JP2000279973A - 有機物含有排水の酸化処理法 - Google Patents
有機物含有排水の酸化処理法Info
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- JP2000279973A JP2000279973A JP11086364A JP8636499A JP2000279973A JP 2000279973 A JP2000279973 A JP 2000279973A JP 11086364 A JP11086364 A JP 11086364A JP 8636499 A JP8636499 A JP 8636499A JP 2000279973 A JP2000279973 A JP 2000279973A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を添加
してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する方法にお
いて、難分解性の有機物をも効率的に分解処理して良好
な水質の処理水を得る。 【解決手段】 有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を
添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する有機
物含有排水の酸化処理法において、酸化分解過程で強酸
性物質を生成する有機物の酸化分解反応をｐＨ１０以上
に維持して行う。
してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する方法にお
いて、難分解性の有機物をも効率的に分解処理して良好
な水質の処理水を得る。 【解決手段】 有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を
添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する有機
物含有排水の酸化処理法において、酸化分解過程で強酸
性物質を生成する有機物の酸化分解反応をｐＨ１０以上
に維持して行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
から排出される有機物含有排水中の有機物を酸化分解除
去する方法に係り、特に、有機物含有排水にオゾンと過
酸化水素を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分
解する方法において、難分解性の有機物をも効率的に分
解処理して良好な水質の処理水を得る有機物含有排水の
酸化処理法に関する。
から排出される有機物含有排水中の有機物を酸化分解除
去する方法に係り、特に、有機物含有排水にオゾンと過
酸化水素を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分
解する方法において、難分解性の有機物をも効率的に分
解処理して良好な水質の処理水を得る有機物含有排水の
酸化処理法に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場から排出される排水は、
その中に含まれる不純物量が低濃度であるため、通常、
これを回収して処理した後再利用されている。半導体製
造工程においては、イソプロピルアルコール、界面活性
剤、ジメチルスルホキシドなどを含む有機系洗浄剤が使
用されていることから、洗浄排水には不純物として微量
の有機物が含まれており、そのため回収系排水の処理の
ためには、これらの有機物の効率的な除去が重要な課題
となる。
その中に含まれる不純物量が低濃度であるため、通常、
これを回収して処理した後再利用されている。半導体製
造工程においては、イソプロピルアルコール、界面活性
剤、ジメチルスルホキシドなどを含む有機系洗浄剤が使
用されていることから、洗浄排水には不純物として微量
の有機物が含まれており、そのため回収系排水の処理の
ためには、これらの有機物の効率的な除去が重要な課題
となる。
【０００３】また、回収再利用を行わない高濃度の有機
物を含む排水においても、その放流には法的な総量規制
があり、この点からも有機物の除去処理は技術的に重要
である。
物を含む排水においても、その放流には法的な総量規制
があり、この点からも有機物の除去処理は技術的に重要
である。
【０００４】従来、排水中の有機物の除去処理方法とし
て、排水中にオゾンを溶解させると共にアルカリを添加
して、有機物を酸化分解して除去する方法が知られてい
