JP2000278950A - スパッタリング用直流電源装置 - Google Patents
スパッタリング用直流電源装置Info
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- JP2000278950A JP2000278950A JP11081267A JP8126799A JP2000278950A JP 2000278950 A JP2000278950 A JP 2000278950A JP 11081267 A JP11081267 A JP 11081267A JP 8126799 A JP8126799 A JP 8126799A JP 2000278950 A JP2000278950 A JP 2000278950A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 トランスのタップ切換をすることなく所望電
圧出力を供給できるスパッタリング用直流電源装置を提
供すること。 【解決手段】 所定電圧の出力を生じる直流電源と、そ
れぞれブリッジ接続された複数のスイッチング素子Ｓ１
１−Ｓ１４，Ｓ２１−Ｓ２４と、前記直流電源の出力を
パルス出力に変換する少なくとも２つのスイッチング回
路Ｓ１０，Ｓ２０と、前記複数のスイッチング素子の動
作によりパルス状の１次電圧が供給され、２次電圧を出
力するトランスＴ１，Ｔ２と、指令信号に応じてスイッ
チング動作を制御する制御回路と、前記少なくとも２つ
のスイッチング回路の出力をそれぞれ直流変換する整流
回路Ｂ１，Ｂ２と、整流回路と前記出力端子との間に設
けられ、整流回路からの出力中の高周波成分を除去する
フィルタＦ２と、をそなえたスパッタリング用直流電源
装置。
圧出力を供給できるスパッタリング用直流電源装置を提
供すること。 【解決手段】 所定電圧の出力を生じる直流電源と、そ
れぞれブリッジ接続された複数のスイッチング素子Ｓ１
１−Ｓ１４，Ｓ２１−Ｓ２４と、前記直流電源の出力を
パルス出力に変換する少なくとも２つのスイッチング回
路Ｓ１０，Ｓ２０と、前記複数のスイッチング素子の動
作によりパルス状の１次電圧が供給され、２次電圧を出
力するトランスＴ１，Ｔ２と、指令信号に応じてスイッ
チング動作を制御する制御回路と、前記少なくとも２つ
のスイッチング回路の出力をそれぞれ直流変換する整流
回路Ｂ１，Ｂ２と、整流回路と前記出力端子との間に設
けられ、整流回路からの出力中の高周波成分を除去する
フィルタＦ２と、をそなえたスパッタリング用直流電源
装置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、コンパクトディス
ク（ＣＤ）やディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）
製造用のスパッタリング装置に用いられる直流電源装置
に関する。
ク（ＣＤ）やディジタル・ビデオ・ディスク（ＤＶＤ）
製造用のスパッタリング装置に用いられる直流電源装置
に関する。
【０００２】
【従来の技術】スパッタリング処理では、ターゲット材
料によって使用する電圧が異なるから、少なくとも２つ
の電圧を切り換え出力できる必要がある。因みに、アル
ミニウムは４００Ｖ程度、金は８００Ｖ程度で処理す
る。
料によって使用する電圧が異なるから、少なくとも２つ
の電圧を切り換え出力できる必要がある。因みに、アル
ミニウムは４００Ｖ程度、金は８００Ｖ程度で処理す
る。
【０００３】従来、これを実現するには、いくつかの方
法がある。その１は、タップ付きのトランスを用い機械
的に切り換えを行って交流電圧の調整を行い、これを整
流して直流電圧を得るものである。その２は、トランス
を用いた偶数のスイッチング電源ユニットを用い、整流
後にフィルタを通して直流にした後、機械的に並列接続
か直列接続に切り換えて所望電圧を得るものである。そ
の３は、使用電圧範囲を限定してトランスを設計し、タ
