JP2000296451A - 端面研磨装置 - Google Patents
端面研磨装置Info
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- JP2000296451A JP2000296451A JP11104569A JP10456999A JP2000296451A JP 2000296451 A JP2000296451 A JP 2000296451A JP 11104569 A JP11104569 A JP 11104569A JP 10456999 A JP10456999 A JP 10456999A JP 2000296451 A JP2000296451 A JP 2000296451A
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- polishing
- rotation
- gear
- shaft
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Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
- B24B19/00—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group
- B24B19/22—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
- B24B19/226—Single-purpose machines or devices for particular grinding operations not covered by any other main group characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground of the ends of optical fibres
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 省スペース化、省エネ化及び組立性を向上さ
せ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工精度の向上を図
った端面研磨装置を提供する。 【解決手段】 研磨部材を有する研磨盤を回転揺動する
と共に固定用治具盤に保持された棒状部材を前記回転揺
動する研磨盤の研磨部材に対して押し付けて研磨する端
面研磨装置の駆動機構において、一端部が前記研磨盤３
１に固定されて当該研磨盤３１と共に自転及び公転する
自転軸３３と、この自転軸を偏芯位置に回転自在に保持
する公転軸３７と、この公転軸３７を回転自在に支持す
る公転軸支持手段４３と、前記公転軸を回転駆動する駆
動手段５０と、前記自転軸３３の他端部又はその近傍に
固着された第１の歯車３９と、この第１の歯車３９の移
動軌跡に沿って設けられて当該第１の歯車３９と噛み合
う第２の歯車４９とを具備し、前記駆動手段による前記
公転軸３７の回転に伴って前記自転軸３３は公転すると
共に前記第１の歯車３９の前記第２の歯車４９との噛み
合いにより前記自転軸３３が自転するようにする。
せ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工精度の向上を図
った端面研磨装置を提供する。 【解決手段】 研磨部材を有する研磨盤を回転揺動する
と共に固定用治具盤に保持された棒状部材を前記回転揺
動する研磨盤の研磨部材に対して押し付けて研磨する端
面研磨装置の駆動機構において、一端部が前記研磨盤３
１に固定されて当該研磨盤３１と共に自転及び公転する
自転軸３３と、この自転軸を偏芯位置に回転自在に保持
する公転軸３７と、この公転軸３７を回転自在に支持す
る公転軸支持手段４３と、前記公転軸を回転駆動する駆
動手段５０と、前記自転軸３３の他端部又はその近傍に
固着された第１の歯車３９と、この第１の歯車３９の移
動軌跡に沿って設けられて当該第１の歯車３９と噛み合
う第２の歯車４９とを具備し、前記駆動手段による前記
公転軸３７の回転に伴って前記自転軸３３は公転すると
共に前記第１の歯車３９の前記第２の歯車４９との噛み
合いにより前記自転軸３３が自転するようにする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信用ファイバ
などの棒状部材の端面を研磨する端面研磨装置に関す
る。
などの棒状部材の端面を研磨する端面研磨装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】光通信用ファイバは、コネクタの主要部
