JP2000338010A - 加振装置及び加振装置の制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 機械系の運動要素の質量を小さくし、単純な
構成とし、振動周波数を高くする。 【解決手段】 第１Ｙ方向直動アクチュエータ２５は、
プレート１２をプレート１２の載置面に垂直な第１回動
軸で回動可能に支持するとともに、第１回動軸を載置面
に平行な第１所定方向に直線駆動し、第２Ｙ方向直動ア
クチュエータ２７は、プレート１２を第１回動軸に平行
な第２回動軸で回動可能に支持するとともに、第２回動
軸を載置面に平行、かつ、第１所定方向に平行な第２所
定方向に直線駆動するので、装置構成を簡略化でき、Ｙ
方向直動アクチュエータ２５、２７の駆動量によりプレ
ート１２を回動（回転）させることが可能となる。Ｙ方
向直動アクチュエータ２５、２７はプレート１２外に設
置することができ、プレート１２を含む駆動対象の質量
を低減でき、ひいては、高周波数で加振を行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、加振装置及び加振
装置の制御方法に係り、特に車両基本特性計測装置にお
いて車両駆動時のタイヤホイールの変位及び角度を３次
元的に計測するホイールアラインメント測定を行う際に
車両を加振するために用いられる加振装置及びその制御
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】車両のサスペンション特性及びステアリ
ング特性等の車両基本特性を室内で測定するための試験
装置として車両基本特性測定装置が知られている。

【０００３】車両基本特性測定装置においては、試験車
両を所定位置に固定し、タイヤホイールに回転、左右、
上下、前後等の力を印加して、その際に発生する反力を
考慮して得られた計測データを処理することにより様々
な車両基本特性を測定することが可能である。

【０００４】この車両基本特性測定装置の一部を構成す
るものとして、タイヤホイールに回転、左右、上下、前
後等の力を印加するための加振装置がある。ところで、
従来の車両基本特性測定装置は、静的な特性を計測する
ものとして発達してきたが、近年においては、車両の脚
周りの部品の多様化に伴い、動的な特性を含めた計測が
求められるようになっており、物理的に可能な範囲でで
きるだけ広い周波数帯域の計測が必要とされ、加振装置
においても、加振周波数ができるだけ広い周波数帯域の
ものが望まれている。

【０００５】これに対処するためには、機械系の運動要
素の構成は、できるだけ質量が小さく単純な構造が望ま
しいが、従来の車両基本特性測定装置におけるタイヤホ
イールを載置するプレートの接地点には荷重検出器が設
けられており、プレートには荷重検出器と組み合わせて
ステア角、トルクの発生のためにさらに回転型アクチュ
エータが設けられており、運動要素の質量が大きく、構
造も複雑となっていた。

【０００６】ここで、図７を参照して従来の車両基本特
性測定装置について具体的に説明する。

【０００７】車両基本特性測定装置は、被測定車両の４
個のタイヤホイールが載置される４個のプレートが設け
られており、この４個のプレートを介してタイヤホイー
ルを加振するためのシリンダ機構がそれぞれ設けられて
いる。シリンダ機構は、図７に示すように、電気油圧サ
ーボ式のＺ軸方向加振アクチュエータ１１１が基礎Ｂ上
に設置されている。

【０００８】このＺ軸方向加振アクチュエータ１１１
は、図示しないサーボバルブを介して油圧制御が行われ
るシリンダ１１１ａと、油圧制御に伴ってＺ方向に駆動
されるピストンロッド１１１ｂと、を備えて構成されて
いる。ピストンロッド１１１ｂの上部には、ピストンロ
ッド１１１ｂによりＺ軸方向に駆動されるＺ軸方向駆動
テーブル１１１ｃが設けられている。

【０００９】Ｚ軸方向駆動テーブル１１１ｃには、その
上面に転動コロ１１２ａを介してＸ軸方向およびＹ軸方
向に駆動可能なＸＹ軸方向駆動テーブル１１２が載置さ
れており、さらにＸＹ軸方向駆動テーブル１１２の周辺
部には電気油圧サーボ式のＸ軸方向加振アクチュエータ
（図示せず）および電気油圧サーボ式のＹ軸方向加振ア
クチュエータ１１３が配置されている。

【００１０】ＸＹ軸方向駆動テーブル１１２には、Ｘ軸
方向の一方の端面にＸ軸方向加振アクチュエータのピス
トンロッドが設けられており、Ｙ−方向の一方の端面に
Ｙ軸方向加振アクチュエータ１１３のピストンロッドが
設けられている。これらのピストンロッドは、他方の加
振アクチュエータの加振によるＸＹ軸方向駆動テーブル
の駆動を許容するように連結されている。

【００１１】ＸＹ軸方向駆動テーブル１１２の上面中央
部には回転テーブル１１４が転動コロ１１４ａを介して
回転自在に配置され、ＸＹ軸方向駆動テーブル１１２の
中央凹部には回転テーブル１１４を回転駆動する回転ア
クチュエータ１１５が上下方向に若干移動可能に設けら
れていて、この回転アクチュエータ１１５の出力軸１１
５ａは、プレート１１４に連結されている。

【００１２】プレート１１４は、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸
の３軸方向の加重を検出する４つの圧電式３軸センサ１
１４ｂを一対の円盤１１４ｃによって挟んだ構造となっ
ており、回転アクチュエータ１１５とプレート１１４と
の間には、回転トルクを検出するための回転トルクセン
サ１１６が設けられている。

【００１３】上記構成の車両基本特性測定装置によれ
ば、タイヤホイールが載置されるプレート１１４は、Ｘ
軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向への移動並びに回転が
可能となっており、各種車両基本特性の試験は、Ｘ軸方
向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向および回転の各ベクトルの組み
合わせ下で実行されることとなる。

【００１４】上記構造によれば、試験を行うためにタイ
ヤホイール接地点のプレートを駆動すると必然的に圧電
式３軸センサ１１４ｂおよび回転アクチュエータ１１５
も移動されることとなり、運動質量が大きくなっていた
ため振動周波数を高くすることは困難となっていた。

【００１５】そこで、本発明の目的は、機械系の運動要
素の質量を小さくし、単純な構成とし、振動周波数を高
くすることが可能な加振装置及びその制御方法を提供す
ることにある。

【００１６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、請求項１記載の発明は、プレート上に載置した加振
対象を加振するための加振装置において、前記プレート
を前記プレートの載置面に垂直な第１回動軸で回動可能
に支持するとともに、前記第１回動軸を前記載置面に平
行な第１所定方向に直線駆動する第１駆動手段と、前記
プレートを前記第１回動軸に平行な第２回動軸で回動可
能に支持するとともに、前記第２回動軸を前記載置面に
平行、かつ、前記第１所定方向に平行な第２所定方向に
直線駆動する第２駆動手段と、を備えたことを特徴とし
ている。

