JP2000332118A - スタンダードセルと半導体集積回路装置とそのレイアウト設計方法 - Google Patents

スタンダードセルと半導体集積回路装置とそのレイアウト設計方法

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JP2000332118A
JP2000332118A JP11142951A JP14295199A JP2000332118A JP 2000332118 A JP2000332118 A JP 2000332118A JP 11142951 A JP11142951 A JP 11142951A JP 14295199 A JP14295199 A JP 14295199A JP 2000332118 A JP2000332118 A JP 2000332118A
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JP11142951A
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Akihiro Yamada
晃弘 山田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スタンダードセル方式による半導体集積回路
装置のレイアウト設計において、従来、セル内のトラン
ジスタのしきい値電圧を制御することができなかった。 【解決手段】 Pチャネルトランジスタのソース領域に
第1の電源電位を供給する電源線15と電気的に非接続
であるNウェル領域用のピン23を設けているため、N
ウェル領域19にPチャネルトランジスタのソース領域
とは異なる電位の供給が可能となり、しきい値電圧を制
御できる。また、Nチャネルトランジスタのソース領域
に第2の電源電位(接地電位)を供給する接地線16と
電気的に非接続であるPウェル領域用のピン24を設け
ているため、Pウェル領域20にNチャネルトランジス
タのソース領域とは異なる電位の供給が可能となり、し
きい値電圧を制御できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体集積回路の
レイアウト設計に用いられるスタンダードセルと半導体
集積回路装置とそのレイアウト設計方法に関するもので
ある。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体集積回路のレイアウト設計
に用いられるスタンダードセルにおいては、セルに供給
される電源電位用のピンとして、トランジスタに供給さ
れる電源電位とウェル領域に供給される電位とで共通な
ピンを持つのみであった。
【0003】図4に従来のスタンダードセルの一例とし
てCMOSのインバータセルのレイアウトを示す。図4
において、61はゲート電極、62はPチャネルトラン
ジスタのソース領域およびドレイン領域となるP型拡散
領域、63はNチャネルトランジスタのソース領域およ
びドレイン領域となるN型拡散領域、64はPチャネル
トランジスタのドレイン領域のP型拡散領域62および
Nチャネルトランジスタのドレイン領域のN型拡散領域
63とそれぞれコンタクトを介して接続されたインバー
タの出力配線である。
【0004】65は高電位側の第1の電源電位が供給さ
れる電源線、66は低電位側の第2の電源電位(ここで
は接地電位)が供給される接地線、67はゲート電極1
1とコンタクトを介して接続されるインバータの入力端
子、68はPチャネルトランジスタ形成のためのNウェ
ル領域、69はNチャネルトランジスタ形成のためのP
ウェル領域、70はNウェル領域68上に形成されコン
タクトを介して電源線65に接続された配線72と接続
される高濃度N型拡散領域、71はPウェル領域69上
に形成されコンタクトを介して接地線66に接続された
配線73と接続される高濃度P型拡散領域である。出力
配線64,電源線65,接地線66,インバータの入力
端子67および配線72,73は同一の配線層により形
成される。
【0005】この従来のスタンダードセルでは、電源線
65に接続された配線72は、コンタクトを介してPチ
ャネルトランジスタのソース領域のP型拡散領域62に
接続されるとともに、コンタクトを介してNウェル領域
68上の高濃度N型拡散領域70に接続されている。ま
た、接地線66に接続された配線73は、コンタクトを
介してNチャネルトランジスタのソース領域のN型拡散
領域63に接続されるとともに、コンタクトを介してP
ウェル領域69上の高濃度P型拡散領域71に接続され