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及びファイバの研磨面が、フェルールの中心
軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷があ
ったりすると、フェルール同士が対向接続される光コネ
クタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくなっ
てしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの研
磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。
材であるフェルールの中心孔内にファイバを接着固定し
た後、フェルール端面とファイバ端面とを同時に平滑に
研磨し鏡面に仕上げて使用される。この研磨仕上げした
フェルール及びファイバの研磨面が、フェルールの中心
軸と垂直な面でなかったり、あるいは、研磨面に傷があ
ったりすると、フェルール同士が対向接続される光コネ
クタにおいて、対向位置精度が劣化し損失が大きくなっ
てしまう。そのため、光ファイバを含むフェルールの研
磨面は高精度に研磨仕上げする必要がある。
【０００３】この種の従来の光ファイバ端面研磨装置と
しては、ＰＣＴ国際公開ＷＯ９４／０９９４４に開示さ
れたものがある。この端面研磨装置は、光ファイバを固
定した複数のフェルールを固定する固定治具盤を設ける
と共に、この固定治具盤を支持機構によって支持する一
方、フェルールを研磨する研磨部材を設けた研磨盤をフ
ェルールに対向して設け、複数のフェルールの端面に常
に同じ加圧力が作用するように研磨部材に当接し、研磨
盤を公転と自転とを独立で回転できるラッピング運動機
構によって駆動して複数のフェルールの端面を凸球面に
加工するものである。
しては、ＰＣＴ国際公開ＷＯ９４／０９９４４に開示さ
れたものがある。この端面研磨装置は、光ファイバを固
定した複数のフェルールを固定する固定治具盤を設ける
と共に、この固定治具盤を支持機構によって支持する一
方、フェルールを研磨する研磨部材を設けた研磨盤をフ
ェルールに対向して設け、複数のフェルールの端面に常
に同じ加圧力が作用するように研磨部材に当接し、研磨
盤を公転と自転とを独立で回転できるラッピング運動機
構によって駆動して複数のフェルールの端面を凸球面に
加工するものである。
【０００４】かかる装置の具体的な構成を図６及び図７
を参照しながら説明する。両図に示すように、自転用モ
ータ１の回転軸には第１自転伝達盤２の中心部が固結さ
れ、この第１自転伝達盤２には回転中心を支点とする同
心円上に複数の第１連結ピン３が固定されている。そし
て、この各第１連結ピン３は対応する各回転伝達盤４の
所定量（ｅ1）だけ偏芯した偏心部に回転自在に連結さ
れ、この各回転伝達盤４には偏心部に第１連結ピン５が
固定されている。各第１連結ピン５は第２自転伝達盤６
に回転自在に連結されている。
を参照しながら説明する。両図に示すように、自転用モ
ータ１の回転軸には第１自転伝達盤２の中心部が固結さ
れ、この第１自転伝達盤２には回転中心を支点とする同
心円上に複数の第１連結ピン３が固定されている。そし
て、この各第１連結ピン３は対応する各回転伝達盤４の
所定量（ｅ1）だけ偏芯した偏心部に回転自在に連結さ
れ、この各回転伝達盤４には偏心部に第１連結ピン５が
固定されている。各第１連結ピン５は第２自転伝達盤６
に回転自在に連結されている。
【０００５】一方、公転用モータ７の回転軸には駆動歯
車８の中心部が固結され、この駆動歯車８には従動歯車
９が噛み合っている。この従動歯車９は公転伝達軸１１
の下部外周に固結され、この公転伝達軸１１の上部外周
には装置本体の軸受筒部１０が嵌合している。そして、
この公転伝達軸１１には回転中心より所定量（ｅ2）偏
心した位置に自転用回転軸１３が回転自在に嵌入し、こ
の自転用回転軸１３の下端部は第２自転伝達盤６の中心
部に固結されている。
車８の中心部が固結され、この駆動歯車８には従動歯車
９が噛み合っている。この従動歯車９は公転伝達軸１１
の下部外周に固結され、この公転伝達軸１１の上部外周
には装置本体の軸受筒部１０が嵌合している。そして、
この公転伝達軸１１には回転中心より所定量（ｅ2）偏
心した位置に自転用回転軸１３が回転自在に嵌入し、こ
の自転用回転軸１３の下端部は第２自転伝達盤６の中心
部に固結されている。
【０００６】ここで、公転運動は、公転用モータ７によ
り一組の歯車である駆動歯車８及び従動歯車９を介して
公転伝達軸１１をＹ軸中心で回転させる。このとき、研
磨盤１５の中心はＹ軸からｅ2だけずれたＹ′軸にある
ため、Ｙ′軸はＹ軸を中心にｅ2の半径で動く。このと
き、公転伝達軸１１の中に自転用回転軸１３が存在する