る。しかし、この方法では、特に難分解性の有機物の分
解速度が遅いため処理時間が長くなり、処理効率が悪い
という欠点があった。また、酸化剤としてオゾンのみを
添加するため、酸化分解のために必要なオゾン量が多
く、オゾン発生器等の装置が大型化する上、ランニング
コストが増大し経済的にも不利であった。
て、排水中にオゾンを溶解させると共にアルカリを添加
して、有機物を酸化分解して除去する方法が知られてい
る。しかし、この方法では、特に難分解性の有機物の分
解速度が遅いため処理時間が長くなり、処理効率が悪い
という欠点があった。また、酸化剤としてオゾンのみを
添加するため、酸化分解のために必要なオゾン量が多
く、オゾン発生器等の装置が大型化する上、ランニング
コストが増大し経済的にも不利であった。
【０００５】また、紫外線を用いて有機物を酸化分解す
る方法も提案されているが、この方法では、高圧紫外線
ランプを使用するため装置が大型化し、消費電力の増加
によるコスト上昇を招く欠点があった。
る方法も提案されているが、この方法では、高圧紫外線
ランプを使用するため装置が大型化し、消費電力の増加
によるコスト上昇を招く欠点があった。
【０００６】また、オゾンと過酸化水素とを併用して有
機物を酸化分解する方法も提案されており、特公昭６０
−６７１８号公報には、水中の汚濁有機物の酸化分解に
オゾンと過酸化水素とを併用することが記載されてい
る。この方法では、アルコール、カルボン酸、ケトン、
アミン、エーテル等の有機物をオゾンと過酸化水素との
併用で酸化分解しており、その好適ｐＨは６．５〜９．
５であるとされている。特開平６−２３３７６号公報に
記載される発明は、フェントン酸化法によるアルキルス
ルホキシドの分解法であるが、酸化剤としてオゾンと過
酸化水素とを併用した比較例が記載されている。
機物を酸化分解する方法も提案されており、特公昭６０
−６７１８号公報には、水中の汚濁有機物の酸化分解に
オゾンと過酸化水素とを併用することが記載されてい
る。この方法では、アルコール、カルボン酸、ケトン、
アミン、エーテル等の有機物をオゾンと過酸化水素との
併用で酸化分解しており、その好適ｐＨは６．５〜９．
５であるとされている。特開平６−２３３７６号公報に
記載される発明は、フェントン酸化法によるアルキルス
ルホキシドの分解法であるが、酸化剤としてオゾンと過
酸化水素とを併用した比較例が記載されている。
【０００７】このように有機物含有排水に過酸化水素を
添加し、オゾンを気液撹拌で注入することにより、特に
アルカリ条件下であれば、難分解性の有機物も比較的効
率的に酸化分解することができる。このようにアルカリ
条件下でのオゾンと過酸化水素との併用で良好な酸化分
解効率が得られる理由は、次の通りであると考えられ
る。
添加し、オゾンを気液撹拌で注入することにより、特に
アルカリ条件下であれば、難分解性の有機物も比較的効
率的に酸化分解することができる。このようにアルカリ
条件下でのオゾンと過酸化水素との併用で良好な酸化分
解効率が得られる理由は、次の通りであると考えられ
る。
【０００８】即ち、酸化分解はＯＨラジカルの生成と密
接な関係があるものと推測されるが、オゾン又は過酸化
水素の単独では、酸化反応を行うことはできるものの、
酸化分解反応に必要なＯＨラジカルを生成することはで
きない。このため、オゾン又は過酸化水素の単独では、
有機物の分解を十分に行うことができない。なお、前述
のオゾンとアルカリ添加による方法では、ＯＨラジカル
を生成できるものの、その生成量が十分でないため難分
解性の有機物に対しては有効ではない。これに対して、
オゾン、過酸化水素及びアルカリを添加することによ
り、これらが反応してＯＨラジカルが高効率で生成する
ため、難分解性の有機物をも効率的に酸化分解できるよ
うになる。
接な関係があるものと推測されるが、オゾン又は過酸化
水素の単独では、酸化反応を行うことはできるものの、
酸化分解反応に必要なＯＨラジカルを生成することはで
きない。このため、オゾン又は過酸化水素の単独では、
有機物の分解を十分に行うことができない。なお、前述
のオゾンとアルカリ添加による方法では、ＯＨラジカル
を生成できるものの、その生成量が十分でないため難分
解性の有機物に対しては有効ではない。これに対して、
オゾン、過酸化水素及びアルカリを添加することによ
り、これらが反応してＯＨラジカルが高効率で生成する
ため、難分解性の有機物をも効率的に酸化分解できるよ
うになる。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、本発明