ーゲット材料が変わったら電源を交換して対応する。
法がある。その１は、タップ付きのトランスを用い機械
的に切り換えを行って交流電圧の調整を行い、これを整
流して直流電圧を得るものである。その２は、トランス
を用いた偶数のスイッチング電源ユニットを用い、整流
後にフィルタを通して直流にした後、機械的に並列接続
か直列接続に切り換えて所望電圧を得るものである。そ
の３は、使用電圧範囲を限定してトランスを設計し、タ
ーゲット材料が変わったら電源を交換して対応する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】故障などでスパッタリ
ング用電源を交換する場合を考えると、限定仕様の電源
では対応する電源を予備として用意する必要がある。そ
して、ＤＶＤ製造ラインを想定すると、アルミニウム用
の低電圧電源と、金およびシリコン用の高電圧電源とを
予備として用意する必要があり、コスト的、スペース
的、作業的の何れの面からも問題がある。
ング用電源を交換する場合を考えると、限定仕様の電源
では対応する電源を予備として用意する必要がある。そ
して、ＤＶＤ製造ラインを想定すると、アルミニウム用
の低電圧電源と、金およびシリコン用の高電圧電源とを
予備として用意する必要があり、コスト的、スペース
的、作業的の何れの面からも問題がある。
【０００５】トランスのタップ切換で対応できる電源と
した場合は、交換時にタップ位置を確認して行う必要が
ある。また、タップ切換は電源装置のカバーを開けて確
実に行う必要があり、作業者の熟練が必要である。そし
て、タップ切換はネジ止めなどの機械的な手段によるの
で、作業しやすい位置にタップを設ける必要があって装
置設計に対する制約が大きく、またその大きさの分だけ
電源装置が大型化する欠点がある。
した場合は、交換時にタップ位置を確認して行う必要が
ある。また、タップ切換は電源装置のカバーを開けて確
実に行う必要があり、作業者の熟練が必要である。そし
て、タップ切換はネジ止めなどの機械的な手段によるの
で、作業しやすい位置にタップを設ける必要があって装
置設計に対する制約が大きく、またその大きさの分だけ
電源装置が大型化する欠点がある。
【０００６】そこで、タップ切換を電子回路で実現する
ことが考えられるが、トランスの２次側を全波整流して
ローパスフィルタを通し直流にしてから後の段階とな
り、必要な素子数が増えて回路構成が複雑になる。
ことが考えられるが、トランスの２次側を全波整流して
ローパスフィルタを通し直流にしてから後の段階とな
り、必要な素子数が増えて回路構成が複雑になる。
【０００７】本発明は上述の点を考慮してなされたもの
で、トランスのタップ切換をすることなく所望の電圧出
力を供給できるスパッタリング用直流電源装置を提供す
ることを目的とする。
で、トランスのタップ切換をすることなく所望の電圧出
力を供給できるスパッタリング用直流電源装置を提供す
ることを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的達成のため、本
発明では、所定電圧の出力を生じる直流電源と、それぞ
れブリッジ接続された複数のスイッチング素子を有し、
前記直流電源の出力をパルス出力に変換する少なくとも
２つのスイッチング回路と、前記複数のスイッチング素
子のスイッチング動作により前記スイッチング回路から
パルス状の１次電圧が供給され、パルス状の２次電圧を
出力するトランスと、指令信号に応じて前記スイッチン
グ素子に対しスイッチング動作を制御する制御信号を与
える制御回路と、入力側が前記トランスに接続され、出
力側が互いに直列接続されて出力端子間に接続されてお
り、前記少なくとも２つのスイッチング回路の出力をそ
れぞれ直流変換する少なくとも２つの整流回路と、前記
少なくとも２つの整流回路と前記出力端子との間に設け
られ、前記少なくとも２つの整流回路からの出力中の高
周波成分を除去するフィルタと、をそなえたスパッタリ