が、Ｙ軸とＹ′軸の偏芯量ｅ2と同一の偏芯量ｅ1を有す
る回転伝達盤４を配しているので、回転伝達盤４は公転
伝達軸１１の回転と同じ位相で第１連結ピン３を中心と
してそれぞれ回転する。従って、第１自転伝達盤２が止
まっていても又は回転していても、公転伝達軸１１の回
転が規制されることはない。
り一組の歯車である駆動歯車８及び従動歯車９を介して
公転伝達軸１１をＹ軸中心で回転させる。このとき、研
磨盤１５の中心はＹ軸からｅ2だけずれたＹ′軸にある
ため、Ｙ′軸はＹ軸を中心にｅ2の半径で動く。このと
き、公転伝達軸１１の中に自転用回転軸１３が存在する
が、Ｙ軸とＹ′軸の偏芯量ｅ2と同一の偏芯量ｅ1を有す
る回転伝達盤４を配しているので、回転伝達盤４は公転
伝達軸１１の回転と同じ位相で第１連結ピン３を中心と
してそれぞれ回転する。従って、第１自転伝達盤２が止
まっていても又は回転していても、公転伝達軸１１の回
転が規制されることはない。
【０００７】一方、自転運動については自転用モータ１
により第１自転伝達盤２を回転させるが、第１連結ピン
３は自転伝達盤２の同心円上にあるので、Ｙ軸回りで同
じ軌跡を通る。自転用回転軸１３は第１自転伝達軸から
ｅ2だけ回転軸がずれているが、第２自転伝達盤６の同
心円上にある第２連結ピン５が偏芯量ｅ1を保ったまま
回転伝達盤２と同じ回転数の回転が自転用回転数１３に
伝達される。
により第１自転伝達盤２を回転させるが、第１連結ピン
３は自転伝達盤２の同心円上にあるので、Ｙ軸回りで同
じ軌跡を通る。自転用回転軸１３は第１自転伝達軸から
ｅ2だけ回転軸がずれているが、第２自転伝達盤６の同
心円上にある第２連結ピン５が偏芯量ｅ1を保ったまま
回転伝達盤２と同じ回転数の回転が自転用回転数１３に
伝達される。
【０００８】なお、自転用回転軸１３の上端に設けられ
た研磨盤１５には研磨部材（図示せず）が設けられ、そ
の研磨部材の端面に研磨させるフェルール等の棒状部材
１６が接触している。棒状部材１６は、多連の固定治具
盤１７に着脱可能で固定され、押さえ軸１９によって所
定の力で研磨盤１５を押しつけている。固定治具盤１７
は、回転止めピン２０によって回転が阻止されている。
支持機構への加重は任意の値が選べるように複数の重り
（図示せず）が配されている。
た研磨盤１５には研磨部材（図示せず）が設けられ、そ
の研磨部材の端面に研磨させるフェルール等の棒状部材
１６が接触している。棒状部材１６は、多連の固定治具
盤１７に着脱可能で固定され、押さえ軸１９によって所
定の力で研磨盤１５を押しつけている。固定治具盤１７
は、回転止めピン２０によって回転が阻止されている。
支持機構への加重は任意の値が選べるように複数の重り
（図示せず）が配されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の装置では、駆動装置として自転用と公転用との
それぞれに対して独立して駆動ユニットを設けていたの
で、装置の省スペース化、省エネ化、組立性等を向上す
るについて問題があった。また、自転用と公転用の駆動
装置のトルクが異なるので、研磨を行う場合に固定治具
盤１７に固定された複数の棒状部材１６が押しつけられ
ると、トルクの小さい公転用モータの回転がバラツキ、
研磨軌跡が乱れ、良好に研磨できないという問題もあ
る。
た従来の装置では、駆動装置として自転用と公転用との
それぞれに対して独立して駆動ユニットを設けていたの
で、装置の省スペース化、省エネ化、組立性等を向上す
るについて問題があった。また、自転用と公転用の駆動
装置のトルクが異なるので、研磨を行う場合に固定治具
盤１７に固定された複数の棒状部材１６が押しつけられ
ると、トルクの小さい公転用モータの回転がバラツキ、
研磨軌跡が乱れ、良好に研磨できないという問題もあ
る。
【００１０】本発明はこのような課題を解決するもので
あって、省スペース化、省エネ化及び組立性を向上さ
せ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工精度の向上を図
った端面研磨装置を提供することを課題とする。
あって、省スペース化、省エネ化及び組立性を向上さ
せ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工精度の向上を図
った端面研磨装置を提供することを課題とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記課題を解決する本発
明の第１の態様は、研磨部材を有する研磨盤を回転揺動
すると共に固定用治具盤に保持された棒状部材を前記回
転揺動する研磨盤の研磨部材に対して押し付けて研磨す
る端面研磨装置の駆動機構において、一端部が前記研磨
盤に固定されて当該研磨盤と共に自転及び公転する自転