ている。
【0006】また、Nウェル領域68およびPウェル領
域69はそれぞれ矩形セル領域の境界上まで形成されて
いる。このようなスタンダードセルを複数隣接配置した
半導体集積回路装置では、隣接したスタンダードセルの
互いのNウェル領域が接することになり、同様に、互い
のPウェル領域も接することになる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
スタンダードセル内においては、Pチャネルトランジス
タのソース領域(一方のP型拡散領域62)とNウェル
領域68とは、同一の電源線65から共通のピン74を
介した電位供給により同電位となり、双方に対して別々
の電位を供給するということができなかった。また、N
チャネルトランジスタのソース領域(一方のN型拡散領
域63)とPウェル領域69とは、同一の接地線66か
ら共通のピン75を介した電位供給により同電位とな
り、双方に対して別々の電位を供給するということがで
きなかった。また、隣接配置するスタンダードセル同士
の間で、ウェル領域が接するようなレイアウト構造であ
った。このような従来構造のセルでは、レイアウト設計
時にセル単位でのしきい値電圧の制御を行なうことはで
きなかった。
【0008】本発明の目的はかかる点に鑑み、スタンダ
ードセルを用いた半導体集積回路の設計において、トラ
ンジスタのソース領域とウェル領域とにそれぞれ独立し
た電位を供給でき、レイアウト設計時にセル単位でのし
きい値電圧の制御を行なうことのできるスタンダードセ
ルを提供し、また、それによって自動配置配線レイアウ
トによる設計においても、個別のセル単位でのしきい値
電圧の制御が可能となる半導体集積回路装置およびその
設計方法を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】請求項1記載のスタンダ
ードセルは、P型半導体基板を用いた半導体集積回路の
設計に使用され、矩形セル領域内に形成したNウェル領
域と、Nウェル領域に形成したP型のソース領域および
ドレイン領域を有するPチャネルトランジスタとを備え
たスタンダードセルであって、Pチャネルトランジスタ
のソース領域と電気的に接続され電源電位が供給される
電源電位用のピンを設け、Nウェル領域と電気的に接続
されかつ電源電位用のピンと電気的に非接続であるNウ
ェル領域用のピンを設け、Nウェル領域を、隣接配置さ
れる他のスタンダードセルのNウェル領域と接しないよ
うに矩形セル領域の境界から離して配置したことを特徴
とする。
【0010】この構成によれば、Nウェル領域用のピン
からNウェル領域に、Pチャネルトランジスタのソース
領域に供給される電源電位とは異なる電位を供給するこ
とができ、Pチャネルトランジスタのしきい値電圧の制
御を行うことが可能になる。
【0011】請求項2記載のスタンダードセルは、N型
半導体基板を用いた半導体集積回路の設計に使用され、
矩形セル領域内に形成したPウェル領域と、Pウェル領
域に形成したN型のソース領域およびドレイン領域を有
するNチャネルトランジスタとを備えたスタンダードセ
ルであって、Nチャネルトランジスタのソース領域と電
気的に接続され電源電位が供給される電源電位用のピン
を設け、Pウェル領域と電気的に接続されかつ電源電位
用のピンと電気的に非接続であるPウェル領域用のピン
を設け、Pウェル領域を、隣接配置される他のスタンダ
ードセルのPウェル領域と接しないように矩形セル領域
の境界から離して配置したことを特徴とする。
【0012】この構成によれば、Pウェル領域用のピン
からPウェル領域に、Nチャネルトランジスタのソース
領域に供給される電源電位とは異なる電位を供給するこ
とができ、Nチャネルトランジスタのしきい値電圧の制
御を行うことが可能になる。
【0013】請求項3記載のスタンダードセルは、半導
体集積回路の設計に使用され、矩形セル領域内に形成し
たNウェル領域およびPウェル領域と、Nウェル領域に
形成したP型のソース領域およびドレイン領域を有する
Pチャネルトランジスタと、Pウェル領域に形成したN
型のソース領域およびドレイン領域を有するNチャネル
トランジスタとを備えたスタンダードセルであって、P
チャネルトランジスタのソース領域と電気的に接続され
第1の電源電位が供給される第1の電源電位用のピンを
設け、Nウェル領域と電気的に接続されかつ第1の電源
電位用のピンと電気的に非接続であるNウェル領域用の
ピンを設け、Nチャネルトランジスタのソース領域と電
気的に接続され第2の電源電位が供給される第2の電源
