JP2000307049A - Lead frame, resin-sealed-type semiconductor device using lead frame, and its manufacturing method - Google Patents

Lead frame, resin-sealed-type semiconductor device using lead frame, and its manufacturing method

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JP2000307049A JP11590099A JP11590099A JP2000307049A JP 2000307049 A JP2000307049 A JP 2000307049A JP 11590099 A JP11590099 A JP 11590099A JP 11590099 A JP11590099 A JP 11590099A JP 2000307049 A JP2000307049 A JP 2000307049A
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匡紀 南尾
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the reliability when mounting a substrate by arranging the land electrode of a lead part and that of a land lead part straightly in two rows and hence achieving a semiconductor device of a surface-mount type. SOLUTION: A land lead part 4 and a lead part 5 of a lead frame are arranged in parallel in alternate arrangement while being connected to a frame rim 2. However, in an arrangement opposing a die pad part 1, the tip part of the land lead part 4 is routed to the tip part of the lead part 5, and tips are arranged on the same straight line for composing two rows. In the arrangement, when a semiconductor element is to be mounted and resin is to be sealed, two rows of external terminals are arranged in a lattice on the bottom surface of a package, and the bottom surface of the tip part of the land lead part 4 and that of the lead part 5 are arranged on the bottom surface of the package, thus achieving a surface-mount-type semiconductor device and improving the reliability for mounting the substrate.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、従来のビーム状の
リードを備えたリードフレームに加えて、外部端子とな
るランド電極を備えたリードを有したリードフレームに
関するもので、それを用いて半導体素子を搭載し、外囲
を樹脂で封止したランド・グリッド・アレイ(LGA)
型の樹脂封止型半導体装置およびその製造方法に関する
ものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a lead frame having a lead having land electrodes serving as external terminals in addition to a conventional lead frame having a beam-shaped lead. Land grid array (LGA) mounted with elements and sealed with resin
The present invention relates to a mold-type resin-sealed semiconductor device and a method for manufacturing the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、電子機器の小型化に対応するため
に、樹脂封止型半導体装置などの半導体部品の高密度実
装が要求され、それにともなって、半導体部品の小型、
薄型化が進んでいる。また小型で薄型でありながら、多
ピン化が進み、高密度の小型、薄型の樹脂封止型半導体
装置が要望されている。
2. Description of the Related Art In recent years, in order to cope with miniaturization of electronic equipment, high-density mounting of semiconductor components such as resin-encapsulated semiconductor devices has been required.
Thinning is progressing. In addition, the number of pins has been increased while being small and thin, and a high-density small and thin resin-sealed semiconductor device has been demanded.

【0003】以下、従来の樹脂封止型半導体装置に使用
するリードフレームについて説明する。
Hereinafter, a lead frame used in a conventional resin-encapsulated semiconductor device will be described.

【0004】図28は、従来のリードフレームの構成を
示す平面図である。図28に示すように、従来のリード
フレームは、フレーム枠101と、そのフレーム枠10
1内に、半導体素子が載置される矩形状のダイパッド部
102と、ダイパッド部102を支持する吊りリード部
103と、半導体素子を載置した場合、その載置した半
導体素子と金属細線等の接続手段により電気的接続する
ビーム状のインナーリード部104と、そのインナーリ
ード部104と連続して設けられ、外部端子との接続の
ためのアウターリード部105と、アウターリード部1
05どうしを連結固定し、樹脂封止の際の樹脂止めとな
るタイバー部106とより構成されていた。
FIG. 28 is a plan view showing the structure of a conventional lead frame. As shown in FIG. 28, a conventional lead frame includes a frame 101 and its frame 10.
1, a rectangular die pad portion 102 on which a semiconductor element is mounted, a suspension lead portion 103 supporting the die pad portion 102, and when a semiconductor element is mounted, the mounted semiconductor element and a thin metal wire or the like. A beam-shaped inner lead portion 104 electrically connected by the connecting means, an outer lead portion 105 provided continuously with the inner lead portion 104 for connection to an external terminal, and an outer lead portion 1
The tie bars 105 are connected and fixed to each other, and the tie bar portions 106 serve as resin stoppers during resin sealing.

【0005】なお、リードフレームは、図28に示した
構成よりなるパターンが1つではなく、複数個、左右、
上下に連続して配列されたものである。
[0005] The lead frame has a plurality of patterns each having the structure shown in FIG.
They are arranged vertically continuously.

【0006】次に従来の樹脂封止型半導体装置について
説明する。図29は、図28に示したリードフレームを
用いた樹脂封止型半導体装置を示す断面図である。
Next, a conventional resin-encapsulated semiconductor device will be described. FIG. 29 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device using the lead frame shown in FIG.

【0007】図29に示すように、リードフレームのダ
イパッド部102上に半導体素子107が搭載され、そ
の半導体素子107とインナーリード部104とが金属
細線108により電気的に接続されている。そしてダイ
パッド部102上の半導体素子107、インナーリード
部104の外囲は封止樹脂109により封止されてい
る。封止樹脂109の側面からはアウターリード部10
5が突出して設けられ、先端部はベンディングされてい
る。
As shown in FIG. 29, a semiconductor element 107 is mounted on a die pad section 102 of a lead frame, and the semiconductor element 107 and the inner lead section 104 are electrically connected by a thin metal wire 108. The outer periphery of the semiconductor element 107 and the inner lead part 104 on the die pad part 102 is sealed with a sealing resin 109. From the side of the sealing resin 109, the outer lead portion 10
5 is provided so as to protrude, and the tip is bent.

【0008】従来の樹脂封止型半導体装置の製造方法
は、図30に示すように、リードフレームのダイパッド
部102上に半導体素子107を接着剤により接合した
後(ダイボンド工程)、半導体素子107とインナーリ
ード部104の先端部とを金属細線108により接続す
る(ワイヤーボンド工程)。その後、半導体素子107
の外囲を封止するが、封止領域はリードフレームのタイ
バー部106で包囲された領域内を封止樹脂109によ
り封止し、アウターリード部105を外部に突出させて
封止する(樹脂封止工程)。そしてタイバー部106で
封止樹脂109の境界部をカッティングし、各アウター
リード部105を分離し、フレーム枠101を除去する
とともに、アウターリード部105の先端部をベンディ
ングすることにより(タイバーカット・ベンド工程)、
図29に示した構造の樹脂封止型半導体装置を製造する
ことができる。ここで図30において、破線で示した領
域が封止樹脂109で封止する領域である。
In a conventional method of manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device, as shown in FIG. 30, a semiconductor element 107 is bonded to a die pad portion 102 of a lead frame by an adhesive (die bonding step), The distal end portion of the inner lead portion 104 is connected by a thin metal wire 108 (wire bonding step). After that, the semiconductor element 107
Is sealed, the sealing region is sealed with a sealing resin 109 in the region surrounded by the tie bar portion 106 of the lead frame, and the outer lead portion 105 is sealed by protruding outside (resin). Sealing step). Then, the boundary portion of the sealing resin 109 is cut by the tie bar portion 106, each outer lead portion 105 is separated, the frame 101 is removed, and the tip of the outer lead portion 105 is bent (tie bar cut / bend). Process),
A resin-sealed semiconductor device having the structure shown in FIG. 29 can be manufactured. Here, in FIG. 30, a region indicated by a broken line is a region sealed with the sealing resin 109.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら従来のリ
ードフレームでは、半導体素子が高集積化し、多ピンと
なった場合、インナーリード部(アウターリード部)の
幅の形成には限界があり、多ピンに対応しようとする場
合は、インナーリード部(アウターリード部)の数が多
くなるため、リードフレーム自体が大きくなり、結果と
して樹脂封止型半導体装置も大きくなり、要望される小
型、薄型の樹脂封止型半導体装置は実現できないという
課題があった。また、半導体素子の多ピン対応としてリ
ードフレームのサイズを変更せず、インナーリード部を
増加させる場合は、1本当たりのインナーリード部の幅
を細くしなければならず、リードフレーム形成のエッチ
ング等の加工で課題が多くなってしまう。
However, in the conventional lead frame, when the semiconductor element is highly integrated and the number of pins is increased, there is a limit in forming the width of the inner lead portion (outer lead portion). In order to cope with the problem, the number of inner lead portions (outer lead portions) increases, so that the lead frame itself becomes large, and as a result, the resin-encapsulated semiconductor device also becomes large. There is a problem that a fixed semiconductor device cannot be realized. In addition, when increasing the number of inner leads without changing the size of the lead frame in order to support multiple pins of the semiconductor element, the width of each inner lead must be reduced, and etching of the lead frame may be performed. There are many problems in processing.

【0010】また最近は面実装タイプの半導体装置とし
て、底面に外部電極(ボール電極、ランド電極)を設け
たキャリア(配線基板)上に半導体素子を搭載し、電気
的接続を行った後、そのキャリアの上面を樹脂封止した
半導体装置であるボール・グリッド・アレイ(BGA)
タイプやランド・グリッド・アレイ(LGA)タイプの
半導体装置がある。このタイプの半導体装置はその底面
側でマザー基板と実装する半導体装置であり、今後、こ
のような面実装タイプの半導体装置が主流になりつつあ
る。したがって、このような動向に対応するには、従来
のリードフレーム、そのリードフレームを用いた樹脂封
止型半導体装置では、対応できないという大きな課題が
顕在化してきている。
Recently, as a semiconductor device of a surface mounting type, a semiconductor element is mounted on a carrier (wiring board) having an external electrode (ball electrode, land electrode) provided on the bottom surface, and after electrical connection is made, the semiconductor element is mounted. Ball grid array (BGA), which is a semiconductor device in which the upper surface of the carrier is resin-sealed
And a land grid array (LGA) type semiconductor device. This type of semiconductor device is a semiconductor device mounted on a motherboard on the bottom side, and such a surface mount type semiconductor device is becoming mainstream in the future. Therefore, in order to cope with such a trend, a big problem that a conventional lead frame and a resin-sealed semiconductor device using the lead frame cannot be dealt with has become apparent.

【0011】従来の樹脂封止型半導体装置では、封止樹
脂の側面にアウターリード部よりなる外部リードが突出
して設けられており、その外部リードと基板電極とを接
合して実装するものであるため、BGAタイプ,LGA
タイプの半導体装置に比べて、基板実装の信頼性は低い
ものとなってしまう。また、BGAタイプ,LGAタイ
プの半導体装置は、配線基板を用いているため、コスト
的に高価となるという課題がある。
In a conventional resin-encapsulated semiconductor device, an external lead composed of an outer lead portion is provided to protrude from a side surface of a sealing resin, and the external lead and a substrate electrode are bonded and mounted. Therefore, BGA type, LGA
The reliability of board mounting is lower than that of a semiconductor device of the type. In addition, since BGA type and LGA type semiconductor devices use a wiring board, there is a problem that the cost is high.

【0012】本発明は前記した従来の課題および今後の
半導体装置の動向に対応できるフレームタイプのパッケ
ージ材を用いた樹脂封止型半導体装置を提供するもので
あり、底面側で基板実装できる半導体装置をフレーム体
を用いて構成することを目的とするものである。そして
従来のリードフレームに着目した発想から転換し、ビー
ム状のリードに加えて、外部電極となるランドをフレー
ム状で形成する点に主眼をおいたリードフレームとそれ
を用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法を提
供するものである。
The present invention provides a resin-encapsulated semiconductor device using a frame-type package material which can cope with the above-mentioned conventional problems and future trends in semiconductor devices. Using a frame body. In addition to the conventional lead frame concept, in addition to beam-shaped leads, lead frames and resin-encapsulated semiconductors that focus on forming lands that serve as external electrodes in a frame shape An apparatus and a method for manufacturing the same are provided.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために、本発明のリードフレームは、金属板よりなる
フレーム本体と、前記フレーム本体の領域内に配設され
て、表面に突出部を有した半導体素子搭載用のダイパッ
ド部と、先端部で前記ダイパッド部を支持し、他端部で
フレーム枠と接続した吊りリード部と、先端部表面に金
属細線が接続されるボンディングパッド部を有し、他端
部が前記フレーム枠と接続し、底面がランド電極となる
リード部と、前記リード部の先端部領域にその先端部が
配置され、他端部が前記フレーム枠と接続し、底面がラ
ンド電極となるランドリード部とよりなり、少なくとも
前記リード部のランド電極と前記ランドリード部のラン
ド電極とは直線状の2列を構成しているリードフレーム
である。
In order to solve the above-mentioned conventional problems, a lead frame according to the present invention is provided with a frame main body made of a metal plate, and is disposed in an area of the frame main body, and has a protrusion on a surface. A die pad portion for mounting a semiconductor element having a, a leading end portion supporting the die pad portion, a suspending lead portion connected to a frame at the other end portion, and a bonding pad portion to which a fine metal wire is connected to the tip end surface. Has, the other end is connected to the frame, the bottom portion is a lead portion serving as a land electrode, the tip is disposed in the tip region of the lead, the other end is connected to the frame, The bottom surface includes a land lead portion serving as a land electrode, and at least the land electrode of the lead portion and the land electrode of the land lead portion constitute a linear two-row lead frame.

【0014】また本発明のリードフレームは、金属板よ
りなるフレーム本体と、前記フレーム本体の領域内に配
設されて、表面に突出部を有した半導体素子搭載用のダ
イパッド部と、先端部で前記ダイパッド部を支持し、他
端部でフレーム枠と接続した吊りリード部と、先端部表
面に金属細線が接続されるボンディングパッド部を有
し、他端部が前記フレーム枠と接続し、底面がランド電
極となるリード部と、前記リード部の先端部領域にその
先端部が配置され、他端部が前記フレーム枠と接続し、
底面がランド電極となるランドリード部とよりなり、少
なくとも前記リード部の先端部と平行して前記ランドリ
ード部の先端部は前記リード部の前記先端部よりも前記
ダイパッド部側に延在し、前記リード部のランド電極と
前記ランドリード部のランド電極とは千鳥状の2列を構
成しているリードフレームである。
A lead frame according to the present invention comprises: a frame main body made of a metal plate; a die pad portion provided in a region of the frame main body and having a protruding portion on its surface for mounting a semiconductor element; A suspension lead portion supporting the die pad portion and connected to the frame at the other end; and a bonding pad portion to which a fine metal wire is connected at the tip end surface, the other end being connected to the frame, A lead portion serving as a land electrode, the tip portion is disposed in the tip portion region of the lead portion, the other end is connected to the frame,
The bottom surface comprises a land lead portion serving as a land electrode, and the tip portion of the land lead portion extends toward the die pad portion side from the tip portion of the lead portion at least in parallel with the tip portion of the lead portion, The land electrode of the lead portion and the land electrode of the land lead portion are a lead frame forming two rows in a staggered manner.

【0015】具体的には、ダイパッド部の突出部は、前
記ダイパッド部を構成する材料がプレス加工による半切
断状態で突出した突出部であり、前記ダイパッド部の底
面は前記突出部に対応した凹部が形成されているリード
フレームである。
Specifically, the projecting portion of the die pad portion is a projecting portion in which the material constituting the die pad portion projects in a half-cut state by press working, and the bottom surface of the die pad portion has a concave portion corresponding to the projecting portion. Is formed on the lead frame.

【0016】また、ダイパッド部の突出部は、前記ダイ
パッド部を構成する材料がハーフエッチ加工により突出
部を設けた部分以外が薄厚にエッチングされ、エッチン
グされない部分が残存して突出した突出部であり、前記
ダイパッド部の底面は平坦であるリードフレームであ
る。
The projecting portion of the die pad portion is a projecting portion in which the material constituting the die pad portion is thinly etched by a half-etching process except for the portion where the projecting portion is provided, and the unetched portion remains and projects. The bottom surface of the die pad portion is a flat lead frame.

【0017】また、ダイパッド部はその表面の突出部を
包囲する環状の溝を有しているリードフレームである。
The die pad is a lead frame having an annular groove surrounding the protruding portion on the surface.

【0018】また、ダイパッド部はその底面に環状の溝
を有しているリードフレームである。
The die pad is a lead frame having an annular groove on the bottom surface.

【0019】また、吊りリードは、その他端部のフレー
ム枠と接続した部分の近傍にダミーランド部を有してい
るリードフレームである。
The suspension lead is a lead frame having a dummy land portion near a portion connected to the frame at the other end.

【0020】また、リード部はその先端部表面にボンデ
ィングパッド部を有し、前記ボンディングパッド近傍に
溝部を有しているリードフレームである。
Further, the lead portion is a lead frame having a bonding pad portion on a front end surface thereof and a groove portion near the bonding pad.

【0021】また、ランドリード部はその先端部表面に
ボンディングパッド部を有し、前記ボンディングパッド
下部に下方に突出したランド部を有しているリードフレ
ームである。
Further, the land lead portion is a lead frame having a bonding pad portion on the front end surface thereof and a land portion projecting downward below the bonding pad.

【0022】本発明の樹脂封止型半導体装置は、表面に
突出部を有したダイパッド部と、前記ダイパッド部の前
記突出部上に搭載された半導体素子と、表面に溝部を有
し、底面が露出したリード部と、前記リード部の先端部
領域にその先端部が引き回しで配置され、その先端部の
底面が露出してランド電極を構成するランドリード部
と、前記半導体素子の電極パッドと前記ランドリード
部、前記リード部とを電気的に接続した金属細線と、前
記ダイパッド部の底面を除く領域、搭載された半導体素
子、ランドリード部の底面を除く領域、リード部の外部
側面と底面とを除く領域、および金属細線領域を封止し
た封止樹脂とよりなり、前記ダイパッド部の表面と前記
半導体素子の底面との間隙には前記封止樹脂の一部が介
在し、前記封止樹脂よりなるパッケージ部底面より露出
したランドリード部の底面と、リード部の外部側面と底
面とは外部電極を構成するランド電極を構成しており、
少なくとも前記リード部の底面とその先端部領域に配置
されたランドリード部の先端部底面とは直線状の2列を
構成して露出するとともに、前記リード部の側端面が封
止樹脂側面から露出している樹脂封止型半導体装置であ
る。
The resin-encapsulated semiconductor device of the present invention has a die pad having a projection on the surface, a semiconductor element mounted on the projection of the die pad, a groove on the surface, and a bottom. An exposed lead portion, a tip portion of the lead portion is arranged in a leading end region of the lead portion by wiring, and a bottom portion of the tip portion is exposed to form a land electrode, a land lead portion, and an electrode pad of the semiconductor element. A land lead portion, a thin metal wire electrically connected to the lead portion, a region excluding the bottom surface of the die pad portion, a mounted semiconductor element, a region excluding the bottom surface of the land lead portion, an external side surface and a bottom surface of the lead portion; And a sealing resin sealing the thin metal wire region, and a part of the sealing resin is interposed in a gap between the surface of the die pad portion and the bottom surface of the semiconductor element. Yo The bottom surface of the land lead portion exposed from the package bottom face comprising constitutes a land electrode constituting the external electrodes and the external side surface and the bottom surface of the lead portion,
At least the bottom surface of the lead portion and the bottom surface of the tip portion of the land lead portion arranged in the tip portion region are exposed in two linear rows, and the side end surface of the lead portion is exposed from the sealing resin side surface. This is a resin-encapsulated semiconductor device.