軸と、この自転軸を偏芯位置に回転自在に保持する公転
軸と、この公転軸を回転自在に支持する公転軸支持手段
と、前記公転軸を回転駆動する駆動手段と、前記自転軸
の他端部又はその近傍に固着された第１の歯車と、この
第１の歯車の移動軌跡に沿って設けられて当該第１の歯
車と噛み合う第２の歯車とを具備し、前記駆動手段によ
る前記公転軸の回転に伴って前記自転軸は公転すると共
に前記第１の歯車の前記第２の歯車との噛み合いにより
前記自転軸が自転することを特徴とする端面研磨装置の
駆動機構にある。
明の第１の態様は、研磨部材を有する研磨盤を回転揺動
すると共に固定用治具盤に保持された棒状部材を前記回
転揺動する研磨盤の研磨部材に対して押し付けて研磨す
る端面研磨装置の駆動機構において、一端部が前記研磨
盤に固定されて当該研磨盤と共に自転及び公転する自転
軸と、この自転軸を偏芯位置に回転自在に保持する公転
軸と、この公転軸を回転自在に支持する公転軸支持手段
と、前記公転軸を回転駆動する駆動手段と、前記自転軸
の他端部又はその近傍に固着された第１の歯車と、この
第１の歯車の移動軌跡に沿って設けられて当該第１の歯
車と噛み合う第２の歯車とを具備し、前記駆動手段によ
る前記公転軸の回転に伴って前記自転軸は公転すると共
に前記第１の歯車の前記第２の歯車との噛み合いにより
前記自転軸が自転することを特徴とする端面研磨装置の
駆動機構にある。
【００１２】本発明の第２の態様は、第１の態様におい
て、前記第２の歯車が前記駆動手段により前記公転軸と
は異なる回転数で回転駆動されることを特徴とする端面
研磨装置の駆動機構にある。本発明の第３の態様は、第
１又は２の態様において、前記駆動手段の駆動力はタイ
ミングベルト又は一連の歯車を介して前記公転軸に伝達
されていることを特徴とする端面研磨装置の駆動機構に
ある。
て、前記第２の歯車が前記駆動手段により前記公転軸と
は異なる回転数で回転駆動されることを特徴とする端面
研磨装置の駆動機構にある。本発明の第３の態様は、第
１又は２の態様において、前記駆動手段の駆動力はタイ
ミングベルト又は一連の歯車を介して前記公転軸に伝達
されていることを特徴とする端面研磨装置の駆動機構に
ある。
【００１３】本発明の端面研磨装置の駆動機構によれ
ば、一つの駆動手段により自転及び公転を行うことがで
きるので、省スペース化、省エネ化、組立性を向上で
き、駆動手段に負荷がかかっても自転と公転との比率が
変化することがない。
ば、一つの駆動手段により自転及び公転を行うことがで
きるので、省スペース化、省エネ化、組立性を向上で
き、駆動手段に負荷がかかっても自転と公転との比率が
変化することがない。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を詳細に説明する。図１に本発明の一実施形態に
係る端面研磨装置の駆動機構の要部断面を示す。同図に
示すように、研磨定盤３１の下面側と、自転軸３３の上
端のフランジ部３４とは複数の連結ピン３５を介して連
結されており、研磨定盤３１は自転軸３３により支持さ
れている。また、この自転軸３３は、公転軸３７の中心
から所定量ａだけ偏芯した位置に回転自在に支持され、
公転軸３７を貫通した下端部には自転歯車３９が固着さ
れている。
施形態を詳細に説明する。図１に本発明の一実施形態に
係る端面研磨装置の駆動機構の要部断面を示す。同図に
示すように、研磨定盤３１の下面側と、自転軸３３の上
端のフランジ部３４とは複数の連結ピン３５を介して連
結されており、研磨定盤３１は自転軸３３により支持さ
れている。また、この自転軸３３は、公転軸３７の中心
から所定量ａだけ偏芯した位置に回転自在に支持され、
公転軸３７を貫通した下端部には自転歯車３９が固着さ
れている。
【００１５】公転軸３７は、装置本体４０の支持部４１
に軸受け４３を介して回転自在に支持されている。ま
た、公転軸３７の中央部には公転用歯車４５が固着され
ている。さらに、公転軸３７の公転用歯車４５の下端部
には、軸受け４６を介して回転自在に自転調整用歯車４
７が設けられ、その下端部には自転歯車３９と噛み合う
内歯車４９が固着されている。
に軸受け４３を介して回転自在に支持されている。ま
た、公転軸３７の中央部には公転用歯車４５が固着され
ている。さらに、公転軸３７の公転用歯車４５の下端部
には、軸受け４６を介して回転自在に自転調整用歯車４
７が設けられ、その下端部には自転歯車３９と噛み合う
内歯車４９が固着されている。
【００１６】一方、装置本体４０には、駆動手段である
モータ５０が搭載され、モータ５０のモータ軸５１に
は、公転用プーリ５３及び自転用プーリ５５が設けられ
ている。公転用プーリ５３と公転用歯車４５とはタイミ
ングベルト５７により連結され、自転用プーリ５５と自
転調整用歯車４７とはタイミングベルト５９により連結
