JP2000334661A - 砥粒子ブラスト方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 砥粒子の飛散による作業環境の汚染や砥粒子
の無駄な消費を防止し、清掃対象物の差し替えに際して
清掃装置を停止させる必要がなく、その清掃装置の稼働
効率を向上させることができ、砥粒子の循環使用システ
ムが簡素で安価な砥粒子ブラスト方法及びその装置を提
供する。 【解決手段】 清掃対象物２０の要部２１を負圧上昇気
流Ａに臨ませて開口した要部挿入口７に差し替え可能に
挿入し、上記砥粒子Ｑを当該負圧上昇気流Ａに乗せて当
該要部２１に投射する。上記負圧上昇気流Ａの負圧によ
り、砥粒子Ｑの要部挿入口７からの漏れ出しを阻止す
る。上記清掃対象物２０の要部２１に投射され、自重に
より下降した砥粒子Ｑを繰り返し前記負圧上昇気流Ａに
乗せる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、いわゆるサンド
ブラストやショットブラストの技法（以下「砥粒子ブラ
スト方法」という）を用いて清掃対象物を清掃する技術
に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の砥粒子ブラスト方法を具体化し
た装置としては、従来より例えば特開昭４８−６２０９
０号公報に開示されたものが知られている。それは図５
に示すように、清掃部本体１０１の内部に筒状の研掃室
１０３ａと、絞り流路１０７と、気流導入室１０３ｂと
を備え、上記気流導入室１０３ｂに砥粒子を含む高速混
合気流Ａの供給口１０５を、上記研掃室１０３ａにその
排出口１０６を備え、長尺の清掃対象物１２０を研掃室
１０３ａから絞り流路１０７と気流導入室１０３ｂへ通
過させて当該清掃対象物１２０を研掃するように構成さ
れている。

【０００３】そして上記従来技術では、分離器１０８で
分離された砥粒子は圧縮空気１１３と混合弁１１２を介
して混合されて再び高速混合気流Ａとなって上記供給口
１０５に供給される。ここで、図５中の符号１０２ａ・
１０２ｂは清掃対象物１２０の送りローラを、１０４ａ
・１０４ｂは清掃対象物１２０の挿入用出入口を、１０
９は砥粒子の回収タンクを、１１０は集塵機を、１１１
は高圧ブロアを、それぞれ示す。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では、砥
粒子が圧縮空気１１３と混合された高速混合気流Ａとな
って気流導入室１０３ｂの供給口１０５に供給されるこ
とから、清掃対象物１２０が研掃室１０３ａ、絞り流路
１０７、気流導入室１０３ｂ内を通過する際に、上記挿
入用出入口１０４ａ・１０４ｂの隙間から砥粒子が漏れ
出て飛散し、作業環境を汚染するのみならず、高価な砥
粒子が無駄に消費されて不経済となる。

【０００５】また、清掃対象物１２０を差し替える際に
は、その都度、この砥粒子ブラスト装置を停止させて砥
粒子が上記挿入用出入口１０４ａ・１０４ｂから漏れ出
るのを防止する必要がある。このため清掃対象物１２０
の差し替えに手間取り、その砥粒子ブラスト装置の稼働
効率が著しく低下する。しかも、上記砥粒子は、分離器
１０８、回収タンク１０９、圧縮空気１１３との混合弁
１１２等を介して循環することから、その砥粒子の循環
使用システムが複雑で高価になる。

【０００６】本発明はこのような事情を考慮してなされ
たもので、砥粒子の飛散による作業環境の汚染や砥粒子
の無駄な消費を防止し、清掃対象物の差し替えに際して
清掃装置を停止させる必要がなく、その清掃装置の稼働
効率を向上させることができ、砥粒子の循環使用システ
ムが簡素で安価な砥粒子ブラスト方法及びその装置を提
供することを技術課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するものとして、以下のように構成される。即ち、請求
項１に記載した発明は、砥粒子Ｑを気流Ａに乗せて清掃
対象物２０に投射することによりその表面を清掃する砥
粒子ブラスト方法において、上記清掃対象物２０の要部
２１を負圧上昇気流Ａに臨ませて開口した要部挿入口７
に差し替え可能に挿入して、上記砥粒子Ｑを当該負圧上
昇気流Ａに乗せて当該要部２１に投射し、上記負圧上昇
気流Ａの負圧により、上記砥粒子Ｑの要部挿入口７から
の漏れ出しを阻止することを特徴とする砥粒子ブラスト
方法である。なお、清掃対象物２０の要部２１とは、清
掃箇所を意味する（以下同様）。

