JP2000289204A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2000289204A5 JP2000289204A5 JP1999100815A JP10081599A JP2000289204A5 JP 2000289204 A5 JP2000289204 A5 JP 2000289204A5 JP 1999100815 A JP1999100815 A JP 1999100815A JP 10081599 A JP10081599 A JP 10081599A JP 2000289204 A5 JP2000289204 A5 JP 2000289204A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- ink ejection
- thin film
- film transistor
- transistor circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 10
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 229910021424 microcrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081599A JP4403597B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10081599A JP4403597B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000289204A JP2000289204A (ja) | 2000-10-17 |
| JP2000289204A5 true JP2000289204A5 (enExample) | 2006-01-19 |
| JP4403597B2 JP4403597B2 (ja) | 2010-01-27 |
Family
ID=14283855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10081599A Expired - Fee Related JP4403597B2 (ja) | 1999-04-08 | 1999-04-08 | インクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4403597B2 (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4977946B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2012-07-18 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP4771042B2 (ja) * | 2004-07-23 | 2011-09-14 | ゲットナー・ファンデーション・エルエルシー | 圧電素子搭載装置、およびこれを用いた液滴吐出装置、画像出力装置 |
| JP5011871B2 (ja) | 2006-07-28 | 2012-08-29 | 富士ゼロックス株式会社 | 液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置 |
| WO2011149469A1 (en) * | 2010-05-27 | 2011-12-01 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Printhead and related methods and systems |
| JP2012054560A (ja) * | 2011-09-02 | 2012-03-15 | Seiko Epson Corp | 圧電素子の製造方法、インクジェット式記録ヘッドの製造方法およびインクジェットプリンタの製造方法 |
| JP6380890B2 (ja) | 2013-08-12 | 2018-08-29 | Tianma Japan株式会社 | インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法、並びにインクジェットプリンタヘッドを搭載した描画装置 |
| IT201700019431A1 (it) * | 2017-02-21 | 2018-08-21 | St Microelectronics Srl | Dispositivo microfluidico mems di stampa ad attuazione piezoelettrica |
-
1999
- 1999-04-08 JP JP10081599A patent/JP4403597B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4296361B2 (ja) | インクジェットヘッド、インクジェットプリンタ、及び、インクジェットヘッドの製造方法 | |
| US6582062B1 (en) | Large thermal ink jet nozzle array printhead | |
| TWI429540B (zh) | 列印頭 | |
| JP2001138518A5 (enExample) | ||
| CN1205035C (zh) | 带有外装控制器的移动喷嘴的喷墨打印头 | |
| US20070139475A1 (en) | Power and ground buss layout for reduced substrate size | |
| WO2001075985A1 (en) | Piezoelectric actuator, its manufacturing method, and ink-jet head comprising the same | |
| JP2000289204A5 (enExample) | ||
| CN106660366B (zh) | 制造流体喷射芯片的方法、打印头、流体喷射芯片和喷墨式打印机 | |
| JP2000198199A (ja) | 液体吐出ヘッドおよびヘッドカートリッジおよび液体吐出装置および液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| JP4537159B2 (ja) | 液体吐出ヘッド用半導体装置、液体吐出へッド及び液体吐出装置 | |
| CN1452554A (zh) | 具有外装控制器的移动喷嘴的喷墨打印头的制造方法 | |
| JPH11235827A (ja) | 液体吐出ヘッド、該液体吐出ヘッドの製造方法、前記液体吐出ヘッドが搭載されたヘッドカートリッジおよび液体吐出装置 | |
| CN103832074A (zh) | 半导体装置、液体排出头、液体排出盒和液体排出设备 | |
| JP4403597B2 (ja) | インクジェットヘッドの製造方法 | |
| JPH11138775A (ja) | 素子基体、インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録装置 | |
| JP2642933B2 (ja) | マルチノズルインクジエツトヘツド | |
| JP2006130885A5 (enExample) | ||
| US7355323B2 (en) | Piezoelectric device, droplet jetting device using the same, and image output device | |
| TWI786459B (zh) | 晶圓結構 | |
| US7367657B2 (en) | Inkjet printhead with transistor driver | |
| JP2705930B2 (ja) | マルチノズルインクジエツトヘツド | |
| JPH0596730A (ja) | インクジエツト記録ヘツド | |
| JPS6129551A (ja) | 液体噴射ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| US7901057B2 (en) | Thermal inkjet printhead on a metallic substrate |