JP2000331378A - 光ディスク - Google Patents

光ディスク

Info

Publication number
JP2000331378A
JP2000331378A JP11139251A JP13925199A JP2000331378A JP 2000331378 A JP2000331378 A JP 2000331378A JP 11139251 A JP11139251 A JP 11139251A JP 13925199 A JP13925199 A JP 13925199A JP 2000331378 A JP2000331378 A JP 2000331378A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
silver
heat radiation
contact
protective layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP11139251A
Other languages
English (en)
Inventor
Nobuaki Onaki
伸晃 小名木
Hajime Yuzurihara
肇 譲原
Katsunari Hanaoka
克成 花岡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP11139251A priority Critical patent/JP2000331378A/ja
Publication of JP2000331378A publication Critical patent/JP2000331378A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 CD−RWやDVD−RWのような相変化記
録型光ディスクの記録膜を成膜する時に、基板温度上昇
を押さえて、良好な機械特性の光ディスクを製造できる
ような記録膜構成の光ディスクの提供。 【解決手段】 基板上の記録膜が、下部保護層/相変化
記録層/多層の上部保護層/銀を主成分とする反射放熱
層を有する構成であって、かつ前記反射放熱層と接触す
る上部保護層が硫黄を含まない誘電体であることを特徴
とする光ディスク。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ディスクに関す
る。
【0002】
【従来の技術】記録型光ディスクのうち、CD−RWの
ような相変化型記録ディスクは、一般にプラスチック基
板/ZnS−SiO/カルコゲン系相変化記録媒体/
ZnS−SiO/Al系合金のような4層構成の膜構
成を持っている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】相変化記録型光ディス
クの生産をより高速化しようとした場合、薄膜形成時の
スパッタ電力を上げることになる。スパッタ電力を上げ
ると基板の温度上昇が著しく、基板が反ってしまい、記
録再生できなくなってしまうという問題がある。最近、
記録密度を高めるため、基板の厚さを薄くしたDVD系
の記録ディスクも出現しつつあるが、これらの基板はさ
らに熱に弱い。本発明は、CD−RWやDVD−RWの
ような相変化記録型光ディスクの記録膜を成膜する時
に、基板温度上昇を押さえて、良好な機械特性の光ディ
スクを製造できるような記録膜構成を得ることを目的と
する。
【0004】
【課題を解決するための手段】本発明の光ディスクは、
基板上の記録膜が、下部保護層/相変化記録層/多層の
上部保護層/銀を主成分とする反射放熱層を有する構成
であって、かつ前記反射放熱層と接触する上部保護層が
硫黄を含まない誘電体であることを特徴とする。この結
果、前記多層の上部保護層が2層である場合には、本発
明の記録型光ディスクの構造は、基板/下部保護層/相
変化記録層/上部誘電体その1/上部誘電体その2/A
g系合金反射放熱層のような構成となる。
【0005】反射放熱層としては、AgあるいはAgを
主成分とするAg系合金が用いられる。このようなAg
系材料を用いることにより、Agは、熱伝導がAlより
優れているために、Alと同じ放熱効果を得るのに反射
放熱層は薄くて良い。さらにAgは同一電力でのスパッ
タレートがAlの3倍速い。このため、より薄い薄膜の
放熱層を、より速く成膜でき、薄膜形成時の基板の温度
上昇が抑えられる。
【0006】ただAgあるいはAgを主成分とするAg
系合金は硫黄と接触すると硫化して変化するので、前記
上部誘電体保護層を多層とし、Ag系反射放熱層と接触
する上部誘電体保護層を硫黄を含まない誘電体層とする
ことにより、Ag系反射放熱層のAgが硫化するのを防
止して、Ag系材料でも良好な保存信頼性を得ることが
できる。
【0007】前記の硫黄を含まない誘電体を構成する材
料としては、AlN、SiNx、SiAlN、TiN、
BNおよびTaNよりなる群から選ばれた少なくとも1
種の窒化物、Al、MgO、SiO、SiO
TiO、B、CeO 、CaO、Ta
ZnO、InおよびSnOよりなる群から選ば
れた少なくとも1種の酸化物あるいはWC、MoC、T
iCおよびSiCよりなる群から選ばれた少なくとも1
種の炭化物が挙げられる。
【0008】また、反射放熱層と接触しない上部保護層
および下部保護層を構成する材料としては、光ディスク
の保護層を構成する材料として通常用いられているもの
が挙げられるが、特にZnS−SiOが好ましい。
【0009】本発明に係わる光ディスクの基本的な構成
を図1に基づいて説明する。図1に示すように、この光
ディスクはプラスチック基板1上に順次形成された、下
部誘電体保護層2、相変化型記録層3、上部誘電体保護
層4、上部誘電体保護層5、反射放熱層6、樹脂接着層
7、貼り合わせ用ダミー基板8から構成されている。た
だし、本図のものは基板としてプラスチック基板を用い
たが、基板材料としてはプラスチック基板に限定される
ものではない。
【0010】本発明の光ディスクの特徴は、上部誘電体
保護層を多層化し、反射層側の上部保護層を構成する誘
電体が硫黄を含まず、かつ反射放熱層6がAgあるいは
Agを主成分とするAg系合金であるため、反射放熱層
の成膜時間は従来のAl系合金を用いる場合より3分の
1程度することができる。
【0011】記録層を構成する材料としては、相変化記
録層を構成する材料として通常用いられているものが挙
げられ、例えばカルコゲン材料がある。
【0012】本発明の光ディスクの記録層の各層の膜厚
は、光学的、熱的特性から最適化されたものを採用され
るが、635nmの光を用いるDVD系メディアの場
合、下部誘電体保護層2として、ZnS−SiOのよ
うな屈折率2付近の誘電体を用いる場合、50〜250
nm程度、好ましくは50〜80nmまたは160〜2
20nm程度である。相変化型記録層3は熱的な理由で
急冷構造の方がマーク形成がきれいにできやすいため、
カルコゲン系、例えばAgInSbTe系、GeSbT
e系などの場合には、8〜30nm、好ましくは13〜
22nm程度である。上部誘電体層4、5も放熱層へ熱
を導かねばならないのであまり厚くすることはできな
い。合計で7〜60nm程度、望ましくは10〜30n
m程度が好ましい。反射放熱層は反射率が飽和するのは
80nm以下で良いが、放熱性をよくしてくり返し書き
換えの信頼性を向上させるためには100〜200nm
が好ましい。
【0013】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。
【0014】実施例1 プラスチック基板として厚さが0.6mmのポリカーボ
ネート基板とポリオレフィン基板とを用意した。これら
の基板上にマグネトロンスパッタ装置を用いて表1に示
す各記録媒体を成膜した。この場合、反射放熱層は純A
gで構成した。得られた記録型光ディスクを80℃85
%RHに1000時間保持した後、ビットエラーレート
(BER)を測定した。BERが初期値の2倍以上とな
った場合を寿命終止と定義した。
【0015】実施例2 プラスチック基板として厚さが0.6mmのポリカーボ
ネート基板とポリオレフィン基板とを用意した。これら
の基板上にマグネトロンスパッタ装置を用いて表2に示
す各記録媒体を成膜した。この場合、上部誘電体その2
をSiNxまたはAlとした。得られた記録型光
ディスクを80℃85%RHに1000時間保持した
後、ビットエラーレート(BER)を測定した。BER
が初期値の2倍以上となった場合を寿命終止と定義し
た。
【0016】前記各実施例の光ディスクの検査結果を下
表1、2、3および4に示す。下表1、2、3および4
において、 膜厚は固定:20nmの下部誘電体保護層、相変化型記
録層、12nmの記録層と接触する上部誘電体保護層そ
の1、10nmの反射放熱層と接触する上部誘電体保護
層その2、 反射放熱層:100nm 寿命:ディスク全面のビットエラーレートが初期値の2
倍となった時間が80℃85%相対湿度保存にて100
0時間以上を○とする。800時間程度もつものを△と
した。 評価条件:635nm NA0.60 線速3.5m/
s 記録密度0.4μm/bit 反射層成膜速度:Alのスパッタレートの2倍以上を○
とした。 基板 PC:ポリカーボネート、PO:ポリオレフィン 組成表示は重量%である。
【0017】
【表1】
【0018】
【表2】
【0019】
【表3】
【0020】
【表4】
【0021】前表からわかるように反射放熱層と接触す
る上部誘電体層その2に硫黄を含まない誘電体を用いた
ディスクは、上部誘電体がZnS−SiOの1層であ
る場合に比べ耐久性が増していることがわかる。なお、
上部誘電体その2はAl などの式で示しているが
成膜条件によっては、必ずしも化学量論組成に一致する
ものではない。しかし、化学的に安定な化学量論組成近
傍で良い効果が得られる。
【0022】さらに前表からはAg反射層にPdやR
h、Ru、Pt、Ni、Cuなどを添加すると更に耐久
性が向上することが分かる。また、基板の反りは、Ag
系の反射放熱膜を用いた場合は、小さいのに対し、Al
系反射放熱膜を用いた場合は反りは大きくなっている。
【0023】
【効果】本発明の光ディスクは、反射放熱層にAlを用
いた場合に比べてより速くディスクをスパッタ成膜で
き、温度上昇が小さいため反りも小さい。また、Agの
劣化が硫黄を含まない保護層の存在により、抑制されて
いる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の光記録ディスクの1実施例の断面図を
示す。
【符号の説明】
1 基板 2 下部誘電体保護層 3 相変化型記録層 4 上部誘電体保護層その1 5 上部誘電体保護層その2 6 反射放熱層 7 樹脂接着層 8 貼り合わせ用基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 花岡 克成 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 Fターム(参考) 5D029 LA11 LA14 LA16 LB03 LB11