されている。
モータ５０が搭載され、モータ５０のモータ軸５１に
は、公転用プーリ５３及び自転用プーリ５５が設けられ
ている。公転用プーリ５３と公転用歯車４５とはタイミ
ングベルト５７により連結され、自転用プーリ５５と自
転調整用歯車４７とはタイミングベルト５９により連結
されている。
【００１７】以上の駆動機構の動作について説明する。
図２は公転回転についての説明図である。同図に示すよ
うに、モータ軸５１を介して公転用プーリ５３が回転さ
れるとタイミングベルト５７及び公転用歯車４５を介し
て公転軸３７が回転駆動される。このとき、公転軸３７
の偏芯位置に回転自在に支持されている自転軸３３は、
公転軸３７の中心軸を中心として半径ａで矢印Ａに沿っ
て旋回することになる。
図２は公転回転についての説明図である。同図に示すよ
うに、モータ軸５１を介して公転用プーリ５３が回転さ
れるとタイミングベルト５７及び公転用歯車４５を介し
て公転軸３７が回転駆動される。このとき、公転軸３７
の偏芯位置に回転自在に支持されている自転軸３３は、
公転軸３７の中心軸を中心として半径ａで矢印Ａに沿っ
て旋回することになる。
【００１８】一方、図３は自転回転についての説明図で
ある。モータ軸５１を介して自転用プーリ５５が回転さ
れるとタイミングベルト５９及び自転調整用歯車４７を
介して内歯車４９が回転する。ここで、自転軸３３は上
述したとおり旋回しているので、旋回による自転歯車３
９と内歯車４９との噛み合いによる回転量と、内歯車４
９の回転による自転歯車３９に伝達される回転量との差
分だけ自転歯車３９に固着した自転軸３３が自転するこ
とになる。この場合には、内歯車４９の回転数が大きい
ので、自転軸３３は、矢印Ｂ方向に自転する。
ある。モータ軸５１を介して自転用プーリ５５が回転さ
れるとタイミングベルト５９及び自転調整用歯車４７を
介して内歯車４９が回転する。ここで、自転軸３３は上
述したとおり旋回しているので、旋回による自転歯車３
９と内歯車４９との噛み合いによる回転量と、内歯車４
９の回転による自転歯車３９に伝達される回転量との差
分だけ自転歯車３９に固着した自転軸３３が自転するこ
とになる。この場合には、内歯車４９の回転数が大きい
ので、自転軸３３は、矢印Ｂ方向に自転する。
【００１９】従って、研磨定盤３１上に押しつけられた
棒状部材の軌跡を、図４に示す。まず、公転軸３７の回
転による自転軸３３の旋回による軌跡は、（ａ）のよう
に、半径ａの円形軌跡６１となる。これに自転軸３３の
自転による軌跡を重ねると、（ｂ）のように円形軌跡が
連続的に連続したドーナツ状の軌跡６２となる。この軌
跡６２は、本実施形態では、公転用プーリ５３と自転用
プーリ５５との歯車比と、内歯車４９と自転歯車３９と
の歯車比とによって一義的に決まるので、モータ５０に
負荷がかかって回転数が落ちても、軌跡自体が、例え
ば、（ｃ）に示すように乱れることがない。
棒状部材の軌跡を、図４に示す。まず、公転軸３７の回
転による自転軸３３の旋回による軌跡は、（ａ）のよう
に、半径ａの円形軌跡６１となる。これに自転軸３３の
自転による軌跡を重ねると、（ｂ）のように円形軌跡が
連続的に連続したドーナツ状の軌跡６２となる。この軌
跡６２は、本実施形態では、公転用プーリ５３と自転用
プーリ５５との歯車比と、内歯車４９と自転歯車３９と
の歯車比とによって一義的に決まるので、モータ５０に
負荷がかかって回転数が落ちても、軌跡自体が、例え
ば、（ｃ）に示すように乱れることがない。
【００２０】なお、内歯車４９は必ずしも回転駆動する
必要はない。すなわち、内歯車４９が回転しない場合、
又は相対的に回転が遅い場合、図４に示すように、自転
軸３３の旋回により自転歯車３９が旋回する際に内歯車
４９との噛み合いにより自転歯車３９は上述した例とは
反対方向に、矢印Ｃ方向に自転される。この場合の軌跡
は、歯車比の関係で図３（ｄ）のようになり円形軌跡と
はならないが、歯車比を変更することにより、研磨に適
した軌跡とすることができる。
必要はない。すなわち、内歯車４９が回転しない場合、
又は相対的に回転が遅い場合、図４に示すように、自転
軸３３の旋回により自転歯車３９が旋回する際に内歯車
４９との噛み合いにより自転歯車３９は上述した例とは
反対方向に、矢印Ｃ方向に自転される。この場合の軌跡
は、歯車比の関係で図３（ｄ）のようになり円形軌跡と
はならないが、歯車比を変更することにより、研磨に適
した軌跡とすることができる。
【００２１】以上、本発明の端面研磨装置の実施形態を
示したが、これに限定されるものではなく、自転及び公
転運動をしながら棒状部材の端面を研磨する装置であれ
ば特に限定されないことは言うまでもない。また、駆動
伝達機構としてタイミングベルトを用いたが、歯車機構