ング用直流電源装置、を提供するものである。
発明では、所定電圧の出力を生じる直流電源と、それぞ
れブリッジ接続された複数のスイッチング素子を有し、
前記直流電源の出力をパルス出力に変換する少なくとも
２つのスイッチング回路と、前記複数のスイッチング素
子のスイッチング動作により前記スイッチング回路から
パルス状の１次電圧が供給され、パルス状の２次電圧を
出力するトランスと、指令信号に応じて前記スイッチン
グ素子に対しスイッチング動作を制御する制御信号を与
える制御回路と、入力側が前記トランスに接続され、出
力側が互いに直列接続されて出力端子間に接続されてお
り、前記少なくとも２つのスイッチング回路の出力をそ
れぞれ直流変換する少なくとも２つの整流回路と、前記
少なくとも２つの整流回路と前記出力端子との間に設け
られ、前記少なくとも２つの整流回路からの出力中の高
周波成分を除去するフィルタと、をそなえたスパッタリ
ング用直流電源装置、を提供するものである。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施例を示し
たものである。この実施例は、交流入力（３Φ，２００
Ｖ）を３相整流回路ＲＥＣにより整流して入力フィルタ
Ｆ１を通した後、１対のスイッチング回路Ｓ１０，Ｓ２
０によりパルス出力にし、トランスＴ１，Ｔ２を通して
ブリッジＢ１，Ｂ２により直流化し、出力フィルタＦ２
を介して平滑化し直流出力端子ＤＣに出力する。
たものである。この実施例は、交流入力（３Φ，２００
Ｖ）を３相整流回路ＲＥＣにより整流して入力フィルタ
Ｆ１を通した後、１対のスイッチング回路Ｓ１０，Ｓ２
０によりパルス出力にし、トランスＴ１，Ｔ２を通して
ブリッジＢ１，Ｂ２により直流化し、出力フィルタＦ２
を介して平滑化し直流出力端子ＤＣに出力する。
【００１０】そして、スイッチング回路Ｓ１０，Ｓ２０
のスイッチング素子Ｓ１１〜Ｓ１４およびＳ２１〜Ｓ２
４を制御するために、制御回路から各スイッチング素子
のドライブ回路Ｄ１１〜Ｄ１４およびＤ２１〜Ｄ２４に
対してパルス信号を与えてオン動作させる。
のスイッチング素子Ｓ１１〜Ｓ１４およびＳ２１〜Ｓ２
４を制御するために、制御回路から各スイッチング素子
のドライブ回路Ｄ１１〜Ｄ１４およびＤ２１〜Ｄ２４に
対してパルス信号を与えてオン動作させる。
【００１１】このために、制御回路には、出力電圧をど
のようにするかに関する外部からの指令信号とともに、
出力端子近くに設けられた抵抗Ｒ１，Ｒ２による分圧回
路からの電圧信号、および電流検出回路ＩＤからの電流
信号がフィードバック信号として与えられ、これに基づ
いてスイッチング素子のオン制御が行われる。
のようにするかに関する外部からの指令信号とともに、
出力端子近くに設けられた抵抗Ｒ１，Ｒ２による分圧回
路からの電圧信号、および電流検出回路ＩＤからの電流
信号がフィードバック信号として与えられ、これに基づ
いてスイッチング素子のオン制御が行われる。
【００１２】各スイッチング回路Ｓ１０，Ｓ２０および
出力端子ＤＣには、平滑用のコンデンサＣ１，Ｃ２およ
びＣ０が設けられている。また、ブリッジ回路Ｂ１，Ｂ
２には、並列にフライホイールダイオードＦＤ１，ＦＤ
２が設けられている。
出力端子ＤＣには、平滑用のコンデンサＣ１，Ｃ２およ
びＣ０が設けられている。また、ブリッジ回路Ｂ１，Ｂ
２には、並列にフライホイールダイオードＦＤ１，ＦＤ
２が設けられている。
【００１３】図２および図３は、本発明に係る直流電源
装置をパルス幅変調動作させる場合の出力波形を示した
ものである。すなわち、これら両図では、スイッチング
回路Ｓ１０およびＳ２０の各出力波形を示したもので、
図２は低電圧負荷用の出力状態を示し、図３は高電圧負
荷用の出力状態を示している。
装置をパルス幅変調動作させる場合の出力波形を示した
ものである。すなわち、これら両図では、スイッチング
回路Ｓ１０およびＳ２０の各出力波形を示したもので、
図２は低電圧負荷用の出力状態を示し、図３は高電圧負