電位用のピンを設け、Pウェル領域と電気的に接続され
かつ第2の電源電位用のピンと電気的に非接続であるP
ウェル領域用のピンを設け、Nウェル領域を、隣接配置
される他のスタンダードセルのNウェル領域と接しない
ように矩形セル領域の境界から離して配置し、Pウェル
領域を、隣接配置される他のスタンダードセルのPウェ
ル領域と接しないように矩形セル領域の境界から離して
配置したことを特徴とする。
【0014】この構成によれば、Nウェル領域用のピン
からNウェル領域に、Pチャネルトランジスタのソース
領域に供給される第1の電源電位とは異なる電位を供給
することができ、Pチャネルトランジスタのしきい値電
圧の制御を行うことが可能になる。また、Pウェル領域
用のピンからPウェル領域に、Nチャネルトランジスタ
のソース領域に供給される第2の電源電位とは異なる電
位を供給することができ、Nチャネルトランジスタのし
きい値電圧の制御を行うことが可能になる。
【0015】請求項4記載の半導体集積回路装置は、請
求項1記載のスタンダードセルを1つ以上備えた半導体
集積回路装置であって、スタンダードセルの電源電位用
のピンに電源電位を供給するための電源配線と、スタン
ダードセルのNウェル領域用のピンに電源電位とは異な
る電位を供給するための配線とを設けたことを特徴とす
る。
【0016】この構成によれば、半導体集積回路装置内
の請求項1記載のスタンダードセルのNウェル領域用の
ピンに、Pチャネルトランジスタのソース領域に供給さ
れる電源電位とは異なる電位を供給することができ、P
チャネルトランジスタのしきい値電圧の制御を行うこと
が可能になる。
【0017】請求項5記載の半導体集積回路装置は、請
求項2記載のスタンダードセルを1つ以上備えた半導体
集積回路装置であって、スタンダードセルの電源電位用
のピンに電源電位を供給するための電源配線と、スタン
ダードセルのPウェル領域用のピンに電源電位とは異な
る電位を供給するための配線とを設けたことを特徴とす
る。
【0018】この構成によれば、半導体集積回路装置内
の請求項2記載のスタンダードセルのPウェル領域用の
ピンに、Nチャネルトランジスタのソース領域に供給さ
れる電源電位とは異なる電位を供給することができ、N
チャネルトランジスタのしきい値電圧の制御を行うこと
が可能になる。
【0019】請求項6記載の半導体集積回路装置は、請
求項3記載のスタンダードセルを1つ以上備えた半導体
集積回路装置であって、スタンダードセルの第1の電源
電位用のピンに第1の電源電位を供給するための第1の
電源配線と、スタンダードセルのNウェル領域用のピン
に第1の電源電位とは異なる電位を供給するための配線
と、スタンダードセルの第2の電源電位用のピンに第2
の電源電位を供給するための第2の電源配線と、スタン
ダードセルのPウェル領域用のピンに第2の電源電位と
は異なる電位を供給するための配線とを設けたことを特
徴とする。
【0020】この構成によれば、半導体集積回路装置内
の請求項3記載のスタンダードセルのNウェル領域用の
ピンに、Pチャネルトランジスタのソース領域に供給さ
れる第1の電源電位とは異なる電位を供給することがで
き、Pチャネルトランジスタのしきい値電圧の制御を行
うことが可能になる。また、請求項3記載のスタンダー
ドセルのPウェル領域用のピンに、Nチャネルトランジ
スタのソース領域に供給される第2の電源電位とは異な
る電位を供給することができ、Nチャネルトランジスタ
のしきい値電圧の制御を行うことが可能になる。
【0021】請求項7記載の半導体集積回路装置のレイ
アウト設計方法は、スタンダードセルを用いて設計され
る半導体集積回路装置のレイアウト設計方法であって、
レイアウトの自動配置配線を一度実行した結果に対して
実レイアウトに基づいた遅延情報を抽出するステップ
と、予め与えられた遅延制約と遅延情報とを比較するス
テップと、比較の結果、遅延情報が遅延制約を満たして
いない場合に、それに関連するスタンダードセルを、こ
のスタンダードセルと論理的動作が同一である請求項
1,2または3記載のスタンダードセルと置換するステ
ップと、置換された請求項1,2または3記載のスタン
ダードセルのウェル領域へ電源電位とは異なる電位を供
給するための配線を行なうステップとを含むことを特徴
とする。
【0022】この方法により、請求項4,5または6記
載の半導体集積回路装置の自動レイアウト設計が可能と
なり、個別のセル単位でのしきい値電圧の制御が可能と
なり、一部のセルの動作速度を向上させ、遅延制約を満
たすレイアウトを得ることができる。