者が有機物の酸化分解についてより詳細に検討したとこ
ろ、アルカリ条件下でオゾンと過酸化水素とを併用して
も、十分に有機物濃度を低減できない場合があり、特
に、ジメチルスルホキシドを含む半導体製造工場の回収
系排水では、十分な処理効果が得られないことが判明し
た。
者が有機物の酸化分解についてより詳細に検討したとこ
ろ、アルカリ条件下でオゾンと過酸化水素とを併用して
も、十分に有機物濃度を低減できない場合があり、特
に、ジメチルスルホキシドを含む半導体製造工場の回収
系排水では、十分な処理効果が得られないことが判明し
た。
【００１０】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであって、有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を
添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する方法
において、難分解性の有機物をも効率的に分解処理して
良好な水質の処理水を得ることができる有機物含有排水
の酸化処理法を提供することを目的とする。
ものであって、有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を
添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する方法
において、難分解性の有機物をも効率的に分解処理して
良好な水質の処理水を得ることができる有機物含有排水
の酸化処理法を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の有機物含有排水
の酸化処理法は、有機物含有排水にオゾンと過酸化水素
を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する有
機物含有排水の酸化処理法において、該有機物が酸化分
解過程で強酸性物質を生成するものであり、該酸化分解
反応はｐＨ１０以上に維持して行うことを特徴とする。
の酸化処理法は、有機物含有排水にオゾンと過酸化水素
を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する有
機物含有排水の酸化処理法において、該有機物が酸化分
解過程で強酸性物質を生成するものであり、該酸化分解
反応はｐＨ１０以上に維持して行うことを特徴とする。
【００１２】酸化分解過程で強酸性物質を生成する有機
物は、アルカリ性条件下においてオゾンと過酸化水素と
を併用する酸化分解法でも効率的に分解処理して有機物
濃度を十分に低減することはできない。
物は、アルカリ性条件下においてオゾンと過酸化水素と
を併用する酸化分解法でも効率的に分解処理して有機物
濃度を十分に低減することはできない。
【００１３】即ち、例えば、半導体製造工場の回収系排
水に含有されるジメチルスルホキシド（以下、ＤＭＳＯ
と略す。）は、次のような反応機構でジメチルスルホン
（以下、ＤＭＳＯ2と略す。）及びメタンスルホン酸
（以下、ＭＳＡと略す。）を経て最終的に硫酸にまで分
解される。そして、この分解反応が、ＤＭＳＯ→ＤＭＳ
Ｏ2やＤＭＳＯ2→ＭＳＡで止まることなく、硫酸に分解
されるまで円滑に進行しないとＴＯＣの低減は図れな
い。
水に含有されるジメチルスルホキシド（以下、ＤＭＳＯ
と略す。）は、次のような反応機構でジメチルスルホン
（以下、ＤＭＳＯ2と略す。）及びメタンスルホン酸
（以下、ＭＳＡと略す。）を経て最終的に硫酸にまで分
解される。そして、この分解反応が、ＤＭＳＯ→ＤＭＳ
Ｏ2やＤＭＳＯ2→ＭＳＡで止まることなく、硫酸に分解
されるまで円滑に進行しないとＴＯＣの低減は図れな
い。
【００１４】
【化１】
【００１５】しかし、この分解反応のうち、ＤＭＳＯ→
ＤＭＳＯ2はｐＨの影響を受け難いが、ＤＭＳＯ2→ＭＳ
Ａの分解反応はｐＨの影響を受け易く、高ｐＨ条件でな
いと円滑に進行しない。これは、ＭＳＡが強酸性の物質
であるためであると考えられる。
ＤＭＳＯ2はｐＨの影響を受け難いが、ＤＭＳＯ2→ＭＳ
Ａの分解反応はｐＨの影響を受け易く、高ｐＨ条件でな
いと円滑に進行しない。これは、ＭＳＡが強酸性の物質
であるためであると考えられる。
【００１６】本発明においては、ｐＨ１０以上の高ｐＨ
条件で反応を行うことにより、このような酸化分解過程
で強酸性物質を生成する有機物をも効率的に分解するこ
とを可能とする。
条件で反応を行うことにより、このような酸化分解過程
で強酸性物質を生成する有機物をも効率的に分解するこ
とを可能とする。