【0023】また、表面に突出部を有したダイパッド部
と、前記ダイパッド部の前記突出部上に搭載された半導
体素子と、表面に溝部を有し、底面が露出したリード部
と、前記リード部の先端部領域にその先端部が引き回し
で配置され、その先端部の底面が露出してランド電極を
構成するランドリード部と、前記半導体素子の電極パッ
ドと前記ランドリード部、前記リード部とを電気的に接
続した金属細線と、前記ダイパッド部の底面を除く領
域、搭載された半導体素子、ランドリード部の底面を除
く領域、リード部の外部側面と底面とを除く領域、およ
び金属細線領域を封止した封止樹脂とよりなり、前記ダ
イパッド部の表面と前記半導体素子の底面との間隙には
前記封止樹脂の一部が介在し、前記封止樹脂よりなるパ
ッケージ部底面より露出したランドリード部の底面と、
リード部の外部側面と底面とは外部電極を構成するラン
ド電極を構成しており、少なくとも前記リード部の底面
とその先端部領域に配置されたランドリード部の先端部
底面とは千鳥状の2列を構成して露出するとともに、前
記リード部の側端面が封止樹脂側面から露出している樹
脂封止型半導体装置である。
A die pad having a projection on the surface; a semiconductor element mounted on the projection of the die pad; a lead having a groove on the surface and having an exposed bottom surface; The tip of the semiconductor device is arranged in a leading region in a leading region, and the bottom of the tip is exposed to form a land electrode; a land lead portion; an electrode pad of the semiconductor element; the land lead portion; and the lead portion. Electrically connected thin metal wires, a region excluding the bottom surface of the die pad portion, a mounted semiconductor element, a region excluding the bottom surface of the land lead portion, a region excluding the outer side surface and the bottom surface of the lead portion, and a thin metal wire region. A part of the sealing resin is interposed in a gap between a surface of the die pad portion and a bottom surface of the semiconductor element, and a gap between the surface of the package portion made of the sealing resin. And the bottom surface of the land the lead part that has issued,
The outer side surface and the bottom surface of the lead portion constitute a land electrode constituting an external electrode, and at least the bottom surface of the lead portion and the bottom surface of the tip portion of the land lead portion disposed in the tip region are staggered. A resin-encapsulated semiconductor device in which rows are formed and exposed, and side end surfaces of the lead portions are exposed from a sealing resin side surface.

【0024】具体的には、ダイパッド部はその表面の突
出部を包囲する環状の溝を有している樹脂封止型半導体
装置である。
Specifically, the die pad portion is a resin-sealed semiconductor device having an annular groove surrounding a protruding portion on the surface.

【0025】また、ダイパッド部はその底面に環状の溝
を有している樹脂封止型半導体装置である。
The die pad portion is a resin-sealed semiconductor device having an annular groove on the bottom surface.

【0026】また、封止樹脂よりなるパッケージ部底面
にはダミーランド部が露出して設けられている樹脂封止
型半導体装置である。
Further, the present invention is a resin-sealed semiconductor device in which a dummy land portion is provided on the bottom surface of a package portion made of a sealing resin so as to be exposed.

【0027】本発明の樹脂封止型半導体装置の製造方法
は、表面に突出部と、前記突出部を包囲する環状の溝部
と、底面に環状の溝部を有した半導体素子搭載用のダイ
パッド部と、先端部で前記ダイパッド部を支持し、他端
部でフレーム枠と接続した吊りリード部と、先端部底面
がランド電極となり、表面に溝部が設けられ、他端部が
前記フレーム枠と接続したリード部と、先端部が前記リ
ード部の先端部付近に配置され、他端部が前記フレーム
枠と接続したランドリード部とよりなり、前記リード部
の先端部と前記ランドリード部の先端部とが直線状の2
列配置を構成しているリードフレームを用意する工程
と、前記用意したリードフレームの前記ダイパッド部の
突出部上に半導体素子を搭載する工程と、前記ダイパッ
ド部上に搭載した前記半導体素子の主面上の電極パッド
と、前記リードフレームのランドリード部、前記リード
部の各上面とを金属細線により接続する工程と、前記リ
ードフレームの裏面側の少なくともダイパッド部、ラン
ドリード部、リード部の各底面に密着するように接着力
を有する封止シートを貼付する工程と、前記封止シート
を貼付した状態で少なくとも前記ランドリード部、リー
ド部を前記封止シートに押圧した状態で、前記リードフ
レームの上面側として前記半導体素子、ダイパッド部、
金属細線の領域を樹脂封止するとともに、少なくとも前
記ダイパッド部、ランドリード部、リード部の底面部分
を除いて樹脂封止する工程と、樹脂封止後に前記封止シ
ートを前記リードフレームより除去し、前記リードフレ
ームの吊りリード部、ランドリード部、リード部のフレ
ーム枠と接続した部分を実質的にそれらの端部が樹脂封
止したパッケージの側面と同一面に配列するように切断
し、前記パッケージ底面に前記ランドリード部、リード
部の底面によるランド電極を露出させ、かつ前記リード
部の側端部を外部電極として前記パッケージ側面に露出
させた樹脂封止型半導体装置を形成する工程とよりなる
樹脂封止型半導体装置の製造方法である。
According to a method of manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, there is provided a semiconductor device mounting die pad having a protrusion on the surface, an annular groove surrounding the protrusion, and an annular groove on the bottom surface. A suspension lead portion supporting the die pad portion at the distal end portion and connected to the frame frame at the other end portion, the bottom surface of the distal end portion became a land electrode, a groove was provided on the surface, and the other end portion was connected to the frame frame. The lead portion, the tip portion is disposed near the tip portion of the lead portion, the other end portion comprises a land lead portion connected to the frame, the tip portion of the lead portion and the tip portion of the land lead portion. Is a straight line 2
A step of preparing a lead frame constituting a column arrangement; a step of mounting a semiconductor element on a protrusion of the die pad portion of the prepared lead frame; and a main surface of the semiconductor element mounted on the die pad section Connecting the upper electrode pads to the land lead portions of the lead frame and the respective upper surfaces of the lead portions by thin metal wires; and forming at least a die pad portion, a land lead portion, and a bottom surface of the lead portion on the back surface side of the lead frame. A step of attaching a sealing sheet having an adhesive force so as to be in close contact with, and at least the land lead portion in a state where the sealing sheet is attached, in a state where the lead portion is pressed against the sealing sheet, The semiconductor element as an upper surface side, a die pad portion,
A step of sealing the area of the thin metal wire with a resin, and at least excluding the die pad portion, the land lead portion, and the bottom portion of the lead portion with a resin, and removing the sealing sheet from the lead frame after the resin sealing. The suspension lead portion of the lead frame, the land lead portion, and the portion of the lead portion connected to the frame are cut so that their ends are substantially flush with the side surfaces of the package sealed with resin. Forming the land lead portion on the package bottom surface, a land electrode formed by the bottom surface of the lead portion, and forming a resin-encapsulated semiconductor device having the side end of the lead portion exposed to the side surface of the package as an external electrode. This is a method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device.

【0028】また、表面に突出部と、前記突出部を包囲
する環状の溝部と、底面に環状の溝部を有した半導体素
子搭載用のダイパッド部と、先端部で前記ダイパッド部
を支持し、他端部でフレーム枠と接続した吊りリード部
と、先端部底面がランド電極となり、表面に溝部が設け
られ、他端部が前記フレーム枠と接続したリード部と、
先端部が前記リード部の先端部付近に配置され、他端部
が前記フレーム枠と接続したランドリード部とよりな
り、前記リード部の先端部と前記ランドリード部の先端
部とが千鳥状の2列配置を構成しているリードフレーム
を用意する工程と、前記用意したリードフレームの前記
ダイパッド部の突出部上に半導体素子を搭載する工程
と、前記ダイパッド部上に搭載した前記半導体素子の主
面上の電極パッドと、前記リードフレームのランドリー
ド部、前記リード部の各上面とを金属細線により接続す
る工程と、前記リードフレームの裏面側の少なくともダ
イパッド部、ランドリード部、リード部の各底面に密着
するように接着力を有する封止シートを貼付する工程
と、前記封止シートを貼付した状態で少なくとも前記ラ
ンドリード部、リード部を前記封止シートに押圧した状
態で、前記リードフレームの上面側として前記半導体素
子、ダイパッド部、金属細線の領域を樹脂封止するとと
もに、少なくとも前記ダイパッド部、ランドリード部、
リード部の底面部分を除いて樹脂封止する工程と、樹脂
封止後に前記封止シートを前記リードフレームより除去
し、前記リードフレームの吊りリード部、ランドリード
部、リード部のフレーム枠と接続した部分を実質的にそ
れらの端部が樹脂封止したパッケージの側面と同一面に
配列するように切断し、前記パッケージ底面に前記ラン
ドリード部、リード部の底面によるランド電極を露出さ
せ、かつ前記リード部の側端部を外部電極として前記パ
ッケージ側面に露出させた樹脂封止型半導体装置を形成
する工程とよりなる樹脂封止型半導体装置の製造方法で
ある。
Also, a die pad for mounting a semiconductor element having a protruding portion on the surface, an annular groove surrounding the protruding portion, an annular groove on the bottom surface, and a tip portion supporting the die pad portion. A suspension lead portion connected to the frame at the end, a bottom portion serving as a land electrode, a groove provided on the surface, and a lead connected to the frame at the other end;
The tip is disposed near the tip of the lead, and the other end is a land lead connected to the frame. The tip of the lead and the tip of the land lead are staggered. A step of preparing a lead frame forming a two-row arrangement; a step of mounting a semiconductor element on the projecting portion of the die pad portion of the prepared lead frame; and a step of mounting the semiconductor element on the die pad section. Connecting the electrode pads on the surface, the land lead portions of the lead frame, and the respective upper surfaces of the lead portions with thin metal wires; and forming at least a die pad portion, a land lead portion, and a lead portion on the back surface side of the lead frame. A step of attaching a sealing sheet having an adhesive force so as to be in close contact with the bottom surface, and at least the land lead portion and the lead portion in a state where the sealing sheet is attached. Wherein in a state of pressing the sealing sheet, the semiconductor element as an upper surface side of the leadframe, the die pad, with the region of the metal thin wire for resin sealing, at least the die pad, the land leads,
Removing the sealing sheet from the lead frame after sealing the resin except for the bottom surface portion of the lead portion, and connecting to the suspension lead portion, the land lead portion, and the frame frame of the lead portion of the lead frame. Cut the portion so that their ends are substantially aligned with the side surface of the package sealed with resin, the land lead portion on the bottom surface of the package, the land electrode by the bottom surface of the lead portion is exposed, and Forming a resin-encapsulated semiconductor device having a side end of the lead portion exposed to the side surface of the package as an external electrode.

【0029】前記構成の通り、本発明のリードフレーム
は、樹脂封止型半導体装置を構成した際、その外部電極
となるランド電極をリード体として設けたものであり、
半導体素子を搭載し、金属細線で半導体素子と各リード
とを接続し、樹脂封止して樹脂封止型半導体装置を構成
した際、樹脂封止型半導体装置の底面、すなわちパッケ
ージ底面領域内には、ランドリード部のランド部の底面
が配置され、そのランド部の外側にはリード部の底面が
配置されて2列配置の外部端子を構成するものであり、
LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パッケージを構
成することができる。
As described above, in the lead frame of the present invention, when a resin-encapsulated semiconductor device is formed, a land electrode serving as an external electrode is provided as a lead body.
When the semiconductor element is mounted, the semiconductor element and each lead are connected by a thin metal wire, and the resin is sealed to form a resin-encapsulated semiconductor device, the bottom surface of the resin-encapsulated semiconductor device, that is, in the package bottom region, The bottom surface of the land portion of the land lead portion is disposed, and the bottom surface of the lead portion is disposed outside the land portion to form external terminals arranged in two rows.
An LGA (land grid array) type package can be configured.

【0030】また本発明のリードフレームを用いた樹脂
封止型半導体装置では、その底面部分に半導体素子と電
気的に接続したランド電極を直線状または千鳥状の2列
で配列することができる。その結果、面実装タイプの半
導体装置が得られ、従来のようなリード接合による実装
に比べて、基板実装の信頼性を向上させることができ
る。
Further, in the resin-encapsulated semiconductor device using the lead frame of the present invention, land electrodes electrically connected to the semiconductor element can be arranged in two linear or staggered rows on the bottom surface. As a result, a surface-mount type semiconductor device is obtained, and the reliability of board mounting can be improved as compared with the conventional mounting by lead bonding.

【0031】また本発明の樹脂封止型半導体装置は、従
来のBGAタイプの半導体装置のように、ランド電極を
設けた回路基板等の基板を用いるものでなく、リードフ
レームという金属板からなるフレーム本体からLGA型
の半導体装置を構成するものであり、量産性、コスト性
などの面においては、従来のBGAタイプの半導体装置
よりも有利となる。さらに本発明の樹脂封止型半導体装
置では、列構成のランド電極において外側のランド電極
は、リード部よりなるものであり、その外側部分の側端
はパッケージ部分より露出しているので、その外部側面
に対して、ハンダ等の接合剤を設けることによりフィレ
ットが形成され、底面+側面の2点接合構造となり、実
装基板との接続の実装強度を向上させ、接続の信頼性を
向上させることができる。
The resin-encapsulated semiconductor device of the present invention does not use a substrate such as a circuit board provided with land electrodes as in a conventional BGA type semiconductor device, but uses a frame formed of a metal plate called a lead frame. The main body constitutes an LGA type semiconductor device, which is more advantageous than a conventional BGA type semiconductor device in terms of mass productivity and cost. Furthermore, in the resin-encapsulated semiconductor device of the present invention, the outer land electrode in the row-structured land electrode is formed of a lead portion, and the side end of the outer portion is exposed from the package portion. A fillet is formed by providing a bonding agent such as solder to the side surface, and a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface is provided, thereby improving the mounting strength of the connection with the mounting board and improving the reliability of the connection. it can.

【0032】[0032]

【発明の実施の形態】以下、本発明のリードフレームと
それを用いた樹脂封止型半導体装置およびその製造方法
の一実施形態について図面を参照しながら説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A lead frame, a resin-sealed semiconductor device using the same and a method for manufacturing the same according to the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0033】まず本実施形態のリードフレームについて
説明する。
First, the lead frame of this embodiment will be described.

【0034】図1は本実施形態のリードフレームを示す
平面図である。図2は本実施形態のリードフレームのリ
ード部分を示す拡大図であり、図1における円内部分の
拡大図として、図2(a)は平面図であり、図2(b)
は図2(a)のA−A1、B−B1箇所の断面図であ
る。なお、図1において、二点鎖線で示した領域は、本
実施形態のリードフレームを用いて半導体素子を搭載
し、樹脂封止する際の封止領域を示している。
FIG. 1 is a plan view showing a lead frame according to the present embodiment. FIG. 2 is an enlarged view showing a lead portion of the lead frame of the present embodiment, and FIG. 2 (a) is a plan view and FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along AA1 and BB1 in FIG. In FIG. 1, a region indicated by a two-dot chain line indicates a sealing region when a semiconductor element is mounted using the lead frame of the present embodiment and sealed with a resin.

【0035】図1,図2に示すように本実施形態のリー
ドフレームは、銅材または、42−アロイ等の通常のリ
ードフレームに用いられている金属板よりなり、その金
属板の開口領域の略中央部に配置され、半導体素子を搭
載し、その半導体素子よりも面積的に小型のダイパッド
部1と、末端でフレーム枠2と接続し、先端部でダイパ
ッド部1の四隅を支持する吊りリード部3と、その先端
部がダイパッド部1に対向して延在し、末端部がフレー
ム枠2と接続して配置され、屈曲部を有するランドリー
ド部4と直線状のリード部5とよりなるリードフレーム
であり、ランドリード部4とリード部5はそれぞれその
底面で外部端子(ランド部)を構成するものであり、リ
ード部5はその底面に加えて外方側面でも外部端子とし
て実装基板と接続できるものである。
As shown in FIGS. 1 and 2, the lead frame of this embodiment is made of a copper plate or a metal plate such as a 42-alloy used for a normal lead frame. A semiconductor device is mounted at a substantially central portion, a die pad 1 having a smaller area than the semiconductor device, a suspension lead connected to the frame 2 at the end, and a support for four corners of the die pad 1 at the tip. And a land lead portion 4 having a bent portion and a linear lead portion 5 having a distal end portion extending opposite to the die pad portion 1 and having a distal end portion connected to the frame 2. In the lead frame, the land lead portions 4 and 5 constitute external terminals (land portions) on the bottom surfaces thereof, respectively. Connection It is kill things.

【0036】そして詳細には、ダイパッド部1にはその
表面の略中央部分に円形で70[μm]の突出量の突出
部6が設けられ、その突出部6は、ダイパッド部1を構
成している平板に対してプレス加工により半切断状態
(プレスによる打ち抜きを途中で停止させた状態)のプ
レスを施し、上方に突出させたものである。この突出部
6が実質的に半導体素子を支持する部分となり、半導体
素子を搭載した際、ダイパッド部1の突出部6を除く表
面と半導体素子裏面との間には間隙が形成されるよう構
成されている。またダイパッド部1の表面の突出部6を
包囲する領域には溝部7が設けられ、半導体素子を搭載
し、樹脂封止した際に封止樹脂がその溝部7に入り込む
ように設けられている。本実施形態では溝部7は円形の
環状の溝部7を設けたものである。
More specifically, the die pad portion 1 is provided with a circular protruding portion 6 having a protrusion amount of 70 [μm] at a substantially central portion of the surface thereof, and the protruding portion 6 constitutes the die pad portion 1. The flat plate is subjected to press in a half-cut state (a state in which punching by the press is stopped halfway) by press working, and is projected upward. The projecting portion 6 substantially serves as a portion for supporting the semiconductor element, and when the semiconductor element is mounted, a gap is formed between the surface of the die pad portion 1 excluding the projecting portion 6 and the back surface of the semiconductor element. ing. A groove 7 is provided in a region surrounding the protruding portion 6 on the surface of the die pad portion 1 so that a sealing resin enters the groove 7 when a semiconductor element is mounted and sealed with a resin. In this embodiment, the groove 7 has a circular annular groove 7.