【０００８】請求項２に記載した発明は、請求項１に記
載した砥粒子ブラスト方法において、前記清掃対象物２
０の要部２１に投射され、自重により下降した砥粒子Ｑ
を、繰り返し前記負圧上昇気流Ａに乗せることを特徴と
する砥粒子ブラスト方法である。

【０００９】請求項３に記載した発明は、砥粒子Ｑを気
流Ａに乗せて清掃対象物２０に投射することによりその
表面を清掃するように構成した砥粒子ブラスト装置にお
いて、清掃部本体１内に減圧室１１と外気導入室１３と
を上下に区画形成し、上記減圧室１１内に砥粒子Ｑの噴
き上げ室１２を通気部材１５ａで区画形成し、上記外気
導入室１３内に砥粒子Ｑの収容室１４を通気部材１５ｂ
で区画形成し、上記噴き上げ室１２と収容室１４とを絞
り流路１７で連通し、外気導入室１３に外気流入口８を
開口するとともに、上記減圧室１１に負圧手段１０を連
通することにより、上記絞り流路１７から噴き上げ室１
２にかけて負圧上昇気流Ａを形成するように構成し、上
記負圧上昇気流Ａに臨ませて要部挿入口７を開口し、上
記清掃対象物２０の要部２１をこの要部挿入口７に差し
替え可能に挿入して、上記砥粒子Ｑを上記負圧上昇気流
Ａに乗せて当該要部２１に投射するように構成したこと
を特徴とするものである。すなわち、この請求項３に記
載した発明は、請求項１に記載した砥粒子ブラスト方法
を具体化した砥粒子ブラスト装置である。

【００１０】請求項４に記載した発明は、請求項３に記
載した砥粒子ブラスト装置において、前記清掃対象物２
０の要部挿入口７を前記砥粒子Ｑの噴き上げ室１２又は
前記絞り流路１７に臨ませて開口したことを特徴とする
ものである。

【００１１】請求項５に記載した発明は、請求項３又は
請求項４に記載した砥粒子ブラスト装置において、前記
清掃部本体１が噴き上げ室１２と収容室１４と絞り流路
１７と要部挿入口７とを少なくとも一組備え、この清掃
部本体１を持ち運び可能に構成したことを特徴とするも
のである。

【００１２】

【発明の作用・効果】本発明によれば、以下の作用・効
果を奏する。 （イ）請求項１に記載した発明では、清掃対象物２０の
要部２１を負圧上昇気流Ａに臨ませて開口した要部挿入
口７に差し替え可能に挿入して、上記砥粒子Ｑを負圧上
昇気流Ａに乗せて投射するようにしたことから、上記清
掃対象物２０の要部２１を挿入している要部挿入口７に
負圧上昇気流Ａによる負圧が作用する。これにより、当
該要部を挿入している要部挿入口の隙間から砥粒子が漏
れ出ることはないので、作業環境を汚染する虞れや高価
な砥粒子が無駄に消費される虞れはない。

【００１３】（ロ）請求項１に記載した発明では、清掃
対象物２０の要部挿入口７に負圧上昇気流Ａの負圧が作
用することから、清掃対象物を差し替える際に、砥粒子
がその要部挿入口から漏れ出ることはないので、清掃対
象物の交換の都度、清掃装置を停止して砥粒子の流出を
防止する必要がなく、清掃対象物の差し替えによる交換
が円滑に行え、その清掃効率が格段に向上する。

【００１４】（ハ）請求項２に記載した発明では、請求
項１に記載した砥粒子ブラスト方法において、前記清掃
対象物２０の要部２１に投射され、自重により下降した
砥粒子Ｑを繰り返し前記負圧上昇気流Ａに乗せることか
ら、砥粒子の循環使用システムとして従来例のような分
離器、回収タンク、圧縮空気との混合弁等が一切不要に
なるので、その砥粒子の循環使用システムが簡素で安価
になる。

【００１５】（ニ）請求項３に記載した発明は、前記の
ように請求項１に記載した砥粒子ブラスト方法を具体化
した砥粒子ブラスト装置であるから、上記請求項１に記
載の発明と同様の作用効果（イ）（ロ）に加えて、以下
の作用効果を奏する。すなわち、上下に配置した砥粒子
Ｑの噴き上げ室１２と収容室１４とは、絞り流路１７で
連通され、上記絞り流路１７から噴き上げ室１２にかけ
て負圧上昇気流Ａが形成される。そして砥粒子Ｑは上記
負圧上昇気流Ａに乗せて清掃対象物２０の要部２１に投
射される。つまり、清掃対象物２０の要部２１に投射さ
れ、自重により下降した砥粒子Ｑは、繰り返し負圧上昇
気流Ａに乗ることとなる。これにより、請求項２に記載
の発明と同様の作用効果（ハ）を奏する。

