JP2000299270A - 露光用ランプ、その製造誤差測定装置および露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 露光用ランプの交換時等における光軸調整作
業の時間を減縮する。 【解決手段】 露光用ランプに内部の電極先端または輝
度中心の位置の製造誤差に関する情報を記録するための
構造を設け、前記情報を記録する。この情報の記録を行
なうために、露光用ランプの内部の電極先端または輝度
中心の位置を測定する誤差測定手段（図１（ｂ））と、
この測定結果に基づく製造誤差に関する情報を前記露光
用ランプに記録する記録手段（図１（ｃ））とを備える
露光用ランプの製造誤差測定刻印装置を用いる。露光装
置においては、露光用ランプに記録されている製造誤差
に関する情報を読み取る読取り手段と、読み取った情報
に基づいて前記露光用ランプの光軸調整を行なう光軸調
整手段とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置や
液晶製造装置に使用される露光装置、それに使用できる
露光用ランプ、およびその製造誤差測定装置に関し、特
に、露光用ランプの製造誤差の測定および記録を行な
い、この記録に基づいて露光用ランプの初期位置の設定
ができるようにしたものに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、露光装置に用いられる露光光源用
ランプを装置に取り付けた際の光軸調整（Ｘ，Ｙ，Ｚ）
などの初期調整においては、ランプハウスのアークモニ
タの窓に映る電極の陰影を眺めながらランプをＸＹＺ方
向に少しずつ手動で動かして、照度が高く、かつ照度の
ムラの少ない最適のポイントを探り出している。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来技術によれば、ランプの光軸調整の全てを手動
で行なっているため、最適のポイントを探り出すのに、
かなりの手間と時間が必要とされるという問題がある。
そのため、ほとんどのユーザにおいて２４時間稼動によ
る運営で使用されている露光装置を、ランプ交換のたび
ごとに長時間止めてしまうことになり、それがユーザに
とっては、結果的に多大な損失となって計上されてい
る。

【０００４】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、露光用ランプの交換時における作業時間を
減縮し、もって露光装置の実稼動時間を増加させること
ができる露光用ランプ、その製造誤差測定装置、および
露光装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の露光用ランプは、内部の電極または輝度中心の
位置の製造誤差に関する情報を記録するための構造を具
備し、あるいはさらに前記情報が記録してあることを特
徴とする。また、本発明の製造誤差測定装置は、露光用
ランプの内部の電極または輝度中心の位置を、露光用ラ
ンプの製造時等において測定する誤差測定手段と、この
測定結果に基づく製造誤差に関する情報を前記露光用ラ
ンプに記録する記録手段とを具備することを特徴とす
る。また、本発明の露光装置は、露光用ランプに記録さ
れている製造誤差に関する情報を、露光用ランプ装着時
等において読み取る読取り手段と、読み取った情報に基
づいて露光用ランプの光軸調整を行なう光軸調整手段と
を具備することを特徴とする。露光装置の実稼動時間を
増やすには、露光装置の稼動停止を伴う露光用ランプ交
換時における初期光軸調整において、「最適のポイント
を探り出すための作業時間をいかに少なくするか」とい
うことが重要である。それには、ある程度、露光用ラン
プを最適ポイントの近くに追い込んでしまえるような、
半自動的なランプの光軸粗調整（プリアライメント）機
能を有し、それを最初に行なってから最終調整に移行す
る手順を踏むことによって、手間と時間のかかる手動調
整作業を減らすことが必要となる。本発明はこの光軸粗
調整が半自動的に行なわれるようにしたものであり、本
発明によれば、製造誤差測定装置により露光用ランプの
製造誤差に関する情報を露光用ランプに記録し、この記
録に基づいて露光装置が露光用ランプの光軸調整を行な
う。これにより、ランプ交換時の光軸調整作業時間が減
少され、露光装置の実稼動時間が向上し、ユーザ先での
２４時間稼動体制に与える影響が低減される。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の好ましい実施形態におい
ては、誤差測定手段は、レーザスキャンによる反射光情
報または透過光情報を用いて製造誤差の測定を行なうも
のであり、あるいはＬＥＤおよびそこからの光を受光す
る受光素子を用いたものである。この受光素子としては
反射光受光型ＣＣＤ、透過光受光型ＣＣＤ等の微細集積
受光素子を使用することができる。