を用いてもよく、また、タイミングベルトの代わりに通
常のＶ型ベルトを用いてもよい。
示したが、これに限定されるものではなく、自転及び公
転運動をしながら棒状部材の端面を研磨する装置であれ
ば特に限定されないことは言うまでもない。また、駆動
伝達機構としてタイミングベルトを用いたが、歯車機構
を用いてもよく、また、タイミングベルトの代わりに通
常のＶ型ベルトを用いてもよい。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の駆動機構
によれば、端面研磨装置の省スペース化、省エネ化及び
組立性を向上させ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工
精度の向上を図ることができる。
によれば、端面研磨装置の省スペース化、省エネ化及び
組立性を向上させ、且つ研磨軌跡の乱れをなくして加工
精度の向上を図ることができる。
【図１】端面研磨装置に駆動機構の断面図である。
【図２】公転回転を示す説明図である。
【図３】自転回転を示す説明図である。
【図４】回転軌跡を示す説明図である。
【図５】内歯車が回転しない場合の自転回転を示す説明
図である。
図である。
【図６】従来技術に係る端面研磨装置の一例を示す断面
図である。
図である。
【図７】従来技術における公転及び自転の動作を説明す
る説明図である。
る説明図である。
３１ 研磨定盤 ３３ 自転軸 ３７ 公転軸 ３９ 自転歯車 ４０ 装置本体 ４５ 公転用歯車 ４７ 自転調整用歯車 ４９ 内歯車 ５０ モータ ５１ モータ軸 ５３ 公転用プーリ ５５ 自転用プーリ ５７，５９ タイミングベルト
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C034 AA07 BB02 BB22 BB26 3C043 BA07 BA12 CC07 DD02 3C049 AA07 AA11 AA16 BC02 CA01 CB01 CB03 CB05
Claims (3)
- 【請求項１】 研磨部材を有する研磨盤を回転揺動する
と共に固定用治具盤に保持された棒状部材を前記回転揺
動する研磨盤の研磨部材に対して押し付けて研磨する端
面研磨装置の駆動機構において、一端部が前記研磨盤に
固定されて当該研磨盤と共に自転及び公転する自転軸
と、この自転軸を偏芯位置に回転自在に保持する公転軸
と、この公転軸を回転自在に支持する公転軸支持手段
と、前記公転軸を回転駆動する駆動手段と、前記自転軸
の他端部又はその近傍に固着された第１の歯車と、この
第１の歯車の移動軌跡に沿って設けられて当該第１の歯
車と噛み合う第２の歯車とを具備し、前記駆動手段によ
る前記公転軸の回転に伴って前記自転軸は公転すると共
に前記第１の歯車の前記第２の歯車との噛み合いにより
前記自転軸が自転することを特徴とする端面研磨装置の
駆動機構。 - 【請求項２】 請求項１において、前記第２の歯車が前
記駆動手段により前記公転軸とは異なる回転数で回転駆
動されることを特徴とする端面研磨装置の駆動機構。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、前記駆動手段
の駆動力はタイミングベルト又は一連の歯車を介して前
記公転軸に伝達されていることを特徴とする端面研磨装
置の駆動機構。
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|---|---|---|---|
| JP11104569A JP2000296451A (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 端面研磨装置 |
| US09/546,771 US6471570B1 (en) | 1999-04-12 | 2000-04-11 | End surface polishing machine |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11104569A JP2000296451A (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 端面研磨装置 |
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|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
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| JP (1) | JP2000296451A (ja) |
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