JP2000299278A5 - - Google Patents
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Description
【特許請求の範囲】
【請求項1】 原板に描画されている回路パターンを、可動ステージ上に搭載された感光基板上に投影する投影露光方法において、投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することを特徴とする投影露光方法。
【請求項2】 さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項3】 前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項4】 第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより、前記重ね合せマークを形成することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項5】 原板に描画されている回路パターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板を搭載しかつ移動するステージと、前記ステージの位置制御を行うステージ位置制御系と、前記投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを求める手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。
【請求項6】 前記求める手段は、さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項7】 前記求める手段は、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項8】 前記重ね合せマークは、第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項9】 請求項1乃至4のいずれかに記載の投影露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項10】 請求項5乃至8のいずれかに記載の投影露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項1】 原板に描画されている回路パターンを、可動ステージ上に搭載された感光基板上に投影する投影露光方法において、投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することを特徴とする投影露光方法。
【請求項2】 さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項3】 前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項4】 第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより、前記重ね合せマークを形成することを特徴とする請求項1に記載の投影露光方法。
【請求項5】 原板に描画されている回路パターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板を搭載しかつ移動するステージと、前記ステージの位置制御を行うステージ位置制御系と、前記投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを求める手段と、を有することを特徴とする投影露光装置。
【請求項6】 前記求める手段は、さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項7】 前記求める手段は、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項8】 前記重ね合せマークは、第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載の投影露光装置。
【請求項9】 請求項1乃至4のいずれかに記載の投影露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法。
【請求項10】 請求項5乃至8のいずれかに記載の投影露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法。
本発明の目的は、より正確にステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することができる投影露光方法、投影露光装置、及びそれらを用いたデバイスの製造方法を提供することである。
【0012】
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、原板に描画されている回路パターンを、可動ステージ上に搭載された感光基板上に投影する投影露光方法において、投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することを特徴とする投影露光方法である。
【課題を解決するための手段】
第1の発明は、原板に描画されている回路パターンを、可動ステージ上に搭載された感光基板上に投影する投影露光方法において、投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することを特徴とする投影露光方法である。
第2の発明は、さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする第1の発明の投影露光方法である。
第3の発明は、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする第1の発明の投影露光方法である。
第4の発明は、第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより、前記重ね合せマークを形成することを特徴とする第1の発明の投影露光方法である。
第5の発明は、原板に描画されている回路パターンを感光基板上に投影する投影光学系と、前記感光基板を搭載しかつ移動するステージと、前記ステージの位置制御を行うステージ位置制御系と、前記投影光学系によって、前記感光基板上に複数行かつ複数列配列され、かつ隣接ショット間で一部領域を重畳して転写された各ショット内で、計測マークの重なりにより形成された重ね合せマークの位置差を計測し、該計測されたデータを用いて、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを算出し、該位置ずれ及び該回転ずれに基づいて、前記ステージの移動軸の直線性及び回転ずれを求める手段と、を有することを特徴とする投影露光装置である。
第6の発明は、前記求める手段は、さらに、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれとともに、前記原板の投影像の歪み及び前記ステージの計測スケールの誤差による重ね合せマーク毎の位置差を算出することを特徴とする第5の発明の投影露光装置である。
第7の発明は、前記求める手段は、前記各ショットの位置ずれ及び回転ずれを最小二乗法を用いて算出することを特徴とする第5の発明の投影露光装置である。
第8の発明は、前記重ね合せマークは、第1及び第2の計測マークを有する原板を用いて、前記感光基板上の複数のショット位置に前記第1及び第2の計測マークを転写し、さらに前記第1の計測マークに重なるように前記第2の計測マークを転写することにより形成されたものであることを特徴とする第5の発明の投影露光装置である。
第9の発明は、第1の発明乃至第4の発明のいずれかの投影露光方法を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法である。
第10の発明は、第5の発明乃至第8の発明のいずれかの投影露光装置を用いてデバイスを製造することを特徴とするデバイスの製造方法である。
【0041】
【発明の効果】
本発明の効果は、より正確にステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することができる投影露光方法、投影露光装置、及びそれらを用いたデバイスの製造方法を提供できることである。
【発明の効果】
本発明の効果は、より正確にステージの移動軸の直線性及び回転ずれを調整することができる投影露光方法、投影露光装置、及びそれらを用いたデバイスの製造方法を提供できることである。
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