【００１７】請求項１記載の発明によれば、第１駆動手
段は、プレートをプレートの載置面に垂直な第１回動軸
で回動可能に支持するとともに、第１回動軸を載置面に
平行な第１所定方向に直線駆動する。第２駆動手段は、
プレートを第１回動軸に平行な第２回動軸で回動可能に
支持するとともに、第２回動軸を載置面に平行、かつ、
第１所定方向に平行な第２所定方向に直線駆動する。

【００１８】請求項２記載の発明は、請求項１記載の発
明において、前記プレートの前記第１所定方向あるいは
前記第２所定方向への移動量および前記プレートの回動
量に対応する駆動指示信号に基づいて前記第１駆動手段
および前記第２駆動手段を制御する駆動制御手段を備え
たことを特徴としている。

【００１９】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の作用に加えて、駆動制御手段は、プレートの
第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量およびプ
レートの回動量に対応する駆動指示信号に基づいて第１
駆動手段および第２駆動手段を制御する。

【００２０】請求項３記載の発明は、請求項２記載の発
明において、前記駆動制御手段は、前記プレートの前記
第１所定方向あるいは前記第２所定方向への移動量およ
び前記プレートの回動量に基づいて、前記第１駆動手段
における前記第１回動軸の駆動量および前記第２駆動手
段における前記第２回動軸の駆動量を算出する駆動量算
出手段を備えたことを特徴としている。

【００２１】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明の作用に加えて、駆動制御手段の駆動量算出手
段は、プレートの第１所定方向あるいは第２所定方向へ
の移動量およびプレートの回動量に基づいて、第１駆動
手段における第１回動軸の駆動量および第２駆動手段に
おける第２回動軸の駆動量を算出する。

【００２２】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、前記駆動量算出手段は、前記載置面に平行
な仮想平面と前記第１回動軸および前記第２回動軸との
二つの交点を結ぶ線分の中点を通り前記載置面に垂直な
軸を仮想回動軸とした場合に、前記プレートの前記第１
所定方向あるいは前記第２所定方向への移動量を前記仮
想回動軸の前記仮想平面上における移動量とすることを
特徴としている。

【００２３】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明の作用に加えて、駆動量算出手段は、プレート
の第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量を仮想
回動軸の仮想平面上における移動量とする。

【００２４】請求項５記載の発明は、請求項３または請
求項４記載の発明において、前記駆動量算出手段は、前
記プレートの前記第１所定方向あるいは前記第２所定方
向への移動量をｙとし、前記プレートの回動量をθと
し、前記第１回動軸と前記第２回動軸との間の離間距離
を２Ｌとした場合に、前記第１駆動手段における前記第
１回動軸の駆動量ｙ１、前記第２駆動手段における前記
第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出することを特徴としている。

【００２５】請求項５記載の発明によれば、請求項３ま
たは請求項４に記載の発明の作用に加えて、駆動量算出
手段は、第１駆動手段における第１回動軸の駆動量ｙ
１、第２駆動手段における第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出する。

【００２６】請求項６記載の発明は、請求項２ないし請
求項５のいずれかに記載の発明において、前記駆動制御
手段は、前記駆動指示信号として、前記プレートの前記
第１所定方向あるいは前記第２所定方向への移動量に対
応する移動量信号および前記プレートの回動量に対応す
る回動量信号が入力されるとした場合に、前記回動量信
号に幾何学的補正定数を乗じて補正回動量信号を出力す
る補正定数乗算手段と、前記移動量信号に前記補正回動
量信号を加算して前記第１駆動手段における前記第１回
動軸の駆動量に相当する第１駆動制御信号として出力す
る加算手段と、前記移動量信号から前記補正回動量信号
を減算して前記第２駆動手段における前記第２回動軸の
駆動量に相当する第２駆動制御信号として出力する減算
手段と、前記第１駆動制御信号に基づいて前記第１駆動
手段の駆動制御を行うための第１駆動信号を出力する第
１駆動制御手段と、前記第２駆動制御信号に基づいて前
記第２駆動手段の駆動制御を行うための第２駆動信号を
出力する第２駆動制御手段と、を備えたことを特徴とし
ている。

【００２７】請求項６記載の発明によれば、請求項２な
いし請求項５のいずれかに記載の発明の作用に加えて、
駆動制御手段の補正定数乗算手段は、回動量信号に幾何
学的補正定数を乗じて補正回動量信号を加算手段および
減算手段に出力する。

【００２８】加算手段は、移動量信号に補正回動量信号
を加算して第１駆動手段における第１回動軸の駆動量に
相当する第１駆動制御信号として出力する。一方、減算
手段は、移動量信号から補正回動量信号を減算して第２
駆動手段における第２回動軸の駆動量に相当する第２駆
動制御信号として出力する。

【００２９】第１駆動制御手段は、第１駆動制御信号に
基づいて第１駆動手段の駆動制御を行うための第１駆動
信号を出力する。第２駆動制御手段は、第２駆動制御信
号に基づいて第２駆動手段の駆動制御を行うための第２
駆動信号を出力する。

【００３０】請求項７記載の発明は、請求項６記載の発
明において、前記第１駆動制御手段は、前記第１駆動手
段の実際の駆動量を検出する第１駆動量検出手段と、前
記第１駆動量検出手段により検出された前記第１駆動手
段の実際の駆動量および前記第１駆動制御信号に基づい
てサーボ制御を行う第１サーボ制御手段と、を備え、前
記第２駆動制御手段は、前記第２駆動手段の実際の駆動
量を検出する第２駆動量検出手段と、前記第２駆動量検
出手段により検出された前記第２駆動手段の実際の駆動
量および前記第２駆動制御信号に基づいてサーボ制御を
行う第２サーボ制御手段と、を備えたことを特徴として
いる。

【００３１】請求項７記載の発明によれば、請求項６記
載の発明の作用に加えて、第１駆動制御手段の第１駆動
量検出手段は、第１駆動手段の実際の駆動量を検出し、
第１サーボ制御手段は、第１駆動量検出手段により検出
された第１駆動手段の実際の駆動量および第１駆動制御
信号に基づいてサーボ制御を行う。一方、第２駆動制御
手段の第２駆動量検出手段は、第２駆動手段の実際の駆
動量を検出し、第２サーボ制御手段は、第２駆動量検出
手段により検出された第２駆動手段の実際の駆動量およ
び第２駆動制御信号に基づいてサーボ制御を行う。

【００３２】請求項８記載の発明は、載置面に垂直な第
１回動軸および前記第１回動軸と所定距離離間した前記
載置面に垂直な第２回動軸により回動可能に支持された
プレートを有し、前記プレート上に載置した加振対象を
加振するための加振装置の制御方法において、前記第１
回動軸を前記載置面に平行な第１所定方向に直線駆動す
る第１駆動工程と、前記第２回動軸を前記載置面に平
行、かつ、前記第１所定方向に平行な第２所定方向に直
線駆動する第２駆動工程と、を備えたことを特徴として
いる。