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上の記録膜が、下部保護層/相変化
    記録層/多層の上部保護層/銀を主成分とする反射放熱
    層を有する構成であって、かつ前記反射放熱層と接触す
    る上部保護層が硫黄を含まない誘電体であることを特徴
    とする光ディスク。
  2. 【請求項2】 相変化記録層と接触する下部保護層およ
    び上部保護層がZnS−SiOである請求項1記載の
    光ディスク。
  3. 【請求項3】 反射放熱層と接触する上部保護層がAl
    N、SiNx、SiAlN、TiN、BNおよびTaN
    よりなる群から選ばれた少なくとも1種の窒化物である
    請求項1〜2のいずれかに記載の光ディスク。
  4. 【請求項4】 反射放熱層と接触する上部保護層がAl
    、MgO、SiO、SiO、TiO、B
    、CeO、CaO、Ta、ZnO、In
    およびSnOよりなる群から選ばれた少なくとも1
    種の酸化物である請求項1〜2のいずれかに記載の光デ
    ィスク。
  5. 【請求項5】 反射放熱層と接触する上部保護層がW
    C、MoC、TiCおよびSiCよりなる群から選ばれ
    た少なくとも1種の炭化物である請求項1〜2のいずれ
    かに記載の光ディスク。
JP11139251A 1999-05-19 1999-05-19 光ディスク Pending JP2000331378A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11139251A JP2000331378A (ja) 1999-05-19 1999-05-19 光ディスク

