JP2000331378A - 光ディスク - Google Patents
光ディスクInfo
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Abstract
録型光ディスクの記録膜を成膜する時に、基板温度上昇
を押さえて、良好な機械特性の光ディスクを製造できる
ような記録膜構成の光ディスクの提供。 【解決手段】 基板上の記録膜が、下部保護層/相変化
記録層/多層の上部保護層/銀を主成分とする反射放熱
層を有する構成であって、かつ前記反射放熱層と接触す
る上部保護層が硫黄を含まない誘電体であることを特徴
とする光ディスク。
Description
る。
ような相変化型記録ディスクは、一般にプラスチック基
板/ZnS−SiO2/カルコゲン系相変化記録媒体/
ZnS−SiO2/Al系合金のような4層構成の膜構
成を持っている。
クの生産をより高速化しようとした場合、薄膜形成時の
スパッタ電力を上げることになる。スパッタ電力を上げ
ると基板の温度上昇が著しく、基板が反ってしまい、記
録再生できなくなってしまうという問題がある。最近、
記録密度を高めるため、基板の厚さを薄くしたDVD系
の記録ディスクも出現しつつあるが、これらの基板はさ
らに熱に弱い。本発明は、CD−RWやDVD−RWの
ような相変化記録型光ディスクの記録膜を成膜する時
に、基板温度上昇を押さえて、良好な機械特性の光ディ
スクを製造できるような記録膜構成を得ることを目的と
する。
基板上の記録膜が、下部保護層/相変化記録層/多層の
上部保護層/銀を主成分とする反射放熱層を有する構成
であって、かつ前記反射放熱層と接触する上部保護層が
硫黄を含まない誘電体であることを特徴とする。この結
果、前記多層の上部保護層が2層である場合には、本発
明の記録型光ディスクの構造は、基板/下部保護層/相
変化記録層/上部誘電体その1/上部誘電体その2/A
g系合金反射放熱層のような構成となる。
主成分とするAg系合金が用いられる。このようなAg
系材料を用いることにより、Agは、熱伝導がAlより
優れているために、Alと同じ放熱効果を得るのに反射
放熱層は薄くて良い。さらにAgは同一電力でのスパッ
タレートがAlの3倍速い。このため、より薄い薄膜の
放熱層を、より速く成膜でき、薄膜形成時の基板の温度
上昇が抑えられる。
系合金は硫黄と接触すると硫化して変化するので、前記
上部誘電体保護層を多層とし、Ag系反射放熱層と接触
する上部誘電体保護層を硫黄を含まない誘電体層とする
ことにより、Ag系反射放熱層のAgが硫化するのを防
止して、Ag系材料でも良好な保存信頼性を得ることが
できる。
料としては、AlN、SiNx、SiAlN、TiN、
BNおよびTaNよりなる群から選ばれた少なくとも1
種の窒化物、Al2O3、MgO、SiO、SiO2、
TiO2、B2O3、CeO 2、CaO、Ta2O5、
ZnO、In2O3およびSnO2よりなる群から選ば
れた少なくとも1種の酸化物あるいはWC、MoC、T
iCおよびSiCよりなる群から選ばれた少なくとも1
種の炭化物が挙げられる。
および下部保護層を構成する材料としては、光ディスク
の保護層を構成する材料として通常用いられているもの
が挙げられるが、特にZnS−SiO2が好ましい。
を図1に基づいて説明する。図1に示すように、この光
ディスクはプラスチック基板1上に順次形成された、下
部誘電体保護層2、相変化型記録層3、上部誘電体保護
層4、上部誘電体保護層5、反射放熱層6、樹脂接着層
7、貼り合わせ用ダミー基板8から構成されている。た
だし、本図のものは基板としてプラスチック基板を用い
たが、基板材料としてはプラスチック基板に限定される
ものではない。
保護層を多層化し、反射層側の上部保護層を構成する誘
電体が硫黄を含まず、かつ反射放熱層6がAgあるいは
Agを主成分とするAg系合金であるため、反射放熱層
の成膜時間は従来のAl系合金を用いる場合より3分の
1程度することができる。
録層を構成する材料として通常用いられているものが挙
げられ、例えばカルコゲン材料がある。
は、光学的、熱的特性から最適化されたものを採用され
るが、635nmの光を用いるDVD系メディアの場
合、下部誘電体保護層2として、ZnS−SiO2のよ
うな屈折率2付近の誘電体を用いる場合、50〜250
nm程度、好ましくは50〜80nmまたは160〜2
20nm程度である。相変化型記録層3は熱的な理由で
急冷構造の方がマーク形成がきれいにできやすいため、
カルコゲン系、例えばAgInSbTe系、GeSbT
e系などの場合には、8〜30nm、好ましくは13〜
22nm程度である。上部誘電体層4、5も放熱層へ熱
を導かねばならないのであまり厚くすることはできな
い。合計で7〜60nm程度、望ましくは10〜30n
m程度が好ましい。反射放熱層は反射率が飽和するのは
80nm以下で良いが、放熱性をよくしてくり返し書き
換えの信頼性を向上させるためには100〜200nm
が好ましい。
ネート基板とポリオレフィン基板とを用意した。これら
の基板上にマグネトロンスパッタ装置を用いて表1に示
す各記録媒体を成膜した。この場合、反射放熱層は純A
gで構成した。得られた記録型光ディスクを80℃85
%RHに1000時間保持した後、ビットエラーレート
(BER)を測定した。BERが初期値の2倍以上とな
った場合を寿命終止と定義した。
ネート基板とポリオレフィン基板とを用意した。これら
の基板上にマグネトロンスパッタ装置を用いて表2に示
す各記録媒体を成膜した。この場合、上部誘電体その2
をSiNxまたはAl2O3とした。得られた記録型光
ディスクを80℃85%RHに1000時間保持した
後、ビットエラーレート(BER)を測定した。BER
が初期値の2倍以上となった場合を寿命終止と定義し
た。
表1、2、3および4に示す。下表1、2、3および4
において、 膜厚は固定:20nmの下部誘電体保護層、相変化型記
録層、12nmの記録層と接触する上部誘電体保護層そ
の1、10nmの反射放熱層と接触する上部誘電体保護
層その2、 反射放熱層:100nm 寿命:ディスク全面のビットエラーレートが初期値の2
倍となった時間が80℃85%相対湿度保存にて100
0時間以上を○とする。800時間程度もつものを△と
した。 評価条件:635nm NA0.60 線速3.5m/
s 記録密度0.4μm/bit 反射層成膜速度:Alのスパッタレートの2倍以上を○
とした。 基板 PC:ポリカーボネート、PO:ポリオレフィン 組成表示は重量%である。
る上部誘電体層その2に硫黄を含まない誘電体を用いた
ディスクは、上部誘電体がZnS−SiO2の1層であ
る場合に比べ耐久性が増していることがわかる。なお、
上部誘電体その2はAl2O 3などの式で示しているが
成膜条件によっては、必ずしも化学量論組成に一致する
ものではない。しかし、化学的に安定な化学量論組成近
傍で良い効果が得られる。
h、Ru、Pt、Ni、Cuなどを添加すると更に耐久
性が向上することが分かる。また、基板の反りは、Ag
