JP2000296431A - 超精密６軸加工装置 - Google Patents
超精密６軸加工装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 軸非対称かつ非球面の被加工物を、工具を自
転させることなく、サブミクロン精度に加工できる超精
密加工装置を提供する。 【解決手段】 被加工物１と工具４の相対位置を直交３
軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御の直動装
置と、被加工物と工具の相対角度を３軸まわり（Ａ，
Ｂ，Ｃ）に回転位置制御する３軸制御の回動装置とを備
える。被加工物１はＺ軸まわりに回転位置制御されるＣ
軸に固定されたワーク取付座６に取り付けられる。更
に、工具４を姿勢制御する工具チルト装置１０を備え
る。この工具チルト装置は、Ｘ軸まわりに回転位置制御
されるＡ軸に固定されたＡ軸回転座１２と、Ａ軸回転座
に固定されＹ軸まわりに回転位置制御されるＢ軸に固定
された工具取付座１４とを有し、この工具取付座に工具
４が取り付けられる。
転させることなく、サブミクロン精度に加工できる超精
密加工装置を提供する。 【解決手段】 被加工物１と工具４の相対位置を直交３
軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御の直動装
置と、被加工物と工具の相対角度を３軸まわり（Ａ，
Ｂ，Ｃ）に回転位置制御する３軸制御の回動装置とを備
える。被加工物１はＺ軸まわりに回転位置制御されるＣ
軸に固定されたワーク取付座６に取り付けられる。更
に、工具４を姿勢制御する工具チルト装置１０を備え
る。この工具チルト装置は、Ｘ軸まわりに回転位置制御
されるＡ軸に固定されたＡ軸回転座１２と、Ａ軸回転座
に固定されＹ軸まわりに回転位置制御されるＢ軸に固定
された工具取付座１４とを有し、この工具取付座に工具
４が取り付けられる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、軸非対称かつ非球
面の被加工物を工具を自転させることなく加工する超精
密６軸加工装置に関する。
面の被加工物を工具を自転させることなく加工する超精
密６軸加工装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、画像・情報機器の性能向上により
超精密でかつ複雑な曲面をもった光学素子に対する要求
が高まっている。例えば、極限的精度を要求されるＸ線
光学素子の分野で近い将来に必要といわれているＥＵＶ
リソグラフィー露光用のＸ線ミラーやマイクロフォーカ
スを実現するための軸非対称非球面ミラー、或いは分光
能力を必要とされる分析機器のためのホログラム光学素
子など、極めて高い精度を持ちかつ複雑な形状をもつ光
学素子の必要性が増大している。さらに、光ファイバ光
学系、光ディスクのピックアップ光学系などのマイクロ
オプティクスの分野でも微細でかつ高精度な光学素子の
加工技術が必要とされている。
超精密でかつ複雑な曲面をもった光学素子に対する要求
が高まっている。例えば、極限的精度を要求されるＸ線
光学素子の分野で近い将来に必要といわれているＥＵＶ
リソグラフィー露光用のＸ線ミラーやマイクロフォーカ
スを実現するための軸非対称非球面ミラー、或いは分光
能力を必要とされる分析機器のためのホログラム光学素
子など、極めて高い精度を持ちかつ複雑な形状をもつ光
学素子の必要性が増大している。さらに、光ファイバ光
学系、光ディスクのピックアップ光学系などのマイクロ
オプティクスの分野でも微細でかつ高精度な光学素子の
加工技術が必要とされている。
【０００３】図４は、上述したホログラム光学素子の一
例を示す図である。このホログラム光学素子１は、放射
光等の光（Ｘ線）を反射して分光かつ集光するように軸
非対称かつ非球面のミラー面２を備えている。また、こ
のミラー面には、ブラッグの定理で知られる微細な鋸波
状三角溝３が面に沿って多数刻まれており、反射効率が
高いブレーズドホログラムを実現するようになってい
る。
例を示す図である。このホログラム光学素子１は、放射
光等の光（Ｘ線）を反射して分光かつ集光するように軸
非対称かつ非球面のミラー面２を備えている。また、こ
のミラー面には、ブラッグの定理で知られる微細な鋸波
状三角溝３が面に沿って多数刻まれており、反射効率が
高いブレーズドホログラムを実現するようになってい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ホログラム光学素子に
必要となる鋸波状三角溝３のピッチはサブミクロン〜数
μｍであり、その谷部のエッジ半径は１０〜５０ｎｍ以
