JP2001110200A - Diagnostic method for ram and lsi - Google Patents

Diagnostic method for ram and lsi

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JP2001110200A
JP2001110200A JP28828299A JP28828299A JP2001110200A JP 2001110200 A JP2001110200 A JP 2001110200A JP 28828299 A JP28828299 A JP 28828299A JP 28828299 A JP28828299 A JP 28828299A JP 2001110200 A JP2001110200 A JP 2001110200A
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lsi
ram
data
parallel
tester
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Noribumi Shingo
紀文 新郷
Tetsuya Takahashi
徹也 高橋
Makoto Yamagata
良 山縣
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Hitachi Ltd
Hitachi Information Technology Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce a manufacturing cost of a tester using a tester having lower speed than an operation frequency of a LSI or to reduce overhead for chip area of a BIST circuit. SOLUTION: A tester 10 operated with speed of half of an operation frequency of a LSI 12 inputs data 1, 2 into input pins 24, 25 synchronously with a clock of the tester 10. A parallel-serial converting circuit 27 in a RAM test logic circuit 13 converts inputted data to serial data switched by a clock of the LSI 12, and writes it in a RAM 14 by a clock of the LSI in order of data 1, data 2. A RAM test logic circuit 15 reads out the data 1 and the data 2 written in the RAM 14 synchronously with a clock of the LSI 12. A serial- parallel converting circuit 30 writes the read out data 1, 2 in a tester 17 by outputting alternately the data 1, 2 to output pins 31, 32 so as to be switched by the tester 17. The tester 17 compares read out data with an expected value and extracts fault of the RAM 14. Operation speed of the tester 10 may be 1/t of the LSI 12.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、LSIに搭載され
たRAMの診断方法及びLSIに係り、特に、LSI内
部のRAMの動作周波数より遅い動作周波数のテスタに
より、高速にRAMのテストを行うことを可能にしたR
AMの診断方法及びLSIに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of diagnosing a RAM mounted on an LSI and an LSI, and more particularly to a method for testing a RAM at a high speed by using a tester having an operation frequency lower than the operation frequency of the RAM inside the LSI. R that enabled
The present invention relates to an AM diagnosis method and an LSI.

【0002】[0002]

【従来の技術】一般に、LSIに搭載されたRAMの診
断は、LSIに搭載されたRAMをテスタにより実動作
周波数で動作させ、RAMの故障を摘出するることによ
り行われる。このようなLSIに搭載されたRAMの診
断に関する従来技術として、LSIと同一の周波数のテ
スタをLSIに接続してRAMの診断を行う手法と、L
SI内部に設けられるランダムなテストデータを生成す
るBIST論理をLSIの動作周波数で動作させてRA
Mの診断を行う手法とが知られている。
2. Description of the Related Art Generally, a diagnosis of a RAM mounted on an LSI is performed by operating the RAM mounted on the LSI at an actual operating frequency by a tester and extracting a failure of the RAM. As a conventional technique for diagnosing a RAM mounted on such an LSI, a method of connecting a tester having the same frequency as that of the LSI to the LSI to diagnose the RAM,
The BIST logic for generating random test data provided inside the SI is operated at the operating frequency of the LSI and RA
There is known a method of performing M diagnosis.

【0003】図5はLSIに搭載されているRAMをL
SIと同一の動作周波数のテスタを用いて診断テストを
行う従来技術の構成を説明する図であり、以下、この従
来技術について説明する。図5において、10、17は
テスタ、11はLSI入力エッジピン、12はLSI、
13、15はRAMテスト論理回路、14はRAM、1
6はLSI出力エッジピンである。なお、入力及び出力
のエッジピンは、1つだけ示しているが、実際には、デ
ータとして所定のビット幅を持つデータが使用されるた
め、そのビット数分のピンが設けられる。このことは、
以後に説明するもう1つの従来技術の場合も同様であ
る。
FIG. 5 shows that the RAM mounted on the LSI is
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a conventional technique for performing a diagnostic test using a tester having the same operating frequency as that of an SI, and the conventional technique will be described below. In FIG. 5, 10 and 17 are testers, 11 is an LSI input edge pin, 12 is an LSI,
13 and 15 are RAM test logic circuits, 14 is RAM, 1
Reference numeral 6 denotes an LSI output edge pin. Although only one input and output edge pin is shown, actually, data having a predetermined bit width is used as data, and therefore, pins for the number of bits are provided. This means
The same applies to the case of another conventional technique described below.

【0004】LSI12の内部には、LSIエッジピン
より直接RAMにデータを読み書きするための回路であ
るRAMテスト論理回路13、15と、RAM14とが
搭載されていると共に、図示していないが、その他の多
くの論理回路が搭載されている。このような構成を持つ
LSI12内のRAM14の診断のために、LSI入力
エッジピン11とLSI出力エッジピン16とにテスタ
10、17が接続される。テスタ10、17は、説明を
容易にするためにLSI12の入力側と出力側とに接続
するとして図示しているが、これらは一体のものであ
る。
Inside the LSI 12, RAM test logic circuits 13 and 15, which are circuits for reading and writing data directly from the LSI edge pins to the RAM, and a RAM 14, are mounted. Many logic circuits are mounted. Testers 10 and 17 are connected to the LSI input edge pin 11 and the LSI output edge pin 16 for diagnosis of the RAM 14 in the LSI 12 having such a configuration. Although the testers 10 and 17 are illustrated as being connected to the input side and the output side of the LSI 12 for ease of description, these are integrated.