【０００７】また、誤差測定手段は、輝度中心を測定す
る場合は、輝度中心からの光を検出する単一または４分
割のフォトセンサ、および輝度中心からの直線光束以外
の外乱光がフォトセンサに入らないようにするための直
列に２段に組んだピンホールを有する。あるいは、ピン
ホールおよびこれを介して輝度中心からの光を受光する
ＣＣＤを組み合わせて構成した輝度中心測定手段、また
は、ピンホールおよびこれを介して輝度中心からの光を
検出する４分割フォトセンサを組み合わせて構成した輝
度中心測定手段を有する。

【０００８】前記情報の記録はバーコード、２次元バー
コード、磁気コード、またはホログラムによるもの等で
ある。露光用ランプは水銀、キセノン等の希ガスを封入
した放電ランプ等である。

【０００９】読取り手段としては、例えば図３に示すよ
うなバーコードリーダ３が使える。光軸調整手段として
は、図３に示すようなランプ回転機構８、ランプ左右前
後上下傾き機構９等により露光用ランプを所定位置
（Ｘ，Ｙ，Ｚ）および角度（偏心角θ，傾き角λ）に移
動する手段が使用できる。また、誤差測定手段として
は、図４に示すような陰極４３のエッジおよび陽極口金
６のエッジを検出することによって、露光装置のランプ
ハウス内のランプ固定部基準点からの陰極４３や陽極口
金６先端位置までの距離、角度等の測定を行なう機構等
が使用される。

【００１０】図１および図２は、露光用ランプの製造か
ら露光装置での使用に至るまでの手順において本発明を
適用した場合の全体の概略を示す。図２は露光装置サイ
ドでの様子を示しており、これに対応する例を後述の実
施例１として詳述する。図１はランプ製造サイドでの様
子を示しており、これに対応する例を実施例２において
詳述する。図１（ａ）は「ランプの組立て」、（ｂ）は
「ランプの製造誤差の測定」、（ｃ）は「ランプの製造
誤差の記録」、図２（ａ）は「ランプの製造誤差の読込
み」、（ｂ）は「ランプの点灯」を示しており、この順
で、本発明を適用した手順は進行する。具体的には、ラ
ンプの製造時においては、まず、露光用ランプの組立て
を行ない、それから、本発明の製造誤差測定装置を用い
て製造誤差を測定し、そして、その情報を本発明の露光
用ランプに記録する。その後の本発明の露光装置におけ
るランプの点灯時（使用時）においては、まず、本発明
の露光用ランプから製造誤差に関する情報を読み込み、
それに基づいて光軸粗調整を行ない、そして、ランプの
点灯を行なう。

【００１１】

【実施例】［実施例１］図３は、本発明の第１の実施例
に係る半導体製造装置（露光装置）の照明系ユニットに
おけるランプ製造誤差の読込み機構（読取り手段）およ
びプリアライメント機構（光軸粗調整手段）の構成を示
す。同図に示すように、この半導体製造装置は、露光用
のランプ１と、ランプ１に記録されている製造誤差に関
する情報を読み取るためのバーコードリーダ３と、読み
取った製造誤差に関する情報に基づいてランプ１の光軸
調整を行なうプリアライメント機構とを備える。ランプ
１は、陰極口金５と、製造誤差に関する情報が記録され
ている陰極口金５上の陰極口金部バーコード２と、陽極
口金６とを含む。プリアライメント機構は、ランプ１を
支持してＺ軸に平行な軸の周りすなわちθ方向に回転さ
せるランプ回転機構８と、陰極口金５を支持する陰極口
金支持部７と、陰極口金支持部７により支持され、ラン
プ回転機構８によりθ方向が決められているランプ１を
Ｘ、ＹおよびＺ方向ならびにＹ軸に平行な軸の周りすな
わちλ方向に回転させるランプ左右前後上下傾き機構９
と、ランプ１の点灯を行なうランプ点灯装置１１と、バ
ーコードリーダ３、ランプ回転機構８、ランプ左右前後
上下傾き機構９およびランプ点灯装置１１の駆動を制御
する制御装置１０とを備える。

