JP2000292288A - 圧力センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 構造を簡素化し、低コストで小型の圧力セン
サを提供する。 【解決手段】 可撓性を有する導電材からなるダイアフ
ラム２０と、このダイアフラム２０の一面側に配置され
た加圧室７と、ダイアフラム２０の他面と対向して配設
された抵抗体１７とを備え、加圧室７に充填された気体
の圧力により、ダイアフラム２０の一面側が押し広げら
れて他面側を膨出させ、抵抗体１７に対するダイアフラ
ム２０の接触面積を変化させるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、気体の圧力を計測
する圧力センサに係り、特にダイアフラムを備えた圧力
センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２乃至図１３は従来の圧力センサを
示すもので、この圧力センサは、互いに接合・一体化さ
れて筐体を形成する第１，第２の外装ケース３１，３２
を備え、図１２に示すように、第１の外装ケース３１に
は、貫通孔３３ａを有した外部接続部３３が一体形成で
設けられ、第２のケース３２には、開口部３４ａを有す
る保持板３４と圧力検出時に空気を逃がす通気孔３５と
が設けられている。

【０００３】また、この第１，第２の外装ケース３１，
３２内には、可撓性を有するシート状のダイアフラム３
６と、保持板３４の開口部３４ａに挿通された突起部３
７ａを有するプランジャ３７と、導電性ゴムからなる円
錐状の接触子３８と、一対の電極３９ａ，３９ｂを有す
る抵抗回路基板３９とが収納されており、ダイアルラム
３６は、第１，第２の外装ケース３１，３２により挟持
され、抵抗回路基板３９は、第２の外装ケース３２の内
底面に支持されている。また、プランジャ３７は、突起
部３７ａをダイアフラム３６に当接させており、接触子
３８は、その先端部を抵抗回路基板３９に当接させた状
態でプランジャ３７に支持されている。

【０００４】そして、第１，第２の外装ケース３１，３
２内において、ダイアフラム３６の外部接続部３３側が
加圧室４０とされ、第１，第２の外装ケース３１，３２
によるダイアフラム３６の挟持により、抵抗回路基３９
側から加圧室４０内への大気の侵入が常時遮断された状
態となっている。

【０００５】このように構成された従来の圧力センサ
は、外部接続部３３が例えばエアー配管（不図示）に接
続されて抵抗回路基板３９に所定の電流あるいは電圧を
加えた状態で使用される。そして、エアー配管から貫通
孔を通って加圧室４０に導入された空気の圧力がダイア
フラム３６に作用すると、図１３に示すように、ダイア
フラム３６が保持板３４側（矢印Ａ方向）に膨出して突
起部３７ａを押圧することにより、プランジャ３７が抵
抗回路基板３９側へスライドし接触子３８を抵抗回路基
板３９に押圧して弾性変形させる。

【０００６】このとき、プランジャ３７に押圧された接
触子３８は、厚み方向（矢印Ａ方向）に圧縮されつつ当
該接触子３８の肉厚を円錐状の外壁面と抵抗回路基板３
９との間のスペースに移行させ、上記空気の圧力の増大
に伴って抵抗回路基板３９との接触面積が漸次増大して
いく。すなわち、接触子３８は、無加圧状態から加圧状
態となるにつれて抵抗回路基板３９に対する接触面積が
漸次増大し、抵抗回路基板３９と協力して上記空気の圧
力が増大するにつれて抵抗値が減少する可変抵抗回路を
形成する。