【0005】テスタ10は、LSI12と同一の周波数
で動作するものであり、テスタ10より、LSI入力エ
ッジピン11に対し、テストデータが入力される。RA
Mテスト論理回路13は、入力されたテストデータをR
AM14に書き込む。データが書き込まれると、この書
き込まれたデータは、RAMテスト論理回路15により
読み出されてLSI出力エッジピン16からテスタ17
に出力される。テスタ17は、読み出されたデータと期
待値と比較することにより、RAM14の故障を摘出す
る。
[0005] The tester 10 operates at the same frequency as the LSI 12, and test data is input from the tester 10 to the LSI input edge pin 11. RA
The M test logic circuit 13 converts the input test data into R
Write to AM14. When the data is written, the written data is read out by the RAM test logic circuit 15 and is output from the LSI output edge pin 16 to the tester 17.
Is output to The tester 17 extracts a failure of the RAM 14 by comparing the read data with an expected value.

【0006】前述した従来技術によるテスト方法は、L
SIの動作速度が速くなれば、それに従って高速に動作
可能なテスタを用意しなければならないものである。
[0006] The test method according to the prior art described above uses L
As the operating speed of the SI increases, a tester capable of operating at a higher speed must be prepared accordingly.

【0007】図6はLSIに搭載されているRAMを、
LSIの内部に設けられているBIST(Built In
Self Test)回路を用いて診断テストを行う従来技術
の構成を説明する図であり、次に、この従来技術につい
て説明する。図6において、19はランダムパターン発
生回路、21は出力バッファであり、他の符号は図5の
場合と同一である。
FIG. 6 shows a RAM mounted on an LSI,
BIST (Built In) provided inside the LSI
FIG. 2 is a diagram illustrating a configuration of a conventional technique for performing a diagnostic test using a Self Test (Self Test) circuit. Next, the conventional technique will be described. 6, reference numeral 19 denotes a random pattern generation circuit, reference numeral 21 denotes an output buffer, and other reference numerals are the same as those in FIG.

【0008】図6に示す例は、テストすべきRAM14
を備えるLSI12の内部に、ランダムなテストデータ
を発生させる回路であるランダムパターン発生器19
と、RAM14より読み出されたデータを回収し、圧
縮、または期待値との比較を行う回路である出力バッフ
ァ21とにより構成されるBIST回路が設けられた場
合の例である。
FIG. 6 shows an example of the RAM 14 to be tested.
Pattern generator 19 which is a circuit for generating random test data inside an LSI 12 having
This is an example in which a BIST circuit is provided which is configured to collect data read from the RAM 14 and to perform compression or comparison with an expected value.

【0009】図6において、ランダムパターン発生回路
19は、LSI12の動作周波数を持つテストデータを
生成してRAM14に書き込む。出バッファ21は、R
AM14書き込まれたデータを回収し、期待値と比較す
ることによってRAM14の故障の摘出を行う。
In FIG. 6, a random pattern generating circuit 19 generates test data having the operating frequency of the LSI 12 and writes the generated test data into the RAM 14. The output buffer 21
The data written in the AM 14 is collected, and a failure of the RAM 14 is extracted by comparing the data with an expected value.

【0010】前述したように、LSIに含まれるRAM
の高速診断テストを行う従来技術は、いずれの場合に
も、LSIの動作周波数と同一の周波数で動作するテス
タ、あるいは、LSIの動作周波数と同一の周波数で動
作できる高速BIST回路が必要となってくる。
As described above, the RAM included in the LSI
In any case, the conventional technology for performing the high-speed diagnostic test requires a tester that operates at the same frequency as the operating frequency of the LSI or a high-speed BIST circuit that can operate at the same frequency as the operating frequency of the LSI. come.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】前述したテスタを接続
して行う従来技術によるテスト方法は、LSIが高速化
するに従って、LSIの内部に設けられる高速なRAM
の診断を行うために必要なテスタにも高速化が求めら
れ、この結果、テスタが高価になり、コストがかかって
しまうという問題点を有している。
The test method according to the prior art performed by connecting the above-described tester is based on a high-speed RAM provided inside the LSI as the speed of the LSI increases.
There is also a problem that the tester required to perform the diagnosis of the above needs to be speeded up, and as a result, the tester becomes expensive and costly.

【0012】また、LSIの内部にBIST回路を設け
てテストを行う従来技術によるテスト方法は、LSIの
内部に設けられるテスト用の回路であるBIST回路を
使用するものであり、そのLSI本来の仕様には寄与し
ないBIST回路をLSIの内部に備えなければなら
ず、しかも、高速で動作するBIST回路を構築しよう
とするほど、BIST回路がチップ内の大きな面積を占
め、いわゆるオーバヘッドが大きくなり、そのため、本
来の動作仕様の実現に使えるLSIの部分が圧迫されて
しまい、あるいは、チップの面積が大きくなってしまう
という問題点を有している。
A conventional test method in which a BIST circuit is provided inside an LSI to perform a test uses a BIST circuit which is a test circuit provided inside the LSI. Must be provided inside the LSI, and the BIST circuit occupies a large area in the chip and increases the so-called overhead as the BIST circuit that operates at high speed is to be constructed. However, there is a problem that a part of the LSI that can be used for realizing the original operation specifications is squeezed or a chip area becomes large.