【００１２】図６はランプ製造誤差データに基づくプリ
アライメント機構の動作を示すフローチャートである。
上記構成において、ランプ１の交換後、ランプの光軸
（位置）調整が必要になった場合には、同図に示すよう
に、制御装置１０は、まず、ステップａ１において、ラ
ンプ陰極口金５上に刻印されたバーコード２を、その近
傍に設置されたバーコードリーダ３によって読み込む。
このとき、バーコードデータの読込みが正常に行なわれ
た場合はステップａ３へ進み、正常に行なわれなかった
場合はステップａ１へ戻る。ステップａ３では、読み取
ったバーコードから各製造誤差のデータを抽出する。次
に、ステップａ４において、全製造誤差が既定値範囲内
であるか否かを判定し、既定値範囲内であればステップ
ａ６に進み、そうでなければステップａ５に進む。

【００１３】ステップａ５へ進んだ場合は、製造誤差が
既定値範囲外である旨のリミットエラーを表示し、その
後、処理を終了する。ステップａ６へ進んだ場合は、各
製造誤差データに基づき、ランプ１を送り込むべき各座
標値を計算する。各座標値はその標準値と各製造誤差を
加算することにより導出する。そして、ステップａ１０
において、導出した各座標値の位置ヘ、ランプ回転機構
８およびランプ左右前後上下傾き機構９により、ランプ
１を移動（プリアライメント）する。

【００１４】これにより、ランプ１は、露光装置の照明
系ユニット内における理想設定位置にかなり近づいた状
態になるため、ランプ１の交換時における光軸調整時間
を大幅に短縮することができる。

【００１５】［実施例２］図４および図５は本発明の第
２の実施例に係る半導体製造装置に用いられる露光用の
ランプの製造時における製造誤差を測定し、記録する製
造誤差測定装置の構成を示す。図４はこの製造誤差測定
装置の製造誤差測定機構の部分を示し、図５は製造誤差
刻印機構の部分を示す。これらの図において、４１はラ
ンプ１の陽極、４３はランプ１の陰極、２０は陰極４３
の先端位置を検出するための先端位置検出ユニット、２
１および２３は先端位置検出ユニット２０を構成する水
平移動機構付き投光器および水平移動機構付き受光器、
２２は投光器２１が発し、受光器２３が受光する位置検
出用の光ビーム、２４は位置検出ユニット２０をＺ方向
に駆動する上下駆動部、２７はランプ１をＺ軸に平行な
軸のまわりすなわちθ方向に回転させる回転駆動部、３
２はバーコード２をランプ陰極口金５上に刻印するデー
タ刻印装置、２８は上下駆動部２４、回転駆動部２７お
よびデータ刻印装置３２を制御する誤差測定および刻印
制御部、２９は製造誤差測定機構により測定したデータ
を記憶する測定データ保持部である。

【００１６】図７はこの構成におけるランプ製造誤差の
測定処理を示すフローチャートである。ランプ製造後、
ランプの製造誤差測定が必要になった場合には、同図に
示すように、まず、ステップｂ１において、ランプ１を
製造誤差測定装置にセットする。次に、誤差測定および
刻印制御部２８は、ステップｂ２およびｂ３において、
上下駆動部２４により、先端検出ユニット２０をその投
光器２１から受光機２３に向けて出ている位置検出ビー
ム２２が陽極口金６によって遮られなくなる陽極口金６
の上端まで移動させ、そのときの移動位置をＺａＫとす
る。次に、制御部２８は、ステップｂ４において、ラン
プ回転駆動部２７によりランプ１をθ方向に回転させ
る。このとき、前述の位置ＺａＫ近傍の陽極口金６の左
端の位置が、ランプ１の回転軸が偏心していることによ
って左右に変動する。