【0037】この溝部7により、ダイパッド部1の突出
部6上に接着剤により半導体素子を搭載し、樹脂封止し
た際に封止樹脂がその溝部7に入り込むため、熱膨張に
よる応力でダイパッド部1の表面と封止樹脂との間に樹
脂剥離が発生しても、その剥離自体を溝部でトラップす
ることができ、樹脂剥離を止め、信頼性低下を防止する
ことができるものである。もちろん、溝部7の構成とし
ては、環状の構成以外、部分的に溝部を連結した構成や
仮想的に環状を構成する円形、矩形形状でもよく、その
数も2本以上の3本,4本、または1本でもよいが、ダ
イパッド部1の大きさと搭載する半導体素子の大きさに
より設定することができる。また本実施形態では図示し
ていないが、リードフレームのダイパッド部1の突出部
6にはさらに段差部を設け、その段差部に開口部、切り
込みを設けてもよく、その突出部の段差部上に半導体素
子を搭載し、リードと相互に電気的に接続し、外囲を樹
脂封止した際、設けた開口部を通じて封止樹脂がダイパ
ッド部内に充填され、またダイパッド部1上の半導体素
子の裏面の封止樹脂と接する面積も増大するので、封止
樹脂と半導体素子との密着性が向上し、製品の信頼性を
向上させることができる。
Since the semiconductor element is mounted on the protruding portion 6 of the die pad portion 1 with an adhesive by the groove portion 7 and the sealing resin enters the groove portion 7 when resin sealing is performed, the die pad portion is subjected to stress due to thermal expansion. Even if resin peeling occurs between the surface of 1 and the sealing resin, the peeling itself can be trapped in the groove portion, thereby preventing the resin peeling and preventing a decrease in reliability. Of course, as the configuration of the groove 7, other than the annular configuration, a configuration in which the grooves are partially connected or a circular or rectangular shape that virtually forms an annular shape may be used. Alternatively, it may be one, but it can be set according to the size of the die pad portion 1 and the size of the semiconductor element to be mounted. Although not shown in the present embodiment, the protrusion 6 of the die pad portion 1 of the lead frame may be further provided with a step, and the step may be provided with an opening or a notch. When the semiconductor element is mounted on the die pad and electrically connected to the leads and the outer periphery is sealed with a resin, the sealing resin is filled into the die pad part through the opening provided, and the semiconductor element on the die pad part 1 Since the area of the back surface in contact with the sealing resin is also increased, the adhesion between the sealing resin and the semiconductor element is improved, and the reliability of the product can be improved.

【0038】また、本実施形態のリードフレームのラン
ドリード部4とリード部5は、フレーム枠2と接続した
状態では交互配列の並列配置となっているが、ダイパッ
ド部1に対向する配置においては、ランドリード部4の
先端部がリード部5の先端部に引き回されて、それら先
端部どうしは同一直線上に配置されて2列を構成してい
るものである。この配置は、半導体素子を搭載し、樹脂
封止した際には、パッケージ底面に2列の外部端子が格
子状に配置されるようにしたものであり、ランドリード
部4の先端部底面とリード部5の底面とがパッケージ底
面に配置されるものである。そして特に図2に示すよう
に、ランドリード部4は、その先端部の底面部分に外部
端子となるランド部8が下方に突出して形成されてお
り、ランド部8を形成する部分以外はハーフエッチ加工
により厚みが薄く加工されボンディング領域を構成し、
ランド部8はリード部材本来の厚みを有するものであ
る。すなわちランドリード部4においてランド部8は下
方に突出した形状を有し、ランドリード部4自体は上面
が下面よりも広い面積を有している。なお図1では、ラ
ンドリード部4の先端部底面の破線で示した部分がラン
ド部8を示し、図2では格子状ハッチング領域がハーフ
エッチされている部分を示している。またリード部5は
同様に図2に示すように、その先端部の外周部分がハー
フエッチ加工により薄厚に加工され、先端部が幅広部9
を有し、その幅広部9の根本付近には溝部10が設けら
れている。図1,図2においてハッチングを付した部分
が溝部10である。本実施形態のリードフレームを用い
て半導体素子を搭載し、樹脂封止した際、リード部5自
体は底面と側面が露出される片面封止構成となるため、
従来のようなフルモールドパッケージのリード部とは異
なり、封止樹脂による応力、基板実装後の応力がリード
部に印加される場合がある。しかし、この溝部10によ
り、封止樹脂による応力、基板実装後の応力によりリー
ド部5自体に応力が印加されても、溝部10で応力を吸
収できるものであり、金属細線の接続部分の破壊を防止
し、実装後の製品の信頼性を維持できるものである。な
お、ここでランドリード部4のランド部8の表面領域、
リード部5の幅広部9は金属細線が接続されるボンディ
ングパッドを構成するものである。
The land lead portions 4 and the lead portions 5 of the lead frame according to the present embodiment are arranged alternately in parallel when connected to the frame 2, but in the arrangement facing the die pad portion 1. The leading ends of the land lead portions 4 are routed around the leading end portions of the lead portions 5, and the leading end portions are arranged on the same straight line to form two rows. In this arrangement, when the semiconductor element is mounted and sealed with a resin, two rows of external terminals are arranged in a lattice on the bottom surface of the package. The bottom surface of the portion 5 is arranged on the package bottom surface. As shown in FIG. 2 in particular, the land lead portion 4 has a land portion 8 serving as an external terminal protruding downward at a bottom surface portion of the tip portion thereof. The thickness is reduced by processing to form a bonding area,
The land portion 8 has an original thickness of the lead member. That is, in the land lead portion 4, the land portion 8 has a shape protruding downward, and the land lead portion 4 itself has an area whose upper surface is wider than its lower surface. In FIG. 1, a portion indicated by a broken line on the bottom surface of the tip portion of the land lead portion 4 indicates the land portion 8, and FIG. 2 illustrates a portion where the grid-like hatched region is half-etched. Similarly, as shown in FIG. 2, the outer peripheral portion of the leading end of the lead portion 5 is thinned by half-etching, and the leading end is formed of a wide portion 9.
And a groove 10 is provided near the root of the wide portion 9. The hatched portions in FIGS. 1 and 2 are the grooves 10. When the semiconductor element is mounted using the lead frame of the present embodiment and sealed with resin, the lead portion 5 itself has a single-sided sealing configuration in which the bottom and side surfaces are exposed.
Unlike the conventional lead portion of a full-mold package, a stress due to the sealing resin and a stress after mounting the substrate may be applied to the lead portion. However, even if stress is applied to the lead portion 5 by the stress caused by the sealing resin and the stress after mounting the substrate, the groove portion 10 can absorb the stress in the groove portion 10, and the breakage of the connection portion of the thin metal wire can be prevented. It is possible to prevent and maintain the reliability of the product after mounting. Here, the surface area of the land portion 8 of the land lead portion 4,
The wide part 9 of the lead part 5 constitutes a bonding pad to which a thin metal wire is connected.

【0039】また、本実施形態のリードフレームのダイ
パッド部1の突出部6を包囲する領域に相当する底面に
は、矩形状の環状の溝部11を設けている。この溝部1
1により、封止樹脂との密着エリアの拡大とそれによる
密着力の向上が図れ、外部からの水分侵入をトラップさ
せ、製品として信頼性を向上できるものである。またダ
イパッド部1の底面にハンダ等の接合剤料を用いて基板
実装した際、ハンダの余分な広がりを防止し、実装精度
を向上させるとともに、半導体素子からの放熱作用によ
るダイパッド部1自体の応力を吸収できるものであり、
パッケージ内部からの応力の伝搬を遮断できるものであ
る。さらに樹脂封止時のダイパッド部1底面への封止樹
脂の回り込みによる樹脂バリの発生を防止できるもので
ある。また本実施形態では溝部11を1本設けている
が、その外周部にも環状の溝部を形成してもさらなる実
装精度向上を達成できる。さらに溝部11の形状も同様
に連続した環状の溝形状以外、仮想的な円形、矩形の環
状の溝でもよい。
A rectangular annular groove 11 is provided on the bottom surface corresponding to the area surrounding the protrusion 6 of the die pad 1 of the lead frame of the present embodiment. This groove 1
By the method (1), the area of contact with the sealing resin can be increased and the contact strength can be improved, trapping moisture from the outside, and improving the reliability as a product. Further, when the substrate is mounted on the bottom surface of the die pad portion 1 using a bonding agent such as solder, the spread of the solder is prevented, the mounting accuracy is improved, and the stress of the die pad portion 1 itself due to the heat radiation from the semiconductor element is reduced. Can be absorbed,
It can interrupt the propagation of stress from inside the package. Further, it is possible to prevent the occurrence of resin burrs due to the encapsulation resin wrapping around the bottom surface of the die pad portion 1 during resin encapsulation. In this embodiment, one groove 11 is provided. However, even if an annular groove is formed on the outer peripheral portion, further improvement in mounting accuracy can be achieved. Further, the shape of the groove 11 may be a virtual circular or rectangular annular groove other than the continuous annular groove shape.

【0040】さらに、本実施形態では吊りリード部3は
2箇所の屈曲部として、第1の屈曲部12、第2の屈曲
部13(ディプレス部)を有し、第1の屈曲部12によ
り吊りリード部3の中間領域部分を上方に配置し、そし
て第2の屈曲部13により吊りリード部3のダミーラン
ド部14は元の高さ位置を維持されるため、ダミーラン
ド部14はダイパッド部1の底面、ランドリード部4の
ランド部8の底面、リード部5の底面と同じ面に配置さ
れる。その結果、樹脂封止した際には、パッケージ底面
の四隅にダミーランド部14を配置できるものである。
また、吊りリード部3の中間領域部分を他のダイパッド
部1の底面、ランドリード部4のランド部8の底面、リ
ード部5の底面よりも上方に配置するのは、信頼性を考
慮して樹脂封止した際にその封止樹脂中にその上方に配
置した吊りリード部3を封止するためである。
Further, in the present embodiment, the suspension lead portion 3 has a first bent portion 12 and a second bent portion 13 (depressed portion) as two bent portions. The intermediate land portion of the suspension lead portion 3 is arranged upward, and the dummy land portion 14 of the suspension lead portion 3 is maintained at the original height position by the second bent portion 13. 1, the bottom of the land 8 of the land lead 4, and the bottom of the lead 5. As a result, the dummy land portions 14 can be arranged at the four corners of the package bottom when the resin is sealed.
The reason why the intermediate region of the suspension lead portion 3 is arranged above the bottom surface of the other die pad portion 1, the bottom surface of the land portion 8 of the land lead portion 4, and the bottom surface of the lead portion 5 in consideration of reliability. This is because when the resin is sealed, the suspension lead portion 3 disposed above the sealing resin is sealed in the sealing resin.

【0041】本実施形態のリードフレームにおける各溝
部7,10,11の寸法は、50[μm]〜150[μ
m]の幅であり、好ましくは100[μm]であり、ま
た50[μm]〜150[μm]の深さ(段差)であ
り、好ましくは100[μm]である。
The dimensions of the grooves 7, 10, 11 in the lead frame of the present embodiment are 50 [μm] to 150 [μm].
m], preferably 100 [μm], and a depth (step) of 50 [μm] to 150 [μm], preferably 100 [μm].

【0042】なお、ランドリード部4、リード部5の数
は、搭載する半導体素子のピン数などにより、その数を
適宜設定できるものである。また本実施形態のリードフ
レームはその表面がメッキ処理されたものであり、必要
に応じて例えば、ニッケル(Ni),パラジウム(P
d)および金(Au)などの金属が積層されて適宜メッ
キされているものである。また本実施形態のリードフレ
ームは図1に示したようなパターンが1つよりなるもの
ではなく、左右・上下に連続して形成できるものであ
る。
The number of land lead portions 4 and lead portions 5 can be set as appropriate according to the number of pins of the semiconductor element to be mounted. The lead frame of the present embodiment has a plated surface, and for example, nickel (Ni), palladium (P
d) and a metal such as gold (Au) are laminated and plated appropriately. Further, the lead frame of the present embodiment does not consist of one pattern as shown in FIG. 1, but can be formed continuously in the left, right, up and down directions.

【0043】次に本実施形態のリードフレームのダイパ
ッド部1については、図3,図4に示すような構成でも
よい。図3はダイパッド部を示す図であり、図3(a)
は平面図、図3(b)は側面図、同様に図4(a)は平
面図、図4(b)は側面図であり、突出部の構成を示す
便宜上、断面図ではなく側面図で示している。
Next, the die pad portion 1 of the lead frame of the present embodiment may have a configuration as shown in FIGS. FIG. 3 is a view showing a die pad portion, and FIG.
4B is a plan view, FIG. 3B is a side view, and FIG. 4A is a plan view, and FIG. 4B is a side view. In FIG. Is shown.

【0044】図3,図4に示すように、ダイパッド部1
の突出部6は、前記したように半切断状態で金属板自体
から突出させた構成とは異なり、ダイパッド部1の底面
自体は平坦である。これはダイパッド部1に対してハー
フエッチング処理を施し、突出部6を形成する部分以外
の厚みを薄くするためにエッチングしたものであり、エ
ッチングされない残存部分が突出部6を構成するもので
ある。そして図3では突出部6の形状を円柱状に構成
し、図4では突出部6の形状をX状に構成している。い
ずれの構成にしても、ダイパッド部1の突出部6に半導
体素子を搭載した際、半導体素子の底面とダイパッド部
1の突出部6以外の領域には間隙が形成され、樹脂封止
した場合、ダイパッド部表面と半導体素子裏面との間に
封止樹脂が介在することになり、樹脂封止型半導体装置
として信頼性が向上するものである。特に図4に示した
X状の突出部6では、封止樹脂が半導体素子の裏面によ
り多くの面積で接触させることができるため、樹脂封止
型半導体装置として信頼性が向上するものである。ま
た、図3,図4に示した構成では、図1に示した半切断
の突出部の構成とは異なり、ハーフエッチングによる突
出部6の構成であるため、ダイパッド部1の底面と突出
部6の上面との間の厚みが薄くなり、薄型の樹脂封止型
半導体装置を構成するのに適したダイパッド部を実現で
きる。なお、突出部6の形状は、円柱状、X状以外に
も、封止樹脂の熱応力の影響等を考慮し、製品としての
信頼性を維持できるものであれば他の形状でもよい。
As shown in FIGS. 3 and 4, the die pad 1
Is different from the configuration in which the protruding portion 6 protrudes from the metal plate itself in a semi-cut state as described above, and the bottom surface itself of the die pad portion 1 is flat. In this case, half-etching is performed on the die pad portion 1 so as to reduce the thickness of the portion other than the portion where the protrusion 6 is formed, and the remaining portion that is not etched constitutes the protrusion 6. In FIG. 3, the shape of the protrusion 6 is cylindrical, and in FIG. 4, the shape of the protrusion 6 is X. In any case, when the semiconductor element is mounted on the protrusion 6 of the die pad 1, a gap is formed between the bottom surface of the semiconductor element and a region other than the protrusion 6 of the die pad 1. Since the sealing resin is interposed between the surface of the die pad portion and the back surface of the semiconductor element, the reliability of the resin-sealed semiconductor device is improved. In particular, in the X-shaped protrusion 6 shown in FIG. 4, the sealing resin can be brought into contact with the back surface of the semiconductor element in a larger area, thereby improving the reliability as a resin-sealed semiconductor device. In addition, the configuration shown in FIGS. 3 and 4 is different from the configuration of the half-cut protruding portion shown in FIG. The thickness between the semiconductor device and the upper surface of the semiconductor device is reduced, and a die pad portion suitable for forming a thin resin-encapsulated semiconductor device can be realized. The shape of the protruding portion 6 may be any shape other than the columnar shape and the X shape as long as it can maintain the reliability as a product in consideration of the influence of the thermal stress of the sealing resin and the like.

【0045】本実施形態のリードフレームにより、半導
体素子を搭載し、金属細線で半導体素子と各リードとを
接続し、樹脂封止して樹脂封止型半導体装置を構成した
際、樹脂封止型半導体装置の底面、すなわちパッケージ
底面には、ランドリード部4のランド部8の底面が配置
され、そのランド部8の外側にはリード部5の底面が配
置されて直線状の2列配置の外部端子を構成するもので
あり、LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パッケー
ジを構成することができる。そして本実施形態のリード
フレームを用いて樹脂封止型半導体装置を構成すること
により、パッケージ底面の四隅にはダミーランド部14
を配置できるため、パッケージしての基板実装時の熱応
力による影響を防止することができる。またダイパッド
部1の表面には溝部7が設けられており、樹脂封止後の
樹脂剥離が起こっても、その剥離を溝部7でトラップで
きるため、樹脂封止型半導体装置として信頼性を維持で
きるものである。その他、放熱特性の向上、基板実装時
のハンダ接合の精度向上、大きい面積の半導体素子を搭
載できるなどの利点もある。
When the semiconductor device is mounted on the lead frame of this embodiment, the semiconductor device and each lead are connected by a thin metal wire, and the semiconductor device is sealed with a resin to form a resin-sealed semiconductor device. The bottom surface of the land portion 8 of the land lead portion 4 is disposed on the bottom surface of the semiconductor device, that is, the package bottom surface, and the bottom surface of the lead portion 5 is disposed outside the land portion 8 to form a linear two-row external arrangement. It constitutes a terminal and can constitute an LGA (land grid array) type package. By forming the resin-encapsulated semiconductor device using the lead frame of the present embodiment, the dummy land portions 14 are formed at the four corners of the package bottom surface.
Can be disposed, so that it is possible to prevent the influence of thermal stress when the package is mounted on the substrate. In addition, a groove 7 is provided on the surface of the die pad portion 1 so that even if resin peeling occurs after resin sealing, the peeling can be trapped in the groove 7, so that the reliability as a resin-sealed semiconductor device can be maintained. Things. In addition, there are other advantages such as improvement of heat radiation characteristics, improvement of accuracy of solder bonding at the time of mounting on a substrate, and mounting of a semiconductor element having a large area.

【0046】次に本発明の樹脂封止型半導体装置につい
て図面を参照しながら説明する。図5は本実施形態に係
る樹脂封止型半導体装置を示す平面図であり、図6は本
実施形態に係る樹脂封止型半導体装置を示す底面図であ
り、図7は本実施形態に係る樹脂封止型半導体装置を示
す断面図である。図7の断面図は、図5におけるC−C
1箇所、図6におけるD−D1箇所の断面を示す。また
本実施形態では図1,図2に示したリードフレームを例
として用いた樹脂封止型半導体装置である。
Next, the resin-sealed semiconductor device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 5 is a plan view showing the resin-sealed semiconductor device according to the present embodiment, FIG. 6 is a bottom view showing the resin-sealed semiconductor device according to the present embodiment, and FIG. It is sectional drawing which shows a resin-sealed type semiconductor device. The cross-sectional view of FIG.
7 shows a cross section at one location, DD1 location in FIG. The present embodiment is a resin-sealed semiconductor device using the lead frame shown in FIGS. 1 and 2 as an example.