荷用の出力状態を示している。
【００１４】まず図２の場合、スイッチング素子Ｓ１１
ないしＳ１４のうちＳ１２，Ｓ１３にパルス状の制御信
号が与えられて、スイッチング素子Ｓ１２，Ｓ１３が図
示ａ）のように周期的にオンになると、トランスＴ１の
１次巻線に図における上から下に向かう狭幅パルス状の
電流が周期的に流れる。このパルス状の電流は、所定パ
ルス幅、所定周期のものである。図示されたものは、出
力波形であるが、制御信号波形もこれと同形であるから
図示を省略する。
ないしＳ１４のうちＳ１２，Ｓ１３にパルス状の制御信
号が与えられて、スイッチング素子Ｓ１２，Ｓ１３が図
示ａ）のように周期的にオンになると、トランスＴ１の
１次巻線に図における上から下に向かう狭幅パルス状の
電流が周期的に流れる。このパルス状の電流は、所定パ
ルス幅、所定周期のものである。図示されたものは、出
力波形であるが、制御信号波形もこれと同形であるから
図示を省略する。
【００１５】次いで、スイッチング素子Ｓ２１ないしＳ
２４のうちＳ２２，Ｓ２３に図示ｂ）のような制御信号
が与えられて、これらのスイッチング素子が周期的にオ
ンになると、トランスＴ２の１次巻線に図における上か
ら下に向かうパルス状の電流が周期的に流れ、電圧Ｖが
発生する。このパルス電圧は、図示ａ）のものに対して
電気角度で挿間的位置関係にある。したがって、図示
ａ）のものと図示ｂ）のものとは、丁度９０度位相がず
れた関係にある。
２４のうちＳ２２，Ｓ２３に図示ｂ）のような制御信号
が与えられて、これらのスイッチング素子が周期的にオ
ンになると、トランスＴ２の１次巻線に図における上か
ら下に向かうパルス状の電流が周期的に流れ、電圧Ｖが
発生する。このパルス電圧は、図示ａ）のものに対して
電気角度で挿間的位置関係にある。したがって、図示
ａ）のものと図示ｂ）のものとは、丁度９０度位相がず
れた関係にある。
【００１６】このような出力を持った２つのトランスＴ
１，Ｔ２の出力をそれぞれブリッジ回路Ｂ１，Ｂ２を介
して合成すると、図示ａ＋ｂ）における、周期が１／２
のパルス出力となる。これを出力フィルタＦ２およびコ
ンデンサＣ０により平滑化すると、低電圧が形成され出
力端子ＤＣに供給される。
１，Ｔ２の出力をそれぞれブリッジ回路Ｂ１，Ｂ２を介
して合成すると、図示ａ＋ｂ）における、周期が１／２
のパルス出力となる。これを出力フィルタＦ２およびコ
ンデンサＣ０により平滑化すると、低電圧が形成され出
力端子ＤＣに供給される。
【００１７】図２ａ）、図２ｂ）を合成して図２ａ＋
ｂ）にすることは、２つのスイッチング回路Ｓ１０，Ｓ
２０が並列接続されたのと等価である。すなわち、整流
ブリッジの接続を見ると直列接続であるのに、パルスの
位相をずらせて合成することにより整流ブリッジを並列
接続したのと等価になる点に、本発明の特徴がある。
ｂ）にすることは、２つのスイッチング回路Ｓ１０，Ｓ
２０が並列接続されたのと等価である。すなわち、整流
ブリッジの接続を見ると直列接続であるのに、パルスの
位相をずらせて合成することにより整流ブリッジを並列
接続したのと等価になる点に、本発明の特徴がある。
【００１８】次にスイッチング回路Ｓ１０のスイッチン
グ素子Ｓ１１，Ｓ１４がオンとなると、トランスＴ１の
１次巻線に流れる電流が逆向きになり、２次巻線の誘起
電圧も逆極性になるが、ブリッジＢ１の出力極性は変わ
らない。したがって、図２の出力波形は同様に波形説明
に利用できる。
グ素子Ｓ１１，Ｓ１４がオンとなると、トランスＴ１の
１次巻線に流れる電流が逆向きになり、２次巻線の誘起
電圧も逆極性になるが、ブリッジＢ１の出力極性は変わ
らない。したがって、図２の出力波形は同様に波形説明
に利用できる。
【００１９】スイッチング回路Ｓ２０のスイッチング素
子Ｓ２２，Ｓ２３についても同様である。
子Ｓ２２，Ｓ２３についても同様である。
【００２０】一方、図３の場合は、図示ａ）の電圧およ
び図示ｂ）の電圧がともに持続時間が長く広幅であり、