【０００７】また、上記空気の圧力が減少すると、その
減少に応じてダイアフラム３６は外部接続部３３側（矢
印Ｂ方向）へ弾性復帰するので、これに伴い接触子３８
の弾性変形が解消され、よってプランジャ３７がダイア
フラム３６側へスライドして、接触子３８と抵抗回路基
板３９との接触面積が漸次減少していき、上記可変抵抗
回路の抵抗値が増大する。したがって、抵抗回路基板３
９と接触子３８との接触部分における抵抗値の変化を電
流・電圧の変化として一対の電極３９ａ，３９ｂから取
り出すことにより、上記空気の圧力を計測することがで
きる。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の圧力センサにあっては、ダイアフラム３６の膨
出量に応じてスライドするプランジャ３７及びこれに支
持された接触子３８を必要としているため、部品点数が
多く製品コストを低減できず、また、ダイアフラム３６
の膨出および弾性復帰方向（矢印Ａ，Ｂ方向）に背丈が
高いものとなっており、小型化を図ることが困難である
という欠点を有している。また、加圧室４０を形成する
上で第２の外装ケース３２を必要とするため、このこと
も部品点数を増大させ製品コストが低減できない一因と
なっている。

【０００９】また、接触子３８は、プランジャ３７に押
圧されて厚み方向（矢印Ａ方向）に圧縮されることによ
り、当該接触子３８の肉厚を円錐状の外壁面と抵抗回路
基板３９との間のスペースに移行させて、抵抗回路基板
３９との接触面積を漸次増大させるようになっているこ
とから、当該接触子３８の肉厚を円錐状の外壁面と抵抗
回路基板３９との間のスペースに移行させるのに、抵抗
回路基板３９との接触面積の増大に寄与しない厚み方向
への弾性変形を介する必要があるため、その分抵抗回路
基板３９との接触面積の増大させるために大きな押圧力
を必要とする。したがって、従来の圧力センサにあって
は、上記空気の圧力の僅かな変化が検出でき難いという
課題があった。

【００１０】また、接触子３８は、導電性ゴムからなる
ため、その硬度が上記空気の温度の変化に応じて変わる
ので、上記空気の圧力の検出特性に与える影響も非常に
大きなものとなってしまうという問題もある。

【００１１】本発明は上述した従来技術の事情に鑑みて
なされたもので、その目的は、構造を簡素化し、僅かな
圧力の変化を検出できる低コストで小型の圧力センサを
提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の圧力センサは、可撓性を有する導電材から
なるダイアフラムと、このダイアフラムの一面側に配置
された加圧室と、前記ダイアフラムの他面と対向して配
設された抵抗体とを備え、前記加圧室に充填された気体
の圧力により、前記ダイアフラムの一面側が押し広げら
れて他面側を膨出させ、前記抵抗体に対する前記ダイア
フラムの接触面積を変化させるようにしたことを最も主
要な特徴としている。

【００１３】また、上記構成において、前記抵抗体を設
けた絶縁基板を備え、前記絶縁基板上には、前記ダイア
フラムのフランジ部を密着させて前記抵抗体を前記ダイ
アフラムで覆い、前記絶縁基板側から前記加圧室内への
大気の侵入を常時遮断した。

【００１４】また、上記構成において、前記ダイアフラ
ムを金属製の導電薄板で形成し、前記気体の圧力が前記
ダイアフラムに作用しない無加圧の状態において、前記
ダイアフラムの中心部が前記抵抗体に接触している構成
とした。

【００１５】また、上記構成において、前記ダイアフラ
ムには、前記中心部から前記フランジ部に至るに従い漸
次前記加圧室側に突出する凹陥部を形成した。

【００１６】また、上記構成において、前記ダイアフラ
ムを収納するケーシングと、前記ケーシングの上壁部に
固定されて前記ケーシング内に収納されたＯリングとを
備え、前記ケーシングと前記ダイアフラムとで囲まれて
構成された空間が前記加圧室とされ、前記フランジ部を
前記Ｏリングに圧接させて前記絶縁基板に密着させた。

【００１７】さらに、上記構成において、前記凹陥部と
対向して前記絶縁基板に穿設された第１の挿通孔と、前
記ダイアフラムと対向する領域の外側において前記絶縁
基板に穿設された第２の挿通孔と、前記絶縁基板の裏面
に形成されて前記第１，第２の挿通孔を連結する溝部
と、前記第２の挿通孔と対向して前記上壁部に設けられ
た大気圧導入部とを備え、前記第１，第２の挿通孔と前
記溝部及び前記大気圧導入部を介して前記ケーシングの
外部と前記凹陥部とを連通させて、前記凹陥部内を大気
圧とした。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の圧力センサの一実
施形態を図１乃至図１１を用いて説明する。