【００１７】次に、ステップｂ５〜ｂ７において、この
θ方向の回転により位置ＺａＫ近傍の陽極口金６の左端
が最も左に位置するときのランプ１の回転角度θと陽極
口金６の左端のＸ座標Ｌｒｐ、および最も最も右に置す
るときのＸ座標Ｒｒｐを計測する。このとき、偏心によ
るランプの最大傾き角をλ、ランプの全長をＡとすれ
ば、次式が成り立つ。

【００１８】 ｔａｎλ＝（（Ｒｒｐ−Ｌｒｐ）／２）／Ａ この式を変形すると、λは次式で表すことができる。

【００１９】 λ＝ｔａｎ^-1（（Ｒｒｐ−Ｌｒｐ）／２Ａ） ここで、基準点から陽極口金６の上端の点までの長さＺ
ａＫはランプ全長Ａであるため、この式は次式となる。

【００２０】 λ＝ｔａｎ^-1（（Ｒｒｐ−Ｌｒｐ）／２ＺａＫ） そこで、この式によりランプの最大傾き角λを計算し、
前述の回転角度θおよびこの最大傾き角λを、それぞれ
回転角座標θおよび傾き角座標λとして記憶する。

【００２１】次に、ステップｂ８において、再び位置Ｚ
ａＫ近傍の陽極口金６の左端がＸ座標Ｌｒｐに位置する
までランプ１を回転させる。そして、ステップｂ９およ
びｂ１０において、上下駆動部２４、先端位置検出ユニ
ット２０およびその水平移動機構を用いて、検出光ビー
ム２２を上方向へ移動し、検出光ビーム２２が陰極４３
の上端すれすれの位置、すなわち検出光ビーム２２が陰
極４３上端（先端）で遮られなくなる境界点に位置さ
せ、このときのＺ座標ＺｋおよびＸ座標Ｘｋを計測し、
記憶する。

【００２２】さらに、ステップｂ１１においてランプ回
転駆動部２７によりランプ１を時計方向に９０度回転さ
せた後、ステップｂ１２およびｂ１３において、前述と
同様に上下駆動部２４、先端位置検出ユニット２０およ
びその水平移動機構を用いて検出光ビーム２２を陰極４
３の上端すれすれに位置させ、そのときのＸ座標を、Ｙ
座標Ｙｋとして記憶する。ランプ１の９０度回転により
ＸからＹに変換されているため、このとき計測したＸ座
標は、Ｙ座標を表しているからである。

【００２３】次に、ステップｂ１４において、上述のよ
うにして求めた各座標値（θ，λ，Ｚｋ，Ｘｋ，Ｙｋ）
からそれぞれの標準値を減算して各製造誤差を求め、そ
れらを測定データ保持部２９に格納する。そして、ステ
ップｂ１５において、全製造誤差が既定限界値以下であ
るか否かを判定し、既定限界値以下であればステップｂ
１７へ進み、そうでなければステップｂ１６へ進む。ス
テップｂ１６では、製造誤差エラーを表示し、その後、
処理を終了する。ステップｂ１７では、制御部２８は、
データ保持部２９より各製造誤差を読み出し、各製造誤
差をバーコードデータに変換する。そしてステップｂ１
８において、そのバーコードデータを、高出力レーザ等
を用いたデータ刻印装置３２に送り込んで、ランプ陰極
口金５にバーコードとして刻印する。

【００２４】［実施例３］図８は本発明の第３の実施例
に係る半導体製造装置に用いられる露光用ランプの製造
時における製造誤差を測定する製造誤差測定機構の構成
を示す。この構成自体は、図４の構成と同じである。本
実施例が図４の実施例と異なるのは、図４の実施例では
陰極４３の先端の座標Ｚｋ、ＸｋおよびＹｋを測定して
いるのに対し、本実施例では陽極４１の下端のＺ座標Ｚ
ａ、Ｘ座標ＸａおよびＹ座標Ｙａを測定するようにして
いる点にある。すなわち、本実施例では、ランプの製造
誤差測定をする場合には、図４の実施例の場合と同様な
手法を用いて、各座標値（θ，λ，Ｚａ，Ｘａ，Ｙａ）
を求める。この後、その各座標値から各標準値分を減算
して製造誤差を求め、それらを測定データ保持部２９に
格納する。さらに、そのデータを基にして、実施例２の
場合と同様にして、ランプ１の陰極口金５にバーコード
を刻印する。

