 7 scan path test data input terminal 8 clock input terminal 9 serial-parallel conversion circuit 10 Scan data selector circuit 11 Output data selection circuit 12 Scan path test output terminal 13 Scan data selector circuit control signal 14 Output data selection circuit control signal 15 Function module 16 Function module 17 Scan path test output terminal 18 EX-OR circuit 19 EX-OR circuit 20 selector circuit 21 flip-flop circuit 22 EX-OR circuit

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 スキャンパステスト用フリップフロップ
と、スキャンパステスト用データ入力端子から入力され
るスキャンデータをパラレルに変換するシリアル−パラ
レル変換回路と、スキャンパステスト結果出力データを
スキャンパステスト用出力端子にシリアルで出力する出
力選択回路を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集積
回路を機能モジュール毎に回路を分割し、前記機能モジ
ュール毎にスキャンパス用シフトレジスタを構成したこ
とを特徴とする半導体集積回路の試験回路。
1. A scan path test flip-flop, a serial-parallel conversion circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel, and output of scan path test result output data for scan path test The semiconductor integrated circuit has an output selection circuit for serially outputting to a terminal in the semiconductor integrated circuit, and the semiconductor integrated circuit is divided into circuits for each function module, and a scan path shift register is formed for each of the function modules Test circuit for semiconductor integrated circuits.
【請求項2】 スキャンパステスト用フリップフロップ
と、スキャンパステスト用データ入力端子から入力され
るスキャンデータをパラレルに変換するシリアル−パラ
レル変換回路を半導体集積回路内に有し、かつ半導体集
積回路を機能モジュール毎に回路を分割し、前記機能モ
ジュール毎にスキャンパス用シフトレジスタを構成し、
前記各機能モジュールに接続されているスキャンパステ
スト用出力端子の出力をそれぞれ観測することを特徴と
する半導体集積回路の試験回路。
2. A semiconductor integrated circuit comprising: a scan path test flip-flop; and a serial-parallel conversion circuit for converting scan data input from a scan path test data input terminal into parallel. Divide the circuit for each functional module, configure a scan path shift register for each functional module,
A test circuit for a semiconductor integrated circuit, wherein an output of a scan path test output terminal connected to each of the functional modules is observed.
【請求項3】 前記請求項1において、前記各機能モジ
ュール内に存在する組み合わせ回路の出力総てのEX−
ORを取ることを特徴とする前記請求項1記載の半導体
集積回路の試験回路。
3. The EX-controller according to claim 1, wherein all of the outputs of the combinational circuits existing in each of the functional modules are EX-
2. The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein an OR operation is performed.
【請求項4】 前記請求項1において、前記スキャンパ
ステスト用フリップフロップがEX−OR回路を備え、
前記各機能モジュール内に存在する組み合わせ回路の出
力を前記スキャンパステスト用フリップフロップが有す
るEX−OR回路を通して出力することを特徴とする前
記請求項1記載の半導体集積回路の試験回路。
4. The scan path test flip-flop according to claim 1, wherein the scan path test flip-flop comprises an EX-OR circuit,
2. The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to claim 1, wherein an output of a combinational circuit present in each of the functional modules is output through an EX-OR circuit included in the scan path test flip-flop.
【請求項5】 前記請求項2において、前記各機能モジ
ュール内に存在する組み合わせ回路の出力総てのEX−
ORを取ることを特徴とする前記請求項2記載の半導体
集積回路の試験回路。
5. The apparatus according to claim 2, wherein all of the outputs of the combinational circuits in each of the functional modules are EX-
3. The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to claim 2, wherein an OR operation is performed.
【請求項6】 前記請求項2において、前記スキャンパ
ステスト用フリップフロップがEX−OR回路を備え、
前記各機能モジュール内に存在する組み合わせ回路の出
力を前記スキャンパステスト用フリップフロップが有す
るEX−OR回路を通して出力することを特徴とする前
記請求項2記載の半導体集積回路の試験回路。
6. The scan path test flip-flop according to claim 2, further comprising: an EX-OR circuit;
3. The test circuit for a semiconductor integrated circuit according to claim 2, wherein an output of a combinational circuit present in each of the functional modules is output through an EX-OR circuit included in the scan path test flip-flop.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002286803A (en) * 2001-03-23 2002-10-03 Sony Corp Semiconductor integrated circuit
JP2011027566A (en) * 2009-07-27 2011-02-10 Nec Corp Lsi and test data setting method therefor
JPWO2015033681A1 (en) * 2013-09-05 2017-03-02 株式会社日立製作所 Scanning probe microscope and sample observation method using the same

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