【００１９】この圧力センサは、絶縁合成樹脂製のケー
シング１と、このケーシング１内に収納されるＯリング
１０及びダイアフラム２０と、抵抗体１７や端子１２，
１３，１４を有する絶縁基板１１と、この絶縁基板１１
に搭載されるカバープレート２１と、金属製の平板を曲
折加工した保持カバー２２とによって構成されている。

【００２０】ケーシング１は、下部及び一側部を開放し
た４角箱状に形成され、上壁部２および側壁部３，４，
５を有し、図５，図８に示すように、上壁部２の内壁面
には、環状の凹部６が形成されているとともに、この環
状の凹部６の内側に上壁部２と後述するダイアフラム２
０とで囲まれて構成される円形の加圧室７が形成されて
おり、また、天板部２の外壁面には、円柱状の外部接続
部８と円柱状の大気圧導入部９とが突設されている。そ
して、外部接続部８には貫通孔８ａが穿設され、大気圧
導入部には貫通孔９ａが穿設されており、貫通孔８ａが
ケーシング１外と加圧室７とを連通させ、貫通孔９ａが
環状の凹部６の外側においてケーシング１の内外を連通
させている。また、側壁部３には切欠部３ａ及び段部３
ｂが形成され、側壁部４には切欠部４ａ及び段部４ｂが
形成されている。

【００２１】Ｏリング１０は、ゴム材料からリング状に
形成され、図５に示すように、環状の凹部６に圧入され
て上壁部２に固定され、ケーシング１内に収納されてい
る。

【００２２】絶縁基板１１は、絶縁合成樹脂材料を矩形
状に成形してなるもので、図５，図９に示すように、第
１，第２の挿通孔１１ａ，１１ｂが穿設され、両側部に
一対の突片１１ｃ，１１ｄが対向して設けられている。
この絶縁基板１１の一端面には、導電薄板からなる３つ
の端子１２，１３，１４がインサート成形によって取り
付けられており、これら３つの端子１２，１３，１４
は、何れも同一形状に形成され、先端部１２ａ，１３
ａ，１４ａが絶縁基板１１の一面に露出しているととも
に、後端部１２ｂ，１３ｂ，１４ｂが絶縁基板１１の他
面側に折り曲げられている。

【００２３】絶縁基板１１の一面には、互いに平行な帯
状の一対の導電パターン１５，１６と、この一対の導電
パターン１５，１６の一端部同士を接続する略楕円状の
抵抗体１７と、一方の導電パターン１５の他端部と端子
１４の先端部１４ａとを接続する調整抵抗１８と、他方
の導電パターン１６の他端部と端子１２の先端部１２ａ
とを接続する調整抵抗１９とが共に印刷により設けられ
ており、一方の導電パターン１５の他端部は延設されて
端子１３の先端部１３ａに接続されている。また、図６
に示すように、絶縁基板１１の他面には、第１，第２の
挿通孔１１ａ，１１ｂを連結する溝部１１ｅが形成され
ている。そして、この絶縁基板１１は、一対の突片１１
ｃ，１１ｄを各々切欠部３ａ，４ａに挿入させてケーシ
ング１と組み合わされており、第２の挿通孔１１ｂが大
気圧導入部９の貫通孔９ａと対向し、調整抵抗１８，１
９及び３つの端子１２，１３，１４がケーシング１の外
側に配置された状態となっている。