【００１６】（ホ）請求項４に記載した発明では、請求
項３に記載した砥粒子ブラスト装置において、清掃対象
物２０の要部挿入口７を前記砥粒子Ｑの噴き上げ室１２
又は前記絞り流路１７に臨ませて開口したことから、清
掃対象物２０の要部２１である清掃箇所のみを清掃でき
る。これにより、長尺の清掃対象物を清掃部本体内に通
過させて研掃する従来例と比較して、清掃対象物の送り
ローラや清掃対象物の挿入用出入口は不要になり、その
構成が簡素になる。

【００１７】（ヘ）請求項５に記載した発明によれば、
収容室１４と噴き上げ室１２と絞り流路１７と要部挿入
口７とを備える清掃部本体１を持ち運び可能に構成した
ことから、この清掃部本体１を工作機械等の清掃対象物
２０が装着されている位置まで持ち運び、清掃対象物２
０の要部２１を要部挿入口４に挿入することにより、そ
の要部２１のみを清掃することができる。これにより、
工作機械等から清掃対象物２０を取り外さなくても済
み、清掃対象物２０の装着とその組み付け調整の手間を
省くことができるので、工作機械等の稼働効率が格段に
向上する。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいてさらに詳しく説明する。図２は本発明の第１
の実施形態に係る砥粒子ブラスト装置の斜視図、図１
（Ａ）は上記砥粒子ブラスト装置の要部を拡大した縦断
面図、図１（Ｂ）は清掃対象物であるワイヤボンディン
グ用ウエッジの斜視図である。

【００１９】この砥粒子ブラスト装置は、図１（Ｂ）に
示すワイヤボンディング用ウエッジ２０の清掃箇所であ
る要部２１を清掃するためのもので、このウエッジ２０
は超硬金属材料で形成されており、その基端側装着部２
２がワイヤボンダ（図示せず）の作動部に装着固定さ
れ、先端の要部２１にはボンディングワイヤをクランプ
するためのクランプ溝２１ａが形成されている。このク
ランプ溝２１ａは、金又はアルミ材等のボンディングワ
イヤに対応する極めて細い幅（０.２〜０.４ｍｍ）に形
成され、そのボンディングワイヤの熔融屑等が付着する
とその性能が著しく低下することから、ボンディング回
数がおよそ５万回に達する毎にクリーニングされる。

【００２０】第１の実施形態に係る砥粒子ブラスト装置
は、図２に示すように、清掃部本体１とその清掃部本体
１内の上半部に連通された真空ポンプ１０とから構成さ
れている。この清掃部本体１は平面視で円形に形成さ
れ、その内部には図１（Ａ）に示すように、ベース板５
と下半部筒壁３ｂと仕切板４とにより単一の外気導入室
１３が区画形成され、上記仕切板４と上半部筒壁３ａと
天板２とにより単一の減圧室１１が区画形成される。な
お、上記清掃部本体１を構成する天板２、上半部筒壁３
ａ、仕切板４、下半部筒壁３ｂ、及びベース板５は、シ
リコンゴムによる接着剤を介して相互に接着され、か
つ、図２に示すように、ゴム足１９と上記各部材を貫通
する複数の締結ボルト１８で相互に締結されている。

【００２１】上記単一の減圧室１１内には、砥粒子Ｑを
吹き上げる五つの噴き上げ室１２がそれぞれ通気部材１
５ａにより区画形成され、上記単一の外気導入室１３内
には、砥粒子Ｑを収容する五つの収容室１４が、上記各
噴き上げ室１２と同軸上にそれぞれ通気部材１５ｂによ
り区画形成されている。なお、上記通気部材１５ａ・１
５ｂは約５０μの砥粒子Ｑが漏れ出ない程度の十分細か
いメッシュフィルターで構成されている。また、上記仕
切板４には、五つの絞り部材１６が螺着貫通され、上記
噴き上げ室１２と収容室１４は、上記絞り部材１６の上
下両側がテーパ状に形成された絞り流路１７で連通され
ている。なお、絞り流路１７の上下両側をテーパ状に形
成したのは、砥粒子Ｑの噴き上げ室１２への上昇流量を
十分に確保すること及び砥粒子Ｑの収容室１４への迅速
な戻りを確保するためである。