【００３３】請求項８記載の発明によれば、第１駆動工
程は、第１回動軸を載置面に平行な第１所定方向に直線
駆動し、第２駆動工程は、第２回動軸を載置面に平行、
かつ、第１所定方向に平行な第２所定方向に直線駆動す
る。

【００３４】請求項９記載の発明は、請求項８記載の発
明において、前記プレートの前記第１所定方向あるいは
前記第２所定方向への移動量および前記プレートの回動
量に対応する駆動指示に基づいて前記第１駆動工程にお
ける駆動量および前記第２駆動工程における駆動量を制
御する駆動制御工程を備えたことを特徴としている。

【００３５】請求項９記載の発明によれば、請求項８記
載の発明の作用に加えて、駆動制御工程は、プレートの
第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量およびプ
レートの回動量に対応する駆動指示に基づいて第１駆動
工程における駆動量および第２駆動工程における駆動量
を制御する。

【００３６】請求項１０記載の発明は、請求項９記載の
発明において、前記駆動制御工程は、前記プレートの前
記第１所定方向あるいは前記第２所定方向への移動量お
よび前記プレートの回動量に基づいて、前記第１回動軸
の駆動量および前記第２回動軸の駆動量を算出する駆動
量算出工程を備えたことを特徴としている。

【００３７】請求項１０記載の発明によれば、請求項９
記載の発明の作用に加えて、駆動制御工程の駆動量算出
工程は、プレートの第１所定方向あるいは第２所定方向
への移動量およびプレートの回動量に基づいて、第１回
動軸の駆動量および第２回動軸の駆動量を算出する。

【００３８】請求項１１記載の発明は、請求項１０記載
の発明において、前記駆動量算出工程は、前記載置面に
平行な仮想平面と前記第１回動軸および前記第２回動軸
との二つの交点を結ぶ線分の中点を通り前記載置面に垂
直な軸を仮想回動軸とした場合に、前記プレートの前記
第１所定方向あるいは前記第２所定方向への移動量を前
記仮想回動軸の前記仮想平面上における移動量として駆
動量を算出することを特徴としている。

【００３９】請求項１１記載の発明によれば、請求項１
０記載の発明の作用に加えて、駆動量算出工程は、プレ
ートの第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量を
仮想回動軸の仮想平面上における移動量として駆動量を
算出する。

【００４０】請求項１２記載の発明は、請求項８ないし
請求項１１のいずれかに記載の発明において、前記駆動
工程は、前記プレートの前記第１所定方向あるいは前記
第２所定方向への移動量をｙとし、前記プレートの回動
量をθとし、前記第１回動軸と前記第２回動軸との間の
離間距離を２Ｌとした場合に、前記第１駆動手段におけ
る前記第１回動軸の駆動量ｙ１、前記第２駆動手段にお
ける前記第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出することを特徴としている。

【００４１】請求項１２記載の発明によれば、請求項８
ないし請求項１１のいずれかに記載の発明において、駆
動工程は、第１駆動手段における第１回動軸の駆動量ｙ
１、第２駆動手段における第２回動軸の駆動量ｙ２を ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出する。

【００４２】請求項１３記載の発明は、請求項８ないし
請求項１１のいずれかに記載の発明において、前記駆動
制御工程は、前記プレートの前記第１所定方向あるいは
前記第２所定方向への移動量に対応する移動量および前
記プレートの回動量に対応する回動量が入力されるとし
た場合に、前記回動量に幾何学的補正定数を乗じて補正
回動量を算出する補正定数乗算工程と、前記移動量に前
記補正回動量を加算して前記第１駆動工程における前記
第１回動軸の駆動量に相当する第１駆動量を算出する加
算工程と、前記移動量から前記補正回動量を減算して前
記第２駆動工程における前記第２回動軸の駆動量に相当
する第２駆動量を算出する減算工程と、前記第１駆動量
に基づいて前記第１駆動工程における駆動制御を行う第
１駆動制御工程と、前記第２駆動量に基づいて前記第２
駆動工程における駆動制御を行う第２駆動制御手段と、
を備えたことを特徴としている。

【００４３】請求項１３記載の発明によれば、請求項８
ないし請求項１１のいずれかに記載の発明において、駆
動制御工程の補正定数乗算工程は、回動量に幾何学的補
正定数を乗じて補正回動量を算出する。これにより加算
工程は、移動量に補正回動量を加算して第１駆動工程に
おける第１回動軸の駆動量に相当する第１駆動量を算出
し、減算工程は移動量から補正回動量を減算して第２駆
動工程における第２回動軸の駆動量に相当する第２駆動
量を算出する。

【００４４】これらの結果、第１駆動制御工程は、第１
駆動量に基づいて第１駆動工程における駆動制御を行
い、第２駆動制御工程は、第２駆動量に基づいて第２駆
動工程における駆動制御を行う。

【００４５】請求項１４記載の発明は、請求項６記載の
発明において、前記第１駆動制御工程は、前記第１回動
軸の実際の駆動量を検出する第１駆動量検出工程と、前
記第１駆動量検出工程において検出された前記第１回動
軸の実際の駆動量および前記第１駆動量に基づいてサー
ボ制御を行う第１サーボ制御工程と、を備え、前記第２
駆動制御工程は、前記第２回動軸の実際の駆動量を検出
する第２駆動量検出工程と、前記第２駆動量検出工程に
おいて検出された前記第２回動軸の実際の駆動量および
前記第２駆動量に基づいてサーボ制御を行う第２サーボ
制御工程と、を備えたことを特徴としている。

【００４６】請求項１４記載の発明によれば、請求項６
記載の発明の作用に加えて、第１駆動制御工程の第１駆
動量検出工程は、第１回動軸の実際の駆動量を検出し、
第１サーボ制御工程は、第１駆動量検出工程において検
出された第１回動軸の実際の駆動量および第１駆動量に
基づいてサーボ制御を行う。一方、第２駆動制御工程の
第２駆動量検出工程は、第２回動軸の実際の駆動量を検
出し、第２サーボ制御工程は、第２駆動量検出工程にお
いて検出された第２回動軸の実際の駆動量および第２駆
動量に基づいてサーボ制御を行う。

【００４７】

【発明の実施の形態】次に図面を参照して本発明の好適
な実施形態を説明する。

【００４８】［１］ 車両基本特性測定装置の概要構成 図１に実施形態の車両基本特性測定装置の概要構成正面
図を示す。車両基本特性測定装置１００は、車両１０１
のタイヤホイール１０２を載置し、加振するための複数
の加振装置１０と、加振装置１０を制御するための制御
装置１０３と、を備えて構成されている。