【0023】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図を用いて説明する。
【0024】図1は本発明の第1の実施の形態における
スタンダードセルの一例であるCMOSのインバータセ
ルのレイアウト図であり、11はゲート電極、12はP
チャネルトランジスタのソース領域およびドレイン領域
となるP型拡散領域、13はNチャネルトランジスタの
ソース領域およびドレイン領域となるN型拡散領域、1
4はPチャネルトランジスタのドレイン領域のP型拡散
領域12およびNチャネルトランジスタのドレイン領域
のN型拡散領域13とそれぞれコンタクトを介して接続
されたインバータの出力配線、15は高電位側の第1の
電源電位が供給される電源線、16は低電位側の第2の
電源電位(ここでは接地電位)が供給される接地線、1
7はゲート電極11とコンタクトを介して接続されるイ
ンバータの入力端子、18は本スタンダードセルの矩形
セル領域の境界、19はPチャネルトランジスタ形成の
ためのNウェル領域、20はNチャネルトランジスタ形
成のためのPウェル領域である。Nウェル領域19およ
びPウェル領域20は、N型またはP型の半導体基板に
形成する。
【0025】また、21はNウェル領域19上に形成さ
れNウェル領域用のピン23とコンタクトを介して接続
される高濃度N型拡散領域、22はPウェル領域20上
に形成されPウェル領域用のピン24とコンタクトを介
して接続される高濃度P型拡散領域、25は電源線15
と接続されかつPチャネルトランジスタのソース領域の
P型拡散領域12とコンタクトを介して接続される配
線、26は接地線16と接続されかつNチャネルトラン
ジスタのソース領域のN型拡散領域13とコンタクトを
介して接続される配線である。出力配線14,電源線1
5,接地線16,インバータの入力端子17,Nウェル
領域用のピン23,Pウェル領域用のピン24および配
線25,26は同一の配線層により形成される。Nウェ
ル領域用のピン23はコンタクトおよび高濃度N型拡散
領域21を介してNウェル領域19へ電位を供給するた
めに設けられ、Pウェル領域用のピン24はコンタクト
および高濃度P型拡散領域22を介してPウェル領域2
0へ電位を供給するために設けられている。また、電源
線15にはPチャネルトランジスタのソース領域のP型
拡散領域12に第1の電源電位を供給するための第1の
電源電位用のピン27が設けられ、接地線16にはNチ
ャネルトランジスタのソース領域のN型拡散領域13に
第2の電源電位(接地電位)を供給するための第2の電
源電位用のピン28が設けられている。
【0026】本実施の形態におけるスタンダードセル
は、電源線15と電気的に非接続であるNウェル領域用
のピン23を設けている。すなわち、Pチャネルトラン
ジスタのソース領域に第1の電源電位を供給するための
第1の電源電位用のピンとは別に、Nウェル領域用のピ
ン23を設けているため、Nウェル領域19にPチャネ
ルトランジスタのソース領域とは異なる電位の供給が可
能となる。また、接地線16と電気的に非接続であるP
ウェル領域用のピン24を設けている。すなわち、Nチ
ャネルトランジスタのソース領域に第2の電源電位(接
地電位)を供給するための第2の電源電位用のピンとは
別に、Pウェル領域用のピン24を設けているため、P
ウェル領域20にNチャネルトランジスタのソース領域
とは異なる電位の供給が可能となる。
【0027】さらに、図1のスタンダードセルを図示し
ない他のスタンダードセルと隣接配置したときに、Nウ
ェル領域19が他のスタンダードセルのNウェル領域と
接しないようにNウェル領域19を矩形セル領域の境界
18から離して設けている。同様に、Pウェル領域20
も隣接配置される他のスタンダードセルのPウェル領域
と接しないようにPウェル領域20を矩形セル領域の境
界18から離して設けている。これにより、Nウェル領
域19は他のスタンダードセルのNウェル領域とは異な
る電位を保持でき、また、Pウェル領域20は他のスタ
ンダードセルのPウェル領域とは異なる電位を保持でき
る。
【0028】したがって本実施の形態によれば、Nウェ
ル領域用のピン23からNウェル領域19に、Pチャネ
ルトランジスタのソース領域に供給される第1の電源電
位とは異なる電位を供給することができ、Pチャネルト
ランジスタのしきい値電圧の制御を行うことが可能にな
る。また、Pウェル領域用のピン24からPウェル領域
20に、Nチャネルトランジスタのソース領域に供給さ
れる第2の電源電位とは異なる電位を供給することがで