下にする必要がある。従って、このような超精密でかつ
複雑な曲面をもった光学素子を加工する装置は、被加工
物（ホログラム光学素子）の必要精度以上に高い加工精
度が必要となる。すなわち、少なくともサブミクロン以
下の位置決め精度が必要となる。
必要となる鋸波状三角溝３のピッチはサブミクロン〜数
μｍであり、その谷部のエッジ半径は１０〜５０ｎｍ以
下にする必要がある。従って、このような超精密でかつ
複雑な曲面をもった光学素子を加工する装置は、被加工
物（ホログラム光学素子）の必要精度以上に高い加工精
度が必要となる。すなわち、少なくともサブミクロン以
下の位置決め精度が必要となる。
【０００５】更に、図４のミラー面２及び三角溝３を加
工するには、初めにミラー面２を高精度に平坦面に仕上
げ、次いで、ミラー面に沿って工具を移動させて三角溝
３を加工する。軸非対称かつ非球面であるミラー面２に
沿って工具を高精密に移動するには、通常の３軸制御
（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の他に被加工物をＺ軸の回りに回転さ
せて位置決めするＣ軸制御を加えた４軸制御が不可欠と
なる。
工するには、初めにミラー面２を高精度に平坦面に仕上
げ、次いで、ミラー面に沿って工具を移動させて三角溝
３を加工する。軸非対称かつ非球面であるミラー面２に
沿って工具を高精密に移動するには、通常の３軸制御
（Ｘ，Ｙ，Ｚ軸）の他に被加工物をＺ軸の回りに回転さ
せて位置決めするＣ軸制御を加えた４軸制御が不可欠と
なる。
【０００６】更に、かかる４軸制御の加工装置で三角溝
３を加工する場合には、工具として回転式工具（グライ
ンダ等）を用いる必要がある。しかし、工具を自転させ
る加工法では回転式工具の精度誤差が被加工物の誤差に
与える影響が大きく精度を高めることが困難であるこ
と、微細な回転式工具の形成が困難であること、加工時
間が極めて長いことなどの問題がある。言い換えれば、
工具を自転させる場合には、工具の中心位置精度と形状
精度の両方が要求されるため、ＮＣ制御技術の向上によ
り中心位置精度は１０ｎｍオーダの高精度に位置決めで
きても工具の全外面の形状精度をサブミクロン精度に形
成するのが困難である問題点があった。
３を加工する場合には、工具として回転式工具（グライ
ンダ等）を用いる必要がある。しかし、工具を自転させ
る加工法では回転式工具の精度誤差が被加工物の誤差に
与える影響が大きく精度を高めることが困難であるこ
と、微細な回転式工具の形成が困難であること、加工時
間が極めて長いことなどの問題がある。言い換えれば、
工具を自転させる場合には、工具の中心位置精度と形状
精度の両方が要求されるため、ＮＣ制御技術の向上によ
り中心位置精度は１０ｎｍオーダの高精度に位置決めで
きても工具の全外面の形状精度をサブミクロン精度に形
成するのが困難である問題点があった。
【０００７】本発明は、かかる問題点を解決するために
創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、軸
非対称かつ非球面の被加工物を、工具を自転させること
なく、サブミクロン精度に加工できる超精密加工装置を
提供することにある。
創案されたものである。すなわち、本発明の目的は、軸
非対称かつ非球面の被加工物を、工具を自転させること
なく、サブミクロン精度に加工できる超精密加工装置を
提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、被加工
物（１）と工具（４）の相対位置を直交３軸方向（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御の直動装置と、被加工
物と工具の相対角度を前記３軸まわり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に
回転位置制御する３軸制御の回動装置と、を備えること
を特徴とする超精密６軸加工装置が提供される。
物（１）と工具（４）の相対位置を直交３軸方向（Ｘ，
Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御の直動装置と、被加工
物と工具の相対角度を前記３軸まわり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に
回転位置制御する３軸制御の回動装置と、を備えること
を特徴とする超精密６軸加工装置が提供される。
【０００９】軸非対称かつ非球面の被加工物を、工具を
自転させることなく加工するには、Ｃ軸を含む４軸制御
の加工装置を更に発展させ、被加工物と工具の相対角度