【００４９】図２に加振装置１０の斜視図を示す。加振
装置１０は、大別すると、６軸計測用ロードセル１１を
内蔵し、タイヤホイール１０２を載置するためのプレー
ト１２と、プレート１２をＸ方向に加振するためのＸ軸
方向加振ユニット１３と、プレート１２をＹ方向に加振
するとともに、プレートをＸＹ平面に平行な平面上で仮
想回転軸を中心として回転させるためのＹ軸方向加振回
転ユニット１４と、プレート１２を支持するとともにＺ
方向に加振するためのＺ軸方向加振ユニット１５と、を
備えて構成されている。

【００５０】ここで、プレート１２に内蔵された６軸計
測用ロードセル１１は、図示しないＸ方向の荷重Ｆｘ、
Ｙ方向の荷重Ｆｙ、Ｚ方向の荷重Ｆｚ、Ｘ軸を回転軸と
するＸ軸回転モーメントＭｘ、Ｙ軸を回転軸とするＹ軸
回転モーメントＭｙ、Ｚ軸を回転軸とするＺ軸回転モー
メントＭｚを検出する複数のロードセルを備えて構成さ
れている。

【００５１】Ｘ軸方向加振ユニット１３は、ＸＹ平面に
平行な平面上で回動可能に支持されるとともにプレート
１２をＸ軸に沿って駆動する油圧方式のＸ方向直動アク
チュエータ２１と、Ｘ方向直動アクチュエータ２１の駆
動量を検出するためのＸ方向駆動量センサ２２と、を備
えて構成されている。

【００５２】Ｙ軸方向加振ユニット１４は、ＸＹ平面に
平行な平面上で回動可能に支持されるとともにプレート
１２をＹ軸に平行に駆動する油圧方式の第１Ｙ方向直動
アクチュエータ２５と、第１Ｙ方向直動アクチュエータ
２５の駆動量を検出するための第１Ｙ方向駆動量センサ
２６と、第１Ｙ方向直動アクチュエータ２５と所定距離
離間して配置されてＸＹ平面に平行な平面上で回動可能
に支持されるとともにプレートをＹ軸に平行に駆動する
油圧方式の第２Ｙ方向直動アクチュエータ２７と、第２
Ｙ方向直動アクチュエータ２７の駆動量を検出するため
の第２Ｙ方向駆動量センサ２８と、を備えて構成されて
いる。この場合において、第１Ｙ軸方向直動アクチュエ
ータ２５と第２Ｙ軸方向直動アクチュエータ２７は協働
して、プレート１２を仮想回転軸を中心として回転させ
るが、この詳細については後述する。

【００５３】Ｚ軸方向加振ユニット１５は、３個の自在
継手ＦＪが設けられた駆動プレート３１を介してプレー
ト１２に接続され、駆動プレート３１をＺ軸に沿って駆
動し、ひいてはプレート１２をＺ軸に沿って駆動する油
圧方式のＺ軸方向直動アクチュエータ３２と、Ｚ方向直
動アクチュエータ３２の駆動量を検出するためのＺ方向
駆動量センサ３３と、を備えて構成されている。

【００５４】［２］ 制御系の概要構成 次に加振ユニットの制御系の概要構成について図３を参
照して説明する。制御装置１０３は、外部よりＸ軸方向
加振データＤＸ、Ｙ軸方向加振データＤＹ、Ｚ軸方向加
振データＤＺおよび回動量データＤθが入力され、Ｘ軸
方向加振ユニット１３、Ｙ軸方向加振ユニット１４およ
びＺ軸方向加振ユニット１５を制御すべく、プレート１
２の仮想回転軸Ｏの各軸方向の移動量を指示するための
移動量信号Ｓｘ、Ｓｙ、Ｓｚおよびプレート１２の回動
角θを指示するための回動量信号Ｓθを出力するコント
ロール部６１と、移動量信号Ｓｘに基づいてＸ軸方向加
振ユニット１３を実際に制御するＸ軸方向駆動制御部６
２と、移動量信号Ｓｚに基づいてＺ軸方向加振ユニット
１５を実際に制御するＺ軸方向駆動制御部６３と、移動
量信号Ｓｙおよび回動量信号Ｓθに基づいてＹ軸方向加
振ユニット１４を実際に制御するＹ軸方向駆動制御部６
４と、を備えて構成されている。

【００５５】［２．１］ Ｙ軸方向駆動制御部の概要構
成 図４にＹ軸方向駆動制御部の概要構成ブロック図を示
す。Ｙ軸方向駆動制御部６４には、コントロール部６１
からプレート１２の仮想回転軸ＯのＹ方向移動距離を指
示するための移動量信号Ｓｙおよびプレート１２の回動
角θを指示するための回動量信号Ｓθが入力される。Ｙ
軸方向駆動制御部６４は、回動量信号Ｓθに幾何学的補
正定数Ｋθを乗じて補正回動量信号Ｓθ’として出力す
る補正定数乗算部４１と、移動量信号Ｓｙに補正回動量
信号Ｓθ’を加算して第１駆動制御信号Ｓ１として出力
する加算部４２と、移動量信号Ｓｙから補正回動量信号
Ｓθ’を減算して第２駆動制御信号Ｓ２として出力する
減算部４３と、第１駆動制御信号Ｓ１から後述の第１フ
ィードバック信号ＳＦ１を減算して第１駆動信号ＤＹ１
として出力する減算部４４と、第１駆動信号ＤＹ１を増
幅して第１増幅駆動信号ＡＤ１として出力する第１駆動
アンプ４５と、第１増幅駆動信号ＡＤ１に基づいて第１
Ｙ方向直動アクチュエータ２５の実際の駆動を制御する
ための第１サーボバルブ４６と、第１Ｙ方向直動アクチ
ュエータ２５の実際の駆動量を検出して、第１駆動量検
出信号ＤD1を出力する第１駆動量センサ２６と、第１駆
動量検出信号ＤD1を増幅して第１フィードバック信号Ｓ
Ｆ１として出力する第１フィードバックアンプ４８と、
第２駆動制御信号Ｓ２から第２フィードバック信号ＳＦ
２を減算して第２駆動信号ＤＹ２として出力する減算部
５０と、第２駆動信号ＤＹ２を増幅して第２増幅駆動信
号ＡＤ２として出力する第２駆動アンプ５１と、第２増
幅駆動信号ＡＤ２に基づいて第２Ｙ方向直動アクチュエ
ータ２７の実際の駆動を制御するための第２サーボバル
ブ５２と、第２Ｙ方向直動アクチュエータ２７の実際の
駆動量を検出して、第２駆動量検出信号ＤD2を出力する
第２駆動量センサ２８と、第２駆動量検出信号ＤD2を増
幅して第２フィードバック信号ＳＦ２として出力する第
２フィードバックアンプ５４と、を備えて構成されてい
る。