両者がタイミング的に重なり合う期間が存在する点が図
２の場合と相違する。この結果、図示ａ＋ｂ）の電圧は
タイミング的に重複しない部分の電圧がＶで、重複した
部分は重複しない部分の２倍の電圧２Ｖである。したが
って、図２の場合に比べて平均電圧は大幅に上昇し、高
電圧出力が形成されて出力端子ＤＣに供給される。そし
て、重複度合いが増すほど平均電圧は２Ｖに近付き、よ
り高電圧になる。
び図示ｂ）の電圧がともに持続時間が長く広幅であり、
両者がタイミング的に重なり合う期間が存在する点が図
２の場合と相違する。この結果、図示ａ＋ｂ）の電圧は
タイミング的に重複しない部分の電圧がＶで、重複した
部分は重複しない部分の２倍の電圧２Ｖである。したが
って、図２の場合に比べて平均電圧は大幅に上昇し、高
電圧出力が形成されて出力端子ＤＣに供給される。そし
て、重複度合いが増すほど平均電圧は２Ｖに近付き、よ
り高電圧になる。
【００２１】図４および図５は、本発明に係る直流電源
装置をパルス周波数変調動作させる場合の出力波形を示
したものである。そして、図４の場合は図における上側
スイッチング回路出力ａ）と下側スイッチング回路出力
ｂ）とを９０度位相をずらせておき、両者を合成して合
成出力ａ＋ｂ）を形成したものである。また、図５の場
合は、図４の場合とパルス周波数を同一にして、上側ス
イッチング回路出力ａ）と下側スイッチング回路出力
ｂ）とを位相を一致させておき、合成出力ａ＋ｂ）を形
成したものである。
装置をパルス周波数変調動作させる場合の出力波形を示
したものである。そして、図４の場合は図における上側
スイッチング回路出力ａ）と下側スイッチング回路出力
ｂ）とを９０度位相をずらせておき、両者を合成して合
成出力ａ＋ｂ）を形成したものである。また、図５の場
合は、図４の場合とパルス周波数を同一にして、上側ス
イッチング回路出力ａ）と下側スイッチング回路出力
ｂ）とを位相を一致させておき、合成出力ａ＋ｂ）を形
成したものである。
【００２２】このように、スイッチング回路Ｓ１０，Ｓ
２０のトランスＴ１，Ｔ２の励磁タイミングを１８０／
Ｎ（Ｎはスイッチング回路の数）だけずらすことにより
並列運転が実現され、一致させることにより直列運転が
実現できる。したがって、励磁の周波数およびタイミン
グを変化させる回路を用いて励磁制御を行えばよい。
２０のトランスＴ１，Ｔ２の励磁タイミングを１８０／
Ｎ（Ｎはスイッチング回路の数）だけずらすことにより
並列運転が実現され、一致させることにより直列運転が
実現できる。したがって、励磁の周波数およびタイミン
グを変化させる回路を用いて励磁制御を行えばよい。
【００２３】図６は、本発明の他の実施例を示したもの
である。この図６の実施例が図１の実施例と異なる点
は、第３のスイッチング回路Ｓ３０が加わったこと、そ
れに対応してブリッジ回路Ｂ３が加わったこと、ならび
にその付随事項である。しかし、各スイッチング回路、
各ブリッジ回路をトランス外の他の要素と組み合わせる
基本構成は同一である。この構成により、図１の構成よ
りも出力を一層高電圧化することができる。
である。この図６の実施例が図１の実施例と異なる点
は、第３のスイッチング回路Ｓ３０が加わったこと、そ
れに対応してブリッジ回路Ｂ３が加わったこと、ならび
にその付随事項である。しかし、各スイッチング回路、
各ブリッジ回路をトランス外の他の要素と組み合わせる
基本構成は同一である。この構成により、図１の構成よ
りも出力を一層高電圧化することができる。
【００２４】図７は、本発明のさらに他の実施例を示し
たものである。この実施例では、上記実施例におけるフ
ルブリッジ回路としてのスイッチング回路をハーフブリ
ッジ回路に換えて構成したものである。
たものである。この実施例では、上記実施例におけるフ
ルブリッジ回路としてのスイッチング回路をハーフブリ
ッジ回路に換えて構成したものである。
【００２５】そのために、スイッチング素子Ｓ１１，Ｓ
１３およびＳ２１，Ｓ２３ならびにそのドライブ回路Ｄ