【００２４】ダイアフラム２０は、金属製の可撓性を有
する導電薄板から円板状に形成され、図１０，図１１に
示すように、他面側から一面側に突出する断面Ｍ字状の
凹陥部２０ａと、この凹陥部２０ａを包囲するフランジ
部２０ｂとが設けられている。そして、このダイアフラ
ム２０は、ケーシング１内に収納され、図５，図９に示
すように、その中心部２０ｃからフランジ部２０ｂに至
るに従い漸次加圧室７側に突出するように凹陥部２０ａ
を配置してフランジ部２０ｂの一面がＯリング１０に圧
接されることにより、フランジ部２０ｂの他面を絶縁基
板１１の一面に密着させて凹陥部２０ａで抵抗体１７を
覆っており、第１の挿通孔１１ａが凹陥部２０ａ内に位
置し、凹陥部２０ａの中心部２０ｃが、外部接続部８の
貫通孔８ａと対向した状態で抵抗体１７の中央部に接触
している（尚、図９ではダイアフラム２０のフランジ部
２０ｂを点線で示した）。

【００２５】カバープレート２１は、絶縁合成樹脂材料
を矩形状に成形してなるもので、両側端面には、切欠部
２１ａ，２１ｂが形成されている。そして、図５に示す
ように、このカバープレート２１は、他端面をケーシン
グ１の上壁部２の一端面に当接させて、調整抵抗１８，
１９を覆った状態で絶縁基板１１の一面に搭載されてい
る。

【００２６】保持カバー２２は、図１〜図４に示すよう
に、両端部に一対の取付脚２３ａが曲折形成された底板
部２３を有し、該保持カバー２２の両側部を上方へ垂直
に折り曲げることにより、一対の側壁部２４が立設さ
れ、これら側壁部２４の上縁部には、片側について２個
ずつ、両側で４個の大突起２４ａと、片側について１個
ずつ、両側で２個の小突起２４ｂとが形成されている。
そして、この保持カバー２２は、その底板部２３に、Ｏ
リング１０及びダイアフラム２０を収納したケーシング
１およびカバープレート２１を搭載した絶縁基板１１が
載置され、側壁部２４がケーシング１の段部３ｂ，４ｂ
に係合されるとともに、両小突起２４ｂが各々カバープ
レート２１の切欠２１ａ，２１ｂに係合された状態で、
大・小突起２４ａ，２４ｂと底板部２３とがケーシング
１、絶縁基板１１及びカバープレート２１を挟持して、
これらを一体に保持している。

【００２７】次に、このように構成された圧力センサの
組立方法を説明すると、先ず、一端面にインサート成形
によって３つの端子１２，１３，１４が取り付けられ、
一面に一対の導電パターン１５，１６、抵抗体１７及び
調整抵抗１８，１９が印刷形成された絶縁基板１１を保
持カバー２２の底板部２３上に載置する。次に、絶縁基
板１１の一面にダイアフラム２０を載置し、次いで、絶
縁基板１１の突片１１ｃ，１１ｄに切欠部３ａ，４ａを
対応させて、環状の凹部６にＯリング１０が圧入された
ケーシング１を一対の側壁部２４間に挿入し絶縁基板１
１と組み合わせる。次に、大突起２４ａを内側に折り曲
げ、大突起２４ａと底板部２３とによりケーシング１及
び絶縁基板１１を挟持して、これらを一体に保持する。
そして、この状態で加圧室７に充填された空気に所定の
圧力を加え、その際所定の出力電圧が端子１３から得ら
れるよう調整抵抗１８，１９をトリミングする。

【００２８】次に、小突起２４ｂに切欠部２１ａ，２１
ｂを対応させて、カバープレート２１を一対の側壁部２
４間に挿入し絶縁基板１１の一面に搭載し、小突起２４
ｂを内側に折り曲げ、小突起２４ｂと絶縁基板１１とに
よりカバープレート２１を挟持して保持する。