【００５６】［２．２］ Ｘ軸方向駆動制御部およびＺ
軸方向駆動制御部の概要構成 次にＸ軸方向駆動制御部およびＺ軸方向駆動制御部の概
要構成について図５を参照して説明する。この場合にお
いて、Ｘ軸方向駆動制御部６３およびＺ軸方向駆動制御
部６４は同様の構成であるので、Ｘ軸方向駆動制御部６
２の構成について説明する。

【００５７】Ｘ軸方向駆動制御部６２は、移動量信号Ｓ
ｘから後述のフィードバック信号ＳＦＸを減算して駆動
信号ＤＸ１として出力する減算部７１と、駆動信号ＤＸ
１を増幅し増幅駆動信号ＡＤＸ１として出力する駆動ア
ンプ７２と、増幅駆動信号ＡＤＸ１に基づいてＸ軸方向
直動アクチュエータ２１の実際の駆動を制御するための
サーボバルブ７３と、Ｘ軸方向直動アクチュエータ２１
の実際の駆動量を検出して、駆動量検出信号ＤDX1 を出
力するＸ方向駆動量センサ２２と、駆動量検出信号ＤDX
1 を増幅してフィードバック信号ＳＦＸとして出力する
フィードバックアンプ７５と、を備えて構成されてい
る。

【００５８】［３］ Ｙ軸方向直線駆動量および回転量
の制御原理 ここで、図６を参照して、プレート１２の駆動制御の原
理について説明する。

【００５９】プレート１２のＹ軸方向の移動量をｙと
し、プレート１２の回動量をθとし、第１回動軸と第２
回動軸との間の離間距離、すなわち、第１Ｙ方向直動ア
クチュエータの駆動軸と第２Ｙ方向直動アクチュエータ
の駆動軸との間の離間距離を２Ｌとした場合に、第１Ｙ
方向直動アクチュエータにおける第１回動軸の駆動量ｙ
１、第２Ｙ方向直動アクチュエータにおける第２回動軸
の駆動量ｙ２は、図＃＃に示すように、次式により算出
することができる。 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ）

【００６０】従って、回動量信号Ｓθは、 Ｓθ＝ｋ・ｔａｎθ （ただし、ｋは比例定数）で表されるので、幾何学的補
正定数Ｋθを、 Ｋθ＝Ｌ／ｋ とすれば、プレート１２のＹ軸方向の移動量および回動
量を容易に制御することができる。

【００６１】［４］ 実施形態の概要動作 次に実施形態の概要動作をＹ軸方向加振ユニットの動作
を主として説明する。

【００６２】コントロール部６１に外部よりＸ軸方向加
振データＤＸ、Ｙ軸方向加振データＤＹ、Ｚ軸方向加振
データＤＺおよび回動量データＤθが入力されると、コ
ントロール部は、Ｘ軸方向加振データＤＸに基づいて移
動量信号Ｓｘを生成してＸ軸方向駆動制御部６２に出力
し、Ｙ軸方向加振データＤＹに基づいて移動量信号Ｓｙ
を生成してＹ軸方向駆動制御部６４に出力し、回動量デ
ータＤθに基づいて回動両親号Ｓθを生成してＹ軸方向
駆動制御部に出力し、Ｚ軸方向加振データＤＺに基づい
て移動量信号Ｓｚを生成してＺ軸方向駆動制御部６３に
出力する。

【００６３】Ｘ軸方向駆動制御部の減算部７１は、移動
量信号Ｓｘからフィードバック信号ＳＦＸを減算して駆
動信号ＤＸ１として駆動アンプ７２に出力する。駆動ア
ンプ７２は、駆動信号ＤＸ１を増幅し増幅駆動信号ＡＤ
Ｘ１としてサーボバルブ７３に出力する。これによりサ
ーボバルブ７３は、増幅駆動信号ＡＤＸ１に基づいてＸ
軸方向直動アクチュエータ２１を実際に駆動することと
なる。

【００６４】そしてＸ軸方向直動アクチュエータ２１が
駆動されると、駆動量センサ２２は、Ｘ軸方向直動アク
チュエータ２１の実際の駆動量を検出して、駆動量検出
信号ＤDX1をフィードバックアンプ７５に出力する。フ
ィードバックアンプ７５は、駆動量検出信号ＤDX1 を増
幅してフィードバック信号ＳＦＸとして減算部７１に出
力する。この結果、Ｘ軸方向直動アクチュエータ２１
は、移動量信号Ｓｘに対応する量だけプレート１２をＸ
軸方向に駆動することとなる。

【００６５】同様にしてＺ軸方向駆動制御部の減算部
は、移動量信号ＳｚからＺ軸方向についてのフィードバ
ック信号を減算して駆動信号として駆動アンプに出力す
る。駆動アンプは、駆動信号を増幅し増幅駆動信号とし
てサーボバルブに出力する。これによりサーボバルブ
は、増幅駆動信号に基づいてＺ軸方向直動アクチュエー
タを実際に駆動することとなる。

【００６６】そしてＺ軸方向直動アクチュエータが駆動
されると、駆動量センサは、Ｚ軸方向直動アクチュエー
タの実際の駆動量を検出して、駆動量検出信号をフィー
ドバックアンプに出力する。フィードバックアンプは、
駆動量検出信号を増幅してフィードバック信号として減
算部に出力する。

【００６７】この結果、Ｚ軸方向直動アクチュエータ
は、移動量信号Ｓｚに対応する量だけプレート１２をＺ
軸方向に駆動することとなる。Ｙ軸方向駆動制御部６４
には、コントロール部６１からプレート１２の仮想回転
軸ＯのＹ方向移動距離を指示するための移動量信号Ｓｙ
およびプレート１２の回動角θを指示するための回動量
信号Ｓθが入力される。

【００６８】Ｙ軸方向駆動制御部の補正定数乗算部４１
は、入力された回動量信号Ｓθに幾何学的補正定数Ｋθ
を乗じて補正回動量信号Ｓθ’として加算部４２および
減算部出力する。これにより加算部４２は、移動量信号
Ｓｙに補正回動量信号Ｓθ’を加算して第１駆動制御信
号Ｓ１として減算部４４に出力する。

【００６９】減算部４４は、第１駆動制御信号Ｓ１から
第１フィードバック信号ＳＦ１を減算して第１駆動信号
ＤＹ１として第１駆動アンプ４５に出力する。第１駆動
アンプ４５は、第１駆動信号ＤＹ１を増幅して第１増幅
駆動信号ＡＤ１として第１サーボバルブ４６に出力す
る。第１サーボバルブ４６は、第１増幅駆動信号ＡＤ１
に基づいて第１Ｙ方向直動アクチュエータの実際の駆動
を制御し、プレート１２を距離ｙ1 だけ駆動する。