【0047】図5,図6および図7に示すように、本実
施形態の樹脂封止型半導体装置は、表面に突出部6と、
その突出部6を包囲する円形または矩形またはそれらの
組み合わせの環状の溝部7と、底面に環状の溝部11を
有したダイパッド部1と、そのダイパッド部1の突出部
6上に銀ペースト等の導電性接着剤(図示せず)を介し
て搭載された半導体素子15と、表面に溝部10を有
し、底面が露出したリード部5と、リード部5の先端部
領域にその先端部が引き回しで配置され、その先端部の
底面が露出してランド電極を構成するランドリード部4
と、半導体素子15の主面の電極パッド(図示せず)と
ランドリード部4、リード部5のボンディングパッド部
16とを電気的に接続した金属細線17と、ダイパッド
部1の底面を除く領域、搭載された半導体素子15、ラ
ンドリード部4の底面を除く領域、リード部5の外部側
面と底面とを除く領域、および金属細線17を封止した
封止樹脂18とよりなるものである。そして封止樹脂1
8よりなるパッケージ部より露出したランドリード部4
の底面と、リード部5の外部側面と底面とは、プリント
基板等の実装基板への実装の際、外部電極を構成するラ
ンド電極19を構成しており、リード部5の底面とその
先端部領域のランドリード部4の先端部底面とが露出し
て、平面配置上、直線状の2列ランド構成を有している
ものである。そしてランド電極19は封止樹脂より露出
しているが、20[μm]程度の段差を有して突出して
露出しているものであり、基板実装時のスタンドオフを
有しているものである。同様にダイパッド部1の底面も
突出して露出しているものであり、基板実装時はハンダ
接合により放熱効率を向上させることができる。また封
止樹脂18よりなるパッケージ部の底面の各コーナー部
近傍であって、パッケージ底面の各辺のランド電極19
群間には、ダミーランド部14が同様に突出して露出し
ている。さらに、ダイパッド部1の底面には、凹部20
が形成されており、これは突出部6をプレス加工による
半切断状態で形成しているため、その突出量分の凹部が
形成されているものである。本実施形態では、200
[μm]の金属板よりなるダイパッド部1(リードフレ
ーム厚)の厚みに対して、140[μm]〜180[μ
m](金属板自体の厚みの70[%]〜90[%])突
出した突出部6を形成している。
As shown in FIGS. 5, 6, and 7, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has a protrusion 6 on the surface thereof,
An annular groove 7 of a circular or rectangular shape or a combination thereof surrounding the projecting portion 6, a die pad portion 1 having an annular groove portion 11 on the bottom surface, and a conductive material such as a silver paste on the projecting portion 6 of the die pad portion 1. A semiconductor element 15 mounted via a conductive adhesive (not shown), a lead portion 5 having a groove 10 on the surface and having an exposed bottom surface, and a leading end portion of the lead portion 5 extending around the leading end region. A land lead portion 4 which is disposed and has a bottom end exposed to form a land electrode.
A thin metal wire 17 electrically connecting an electrode pad (not shown) on the main surface of the semiconductor element 15 with the bonding pad portion 16 of the land lead portion 4 and the lead portion 5; The semiconductor device 15 includes a region other than the bottom surface of the land lead portion 4, a region other than the outer side surface and the bottom surface of the lead portion 5, and a sealing resin 18 that seals the thin metal wire 17. And sealing resin 1
Land lead portion 4 exposed from package portion 8
And the outer side surface and the bottom surface of the lead portion 5 constitute a land electrode 19 constituting an external electrode when mounted on a mounting board such as a printed circuit board. The bottom surface of the land lead portion 4 in the region is exposed and has a linear two-row land configuration in plan view. The land electrode 19 is exposed from the sealing resin, but is projected and exposed with a step of about 20 [μm], and has a stand-off at the time of mounting the substrate. . Similarly, the bottom surface of the die pad portion 1 is also protruded and exposed, and when mounted on a substrate, the heat radiation efficiency can be improved by solder bonding. The land electrodes 19 on each side of the bottom surface of the package near the corners of the bottom surface of the package portion made of the sealing resin 18.
Between the groups, the dummy land portions 14 are similarly projected and exposed. Further, a concave portion 20 is provided on the bottom surface of the die pad portion 1.
Since the protrusion 6 is formed in a half-cut state by press working, a recess corresponding to the amount of protrusion is formed. In the present embodiment, 200
140 [μm] to 180 [μm] with respect to the thickness of the die pad part 1 (lead frame thickness) made of a metal plate of [μm].
m] (70 [%] to 90 [%] of the thickness of the metal plate itself).

【0048】また、ランドリード部4、リード部5にお
けるボンデイングパッド部16の面積は、100[μ
m]以上のワイヤーボンドができる大きさであればよ
く、高密度な電極配列が可能であり、小型・薄型の樹脂
封止型半導体装置を実現できるものである。さらに本実
施形態の構造により、多ピン化に対応でき、高密度面実
装型の樹脂封止型半導体装置を実現できるものであり、
半導体装置自体の厚みとしても、1[mm]以下の80
0[μm]程度の極めて薄型の樹脂封止型半導体装置を
実現できるものである。
The area of the bonding pad portion 16 in the land lead portions 4 and 5 is 100 μm.
m] or more so that a wire bond of not less than [m] can be achieved, a high-density electrode arrangement is possible, and a small and thin resin-sealed semiconductor device can be realized. Furthermore, with the structure of the present embodiment, it is possible to cope with the increase in the number of pins and to realize a high-density surface-mount type resin-encapsulated semiconductor device.
The thickness of the semiconductor device itself is also 80
An extremely thin resin-encapsulated semiconductor device of about 0 [μm] can be realized.

【0049】また本実施形態の樹脂封止型半導体装置
は、封止樹脂18に封止されたランドリード部4の先端
部、リード部の先端部の上面の面積が、封止樹脂18か
ら露出、突出した側のランド電極18側の面積よりも大
きく構成されており、封止樹脂18との食いつきを良好
にし、密着性を向上させることができ、基板実装の際の
接続の信頼性を得ることができるものである。
In the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment, the area of the top of the land lead 4 and the top of the lead is sealed from the sealing resin 18. , And is configured to be larger than the area of the land electrode 18 on the protruding side, so that the bite with the sealing resin 18 can be improved, the adhesion can be improved, and the reliability of connection at the time of mounting the substrate can be obtained. Is what you can do.

【0050】以上のように、本実施形態の樹脂封止型半
導体装置は、パッケージ底面には、ランドリード部4の
ランド電極19の底面が配置され、そのランド電極19
の外側にはリード部5の底面であるランド電極19が配
置されて直線状の2列配置の外部端子を構成するもので
あり、LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パッケー
ジを構成することができる。また、パッケージ底面の四
隅にはダミーランド部14を配置できるため、実装基板
に対してランド電極19の実装(接合)とこのダミーラ
ンド部の接合により、パッケージしての基板実装時の熱
応力による影響を防止することができる。またダイパッ
ド部1の表面には溝部7が設けられており、半導体素子
15の裏面とダイパッド部1表面との間で封止樹脂18
の樹脂剥離が起こっても、その剥離を溝部7でトラップ
できるため、樹脂封止型半導体装置として信頼性を維持
できるものである。その他、放熱特性の向上、基板実装
時のハンダ接合の精度向上、大きい面積の半導体素子を
搭載できるなどの利点もある。
As described above, in the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, the bottom surface of the land electrode 19 of the land lead portion 4 is disposed on the bottom surface of the package.
Land electrodes 19, which are the bottom surfaces of the lead portions 5, are arranged outside to form external terminals arranged in two rows in a straight line, so that an LGA (land grid array) type package can be formed. . In addition, since the dummy lands 14 can be arranged at the four corners of the package bottom surface, the land electrodes 19 are mounted (joined) to the mounting board and the dummy lands are joined, so that the thermal stress at the time of mounting the board as a package is obtained. The effect can be prevented. A groove 7 is provided on the surface of the die pad 1, and a sealing resin 18 is provided between the back surface of the semiconductor element 15 and the surface of the die pad 1.
Even if the resin peels off, the peeling can be trapped in the groove 7, so that the reliability of the resin-encapsulated semiconductor device can be maintained. In addition, there are other advantages such as improvement of heat radiation characteristics, improvement of accuracy of solder bonding at the time of mounting on a substrate, and mounting of a semiconductor element having a large area.

【0051】また本実施形態の樹脂封止型半導体装置の
ダイパッド部1の突出部6を包囲する領域に相当する底
面には、矩形状の環状の溝部11を設けているが、この
溝部11により、ダイパッド部1の底面にハンダ等の接
合材料を用いて基板実装した際、ハンダの余分な広がり
を防止し、実装精度を向上させるとともに、半導体素子
からの放熱作用によるダイパッド部1自体の応力を吸収
できるものである。さらに製造時の樹脂封止工程におい
て、封止シートを用い、溝部11にその封止シートを食
い込ませて樹脂封止するため、ダイパッド部1底面への
封止樹脂の回り込みによる樹脂バリの発生を防止でき、
ダイパッド部1底面には樹脂バリの発生がない。
In the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment, a rectangular annular groove 11 is provided on the bottom surface corresponding to the area surrounding the protrusion 6 of the die pad 1. When the substrate is mounted on the bottom surface of the die pad portion 1 using a bonding material such as solder, the spread of the solder is prevented, the mounting accuracy is improved, and the stress of the die pad portion 1 itself due to the heat radiation action from the semiconductor element is reduced. It can be absorbed. Furthermore, in the resin sealing step at the time of manufacturing, since the sealing sheet is used and the sealing sheet is cut into the groove portion 11 to seal the resin, the generation of resin burrs due to the sealing resin wrapping around the bottom surface of the die pad portion 1 is reduced. Can be prevented,
There is no resin burr on the bottom surface of the die pad portion 1.

【0052】さらに本実施形態の樹脂封止型半導体装置
は、従来のように配線基板、回路基板を用いず、リード
フレームを用いたLGA型の樹脂封止型半導体装置にお
いて、基板実装の実装強度を向上させた樹脂封止型半導
体装置である。図8は図7に示した本実施形態の樹脂封
止型半導体装置の実装状態の一例を示す断面図である。
Further, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment is different from the conventional one in that the wiring strength of the substrate is not increased by using an LGA-type resin-encapsulated semiconductor device using a lead frame without using a wiring board and a circuit board. This is a resin-encapsulated semiconductor device with improved characteristics. FIG. 8 is a sectional view showing an example of a mounting state of the resin-sealed semiconductor device of the present embodiment shown in FIG.

【0053】図8に示すように、本実施形態の樹脂封止
型半導体装置は、パッケージ底面のランド電極19とプ
リント基板等の実装基板21とをハンダ等の接合剤22
により接続し、実装している。ここでランドリード部4
の底面のランド電極19はその底面部分のみが接合剤2
2と接触し、実装されているが、リード部5のランド電
極19はその底面部分が接合剤22と接触して実装され
ることに加えて、リード部5の外部側面が露出している
ことにより、接合剤22がそのリード部5の側面とも接
触して実装されており、接合剤のフィレットが形成され
ている。
As shown in FIG. 8, in the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, a land electrode 19 on the bottom surface of a package and a mounting board 21 such as a printed board are bonded to a bonding agent 22 such as solder.
Is connected and implemented. Here land lead part 4
Of the land electrode 19 on the bottom surface of the bonding agent 2
2, the bottom surface of the land electrode 19 of the lead 5 is in contact with the bonding agent 22, and the outer side surface of the lead 5 is exposed. As a result, the bonding agent 22 is mounted in contact with the side surface of the lead portion 5, and a fillet of the bonding agent is formed.

【0054】すなわち、通常はランド電極として、その
底面部分のみが接合剤を介して実装基板に接合されるも
のであるが、本実施形態では、列構成のランド電極にお
いて外側のランド電極は、リード部5よりなるものであ
り、その外側部分はパッケージ部分(封止樹脂18)よ
り露出しているので、その外部側面に対して、接合剤を
設けることにより、底面+側面の2点接合構造となり、
実装基板との接続の実装強度を向上させ、接続の信頼性
を向上させることができる。これは通常のリードフレー
ムLGA型半導体装置では達成できなかった実装構造で
あり、本実施形態では、ランド電極の構成をランド電
極、リード型ランド電極の2種類で2列構成としている
ため、パッケージの外側にも接続部分を設けることがで
き、底面+側面の2点接合構造により、接続の信頼性を
向上させることができる革新的な構造を有している。特
に最近は、携帯電話、小型通信機器などに搭載する基板
実装の際の信頼性向上が要求されているため、本実施形
態のランド電極の構造の効果は大きい。
That is, normally, only the bottom portion of the land electrode is bonded to the mounting substrate via the bonding agent. However, in the present embodiment, the outer land electrode in the row-structured land electrode is a lead electrode. Since the outer portion is exposed from the package portion (sealing resin 18), by providing a bonding agent to the outer side surface, a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface is obtained. ,
The mounting strength of the connection with the mounting board can be improved, and the reliability of the connection can be improved. This is a mounting structure that could not be achieved by a normal lead frame LGA type semiconductor device. In the present embodiment, the land electrode configuration is a two-row configuration of a land electrode and a lead type land electrode. A connection portion can be provided on the outside, and an innovative structure that can improve the reliability of connection by a two-point joint structure of the bottom surface and the side surface is provided. In particular, recently, there has been a demand for improved reliability when mounting on a substrate mounted on a mobile phone, a small communication device, or the like. Therefore, the effect of the land electrode structure of the present embodiment is significant.

【0055】次に本発明の樹脂封止型半導体装置の製造
方法の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図9〜図14は本実施形態の樹脂封止型半導体装置の製
造方法を示す工程ごとの断面図である。なお、本実施形
態では、図1に示したようなリードフレームを用いてL
GA型の樹脂封止型半導体装置を製造する形態を説明す
る。
Next, an embodiment of a method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device of the present invention will be described with reference to the drawings.
9 to 14 are cross-sectional views for each process showing the method for manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment. Note that, in the present embodiment, the lead frame as shown in FIG.
An embodiment of manufacturing a GA-type resin-sealed semiconductor device will be described.

【0056】まず図9に示すように、表面に突出部6
と、その突出部6を包囲する円形の環状の溝部7と、底
面に環状の溝部11と凹部20を有した半導体素子搭載
用のダイパッド部1と、先端部でそのダイパッド部1を
支持し、他端部でフレーム枠(図示せず)と接続し、フ
レーム枠の近傍にダミーランド部を有した吊りリード部
(図示せず)と、底面がランド電極となり、その先端部
表面に金属細線が接続される幅広のボンディングパッド
部16を有し、そのボンディングパッド部16の近傍に
溝部10が設けられ、規則性を有して配列され、他端部
がフレーム枠と接続したリード部5と、上面が下面より
も面積的に大きく、リード部5の先端部の同一直線上に
その先端部が配置されてリード部5とともに平面配列
上、2列の構成を形成し、他端部がフレーム枠と接続し
たランドリード部4とを有するリードフレームを用意す
る。
First, as shown in FIG.
And a circular annular groove 7 surrounding the protruding portion 6, a die pad portion 1 for mounting a semiconductor element having an annular groove portion 11 and a concave portion 20 on the bottom surface, and the die pad portion 1 is supported by a tip portion. The other end is connected to a frame (not shown), a suspension lead (not shown) having a dummy land in the vicinity of the frame, the bottom surface is a land electrode, and a thin metal wire is formed on the front end surface. A lead portion 5 having a wide bonding pad portion 16 to be connected, a groove portion 10 provided in the vicinity of the bonding pad portion 16 and arranged with regularity, and the other end portion connected to a frame; The upper surface is larger in area than the lower surface, and the distal end portion is arranged on the same straight line as the distal end portion of the lead portion 5 to form a two-row configuration in a planar arrangement together with the lead portion 5, and the other end portion has a frame frame. Land lead part 4 connected to Providing a lead frame having.

【0057】次に図10に示すように、用意したリード
フレームのダイパッド部1の突出部6上に銀ペースト等
の導電性接着剤を介して半導体素子15をその主面を上
にして接合する。
Next, as shown in FIG. 10, the semiconductor element 15 is bonded on the protruding portion 6 of the die pad portion 1 of the prepared lead frame via a conductive adhesive such as silver paste with the main surface thereof facing upward. .

【0058】次に図11に示すように、ダイパッド部1
上に接合により搭載した半導体素子15の主面上の電極
パッドと、リードフレームのランドリード部4、リード
部5の各上面のボンディングパッド部16とを金属細線
17により電気的に接続する。ここで金属細線17が接
続される各ボンディングパッド部の面積は100[μ
m]以上である。
Next, as shown in FIG.
The electrode pads on the main surface of the semiconductor element 15 mounted thereon by bonding are electrically connected to the bonding pad portions 16 on the upper surfaces of the land lead portions 4 and the lead portions 5 of the lead frame by thin metal wires 17. Here, the area of each bonding pad to which the thin metal wire 17 is connected is 100 [μ].
m] or more.

【0059】次に図12に示すように、リードフレーム
の裏面側、すなわちダイパッド部1の底面、ランドリー
ド部4、リード部5の各底面に密着するようにリードフ
レームの裏面側に封止テープまたは封止シート23を貼
付する。ここで使用する封止シートは、リードフレーム
に対して、接着力のある接着剤層が表面に薄く形成され
た封止シートを用いることにより、樹脂封止工程でのリ
ードフレームの裏面側への封止樹脂の回り込みを確実に
防止でき、その結果、ダイパッド部1、ランドリード部
4、リード部5の裏面への樹脂バリの付着を防止でき
る。そのため、樹脂封止後の樹脂バリ除去のためのウォ
ータージェット工程を省略することができる。
Next, as shown in FIG. 12, a sealing tape is provided on the back side of the lead frame, that is, on the back side of the lead frame so as to be in close contact with the bottom surface of the die pad portion 1, the bottom surfaces of the land lead portions 4 and the lead portions 5. Alternatively, the sealing sheet 23 is attached. The sealing sheet used here is formed on the back side of the lead frame in the resin sealing step by using a sealing sheet having an adhesive layer having an adhesive force formed thin on the surface with respect to the lead frame. It is possible to reliably prevent the encapsulation resin from flowing around, and as a result, it is possible to prevent resin burrs from adhering to the back surfaces of the die pad portion 1, the land lead portion 4, and the lead portion 5. Therefore, a water jet process for removing resin burrs after resin sealing can be omitted.

