JP2000294155A

JP2000294155A - 表示装置

Info

Publication number: JP2000294155A
Application number: JP9980199A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Seki; 敦司関
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1999-04-07
Filing date: 1999-04-07
Publication date: 2000-10-20

Abstract

(57)【要約】【課題】電着膜からなる電極を形成したガラス基板を
フリットシールして得られたプラズマセルの異常放電を
除去する。【解決手段】導電性粒子とバインダーガラスを含む電
着膜１５で導体配線を被覆した後、バインダーガラスの
軟化点以上で熱処理を行ない電着膜１５を配線に固着し
て放電電極９とする。配線及び電着膜１５を形成した片
方の基板８にフリットシール材１１を介して他方の基板
３を重ね、バインダーガラスの軟化点以下の温度でフリ
ットシール材１１を熱処理して一対の基板３、８を互い
に接合し、プラズマセル２を形成する。フリットシール
材１１の熱処理は鉛ガラスを主成分とするバインダーガ
ラスの軟化点以下で行なわれる。換言すると、バインダ
ーガラスはフリットシール材１１の熱処理温度よりも高
い軟化点を有する。従って、フリットシール時にはバイ
ンダーガラスは軟化しない。この為、鉛ガラスを主成分
とするバインダーガラスに含まれる酸化鉛成分は還元さ
れることがない。従って、放電電極９の表面に鉛の粒子
が析出せず、アーク状の異常放電が起こらない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はプラズマ放電を利用
したフラットパネル型の表示装置及びその製造方法に関
する。より詳しくは、電着法を利用した放電電極の構造
並びに製法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラズマ放電を利用したフラットパネル
構造の表示装置はプラズマセルを備えている。プラズマ
セルは、フリットシール材を介して互いに接合し密閉さ
れた空間を形成する一対の基板と、この空間に満たされ
たイオン化可能な気体と、少なくとも片方の基板に形成
され該気体をイオン化して放電を発生する電極とからな
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】プラズマセルに放電電
極を形成する手段として電着法が知られている。金属あ
いは半導体（例えばホウ化ランタン）の粉体（以下、導
電性粒子という）と、軟化点が４００℃前後のガラスの
粉体とを導体配線上に電着法で被着する。導体配線は例
えばアルミニウムの単層もしくはクロム／銅／クロムの
多層を用いる。この後、４００℃乃至５００℃に加熱し
た後冷却して放電電極とする。金属あるいは半導体の粉
体（導電性粒子）が放電電極材料となる。ガラス粉末は
上述した加熱処理時に軟化し、冷却時に再び固化して導
電性粒子を導体配線上に固着する。即ちガラス粉末はバ
インダーとしての役割を果たす。以下では、このガラス
粉末をバインダーガラスと呼ぶ。

【０００４】電着法以外の放電電極形成法としては印刷
法が知られている。一般に印刷法では導電性ペーストを
基板にスクリーン印刷した後、大気雰囲気中で５５０℃
乃至６００℃の熱処理温度で焼成する。この焼成により
放電電極材料が酸化され易い。酸化の程度が激しいと放
電電極の表面に絶縁性の酸化被膜が形成され放電が妨げ
られる。従って、酸化が問題となる放電電極では、印刷
法よりも熱処理温度が低い電着法の方が原理的に適して
いる。しかしながら実際には、電着法で形成された放電
電極を有するプラズマセルの放電状態は必ずしも安定し
ておらず、アーク状の放電が発生して不良となるものが
多発する為、解決すべき課題となっている。