【００７０】これにより第１駆動量センサ４７は、第１
Ｙ方向直動アクチュエータの実際の駆動量を検出して、
第１駆動量検出信号ＤD1を出力する。第１フィードバッ
クアンプ４８は、第１駆動量検出信号ＤD1を増幅して第
１フィードバック信号ＳＦ１として減算部４４に出力す
る。

【００７１】一方、減算部４３は、移動量信号Ｓｙから
補正回動量信号Ｓθ’を減算して第２駆動制御信号Ｓ２
として減算部５０に出力する。減算部５０は、第２駆動
制御信号Ｓ２から第２フィードバック信号ＳＦ２を減算
して第２駆動信号ＤＹ２として第２駆動アンプ５１に出
力する。

【００７２】第２駆動アンプ５１は、第２駆動信号ＤＹ
２を増幅して第２増幅駆動信号ＡＤ２として第２サーボ
バルブ５２に出力する。第２サーボバルブ５２は、第２
増幅駆動信号ＡＤ２に基づいて第２Ｙ方向直動アクチュ
エータの実際の駆動を制御し、プレート１２を距離ｙ2
だけ駆動する。第２駆動量センサ５３は、第２Ｙ方向直
動アクチュエータの実際の駆動量を検出して、第２駆動
量検出信号ＤD2を出力する。

【００７３】第２フィードバックアンプ５４は、第２駆
動量検出信号ＤD2を増幅して第２フィードバック信号Ｓ
Ｆ２として減算部５０に出力する。これらの結果、プレ
ート１２は、距離ｙだけＹ軸方向に駆動されるととも
に、プレート１２の中心、すなわち、仮想回転軸Ｏを中
心として仮想平面上でθだけ回転されることとなる。

【００７４】［５］ 実施形態の効果 以上の説明のように、本実施形態によれば、プレートを
外部の直動アクチュエータによりＸ軸方向、Ｙ軸方向お
よびＺ軸方向に駆動できるとともに、ＸＹ平面と平行に
回動させることが可能となるので、プレートの質量を低
減する事ができ、プレート１２を高周波数で駆動するこ
とが可能となり、ひいては、測定対象車両を高周波数で
加振することが可能となる。

【００７５】［６］ 実施形態の変形例 以上の説明においては、Ｙ軸方向の直動アクチュエータ
をタイヤホイールに対して同一方向に設けていたが、設
置スペースが許容するならば、タイヤホイールに対して
逆方向に設けるように構成することも可能である。

【００７６】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、第１駆動
手段は、プレートをプレートの載置面に垂直な第１回動
軸で回動可能に支持するとともに、第１回動軸を載置面
に平行な第１所定方向に直線駆動し、第２駆動手段は、
プレートを第１回動軸に平行な第２回動軸で回動可能に
支持するとともに、第２回動軸を載置面に平行、かつ、
第１所定方向に平行な第２所定方向に直線駆動するの
で、装置構成を簡略化でき、第１駆動手段と第２駆動手
段の駆動量によりプレートを回動（回転）させることが
可能となる。さらに第１駆動手段および第２駆動手段
は、プレート外に設置することができ、プレートを含む
駆動対象の質量を低減することができ、ひいては、高周
波数で加振を行うことが可能となる。

【００７７】請求項２記載の発明によれば、請求項１記
載の発明の効果に加えて、駆動制御手段は、プレートの
第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量およびプ
レートの回動量に対応する駆動指示信号に基づいて第１
駆動手段および第２駆動手段を制御するので、簡易に移
動量および回動量を制御することができ、システムを簡
略化して、より高速な制御が行える。

【００７８】請求項３記載の発明によれば、請求項２記
載の発明の効果に加えて、駆動制御手段の駆動量算出手
段は、プレートの第１所定方向あるいは第２所定方向へ
の移動量およびプレートの回動量に基づいて、第１駆動
手段における第１回動軸の駆動量および第２駆動手段に
おける第２回動軸の駆動量を算出するので、簡易な演算
で駆動量を算出することができ、演算回路を簡略化して
より高速な制御を行うことができる。

【００７９】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明の作用に加えて、駆動量算出手段は、プレート
の第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量を仮想
回動軸の仮想平面上における移動量としているので、容
易、かつ、高速に移動量を算出することが可能となる。

【００８０】請求項５記載の発明によれば、請求項３ま
たは請求項４に記載の発明の作用に加えて、駆動量算出
手段は、第１駆動手段における第１回動軸の駆動量ｙ
１、第２駆動手段における第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出するので、複雑な計算処理が必要とされず、
高速な制御を行うことが可能となる。

【００８１】請求項６記載の発明によれば、請求項２な
いし請求項５のいずれかに記載の発明の効果に加えて、
駆動制御手段の補正定数乗算手段は、回動量信号に幾何
学的補正定数を乗じて補正回動量信号を加算手段および
減算手段に出力し、加算手段は、移動量信号に補正回動
量信号を加算して第１駆動手段における第１回動軸の駆
動量に相当する第１駆動制御信号として出力し、減算手
段は、移動量信号から補正回動量信号を減算して第２駆
動手段における第２回動軸の駆動量に相当する第２駆動
制御信号として出力し、第１駆動制御手段は、第１駆動
制御信号に基づいて第１駆動手段の駆動制御を行うため
の第１駆動信号を出力し、第２駆動制御手段は、第２駆
動制御信号に基づいて第２駆動手段の駆動制御を行うた
めの第２駆動信号を出力するので、高速演算が可能な加
減算処理を主体として駆動制御を行うことができ、高周
波数の加振を容易に行える。

【００８２】請求項７記載の発明によれば、請求項６記
載の発明の効果に加えて、第１駆動制御手段の第１駆動
量検出手段は、第１駆動手段の実際の駆動量を検出し、
第１サーボ制御手段は、第１駆動量検出手段により検出
された第１駆動手段の実際の駆動量および第１駆動制御
信号に基づいてサーボ制御を行い、第２駆動制御手段の
第２駆動量検出手段は、第２駆動手段の実際の駆動量を
検出し、第２サーボ制御手段は、第２駆動量検出手段に
より検出された第２駆動手段の実際の駆動量および第２
駆動制御信号に基づいてサーボ制御を行うので、簡易な
構成にも関わらず、高精度かつ高速に駆動制御を行え
る。

【００８３】請求項８記載の発明によれば、第１駆動工
程は、第１回動軸を載置面に平行な第１所定方向に直線
駆動し、第２駆動工程は、第２回動軸を載置面に平行、
かつ、第１所定方向に平行な第２所定方向に直線駆動す
るので、第１駆動手段と第２駆動手段の駆動量によりプ
レートを回動（回転）させることが可能となる。さらに
第１駆動手段および第２駆動手段は、プレート外に設置
することができ、プレートを含む駆動対象の質量を低減
することができ、ひいては、高周波数で加振を行うこと
が可能となる。