【００２９】このようにして圧力センサの組立は完了す
るが、組立後においては、ダイアフラム２０の凹陥部２
０ａ一面が加圧室７側に位置して外部接続部８と対向
し、ダイアフラム２０の凹陥部２０ａの他面と対向して
抵抗体１７が配設されている。また、抵抗体１７のダイ
アフラム２０と反対側には絶縁基板１１が配設され、こ
の絶縁基板１１の一面に、大・小突起２４ａ，２４ｂと
底板部２３との挟持力により一面をＯリング１０に圧接
されたフランジ部２０ｂの他面が密着して、絶縁基板１
１側から加圧室７内への大気の侵入を常時遮断した状態
となっており、Ｏリング１０は上下方向に圧縮変形され
た状態となっている。また、第２の挿通孔１１ｂが絶縁
基板１１のダイアフラム２０と対向する領域の外側に位
置して、大気圧導入部９の貫通孔９ａと対向している。

【００３０】しかして、このように構成・組み立てられ
た本発明の圧力センサは、取付脚２３ａにより制御基板
２５に仮固定され、端子１２を制御基板２５に接地さ
せ、残りの端子１３，１４を制御基板２５の図示せぬ電
気回路に接続させた後、図５に示すように、湿気から上
記電気回路を保護するエポキシ樹脂等の絶縁性接着剤２
６により制御基板２５に本固定された状態で洗濯機（不
図示）に組み込まれ、洗濯槽のエアートラップから導出
したホースに外部接続部８を連結し、端子１４に上記電
気回路から所定の正電圧を印加した状態で使用される。
尚、このとき、第１，第２の挿通孔１１ａ，１１ｂと溝
部１１ｅ及び大気圧導入部９の貫通孔９ａを介してケー
シング１の外部と凹陥部２０ａとが連通され、凹陥部２
０ａ内が大気圧となっている。

【００３１】そして、洗濯槽内の水の液面高さに応じて
エアートラップ内の水面が上昇すると、このエアートラ
ップの上部に封入されている空気の気圧が上昇するの
で、この空気圧の上昇が上記ホースを介して外部接続部
８の貫通孔８ａから加圧室７に伝達され、加圧室７に充
填された空気の圧力が上昇してダイアフラム２０に作用
し、図７に示すように、ダイアフラム２０は、実線で示
す空気の圧力が作用しない無加圧の状態から、点線で示
した状態へと中心部２０ｃを支点として凹陥部２０ａは
一面側が押し広げられて他面側を矢印Ａ方向に膨出させ
る。

【００３２】このとき、ダイアフラム２０の凹陥部２０
ａは、上記エアートラップの空気の圧力の増大に伴って
抵抗体１７との接触面積が図７において左右方向に広が
るように漸次増大させながら変形していく。すなわち、
凹陥部２０ａは、その弾性変形が抵抗体１７との接触面
積の増大に直接的に寄与する変形となり、上記エアート
ラップの空気の圧力の僅かな増大に対しても、無加圧状
態から加圧状態となるにつれて抵抗体１７に対する接触
面積が漸次増大し、抵抗体１７と協力して上記エアート
ラップの空気の圧力が増大するにつれて抵抗値が減少す
る可変抵抗回路を形成するので、これに伴い端子１３か
ら出力される電圧が降下する。

【００３３】また、洗濯槽内の水の液面高さに応じてエ
アートラップ内の水面が降下すると、このエアートラッ
プの上部に封入されている空気の気圧が減少するので、
この空気圧の減少が上記ホースを介して外部接続部８の
貫通孔８ａから加圧室７に伝達され、加圧室７に充填さ
れた空気圧力の減少がダイアフラム２０に作用し、その
減少に応じてダイアフラム２０の凹陥部２０ａは外部接
続部８側（矢印Ｂ方向）へ弾性復帰して、凹陥部２０ａ
と抵抗体１７との接触面積が漸次減少していき、これに
伴い上記可変抵抗回路の抵抗値が増大して、端子１３か
ら出力される電圧が上昇する。したがって、端子１３の
出力電圧を上記電気回路で計測することにより、制御基
板２５は、洗濯槽内の水の液面高さを検知でき、これに
基づき洗濯槽内の水の液面高さを制御できる。

【００３４】尚、この実施形態では、加圧室７内に空気
を充填した使用形態で説明したが、本発明はこれに限定
されるものではなく、加圧室７内に充填される気体には
種々変更が可能である。