【００１７】なお、従来法のうち、特公昭６０−６７１
８号公報では、アルコール、カルボン酸、ケトン、アミ
ン、エーテル等の、酸化分解により強酸性の物質を生成
することのない有機物の酸化分解を行っており、従っ
て、ｐＨ６．５〜９．５の条件が好適条件とされてい
る。
８号公報では、アルコール、カルボン酸、ケトン、アミ
ン、エーテル等の、酸化分解により強酸性の物質を生成
することのない有機物の酸化分解を行っており、従っ
て、ｐＨ６．５〜９．５の条件が好適条件とされてい
る。
【００１８】また、特開平６−２３３７６号公報では、
ｐＨ条件について考慮されておらず、オゾンと過酸化水
素との併用でもＤＭＳＯの酸化に実用的な効果が得られ
ないことが示されている。
ｐＨ条件について考慮されておらず、オゾンと過酸化水
素との併用でもＤＭＳＯの酸化に実用的な効果が得られ
ないことが示されている。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を詳細
に説明する。
に説明する。
【００２０】図１は本発明の有機物含有排水の酸化処理
法の実施の形態を示す系統図である。
法の実施の形態を示す系統図である。
【００２１】原水（有機物含有排水）は配管１１より酸
化反応槽１に導入され、配管１２よりＮａＯＨ、Ｃａ
（ＯＨ）2等のアルカリを添加してｐＨ１０以上に調整
すると共に、Ｈ2Ｏ2が添加される。この酸化反応槽１に
設けられたポンプＰを備える循環配管１３にはオゾンの
注入配管１４とポンプ、エゼクター等の気液混合装置２
が設けられており、これにより循環液にオゾンが注入さ
れ、酸化反応槽１ではアルカリ性条件下、オゾンと過酸
化水素とを併用した酸化分解が行われ、処理水は配管１
５より取り出される。
化反応槽１に導入され、配管１２よりＮａＯＨ、Ｃａ
（ＯＨ）2等のアルカリを添加してｐＨ１０以上に調整
すると共に、Ｈ2Ｏ2が添加される。この酸化反応槽１に
設けられたポンプＰを備える循環配管１３にはオゾンの
注入配管１４とポンプ、エゼクター等の気液混合装置２
が設けられており、これにより循環液にオゾンが注入さ
れ、酸化反応槽１ではアルカリ性条件下、オゾンと過酸
化水素とを併用した酸化分解が行われ、処理水は配管１
５より取り出される。
【００２２】本発明において、この酸化分解をｐＨ１０
以上のアルカリ性条件下で行う。これにより、酸化分解
過程で強酸性物質を生成する有機物のような難分解性の
有機物をも効率的に酸化分解することができる。このｐ
Ｈ条件は、過度に高いとｐＨ調整のためのアルカリ剤が
多量に必要となるため、ｐＨ１０〜１２の範囲で調整す
るのが好ましい。
以上のアルカリ性条件下で行う。これにより、酸化分解
過程で強酸性物質を生成する有機物のような難分解性の
有機物をも効率的に酸化分解することができる。このｐ
Ｈ条件は、過度に高いとｐＨ調整のためのアルカリ剤が
多量に必要となるため、ｐＨ１０〜１２の範囲で調整す
るのが好ましい。
【００２３】また、過酸化水素の添加量は、後述の実施
例２の結果から明らかなように原水のＴＯＣに対して５
重量倍以上とするのが好ましく、より好ましくは５〜３
０重量倍である。
例２の結果から明らかなように原水のＴＯＣに対して５
重量倍以上とするのが好ましく、より好ましくは５〜３
０重量倍である。
【００２４】また、オゾンの注入量はＴＯＣに対して、
１０重量倍以上とするのが好ましく、より好ましくは、
１５〜２５重量倍とするのが好ましい。
１０重量倍以上とするのが好ましく、より好ましくは、
１５〜２５重量倍とするのが好ましい。
【００２５】この酸化分解時間は、後述の実施例３の結
果からも明らかなように、１０分以上、特に１３〜２０
分とすることにより、難分解性の有機物であってもＴＯ
Ｃをほぼ完全に分解除去することができる。
果からも明らかなように、１０分以上、特に１３〜２０
分とすることにより、難分解性の有機物であってもＴＯ
Ｃをほぼ完全に分解除去することができる。
【００２６】図１は本発明の有機物含有排水の酸化処理
法の実施の形態の一例を示すものであって、本発明はそ
の要旨を超えない限り、何ら図示のものに限定されるも
のではない。
法の実施の形態の一例を示すものであって、本発明はそ
の要旨を超えない限り、何ら図示のものに限定されるも
のではない。
【００２７】例えば、酸化反応槽１には、酸化反応の促
進のために紫外線照射手段を設けても良い。また、オゾ
ンは、原水の導入配管１１に注入しても良く、処理水の
排出配管１４には未反応オゾンの回収手段を設けても良
い。また、オゾンの注入に際しては、オゾンを効率的に
溶解させるために加圧下で気液撹拌する手段を用いても