を３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のまわり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に回転位
置制御する必要がある。すなわち、本発明の構成によ
り、被加工物（１）と工具（４）の相対位置を３軸制御
し、同時にその相対角度を前記３軸まわりに回転位置制
御することにより、軸非対称かつ非球面であるミラー面
２に沿って加工工具を自転させることなく移動させ、か
つ同時に工具の姿勢を制御することができる。
自転させることなく加工するには、Ｃ軸を含む４軸制御
の加工装置を更に発展させ、被加工物と工具の相対角度
を３軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のまわり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に回転位
置制御する必要がある。すなわち、本発明の構成によ
り、被加工物（１）と工具（４）の相対位置を３軸制御
し、同時にその相対角度を前記３軸まわりに回転位置制
御することにより、軸非対称かつ非球面であるミラー面
２に沿って加工工具を自転させることなく移動させ、か
つ同時に工具の姿勢を制御することができる。
【００１０】本発明の好ましい実施形態によれば、被加
工物（１）が取り付けられ、Ｚ軸まわりに回転位置制御
されるＣ軸に固定されたワーク取付座（６）と、工具
（４）を姿勢制御する工具チルト装置（１０）とを備
え、工具チルト装置は、Ｘ軸まわりに回転位置制御され
るＡ軸に固定されたＡ軸回転座（１２）と、該Ａ軸回転
座に固定されＹ軸まわりに回転位置制御されるＢ軸に固
定された工具取付座（１４）とを有し、該工具取付座に
工具（４）が取り付けられる。この構成により、Ｃ軸ま
わりに被加工物（１）を回転位置制御しながら、同時に
工具（４）をＡ軸まわりおよびＢ軸まわりに回転位置制
御し、常に工具の姿勢を制御しながら切削加工すること
ができる。
工物（１）が取り付けられ、Ｚ軸まわりに回転位置制御
されるＣ軸に固定されたワーク取付座（６）と、工具
（４）を姿勢制御する工具チルト装置（１０）とを備
え、工具チルト装置は、Ｘ軸まわりに回転位置制御され
るＡ軸に固定されたＡ軸回転座（１２）と、該Ａ軸回転
座に固定されＹ軸まわりに回転位置制御されるＢ軸に固
定された工具取付座（１４）とを有し、該工具取付座に
工具（４）が取り付けられる。この構成により、Ｃ軸ま
わりに被加工物（１）を回転位置制御しながら、同時に
工具（４）をＡ軸まわりおよびＢ軸まわりに回転位置制
御し、常に工具の姿勢を制御しながら切削加工すること
ができる。
【００１１】また、前記直動装置は、直交３軸方向の移
動をそれぞれ１対の平行Ｖ溝に沿って針状ローラでころ
がり案内するＶ−Ｖローラガイド（１６）を有する。か
かるＶ−Ｖローラガイドを用いることにより、針状ロー
ラの直径精度を高めることによりサブミクロンの位置決
め精度を達成することができる。
動をそれぞれ１対の平行Ｖ溝に沿って針状ローラでころ
がり案内するＶ−Ｖローラガイド（１６）を有する。か
かるＶ−Ｖローラガイドを用いることにより、針状ロー
ラの直径精度を高めることによりサブミクロンの位置決
め精度を達成することができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。なお、各図において、共通する部分
には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図１
は、本発明による超精密６軸加工装置の全体斜視図であ
り、図２は、一部を分離して示す図１のＡ方向からの部
分斜視図である。図１及び図２に示すように、本発明の
超精密６軸加工装置は、被加工物１と工具４の相対位置
を直交３軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御
の直動装置と、被加工物と工具の相対角度を直交３軸ま
わり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に回転位置制御する３軸制御の回動
装置とを備えている。
参照して説明する。なお、各図において、共通する部分
には同一の符号を付し、重複した説明を省略する。図１
は、本発明による超精密６軸加工装置の全体斜視図であ
り、図２は、一部を分離して示す図１のＡ方向からの部
分斜視図である。図１及び図２に示すように、本発明の
超精密６軸加工装置は、被加工物１と工具４の相対位置
を直交３軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御