【００２５】［実施例４］図９は本発明の第４の実施例
に係る半導体製造装置用ランプに用いられる露光用ラン
プの製造時における製造誤差を測定する製造誤差測定機
構の構成を示す。この構成自体は、図４の構成と同じで
ある。本実施例が図４の実施例と異なるのは、図４の実
施例では陰極４３の先端の座標Ｚｋ、ＸｋおよびＹｋを
測定しているのに対し、本実施例では、これに加え、さ
らに陽極４１の下端のＺ座標Ｚａ、Ｘ座標ＸａおよびＹ
座標Ｙａを測定するようにしている点にある。すなわ
ち、本実施例では、ランプの製造誤差測定をする場合に
は、実施例２の場合と同様な手法を用いて、各座標値
（θ，λ，Ｚｋ，Ｘｋ，Ｙｋ，Ｚａ，Ｘａ，Ｙａ）を求
める。この後、その各座標値から各標準値分を減算して
製造誤差を求め、それらを測定データ保持部２９に格納
する。さらに、そのデータを基にして、実施例２の場合
と同様にして、ランプ１の陰極口金５にバーコードの刻
印を行なう。

【００２６】［実施例５］図１０は、本発明の第５の実
施例に係る半導体製造装置用ランプに用いられる露光用
ランプの製造時における製造誤差を測定する製造誤差測
定機構の構成を示す。図１０において、１１はランプ１
の点灯を行なうランプ点灯装置、３０はランプ１の輝度
中心の位置を測定するための輝度中心測定器である。他
の図４と同一の符号を付した要素は図４の場合と同一の
要素である。

【００２７】図１２は図１０の構成におけるランプ製造
誤差の測定処理を示すフローチャートである。同図にお
いて、まず、ステップｇ１〜ｇ８は図７におけるステッ
プｂ１〜ｂ８と同様であり、同様の手順で回転角座標θ
および傾き角座標λを求め、記憶する。そして、ステッ
プｇ８において再び陽極口金６の左端がＸ座標Ｌｒｐに
位置するまでランプ１を回転させた後、ステップｇ９に
おいて、ランプ１を点灯させる。次に、ステップｇ１０
およびｇ１１において、上下駆動部２４、検出ユニット
２０およびその水平移動機構を用いて、輝度中心測定器
３０をその入力値が最大になる点に位置させ、このとき
のＺ座標ＺｂおよびＸ座標Ｘｂを計測し、記憶する。

【００２８】さらに、ステップｇ１２において、ランプ
回転駆動部２７を用いてランプ１を時計方向に９０度回
転させた後、ステップｇ１３およびｇ１４において、前
述と同様に上下駆動部２４、先端位置検出ユニット２０
およびその水平移動機構を用いて、輝度中心測定器３０
を、その入力値が最大になる点に位置させ、そのときの
Ｘ座標をＹ座標Ｙｂとして記憶する。

【００２９】以降のステップｇ１５〜ｇ１９の処理は、
扱うデータ以外は図７のステップｂ１４〜ｂ１８の処理
と同様である。すなわち、上述のようにして求めた各座
標値（θ，λ，Ｚｂ，Ｘｂ，Ｙｂ）から各標準値分を減
算してランプ輝度中心座標の製造誤差分を求め、それら
を測定データ保持部２９に格納し、さらに、そのデータ
を基にして、図５の実施例と同様にして、ランプ１の電
極口金５にバーコード２を刻印する。このバーコード２
に基づき、図３のプリアライメント機構と同様の構成に
よりランプ１の光軸粗調整を行なうことができる。