【００２２】上記天板２には各噴き上げ室１２に対面さ
せて上部ネジ栓６ａが着脱自在に螺着され、この上部ネ
ジ栓６ａには清掃対象物であるウエッジ２０を差し替え
可能に挿入する要部挿入口７が開口形成されている。砥
粒子Ｑの噴き上げ室１２を区画形成する各通気部材１５
ａは、この上部ネジ栓６ａと絞り部材１６の各段落部間
で着脱自在に挟持されている。また、砥粒子Ｑの収容室
１４を区画形成する通気部材１５ｂは、ベース板５に着
脱自在に螺着された下部ネジ栓６ｂと上記絞り部材１６
の各段落部間で着脱自在に挟持されており、この下部ネ
ジ栓６ｂを取り外すことにより、汚染された上記通気部
材１５ｂや砥粒子Ｑを汚染されていないものと交換する
ことができる。

【００２３】外気導入室１３を構成するベース板５又は
下半部筒壁３ｂには複数の外気流入口８が開口され、上
記減圧室１１を構成する上半部筒壁３ａには連通口金８
及び連通管９を介して負圧手段である真空ポンプ１０が
連通される。これにより、上記絞り流路１７から噴き上
げ室１２にかけて負圧上昇気流Ａが形成されることとな
る。そしてウエッジ２０の要部２１を上記要部挿入口７
に差し替え可能に挿入して、砥粒子Ｑを上記負圧上昇気
流Ａに乗せて投射することにより、当該要部２１を短時
間で清掃することができる。

【００２４】このように清掃対象物２０の要部挿入口７
を砥粒子Ｑの噴き上げ室１２に臨ませて開口した場合に
は、清掃対象物２０の要部２１である清掃箇所のみを清
掃できる。これにより従来例と比較して、清掃対象物の
送りローラや清掃対象物の挿入用出入口は不要になる。
ちなみに、この実施形態では、砥粒子Ｑの噴き上げ室１
２及び収容室１４の容積はそれぞれ約２００ｍｍ³に、
絞り流路１７の断面積は所要の流速を確保するため、約
７ｍｍ²に設定されている。なお、上記清掃部本体１
は、軽量な合成樹脂材料で持ち運び可能、かつ、片手で
取り扱い可能に構成されている。以下、この砥粒子ブラ
スト装置の動作について説明する。

【００２５】前記真空ポンプ１０を作動させると、各絞
り流路１７から噴き上げ室１２にかけて負圧上昇気流Ａ
が形成され、砥粒子Ｑはこの負圧上昇気流Ａに乗って噴
き上げ室１２内に噴き上げられる。この状態で清掃対象
物２０の要部２１を上部ネジ栓６ａに開口した要部挿入
口７に挿入すると、当該要部２１に砥粒子Ｑが投射され
てウエッジ２０のクランプ溝２１ａが清掃される。そし
て当該要部２１に投射され、自重により下降した砥粒子
Ｑは、繰り返し上記負圧上昇気流Ａに乗って当該要部２
１に投射される。なお、真空ポンプ１０を停止させる
と、噴き上げ室１２内に噴き上げられた砥粒子Ｑはテー
パ状の絞り流路１７を介して収容室１４内へ勝手に戻
る。これにより、砥粒子の回収システムは不用になる。

【００２６】このように、自重により下降した砥粒子Ｑ
が繰り返し負圧上昇気流Ａに乗って当該要部２１に投射
されことで、砥粒子の循環使用システムとして従来例の
ような分離器、回収タンク、圧縮空気との混合弁等が一
切不要になり、その砥粒子の循環使用システムが簡素で
安価になる。また、清掃対象物２０の要部２１を挿入し
ている要部挿入口７に負圧上昇気流Ａによる負圧が作用
することから、当該要部２１を挿入している要部挿入口
７の隙間から砥粒子Ｑが漏れ出ることはないので、作業
環境を汚染する虞れや高価な砥粒子が無駄に消費される
虞れはない。

【００２７】また、清掃対象物２０の要部挿入口７に負
圧上昇気流Ａの負圧が作用することから、清掃対象物を
差し替える際に、砥粒子がその要部挿入口から漏れ出る
ことはないので、清掃対象物の交換の都度、清掃装置を
停止して砥粒子の流出を防止する必要がなく、清掃対象
物の差し替えによる交換が円滑に行え、その清掃効率が
格段に向上する。なお、本実施形態では、清掃対象物２
０の要部挿入口７を複数設けているが、不使用の要部挿
入口７を適宜接着テープ等で塞いでおけば、所要強さの
負圧上昇気流Ａを確保することができる。