【0013】本発明の目的は、前述した従来技術の問題
点を解決し、低速なテスタを用いて、あるいは、低速な
BIST回路を用いて、高速にLSI内のRAMの診断
を行うことを可能にしたRAMの診断方法及びLSIを
提供することにある。
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to diagnose a RAM in an LSI at a high speed by using a low-speed tester or a low-speed BIST circuit. And to provide an LSI diagnostic method and an LSI.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】本発明によれば前記目的
は、LSIに搭載されているRAMをLSIの動作クロ
ック周波数で読み書きしてRAMの故障を摘出するRA
Mの診断方法において、LSIの動作クロック周波数の
1/t(tは2以上の整数)の周波数で動作するテスタ
より、RAMの診断に使用する値を設定するデータのt
ビットを並列にLSIに入力し、LSIに搭載されてい
るRAMテスト回路に組み込んだあるいはRAMテスト
回路に接続されたパラレル―シリアル変換回路よって、
LSI動作クロック周波数で切り替わるテストデータに
変換してRAMへの書き込みを行い、また、RAMより
読み出されたテストデータをRAMテスト回路に組み込
まれたあるいはRAMテスト回路に接続されたシリアル
―パラレル変換回路によってテスタの動作クロック周波
数であるLSIの動作クロック周波数の1/tの周波数
に変換したt個の並列テストデータとしてテスタに読み
出してRAMの故障を摘出することにより達成される。
According to the present invention, an object of the present invention is to provide a RAM for reading and writing a RAM mounted on an LSI at an operating clock frequency of the LSI to detect a failure of the RAM.
In the diagnostic method of M, a tester operating at a frequency of 1 / t (t is an integer of 2 or more) of the operating clock frequency of the LSI uses a t
The bits are input to the LSI in parallel, and the parallel-serial conversion circuit is incorporated in the RAM test circuit mounted on the LSI or connected to the RAM test circuit.
A serial-parallel conversion circuit that converts test data that is switched at an LSI operating clock frequency and writes the test data into the RAM, and that incorporates the test data read from the RAM into the RAM test circuit or connected to the RAM test circuit This is achieved by reading out to the tester as t parallel test data converted to a frequency of 1 / t of the operating clock frequency of the LSI, which is the operating clock frequency of the tester, and extracting a fault in the RAM.

【0015】また、前記目的は、LSIに搭載されてい
るRAMをLSIの動作クロック周波数で読み書きして
RAMの故障を摘出するRAMの診断方法において、L
SIの動作クロック周波数の1/t(tは2以上の整
数)の周波数で動作するLSIに組み込まれているBI
ST回路に、RAMの診断に使用する値を設定するデー
タのtビットを並列に生成させ、生成されたtビットの
データをパラレル―シリアル変換回路よって、LSIの
動作クロック周波数で切り替わるテストデータに変換し
てRAMへの書き込みを行い、また、RAMより読み出
されたテストデータをシリアル―パラレル変換回路によ
ってBISTの動作クロック周波数であるLSIの動作
クロック周波数の1/tの周波数に変換したt個の並列
テストデータとしてBIST回路に読み出してRAMの
故障を摘出することにより達成される。
The object of the present invention is to provide a method of diagnosing a RAM in which a RAM mounted on an LSI is read and written at an operating clock frequency of the LSI to isolate a failure of the RAM.
BI built in an LSI that operates at a frequency of 1 / t (t is an integer of 2 or more) of the operating clock frequency of the SI
The ST circuit generates, in parallel, t bits of data for setting a value to be used for the diagnosis of the RAM, and converts the generated t-bit data into test data that is switched at the operating clock frequency of the LSI by a parallel-serial conversion circuit. Then, the test data read from the RAM is converted into 1 / t of the operation clock frequency of the LSI, which is the operation clock frequency of the BIST, by the serial-parallel conversion circuit. This is achieved by reading out to the BIST circuit as parallel test data and extracting a failure in the RAM.

【0016】さらに、前記目的は、前述のLSIの動作
クロックが、外部から入力されるLSIの動作クロック
よりも低い周波数のクロックに基づいてPLL回路によ
って生成されることにより達成される。
Further, the above object is achieved by generating the above-mentioned LSI operation clock by a PLL circuit based on a clock having a lower frequency than the externally input LSI operation clock.

【0017】前述によりRAMの診断が行われる内部に
RAMを備えて構成されるLSIは、前記RAMのテス
トのために与えられるLSIの動作クロック周波数の1
/tの動作速度のtビットの並列データをLSIの動作
クロック周波数のRAMへの書き込みデータに変換する
パラレル−シリアル変換回路と、LSIの動作クロック
周波数でRAMから読み出されたtビットのデータをL
SIの動作クロック周波数の1/tの動作速度のtビッ
トの並列データに変換するシリアル−パラレル変換回路
とを備えて構成される。
As described above, the LSI which is provided with the RAM inside in which the diagnosis of the RAM is performed is one of the operating clock frequencies of the LSI provided for testing the RAM.
A parallel-serial conversion circuit for converting the t-bit parallel data at the operating speed of / t into write data to the RAM at the operating clock frequency of the LSI, and the t-bit data read from the RAM at the operating clock frequency of the LSI. L
And a serial-parallel conversion circuit for converting the data into t-bit parallel data at an operation speed of 1 / t of the operation clock frequency of the SI.

【0018】[0018]

【発明の実施の形態】以下、本発明によるRAMの診断
方法の実施形態を図面により詳細に説明する。
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a method for diagnosing a RAM according to the present invention;

【0019】図1は本発明の第1の実施形態によるRA
Mの診断方法を説明する図である。図1において、2
4、25はLSI入力ピン。27はパラレル−シリアル
変換回路、30はシリアル−パラレル変換回路、31、
32はLSI出力ピン、34はクロックピン、35はP
LL回路であり、他の符号は図5の場合と同一である。
図1に示す本発明の第1の実施形態は、LSIの動作周
波数の1/2の低速な動作周波数のテスタを使用してR
AMの診断を行う場合の例である。
FIG. 1 shows an RA according to a first embodiment of the present invention.
It is a figure explaining the diagnostic method of M. In FIG. 1, 2
4 and 25 are LSI input pins. 27 is a parallel-serial conversion circuit, 30 is a serial-parallel conversion circuit, 31,
32 is an LSI output pin, 34 is a clock pin, 35 is P
This is an LL circuit, and other symbols are the same as those in FIG.
The first embodiment of the present invention shown in FIG. 1 uses a tester having a low operating frequency of 1 / of the operating frequency of the LSI, and
It is an example in the case of diagnosing AM.