【００３０】図１１は、この、ランプ輝度中心の製造誤
差データに基づくプリアライメント機構の動作のフロー
チャートである。取り扱うデータが、図６の動作の場合
における陰極４３先端の座標（Ｘｋ，Ｙｋ，Ｚｋ）の代
わりにランプ輝度中心の座標（Ｚｂ，Ｘｂ，Ｙｂ）とな
る以外は図６の動作と同様である。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、次
の効果が得られる。 （１）ランプの交換時における光軸調整等において、最
適ポイントヘのランプの移動をある程度自動で行なえる
ようになるため、調整に要する多大な手間と時間を節約
することができる。 （２）今まで、規格内であれば不問にされていたランプ
個々の製造誤差および誤差データが明確になり、ランプ
メーカ各社のランプ加工精度の実力がわかるようにな
る。 （３）上記データが明確になることにより、ランプメー
カが、より加工精度の高いランプの製造を検討し始める
可能性があり、それが露光装置に対する実質的なランプ
の光軸調整時間を、さらに減少させるといった好循環を
生むようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 露光用ランプの製造から露光装置での使用に
至るまでの手順において本発明を適用した場合のランプ
製造サイドでの様子を示す図である。

【図２】 露光用ランプの製造から露光装置での使用に
至るまでの手順において本発明を適用した場合の露光装
置サイドでの様子を示す図である。

【図３】 本発明の第１の実施例に係る半導体製造装置
（露光装置）の照明系ユニットにおけるランプ製造誤差
の読込み機構（読取り手段）およびプリアライメント機
構（光軸粗調整手段）の構成を示す概略図である。

【図４】 本発明の第２の実施例に係る半導体製造装置
に用いられる露光用のランプの製造時における製造誤差
を測定し、記録する製造誤差測定装置の製造誤差測定機
構の部分を示す斜視図である。

【図５】 本発明の第２の実施例に係る半導体製造装置
に用いられる露光用のランプの製造時における製造誤差
を測定し、記録する製造誤差測定装置の製造誤差刻印機
構の部分を示す概略図である。

【図６】 図３のプリアライメント機構の動作を示すフ
ローチャートである。

【図７】 図４の製造誤差測定機構によるランプ製造誤
差の測定処理および図５の誤差刻印処理を示すフローチ
ャートである。

【図８】 本発明の第３の実施例に係る半導体製造装置
に用いられる露光用ランプの製造時における製造誤差を
測定する製造誤差測定機構の構成を示す斜視図である。

【図９】 本発明の第４の実施例に係る半導体製造装置
用ランプに用いられる露光用ランプの製造時における製
造誤差を測定する製造誤差測定機構の構成を示す斜視図
である。

【図１０】 本発明の第５の実施例に係る半導体製造装
置用ランプに用いられる露光用ランプの製造時における
製造誤差を測定する製造誤差測定機構の構成を示す斜視
図である。

【図１１】 図１０の機構によるランプ輝度中心の製造
誤差データに基づくプリアライメント機構の動作のフロ
ーチャートである。

【図１２】 図１０の構成におけるランプ製造誤差の測
定処理および誤差刻印処理を示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１：ランプ、２：陰極口金上に刻印されたバーコード、
３：バーコードリーダ、５：陰極口金、６：陽極口金、
７：陰極口金支持部、８：ランプ回転機構（θ駆動）、
９：ランプ左右前後上下傾き機構（ＸＹＺ駆動，λ駆
動）、１０：制御装置、１１：ランプ点灯装置、２０：
先端位置検出ユニット、２１：投光器、２２：位置検出
光ビーム、２３：受光器、２４：位置検出ユニットの上
下駆動部、２７：ランプの回転駆動部、２８：誤差測定
および刻印制御部、２９：測定データ保持部、３０：輝
度中心測定器、３１：測定データ刻印光、３２：データ
刻印装置、４１：陽極、４３：陰極。