き、Nチャネルトランジスタのしきい値電圧の制御を行
うことが可能になる。
【0029】ここで、Nウェル領域用のピン23に供給
する電位を電源線15に供給される第1の電源電位より
も低くすることにより、Pチャネルトランジスタのしき
い値電圧が下がり、Pチャネルトランジスタの動作速度
が上がる。また、Pウェル領域用のピン24に供給する
電位を接地線16に供給される第2の電源電位(接地電
位)よりも高くすることにより、Nチャネルトランジス
タのしきい値電圧が下がり、Nチャネルトランジスタの
動作速度が上がる。
【0030】また、Nウェル領域用のピン23に供給す
る電位を電源線15に供給される第1の電源電位よりも
高くすることにより、Pチャネルトランジスタのしきい
値電圧が上がり、Pチャネルトランジスタについてのリ
ーク電流を低減できる。また、Pウェル領域用のピン2
4に供給する電位を接地線16に供給される第2の電源
電位(接地電位)よりも低くすることにより、Nチャネ
ルトランジスタのしきい値電圧が上がり、Nチャネルト
ランジスタについてのリーク電流を低減できる。
【0031】なお、上記第1の実施の形態では、1つの
スタンダードセル内にPチャネルトランジスタとNチャ
ネルトランジスタとの両方を有し、その両方のしきい値
電圧を制御可能とする構成について説明したが、Pチャ
ネルトランジスタとNチャネルトランジスタとのうちい
ずれかを有しそのしきい値電圧を制御可能とする構成、
あるいは両方を有しそのうちいずれか一方のしきい値電
圧を制御可能とする構成についても同様に適用できる。
【0032】例えば、Pチャネルトランジスタを有し、
そのしきい値電圧を制御可能とするスタンダードセルに
ついては、概略、P型半導体基板にNウェル領域(1
9)を形成し、Nウェル領域内にP型のソース領域(1
2)およびドレイン領域(12)を形成し、Nウェル領
域(19)と電気的に接続され、かつソース領域(1
2)と電気的に接続される電源線(15)とは電気的に
非接続であるNウェル領域用のピン(23)を設け、N
ウェル領域(19)を、隣接配置される他のスタンダー
ドセルのNウェル領域と接しないように矩形セル領域の
境界(18)から離して設けた構成となる。以降、この
構成のものをスタンダードセルAという。
【0033】また、例えば、Nチャネルトランジスタを
有し、そのしきい値電圧を制御可能とするスタンダード
セルについては、概略、N型半導体基板にPウェル領域
(20)を形成し、Pウェル領域内にN型のソース領域
(13)およびドレイン領域(13)を形成し、Pウェ
ル領域(20)と電気的に接続され、かつソース領域
(13)と電気的に接続される接地線(16)とは電気
的に非接続であるPウェル領域用のピン(24)を設
け、Pウェル領域(20)を、隣接配置される他のスタ
ンダードセルのPウェル領域と接しないように矩形セル
領域の境界(18)から離して設けた構成となる。以
降、この構成のものをスタンダードセルBという。な
お、以上の説明中、図1と対応するものについて、かっ
こ書きでその符号を記載した。
【0034】次に、本発明の第2の実施の形態について
説明する。この第2の実施の形態では、図1に示される
スタンダードセルを用いた半導体集積回路装置について
説明する。
【0035】図2は本発明の第2の実施の形態における
半導体集積回路装置の一例の全体レイアウト図であり、
31は図1に示した構造のスタンダードセル、32と3
3は第1の電源電位用パッド、34と35は第2の電源
電位(接地電位)用パッド、36はスタンダードセル3
1のPウェル領域20(図1)に電位を供給するための
Pウェル領域電位用パッド、37はスタンダードセル3
1のNウェル領域19(図1)に電位を供給するための
Nウェル領域電位用パッド、51はスタンダードセル3
1に隣接配置された従来のスタンダードセル(ここでは
図4に示した構造のセルとする)、52は高電位側の第
1の電源配線、53は低電位側の第2の電源配線、54
はスタンダードセル31のNウェル領域用の配線、55
はスタンダードセル31のPウェル領域用の配線であ
る。なお、スタンダードセル51と同様の矩形領域で示
された他のスタンダードセルは従来の所定の構造を有す
るものとする。
【0036】第1の電源電位用パッド32,33に供給
される第1の電源電位は、第1の電源配線52を介して
各スタンダードセル内の高電位側の電源線に供給され
る。この高電位側の電源線は、スタンダードセル31で
は電源線15(図1)であり、スタンダードセル51で
は電源線65(図4)である。第2の電源電位用パッド