【0020】図示本発明の第1の実施形態は、図5によ
り説明した従来技術の例におけるLSI12内のRAM
テスト論理回路13、15の内部に本発明のために、周
波数変換を行うパラレル−シリアル変換回路27、シリ
アル−パラレル変換回路30を設け、さらに、テスタ1
0、17の動作速度(動作周波数)とLSI12の動作
速度(動作周波数)との変換のためのPLL回路35を
設け、テスタ10、17を接続してRAM14の診断を
行うものである。
A first embodiment of the present invention is a RAM in the LSI 12 in the example of the prior art described with reference to FIG.
A parallel-serial conversion circuit 27 for performing frequency conversion and a serial-parallel conversion circuit 30 are provided inside the test logic circuits 13 and 15 for the present invention.
A PLL circuit 35 for converting the operating speeds (operating frequencies) of 0 and 17 and the operating speed (operating frequency) of the LSI 12 is provided, and the testers 10 and 17 are connected to diagnose the RAM 14.

【0021】図1において、テスタ10、17は、LS
I12の動作速度の1/2の動作速度のものでよい。そ
して、LSI12の動作周波数の1/2の速度で動作す
るテスタ10は、LSI入力ピン24にデータ1を、L
SI入力ピン25にデータ2をテスタ10のクロックに
同期して入力する。なお、データ1、2は、それぞれ1
ビットである。
In FIG. 1, testers 10 and 17 are LS
It may have an operation speed that is half the operation speed of I12. Then, the tester 10 operating at half the operating frequency of the LSI 12 puts data 1 into the LSI input pin 24,
Data 2 is input to the SI input pin 25 in synchronization with the clock of the tester 10. Data 1 and 2 are 1
Is a bit.

【0022】LSI12内のRAMテスト論理回路13
内に組み込んだパラレル−シリアル変換回路27は、入
力ピン24、25から入力されたデータを、LSI12
のクロックで切り替わるシリアルなデータに変換し、R
AM14にデータ1、データ2の順でサイクリックにL
SI12のクロックによって書き込む。RAMテスト論
理回路15は、RAM14に書き込まれたデータ1、デ
ータ2をLSI12のクロックに同期して読み出し、R
AMテスト論理回路15内のシリアル−パラレル変換回
路30は、読み出されたデータ1、2を、テスタ17の
クロックで切り替わるように、データ1をLSI出力ピ
ン31に、データ2をLSI出力ピン32に交互に出力
して、テスタ17に読み込ませる。テスタ17は、読み
出されたデータと期待値と比較することにより、RAM
14の故障を摘出する。
RAM test logic circuit 13 in LSI 12
The parallel-to-serial conversion circuit 27 incorporated in the LSI converts the data input from the input pins 24 and 25 into the LSI 12
Is converted to serial data switched by the clock of R
AM1 cyclically L in order of data 1 and data 2
Writing is performed by the clock of SI12. The RAM test logic circuit 15 reads the data 1 and data 2 written in the RAM 14 in synchronization with the clock of the LSI 12,
The serial-parallel conversion circuit 30 in the AM test logic circuit 15 outputs the data 1 to the LSI output pin 31 and the data 2 to the LSI output pin 32 so that the read data 1 and 2 are switched by the clock of the tester 17. And the tester 17 reads the data. The tester 17 compares the read data with the expected value, and
14 faults are isolated.

【0023】前述した図1に示す本発明の実施形態によ
れば、RAM14は、LSI12の動作速度でデータの
読み書きが行われてテストされるが、テスタ10、17
の動作速度は、LSI12内のRAMテスト論理回路1
3、15にパラレル−シリアル変換回路27、シリアル
−パラレル変換回路30を設けたことにより、LSI1
2の動作速度の半分でよいことになる。
According to the embodiment of the present invention shown in FIG. 1 described above, the RAM 14 is tested by reading and writing data at the operating speed of the LSI 12.
The operation speed of the RAM test logic circuit 1 in the LSI 12
Since the parallel-serial conversion circuit 27 and the serial-parallel conversion circuit 30 are provided in 3 and 15, the LSI 1
In other words, half of the operation speed of 2 is sufficient.

【0024】なお、前述の動作において、LSI12の
クロックは、テスタによりクロックピン34から与えら
れるテスタのクロックを、PLL回路35により2倍の
周波数のクロックを生成させて使用することができる。
また、前述した本発明の実施形態は、テスタの動作速度
をLSIの動作速度の1/2の動作速度としてRAMの
診断を行うとして説明したが、本発明は、テスタの動作
速度をLSIの動作速度の1/t(tは2以上の任意の
整数)の動作速度としてRAMの診断を行うようにする
ことができる。この場合、テスタ10、17を、t個の
データをLSI12に与え、また、t個のデータをLS
I12からを受け取ることができるように構成し、RA
Mテスト論理回路13内のパラレル−シリアル変換回路
27がt個のデータをサイクリックにシリアル化したL
SI12の動作速度のデータをRAM14に書き込み、
RAMテスト論理回路15内のシリアル−パラレル変換
回路30が、RAM14から読み出されたデータを、t
個のデータに並列化して出力するようにすればよい。ま
た、この場合、PLL回路35は、テスタからのクロッ
クをt倍の周波数のクロックを生成し、このクロックを
LSIクロックとしてLSI内の構成回路に出力するよ
うにすればよい。
In the above-described operation, the clock of the LSI 12 can be used by generating the clock of the double frequency by the PLL circuit 35 from the clock of the tester supplied from the clock pin 34 by the tester.
Further, in the above-described embodiment of the present invention, the diagnosis of the RAM is described assuming that the operation speed of the tester is 動作 of the operation speed of the LSI. The diagnosis of the RAM may be performed at an operation speed of 1 / t (t is an arbitrary integer of 2 or more) of the speed. In this case, the testers 10 and 17 supply the t data to the LSI 12 and transmit the t data to the LSI 12.
From the I12
The parallel-serial conversion circuit 27 in the M test logic circuit 13 cyclically serializes t data into L
The data of the operating speed of the SI 12 is written into the RAM 14,
The serial-parallel conversion circuit 30 in the RAM test logic circuit 15 converts the data read from the RAM 14 into t
What is necessary is just to make it output in parallel to pieces of data. In this case, the PLL circuit 35 may generate a clock having a frequency t times the frequency of the clock from the tester, and output this clock as an LSI clock to a constituent circuit in the LSI.