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11139251A JP2000331378A (ja) 1999-05-19 1999-05-19 光ディスク

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2000331378A true JP2000331378A (ja) 2000-11-30

Family

ID=15240971

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11139251A Pending JP2000331378A (ja) 1999-05-19 1999-05-19 光ディスク

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2000331378A (ja)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003044788A1 (en) * 2001-11-22 2003-05-30 Tdk Corporation Optical recording medium
KR100478374B1 (ko) * 2000-12-28 2005-03-23 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 광정보 기록 매체용 반사층, 광정보 기록 매체 및 광정보기록 매체의 반사층용 스퍼터링 타깃
US7169533B2 (en) * 2001-03-19 2007-01-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method
US7241549B2 (en) * 2001-09-18 2007-07-10 Ricoh Company, Ltd. Information recording medium
US7245580B2 (en) 2002-03-07 2007-07-17 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium having protective and/or adhesive layers, and method of manufacture
JP2008234718A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Tdk Corp 情報媒体

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100478374B1 (ko) * 2000-12-28 2005-03-23 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 광정보 기록 매체용 반사층, 광정보 기록 매체 및 광정보기록 매체의 반사층용 스퍼터링 타깃
US7169533B2 (en) * 2001-03-19 2007-01-30 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical information recording medium, method for manufacturing the same and recording/reproduction method
US7241549B2 (en) * 2001-09-18 2007-07-10 Ricoh Company, Ltd. Information recording medium
WO2003044788A1 (en) * 2001-11-22 2003-05-30 Tdk Corporation Optical recording medium
US6921568B2 (en) 2001-11-22 2005-07-26 Tdk Corporation Optical recording medium
JP5150999B2 (ja) * 2001-11-22 2013-02-27 Tdk株式会社 光記録媒体
US7245580B2 (en) 2002-03-07 2007-07-17 Ricoh Company, Ltd. Optical recording medium having protective and/or adhesive layers, and method of manufacture
JP2008234718A (ja) * 2007-03-19 2008-10-02 Tdk Corp 情報媒体
JP4711143B2 (ja) * 2007-03-19 2011-06-29 Tdk株式会社 情報媒体

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4059714B2 (ja) 光記録媒体
JP2004139690A (ja) 相変化光記録媒体
JP2004273067A (ja) 光記録媒体
JP4249590B2 (ja) 光情報記録媒体およびその製造方法
EP1345218B1 (en) Optical information recording medium and manufacturing method and recording/reproducing method for the same
TWI304210B (ja)
TW200809845A (en) Optical recording medium, and method for initializing the optical recording medium
JP2000331378A (ja) 光ディスク
JP2003162821A (ja) 光記録媒体および光記録方法
JP2008305529A (ja) 光情報記録媒体及び光情報記録媒体の製造方法
JP4357144B2 (ja) 光記録媒体及び光記録媒体用スパッタリングターゲット
JP3032600B2 (ja) 光情報記録媒体
JP3908682B2 (ja) 光学的情報記録媒体とその製造方法、並びにその記録再生方法
JP2006095821A (ja) 光記録媒体
JP2006294219A (ja) 相変化型光情報記録媒体とその製造方法
JP2003335064A (ja) 相変化型光情報記録媒体
JP2004111016A (ja) 相変化型光記録媒体
JP4070491B2 (ja) 光記録媒体とその製造方法
JPH0558047A (ja) 光情報記録媒体
US20060210760A1 (en) Phase change type optical information recording medium
JP2954731B2 (ja) 情報記録媒体及びそれを用いる情報記録方法
JP2003272229A (ja) 相変化型光記録媒体
JPH05159363A (ja) 光記録媒体
JP2006202447A (ja) 光記録媒体
JP2007066428A (ja) 光記録媒体

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040322

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040803

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040810

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041007

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20041102