の直動装置と、被加工物と工具の相対角度を直交３軸ま
わり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に回転位置制御する３軸制御の回動
装置とを備えている。
【００１３】図１に示すように、３軸制御の直動装置
は、水平面内にＸ軸およびＺ軸を持ち、Ｘ軸上には垂直
方向に動くＹ軸が搭載されている。Ｘ，Ｙ，Ｚの各直進
軸は、直交３軸方向の移動を超精密Ｖ−Ｖローラガイド
１６により案内される。この超精密Ｖ−Ｖローラガイド
１６は、それぞれ１対の平行Ｖ溝に沿って針状ローラで
ころがり案内するガイドであり、高い安定性と直進性を
実現している。各直進軸Ｘ，Ｙ，Ｚは最高分解能１ｎｍ
のホログラムスケールを装備しており１ｎｍ単位での制
御が可能である。また比較的速度を要求される加工のた
めに１０ｎｍの制御単位とするモードと切り換えが可能
なように設計されている。
は、水平面内にＸ軸およびＺ軸を持ち、Ｘ軸上には垂直
方向に動くＹ軸が搭載されている。Ｘ，Ｙ，Ｚの各直進
軸は、直交３軸方向の移動を超精密Ｖ−Ｖローラガイド
１６により案内される。この超精密Ｖ−Ｖローラガイド
１６は、それぞれ１対の平行Ｖ溝に沿って針状ローラで
ころがり案内するガイドであり、高い安定性と直進性を
実現している。各直進軸Ｘ，Ｙ，Ｚは最高分解能１ｎｍ
のホログラムスケールを装備しており１ｎｍ単位での制
御が可能である。また比較的速度を要求される加工のた
めに１０ｎｍの制御単位とするモードと切り換えが可能
なように設計されている。
【００１４】また、Ｚ軸まわりに回転位置制御されるＣ
軸にワーク取付座６が固定されており、このワーク取付
座６に被加工物１が取り付けられている。Ｃ軸は超精密
空気軸受けにより回転支持されている。またＣ軸は、１
／１０，０００度の分解能を持つロータリーエンコーダ
を装備している。
軸にワーク取付座６が固定されており、このワーク取付
座６に被加工物１が取り付けられている。Ｃ軸は超精密
空気軸受けにより回転支持されている。またＣ軸は、１
／１０，０００度の分解能を持つロータリーエンコーダ
を装備している。
【００１５】図２に示すように、本発明の超精密６軸加
工装置は、更に、工具４を姿勢制御する工具チルト装置
１０を備えている。この工具チルト装置１０は、Ｘ軸ま
わりに回転位置制御されるＡ軸に固定されたＡ軸回転座
１２と、Ａ軸回転座１２に固定されＹ軸まわりに回転位
置制御されるＢ軸に固定された工具取付座１４とを有す
る。この工具取付座１４に工具４が取り付けられる。Ａ
軸回転座１２は、超精密転がり軸受で回転支持され、Ａ
Ｃサーボモータで回転駆動し、ロータリーエンコーダで
角度位置を検出するようになっている。また、工具取付
座１４は、超精密空気軸受で回転支持され、ＡＣサーボ
モータで回転駆動し、ロータリーエンコーダで角度位置
を検出するようになっている。
工装置は、更に、工具４を姿勢制御する工具チルト装置
１０を備えている。この工具チルト装置１０は、Ｘ軸ま
わりに回転位置制御されるＡ軸に固定されたＡ軸回転座
１２と、Ａ軸回転座１２に固定されＹ軸まわりに回転位
置制御されるＢ軸に固定された工具取付座１４とを有す
る。この工具取付座１４に工具４が取り付けられる。Ａ
軸回転座１２は、超精密転がり軸受で回転支持され、Ａ
Ｃサーボモータで回転駆動し、ロータリーエンコーダで
角度位置を検出するようになっている。また、工具取付
座１４は、超精密空気軸受で回転支持され、ＡＣサーボ
モータで回転駆動し、ロータリーエンコーダで角度位置
を検出するようになっている。
【００１６】工具４には、切削用のバイトのように、工
具自体が自転しない切削工具を用いるのがよい。またこ
の工具４の先端形状は、切削加工時の切削位置がサブミ
クロン精度の形状精度で製作されたものを使用する。回
転工具に比較し、かかる切削用バイトの加工面のみの形
状精度をサブミクロン精度に形成するこの比較的容易で
ある。
具自体が自転しない切削工具を用いるのがよい。またこ
の工具４の先端形状は、切削加工時の切削位置がサブミ
クロン精度の形状精度で製作されたものを使用する。回
転工具に比較し、かかる切削用バイトの加工面のみの形
状精度をサブミクロン精度に形成するこの比較的容易で
ある。
【００１７】上述した超精密６軸加工装置により６軸同
時制御が可能であると同時に旋盤主軸のように定速回転
軸としても使用することが可能である。これにより、こ
の加工装置で可能となる加工方法は、旋盤加工、シェー
ビング、ミリング加工、ドリル加工、プロファイル加
工、溝入れ・スライス加工など多岐にわたる。各軸の精
度は、直進軸が直進度０．１μｍ以下、回転軸が非繰り