【0025】前述した本発明の実施形態は、パラレル−
シリアル変換回路及びシリアル−パラレル変換回路をR
AMテスト論理回路内に設けたとして説明したが、本発
明は、パラレル−シリアル変換回路及びシリアル−パラ
レル変換回路をLSI内のRAMテスト論理回路と入力
ピン及び出力ピンとの間に設けてもよい。
The above-described embodiment of the present invention employs a parallel
Serial conversion circuit and serial-parallel conversion circuit
Although described as being provided in the AM test logic circuit, in the present invention, the parallel-serial conversion circuit and the serial-parallel conversion circuit may be provided between the RAM test logic circuit and the input pin and the output pin in the LSI.

【0026】図2は本発明の第2の実施形態によるRA
Mの診断方法を説明する図である。図2における図の符
号は、図1、図6の場合と同一である。図2に示す本発
明の第2の実施形態は、LSIの動作周波数の1/2の
低速な動作周波数で動作するBIST回路を使用してR
AMの診断を行う場合の例である。
FIG. 2 shows an RA according to a second embodiment of the present invention.
It is a figure explaining the diagnostic method of M. 2 are the same as those in FIGS. 1 and 6. The second embodiment of the present invention shown in FIG. 2 uses a BIST circuit that operates at a low operating frequency that is half the operating frequency of an LSI.
It is an example in the case of diagnosing AM.

【0027】図示本発明の第2の実施形態は、図6によ
り説明した従来技術の例におけるLSI12内のランダ
ムパターン発生器19とRAM14との間、及び、RA
M14と出力バッファ21との間に、本発明のために周
波数変換を行うパラレル−シリアル変換回路27、及
び、シリアル−パラレル変換回路30を設け、さらに、
ランダムパターン発生器19の動作速度(動作周波数)
とLSI12の動作速度(動作周波数)との変換のため
のPLL回路35を設けてRAM14の診断を行うもの
である。
The second embodiment of the present invention is the same as the prior art example described with reference to FIG. 6 except that the random pattern generator 19 in the LSI 12 and the RAM 14 and the RA
A parallel-serial conversion circuit 27 for performing frequency conversion for the present invention and a serial-parallel conversion circuit 30 are provided between the M14 and the output buffer 21.
Operating speed (operating frequency) of the random pattern generator 19
A PLL circuit 35 is provided for conversion between the data and the operating speed (operating frequency) of the LSI 12, and the RAM 14 is diagnosed.

【0028】図2において、ランダムパターン発生回路
19は、LSI12の動作周波数の1/2の低速なクロ
ック(以下、BISTクロックという)で動作してテス
トデータ1、2を生成し、生成したデータ1を信号線3
8に、データ2を信号線39BISTクロックに同期し
たタイミングで出力する。パラレル−シリアル変換回路
27は、前述りデータ1、2を受け取ると、LSI12
のクロックで切り替わるシリアルなデータに変換し、R
AM14にデータ1、データ2の順でサイクリックにL
SI12のクロックによって書き込む。また、シリアル
−パラレル変換回路30は、RAM14に書き込まれた
データ1、データ2をLSI12のクロックに同期して
読み出し、読み出したデータ1、2を、出力バッファ2
1のクロックで切り替わるように、データ1を信号線4
4に、データ2を信号線45に交互に出力して、出力バ
ッファ21に読み込ませる。出力バッファ21は、読み
込んだデータを圧縮、または、期待値との比較を行うこ
とにより、RAM14の故障を摘出する。
In FIG. 2, a random pattern generation circuit 19 generates test data 1 and 2 by operating with a low-speed clock (hereinafter, referred to as a BIST clock) having a half of the operating frequency of the LSI 12, and generates the generated data 1. To signal line 3
8, the data 2 is output at a timing synchronized with the signal line 39BIST clock. When receiving the data 1 and 2 described above, the parallel-serial conversion circuit 27
Is converted to serial data switched by the clock of R
AM1 cyclically L in order of data 1 and data 2
Writing is performed by the clock of SI12. The serial-parallel conversion circuit 30 reads out the data 1 and data 2 written in the RAM 14 in synchronization with the clock of the LSI 12, and outputs the read data 1 and 2 to the output buffer 2.
Data 1 is connected to signal line 4 so that
4, the data 2 is alternately output to the signal line 45 and is read into the output buffer 21. The output buffer 21 extracts a failure of the RAM 14 by compressing the read data or comparing the read data with an expected value.

【0029】なお、この実施形態においても、第1の実
施形態の場合と同様に、ランダムパターン発生器19及
び出力バッファ21の動作速度をLSIの動作速度の1
/tの動作速度としてRAMの診断を行うようにするこ
とができる。
In this embodiment, as in the first embodiment, the operating speed of the random pattern generator 19 and the output buffer 21 is set to one of the operating speeds of the LSI.
The diagnosis of the RAM can be performed as the operation speed of / t.

【0030】図3は図1及び図2により説明した本発明
の実施形態に用いるパラレル−シリアル変換回路の構成
を示すブロック図とその動作を説明するタイムチャート
であり、以下、これについて説明する。図3において、
48〜51は入力信号線、52はクロック入力線、53
はセレクタであり、他の符号は図1、図2の場合と同一
である。
FIG. 3 is a block diagram showing the configuration of the parallel-serial conversion circuit used in the embodiment of the present invention described with reference to FIGS. 1 and 2, and a time chart for explaining its operation. This will be described below. In FIG.
48 to 51 are input signal lines, 52 is a clock input line, 53
Is a selector, and other symbols are the same as those in FIGS.