【００２８】上記のように、清掃部本体１を持ち運び可
能に構成した場合には、この清掃部本体１を工作機械等
の清掃対象物２０が装着されている位置まで持ち運び、
清掃対象物２０の要部２１を要部挿入口７に挿入するこ
とにより、その要部２１のみを清掃することができる。
これによりワイヤボンダからウエッジ２０を取り外さな
くても済み、ウエッジ２０の装着とその組み付け調整の
手間を省くことができるので、高価なワイヤボンダの稼
働効率が格段に向上する。

【００２９】すなわち、清掃対象物であるウエッジ２０
は、およそ５万回のボンディング回数毎にクリーニング
されるが、従来では、ワイヤボンダからウエッジ２０を
取り外し、人手を介して丁寧に清掃し、再びウエッジ２
０をワイヤボンダに装着して調整し、およそ３０分以上
も再現性テストを要していた。しかし、この砥粒子ブラ
スト装置によれば、ワイヤボンダから清掃対象物である
ウエッジ２０を取り外さなくても済み、その装着とその
組み付け調整の手間を省くことができ、しかも、清掃時
間も５〜６分あれば足りるので、高価なワイヤボンダの
稼働効率が格段に向上する。なお、ワイヤボンダからウ
エッジ２０を取り外し、その装着及び組み付け調整が容
易な場合には、取り外した複数のウエッジ２０を要部挿
入口７に挿入することにより、その複数のウエッジ２０
を同時に清掃することができる。

【００３０】図４は本発明の第２の実施形態に係る砥粒
子ブラスト装置の斜視図、図３はその砥粒子ブラスト装
置の要部を拡大した縦断面図である。この実施形態で
は、図３及び図４に示すように、清掃部本体１は平面視
で長方形に形成され、清掃対象物であるウエッジ２０の
要部挿入口７を仕切板４の一側面に所定ピッチで開口形
成して、各絞り流路１７に直交する状態で臨ませてあ
る。また、上記各絞り流路１７は仕切板４と一体に形成
されており、要部挿入口７にはウエッジ２０のクランプ
溝２１ａがこの絞り流路１７と平行となるように挿入さ
れる。その他の点は第１の実施形態と同様に構成されて
いる。

【００３１】このように、清掃対象物２０の要部挿入口
７を上記絞り流路１７に臨ませて開口した場合には、清
掃対象物２０の要部２１は、上記絞り流路１７内を負圧
上昇気流Ａに乗って上昇する砥粒子Ｑが投射されて清掃
される。なお、噴き上げ室１２内へ噴き上げられた砥粒
子Ｑは、真空ポンプ１０を停止させることにより収容室
１４内へ戻る。この場合にも従来例のような送りローラ
や清掃対象物の挿入用出入口は不要になる。

【００３２】本発明は、砥粒子を負圧上昇気流に乗せて
投射する清掃方法に広く適用することができるが、上記
の実施形態に限るものではなく、下記のように適宜変更
を加えて実施することができる。 負圧上昇気流が水蒸気等の流体を含むものでも差し
支えない。 本実施形態では、単一の外気導入室１３内に複数の
収容室１４を、単一の減圧室１１内に複数の噴き上げ室
１２を、それぞれ区画形成したものについて例示した
が、これに限らず、単一の外気導入室１３内に単一の収
容室１４を、単一の減圧室１１内に単一の噴き上げ室１
２を形成してそれらを絞り流路１７で連通したものでも
差し支えない。 あるいは、単一の外気導入室１３内に複数の収容室
１４を形成し、複数の減圧室１１内にそれぞれ噴き上げ
室１２を形成し、上記収容室１４と噴き上げ室１２とを
それぞれ絞り流路１７で連通したものでも差し支えな
い。この場合には各減圧室１１ごとに電磁遮断弁等を介
して負圧作動を解除するように構成する。 要部挿入口７の近傍に検知手段を付設し、この検知
手段が清掃対象物２０の抜去を検知することにより負圧
作動を解除して、噴き上げ室１２内へ噴き上げられた砥
粒子Ｑを収容室１４内へ戻すように構成する。特に上記
のように、各減圧室１１ごとに負圧作動を解除する場
合に有利である。 負圧手段は前記真空ポンプに代えて、排気ブロアー
で代用しても差し支えない。 本発明の清掃対象物はウエッジに限らないし、工作
機械等に装着されている清掃対象物に広く適用すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（Ａ）は本発明の第１の実施形態に係る砥
粒子ブラスト装置の要部を拡大した縦断面図、図１
（Ｂ）は清掃対象物であるワイヤボンディング用ウエッ
ジの斜視図である。