返し性揺動が０．０５μｍ以下と超高精度を実現してい
る。各軸のストロークはＸ軸が３００ｍｍ、Ｙ軸が７５
ｍｍ、Ｚ軸が１５０ｍｍ、各回転軸が無制限となってい
る。ＮＣコントローラーは１ｎｍ対応のものを採用し、
ＲＳ−２３２Ｃ／４２２による外部データ運転により長
時間の加工にも対応可能となっている。さらに、各リニ
アスケール／ロータリーリンコーダの出力はＮＣコント
ローラより分岐され別途サンプルが可能なように設計さ
れており、データ収集、運動精度／性能の解析、機上計
測などが可能となっている。また、加工装置本体は、２
３℃±０．１℃の温度制御がされたエンクロージャー内
に設置されており、熱変形による加工誤差を最小限とす
るように配慮されている。表１に加工装置の仕様をまと
めて示す。
時制御が可能であると同時に旋盤主軸のように定速回転
軸としても使用することが可能である。これにより、こ
の加工装置で可能となる加工方法は、旋盤加工、シェー
ビング、ミリング加工、ドリル加工、プロファイル加
工、溝入れ・スライス加工など多岐にわたる。各軸の精
度は、直進軸が直進度０．１μｍ以下、回転軸が非繰り
返し性揺動が０．０５μｍ以下と超高精度を実現してい
る。各軸のストロークはＸ軸が３００ｍｍ、Ｙ軸が７５
ｍｍ、Ｚ軸が１５０ｍｍ、各回転軸が無制限となってい
る。ＮＣコントローラーは１ｎｍ対応のものを採用し、
ＲＳ−２３２Ｃ／４２２による外部データ運転により長
時間の加工にも対応可能となっている。さらに、各リニ
アスケール／ロータリーリンコーダの出力はＮＣコント
ローラより分岐され別途サンプルが可能なように設計さ
れており、データ収集、運動精度／性能の解析、機上計
測などが可能となっている。また、加工装置本体は、２
３℃±０．１℃の温度制御がされたエンクロージャー内
に設置されており、熱変形による加工誤差を最小限とす
るように配慮されている。表１に加工装置の仕様をまと
めて示す。
【００１８】
【表１】
【００１９】
【実施例】図３にＸ軸を微小ステップで駆動した際の移
動の様子を示す。測定には静電容量式非接触微小変位計
を使用した。（ａ）は制御単位１０ｎｍモードの時に５
０ｎｍステップで移動を行った際の様子を示している。
また（ｂ）は、制御単位１ｎｍモードの時に１０ｎｍス
テップで移動を行った場合の様子を示している。どちら
の場合もセンサのドリフトによると思われる偏差が見ら
れるが、良好な応答を示している。
動の様子を示す。測定には静電容量式非接触微小変位計
を使用した。（ａ）は制御単位１０ｎｍモードの時に５
０ｎｍステップで移動を行った際の様子を示している。
また（ｂ）は、制御単位１ｎｍモードの時に１０ｎｍス
テップで移動を行った場合の様子を示している。どちら
の場合もセンサのドリフトによると思われる偏差が見ら
れるが、良好な応答を示している。
【００２０】上述した本発明の構成により、被加工物１
と工具４の相対位置を３軸制御し、同時にその相対角度
を３軸まわりに回転位置制御することにより、軸非対称
かつ非球面であるミラー面２に沿って加工工具を自転さ
せることなく移動させ、かつ同時に工具の姿勢を制御す
ることができる。従って、Ｃ軸まわりに被加工物１を回
転位置制御しながら、同時に工具４をＡ軸まわりおよび
Ｂ軸まわりに回転位置制御し、常に工具の姿勢を制御し
ながら切削加工することができる。
と工具４の相対位置を３軸制御し、同時にその相対角度
を３軸まわりに回転位置制御することにより、軸非対称
かつ非球面であるミラー面２に沿って加工工具を自転さ
せることなく移動させ、かつ同時に工具の姿勢を制御す
ることができる。従って、Ｃ軸まわりに被加工物１を回
転位置制御しながら、同時に工具４をＡ軸まわりおよび
Ｂ軸まわりに回転位置制御し、常に工具の姿勢を制御し
ながら切削加工することができる。
【００２１】なお、本発明は、上述した実施例に限定さ
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。
れず、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々に変更でき
ることは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】上述したように、本発明の超精密６軸加
工装置は、被加工物と工具の相対位置を３軸制御し、同
時にその相対角度を３軸まわりに回転位置制御すること
により、被加工物に対し加工工具を自転させることなく
移動させ、Ｃ軸まわりに被加工物を回転位置制御しなが
ら、同時に工具をＡ軸まわりおよびＢ軸まわりに回転位
置制御し、常に工具の姿勢を制御しながら切削加工する
ことができる。
工装置は、被加工物と工具の相対位置を３軸制御し、同