【００８４】請求項９記載の発明によれば、請求項８記
載の発明の効果に加えて、駆動制御工程は、プレートの
第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量およびプ
レートの回動量に対応する駆動指示に基づいて第１駆動
工程における駆動量および第２駆動工程における駆動量
を制御するので、簡易に移動量および回動量を制御する
ことができ、システムを簡略化して、より高速な制御が
行える。

【００８５】請求項１０記載の発明によれば、請求項９
記載の発明の作用に加えて、駆動制御工程の駆動量算出
工程は、プレートの第１所定方向あるいは第２所定方向
への移動量およびプレートの回動量に基づいて、第１回
動軸の駆動量および第２回動軸の駆動量を算出する。

【００８６】請求項１１記載の発明によれば、請求項１
０記載の発明の作用に加えて、駆動量算出工程は、プレ
ートの第１所定方向あるいは第２所定方向への移動量を
仮想回動軸の仮想平面上における移動量として駆動量を
算出するので、容易、かつ、高速に移動量を算出するこ
とが可能となる。

【００８７】請求項１２記載の発明によれば、請求項８
ないし請求項１１のいずれかに記載の発明において、駆
動工程は、第１駆動手段における第１回動軸の駆動量ｙ
１、第２駆動手段における第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出するので、複雑な計算処理が必要とされず、
演算面からも高速な制御を行うことが可能となる。

【００８８】請求項１３記載の発明によれば、請求項８
ないし請求項１１のいずれかに記載の発明において、駆
動制御工程の補正定数乗算工程は、回動量に幾何学的補
正定数を乗じて補正回動量を算出し、加算工程は、移動
量に補正回動量を加算して第１駆動工程における第１回
動軸の駆動量に相当する第１駆動量を算出し、減算工程
は移動量から補正回動量を減算して第２駆動工程におけ
る第２回動軸の駆動量に相当する第２駆動量を算出し、
第１駆動制御工程は、第１駆動量に基づいて第１駆動工
程における駆動制御を行い、第２駆動制御工程は、第２
駆動量に基づいて第２駆動工程における駆動制御を行う
ので、高速演算が可能な加減算処理を主体として駆動制
御を行うことができ、高周波数の加振を容易に行える。

【００８９】請求項１４記載の発明によれば、請求項６
記載の発明の作用に加えて、第１駆動制御工程の第１駆
動量検出工程は、第１回動軸の実際の駆動量を検出し、
第１サーボ制御工程は、第１駆動量検出工程において検
出された第１回動軸の実際の駆動量および第１駆動量に
基づいてサーボ制御を行い、第２駆動制御工程の第２駆
動量検出工程は、第２回動軸の実際の駆動量を検出し、
第２サーボ制御工程は、第２駆動量検出工程において検
出された第２回動軸の実際の駆動量および第２駆動量に
基づいてサーボ制御を行うので、簡易な構成にも関わら
ず、高精度かつ高速に駆動制御を行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】車両基本特性測定装置の概要構成正面図であ
る。

【図２】加振装置の斜視図である。

【図３】加振ユニットの制御系の概要構成ブロック図で
ある。

【図４】Ｙ軸方向駆動制御部の概要構成ブロック図であ
る。

【図５】Ｘ軸方向駆動制御部およびＺ軸方向駆動制御部
の概要構成説明図である。

【図６】プレートの駆動制御の原理を説明する図であ
る。

【図７】従来の加振装置の問題点を説明するための図で
ある。

【符号の説明】

１０ 加振装置 １１ ６軸計測用ロードセル １２ プレート １３ Ｘ軸方向加振ユニット １４ Ｙ軸方向加振回転ユニット １５ Ｚ軸方向加振ユニット ２１ Ｘ方向直動アクチュエータ ２２ Ｘ方向駆動量センサ ２５ 第１Ｙ方向直動アクチュエータ ２６ 第１Ｙ方向駆動量センサ ２７ 第２Ｙ方向直動アクチュエータ ２８ 第２Ｙ方向駆動量センサ ３１ 駆動プレート ３２ Ｚ方向直動アクチュエータ ３３ Ｚ方向駆動量センサ ４１ 補正定数乗算部 ４２ 加算部 ４３ 減算部 ４４ 減算部 ４５ 第１駆動アンプ ４６ 第１サーボバルブ ４８ 第１フィードバックアンプ ５０ 減算部 ５１ 第２駆動アンプ ５２ 第２サーボバルブ ５４ 第２フィードバックアンプ ６１ コントロール部 ６２ Ｘ軸方向駆動制御部 ６３ Ｚ軸方向駆動制御部 ６４ Ｙ軸方向駆動制御部 １００ 車両基本特性測定装置 １０２ タイヤホイール １０３ 制御装置 ＡＤ１ 第１増幅駆動信号 ＡＤ２ 第２増幅駆動信号 ＤＹ１ 第１駆動信号 ＤＹ２ 第２駆動信号 ＤD1 第１駆動量検出信号 ＤD2 第２駆動量検出信号 Ｓ１ 第１駆動制御信号 Ｓ２ 第２駆動制御信号 Ｓｙ 移動量信号 Ｓθ’ 補正回動量信号 ＳＦ１ 第１フィードバック信号 ＳＦ２ 第２フィードバック信号