【０００５】

【課題を解決する為の手段】上述した従来の技術の課題
を解決するために、以下の手段を講じた。即ち、本発明
は、フリットシール材を介して互いに接合し密閉された
空間を形成する一対の基板と、該空間に満たされたイオ
ン化可能な気体と、少なくとも片方の基板に形成され該
気体をイオン化して該空間に放電を発生する電極とから
なるプラズマセルを備えた表示装置において、前記一対
の基板は少なくとも片方に電極を形成した後、該フリッ
トシール材を所定の熱処理温度で加熱して互いに接合し
たものであり、前記電極の少なくとも一部は導電性粒子
とバインダーガラスを混合した電着膜からなり、前記バ
インダーガラスは該フリットシール材の熱処理温度より
も高い軟化点を有することを特徴とする。好ましくは、
前記バインダーガラスは鉛ガラスを主成分とする。又好
ましくは、前記導電性粒子はホウ化物である。

【０００６】本発明は又、フリットシール材を介して互
いに接合し密閉された空間を形成する一対の基板と、該
空間に満たされたイオン化可能な気体と、少なくとも片
方の基板に形成され該気体をイオン化して該空間に放電
を発生する電極とを備えた表示装置の製造方法におい
て、片方の基板に予め電極のパタンと対応した配線を形
成する配線工程と、導電性粒子とバインダーガラスを含
む電着膜で該配線を被覆して電極とする電着工程と、該
バインダーガラスの軟化点以上で熱処理を行い該電着膜
を該配線に固着する固着工程と、片方の基板にフリット
シール材を介して他方の基板を重ね、該バインダーガラ
スの軟化点以下の温度で該フリットシール材を熱処理し
て一対の基板を互いに接合する接合工程と、該一対の基
板で密閉された空間にイオン化可能な気体を封入する封
入工程とを行なうことを特徴とする。好ましくは、前記
電着工程はホウ化物からなる導電性粒子とバインダーガ
ラスを含む電着膜で該配線を被覆する。又好ましくは、
所定の間隙を介して該他方の基板に別の基板を貼着し該
間隙に液晶を充填する充填工程を含む。

【０００７】本発明によれば、導電性粒子とバインダー
ガラスを含む電着膜で導体配線を被覆した後、バインダ
ーガラスの軟化点以上で熱処理を行ない電着膜を配線に
固着する。配線及び電着膜を形成した片方の基板にフリ
ットシール材を介して他方の基板を重ね、バインダーガ
ラスの軟化点以下の温度でフリットシール材を熱処理し
て一対の基板を互いに接合し、プラズマセルを形成す
る。フリットシール材の熱処理は鉛ガラスを主成分とす
るバインダーガラスの軟化点以下で行なわれる。換言す
ると、バインダーガラスはフリットシール材の熱処理温
度よりも高い軟化点を有する。従って、フリットシール
時にはバインダーガラスは軟化しない。この為、鉛ガラ
スを主成分とするバインダーガラスに含まれる酸化鉛は
還元されることがない。従って、放電電極の表面に鉛の
粒子が析出せず、アーク状の異常放電が起こらない。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明に係る
表示装置及びその製造方法の実施の形態を詳細に説明す
る。図１は本発明に係る表示装置の実施形態を示す模式
的な断面図である。本実施形態は、特にプラズマセル２
を液晶セルで代表される表示セル１のアドレシングに利
用するプラズマアドレス表示装置である。但し、本発明
はこれに限られるものではなくフラットパネル構造のプ
ラズマセルを単独で用いたプラズマ表示装置にも適用可
能であることは言うまでもない。図示する様に、プラズ
マアドレス表示装置は表示セル１とプラズマセル２と両
者の間に介在する共通の中間基板３とからなるフラット
パネル構造を有している。プラズマセル２は中間基板３
に接合した下側基板８から構成されており、両者の間隙
にイオン化可能な気体が封入されている。気体種として
は例えばクリプトンやキセノンなどの不活性ガスが用い
られる。下側基板８の内表面にはストライプ状の放電電
極９が形成されている。放電電極９はアルミニウムなど
の導体配線上に電着膜１５を被覆した構成となってい
る。ここで、複数の放電電極９は二本毎に隔壁１０で隔
てられている。隔壁１０はイオン化可能な気体が封入さ
れた空間を分割して放電チャネル１２を構成する。この
隔壁１０はスクリーン印刷法などにより印刷焼成でき、
その頂部が中間基板３の下面側に当接している。互いに
隣り合う隔壁１０によって囲まれた一対の放電電極９は
アノードＡ及びカソードＫとして機能し、両者の間にプ
ラズマ放電を発生させる。尚、電着膜１５は少なくとも
カソードＫとして機能する側の放電電極９に形成されて
いる。プラズマ放電により放電電極９はスパッタを受け
て摩耗するが、劣化の程度はアノードＡに比べカソード
Ｋが大きい為、保護用の電着膜１５が少なくともカソー
ドＫに形成される。又、中間基板３と下側基板８はガラ
スフリットなどのフリットシール材１１により互いに接
合している。所定の熱処理温度で加熱することによりフ
リットシール材が溶融し、中間基板３と下側基板８が互
いに接合される。