１１，１３およびＤ２１，Ｄ２３を省略する一方、コン
デンサはＣ１をＣ１１，Ｃ１２の直列接続に、Ｃ２をＣ
２１，Ｃ２２の直列接続にそれぞれ換えて、これら直列
接続されたコンデンサの相互接続点にトランスＴ１，Ｔ
２の図示下端を接続している。
１３およびＳ２１，Ｓ２３ならびにそのドライブ回路Ｄ
１１，１３およびＤ２１，Ｄ２３を省略する一方、コン
デンサはＣ１をＣ１１，Ｃ１２の直列接続に、Ｃ２をＣ
２１，Ｃ２２の直列接続にそれぞれ換えて、これら直列
接続されたコンデンサの相互接続点にトランスＴ１，Ｔ
２の図示下端を接続している。
【００２６】
【発明の効果】本発明は上述のように、少なくとも２つ
のスイッチング回路における、パルス幅を変化させた出
力、またはパルス周波数を変化させた出力を各別にトラ
ンスを介して取り出し、整流後に合成することにより、
低電圧から高電圧までを供給できる直流電源を提供する
ことができる。
のスイッチング回路における、パルス幅を変化させた出
力、またはパルス周波数を変化させた出力を各別にトラ
ンスを介して取り出し、整流後に合成することにより、
低電圧から高電圧までを供給できる直流電源を提供する
ことができる。
【図１】本発明の一実施例の回路構成を示すブロック線
図。
図。
【図２】図１の実施例における低電圧出力を供給するた
めの、パルス幅変調動作時のスイッチング回路出力波形
およびその合成波形の一例を示すタイミングチャート。
めの、パルス幅変調動作時のスイッチング回路出力波形
およびその合成波形の一例を示すタイミングチャート。
【図３】図１の実施例における高電圧出力を供給するた
めの、パルス幅変調動作時のスイッチング回路出力波形
およびその合成波形を示すタイミングチャート。
めの、パルス幅変調動作時のスイッチング回路出力波形
およびその合成波形を示すタイミングチャート。
【図４】図１の実施例における低電圧出力を供給するた
めの、パルス周波数変調動作時のスイッチング回路出力
波形およびその合成波形の一例を示すタイミングチャー
ト。
めの、パルス周波数変調動作時のスイッチング回路出力
波形およびその合成波形の一例を示すタイミングチャー
ト。
【図５】図１の実施例における高電圧出力を供給するた
めの、パルス周波数変調動作時のスイッチング回路出力
波形およびその合成波形を示すタイミングチャート。
めの、パルス周波数変調動作時のスイッチング回路出力
波形およびその合成波形を示すタイミングチャート。
【図６】本発明の他の実施例の回路構成を示すブロック
線図。
線図。
【図７】本発明のさらに他の実施例の回路構成を示すブ
ロック線図。
ロック線図。
ＲＥＣ 整流回路 Ｆ フィルタ Ｃ コンデンサ Ｓ１０，Ｓ２０，Ｓ３０ スイッチング回路 Ｓ１１−Ｓ１４，Ｓ２１−Ｓ２４，Ｓ３１−Ｓ３４ ス
イッチング素子 Ｂ ブリッジ Ｄ ドライブ回路 Ｒ 抵抗 ＦＤ フライホイールダイオード ＩＤ 電流検出器
イッチング素子 Ｂ ブリッジ Ｄ ドライブ回路 Ｒ 抵抗 ＦＤ フライホイールダイオード ＩＤ 電流検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 谷 津 豊 神奈川県横浜市栄区笠間町1000番地１ 芝 浦メカトロニクス株式会社横浜事業所内 Ｆターム(参考） 5G065 AA00 DA06 DA07 EA06 HA01 HA12 JA02 LA01 LA02 MA01 MA03 MA10 NA06 NA09 5H006 CA02 CA12 CA13 CB01 CC04 DA04 DB01 DC02 DC05 5H730 BB27 BB82 BB89 CC01 DD04 FD01 FD31 FG05 FG22 FV03
Claims (4)
- 【請求項１】所定電圧の出力を生じる直流電源と、 それぞれブリッジ接続された複数のスイッチング素子を
有し、前記直流電源の出力をパルス出力に変換する少な
くとも２つのスイッチング回路と、 前記複数のスイッチング素子のスイッチング動作により