良い。また、触媒として固定床型のものではなく、粒状
の触媒を用いても良く、また、触媒添加手段と、添加し
た触媒を回収する手段を設けても良い。
進のために紫外線照射手段を設けても良い。また、オゾ
ンは、原水の導入配管１１に注入しても良く、処理水の
排出配管１４には未反応オゾンの回収手段を設けても良
い。また、オゾンの注入に際しては、オゾンを効率的に
溶解させるために加圧下で気液撹拌する手段を用いても
良い。また、触媒として固定床型のものではなく、粒状
の触媒を用いても良く、また、触媒添加手段と、添加し
た触媒を回収する手段を設けても良い。
【００２８】本発明は酸化分解条件をｐＨ１０以上とす
ることにより、酸化分解過程で強酸性物質を生成する有
機物のような難分解性の有機物をも効率的に酸化分解す
るものであるが、本発明において、処理対象とする酸化
分解過程で強酸性物質を生成する有機物としては、前述
のジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、エチ
ルメチルスルホキシドなどのアルキルスルホキシドの
他、硫酸エステル塩、スルホン酸塩、チオール、スルフ
ィド等のスルホン酸系化合物、アミノトリメチルホスホ
ン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン
酸等のホスホン酸系化合物、その他、脂肪族アミン塩、
フッ素系界面活性剤、ポリアクリルアミド系化合物、ハ
ロゲン化有機化合物、酸アミド、シアノ系化合物、ニト
ロ化合物、アジ化化合物、タンパク質類、ペプチド化合
物、イミン系化合物、アニリン系化合物、アンモニウム
化合物等が挙げられる。
ることにより、酸化分解過程で強酸性物質を生成する有
機物のような難分解性の有機物をも効率的に酸化分解す
るものであるが、本発明において、処理対象とする酸化
分解過程で強酸性物質を生成する有機物としては、前述
のジメチルスルホキシド、ジエチルスルホキシド、エチ
ルメチルスルホキシドなどのアルキルスルホキシドの
他、硫酸エステル塩、スルホン酸塩、チオール、スルフ
ィド等のスルホン酸系化合物、アミノトリメチルホスホ
ン酸、１−ヒドロキシエチリデン−１，１−ジホスホン
酸等のホスホン酸系化合物、その他、脂肪族アミン塩、
フッ素系界面活性剤、ポリアクリルアミド系化合物、ハ
ロゲン化有機化合物、酸アミド、シアノ系化合物、ニト
ロ化合物、アジ化化合物、タンパク質類、ペプチド化合
物、イミン系化合物、アニリン系化合物、アンモニウム
化合物等が挙げられる。
【００２９】
【実施例】以下に実施例及び比較例を挙げて本発明をよ
り具体的に説明する。
り具体的に説明する。
【００３０】実施例１ 図１に示す装置により、下記水質のＤＭＳＯ含有排水の
処理を行った。
処理を行った。
【００３１】 ［ＤＭＳＯ含有排水水質］ ＤＭＳＯ： １００ｍｇ／Ｌ（ＴＯＣ換算：３０ｍｇ／Ｌ） ｐＨ： ７．８ このＤＭＳＯ含有排水にＨ2Ｏ2及びＯ3を注入すると共
にＮａＯＨ又はＨ2ＳＯ4によるｐＨ調整で各種のｐＨに
ｐＨ調整して酸化処理し、ｐＨ条件と処理水ＴＯＣ濃度
との関係を調べ、結果を図２に示した。
にＮａＯＨ又はＨ2ＳＯ4によるｐＨ調整で各種のｐＨに
ｐＨ調整して酸化処理し、ｐＨ条件と処理水ＴＯＣ濃度
との関係を調べ、結果を図２に示した。
【００３２】なお、Ｈ2Ｏ2添加量は１０００ｍｇ／Ｌと
し、またＯ3注入量（溶存量）は８５０ｍｇ／Ｌとし、
反応時間は１０分とした。
し、またＯ3注入量（溶存量）は８５０ｍｇ／Ｌとし、
反応時間は１０分とした。
【００３３】図２より、ｐＨ１０以上であれば、ＴＯＣ
を十分に低減できることがわかる。
を十分に低減できることがわかる。
【００３４】実施例２ 実施例１において、ｐＨ条件を１１とし、Ｈ2Ｏ2添加量
を種々変えたこと以外は同様にして処理を行い、Ｈ2Ｏ2
添加量と処理水ＴＯＣ濃度との関係を調べ、結果を図３
に示した。
を種々変えたこと以外は同様にして処理を行い、Ｈ2Ｏ2
添加量と処理水ＴＯＣ濃度との関係を調べ、結果を図３
に示した。
【００３５】図３より、Ｈ2Ｏ2添加量が原水ＴＯＣの５
倍量以上であるとＴＯＣを十分に低減できることがわか
る。
倍量以上であるとＴＯＣを十分に低減できることがわか
る。
【００３６】実施例３ 実施例１において、ｐＨ条件を１１とし、反応時間を種
々変えたこと以外は同様にして処理を行い、反応時間と
処理水ＴＯＣ及び各中間生成物の濃度との関係を調べ、
結果を図４に示した。
々変えたこと以外は同様にして処理を行い、反応時間と
処理水ＴＯＣ及び各中間生成物の濃度との関係を調べ、
結果を図４に示した。