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 内部の電極または輝度中心の位置の製造
   誤差に関する情報を記録するための構造を具備すること
   を特徴とする露光用ランプ。
2. 【請求項２】 前記情報が記録してあることを特徴とす
   る請求項１に記載の露光用ランプ。
3. 【請求項３】 露光用ランプの内部の電極または輝度中
   心の位置を測定する誤差測定手段と、この測定結果に基
   づく製造誤差に関する情報を前記露光用ランプに記録す
   る記録手段とを具備することを特徴とする露光用ランプ
   の製造誤差測定装置。
4. 【請求項４】 前記誤差測定手段は、レーザスキャンに
   よる反射光情報を用いて前記製造誤差の測定を行なうも
   のであることを特徴とする請求項３に記載の製造誤差測
   定装置。
5. 【請求項５】 前記誤差測定手段は、レーザスキャンに
   よる透過光情報を用いて前記製造誤差の測定を行なうも
   のであることを特徴とする請求項３に記載の製造誤差測
   定装置。
6. 【請求項６】 前記誤差測定手段は、ＬＥＤおよびそこ
   からの光を受光する受光素子を用いたものであることを
   特徴とする請求項３に記載の製造誤差測定装置。
7. 【請求項７】 前記受光素子は反射光受光型ＣＣＤ、透
   過光受光型ＣＣＤ等の微細集積受光素子であることを特
   徴とする請求項６に記載の製造誤差測定装置。
8. 【請求項８】 前記誤差測定手段は、前記輝度中心を測
   定するために前記輝度中心からの光を検出するフォトセ
   ンサ、および前記輝度中心からの直線光束以外の外乱光
   が前記フォトセンサに入らないようにするための直列に
   ２段に組んだピンホールを有することを特徴とする請求
   項３〜７のいずれか１項に記載の製造誤差測定装置。
9. 【請求項９】 前記誤差測定手段は、ピンホールおよび
   これを介して前記輝度中心からの光を受光するＣＣＤを
   組み合わせて構成した輝度中心測定手段を有することを
   特徴とする請求項３〜７のいずれか１項に記載の製造誤
   差測定装置。
10. 【請求項１０】 前記誤差測定手段は、ピンホールおよ
    びこれを介して前記輝度中心からの光を検出する４分割
    フォトセンサを組み合わせて構成した輝度中心測定手段
    を有することを特徴とする請求項３〜７のいずれか１項
    に記載の製造誤差測定装置。
11. 【請求項１１】 前記フォトセンサは単一のセンサであ
    ることを特徴とする請求項８に記載の製造誤差測定装
    置。
12. 【請求項１２】 前記フォトセンサは４分割センサであ
    ることを特徴とする請求項８に記載の製造誤差測定装
    置。
13. 【請求項１３】 露光用ランプに記録されている製造誤
    差に関する情報を読み取る読取り手段と、読み取った情
    報に基づいて前記露光用ランプの光軸調整を行なう光軸
    調整手段とを具備することを特徴とする露光装置。
14. 【請求項１４】 前記製造誤差に関する情報は請求項３
    〜１２のいずれかの製造誤差測定装置により測定され、
    記録された情報であることを特徴とする請求項１３に記
    載の露光装置。
15. 【請求項１５】 前記情報の記録はバーコードによるも
    のであることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１
    項に記載のランプまたは装置。
16. 【請求項１６】 前記情報の記録は２次元バーコードに
    よるものであることを特徴とする請求項１〜１４のいず
    れか１項に記載のランプまたは装置。
17. 【請求項１７】 前記情報の記録は磁気コードによるも
    のであることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１
    項に記載のランプまたは装置。
18. 【請求項１８】 前記情報の記録はホログラムによるも
    のであることを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１
    項に記載のランプまたは装置。
19. 【請求項１９】 前記製造誤差に関する情報は、前記露
    光用ランプの光軸調整に用いられるものであることを特
    徴とする１〜１８のいずれか１項に記載のランプまたは
    装置。
20. 【請求項２０】 前記露光用ランプは水銀、キセノン等
    の希ガスを封入した放電ランプであることを特徴とする
    請求項１〜１９のいずれか１項に記載のランプまたは装
    置。