前記スイッチング回路からパルス状の１次電圧が供給さ
れ、パルス状の２次電圧を出力するトランスと、 指令信号に応じて前記スイッチング素子に対しスイッチ
ング動作を制御する制御信号を与える制御回路と、 入力側が前記トランスに接続され、出力側が互いに直列
接続されて出力端子間に接続されており、前記少なくと
も２つのスイッチング回路の出力をそれぞれ直流変換す
る少なくとも２つの整流回路と、 前記少なくとも２つの整流回路と前記出力端子との間に
設けられ、前記少なくとも２つの整流回路からの出力中
の高周波成分を除去するフィルタと、 をそなえたスパッタリング用直流電源装置。 - 【請求項２】請求項１記載のスパッタリング用直流電源
装置において、 前記制御回路は、等しい電気角度間隔でパルス幅変調さ
れた制御信号を形成するようにしたスパッタリング用直
流電源装置。 - 【請求項３】請求項１記載のスパッタリング用直流電源
装置において、 前記制御回路は、位相可変でパルス周波数変調された制
御信号を形成するようにしたスパッタリング用直流電源
装置。 - 【請求項４】請求項１ないし３の何れかに記載のスパッ
タリング用直流電源装置において、 前記整流回路は、出力側にダイオードが並列接続された
スパッタリング用直流電源装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11081267A JP2000278950A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | スパッタリング用直流電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11081267A JP2000278950A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | スパッタリング用直流電源装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000278950A true JP2000278950A (ja) | 2000-10-06 |
Family
ID=13741597
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11081267A Pending JP2000278950A (ja) | 1999-03-25 | 1999-03-25 | スパッタリング用直流電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000278950A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7531070B2 (en) * | 2001-09-28 | 2009-05-12 | Shibaura Mechatronics Corporation | Sputtering power-supply unit |
| JPWO2013093963A1 (ja) * | 2011-12-20 | 2015-04-27 | 三菱電機株式会社 | 充電装置 |
-
1999
- 1999-03-25 JP JP11081267A patent/JP2000278950A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7531070B2 (en) * | 2001-09-28 | 2009-05-12 | Shibaura Mechatronics Corporation | Sputtering power-supply unit |
| JPWO2013093963A1 (ja) * | 2011-12-20 | 2015-04-27 | 三菱電機株式会社 | 充電装置 |
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