【０００９】一方、表示セル１は透明な上側基板４を用
いて構成されている。この上側基板４は中間基板３に所
定の間隙を介して接着剤６などにより貼着されており、
間隙には液晶などの電気光学物質７が充填されている。
上側基板４の内表面には信号電極５が形成されている。
この信号電極５はストライプ状の放電電極９と直交して
いる。信号電極５と放電チャネル１２の交差部分にマト
リクス状の画素が規定される。

【００１０】係る構成を有するプラズマアドレス表示装
置では、プラズマ放電が行われる行状の放電チャネル１
２を線順次で切り換え走査するとともに、この走査に同
期して表示セル１側の列状信号電極５に画像信号を印加
することにより表示駆動が行われる。放電チャネル１２
内にプラズマ放電が発生すると内部はほぼ一様にアノー
ド電位になり一行毎の画素選択が行われる。即ち放電チ
ャネル１２はサンプリングスイッチとして機能する。プ
ラズマサンプリングスイッチが導通した状態で各画素に
画像信号が印加されると、サンプリングが行われ画素の
点灯もしくは消灯が制御できる。プラズマサンプリング
スイッチが非導通状態になった後にも画像信号はそのま
ま画素内に保持される。尚、この実施形態は一本の放電
チャネル１２に割り当てられた一対の放電チャネル９の
一方をアノードＡとし他方をカソードＫとしたＤＣ駆動
型であるが、本発明はこれに限られるものではなくＡＣ
駆動方式にも適用可能である。

【００１１】図１に示した実施形態では、下側基板８に
開口した排気管２５及びこれと連通するガラスチップ管
２６を介して内部の空間を排気した後イオン化可能な気
体を充填し、ガラスチップ管２６を封じ切る。ガラスチ
ップ管２６の内部にはゲッタ２７が留置されており、こ
れを加熱することでイオン化可能な気体以外の不要なア
ウトガスなどを吸収している。場合によっては、ガラス
チップ管２６の内部にゲッタ２７に加え微量の水銀を留
置し、これを加熱処理することで水銀蒸気がプラズマセ
ル２の内部空間に満たされる。一般に、水銀蒸気は放電
電極９のスパッタリングによる劣化を防ぐ為に導入され
ている。本実施例の場合、放電電極９は耐スパッタ性に
優れた電着膜１５で被覆されている為、水銀蒸気の導入
は必要でない場合が多い。

【００１２】引き続き図１を参照して本発明の特徴事項
を説明する。前述した様に、下側基板８に放電電極９及
び隔壁１０を形成した後、フリットシール材１１を印刷
し中間基板３を重ね合わせる。所定の熱処理温度で加熱
することによりフリットシール材１１が溶融し、下側基
板８と中間基板３が互いに接合されてプラズマセル２を
形成する。接合工程の前に形成される放電電極９の少な
くとも一部は導電性粒子とバインダーガラスを混合した
電着膜１５からなる。このバインダーガラスはフリット
シール材１１の熱処理温度よりも高い軟化点を有するこ
とが本発明の特徴である。尚、バインダーガラスは鉛ガ
ラスを主成分とする。又、導電性粒子は例えば耐スパッ
タ性に優れたホウ化物である。