【0060】次に図13に示すように、封止シート23
を貼付した状態でリードフレームの上面側をエポキシ樹
脂に代表される封止樹脂18により樹脂封止し、半導体
素子15、ダイパッド部1、金属細線17の領域を樹脂
封止する。通常は上下封止金型を用いたトランスファー
モールドにより片面封止を行う。すなわち、ダイパッド
部1、ランドリード部4、リード部5の底面部分を除い
た片面封止構造となる。また特にランドリード部4、リ
ード部5を封止シート23に押圧した状態で樹脂封止す
ることにより、樹脂バリの発生を防止するとともに、ラ
ンドリード部4、リード部5の各底面をパッケージ底面
(封止樹脂18底面)からスタンドオフを有して配置さ
せることができる。また本実施形態ではリードフレーム
のダイパッド部1の突出部6を包囲する領域に相当する
底面には、矩形状の環状の溝部11を設けているので、
その溝部11に封止シート23が食い込んだ状態で樹脂
封止するため、樹脂封止時のダイパッド部1底面への封
止樹脂の回り込みによる樹脂バリの発生を防止できるも
のである。
Next, as shown in FIG.
Is adhered to the upper surface of the lead frame with a sealing resin 18 typified by an epoxy resin, and the semiconductor element 15, the die pad 1, and the thin metal wires 17 are resin-sealed. Usually, single-sided sealing is performed by transfer molding using upper and lower sealing dies. That is, a single-sided sealing structure excluding the bottom surfaces of the die pad portion 1, the land lead portion 4, and the lead portion 5 is obtained. Particularly, by sealing the resin with the land lead portions 4 and the lead portions 5 pressed against the sealing sheet 23, the occurrence of resin burrs is prevented, and the bottom surfaces of the land lead portions 4 and the lead portions 5 are fixed to the package bottom surface. It can be arranged with a standoff from the (sealing resin 18 bottom surface). In the present embodiment, a rectangular annular groove 11 is provided on the bottom surface corresponding to a region surrounding the protrusion 6 of the die pad portion 1 of the lead frame.
Since the resin is sealed with the sealing sheet 23 biting into the groove 11, it is possible to prevent the occurrence of resin burrs due to the sealing resin wrapping around the bottom surface of the die pad 1 during resin sealing.

【0061】なお、封止シート23のリードフレーム裏
面への貼付は、樹脂封止する封止金型に予め供給してお
いた封止シートを樹脂封止前に貼付してもよいし、樹脂
封止前に別工程で封止シートをリードフレームに貼付し
たものを封止金型に供給し、樹脂封止してもよい。また
封止シート23は耐熱性を有したPET等の樹脂を用い
るものである。
The sealing sheet 23 may be attached to the back surface of the lead frame by applying a sealing sheet, which has been supplied to a sealing mold for resin sealing, before resin sealing. Before sealing, a sheet obtained by attaching a sealing sheet to a lead frame in a separate step may be supplied to a sealing mold and sealed with a resin. The sealing sheet 23 is made of a heat-resistant resin such as PET.

【0062】次に図14に示すように、樹脂封止後は封
止シートを除去した後、吊りリード部やランドリード部
4、リード部5のフレーム枠と接続した部分を切断す
る。この段階で実質的にリード部5の端部が樹脂封止し
たパッケージの側面と同一面に配列するように切断す
る。そしてランドリード部4、リード部5の底面はラン
ド電極19を構成し、またリード部5の外側の側面部分
も外部電極を構成し、ダイパッド部1の底面も露出し、
放熱構造を有するものである。
Next, as shown in FIG. 14, after sealing the resin, the sealing sheet is removed, and the portions of the suspension leads, the land leads 4 and the leads 5 connected to the frame are cut off. At this stage, cutting is performed so that the ends of the lead portions 5 are arranged substantially in the same plane as the side surfaces of the package sealed with resin. The bottom surfaces of the land lead portion 4 and the lead portion 5 constitute a land electrode 19, the side surface portion outside the lead portion 5 also constitutes an external electrode, and the bottom surface of the die pad portion 1 is also exposed.
It has a heat dissipation structure.

【0063】以上、本実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法により、パッケージ底面には、ランドリード
部4のランド電極19の底面が配置され、そのランド電
極19の外側にはリード部5の底面であるランド電極1
9が配置されて直線状の2列配置の外部端子を構成する
ものであり、LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パ
ッケージを構成することができる。さらに、ランド電極
の構成をランド電極、リード型ランド電極の2種類で2
列構成としているため、パッケージの外側にも接続部分
を設けることができ、底面+側面の2点接合構造によ
り、接続の信頼性を向上させることができる樹脂封止型
半導体装置を実現することができる。
As described above, according to the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, the bottom surface of the land electrode 19 of the land lead portion 4 is disposed on the bottom surface of the package, and the lead portion 5 is disposed outside the land electrode 19. Land electrode 1 on the bottom of
9 are arranged to form external terminals in a linear two-row arrangement, so that an LGA (land grid array) type package can be constituted. Further, the configuration of the land electrode is two types of land electrode and lead type land electrode.
Because of the column structure, a connection portion can be provided outside the package, and a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface can realize a resin-encapsulated semiconductor device capable of improving connection reliability. it can.

【0064】次に本発明のリードフレームの別の実施形
態について図面を参照しながら説明する。
Next, another embodiment of the lead frame of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0065】図15は本実施形態のリードフレームを示
す平面図である。図16は本実施形態のリードフレーム
のリード部分を示す拡大図であり、図15における円内
部分の拡大図として、図16(a)は平面図であり、図
16(b)は図16(a)のE−E1、F−F1箇所の
断面図である。また基本概念は前記した実施形態のリー
ドフレームと同様である。なお、図15において、二点
鎖線で示した領域は、図1に示した場合と同様、本実施
形態のリードフレームを用いて半導体素子を搭載し、樹
脂封止する際の封止領域を示している。
FIG. 15 is a plan view showing a lead frame of the present embodiment. FIG. 16 is an enlarged view showing a lead portion of the lead frame according to the present embodiment, and FIG. 16A is a plan view and FIG. It is sectional drawing of E-E1 and FF1 location of a). The basic concept is the same as that of the lead frame of the above-described embodiment. In FIG. 15, a region indicated by a two-dot chain line indicates a sealing region when a semiconductor element is mounted using the lead frame of the present embodiment and sealed with a resin, similarly to the case illustrated in FIG. 1. ing.

【0066】図15,図16に示すように本実施形態の
リードフレームは、銅材または、42−アロイ等の通常
のリードフレームに用いられている金属板よりなり、半
導体素子を搭載するダイパッド部1と、その末端でフレ
ーム枠2と接続し、先端部でダイパッド部1の四隅を支
持する吊りリード部3と、その先端部がダイパッド部1
に対向し、末端部がフレーム枠2と接続して配置された
直線状のランドリード部4と直線状のリード部5とより
なるリードフレームであり、ランドリード部4とリード
部5はそれぞれその底面で外部端子(ランド部)を構成
するものであり、リード部5はその底面に加えて外方側
面でも外部端子として実装基板と接続できるものであ
る。
As shown in FIGS. 15 and 16, the lead frame according to the present embodiment is made of a copper plate or a metal plate used for a normal lead frame such as 42-alloy, and has a die pad portion on which a semiconductor element is mounted. 1, a suspension lead 3 connected to the frame 2 at its end and supporting the four corners of the die pad 1 at the tip, and the die pad 1 at the tip.
And a lead frame formed of a linear land lead portion 4 and a linear lead portion 5 whose end portions are connected to the frame 2 so that the land lead portion 4 and the lead portion 5 are respectively connected to the lead frame. An external terminal (land portion) is formed on the bottom surface, and the lead portion 5 can be connected to the mounting board as an external terminal on the outer side surface in addition to the bottom surface.

【0067】そして詳細には、ダイパッド部1にはその
表面の略中央部分に円形の突出部6が設けられ、その突
出部6は、ダイパッド部1を構成している平板に対して
プレス加工により半切断状態のプレスを施し、上方に突
出させたものである。この突出部6が実質的に半導体素
子を支持する部分となり、半導体素子を搭載した際、ダ
イパッド部1の突出部6を除く表面と半導体素子裏面と
の間には間隙が形成されるよう構成されている。またダ
イパッド部1の表面の突出部6を包囲する領域には溝部
7が設けられ、半導体素子を搭載し、樹脂封止した際に
封止樹脂がその溝部7に入り込むように設けられてい
る。本実施形態では溝部7は円形の環状の溝部7を設け
たものである。この溝部7により、ダイパッド部1の突
出部6上に接着剤により半導体素子を搭載し、樹脂封止
した際に封止樹脂がその溝部7に入り込むため、熱膨張
による応力でダイパッド部1の表面と封止樹脂との間に
樹脂剥離が発生しても、その剥離自体を溝部でトラップ
することができ、信頼性低下を防止することができるも
のである。もちろん、溝部7の構成としては、環状の構
成以外、部分的に溝部を連結した構成でもよく、その数
も2本以上の3本,4本、または1本でもよいが、ダイ
パッド部1の大きさと搭載する半導体素子の大きさによ
り設定することができる。
More specifically, the die pad portion 1 is provided with a circular protrusion 6 at a substantially central portion of the surface thereof, and the protrusion 6 is formed by pressing a flat plate constituting the die pad portion 1 by pressing. A half-cut press is applied to project upward. The projecting portion 6 substantially serves as a portion for supporting the semiconductor element, and when the semiconductor element is mounted, a gap is formed between the surface of the die pad portion 1 excluding the projecting portion 6 and the back surface of the semiconductor element. ing. A groove 7 is provided in a region surrounding the protruding portion 6 on the surface of the die pad portion 1 so that a sealing resin enters the groove 7 when a semiconductor element is mounted and sealed with a resin. In this embodiment, the groove 7 has a circular annular groove 7. When the semiconductor element is mounted on the protruding part 6 of the die pad part 1 with an adhesive by the groove part 7 and the resin is sealed, the sealing resin enters the groove part 7. Therefore, the surface of the die pad part 1 is stressed by thermal expansion. Even if resin peeling occurs between the resin and the sealing resin, the peeling itself can be trapped in the groove, and a decrease in reliability can be prevented. Of course, the configuration of the groove portion 7 may be a configuration in which the groove portions are partially connected other than the annular configuration, and the number thereof may be two or more, three, four, or one. And the size of the semiconductor element to be mounted.

【0068】また、本実施形態のリードフレームのラン
ドリード部4とリード部5は、フレーム枠2と接続した
状態では交互配列の並列配置となっており、ダイパッド
部1に対向する配置においては、ランドリード部4の先
端部がリード部5の先端部よりもダイパッド部1側に延
在し、それら先端部どうしは平面配置上、千鳥状に配置
されているものである。この配置は、半導体素子を搭載
し、樹脂封止した際には、パッケージ底面に2列の外部
端子が千鳥状に配置されるようにしたものであり、ラン
ドリード部4の先端部底面とリード部5の底面とがパッ
ケージ底面に配置されるものである。そして特に図16
に示すように、ランドリード部4は直線形状のリードで
あり、その先端部の底面部分に外部端子となる先端部が
曲率を有したランド部8が形成されており、ランド部8
を形成する部分以外はハーフエッチ加工により厚みが薄
く加工され、ランド部8はリード本来の厚みを有するも
のである。
The land lead portions 4 and the lead portions 5 of the lead frame of this embodiment are arranged in an alternately arranged parallel arrangement when connected to the frame 2, and in the arrangement facing the die pad portion 1, The tips of the land leads 4 extend closer to the die pad 1 than the tips of the leads 5, and the tips are staggered in plan view. In this arrangement, when the semiconductor element is mounted and sealed with resin, two rows of external terminals are arranged in a staggered manner on the bottom surface of the package. The bottom surface of the portion 5 is arranged on the package bottom surface. And especially FIG.
As shown in FIG. 5, the land lead portion 4 is a linear lead, and a land portion 8 having a curvature at a tip portion serving as an external terminal is formed on a bottom portion of the tip portion.
Is thinned by half-etching, and the lands 8 have the original thickness of the leads.

【0069】すなわちランドリード部4においてランド
部8は下方に突出した形状を有し、ランドリード部4自
体は上面が下面よりも広い面積を有している。なお図1
5では、ランドリード部4の先端底面の破線で示した部
分がランド部8を示し、図2では格子状ハッチング領域
がハーフエッチされている部分を示している。またリー
ド部5は同様に図16に示すように、その先端部の外周
部分がハーフエッチ加工により薄厚に加工され、先端部
が幅広部9を有し、その幅広部9の根本付近には溝部1
0が設けられている。また先端部の底面には先端部が曲
率を有した形状でランド部が形成されている。図15,
図16においてハッチングを付した部分が溝部10であ
る。本実施形態のリードフレームを用いて半導体素子を
搭載し、樹脂封止した際、リード部5自体は底面と側面
が露出される片面封止構成となるため、従来のようなフ
ルモールドパッケージのリード部とは異なり、封止樹脂
による応力、基板実装後の応力がリード部に印加される
場合がある。しかし、この溝部10により、封止樹脂に
よる応力、基板実装後の応力によりリード部5自体に応
力が印加されても、溝部10で応力を吸収できるもので
あり、金属細線の接続部分の破壊を防止し、実装後の製
品の信頼性を維持できるものである。なお、ここでラン
ドリード部4のランド部8の表面領域、リード部5の幅
広部9は金属細線が接続されるボンディングパッドを構
成するものである。
That is, in the land lead portion 4, the land portion 8 has a shape protruding downward, and the land lead portion 4 itself has an area whose upper surface is larger than its lower surface. FIG. 1
In FIG. 5, a portion indicated by a broken line on the bottom surface of the tip of the land lead portion 4 represents the land portion 8, and FIG. 2 shows a portion where the grid-like hatched region is half-etched. Also, as shown in FIG. 16, the outer peripheral portion of the leading end portion is thinned by half-etching, the leading end portion has a wide portion 9, and a groove portion is formed near the root of the wide portion 9. 1
0 is provided. In addition, a land portion is formed on the bottom surface of the tip portion so that the tip portion has a curvature. FIG.
In FIG. 16, the hatched portion is the groove 10. When the semiconductor element is mounted using the lead frame of the present embodiment and sealed with resin, the lead portion 5 itself has a single-sided sealing configuration in which the bottom surface and side surfaces are exposed. Unlike the part, the stress due to the sealing resin and the stress after mounting on the substrate may be applied to the lead part. However, even if stress is applied to the lead portion 5 by the stress caused by the sealing resin and the stress after mounting the substrate, the groove portion 10 can absorb the stress in the groove portion 10, and the breakage of the connection portion of the thin metal wire can be prevented. It is possible to prevent and maintain the reliability of the product after mounting. Here, the surface region of the land portion 8 of the land lead portion 4 and the wide portion 9 of the lead portion 5 constitute a bonding pad to which a thin metal wire is connected.

【0070】本実施形態のリードフレームは、図1,図
2に示した実施形態のリードフレームと異なり、ランド
リード部4、リード部5は互いに直線状のリードであっ
て、それら底面のランド部8を構成する部分は、先端部
が曲率を有した形状であり、また互いに直線状であるた
め、パッケージ配置において、ランド部8どうしは千鳥
状を構成するものである。
The lead frame of the present embodiment is different from the lead frame of the embodiment shown in FIGS. 1 and 2 in that the land lead portions 4 and 5 are linear leads, The portions forming the top 8 have a shape having a curvature at the tip end and are linear with each other. Therefore, in the package arrangement, the lands 8 form a staggered shape.

【0071】また、本実施形態のリードフレームのダイ
パッド部1の突出部6を包囲する領域に相当する底面に
は、矩形状の環状の溝部11を設けている。この溝部1
1により、ダイパッド部1の底面にハンダ等の接合材料
を用いて基板実装した際、ハンダの余分な広がりを防止
し、実装精度を向上させるとともに、半導体素子からの
放熱作用によるダイパッド部1自体の応力を吸収できる
ものである。また本実施形態では溝部11を1つとして
いるが、ダイパッド部1の底面の外周部近傍にも環状の
溝部を形成してもさらなる実装精度向上を達成できる。
さらに図1に示したリードフレームと同様に吊りリード
部3にダミーランド部を設けたり、吊りリード部3に屈
曲部を設けてもよい。
Further, a rectangular annular groove portion 11 is provided on the bottom surface corresponding to the region surrounding the projecting portion 6 of the die pad portion 1 of the lead frame of the present embodiment. This groove 1
1, when the substrate is mounted on the bottom surface of the die pad portion 1 using a bonding material such as solder, the solder is prevented from spreading excessively, the mounting accuracy is improved, and the die pad portion 1 itself is radiated from the semiconductor element. It can absorb stress. In this embodiment, one groove 11 is used. However, even if an annular groove is formed near the outer peripheral portion of the bottom surface of the die pad 1, further improvement in mounting accuracy can be achieved.
Further, similar to the lead frame shown in FIG. 1, a dummy land portion may be provided on the suspension lead portion 3, or a bent portion may be provided on the suspension lead portion 3.

【0072】なお、ランドリード部4、リード部5の数
は、搭載する半導体素子のピン数などにより、その数を
適宜設定できるものである。また本実施形態のリードフ
レームはその表面がメッキ処理されたものであり、必要
に応じて例えば、ニッケル(Ni),パラジウム(P
d)および金(Au)などの金属が積層されて適宜メッ
キされているものである。また本実施形態のリードフレ
ームは図1に示したようなパターンが1つよりなるもの
ではなく、左右・上下に連続して形成できるものであ
る。
The number of land lead portions 4 and lead portions 5 can be set as appropriate according to the number of pins of the semiconductor element to be mounted. The lead frame of the present embodiment has a plated surface, and for example, nickel (Ni), palladium (P
d) and a metal such as gold (Au) are laminated and plated appropriately. Further, the lead frame of the present embodiment does not consist of one pattern as shown in FIG. 1, but can be formed continuously in the left, right, up and down directions.

【0073】本実施形態のリードフレームにより、半導
体素子を搭載し、金属細線で半導体素子と各リードとを
接続し、樹脂封止して樹脂封止型半導体装置を構成した
際、樹脂封止型半導体装置の底面、すなわちパッケージ
底面には、ランドリード部4の先端部が曲率を有したラ
ンド部8の底面が配置され、そのランド部8の外側には
リード部5の先端部が曲率を有した底面部分が配置され
て千鳥状の2列配置の外部端子を構成するものであり、
LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パッケージを構
成することができる。そして本実施形態のリードフレー
ムを用いて樹脂封止型半導体装置を構成することによ
り、ダイパッド部1の表面には溝部7が設けられてお
り、樹脂封止後の樹脂剥離が起こっても、その剥離を溝
部7でトラップできるため、樹脂封止型半導体装置とし
て信頼性を維持できるものである。その他、放熱特性の
向上、基板実装時のハンダ接合の精度向上、大きい面積
の半導体素子を搭載できるなどの利点もある。
When the semiconductor device is mounted on the lead frame of the present embodiment, the semiconductor element and each lead are connected by a thin metal wire, and the semiconductor device is sealed with a resin to form a resin-sealed semiconductor device. On the bottom surface of the semiconductor device, that is, on the package bottom surface, a bottom surface of a land portion 8 having a curvature at the tip of the land lead portion 4 is arranged. Outside the land portion 8, a tip portion of the lead portion 5 has a curvature. Are arranged to form a staggered two-row arrangement of external terminals.
An LGA (land grid array) type package can be configured. By forming the resin-encapsulated semiconductor device using the lead frame of the present embodiment, the groove 7 is provided on the surface of the die pad portion 1. Since the separation can be trapped in the groove 7, the reliability of the resin-encapsulated semiconductor device can be maintained. In addition, there are other advantages such as improvement of heat radiation characteristics, improvement of accuracy of solder bonding at the time of mounting on a substrate, and mounting of a semiconductor element having a large area.