【図２】上記第１の実施形態に係る砥粒子ブラスト装置
の斜視図である。

【図３】本発明の第２の実施形態に係る砥粒子ブラスト
装置の図１(Ａ)相当図である。

【図４】上記第２の実施形態に係る砥粒子ブラスト装置
の斜視図である。

【図５】従来例に係る砥粒子ブラスト装置の要部を破断
した概要図である。

【符号の説明】

１…清掃部本体、７…清掃対象物の要部挿入口、８…外
気流入口、１０…負圧手段（真空ポンプ）、１１…減圧
室、１２…噴き上げ室、１３…外気導入室、１４…収容
室、１５ａ・１５ｂ…通気部材、１７…絞り流路、２０
…清掃対象物（ウエッジ）、２１…清掃対象物の要部、
Ａ…負圧上昇気流、Ｑ…砥粒子。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 砥粒子（Ｑ）を気流（Ａ）に乗せて清掃
   対象物（２０）に投射することによりその表面を清掃す
   る砥粒子ブラスト方法において、 上記清掃対象物（２０）の要部（２１）を負圧上昇気流
   （Ａ）に臨ませて開口した要部挿入口（４）に差し替え
   可能に挿入して、上記砥粒子（Ｑ）を当該負圧上昇気流
   （Ａ）に乗せて当該要部（２１）に投射し、 上記負圧上昇気流（Ａ）の負圧により、上記砥粒子
   （Ｑ）の要部挿入口（４）からの漏れ出しを阻止する、
   ことを特徴とする砥粒子ブラスト方法。
2. 【請求項２】 請求項１に記載した砥粒子ブラスト方法
   において、 前記清掃対象物（２０）の要部（２１）に投射され、自
   重により下降した砥粒子（Ｑ）を、繰り返し前記負圧上
   昇気流（Ａ）に乗せる、ことを特徴とする砥粒子ブラス
   ト方法。
3. 【請求項３】 砥粒子（Ｑ）を気流（Ａ）に乗せて清掃
   対象物（２０）に投射することによりその表面を清掃す
   るように構成した、砥粒子ブラスト装置において、 清掃部本体（１）内に減圧室（１１）と外気導入室（１
   ３）とを上下に区画形成し、上記減圧室（１１）内に砥
   粒子（Ｑ）の噴き上げ室（１２）を通気部材（１５ａ）
   で区画形成し、上記外気導入室（１３）内に砥粒子
   （Ｑ）の収容室（１４）を通気部材（１５ｂ）で区画形
   成し、 上記噴き上げ室（１２）と収容室（１４）とを絞り流路
   （１７）で連通し、上記外気導入室（１３）に外気流入
   口（８）を開口するとともに、減圧室（１１）に負圧手
   段（１０）を連通することにより、上記絞り流路（１
   ７）から噴き上げ室（１２）にかけて負圧上昇気流
   （Ａ）を形成するように構成し、 上記負圧上昇気流（Ａ）に臨ませて要部挿入口（７）を
   開口し、上記清掃対象物（２０）の要部（２１）をこの
   要部挿入口（７）に差し替え可能に挿入して、上記砥粒
   子（Ｑ）を上記負圧上昇気流（Ａ）に乗せて当該要部
   （２１）に投射するように構成した、ことを特徴とする
   砥粒子ブラスト装置。
4. 【請求項４】 請求項３に記載した砥粒子ブラスト装置
   において、 前記清掃対象物（２０）の要部挿入口（７）を前記砥粒
   子（Ｑ）の噴き上げ室（１２）又は前記絞り流路（１
   ７）に臨ませて開口した、ことを特徴とする砥粒子ブラ
   スト装置。
5. 【請求項５】 請求項３又は請求項４に記載した砥粒子
   ブラスト装置において、 前記清掃部本体（１）が砥粒子（Ｑ）の噴き上げ室（１
   ２）と収容室（１４）と絞り流路（１７）と要部挿入口
   （７）とを少なくとも一組備え、この清掃部本体（１）
   を持ち運び可能に構成した、ことを特徴とする砥粒子ブ
   ラスト装置。