【0031】パラレル−シリアル変換回路27は、図3
(a)に示すように、セレクタ53を主な構成要素とし
て備えて構成されており、セレクタ53には、t本の入
力信号線48〜51が接続されると共に、セレクタ53
を制御するLSIの動作周波数のクロック信号が入力さ
れるクロック入力線が接続されている。t本の入力信号
線48〜51には、図3(b)に示すように、テスタ1
0またはランダムパターン発生器19からのテストデー
タ1〜tが、テスタ10またはランダムパターン発生器
19の動作クロックに同期して並列に入力される。並列
に入力されるデータ1〜tは、テスタ10またはランダ
ムパターン発生器19の動作クロック毎に更新される。
The parallel-to-serial conversion circuit 27 is shown in FIG.
As shown in (a), the selector 53 is configured to include a selector 53 as a main component. The selector 53 is connected to t input signal lines 48 to 51 and connected to the selector 53.
Is connected to a clock input line to which a clock signal of an operating frequency of an LSI for controlling the clock is input. As shown in FIG. 3B, tester 1 is connected to t input signal lines 48 to 51.
0 or test data 1 to t from the random pattern generator 19 are input in parallel in synchronization with the operation clock of the tester 10 or the random pattern generator 19. The data 1 to t input in parallel are updated every operation clock of the tester 10 or the random pattern generator 19.

【0032】セレクタ53は、クロック入力線52から
入力されるLSIの動作周波数のクロック信号により制
御され、図3(b)に示すように、入力信号線48〜5
1から入力されるデータ1〜tを、LSIの動作周波数
のクロック信号により順次、サイクリックに取り込んで
RAM14に出力して、RAM14に書き込む。前述で
すでに説明したように、テスタ10またはランダムパタ
ーン発生器19の動作クロックは、LSIの動作周波数
のクロックの1/tの周波数であるため、データ1〜t
は、テスタ10またはランダムパターン発生器19の動
作クロックによりセレクタに入力されている間に、LS
Iのクロックによりシリアルにセレクタ53から出力さ
れることになる。データtが出力された後には、テスタ
10またはランダムパターン発生器19からのデータ1
〜tが更新されるので、再びデータ1〜tがシリアルに
セレクタ53から出力される。この結果、RAM14に
は、LSIの動作速度でデータ1〜tが書き込まれるこ
とになる。
The selector 53 is controlled by a clock signal of the operating frequency of the LSI input from the clock input line 52, and as shown in FIG.
The data 1 to t input from 1 are sequentially taken in cyclically by a clock signal of the operating frequency of the LSI, output to the RAM 14, and written to the RAM 14. As described above, since the operation clock of the tester 10 or the random pattern generator 19 is 1 / t of the clock of the operation frequency of the LSI, data 1 to t
While LS is being input to the selector by the operation clock of the tester 10 or the random pattern generator 19,
The data is serially output from the selector 53 by the clock of I. After the data t is output, the data 1 from the tester 10 or the random pattern generator 19 is output.
Since ~ t is updated, data 1 ~ t are serially output from selector 53 again. As a result, data 1 to t are written into the RAM 14 at the operation speed of the LSI.

【0033】本発明の第1、第2の実施形態は、前述で
説明したようなパラレル−シリアル変換回路27を使用
することにより、LSIの動作周波数のクロックの1/
tの周波数のクロックに同期して入力されたデータをL
SIクロックにより切り替わるデータに変換してRAM
14に書き込むことができる。
In the first and second embodiments of the present invention, the use of the parallel-serial conversion circuit 27 as described above allows the use of 1/1/3 of the clock of the operating frequency of the LSI.
The data input in synchronization with the clock of frequency t
Converts to data switched by SI clock and RAM
14 can be written.

【0034】図4は図1及び図2により説明した本発明
の実施形態に用いるシリアル−パラレル変換回路の構成
を示すブロック図とその動作を説明するタイムチャート
であり、以下、これについて説明する。図4において、
57、59〜62はフリップフロップ(FF)、58は
イネーブル信号線であり、他の符号は図1、図2の場合
と同一である。
FIG. 4 is a block diagram showing the configuration of the serial-parallel conversion circuit used in the embodiment of the present invention described with reference to FIGS. 1 and 2, and a time chart for explaining its operation. This will be described below. In FIG.
Reference numerals 57, 59 to 62 denote flip-flops (FF), 58 denotes an enable signal line, and the other reference numerals are the same as those in FIGS.

【0035】シリアル−パラレル変換回路30は、図4
(a)に示すように複数のFFを備えて構成されてお
り、FF57とFF60とにはRAM14からの読み出
しデータが入力される。FF57とFF59との間に
は、FF57とFF59とを含めてt−1個のFFがシ
フトレジスタを構成するようにシリアルに接続されてい
ると共に、その出力がFF61〜62に接続されてい
る。FF60〜FF62は、イネーブル信号線が接続さ
れたt個のFFである。
The serial-to-parallel conversion circuit 30 corresponds to FIG.
As shown in FIG. 1A, a plurality of FFs are provided, and data read from the RAM 14 is input to the FFs 57 and FF60. Between the FF 57 and the FF 59, t-1 FFs including the FF 57 and the FF 59 are serially connected so as to form a shift register, and their outputs are connected to the FFs 61 to 62. The FFs 60 to 62 are t FFs to which the enable signal lines are connected.