系の反射放熱膜を用いた場合は、小さいのに対し、Al
系反射放熱膜を用いた場合は反りは大きくなっている。
いた場合に比べてより速くディスクをスパッタ成膜で
き、温度上昇が小さいため反りも小さい。また、Agの
劣化が硫黄を含まない保護層の存在により、抑制されて
いる。
示す。
Claims (5)
- 【請求項1】 基板上の記録膜が、下部保護層/相変化
記録層/多層の上部保護層/銀を主成分とする反射放熱
層を有する構成であって、かつ前記反射放熱層と接触す
る上部保護層が硫黄を含まない誘電体であることを特徴
とする光ディスク。 - 【請求項2】 相変化記録層と接触する下部保護層およ
び上部保護層がZnS−SiO2である請求項1記載の
光ディスク。 - 【請求項3】 反射放熱層と接触する上部保護層がAl
N、SiNx、SiAlN、TiN、BNおよびTaN
よりなる群から選ばれた少なくとも1種の窒化物である
請求項1〜2のいずれかに記載の光ディスク。 - 【請求項4】 反射放熱層と接触する上部保護層がAl
2O3、MgO、SiO、SiO2、TiO2、B2O
3、CeO2、CaO、Ta2O5、ZnO、In2O
3およびSnO2よりなる群から選ばれた少なくとも1
種の酸化物である請求項1〜2のいずれかに記載の光デ
ィスク。 - 【請求項5】 反射放熱層と接触する上部保護層がW
C、MoC、TiCおよびSiCよりなる群から選ばれ
た少なくとも1種の炭化物である請求項1〜2のいずれ
かに記載の光ディスク。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11139251A JP2000331378A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 光ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11139251A JP2000331378A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 光ディスク |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000331378A true JP2000331378A (ja) | 2000-11-30 |
Family
ID=15240971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11139251A Pending JP2000331378A (ja) | 1999-05-19 | 1999-05-19 | 光ディスク |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2000331378A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2003044788A1 (en) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Tdk Corporation | Optical recording medium |
KR100478374B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2005-03-23 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 광정보 기록 매체용 반사층, 광정보 기록 매체 및 광정보기록 매체의 반사층용 스퍼터링 타깃 |
US7169533B2 (en) * | 2001-03-19 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method |
US7241549B2 (en) * | 2001-09-18 | 2007-07-10 | Ricoh Company, Ltd. | Information recording medium |
US7245580B2 (en) | 2002-03-07 | 2007-07-17 | Ricoh Company, Ltd. | Optical recording medium having protective and/or adhesive layers, and method of manufacture |
JP2008234718A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Tdk Corp | 情報媒体 |
-
1999
- 1999-05-19 JP JP11139251A patent/JP2000331378A/ja active Pending
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100478374B1 (ko) * | 2000-12-28 | 2005-03-23 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 광정보 기록 매체용 반사층, 광정보 기록 매체 및 광정보기록 매체의 반사층용 스퍼터링 타깃 |
US7169533B2 (en) * | 2001-03-19 | 2007-01-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method |
US7241549B2 (en) * | 2001-09-18 | 2007-07-10 | Ricoh Company, Ltd. | Information recording medium |
WO2003044788A1 (en) * | 2001-11-22 | 2003-05-30 | Tdk Corporation | Optical recording medium |
US6921568B2 (en) | 2001-11-22 | 2005-07-26 | Tdk Corporation | Optical recording medium |
JP5150999B2 (ja) * | 2001-11-22 | 2013-02-27 | Tdk株式会社 | 光記録媒体 |
US7245580B2 (en) | 2002-03-07 | 2007-07-17 | Ricoh Company, Ltd. | Optical recording medium having protective and/or adhesive layers, and method of manufacture |
JP2008234718A (ja) * | 2007-03-19 | 2008-10-02 | Tdk Corp | 情報媒体 |
JP4711143B2 (ja) * | 2007-03-19 | 2011-06-29 | Tdk株式会社 | 情報媒体 |
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