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プレート上に載置した加振対象を加振す
   るための加振装置において、 前記プレートを前記プレートの載置面に垂直な第１回動
   軸で回動可能に支持するとともに、前記第１回動軸を前
   記載置面に平行な第１所定方向に直線駆動する第１駆動
   手段と、 前記プレートを前記第１回動軸に平行な第２回動軸で回
   動可能に支持するとともに、前記第２回動軸を前記載置
   面に平行、かつ、前記第１所定方向に平行な第２所定方
   向に直線駆動する第２駆動手段と、 を備えたことを特徴とする加振装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載の加振装置において、 前記プレートの前記第１所定方向あるいは前記第２所定
   方向への移動量および前記プレートの回動量に対応する
   駆動指示信号に基づいて前記第１駆動手段および前記第
   ２駆動手段を制御する駆動制御手段を備えたことを特徴
   とする加振装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載の加振装置において、 前記駆動制御手段は、前記プレートの前記第１所定方向
   あるいは前記第２所定方向への移動量および前記プレー
   トの回動量に基づいて、前記第１駆動手段における前記
   第１回動軸の駆動量および前記第２駆動手段における前
   記第２回動軸の駆動量を算出する駆動量算出手段を備え
   たことを特徴とする加振装置。
4. 【請求項４】 請求項３記載の加振装置において、 前記駆動量算出手段は、前記載置面に平行な仮想平面と
   前記第１回動軸および前記第２回動軸との二つの交点を
   結ぶ線分の中点を通り前記載置面に垂直な軸を仮想回動
   軸とした場合に、前記プレートの前記第１所定方向ある
   いは前記第２所定方向への移動量を前記仮想回動軸の前
   記仮想平面上における移動量とすることを特徴とする加
   振装置。
5. 【請求項５】 請求項３または請求項４に記載の加振装
   置において、 前記駆動量算出手段は、前記プレートの前記第１所定方
   向あるいは前記第２所定方向への移動量をｙとし、前記
   プレートの回動量をθとし、前記第１回動軸と前記第２
   回動軸との間の離間距離を２Ｌとした場合に、前記第１
   駆動手段における前記第１回動軸の駆動量ｙ１、前記第
   ２駆動手段における前記第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出することを特徴とする加振装置。
6. 【請求項６】 請求項２ないし請求項５のいずれかに記
   載の加振装置において、 前記駆動制御手段は、前記駆動指示信号として、前記プ
   レートの前記第１所定方向あるいは前記第２所定方向へ
   の移動量に対応する移動量信号および前記プレートの回
   動量に対応する回動量信号が入力されるとした場合に、 前記回動量信号に幾何学的補正定数を乗じて補正回動量
   信号を出力する補正定数乗算手段と、 前記移動量信号に前記補正回動量信号を加算して前記第
   １駆動手段における前記第１回動軸の駆動量に相当する
   第１駆動制御信号として出力する加算手段と、 前記移動量信号から前記補正回動量信号を減算して前記
   第２駆動手段における前記第２回動軸の駆動量に相当す
   る第２駆動制御信号として出力する減算手段と、 前記第１駆動制御信号に基づいて前記第１駆動手段の駆
   動制御を行うための第１駆動信号を出力する第１駆動制
   御手段と、 前記第２駆動制御信号に基づいて前記第２駆動手段の駆
   動制御を行うための第２駆動信号を出力する第２駆動制
   御手段と、 を備えたことを特徴とする加振装置。
7. 【請求項７】 請求項６記載の加振装置において、 前記第１駆動制御手段は、前記第１駆動手段の実際の駆
   動量を検出する第１駆動量検出手段と、前記第１駆動量
   検出手段により検出された前記第１駆動手段の実際の駆
   動量および前記第１駆動制御信号に基づいてサーボ制御
   を行う第１サーボ制御手段と、を備え、 前記第２駆動制御手段は、前記第２駆動手段の実際の駆
   動量を検出する第２駆動量検出手段と、前記第２駆動量
   検出手段により検出された前記第２駆動手段の実際の駆
   動量および前記第２駆動制御信号に基づいてサーボ制御
   を行う第２サーボ制御手段と、を備えた、 ことを特徴とする加振装置。
8. 【請求項８】 載置面に垂直な第１回動軸および前記第
   １回動軸と所定距離離間した前記載置面に垂直な第２回
   動軸により回動可能に支持されたプレートを有し、前記
   プレート上に載置した加振対象を加振するための加振装
   置の制御方法において、 前記第１回動軸を前記載置面に平行な第１所定方向に直
   線駆動する第１駆動工程と、 前記第２回動軸を前記載置面に平行、かつ、前記第１所
   定方向に平行な第２所定方向に直線駆動する第２駆動工
   程と、 を備えたことを特徴とする加振装置の制御方法。
9. 【請求項９】 請求項８記載の加振装置の制御方法にお
   いて、 前記プレートの前記第１所定方向あるいは前記第２所定
   方向への移動量および前記プレートの回動量に対応する
   駆動指示に基づいて前記第１駆動工程における駆動量お
   よび前記第２駆動工程における駆動量を制御する駆動制
   御工程を備えたことを特徴とする加振装置の制御方法。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の加振装置の制御方法に
    おいて、 前記駆動制御工程は、前記プレートの前記第１所定方向
    あるいは前記第２所定方向への移動量および前記プレー
    トの回動量に基づいて、前記第１回動軸の駆動量および
    前記第２回動軸の駆動量を算出する駆動量算出工程を備
    えたことを特徴とする加振装置の制御方法。
11. 【請求項１１】 請求項１０記載の加振装置の制御方法
    において、 前記駆動量算出工程は、前記載置面に平行な仮想平面と
    前記第１回動軸および前記第２回動軸との二つの交点を
    結ぶ線分の中点を通り前記載置面に垂直な軸を仮想回動
    軸とした場合に、前記プレートの前記第１所定方向ある
    いは前記第２所定方向への移動量を前記仮想回動軸の前
    記仮想平面上における移動量として駆動量を算出するこ
    とを特徴とする加振装置の制御方法。
12. 【請求項１２】 請求項８ないし請求項１１のいずれか
    に記載の加振装置の制御方法において、 前記駆動工程は、前記プレートの前記第１所定方向ある
    いは前記第２所定方向への移動量をｙとし、前記プレー
    トの回動量をθとし、前記第１回動軸と前記第２回動軸
    との間の離間距離を２Ｌとした場合に、前記第１駆動手
    段における前記第１回動軸の駆動量ｙ１、前記第２駆動
    手段における前記第２回動軸の駆動量ｙ２を、 ｙ１＝ｙ−（Ｌ・ｔａｎθ） ｙ２＝ｙ＋（Ｌ・ｔａｎθ） により算出することを特徴とする加振装置の制御方法。
13. 【請求項１３】 請求項８ないし請求項１１のいずれか
    に記載の加振装置において、 前記駆動制御工程は、前記プレートの前記第１所定方向
    あるいは前記第２所定方向への移動量に対応する移動量
    および前記プレートの回動量に対応する回動量が入力さ
    れるとした場合に、 前記回動量に幾何学的補正定数を乗じて補正回動量を算
    出する補正定数乗算工程と、 前記移動量に前記補正回動量を加算して前記第１駆動工
    程における前記第１回動軸の駆動量に相当する第１駆動
    量を算出する加算工程と、 前記移動量から前記補正回動量を減算して前記第２駆動
    工程における前記第２回動軸の駆動量に相当する第２駆
    動量を算出する減算工程と、 前記第１駆動量に基づいて前記第１駆動工程における駆
    動制御を行う第１駆動制御工程と、 前記第２駆動量に基づいて前記第２駆動工程における駆
    動制御を行う第２駆動制御手段と、 を備えたことを特徴とする加振装置。
14. 【請求項１４】 請求項６記載の加振装置の制御方法に
    おいて、 前記第１駆動制御工程は、前記第１回動軸の実際の駆動
    量を検出する第１駆動量検出工程と、前記第１駆動量検
    出工程において検出された前記第１回動軸の実際の駆動
    量および前記第１駆動量に基づいてサーボ制御を行う第
    １サーボ制御工程と、を備え、 前記第２駆動制御工程は、前記第２回動軸の実際の駆動
    量を検出する第２駆動量検出工程と、前記第２駆動量検
    出工程において検出された前記第２回動軸の実際の駆動
    量および前記第２駆動量に基づいてサーボ制御を行う第
    ２サーボ制御工程と、を備えた、 ことを特徴とする加振装置の制御方法。