【0036】RAM14は、LSIクロックにより順次
読み出され、図4(b)に示すように、データ1〜デー
タtがLSIクロックに従ってシリアル−パラレル変換
回路30に入力される。データ1〜データt−1が順に
読み出されてくると、これらのデータは、LSIクロッ
クに従ってFF57、59を含むシフトレジスタ内に順
にシフトされ、データt−1が読み出されたとき、デー
タt1がFF59に、データ1がFF57に取り込まれ
た状態となる。そして、データtが読み出されるタイミ
ングでイネーブル信号線58上のイネーブル信号をハイ
レベルにすることにより、データ1〜データtは、FF
62〜FF60に取り込まれることになる。FF62〜
FF60に取り込まれたデータは、テスタ17あるいは
出力バッファ21に、LSIクロックの1/tの速度の
クロックにより並列に読み出されることになる。
The RAM 14 is sequentially read by the LSI clock, and data 1 to t are input to the serial-parallel conversion circuit 30 according to the LSI clock as shown in FIG. When data 1 to data t-1 are sequentially read out, these data are sequentially shifted into a shift register including FFs 57 and 59 in accordance with the LSI clock, and when data t-1 is read out, data t1 is read out. Are taken into the FF 59 and the data 1 is taken into the FF 57. By setting the enable signal on the enable signal line 58 to the high level at the timing when the data t is read, the data 1 to the data t
62 to FF60. FF62 ~
The data fetched by the FF 60 is read out to the tester 17 or the output buffer 21 in parallel by a clock having a speed of 1 / t of the LSI clock.

【0037】本発明の第1、第2の実施形態は、前述で
説明したようなシリアル−パラレル変換回路30を使用
することにより、LSIの動作周波数のクロックにより
RAMに書き込まれたt個のデータをLSIクロックの
1/tの周波数のクロックに同期して出力することがで
きる。
In the first and second embodiments of the present invention, by using the serial-parallel conversion circuit 30 as described above, t pieces of data written in the RAM by the clock of the operating frequency of the LSI are used. Can be output in synchronization with a clock having a frequency of 1 / t of the LSI clock.

【0038】前述した本発明の2つの実施形態によれ
ば、RAMの入力側、出力側にパラレル−シリアル変換
回路、シリアル−パラレル変換回路を設けたことによ
り、テスタあるいはBIST回路の動作速度をLSIク
ロックの1/tとして、RAMに対してはLSIの動作
速度でデータの読み書きを行ってテストを行うことがで
きる。
According to the above-described two embodiments of the present invention, the parallel-serial conversion circuit and the serial-parallel conversion circuit are provided on the input side and the output side of the RAM, so that the operation speed of the tester or the BIST circuit can be controlled by the LSI. A test can be performed by reading / writing data from / to the RAM at the operating speed of the LSI as 1 / t of the clock.

【0039】これにより、前述した本発明の2つの実施
形態によれば、テスタの回路構成を簡易化してコストの
低減を図ることができ、あるいは、BIST回路が占め
るチップ内の面積を小さくすることができ、LSIチッ
プをLSI本来の動作仕様の実現に効率的に使用するこ
とができ、LSI全体のチップの面積を小さくすること
が可能となる。
Thus, according to the above-described two embodiments of the present invention, the circuit configuration of the tester can be simplified to reduce the cost, or the area of the chip occupied by the BIST circuit can be reduced. Thus, the LSI chip can be efficiently used for realizing the original operation specifications of the LSI, and the chip area of the entire LSI can be reduced.

【0040】[0040]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、L
SIの動作周波数の1/tの動作周波数のテスタで高速
にLSI内のRAMのテストを行うことができ、高速且
つ高価なテスタを求める必要がなくなり、コストの低減
を図ることができ、また、BIST論理回路の動作周波
数をLSIの動作周波数の1/tの周波数とすることが
できるので、LSIのチップ面積への配線及びゲート量
のオーバヘッドの削減を図ることができる。
As described above, according to the present invention, L
A test of the RAM in the LSI can be performed at a high speed with a tester having an operating frequency of 1 / t of the operating frequency of the SI, so that it is not necessary to obtain a high-speed and expensive tester, and the cost can be reduced. Since the operating frequency of the BIST logic circuit can be set to 1 / t of the operating frequency of the LSI, it is possible to reduce the overhead of wiring and gate amount to the chip area of the LSI.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態によるRAMの診断方
法を説明する図である。
FIG. 1 is a diagram illustrating a method for diagnosing a RAM according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施形態によるRAMの診断方
法を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a method for diagnosing a RAM according to a second embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施形態に用いるパラレル−シリアル
変換回路の構成を示すブロック図とその動作を説明する
タイムチャートである。
FIG. 3 is a block diagram showing a configuration of a parallel-serial conversion circuit used in an embodiment of the present invention, and a time chart explaining the operation thereof.

【図4】本発明の実施形態に用いるシリアル−パラレル
変換回路の構成を示すブロック図とその動作を説明する
タイムチャートである。
FIG. 4 is a block diagram showing a configuration of a serial-parallel conversion circuit used in an embodiment of the present invention, and a time chart explaining the operation thereof.

【図5】LSIに搭載されているRAMをLSIと同一
の動作周波数のテスタを用いて診断テストを行う従来技
術の構成を説明する図である。
FIG. 5 is a diagram illustrating a configuration of a conventional technology for performing a diagnostic test on a RAM mounted on an LSI using a tester having the same operating frequency as the LSI.

【図6】LSIに搭載されているRAMをLSIの内部
に設けられているBIST回路を用いて診断テストを行
う従来技術の構成を説明する図である。
FIG. 6 is a diagram illustrating a configuration of a conventional technique for performing a diagnostic test on a RAM mounted on an LSI using a BIST circuit provided inside the LSI.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、17 テスタ 11 LSI入力エッジピン 12 LSI 13、15 RAMテスト論理回路 14 RAM 16 LSI出力エッジピン 19 ランダムパターン発生回路 21 出力バッファ 24、25 LSI入力ピン 27 パラレル−シリアル変換回路 30 シリアル−パラレル変換回路 31、32 LSI出力ピン 34 クロックピン 35 PLL回路 48〜51 入力信号線 52 クロック入力線 53 セレクタ 57、59〜62 フリップフロップ(FF) 58 イネーブル信号線 10, 17 tester 11 LSI input edge pin 12 LSI 13, 15 RAM test logic circuit 14 RAM 16 LSI output edge pin 19 random pattern generation circuit 21 output buffer 24, 25 LSI input pin 27 parallel-serial conversion circuit 30 serial-parallel conversion circuit 31 , 32 LSI output pin 34 clock pin 35 PLL circuit 48-51 input signal line 52 clock input line 53 selector 57, 59-62 flip-flop (FF) 58 enable signal line