【００３５】

【発明の効果】本発明は、以上説明したような形態で実
施され、以下に記載されるような効果を奏する。

【００３６】可撓性を有する導電材からなるダイアフラ
ムと、このダイアフラムの一面側に配置された加圧室
と、前記ダイアフラムの他面と対向して配設された抵抗
体とを備え、前記加圧室に充填された気体の圧力によ
り、前記ダイアフラムの一面側が押し広げられて他面側
を膨出させ、前記抵抗体に対する前記ダイアフラムの接
触面積を変化させるようにしたので、従来技術で示した
如きプランジャ及び接触子を不要となし、構造の簡素化
と、ダイアフラムの膨出および弾性復帰方向における小
型化が図れ、前記気体の圧力の僅かな変化を検出できる
低コストで小型の圧力センサを提供できる。

【００３７】また、前記抵抗体を設けた絶縁基板を備
え、前記絶縁基板上には、前記ダイアフラムのフランジ
部を密着させて前記抵抗体を前記ダイアフラムで覆い、
前記絶縁基板側から前記加圧室内への大気の侵入を常時
遮断したので、従来技術で示した如き第２の外装ケース
を不要となし、さらに構造の簡素化を図ることができ、
より低コストで小型の圧力センサを提供できる。

【００３８】また、前記ダイアフラムを金属製の導電薄
板で形成し、前記気体の圧力が前記ダイアフラムに作用
しない無加圧の状態において、前記ダイアフラムの中心
部が前記抵抗体に接触している構成としたので、前記ダ
イアフラムは、前記気体の温度変化による伸縮やクリー
プを生じることなく、前記抵抗体との接触を常に安定し
た状態に維持できる。

【００３９】また、前記ダイアフラムには、前記中心部
から前記フランジ部に至るに従い漸次前記加圧室側に突
出する凹陥部を形成したので、前記ダイアフラムは、前
記中心部を支点として前記気体の圧力に応じて膨出・弾
性復帰でき、前記抵抗体との接触面積を確実に変化させ
ることができる。

【００４０】また、前記ダイアフラムを収納するケーシ
ングと、前記ケーシングの上壁部に固定されて前記ケー
シング内に収納されたＯリングとを備え、前記ケーシン
グと前記ダイアフラムとで囲まれて構成された空間が前
記加圧室とされ、前記フランジ部を前記Ｏリングに圧接
させて前記絶縁基板に密着させたので、簡単な構成で前
記フランジ部を前記絶縁基板に密着させることができ、
且つ前記絶縁基板側から前記加圧室内への大気の侵入を
より確実に遮断することができる。

【００４１】さらに、前記凹陥部と対向して前記絶縁基
板に穿設された第１の挿通孔と、前記ダイアフラムと対
向する領域の外側において前記絶縁基板に穿設された第
２の挿通孔と、前記絶縁基板の裏面に形成されて前記第
１，第２の挿通孔を連結する溝部と、前記第２の挿通孔
と対向して前記上壁部に設けられた大気圧導入部とを備
え、前記第１，第２の挿通孔と前記溝部及び前記大気圧
導入部を介して前記ケーシングの外部と前記凹陥部とを
連通させて、前記凹陥部内を大気圧としたので、制御基
板等に接着剤を用いて取り付けられた場合でも、前記凹
陥部内を確実に大気圧に保つことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の圧力センサの平面図。