【００１３】従来の電着法によって形成した放電電極は
アーク状の放電が多発し、安定な表示動作が行えなかっ
た。放電電極を分析した結果、アーク状放電の原因は、
電着膜の表面に存在する多数の鉛の粒子にあった。この
鉛の粒子は放電電極が形成された基板をセルに組み立て
る為の工程の一つである、フリットシール工程で発生す
ることが判明した。電着法によって形成された放電電極
を有する基板は、フリットシールによって薄板ガラスな
どからなる中間基板に貼り合わされる。この工程におい
ては、ガラスフリットなどからなるフリットシール材を
軟化させる為に、４００℃乃至５００℃の熱処理温度で
加熱する。この熱処理は放電電極表面の酸化が進行する
のを抑制する為に窒素雰囲気中で行なう。仮に、酸化が
進行すると正常な放電が妨げられる。ところがこの時、
放電電極を構成する電着膜に含まれるバインダーガラス
が軟化し、バインダーガラスの成分である酸化鉛が還元
され、鉛粒子として析出してしまう。放電電極の表面に
鉛の粒子が存在すると、その部分だけ局所的に導通がよ
くなる為、放電電流が集中する。この様にしてアーク状
の異常放電が発生したと考えられる。こうした鉛粒子の
析出を防ぐ為、本発明では、フリットシール工程におけ
る熱処理温度よりも高い軟化点を有する鉛ガラスの粉末
をバインダーガラスとして用いる。例えば、フリットシ
ールを４５０℃で行なう場合には、軟化点が４７０℃程
度のガラス粉末をバインダーとして用いればよい。フリ
ットシール工程で窒素雰囲気中４５０℃の加熱処理を行
なっても、バインダーガラス材が軟化しないので、酸化
鉛成分は還元されることがない。従って放電電極の表面
に鉛の粒子は析出せず、アーク状の異常放電は起こらな
い。尚、バインダーガラス材として用いる鉛ガラスは酸
化鉛ＰｂＯを主成分としこれにＳｉＯ₂ を必須の成分と
して含有する。更に、Ａｌ₂ Ｏ₃ 、ＺｎＯ、Ｂ₂Ｏ₃ が
適宜添加される。ＰｂＯの含有率が小さい程バインダー
ガラスの軟化点は高くなる。

【００１４】図２は本発明に係る表示装置の製造方法を
示す工程図である。まず（Ａ）に示す様に、洗浄した下
側基板８の上にアノードＡ及びカソードＫとなる放電電
極９を形成する。例えば、金属アルミニウムを真空蒸着
又はスパッタリングで成膜した後、ストライプ状にパタ
ニングして導体配線を形成する。この導体配線が放電電
極９の基本構造となる。この後スクリーン印刷法でガラ
スペーストを印刷し、焼成して隔壁１０を形成する。更
に印刷法で接続用の端子電極（図示せず）を形成する。

【００１５】続いて（Ｂ）に示す様に、放電電極９の保
護層となる電着膜１５を少なくともカソードＫを完全に
被覆する様に形成する。材質としてはホウ化物、炭化
物、酸化物、窒化物から選ばれる。ホウ化物としては例
えばホウ化ランタン、ホウ化イットリウム、ホウ化ジル
コン、ホウ化チタンなどが選択される。電着で使用する
電着液は一般に溶媒として水やイソプロピルアルコール
などを用い、その中に被覆したい材料粉末やバインダー
ガラスになる低融点ガラス粒子を加え、これらの粉末に
電荷を付与する為のイオンを混入したコロイド溶液にな
っている。被覆された電着膜１５は乾燥後、バインダー
ガラスの軟化点を超える温度で不活性雰囲気下加熱処理
され、基板８上に固定される。