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 徹也 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立インフォメーションテクノロジー内 (72)発明者 山縣 良 神奈川県秦野市堀山下1番地 株式会社日 立製作所エンタープライズサーバ事業部内 Fターム(参考) 2G032 AA07 AB02 AC03 AD05 AE08 AG07 AL16 5L106 AA01 AA02 AA15 DD00 DD04 FF01 GG00  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Tetsuya Takahashi 1 Horiyamashita, Hadano-shi, Kanagawa Prefecture Inside Nichi Information Technology Co., Ltd. F term in the server division (reference) 2G032 AA07 AB02 AC03 AD05 AE08 AG07 AL16 5L106 AA01 AA02 AA15 DD00 DD04 FF01 GG00

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 LSIに搭載されているRAMをLSI
の動作クロック周波数で読み書きしてRAMの故障を摘
出するRAMの診断方法において、LSIの動作クロッ
ク周波数の1/t(tは2以上の整数)の周波数で動作
するテスタより、RAMの診断に使用する値を設定する
データのtビットを並列にLSIに入力し、LSIに搭
載されているRAMテスト回路に組み込んだあるいはR
AMテスト回路に接続されたパラレル―シリアル変換回
路よって、LSI動作クロック周波数で切り替わるテス
トデータに変換してRAMへの書き込みを行い、また、
RAMより読み出されたテストデータをRAMテスト回
路に組み込まれたあるいはRAMテスト回路に接続され
たシリアル―パラレル変換回路によってテスタの動作ク
ロック周波数であるLSIの動作クロック周波数の1/
tの周波数に変換したt個の並列テストデータとしてテ
スタに読み出してRAMの故障を摘出することを特徴と
するRAMの診断方法。
1. A RAM mounted on an LSI is integrated with an LSI.
In the method of diagnosing a RAM which extracts a failure of the RAM by reading and writing at the operating clock frequency of the RAM, the tester which operates at a frequency of 1 / t (t is an integer of 2 or more) of the operating clock frequency of the LSI is used for the diagnosis of the RAM. T bits of data for setting the value to be set are input to the LSI in parallel and incorporated in the RAM test circuit mounted on the LSI or
The parallel-serial conversion circuit connected to the AM test circuit converts the data into test data that is switched at the LSI operation clock frequency and writes the test data into the RAM.
The test data read from the RAM is converted by the serial-parallel conversion circuit incorporated in the RAM test circuit or connected to the RAM test circuit into 1/1 / LSI operation clock frequency, which is the tester operation clock frequency.
A diagnostic method for a RAM, comprising: reading out as t parallel test data converted to a frequency of t into a tester to extract a RAM failure;
【請求項2】 LSIに搭載されているRAMをLSI
の動作クロック周波数で読み書きしてRAMの故障を摘
出するRAMの診断方法において、LSIの動作クロッ
ク周波数の1/t(tは2以上の整数)の周波数で動作
するLSIに組み込まれているBIST回路に、RAM
の診断に使用する値を設定するデータのtビットを並列
に生成させ、生成されたtビットのデータをパラレル―
シリアル変換回路よって、LSIの動作クロック周波数
で切り替わるテストデータに変換してRAMへの書き込
みを行い、また、RAMより読み出されたテストデータ
をシリアル―パラレル変換回路によってBISTの動作
クロック周波数であるLSIの動作クロック周波数の1
/tの周波数に変換したt個の並列テストデータとして
BIST回路に読み出してRAMの故障を摘出すること
を特徴とするRAMの診断方法。
2. The method according to claim 1, wherein the RAM mounted on the LSI is an LSI.
A RAM diagnostic method for detecting a failure in a RAM by reading and writing at an operating clock frequency of the BIST circuit incorporated in the LSI operating at a frequency of 1 / t (t is an integer of 2 or more) of the operating clock frequency of the LSI And RAM
T bits of data for setting values to be used for the diagnosis are generated in parallel, and the generated t bits of data are generated in parallel.
The serial conversion circuit converts the data into test data which is switched at the operation clock frequency of the LSI and writes the test data into the RAM. The test data read from the RAM is converted by the serial-parallel conversion circuit into the LSI which is the operation clock frequency of the BIST. Of the operating clock frequency of
A RAM diagnostic method characterized by reading out t parallel test data converted to a frequency of / t into a BIST circuit to isolate a RAM failure.
【請求項3】 前記LSIの動作クロックは、外部から
入力されるLSIの動作クロックよりも低い周波数のク
ロックに基づいてPLL回路によって生成されることを
特徴とする請求項1または2記載のRAMの診断方法。
3. The RAM according to claim 1, wherein the operation clock of the LSI is generated by a PLL circuit based on a clock having a lower frequency than the operation clock of the LSI input from the outside. Diagnostic method.
【請求項4】 内部にRAMを備えて構成されるLSI
において、前記RAMのテストのために与えられるLS
Iの動作クロック周波数の1/tの動作速度のtビット
の並列データをLSIの動作クロック周波数のRAMへ
の書き込みデータに変換するパラレル−シリアル変換回
路と、LSIの動作クロック周波数でRAMから読み出
されたtビットのデータをLSIの動作クロック周波数
の1/tの動作速度のtビットの並列データに変換する
シリアル−パラレル変換回路とを備えたことを特徴とす
るLSI。
4. An LSI comprising a RAM therein
LS provided for testing the RAM
A parallel-serial conversion circuit for converting t-bit parallel data at an operating speed of 1 / t of the operating clock frequency of I into write data to the RAM at the operating clock frequency of the LSI, and reading from the RAM at the operating clock frequency of the LSI; And a serial-parallel conversion circuit for converting the t-bit data into t-bit parallel data having an operation speed of 1 / t of the operation clock frequency of the LSI.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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