【００３７】図４より、反応時間は１０分以上であると
ＴＯＣを十分に低減することができ、１５分の反応でＴ
ＯＣをほぼ完全に除去できることがわかる。
ＴＯＣを十分に低減することができ、１５分の反応でＴ
ＯＣをほぼ完全に除去できることがわかる。
【００３８】比較例１ 実施例３において、Ｈ2Ｏ2を添加しなかったこと以外は
同様にして処理を行い、反応時間と処理水ＴＯＣ及び各
中間生成物の濃度との関係を調べ、結果を図５に示し
た。
同様にして処理を行い、反応時間と処理水ＴＯＣ及び各
中間生成物の濃度との関係を調べ、結果を図５に示し
た。
【００３９】図５より、Ｈ2Ｏ2を併用せず、Ｏ3単独で
は分解反応が進行せず、ＴＯＣを低減できないことがわ
かる。
は分解反応が進行せず、ＴＯＣを低減できないことがわ
かる。
【００４０】なお、図４，５において、初期有機物はＤ
ＭＳＯを示し、一次酸化生成物ＤＭＳＯ2を示し、二次
酸化生成物はＭＳＡを示し、三次酸化生成物は硫酸を示
す。
ＭＳＯを示し、一次酸化生成物ＤＭＳＯ2を示し、二次
酸化生成物はＭＳＡを示し、三次酸化生成物は硫酸を示
す。
【００４１】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の有機物含有
排水の酸化処理法によれば、有機物含有排水にオゾンと
過酸化水素を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化
分解する方法において、難分解性の有機物をも効率的に
分解処理して良好な水質の処理水を得ることができる。
排水の酸化処理法によれば、有機物含有排水にオゾンと
過酸化水素を添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化
分解する方法において、難分解性の有機物をも効率的に
分解処理して良好な水質の処理水を得ることができる。
【図１】本発明の有機物含有排水の酸化処理法の実施の
形態を示す系統図である。
形態を示す系統図である。
【図２】実施例１で求めたｐＨ条件と処理水ＴＯＣとの
関係を示すグラフである。
関係を示すグラフである。
【図３】実施例２で求めたＨ2Ｏ2添加量と処理水ＴＯＣ
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
【図４】実施例３で求めた反応時間と処理水ＴＯＣ及び
各中間生成物の濃度との関係を示すグラフである。
各中間生成物の濃度との関係を示すグラフである。
【図５】比較例１で求めた反応時間と処理水ＴＯＣ及び
各中間生成物の濃度との関係を示すグラフである。
各中間生成物の濃度との関係を示すグラフである。
１ 酸化反応槽 ２ 気液混合装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D038 AA08 AB09 AB10 AB12 AB13 AB14 AB18 BA02 BA04 BB13 BB16 4D050 AA12 AA13 AB02 AB13 AB14 AB16 AB17 AB18 AB19 AB24 BB02 BB09 BC10 BD02 BD03 BD06
Claims (2)
- 【請求項１】 有機物含有排水にオゾンと過酸化水素を
添加してアルカリ性条件下に有機物を酸化分解する有機
物含有排水の酸化処理法において、 該有機物が酸化分解過程で強酸性物質を生成するもので
あり、 該酸化分解反応はｐＨ１０以上に維持して行うことを特
徴とする有機物含有排水の酸化処理法。 - 【請求項２】 請求項１において、該有機物がアルキル
スルホキシドであることを特徴とする有機物含有排水の
酸化処理法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08636499A JP4320483B2 (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 有機物含有排水の酸化処理法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP08636499A JP4320483B2 (ja) | 1999-03-29 | 1999-03-29 | 有機物含有排水の酸化処理法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000279973A true JP2000279973A (ja) | 2000-10-10 |
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