【００１６】続いて（Ｃ）に示す様に、薄板ガラスなど
からなる中間基板３をフリットシール材１１により下側
基板８に接合する。この時、電着膜１５に含まれるバイ
ンダーガラスの軟化点以下の温度でフリットシール材１
１を熱処理して下側基板８と中間基板３を互いに接合す
る。この様にするとバインダーガラスが軟化しないの
で、酸化鉛成分は還元されることがない。従って放電電
極９の表面に鉛の粒子は析出せず、アーク状の異常放電
は起こらない。互いに接合された下側基板８と中間基板
３に挟まれた空間は隔壁１０によって区画され、放電チ
ャネル１２を構成する。この放電チャネル１２にはイオ
ン化可能な気体が封入される。以上により、プラズマセ
ル２が完成する。

【００１７】最後に（Ｄ）に示す様に、プラズマセル２
の上に表示セル１を組み立ててプラズマアドレス表示装
置を完成する。表示セル１は上側基板４を用いて組み立
てられており、その内表面には信号電極５が形成されて
いる。上側基板４は接着剤６により中間基板３に接合し
ている。上側基板４と中間基板３の間には電気光学物質
７として例えば液晶が封入充填される。

【００１８】図３は、電着膜の形成に用いる電着槽を示
す模式的な断面図である。図示する様に、電着槽１００
には電着液１０１が満たされており、処理対象となる電
極基板８と対向電極１０２が浸漬されている。両者の間
には電源１０３が接続されており、電極基板８は負極側
となり、対向電極１０２が正極側となる。電極基板８側
ではカソードＫとなる導体配線が共通接続され、電源１
０３の負極に導かれる。電源１０３は例えば３０Ｖ程度
の出力電圧を有し、電極基板８と対向電極１０２の間隔
は例えば１０ｍｍ程度に保たれている。対向電極１０２
は例えばステンレスを用いることができる。この様な電
着槽１００の構成で、電着を例えば１乃至１０分行なう
ことにより、放電電極の上に数μｍ乃至数十μｍの電着
膜を堆積することができる。電着液１０１は溶媒と導電
性粒子とバインダーガラス用の低融点ガラスとこれらの
粉末に電荷を与える為のイオンを混合したコロイド溶液
である。例えば、溶媒としてイソプロピルアルコールを
用い、導電性粒子としてホウ化ランタン（ＬａＢ₆ ）を
用い、バインダーガラスとして鉛ガラスを用い、電荷を
付与する為のイオンとしてＭｇイオンを用いる。係る組
成を有する電着液１０１に電極基板８を浸漬し電源１０
３の負極に接続する一方、ステンレスなどで作られた対
向電極１０２を電源１０３の正極につなぎ、両者の間に
電圧を印加する。電界により電着液１０１中の陽イオン
を付与された材料粉末が導体配線上に降り積もっていく
ことになる。

【００１９】

【実施例】以下本発明に係るプラズマセルの実施例を詳
細に説明する。図４は実施例の作成に用いたガラス基板
（電極基板）８の構成を模式的に表わしている。ガラス
基板８の上で隔壁１０は１．１ｍｍ間隔で配列されてい
る。各隔壁１０の高さ寸法は０．２ｍｍであり、幅寸法
は０．１ｍｍである。一対の隔壁１０の間には一対の放
電電極９が形成されている。電着工程の前の段階では、
一対の導体配線が形成されており、この上に電着膜が堆
積され、放電電極９となる。一対の放電電極９の一方は
カソードＫとなり、他方がアノードＡとなる。ストライ
プ状の導体配線はアルミニウムからなり、その幅寸法は
０．１ｍｍである。又一対の導体配線の間隔は０．３ｍ
ｍである。尚、これらの寸法は例として挙げられたもの
であり、本発明を限定するものではない。