時にその相対角度を３軸まわりに回転位置制御すること
により、被加工物に対し加工工具を自転させることなく
移動させ、Ｃ軸まわりに被加工物を回転位置制御しなが
ら、同時に工具をＡ軸まわりおよびＢ軸まわりに回転位
置制御し、常に工具の姿勢を制御しながら切削加工する
ことができる。
【００２３】従って、本発明の超精密６軸加工装置は、
軸非対称かつ非球面の被加工物を、工具を自転させるこ
となく、サブミクロン精度に加工できる、等の優れた効
果を有する。
軸非対称かつ非球面の被加工物を、工具を自転させるこ
となく、サブミクロン精度に加工できる、等の優れた効
果を有する。
【図１】本発明による超精密６軸加工装置の全体斜視図
である。
である。
【図２】図１のＡ方向からの部分斜視図である。
【図３】本発明による装置の実施例を示す図である。
【図４】ホログラム光学素子の一例を示す図である。
１ ホログラム光学素子 ２ ミラー面 ３ 鋸波状三角溝 ４ 工具 ６ ワーク取付座 １０ 工具チルト装置 １２ Ａ軸回転座 １４ 工具取付座 １６ Ｖ−Ｖローラガイド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 守安 精 東京都板橋区加賀２丁目20番３号 ハイコ ーポ十条403 (72)発明者 中川 威雄 埼玉県和光市広沢２番１号 理化学研究所 内 (72)発明者 森田 晋也 東京都板橋区板橋４丁目46番９号 パーク ハイツ202 Ｆターム(参考） 3C048 AA01 BC02 BC03 CC04 DD09 DD10 DD19 DD22
Claims (3)
- 【請求項１】 被加工物（１）と工具（４）の相対位置
を直交３軸方向（Ｘ，Ｙ，Ｚ）に直進制御する３軸制御
の直動装置と、被加工物と工具の相対角度を前記３軸ま
わり（Ａ，Ｂ，Ｃ）に回転位置制御する３軸制御の回動
装置と、を備るたことを特徴とする超精密６軸加工装
置。 - 【請求項２】 被加工物（１）が取り付けられ、Ｚ軸ま
わりに回転位置制御されるＣ軸に固定されたワーク取付
座（６）と、工具（４）を姿勢制御する工具チルト装置
（１０）とを備え、 工具チルト装置は、Ｘ軸まわりに回転位置制御されるＡ
軸に固定されたＡ軸回転座（１２）と、該Ａ軸回転座に
固定されＹ軸まわりに回転位置制御されるＢ軸に固定さ
れた工具取付座（１４）とを有し、該工具取付座に工具
（４）が取り付けられる、ことを特徴とする請求項１に
記載の超精密６軸加工装置。 - 【請求項３】 前記直動装置は、直交３軸方向の移動を
それぞれ１対の平行Ｖ溝に沿って針状ローラでころがり
案内するＶ−Ｖローラガイド（１６）を有する、ことを
特徴とする請求項１又は２に記載の超精密６軸加工装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11104509A JP2000296431A (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 超精密６軸加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11104509A JP2000296431A (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 超精密６軸加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000296431A true JP2000296431A (ja) | 2000-10-24 |
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|---|---|---|---|---|
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-
1999
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4605683B2 (ja) * | 2000-12-27 | 2011-01-05 | 独立行政法人理化学研究所 | 非球面セグメントの加工装置および方法 |
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| US11096318B2 (en) | 2015-07-14 | 2021-08-17 | Toda Kogyo Corp. | Ferrite laminate and noise suppression sheet |
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