【0074】次に本発明の樹脂封止型半導体装置につい
て図面を参照しながら説明する。図17は本実施形態に
係る樹脂封止型半導体装置を示す平面図であり、図18
は本実施形態に係る樹脂封止型半導体装置を示す底面図
であり、図19,図20は本実施形態に係る樹脂封止型
半導体装置を示す断面図である。図19の断面図は、図
17におけるH−H1箇所、図18におけるJ−J1箇
所の断面を示し、図20の断面図は、図17におけるG
−G1箇所、図18におけるI−I1箇所の断面を示
す。また本実施形態では図15,図16に示したリード
フレームを例として用いた樹脂封止型半導体装置であ
る。
Next, the resin-sealed semiconductor device of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 17 is a plan view showing a resin-encapsulated semiconductor device according to the present embodiment.
Is a bottom view showing the resin-sealed semiconductor device according to the present embodiment, and FIGS. 19 and 20 are cross-sectional views showing the resin-sealed semiconductor device according to the present embodiment. The cross-sectional view of FIG. 19 shows a cross-section taken along the line HH1 in FIG. 17 and the cross-section taken along the line JJ1 in FIG. 18, and the cross-sectional view of FIG.
19 shows a cross section taken along a line -G1 and a line II in FIG. The present embodiment is a resin-encapsulated semiconductor device using the lead frame shown in FIGS. 15 and 16 as an example.

【0075】図17,図18,図19および図20に示
すように、本実施形態の樹脂封止型半導体装置は、表面
に突出部6と、その突出部6を包囲する円形または矩形
またはそれらの組み合わせの環状の溝部7と、底面に環
状の溝部11を有したダイパッド部1と、そのダイパッ
ド部1の突出部6上に銀ペースト等の導電性接着剤(図
示せず)を介して搭載された半導体素子15と、表面に
溝部10を有し、底面が露出したリード部5と、リード
部5の先端部領域よりもダイパッド部1側に延在して配
置され、その先端部の底面が露出してランド電極を構成
するランドリード部4と、半導体素子15の主面の電極
パッド(図示せず)とランドリード部4、リード部5の
ボンディングパッド部16とを電気的に接続した金属細
線17と、ダイパッド部1の底面を除く領域、搭載され
た半導体素子15、ランドリード部4の底面を除く領
域、リード部5の外部側面と底面とを除く領域、および
金属細線17を封止した封止樹脂18とよりなるもので
ある。そして封止樹脂18よりなるパッケージ部より露
出したランドリード部4の先端部底面と、リード部5の
外部側面と底面とは、プリント基板等の実装基板への実
装の際、外部電極を構成するランド電極19を構成して
おり、リード部5の底面とその先端部領域のランドリー
ド部4の先端部底面とが露出して千鳥状の2列ランド構
成を有しているものである。そしてランド電極19は封
止樹脂より露出しているが、20[μm]程度の段差を
有して突出して露出しているものであり、基板実装時の
スタンドオフを有しているものである。同様にダイパッ
ド部1の底面も突出して露出しているものであり、基板
実装時はハンダ接合により放熱効率を向上させることが
できる。さらに、ダイパッド部1の底面には、凹部20
が形成されており、これは突出部6をプレス加工による
半切断状態で形成しているため、その突出量分の凹部が
形成されているものである。本実施形態では、200
[μm]の金属板よりなるダイパッド部1(リードフレ
ーム厚)の厚みに対して、140[μm]〜180[μ
m](金属板自体の厚みの70[%]〜90[%])突
出した突出部6を形成している。
As shown in FIGS. 17, 18, 19 and 20, the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment has a projection 6 on its surface and a circular or rectangular shape surrounding the projection 6, And a die pad 1 having an annular groove 11 on the bottom surface, and mounted on the protrusion 6 of the die pad 1 via a conductive adhesive (not shown) such as silver paste. Semiconductor element 15, a groove 5 on the surface, a lead 5 having a bottom exposed, and a lead 5 extending toward the die pad 1 side from a tip region of the lead 5, and a bottom of the tip 5. Are exposed to form a land electrode, and an electrode pad (not shown) on the main surface of the semiconductor element 15 is electrically connected to the bonding pad 16 of the land lead 4 and the lead 5. Fine metal wire 17 and die Region except the bottom surface of the lead portion 1, the mounted semiconductor element 15, the region except the bottom surface of the land lead portion 4, the region except the outer side surface and the bottom surface of the lead portion 5, and the sealing resin that seals the thin metal wires 17. 18. The bottom surface of the tip portion of the land lead portion 4 exposed from the package portion made of the sealing resin 18 and the outer side surface and the bottom surface of the lead portion 5 constitute external electrodes when mounted on a mounting board such as a printed board. A land electrode 19 is formed, and the bottom surface of the lead portion 5 and the bottom surface of the tip portion of the land lead portion 4 in the tip region are exposed to form a two-row staggered land configuration. The land electrode 19 is exposed from the sealing resin, but is projected and exposed with a step of about 20 [μm], and has a stand-off at the time of mounting the substrate. . Similarly, the bottom surface of the die pad portion 1 is also protruded and exposed, and when mounted on a substrate, the heat radiation efficiency can be improved by solder bonding. Further, a concave portion 20 is provided on the bottom surface of the die pad portion 1.
Since the protrusion 6 is formed in a half-cut state by press working, a recess corresponding to the amount of protrusion is formed. In the present embodiment, 200
140 [μm] to 180 [μm] with respect to the thickness of the die pad part 1 (lead frame thickness) made of a metal plate of [μm].
m] (70 [%] to 90 [%] of the thickness of the metal plate itself).

【0076】また、ランドリード部4、リード部5にお
けるボンディングパッド部16の面積は、100[μ
m]以上のワイヤーボンドができる大きさであればよ
く、高密度な電極配列が可能であり、小型・薄型の樹脂
封止型半導体装置を実現できるものである。さらに本実
施形態の構造により、多ピン化に対応でき、高密度面実
装型の樹脂封止型半導体装置を実現できるものであり、
半導体装置自体の厚みとしても、1[mm]以下の80
0[μm]程度の極めて薄型の樹脂封止型半導体装置を
実現できるものである。
The area of the bonding pad section 16 in the land lead section 4 and the lead section 5 is 100 μm.
m] or more so that a wire bond of not less than [m] can be achieved, a high-density electrode arrangement is possible, and a small and thin resin-sealed semiconductor device can be realized. Furthermore, with the structure of the present embodiment, it is possible to cope with the increase in the number of pins and to realize a high-density surface-mount type resin-encapsulated semiconductor device.
The thickness of the semiconductor device itself is also 80
An extremely thin resin-encapsulated semiconductor device of about 0 [μm] can be realized.

【0077】また本実施形態の樹脂封止型半導体装置
は、封止樹脂18に封止されたランドリード部4の先端
部、リード部5の先端部の上面の面積が、封止樹脂18
から露出、突出した側のランド電極19側の面積よりも
大きく構成されており、封止樹脂18との食いつきを良
好にし、密着性を向上させることができ、基板実装の際
の接続の信頼性を得ることができるものである。
Further, in the resin-sealed semiconductor device of the present embodiment, the area of the top surface of the land lead portion 4 and the top surface of the lead portion 5 sealed with the sealing resin 18 is smaller than that of the sealing resin 18.
It is configured to be larger than the area on the side of the land electrode 19 on the side exposed and protruded from the surface, thereby improving the bite with the sealing resin 18 and improving the adhesion, and the reliability of connection when mounting the substrate. Can be obtained.

【0078】以上のように、本実施形態の樹脂封止型半
導体装置は、パッケージ底面には、ランドリード部4の
ランド電極19の底面が配置され、そのランド電極19
の外側にはリード部5の底面であるランド電極19が配
置されて千鳥状の2列配置の外部端子を構成するもので
あり、LGA(ランド・グリッド・アレイ)型パッケー
ジを構成することができる。またダイパッド部1の表面
には溝部7が設けられており、半導体素子15の裏面と
ダイパッド部1表面との間で封止樹脂18の樹脂剥離が
起こっても、その剥離を溝部7でトラップできるため、
樹脂封止型半導体装置として信頼性を維持できるもので
ある。その他、放熱特性の向上、基板実装時のハンダ接
合の精度向上、大きい面積の半導体素子を搭載できるな
どの利点もある。
As described above, in the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, the bottom surface of the land electrode 19 of the land lead portion 4 is disposed on the bottom surface of the package.
Land electrodes 19, which are the bottom surfaces of the lead portions 5, are arranged outside to form external terminals arranged in a staggered two-row arrangement, and can constitute an LGA (land grid array) type package. . The groove 7 is provided on the surface of the die pad 1, and even if the sealing resin 18 is separated from the back surface of the semiconductor element 15 and the surface of the die pad 1, the separation can be trapped by the groove 7. For,
The reliability can be maintained as a resin-sealed semiconductor device. In addition, there are other advantages such as improvement of heat radiation characteristics, improvement of accuracy of solder bonding at the time of mounting on a substrate, and mounting of a semiconductor element having a large area.

【0079】さらに本実施形態の樹脂封止型半導体装置
は、従来のように配線基板、回路基板を用いず、リード
フレームを用いたLGA型の樹脂封止型半導体装置にお
いて、基板実装の実装強度を向上させた樹脂封止型半導
体装置である。図21は図20に示した本実施形態の樹
脂封止型半導体装置の実装状態の一例を示す断面図であ
る。
Further, the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment is different from the conventional one in that an LGA-type resin-encapsulated semiconductor device using a lead frame without using a wiring board or a circuit board is used. This is a resin-encapsulated semiconductor device with improved characteristics. FIG. 21 is a cross-sectional view showing an example of a mounted state of the resin-sealed semiconductor device of the present embodiment shown in FIG.

【0080】図21に示すように、本実施形態の樹脂封
止型半導体装置は、パッケージ底面のランド電極19と
プリント基板等の実装基板21とをハンダ等の接合剤2
2により接続し、実装している。ここでランドリード部
4の底面のランド電極19はその底面部分のみが接合剤
22と接触し、実装されているが、リード部5のランド
電極19はその底面部分が接合剤22と接触して実装さ
れることに加えて、リード部5の外部側面が露出してい
ることにより、接合剤22がそのリード部5の側面とも
接触して実装されている。
As shown in FIG. 21, in the resin-encapsulated semiconductor device of this embodiment, the land electrode 19 on the bottom surface of the package and the mounting substrate 21 such as a printed circuit board are bonded to a bonding agent 2 such as solder.
2 and connected. Here, only the bottom portion of the land electrode 19 on the bottom surface of the land lead portion 4 is in contact with the bonding agent 22 and is mounted, but the land electrode 19 of the lead portion 5 has the bottom surface contacting the bonding agent 22. In addition to being mounted, since the outer side surface of the lead portion 5 is exposed, the bonding agent 22 is mounted in contact with the side surface of the lead portion 5.

【0081】すなわち、通常はランド電極として、その
底面部分のみが接合剤を介して実装基板に接合されるも
のであるが、本実施形態では、列構成のランド電極にお
いて外側のランド電極は、リード部5よりなるものであ
り、その外側部分はパッケージ部分(封止樹脂18)よ
り露出しているので、その外部側面に対して、接合剤を
設けることにより、底面+側面の2点接合構造となり、
実装基板との接続の実装強度を向上させ、接続の信頼性
を向上させることができる。これは通常のリードフレー
ムLGA型半導体装置では達成できなかった実装構造で
あり、本実施形態では、ランド電極の構成をランド電
極、リード型ランド電極の2種類で2列構成としている
ため、パッケージの外側にも接続部分を設けることがで
き、底面+側面の2点接合構造により、接続の信頼性を
向上させることができる革新的な構造を有している。
That is, normally, only the bottom portion of the land electrode is bonded to the mounting substrate via the bonding agent, but in the present embodiment, the outer land electrode in the row-structured land electrode is a lead electrode. Since the outer portion is exposed from the package portion (sealing resin 18), by providing a bonding agent to the outer side surface, a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface is obtained. ,
The mounting strength of the connection with the mounting board can be improved, and the reliability of the connection can be improved. This is a mounting structure that could not be achieved by a normal lead frame LGA type semiconductor device. In the present embodiment, the land electrode configuration is a two-row configuration of a land electrode and a lead type land electrode. A connection portion can be provided on the outside, and an innovative structure that can improve the reliability of connection by a two-point joint structure of the bottom surface and the side surface is provided.

【0082】次に本発明の樹脂封止型半導体装置の製造
方法の実施形態について図面を参照しながら説明する。
図22〜図27は本実施形態の樹脂封止型半導体装置の
製造方法を示す工程ごとの断面図である。なお、本実施
形態では、図15に示したようなリードフレームを用い
てLGA型の樹脂封止型半導体装置を製造する形態を説
明する。また本実施形態では便宜的にランドリード部4
の断面方向の図を用いて説明するので、図中、リード部
5は示されていない。
Next, an embodiment of a method for manufacturing a resin-sealed semiconductor device of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 22 to FIG. 27 are cross-sectional views for each process showing the method for manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment. In this embodiment, an embodiment in which an LGA-type resin-sealed semiconductor device is manufactured using a lead frame as shown in FIG. 15 will be described. In this embodiment, for convenience, the land lead portion 4 is used.
Since the description will be made with reference to the sectional view of FIG.

【0083】まず図22に示すように、表面に突出部6
と、その突出部6を包囲する円形または矩形の環状の溝
部7と、底面に環状の溝部11と凹部20を有した半導
体素子搭載用のダイパッド部1と、先端部でそのダイパ
ッド部1を支持し、他端部でフレーム枠(図示せず)と
接続した吊りリード部(図示せず)と、底面がランド電
極となり、その先端部表面に金属細線が接続される幅広
のボンディングパッド部を有し、そのボンディングパッ
ド部の近傍に溝部が設けられ、規則性を有して配列さ
れ、他端部がフレーム枠と接続したリード部と、底面が
ランド電極となり、その先端部表面に金属細線が接続さ
れる幅広のボンディングパッド部16を有し、上面が下
面よりも面積的に大きく、リード部の先端部に千鳥状に
その先端部が配置されてリード部とともに2列構成を形
成し、他端部がフレーム枠と接続したランドリード部4
とを有するリードフレームを用意する。
First, as shown in FIG.
And a circular or rectangular annular groove 7 surrounding the protruding portion 6, a semiconductor device mounting die pad portion 1 having an annular groove portion 11 and a concave portion 20 on the bottom surface, and the tip portion supporting the die pad portion 1. The other end has a suspension lead (not shown) connected to a frame (not shown), a bottom surface serving as a land electrode, and a wide bonding pad portion connected to a fine metal wire on the surface of the tip. A groove is provided in the vicinity of the bonding pad portion, the groove portion is arranged with regularity, the other end portion is a lead portion connected to the frame frame, the bottom surface is a land electrode, and a thin metal wire is formed on the front end surface. It has a wide bonding pad portion 16 to be connected, the upper surface is larger in area than the lower surface, the tips are arranged in a staggered manner at the tips of the leads, and a two-row configuration is formed with the leads. The end is free Land the lead portion 4 connected to the beam frame
Is prepared.

【0084】次に図23に示すように、用意したリード
フレームのダイパッド部1の突出部6上に銀ペースト等
の導電性接着剤を介して半導体素子15をその主面を上
にして接合する。
Next, as shown in FIG. 23, the semiconductor element 15 is bonded on the protruding portion 6 of the die pad portion 1 of the prepared lead frame via a conductive adhesive such as silver paste with its main surface facing up. .

【0085】次に図24に示すように、ダイパッド部1
上に接合により搭載した半導体素子15の主面上の電極
パッドと、リードフレームのランドリード部4、リード
部の各上面のボンディングパッド部16とを金属細線1
7により電気的に接続する。ここで金属細線17が接続
される各ボンディングパッド部の面積は100[μm]
以上である。
Next, as shown in FIG.
The electrode pads on the main surface of the semiconductor element 15 mounted thereon by bonding, the land lead portions 4 of the lead frame, and the bonding pad portions 16 on the upper surfaces of the lead portions are connected to the thin metal wires 1.
7 for electrical connection. Here, the area of each bonding pad to which the thin metal wire 17 is connected is 100 [μm].
That is all.

【0086】次に図25に示すように、リードフレーム
の裏面側、すなわちダイパッド部1の底面、ランドリー
ド部4のランド部、リード部の各底面に密着するように
リードフレームの裏面側に封止テープまたは封止シート
23を貼付する。ここで使用する封止シート23は、リ
ードフレームに対して接着力のある接着剤層が表面に薄
く形成された封止シートを用いることにより、樹脂封止
工程でのリードフレームの裏面側への封止樹脂の回り込
みを確実に防止でき、その結果、ダイパッド部1、ラン
ドリード部4、リード部の裏面への樹脂バリの付着を防
止できる。そのため、樹脂封止後の樹脂バリ除去のため
のウォータージェット工程を省略することができる。
Next, as shown in FIG. 25, the back surface of the lead frame is sealed on the back surface of the lead frame so as to be in close contact with the bottom surface of the die pad portion 1, the land portion of the land lead portion 4, and the bottom surfaces of the lead portions. A stop tape or a sealing sheet 23 is attached. The sealing sheet 23 used here is formed on the back surface side of the lead frame in the resin sealing step by using a sealing sheet having an adhesive layer having an adhesive force to the lead frame formed thin on the surface. It is possible to reliably prevent the encapsulation resin from wrapping around. As a result, it is possible to prevent resin burrs from adhering to the die pad portion 1, the land lead portion 4, and the back surface of the lead portion. Therefore, a water jet process for removing resin burrs after resin sealing can be omitted.