【００２０】第一実施例では、放電電極材料となる導電
性粒子としてホウ化ランタン（Ｃｅｒａｃ製）を用い、
これにバインダーガラスとして軟化点が約４７０℃の鉛
ガラス（旭硝子製ＡＳＦ１３９０）を添加した。これら
の材料を電着法でアルミニウム配線上に被着し、放電電
極とした。具体的には、まずホウ化ランタン粉末と鉛ガ
ラス粉末とを重量比で３：１に混合し、溶媒中に分散す
る。溶媒は電解質として硝酸マグネシウムを溶解したイ
ソプロピルアルコールが９９％を占め、これに純水が１
％添加されている。次にアルミニウム配線を形成した基
板をステンレスからなる対向電極と向かい合わせて上述
の分散媒中に浸漬する。尚、アルミニウム配線を形成し
た基板面が対向電極側を向く様にする。続いてアルミニ
ウム配線が負極となる様にステンレス対向電極との間に
電圧をかけ、ホウ化ランタンと鉛ガラスの粉末をアルミ
ニウム配線上に電着する。ここでは、電着膜の厚さが１
０乃至２０μｍとなる様に電着時間を制御した。電着処
理後の基板を大気雰囲気中において５００℃に加熱し、
鉛ガラス粉末を軟化させてから冷却し、ホウ化ランタン
粉末をアルミニウム配線上に固着する。この様にして放
電電極を形成した基板を薄板ガラスとフリットシール材
によって貼り合わせ、図２に示したと同様のプロセスで
プラズマセルにした。この際、フリットシール材として
日本電気硝子製ＬＳ−１３０１を用い、４６０℃に加熱
して基板と薄板ガラスを互いに封着した。この様に、フ
リットシールの熱処理温度４６０℃よりもバインダーガ
ラスの軟化点（４７０℃）の方が高い。尚、プラズマセ
ルに封入される放電ガスとしてはキセノンを用いた。圧
力は３０Ｔｏｒｒである。この様にして作成されたプラ
ズマセルを用いて放電実験を行なった。アノードを接地
する一方カソードに３５０Ｖのパルス電圧を繰り返し印
加した。パルス幅は５μｓで周期は３２μｓである。初
期放電状態は良好でありアーク状の異常放電は発生しな
かった。

【００２１】第二実施例では、バインダーガラスとし
て、第一実施例で用いた材料の代わりに、軟化点が４９
０℃の鉛ガラス（日本電気硝子製ＧＡ−０９５１）を用
いてプラズマセルを作成した。ホウ化ランタン粉末をア
ルミニウム配線上に固着する為加熱温度は５２０℃とし
た。第二実施例で用いた鉛ガラスの軟化点は４９０℃で
あり、第一実施例で用いた鉛ガラスの軟化点４７０℃よ
りも高い為、加熱温度は第一実施例の５００℃に比べ５
２０℃と高く設定した。一方、フリットシール材料は第
一実施例と同様に日本電気硝子製ＬＳ−１３０１を用
い、第一実施例と同様に４６０℃に加熱してフリットシ
ール（封着）を行なった。本実施例でもフリットシール
の温度よりバインダーガラスの軟化点の方が高い。この
様にして作成されたプラズマセルを用いて同様な放電実
験を行なったところ、アーク状の異常放電は発生しなか
った。