34,35に供給される第2の電源電位は、第2の電源
配線53を介して各スタンダードセル内の低電位側の電
源線(接地線)に供給される。この低電位側の電源線
は、スタンダードセル31では接地線16(図1)であ
り、スタンダードセル51では接地線66(図4)であ
る。
【0037】さらに、スタンダードセル31について
は、Nウェル領域用の配線54をNウェル領域用のピン
23(図1)に接続してあり、Nウェル領域電位用パッ
ド37からNウェル領域19(図1)に所望の電位を供
給することができる。また、Pウェル領域用の配線55
をPウェル領域用のピン24(図1)に接続してあり、
Pウェル領域電位用パッド36からPウェル領域20
(図1)に所望の電位を供給することができる。なお、
図1のスタンダードセル31と従来の図4のスタンダー
ドセル51とが隣接配置されているが、スタンダードセ
ル31は図1のようにNウェル領域19およびPウェル
領域20を矩形セル領域の境界18から離して設けてい
るため、Nウェル領域19は、スタンダードセル51の
Nウェル領域68とは接することなく所望の電位を保持
でき、Pウェル領域20はスタンダードセル51のPウ
ェル領域69とは接することなく、所望の電位を保持で
きる。
【0038】この図2に示すようなレイアウトにより、
特定のセル(スタンダードセル31)に対して、第1お
よび第2の電源電位とは異なる電位を供給できる。すな
わち、スタンダードセル31のNウェル領域用のピン2
3(図1)に、Pチャネルトランジスタのソース領域に
供給される第1の電源電位とは異なる電位を供給するこ
とができ、Pチャネルトランジスタのしきい値電圧の制
御を行うことが可能になる。また、スタンダードセル3
1のPウェル領域用のピン24(図1)に、Nチャネル
トランジスタのソース領域に供給される第2の電源電位
とは異なる電位を供給することができ、Nチャネルトラ
ンジスタのしきい値電圧の制御を行うことが可能にな
る。
【0039】なお、図2では、第1の電源電位用パッド
32,33と第2の電源電位用パッド34,35とPウ
ェル領域電位用パッド36とNウェル領域電位用パッド
37との4種類のパッドを外部電源パッドとして設けて
いるが、外部電源パッドとしては第1の電源電位用パッ
ド32,33と第2の電源電位用パッド34,35との
2種類のパッドを設け、スタンダードセル31のNウェ
ル領域19に供給する電位およびPウェル領域20に供
給する電位を半導体集積回路内部で生成するようにして
もよい。
【0040】なお、上記第2の実施の形態の半導体集積
回路装置では、スタンダードセル31として、図1の構
成のものを用いているが、これに限られるものではな
く、前述したスタンダードセルAやBの構成のものを用
いたものでもよく、また、それらの構成のスタンダード
セル31を複数個用いてあってもよい。
【0041】次に、本発明の第3の実施の形態について
説明する。この第3の実施の形態では、例えば図1に示
すスタンダードセルやスタンダードセルA,B(以下
「本発明のスタンダードセル」という)を、半導体集積
回路装置に用いるためのレイアウト設計方法について説
明する。
【0042】図3は本発明の第3の実施の形態における
半導体集積回路装置のレイアウト設計方法を示すフロー
チャートであり、41は配置配線実行のステップ、42
はステップ41の結果に対して遅延情報を抽出するステ
ップ、43はステップ42で得られた遅延情報と設計時
に与えられた遅延制約とを比較するステップ、44は遅
延制約を満たさないパスの中から置換の対象とするセル
を選択するステップ、45はステップ44で決められた
セルを本発明のスタンダードセルに置換するステップ、
46はステップ45で置換された本発明のスタンダード
セルのウェル領域に所望の電位を供給するための配線
(例えば図2のNウェル領域用の配線54やPウェル領
域用の配線55)を接続するステップ、47と50はレ
イアウトライブラリ、48は遅延計算のための情報を持
った遅延情報ライブラリ、49は遅延制約に違反するパ
スの中から置換するセルを選択するためのルールであ
る。
【0043】まずステップ41で、入力されたネットリ
ストに対しレイアウトライブラリ47を用いて配置配線
を実行する。ステップ42では、ステップ41のレイア
ウト結果と遅延情報ライブラリ48とから遅延情報を抽
出する。この遅延情報は、例えば、回路上におけるある
ノードから別のノードまでの遅延値である。ステップ4
3では、抽出後の遅延情報と設計時に与えられた遅延制
約との比較を行なう。遅延制約は通常、あるフリップフ