【図２】本発明の圧力センサの正面図。

【図３】本発明の圧力センサの側面図。

【図４】本発明の圧力センサの底面図。

【図５】図１の５−５線に沿う断面図。

【図６】本発明の圧力センサの保持カバーを取り除いて
示す底面図。

【図７】本発明の圧力センサの要部拡大断面図。

【図８】本発明の圧力センサに係るケーシングの底面
図。

【図９】本発明の圧力センサに係る絶縁基板の平面図。

【図１０】本発明の圧力センサに係るダイアフラムの平
面図。

【図１１】図１０の１１−１１線に沿う断面図。

【図１２】従来の圧力センサの無加圧状態における断面
図。

【図１３】従来の圧力センサの加圧状態における断面
図。

【符号の説明】

１ ケーシング ２ 上壁部 ３ 側壁部 ３ａ 切欠部 ３ｂ 段部 ４ 側壁部 ４ａ 切欠部 ４ｂ 段部 ５ 側壁部 ６ 環状の凹部 ７ 加圧室 ８ 外部接続部 ８ａ 貫通孔 ９ 大気圧導入部 ９ａ 貫通孔 １０ Ｏリング １１ 絶縁基板 １１ａ 第１の挿通孔 １１ｂ 第２の挿通孔 １１ｃ 突片 １１ｄ 突片 １１ｅ 溝部 １２ 端子 １２ａ 先端部 １２ｂ 後端部 １３ 端子 １３ａ 先端部 １３ｂ 後端部 １４ 端子 １４ａ 先端部 １４ｂ 後端部 １５ 導電パターン １６ 導電パターン １７ 抵抗体 １８ 調整抵抗 １９ 調整抵抗 ２０ ダイアフラム ２０ａ 凹陥部 ２０ｂ フランジ部 ２０ｃ 中心部 ２１ カバープレート ２１ａ 切欠部 ２１ｂ 切欠部 ２２ 保持カバー ２３ 底板部 ２３ａ 取付脚 ２４ 側壁部 ２４ａ 大突起 ２４ｂ 小突起 ２５ 制御基板 ２６ 絶縁接着剤

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 可撓性を有する導電材からなるダイアフ
   ラムと、このダイアフラムの一面側に配置された加圧室
   と、前記ダイアフラムの他面と対向して配設された抵抗
   体とを備え、前記加圧室に充填された気体の圧力によ
   り、前記ダイアフラムの一面側が押し広げられて他面側
   を膨出させ、前記抵抗体に対する前記ダイアフラムの接
   触面積を変化させるようにしたことを特徴とする圧力セ
   ンサ。
2. 【請求項２】 前記抵抗体を設けた絶縁基板を備え、前
   記絶縁基板上には、前記ダイアフラムのフランジ部を密
   着させて前記抵抗体を前記ダイアフラムで覆い、前記絶
   縁基板側から前記加圧室内への大気の侵入を常時遮断し
   たことを特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
3. 【請求項３】 前記ダイアフラムを金属製の導電薄板で
   形成し、前記気体の圧力が前記ダイアフラムに作用しな
   い無加圧の状態において、前記ダイアフラムの中心部が
   前記抵抗体に接触していることを特徴とする請求項２に
   記載の圧力センサ。
4. 【請求項４】 前記ダイアフラムには、前記中心部から
   前記フランジ部に至るに従い漸次前記加圧室側に突出す
   る凹陥部を形成したことを特徴とする請求項３に記載の
   圧力センサ。
5. 【請求項５】 前記ダイアフラムを収納するケーシング
   と、前記ケーシングの上壁部に固定されて前記ケーシン
   グ内に収納されたＯリングとを備え、前記ケーシングと
   前記ダイアフラムとで囲まれて構成された空間が前記加
   圧室とされ、前記フランジ部を前記Ｏリングに圧接させ
   て前記絶縁基板に密着させたことを特徴とする請求項４
   に記載の圧力センサ。
6. 【請求項６】 前記凹陥部と対向して前記絶縁基板に穿
   設された第１の挿通孔と、前記ダイアフラムと対向する
   領域の外側において前記絶縁基板に穿設された第２の挿
   通孔と、前記絶縁基板の裏面に形成されて前記第１，第
   ２の挿通孔を連結する溝部と、前記第２の挿通孔と対向
   して前記上壁部に設けられた大気圧導入部とを備え、前
   記第１，第２の挿通孔と前記溝部及び前記大気圧導入部
   を介して前記ケーシングの外部と前記凹陥部とを連通さ
   せて、前記凹陥部内を大気圧としたことを特徴とする請
   求項５に記載の圧力センサ。