【００２２】次に比較例として、軟化点が約３９０℃の
鉛ガラス（Ｆｅｒｒｏ社製ＣＦ８４６３）を用いてプラ
ズマセルを作成した。ホウ化ランタン粉末をアルミニウ
ム配線上に固着する為、この比較例においてはバインダ
ーガラスの軟化点３９０℃よりも上の４２０℃で加熱処
理を行なった。一方、フリットシール材料は第一実施例
及び第二実施例と同様に日本電気硝子製ＬＳ−１３０１
を用い、４６０℃に加熱してフリットシール処理を行な
った。この比較例ではバインダーガラスの軟化点３９０
℃がフリットシール温度４６０℃よりも低い為、酸化鉛
の還元が生じ鉛粒子が析出したので、アーク状の異常放
電が発生した。この結果、放電電極が部分的に破損し
た。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
電着法によって放電電極を形成する表示装置において、
電着膜に含まれるバインダーガラス材料としてプラズマ
セルのフリットシール温度よりも高い軟化点を有するガ
ラス材料を用いている。これにより異常放電を抑制する
ことが可能となり、プラズマセルを備えた表示装置の歩
留り及び信頼性が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る表示装置を示す模式的な断面図で
ある。

【図２】本発明に係る表示装置の製造方法を示す工程図
である。

【図３】本発明に係る表示装置の製造方法に用いられる
電着槽を示す模式図である。

【図４】本発明に係る表示装置の実施例の作成に用いる
基板を示す模式的な断面図である。

【符号の説明】

１・・・表示セル、２・・・プラズマセル、３・・・中
間基板、４・・・上側基板、５・・・信号電極、７・・
・電気光学物質、８・・・下側基板、９・・・放電電
極、１０・・・隔壁、１１・・・フリットシール材、１
５・・・電着膜、１００・・・電着槽、１０１・・・電
着液、１０２・・・対向電極、１０３・・・電源

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 5C027 AA01 AA03 5C040 FA02 FA09 GB03 GB08 GC03 GC18 GC19 HA01 JA07 JA08 JA14 JA22 KA02 KA09 KB04 KB17 KB22 LA17 MA10 MA20 MA23 5C094 AA21 BA43 DA07 FB02 GA10 GB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】フリットシール材を介して互いに接合し
密閉された空間を形成する一対の基板と、該空間に満た
されたイオン化可能な気体と、少なくとも片方の基板に
形成され該気体をイオン化して該空間に放電を発生する
電極とからなるプラズマセルを備えた表示装置におい
て、前記一対の基板は少なくとも片方に電極を形成した後、
該フリットシール材を所定の熱処理温度で加熱して互い
に接合したものであり、前記電極の少なくとも一部は導電性粒子とバインダーガ
ラスを混合した電着膜からなり、前記バインダーガラスは該フリットシール材の熱処理温
度よりも高い軟化点を有することを特徴とする表示装
置。
【請求項２】前記バインダーガラスは鉛ガラスを主成
分とすることを特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項３】前記導電性粒子はホウ化物であることを
特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項４】該プラズマセルによって走査される液晶
セルを該プラズマセルに重ねた積層構造を有することを
特徴とする請求項１記載の表示装置。
【請求項５】フリットシール材を介して互いに接合し
密閉された空間を形成する一対の基板と、該空間に満た
されたイオン化可能な気体と、少なくとも片方の基板に
形成され該気体をイオン化して該空間に放電を発生する
電極とを備えた表示装置の製造方法において、片方の基板に予め電極のパタンと対応した配線を形成す
る配線工程と、導電性粒子とバインダーガラスを含んだ電着膜で該配線
を被覆して電極とする電着工程と、該バインダーガラスの軟化点以上で熱処理を行い該電着
膜を該配線に固着する固着工程と、片方の基板にフリットシール材を介して他方の基板を重
ね、該バインダーガラスの軟化点以下の温度で該フリッ
トシール材を熱処理して一対の基板を互いに接合する接
合工程と、該一対の基板で密閉された空間にイオン化可能な気体を
封入する封入工程とを行なうことを特徴とする表示装置
の製造方法。
【請求項６】前記電着工程はホウ化物からなる導電性
粒子とバインダーガラスを含んだ電着膜で該配線を被覆
することを特徴とする請求項５記載の表示装置の製造方
法。
【請求項７】所定の間隙を介して該他方の基板に別の
基板を貼着し該間隙に液晶を充填する充填工程を含む請
求項５記載の表示装置の製造方法。