ロップの出力から別のフリップフロップの入力までの遅
延時間として定義され、それに相当する部分の実遅延情
報を抽出し、比較する。制約が満たされていれば処理を
完了し、制約違反があればステップ44に進む。ステッ
プ44では、置換対象とするセルを選択するルール49
に基づき選択する。ここで、選択のためのルール49と
しては例えば、違反パスの中で最も遅いセルを選択する
といったようなルールであればよい。次にステップ45
では、ステップ44で決められたセルを、そのセルと論
理的動作が同一である本発明のスタンダードセルに置き
換える。ステップ46では、置換された本発明のスタン
ダードセルのウェル領域に電位を供給するためのピン
(例えば図1のNウェル領域用のピン23やPウェル領
域用のピン24)を、トランジスタのソース領域に供給
される電位とは異なる電圧を持った別系統の配線(例え
ば図2のNウェル領域用の配線54やPウェル領域用の
配線55)に接続する。
【0044】この第3の実施の形態によれば、第1の実
施の形態で示した本発明のスタンダードセルを自動レイ
アウトの中で用い、遅延制約を満たすレイアウトデータ
を得ることができるようになる。
【0045】以上のように本発明の実施の形態によれ
ば、スタンダードセルを用いて自動配置配線でレイアウ
トする半導体集積回路において、個別セル毎のしきい値
電圧の制御が可能となり、さらにそれを用いて一部のセ
ルの動作速度を向上させ、遅延制約を満たすレイアウト
を得ることができる。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、自
動レイアウト設計の中で個別セル毎にしきい値電圧を制
御することが可能となり、特定のセルのしきい値電圧を
下げることにより動作速度を向上させることができ、特
定のセルのしきい値電圧を上げることによりリーク電流
を低減させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態におけるスタンダー
ドセルのレイアウト図。
【図2】本発明の第2の実施の形態における半導体集積
回路装置のレイアウト図。
【図3】本発明の第3の実施の形態における半導体集積
回路装置のレイアウト設計方法を示すフローチャート。
【図4】従来のスタンダードセルのレイアウト図。
【符号の説明】
11 ゲート電極 12 P型拡散領域 13 N型拡散領域 15 電源線 16 接地線 19 Nウェル領域 20 Pウェル領域 23 Nウェル領域用のピン 24 Pウェル領域用のピン 31 図1に示した構造のスタンダードセル 32,33 第1の電源電位用パッド 34,35 第2の電源電位用パッド 36 Pウェル領域電位用パッド 37 Nウェル領域電位用パッド 51 従来のスタンダードセル 52 高電位側の第1の電源配線 53 低電位側の第2の電源配線 54 スタンダードセル31のNウェル領域用の配線 55 スタンダードセル31のPウェル領域用の配線
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5B046 AA08 BA03 BA05 BA06 JA03 KA06 5F048 AB03 AB10 AC03 BB14 BE03 BE09 BF17 BF18 5F064 AA04 BB07 BB19 BB40 CC12 DD02 DD05 DD24 DD25 EE02 EE05 EE27 EE47 EE52 HH06 HH12

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 P型半導体基板を用いた半導体集積回路
    の設計に使用され、矩形セル領域内に形成したNウェル
    領域と、Nウェル領域に形成したP型のソース領域およ
    びドレイン領域を有するPチャネルトランジスタとを備
    えたスタンダードセルであって、 前記Pチャネルトランジスタのソース領域と電気的に接
    続され電源電位が供給される電源電位用のピンを設け、 前記Nウェル領域と電気的に接続されかつ前記電源電位
    用のピンと電気的に非接続であるNウェル領域用のピン
    を設け、 前記Nウェル領域を、隣接配置される他のスタンダード
    セルのNウェル領域と接しないように前記矩形セル領域
    の境界から離して配置したことを特徴とするスタンダー
    ドセル。
  2. 【請求項2】 N型半導体基板を用いた半導体集積回路
    の設計に使用され、矩形セル領域内に形成したPウェル
    領域と、Pウェル領域に形成したN型のソース領域およ