【0087】次に図26に示すように、封止シート23
を貼付した状態でリードフレームの上面側を封止樹脂1
8により樹脂封止し、半導体素子15、ダイパッド部
1、金属細線17の領域を樹脂封止する。通常は上下封
止金型を用いたトランスファーモールドにより片面封止
を行う。すなわち、ダイパッド部1、ランドリード部
4、リード部の底面部分を除いた片面封止構造となる。
また特にランドリード部4、リード部を封止シート23
に押圧した状態で樹脂封止することにより、樹脂バリの
発生を防止するとともに、ランドリード部4、リード部
の各底面をパッケージ底面(封止樹脂18底面)からス
タンドオフを有して配置させることができる。
Next, as shown in FIG.
The top surface of the lead frame is sealed with sealing resin 1
Then, the region of the semiconductor element 15, the die pad portion 1, and the thin metal wire 17 is resin-sealed. Usually, single-sided sealing is performed by transfer molding using upper and lower sealing dies. That is, a single-sided sealing structure excluding the die pad part 1, the land lead part 4, and the bottom part of the lead part is obtained.
Further, in particular, the land lead portion 4 and the lead portion are sealed with a sealing sheet 23.
In this state, resin burrs are prevented from being generated, and the bottom surfaces of the land lead portion 4 and the lead portion are arranged with a standoff from the package bottom surface (the bottom surface of the sealing resin 18). be able to.

【0088】なお、封止シート23のリードフレーム裏
面への貼付は、樹脂封止する封止金型に予め供給してお
いた封止シートを樹脂封止前に貼付してもよいし、樹脂
封止前に別工程で封止シートをリードフレームに貼付し
たものを封止金型に供給し、樹脂封止してもよい。
The sealing sheet 23 may be attached to the back surface of the lead frame by applying a sealing sheet supplied in advance to a sealing mold for resin sealing before resin sealing, Before sealing, a sheet obtained by attaching a sealing sheet to a lead frame in a separate step may be supplied to a sealing mold and sealed with a resin.

【0089】次に図27に示すように、樹脂封止後は封
止シートを除去した後、吊りリード部やランドリード部
4、リード部のフレーム枠と接続した部分を切断する。
この段階で実質的にリード部の端部が樹脂封止したパッ
ケージの側面と同一面に配列するように切断する。そし
てランドリード部4、リード部の底面はランド電極19
を構成し、またリード部の外側の側面部分も外部電極を
構成し、ダイパッド部1の底面も露出し、放熱構造を有
するものである。
Next, as shown in FIG. 27, after sealing the resin, the sealing sheet is removed, and the portions of the suspension leads, the land leads 4, and the leads connected to the frame are cut.
At this stage, cutting is performed so that the ends of the lead portions are arranged substantially in the same plane as the side surfaces of the package sealed with resin. The land lead 4 and the bottom of the lead are connected to the land electrode 19.
The outer side surface of the lead portion also constitutes an external electrode, the bottom surface of the die pad portion 1 is also exposed, and has a heat dissipation structure.

【0090】以上、本実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法により、パッケージ底面の内側列には、ラン
ドリード部4のランド電極19の底面が配置され、その
ランド電極19の外側列にはリード部の底面であるラン
ド電極が配置されて直線状もしくは千鳥状の2列配置の
外部端子を構成するものであり、LGA(ランド・グリ
ッド・アレイ)型パッケージを構成することができる。
さらに、ランド電極の構成をランド電極、リード型ラン
ド電極の2種類で2列構成としているため、パッケージ
の外側にも接続部分を設けることができ、底面+側面の
2点接合構造により、接続の信頼性を向上させることが
できる樹脂封止型半導体装置を実現することができる。
As described above, according to the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment, the bottom surface of the land electrode 19 of the land lead portion 4 is arranged in the inner row of the package bottom face, and the outer row of the land electrode 19 is arranged in the outer row. Are land electrodes, which are the bottom surfaces of the lead portions, arranged to form external terminals in a linear or staggered two-row arrangement, and can constitute an LGA (land grid array) type package.
Further, since the configuration of the land electrode is a two-row configuration of a land electrode and a lead-type land electrode, a connection portion can be provided outside the package, and a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface can be used for connection. A resin-encapsulated semiconductor device that can improve reliability can be realized.

【0091】以上、本実施形態で示したようなリードフ
レームを用いることにより、半導体素子を搭載し、樹脂
封止することにより、樹脂封止型半導体装置の底面部分
に半導体素子と電気的に接続したランド電極を直線状ま
たは千鳥状の2列で配列することができる。その結果、
面実装タイプの半導体装置が得られ、従来のようなリー
ド接合による実装に比べて、基板実装の信頼性を向上さ
せることができる。
As described above, by using the lead frame as shown in this embodiment, the semiconductor element is mounted and sealed with resin, so that the semiconductor element is electrically connected to the bottom surface of the resin-sealed semiconductor device. The land electrodes thus formed can be arranged in two linear or staggered rows. as a result,
As a result, a semiconductor device of a surface mounting type can be obtained, and the reliability of substrate mounting can be improved as compared with the conventional mounting by lead bonding.

【0092】また本実施形態の樹脂封止型半導体装置
は、従来のBGAタイプの半導体装置のように、ランド
電極を設けた回路基板等の基板を用いるものでなく、リ
ードフレームという金属板からなるフレーム本体からL
GA型の半導体装置を構成するものであり、量産性、コ
スト性などの面においては、従来のBGAタイプの半導
体装置よりも有利となる。
The resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment does not use a substrate such as a circuit board provided with land electrodes unlike a conventional BGA type semiconductor device, but is made of a metal plate called a lead frame. L from frame body
It constitutes a GA-type semiconductor device, and is more advantageous than a conventional BGA-type semiconductor device in terms of mass productivity and cost.

【0093】また本実施形態の樹脂封止型半導体装置で
は、列構成のランド電極において外側のランド電極は、
リード部よりなるものであり、その外側部分の側端はパ
ッケージ部分より露出しているので、その外部側面に対
して、接合剤を設けることによりフィレットが形成さ
れ、底面+側面の2点接合構造となり、実装基板との接
続の実装強度を向上させ、接続の信頼性を向上させるこ
とができる。これは通常のリードフレームLGA型半導
体装置では達成できなかった実装構造であり、本実施形
態では、ランド電極の構成をランド電極、リード型ラン
ド電極の2種類で2列構成としているため、パッケージ
の外側にも接続部分を設けることができ、底面+側面の
2点接合構造により、実装強度を向上させることができ
る構造である。
In the resin-encapsulated semiconductor device of the present embodiment, the outer land electrodes in the row-structured land electrodes are:
Since the side portion of the outer portion is exposed from the package portion, a fillet is formed by providing a bonding agent to the outer side surface, and a two-point joint structure of the bottom surface and the side surface Thus, the mounting strength of the connection with the mounting board can be improved, and the reliability of the connection can be improved. This is a mounting structure that could not be achieved by a normal lead frame LGA type semiconductor device. In the present embodiment, the land electrode configuration is a two-row configuration of a land electrode and a lead type land electrode. A connection portion can also be provided on the outside, and the mounting strength can be improved by a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface.

【0094】[0094]

【発明の効果】以上、本発明のリードフレームにより、
従来のようなビーム状のリード電極に代えて、ランド電
極を有した樹脂封止型半導体装置を実現することができ
る。そして本発明により、樹脂封止型半導体装置の底面
のランド電極を回路基板等を用いることなく、フレーム
状態から形成でき、製造コストを低下させ、従来のよう
なリード接合による実装に比べて、基板実装の信頼性を
向上させることができる。
As described above, according to the lead frame of the present invention,
A resin-encapsulated semiconductor device having land electrodes instead of conventional beam-shaped lead electrodes can be realized. According to the present invention, land electrodes on the bottom surface of the resin-encapsulated semiconductor device can be formed from a frame state without using a circuit board or the like. The reliability of mounting can be improved.

【0095】また樹脂封止型半導体装置の製造方法にお
いては、従来のように突出したリード形成が必要ない
分、リードベンド工程が不要であって、樹脂封止後はパ
ッケージ底面の内側列には、ランドリード部のランド電
極の底面が配置され、そのランド電極の外側列にはリー
ド部の底面であるランド電極が配置されて直線状もしく
は千鳥状の2列配置の外部端子を構成し、LGA型パッ
ケージを構成することができる。そして本発明の樹脂封
止型半導体装置の底面の列構成のランド電極において、
外側のランド電極はリード部よりなるものであり、その
外側部分の側端はパッケージ部分より露出しているの
で、その外部側面に対して、ハンダ等の接合剤を設ける
ことによりフィレット部が形成され、底面+側面の2点
接合構造となり、実装基板との接続の実装強度を向上さ
せ、接続の信頼性を向上させることができる。
Further, in the method of manufacturing a resin-encapsulated semiconductor device, a lead-bend step is not required because a protruding lead is not required unlike the conventional method. The bottom surface of the land electrode of the land lead portion is disposed, and the land electrode which is the bottom surface of the lead portion is disposed on the outer row of the land electrode to form two rows of external terminals in a linear or staggered arrangement. A mold package can be configured. And in the land electrode of the row configuration on the bottom surface of the resin-sealed semiconductor device of the present invention,
Since the outer land electrode is formed of a lead portion, and the side end of the outer portion is exposed from the package portion, a fillet portion is formed by providing a bonding agent such as solder to the outer side surface. And a two-point bonding structure of the bottom surface and the side surface, so that the mounting strength of the connection with the mounting board can be improved and the reliability of the connection can be improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施形態のリードフレームを示す平
面図
FIG. 1 is a plan view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施形態のリードフレームを示す図FIG. 2 is a view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention;

【図3】本発明の一実施形態のリードフレームのダイパ
ッド部を示す図
FIG. 3 is a view showing a die pad portion of the lead frame according to the embodiment of the present invention;

【図4】本発明の一実施形態のリードフレームのダイパ
ッド部を示す図
FIG. 4 is a view showing a die pad portion of the lead frame according to the embodiment of the present invention;

【図5】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置を
示す平面図
FIG. 5 is a plan view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置を
示す底面図
FIG. 6 is a bottom view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図7】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置を
示す断面図
FIG. 7 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置を
示す断面図
FIG. 8 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention.

【図9】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置の
製造方法を示す断面図
FIG. 9 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図10】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 10 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図11】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 11 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図12】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 12 is a sectional view showing the method for manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図13】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 13 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図14】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 14 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図15】本発明の一実施形態のリードフレームを示す
平面図
FIG. 15 is a plan view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention.

【図16】本発明の一実施形態のリードフレームを示す
FIG. 16 is a view showing a lead frame according to an embodiment of the present invention;

【図17】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
を示す平面図
FIG. 17 is a plan view showing a resin-sealed semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【図18】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
を示す底面図
FIG. 18 is a bottom view showing the resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図19】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
を示す断面図
FIG. 19 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図20】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
を示す断面図
FIG. 20 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図21】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
を示す断面図
FIG. 21 is a sectional view showing a resin-sealed semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図22】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 22 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図23】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 23 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図24】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 24 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図25】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 25 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図26】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 26 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図27】本発明の一実施形態の樹脂封止型半導体装置
の製造方法を示す断面図
FIG. 27 is a sectional view showing the method of manufacturing the resin-encapsulated semiconductor device according to one embodiment of the present invention;

【図28】従来のリードフレームを示す平面図FIG. 28 is a plan view showing a conventional lead frame.

【図29】従来の樹脂封止型半導体装置を示す断面図FIG. 29 is a sectional view showing a conventional resin-encapsulated semiconductor device.

【図30】従来の樹脂封止型半導体装置の製造方法を示
す平面図
FIG. 30 is a plan view showing a method for manufacturing a conventional resin-encapsulated semiconductor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ダイパッド部 2 フレーム枠 3 吊りリード部 4 ランドリード部 5 リード部 6 突出部 7 溝部 8 ランド部 9 幅広部 10 溝部 11 溝部 12 第1の屈曲部 13 第2の屈曲部 14 ダミーランド部 15 半導体素子 16 ボンディングパッド部 17 金属細線 18 封止樹脂 19 ランド電極 20 凹部 21 実装基板 22 接合剤 23 封止シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Die pad part 2 Frame frame 3 Suspended lead part 4 Land lead part 5 Lead part 6 Projection part 7 Groove part 8 Land part 9 Wide part 10 Groove part 11 Groove part 12 First bent part 13 Second bent part 14 Dummy land part 15 Semiconductor Element 16 Bonding pad part 17 Fine metal wire 18 Sealing resin 19 Land electrode 20 Depression 21 Mounting substrate 22 Bonding agent 23 Sealing sheet

─────────────────────────────────────────────────────
────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成12年3月31日(2000.3.3
1)
[Submission date] March 31, 2000 (200.3.3.
1)

【手続補正1】[Procedure amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】特許請求の範囲[Correction target item name] Claims

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【特許請求の範囲】[Claims]

【手続補正2】[Procedure amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0013[Correction target item name] 0013

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】前記従来の課題を解決す
るために、本発明のリードフレームは、金属板よりなる
フレーム本体と、前記フレーム本体の領域内に配設され
て、表面に突出部を有した半導体素子搭載用のダイパッ
ド部と、先端部で前記ダイパッド部を支持し、他端部で
フレーム枠と接続した吊りリード部と、先端部表面に金
属細線が接続されるボンディングパッド部と前記ボンデ
ィングパッド部近傍に溝部とを有し、他端部が前記フレ
ーム枠と接続し、底面がランド電極となるリード部と、
前記リード部の先端部領域にその先端部が配置され、他
端部が前記フレーム枠と接続し、底面がランド電極とな
るランドリード部とよりなり、少なくとも前記リード部
のランド電極と前記ランドリード部のランド電極とは直
線状の2列を構成しているリードフレームである。
In order to solve the above-mentioned conventional problems, a lead frame according to the present invention is provided with a frame main body made of a metal plate, and disposed in an area of the frame main body, and has a projecting portion on the surface. A die pad portion for mounting a semiconductor element, a suspension lead portion supporting the die pad portion at the tip end, and connected to a frame at the other end portion, and a bonding pad portion to which a fine metal wire is connected to the tip end surface. The bond
A lead portion having a groove near the padding portion , the other end connected to the frame, and a bottom surface serving as a land electrode;
The tip portion is disposed in the tip portion region of the lead portion, the other end portion is connected to the frame, and the bottom surface is a land lead portion serving as a land electrode. At least the land electrode of the lead portion and the land lead The land electrodes are lead frames constituting two linear rows.

【手続補正3】[Procedure amendment 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0014[Correction target item name] 0014

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0014】また本発明のリードフレームは、金属板よ
りなるフレーム本体と、前記フレーム本体の領域内に配
設されて、表面に突出部を有した半導体素子搭載用のダ
イパッド部と、先端部で前記ダイパッド部を支持し、他
端部でフレーム枠と接続した吊りリード部と、先端部表
面に金属細線が接続されるボンディングパッド部と前記
ボンディングパッド部近傍に溝部とを有し、他端部が前
記フレーム枠と接続し、底面がランド電極となるリード
部と、前記リード部の先端部領域にその先端部が配置さ
れ、他端部が前記フレーム枠と接続し、底面がランド電
極となるランドリード部とよりなり、少なくとも前記リ
ード部の先端部と平行して前記ランドリード部の先端部
は前記リード部の前記先端部よりも前記ダイパッド部側
に延在し、前記リード部のランド電極と前記ランドリー
ド部のランド電極とは千鳥状の2列を構成しているリー
ドフレームである。
A lead frame according to the present invention comprises: a frame main body made of a metal plate; a die pad portion provided in a region of the frame main body and having a protruding portion on its surface for mounting a semiconductor element; A suspension lead portion supporting the die pad portion and connected to a frame at the other end portion; a bonding pad portion to which a fine metal wire is connected to a tip end surface;
A lead portion having a groove in the vicinity of the bonding pad portion , the other end portion being connected to the frame, a bottom portion serving as a land electrode, and a leading end portion disposed in a leading end region of the lead portion; Is connected to the frame, the bottom surface comprises a land lead portion serving as a land electrode, the tip of the land lead portion is at least parallel to the tip portion of the lead portion, the tip portion of the land portion is more than the tip portion of the lead portion. The lead frame extends to the die pad portion side, and the land electrodes of the lead portion and the land electrodes of the land lead portion constitute a staggered two rows.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0020[Correction target item name] 0020

【補正方法】削除[Correction method] Deleted

【手続補正5】[Procedure amendment 5]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0039[Correction target item name] 0039

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction contents]

【0039】また、本実施形態のリードフレームのダイ
パッド部1の突出部6を包囲する領域に相当する底面に
は、矩形状の環状の溝部11を設けている。この溝部1
1により、ダイパッド部1の底面にハンダ等の接合材料
を用いて基板実装した際、ハンダの余分な広がりを防止
し、実装精度を向上させるとともに、半導体素子からの
放熱作用によるダイパッド部1自体の応力を吸収できる
ものであり、パッケージ内部からの応力の伝搬を遮断で
きるものである。さらに樹脂封止時のダイパッド部1底
面への封止樹脂の回り込みによる樹脂バリの発生を防止
できるものである。また本実施形態では溝部11を1本
設けているが、その外周部にも環状の溝部を形成しても
さらなる実装精度向上を達成できる。さらに溝部11の
形状も同様に連続した環状の溝形状以外、仮想的な円
形、矩形の環状の溝でもよい。
A rectangular annular groove 11 is provided on the bottom surface corresponding to the area surrounding the protrusion 6 of the die pad portion 1 of the lead frame of the present embodiment. This groove 1
The 1, when the substrate mounted with a bonding material such as solder to the bottom surface of the dust Ipaddo unit 1, prevents the solder excess spread, thereby improving the mounting accuracy, die pad 1 itself due to the action of heat radiation from the semiconductor element And can block the propagation of stress from inside the package. Further, it is possible to prevent the occurrence of resin burrs due to the encapsulation resin wrapping around the bottom surface of the die pad portion 1 during resin encapsulation. In this embodiment, one groove 11 is provided. However, even if an annular groove is formed on the outer peripheral portion, further improvement in mounting accuracy can be achieved. Further, the shape of the groove 11 may be a virtual circular or rectangular annular groove other than the continuous annular groove shape.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 21/56 H01L 21/56 D 21/60 301 21/60 301M 23/12 23/28 A 23/28 23/12 L Fターム(参考) 4M109 AA01 BA01 CA21 DA02 DB15 FA04 5F044 AA01 GG01 GG03 GG07 GG10 JJ03 5F061 AA01 BA01 CA21 DE02 EA01 FA06 5F067 AA01 AA06 AA07 AA16 AB04 BB04 BC01 BC07 BD05 BE02 CC02 CC07 DA11 DA16 DC18──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI theme coat ゛ (Reference) H01L 21/56 H01L 21/56 D 21/60 301 21/60 301M 23/12 23/28 A 23/28 23/12 LF term (reference) 4M109 AA01 BA01 CA21 DA02 DB15 FA04 5F044 AA01 GG01 GG03 GG07 GG10 JJ03 5F061 AA01 BA01 CA21 DE02 EA01 FA06 5F067 AA01 AA06 AA07 AA16 AB04 BB04 BC01 BC07 DC05 BE02 CC02