    びドレイン領域を有するNチャネルトランジスタとを備
    えたスタンダードセルであって、 前記Nチャネルトランジスタのソース領域と電気的に接
    続され電源電位が供給される電源電位用のピンを設け、 前記Pウェル領域と電気的に接続されかつ前記電源電位
    用のピンと電気的に非接続であるPウェル領域用のピン
    を設け、 前記Pウェル領域を、隣接配置される他のスタンダード
    セルのPウェル領域と接しないように前記矩形セル領域
    の境界から離して配置したことを特徴とするスタンダー
    ドセル。
  3. 【請求項3】 半導体集積回路の設計に使用され、矩形
    セル領域内に形成したNウェル領域およびPウェル領域
    と、Nウェル領域に形成したP型のソース領域およびド
    レイン領域を有するPチャネルトランジスタと、Pウェ
    ル領域に形成したN型のソース領域およびドレイン領域
    を有するNチャネルトランジスタとを備えたスタンダー
    ドセルであって、 前記Pチャネルトランジスタのソース領域と電気的に接
    続され第1の電源電位が供給される第1の電源電位用の
    ピンを設け、 前記Nウェル領域と電気的に接続されかつ前記第1の電
    源電位用のピンと電気的に非接続であるNウェル領域用
    のピンを設け、 前記Nチャネルトランジスタのソース領域と電気的に接
    続され第2の電源電位が供給される第2の電源電位用の
    ピンを設け、 前記Pウェル領域と電気的に接続されかつ前記第2の電
    源電位用のピンと電気的に非接続であるPウェル領域用
    のピンを設け、 前記Nウェル領域を、隣接配置される他のスタンダード
    セルのNウェル領域と接しないように前記矩形セル領域
    の境界から離して配置し、 前記Pウェル領域を、隣接配置される他のスタンダード
    セルのPウェル領域と接しないように前記矩形セル領域
    の境界から離して配置したことを特徴とするスタンダー
    ドセル。
  4. 【請求項4】 請求項1記載のスタンダードセルを1つ
    以上備えた半導体集積回路装置であって、 前記スタンダードセルの電源電位用のピンに電源電位を
    供給するための電源配線と、前記スタンダードセルのN
    ウェル領域用のピンに前記電源電位とは異なる電位を供
    給するための配線とを設けたことを特徴とする半導体集
    積回路装置。
  5. 【請求項5】 請求項2記載のスタンダードセルを1つ
    以上備えた半導体集積回路装置であって、 前記スタンダードセルの電源電位用のピンに電源電位を
    供給するための電源配線と、前記スタンダードセルのP
    ウェル領域用のピンに前記電源電位とは異なる電位を供
    給するための配線とを設けたことを特徴とする半導体集
    積回路装置。
  6. 【請求項6】 請求項3記載のスタンダードセルを1つ
    以上備えた半導体集積回路装置であって、 前記スタンダードセルの第1の電源電位用のピンに第1
    の電源電位を供給するための第1の電源配線と、前記ス
    タンダードセルのNウェル領域用のピンに前記第1の電
    源電位とは異なる電位を供給するための配線と、前記ス
    タンダードセルの第2の電源電位用のピンに第2の電源
    電位を供給するための第2の電源配線と、前記スタンダ
    ードセルのPウェル領域用のピンに前記第2の電源電位
    とは異なる電位を供給するための配線とを設けたことを
    特徴とする半導体集積回路装置。
  7. 【請求項7】 スタンダードセルを用いて設計される半
    導体集積回路装置のレイアウト設計方法であって、 レイアウトの自動配置配線を一度実行した結果に対して
    実レイアウトに基づいた遅延情報を抽出するステップ
    と、 予め与えられた遅延制約と前記遅延情報とを比較するス
    テップと、 前記比較の結果、前記遅延情報が前記遅延制約を満たし
    ていない場合に、それに関連するスタンダードセルを、
    このスタンダードセルと論理的動作が同一である請求項
    1,2または3記載のスタンダードセルと置換するステ
    ップと、 前記置換された請求項1,2または3記載のスタンダー
    ドセルのウェル領域へ電源電位とは異なる電位を供給す
    るための配線を行なうステップとを含むことを特徴とす
    る半導体集積回路装置のレイアウト設計方法。
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