Claims (16)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属板よりなるフレーム本体と、前記フ
レーム本体の領域内に配設されて、表面に突出部を有し
た半導体素子搭載用のダイパッド部と、先端部で前記ダ
イパッド部を支持し、他端部でフレーム枠と接続した吊
りリード部と、先端部表面に金属細線が接続されるボン
ディングパッド部を有し、他端部が前記フレーム枠と接
続し、底面がランド電極となるリード部と、前記リード
部の先端部領域にその先端部が配置され、他端部が前記
フレーム枠と接続し、底面がランド電極となるランドリ
ード部とよりなり、少なくとも前記リード部のランド電
極と前記ランドリード部のランド電極とは直線状の2列
を構成していることを特徴とするリードフレーム。
1. A frame main body made of a metal plate, a die pad portion provided in a region of the frame main body and having a protruding portion on a surface thereof for mounting a semiconductor element, and a tip end portion supporting the die pad portion. A lead having a suspension lead connected to the frame at the other end, and a bonding pad connected to the thin metal wire on the surface of the tip, the other end being connected to the frame and the bottom serving as a land electrode. Part, the tip part is arranged in the tip part region of the lead part, the other end part is connected to the frame, and the bottom part is a land lead part serving as a land electrode, and at least the land electrode of the lead part A lead frame, wherein the land electrodes of the land lead portion form two linear rows.
【請求項2】 金属板よりなるフレーム本体と、前記フ
レーム本体の領域内に配設されて、表面に突出部を有し
た半導体素子搭載用のダイパッド部と、先端部で前記ダ
イパッド部を支持し、他端部でフレーム枠と接続した吊
りリード部と、先端部表面に金属細線が接続されるボン
ディングパッド部を有し、他端部が前記フレーム枠と接
続し、底面がランド電極となるリード部と、前記リード
部の先端部領域にその先端部が配置され、他端部が前記
フレーム枠と接続し、底面がランド電極となるランドリ
ード部とよりなり、少なくとも前記リード部の先端部と
平行して前記ランドリード部の先端部は前記リード部の
前記先端部よりも前記ダイパッド部側に延在し、前記リ
ード部のランド電極と前記ランドリードのランド電極と
は千鳥状の2列を構成していることを特徴とするリード
フレーム。
2. A frame main body made of a metal plate, a die pad portion provided in a region of the frame main body and having a protruding portion on its surface for mounting a semiconductor element, and a tip end portion supporting the die pad portion. A lead having a suspension lead connected to the frame at the other end, and a bonding pad connected to the thin metal wire on the surface of the tip, the other end being connected to the frame and the bottom serving as a land electrode. Portion, the tip portion is disposed in the tip portion region of the lead portion, the other end portion is connected to the frame, the bottom surface is a land lead portion serving as a land electrode, at least the tip portion of the lead portion In parallel, the tip of the land lead extends toward the die pad side from the tip of the lead, and the land electrode of the lead and the land electrode of the land lead form two rows in a staggered manner. Structure A lead frame, comprising:
【請求項3】 ダイパッド部の突出部は、前記ダイパッ
ド部を構成する材料がプレス加工による半切断状態で突
出した突出部であり、前記ダイパッド部の底面は前記突
出部に対応した凹部が形成されていることを特徴とする
請求項1または請求項2に記載のリードフレーム。
3. The projecting portion of the die pad portion is a projecting portion in which a material constituting the die pad portion projects in a half-cut state by press working, and a concave portion corresponding to the projecting portion is formed on a bottom surface of the die pad portion. The lead frame according to claim 1 or 2, wherein
【請求項4】 ダイパッド部の突出部は、前記ダイパッ
ド部を構成する材料がハーフエッチ加工により突出部を
設けた部分以外が薄厚にエッチングされ、エッチングさ
れない部分が残存して突出した突出部であり、前記ダイ
パッド部の底面は平坦であることを特徴とする請求項1
または請求項2に記載のリードフレーム。
4. The protruding portion of the die pad portion is a protruding portion in which the material constituting the die pad portion is thinly etched by a half-etching process except a portion provided with the protruding portion, and a portion that is not etched remains and protrudes. And a bottom surface of the die pad portion is flat.
Alternatively, the lead frame according to claim 2.
【請求項5】 ダイパッド部はその表面の突出部を包囲
する環状の溝を有していることを特徴とする請求項1ま
たは請求項2に記載のリードフレーム。
5. The lead frame according to claim 1, wherein the die pad portion has an annular groove surrounding the protrusion on the surface.
【請求項6】 ダイパッド部はその底面に環状の溝を有
していることを特徴とする請求項1または請求項2に記
載のリードフレーム。
6. The lead frame according to claim 1, wherein the die pad portion has an annular groove on a bottom surface thereof.
【請求項7】 吊りリードは、その他端部のフレーム枠
と接続した部分の近傍にダミーランド部を有しているこ
とを特徴とする請求項1または請求項2に記載のリード
フレーム。
7. The lead frame according to claim 1, wherein the suspension lead has a dummy land portion near a portion connected to the frame at the other end.
【請求項8】 リード部はその先端部表面にボンディン
グパッド部を有し、前記ボンディングパッド近傍に溝部
を有していることを特徴とする請求項1または請求項2
に記載のリードフレーム。
8. The lead part has a bonding pad part on the surface of the tip part, and has a groove part near the bonding pad.
The lead frame according to 1.
【請求項9】 ランドリード部はその先端部表面にボン
ディングパッド部を有し、前記ボンディングパッド下部
に下方に突出したランド部を有していることを特徴とす
る請求項1または請求項2に記載のリードフレーム。
9. The method according to claim 1, wherein the land lead portion has a bonding pad portion on a front end surface thereof, and has a land portion projecting downward below the bonding pad. Lead frame as described.
【請求項10】 表面に突出部を有したダイパッド部
と、前記ダイパッド部の前記突出部上に搭載された半導
体素子と、表面に溝部を有し、底面が露出したリード部
と、前記リード部の先端部領域にその先端部が引き回し
で配置され、その先端部の底面が露出してランド電極を
構成するランドリード部と、前記半導体素子の電極パッ
ドと前記ランドリード部、前記リード部とを電気的に接
続した金属細線と、前記ダイパッド部の底面を除く領
域、搭載された半導体素子、ランドリード部の底面を除
く領域、リード部の外部側面と底面とを除く領域、およ
び金属細線領域を封止した封止樹脂とよりなり、前記ダ
イパッド部の表面と前記半導体素子の底面との間隙には
前記封止樹脂の一部が介在し、前記封止樹脂よりなるパ
ッケージ部底面より露出したランドリード部の底面と、
リード部の外部側面と底面とは外部電極を構成するラン
ド電極を構成しており、少なくとも前記リード部の底面
とその先端部領域に配置されたランドリード部の先端部
底面とは直線状の2列を構成して露出するとともに、前
記リード部の側端面が封止樹脂側面から露出しているこ
とを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
10. A die pad having a protrusion on the surface, a semiconductor element mounted on the protrusion of the die pad, a lead having a groove on the surface and having an exposed bottom surface, and the lead. The tip of the semiconductor device is arranged in a leading region in a leading region, and the bottom of the tip is exposed to form a land electrode; a land lead portion; an electrode pad of the semiconductor element; the land lead portion; and the lead portion. Electrically connected thin metal wires, a region excluding the bottom surface of the die pad portion, a mounted semiconductor element, a region excluding the bottom surface of the land lead portion, a region excluding the outer side surface and the bottom surface of the lead portion, and a thin metal wire region. A part of the sealing resin is interposed in a gap between a surface of the die pad part and a bottom surface of the semiconductor element, and is exposed from a bottom of the package part made of the sealing resin. And the bottom of the land lead
The outer side surface and the bottom surface of the lead portion constitute a land electrode constituting an external electrode, and at least the bottom surface of the lead portion and the bottom surface of the tip portion of the land lead portion disposed in the tip region are formed in a straight line. A resin-encapsulated semiconductor device, wherein a row is formed and exposed, and a side end surface of the lead portion is exposed from a sealing resin side surface.
【請求項11】 表面に突出部を有したダイパッド部
と、前記ダイパッド部の前記突出部上に搭載された半導
体素子と、表面に溝部を有し、底面が露出したリード部
と、前記リード部の先端部領域にその先端部が引き回し
で配置され、その先端部の底面が露出してランド電極を
構成するランドリード部と、前記半導体素子の電極パッ
ドと前記ランドリード部、前記リード部とを電気的に接
続した金属細線と、前記ダイパッド部の底面を除く領
域、搭載された半導体素子、ランドリード部の底面を除
く領域、リード部の外部側面と底面とを除く領域、およ
び金属細線領域を封止した封止樹脂とよりなり、前記ダ
イパッド部の表面と前記半導体素子の底面との間隙には
前記封止樹脂の一部が介在し、前記封止樹脂よりなるパ
ッケージ部底面より露出したランドリード部の底面と、
リード部の外部側面と底面とは外部電極を構成するラン
ド電極を構成しており、少なくとも前記リード部の底面
とその先端部領域に配置されたランドリード部の先端部
底面とは千鳥状の2列を構成して露出するとともに、前
記リード部の側端面が封止樹脂側面から露出しているこ
とを特徴とする樹脂封止型半導体装置。
11. A die pad having a projection on the surface, a semiconductor element mounted on the projection of the die pad, a lead having a groove on the surface, and an exposed bottom surface, and the lead. The tip of the semiconductor device is arranged in a leading region in a leading region, and the bottom of the tip is exposed to form a land electrode; a land lead portion; an electrode pad of the semiconductor element; the land lead portion; and the lead portion. Electrically connected thin metal wires, a region excluding the bottom surface of the die pad portion, a mounted semiconductor element, a region excluding the bottom surface of the land lead portion, a region excluding the outer side surface and the bottom surface of the lead portion, and a thin metal wire region. A part of the sealing resin is interposed in a gap between a surface of the die pad part and a bottom surface of the semiconductor element, and is exposed from a bottom of the package part made of the sealing resin. And the bottom of the land lead
The outer side surface and the bottom surface of the lead portion constitute a land electrode constituting an external electrode, and at least the bottom surface of the lead portion and the bottom surface of the tip portion of the land lead portion disposed in the tip region are staggered. A resin-encapsulated semiconductor device, wherein a row is formed and exposed, and a side end surface of the lead portion is exposed from a sealing resin side surface.
【請求項12】 ダイパッド部はその表面の突出部を包
囲する環状の溝を有していることを特徴とする請求項1
0または請求項11に記載の樹脂封止型半導体装置。
12. The die pad portion has an annular groove surrounding the protrusion on the surface thereof.
A resin-encapsulated semiconductor device according to claim 1 or claim 12.
【請求項13】 ダイパッド部はその底面に環状の溝を
有していることを特徴とする請求項10または請求項1
1に記載の樹脂封止型半導体装置。
13. A die pad according to claim 10, wherein the die pad has an annular groove on a bottom surface thereof.
2. The resin-sealed semiconductor device according to 1.
【請求項14】 封止樹脂よりなるパッケージ部底面に
はダミーランド部が露出して設けられていることを特徴
とする請求項10または請求項11に記載の樹脂封止型
半導体装置。
14. The resin-encapsulated semiconductor device according to claim 10, wherein a dummy land portion is provided to be exposed on a bottom surface of the package portion made of a sealing resin.
【請求項15】 表面に突出部と、前記突出部を包囲す
る環状の溝部と、底面に環状の溝部を有した半導体素子
搭載用のダイパッド部と、先端部で前記ダイパッド部を
支持し、他端部でフレーム枠と接続した吊りリード部
と、先端部底面がランド電極となり、表面に溝部が設け
られ、他端部が前記フレーム枠と接続したリード部と、
先端部が前記リード部の先端部付近に配置され、他端部
が前記フレーム枠と接続したランドリード部とよりな
り、前記リード部の先端部と前記ランドリード部の先端
部とが直線状の2列配置を構成しているリードフレーム
を用意する工程と、前記用意したリードフレームの前記
ダイパッド部の突出部上に半導体素子を搭載する工程
と、前記ダイパッド部上に搭載した前記半導体素子の主
面上の電極パッドと、前記リードフレームのランドリー
ド部、前記リード部の各上面とを金属細線により接続す
る工程と、前記リードフレームの裏面側の少なくともダ
イパッド部、ランドリード部、リード部の各底面に密着
するように接着力を有する封止シートを貼付する工程
と、前記封止シートを貼付した状態で少なくとも前記ラ
ンドリード部、リード部を前記封止シートに押圧した状
態で、前記リードフレームの上面側として前記半導体素
子、ダイパッド部、金属細線の領域を樹脂封止するとと
もに、少なくとも前記ダイパッド部、ランドリード部、
リード部の底面部分を除いて樹脂封止する工程と、樹脂
封止後に前記封止シートを前記リードフレームより除去
し、前記リードフレームの吊りリード部、ランドリード
部、リード部のフレーム枠と接続した部分を実質的にそ
れらの端部が樹脂封止したパッケージの側面と同一面に
配列するように切断し、前記パッケージ底面に前記ラン
ドリード部、リード部の底面によるランド電極を露出さ
せ、かつ前記リード部の側端部を外部電極として前記パ
ッケージ側面に露出させた樹脂封止型半導体装置を形成
する工程とよりなることを特徴とする樹脂封止型半導体
装置の製造方法。
15. A die pad for mounting a semiconductor element having a protrusion on the surface, an annular groove surrounding the protrusion, an annular groove on the bottom surface, and a tip for supporting the die pad. A suspension lead portion connected to the frame at the end, a bottom portion serving as a land electrode, a groove provided on the surface, and a lead connected to the frame at the other end;
The tip is disposed near the tip of the lead, the other end is a land lead connected to the frame, and the tip of the lead and the tip of the land lead are linear. A step of preparing a lead frame forming a two-row arrangement; a step of mounting a semiconductor element on the projecting portion of the die pad portion of the prepared lead frame; and a step of mounting the semiconductor element on the die pad section. Connecting the electrode pads on the surface, the land lead portions of the lead frame, and the respective upper surfaces of the lead portions with thin metal wires; and forming at least a die pad portion, a land lead portion, and a lead portion on the back surface side of the lead frame. A step of attaching a sealing sheet having an adhesive force so as to be in close contact with the bottom surface, and at least the land lead portion and the lead portion in a state where the sealing sheet is attached. Wherein in a state of pressing the sealing sheet, the semiconductor element as an upper surface side of the leadframe, the die pad, with the region of the metal thin wire for resin sealing, at least the die pad, the land leads,
Removing the sealing sheet from the lead frame after sealing the resin except for the bottom surface portion of the lead portion, and connecting to the suspension lead portion, the land lead portion, and the frame frame of the lead portion of the lead frame. Cut the portion so that their ends are substantially aligned with the side surface of the package sealed with resin, the land lead portion on the bottom surface of the package, the land electrode by the bottom surface of the lead portion is exposed, and Forming a resin-encapsulated semiconductor device having a side end of the lead portion exposed to the side surface of the package as an external electrode.
【請求項16】 表面に突出部と、前記突出部を包囲す
る環状の溝部と、底面に環状の溝部を有した半導体素子
搭載用のダイパッド部と、先端部で前記ダイパッド部を
支持し、他端部でフレーム枠と接続した吊りリード部
と、先端部底面がランド電極となり、表面に溝部が設け
られ、他端部が前記フレーム枠と接続したリード部と、
先端部が前記リード部の先端部付近に配置され、他端部
が前記フレーム枠と接続したランドリード部とよりな
り、前記リード部の先端部と前記ランドリード部の先端
部とが千鳥状の2列配置を構成しているリードフレーム
を用意する工程と、前記用意したリードフレームの前記
ダイパッド部の突出部上に半導体素子を搭載する工程
と、前記ダイパッド部上に搭載した前記半導体素子の主
面上の電極パッドと、前記リードフレームのランドリー
ド部、前記リード部の各上面とを金属細線により接続す
る工程と、前記リードフレームの裏面側の少なくともダ
イパッド部、ランドリード部、リード部の各底面に密着
するように接着力を有する封止シートを貼付する工程
と、前記封止シートを貼付した状態で少なくとも前記ラ
ンドリード部、リード部を前記封止シートに押圧した状
態で、前記リードフレームの上面側として前記半導体素
子、ダイパッド部、金属細線の領域を樹脂封止するとと
もに、少なくとも前記ダイパッド部、ランドリード部、
リード部の底面部分を除いて樹脂封止する工程と、樹脂
封止後に前記封止シートを前記リードフレームより除去
し、前記リードフレームの吊りリード部、ランドリード
部、リード部のフレーム枠と接続した部分を実質的にそ
れらの端部が樹脂封止したパッケージの側面と同一面に
配列するように切断し、前記パッケージ底面に前記ラン
ドリード部、リード部の底面によるランド電極を露出さ
せ、かつ前記リード部の側端部を外部電極として前記パ
ッケージ側面に露出させた樹脂封止型半導体装置を形成
する工程とよりなることを特徴とする樹脂封止型半導体
装置の製造方法。
16. A die pad portion for mounting a semiconductor element having a protrusion on the surface, an annular groove surrounding the protrusion, an annular groove on the bottom surface, and a tip supporting the die pad. A suspension lead portion connected to the frame at the end, a bottom portion serving as a land electrode, a groove provided on the surface, and a lead connected to the frame at the other end;
The tip is disposed near the tip of the lead, and the other end is a land lead connected to the frame. The tip of the lead and the tip of the land lead are staggered. A step of preparing a lead frame forming a two-row arrangement; a step of mounting a semiconductor element on the projecting portion of the die pad portion of the prepared lead frame; and a step of mounting the semiconductor element on the die pad section. Connecting the electrode pads on the surface, the land lead portions of the lead frame, and the respective upper surfaces of the lead portions with thin metal wires; and forming at least a die pad portion, a land lead portion, and a lead portion on the back surface side of the lead frame. A step of attaching a sealing sheet having an adhesive force so as to be in close contact with the bottom surface, and at least the land lead portion and the lead portion in a state where the sealing sheet is attached. Wherein in a state of pressing the sealing sheet, the semiconductor element as an upper surface side of the leadframe, the die pad, with the region of the metal thin wire for resin sealing, at least the die pad, the land leads,
Removing the sealing sheet from the lead frame after sealing the resin except for the bottom surface portion of the lead portion, and connecting to the suspension lead portion, the land lead portion, and the frame frame of the lead portion of the lead frame. Cut the portion so that their ends are substantially aligned with the side surface of the package sealed with resin, the land lead portion on the bottom surface of the package, the land electrode by the bottom surface of the lead portion is exposed, and Forming a resin-encapsulated semiconductor device having a side end of the lead portion exposed to the side surface of the package as an external electrode.
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