JP2000263836A

JP2000263836A - マイクロ磁気ヘッドアレイ

Info

Publication number: JP2000263836A
Application number: JP7526799A
Authority: JP
Inventors: Tadao Katsuragawa; 忠雄桂川; Susumu Katagiri; 片桐　　進
Original assignee: Ricoh Co Ltd
Current assignee: Ricoh Co Ltd
Priority date: 1999-03-19
Filing date: 1999-03-19
Publication date: 2000-09-26

Abstract

(57)【要約】【課題】効率的に磁界を発生させることが可能で、全
体の発熱を少なくし、耐久性を高めたマイクロ磁気ヘッ
ドアレイ，磁束密度を高め、かつ均一な磁界が得られる
マイクロ磁気ヘッドアレイ，支持体の柔軟性を高め、磁
気プリンターに好適に使用可能なマイクロ磁気ヘッドア
レイ，さらに高密度化を図ったマイクロ磁気ヘッドアレ
イを提供すること。【解決手段】可撓性支持体上に設けた連続した高透磁
率層に直接接続された高透磁率なコアと、該コアに電磁
誘導コイルを配した磁気ヘッドを、１次元または２次元
的に配列し、コイルへの電流を、各別に、時系列的にス
イッチによって流すことを特徴とするマイクロ磁気ヘッ
ドアレイ。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に磁
気記録を行うための磁気ヘッドに関し、より詳細には、
誘導磁界の発生効率が高く、また変形が可能なマイクロ
磁気ヘッドアレイに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のマイクロ磁気ヘッドアレ
イとしては、Ｆ.Ｃardot 等により、Ｔhe ７th Interna
tional Ｃonference on Ｓolid-Ｓtate Ｓensors and
Ａctuators 講演論文集 32-35 ページに開示されたもの
が知られている。このマイクロ磁気ヘッドアレイは、シ
リコン基板上に、図３にその概略を示すような、ＦeＮi
の記録電極のコア５０１をその周囲に配したＡuワイヤ
のコイル５０２とともに高密度に配置したものであり、
また、図示されてはいないが、ＦeＮiバックプレートを
備えているものである。

【０００３】また、上記文献中には、このマイクロ磁気
ヘッドアレイは、回転可能な磁気ドラムとの組み合わせ
により、前記磁気ドラム上に磁気画像を形成し、この磁
気画像を顕像化し、さらに紙などに転写する磁気プリン
ターに応用可能であることが示されている。ただし、上
記文献に示されるマイクロ磁気ヘッドアレイは、これを
回転可能な磁気ドラムと組み合わせることにより、磁気
プリンターに応用可能であることが示されているが、そ
の具体的な構成については、明らかにされていない。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記文献に
示されるマイクロ磁気ヘッドアレイは、主として下記の
ような点で、改良の余地を残しているものであった。（１）記録電極下方に設けられる高透磁率層を、複数の
記録電極に共通に設けるとともに、コイルへの電流を、
各別に、時系列的に供給することにより、より効率的に
磁界を発生させることが可能になり、その結果、マイク
ロ磁気ヘッドアレイ全体の発熱を少なくし、耐久性を高
められる。（２）記録電極（コア）を、コイル端面外部ではコイル
内部寸法より縮小することにより、磁束密度を高め、か
つ均一な磁界を得られる。（３）支持体を、シリコン基板のような変形させると破
壊しやすいものから、柔軟性のあるものに変更すること
により、前述の磁気プリンターに使用可能にする。

【０００５】本発明の目的は、従来の技術における上述
のような改良の余地を含めて種々の点で、性能を向上さ
せたマイクロ磁気ヘッドアレイを提供することにある。

【０００６】より具体的に記載すると、以下のようにな
る。効率的に磁界を発生させることが可能で、全体の発
熱を少なくし、耐久性を高めたマイクロ磁気ヘッドアレ
イを提供すること。磁束密度を高め、かつ均一な磁界が
得られるマイクロ磁気ヘッドアレイを提供すること。支
持体の柔軟性を高め、前述の磁気プリンターに使用可能
なマイクロ磁気ヘッドアレイを提供すること。さらに高
密度化を図ったマイクロ磁気ヘッドアレイを提供するこ
と。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイにおいて
は、支持体上に設けた連続した高透磁率層に直接接続さ
れた高透磁率なコアと、該コアに電磁誘導コイルを配し
た磁気ヘッドを、１次元または２次元的に配列し、コイ
ルへの電流を、各別に、時系列的にスイッチによって流
すことを特徴とするものである。また、前記磁気ヘッド
は、前記高透磁率なコアの外径を、前記電磁誘導コイル
の端面外部では該コイル内部寸法より縮小して磁束密度
を高めたものであることを特徴とする。

【０００８】また、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイにおいては、前記各磁気ヘッドを、可撓性支持体上
に配設したことを特徴とする。また、本発明に係るマイ
クロ磁気ヘッドアレイにおいては、前記配列された各ラ
イン上の磁気ヘッドは、隣接するラインとは中心位置を
少しずらして、２次元的に配列されたことを特徴とす
る。さらに、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイに
おいては、前記磁気ヘッドの外径は、２００μｍ以下で
あることを特徴とする。またさらに、本発明に係るマイ
クロ磁気ヘッドアレイにおいては、前記電磁誘導コイル
用導線の高さは、５μｍ以上であることを特徴とする。

【０００９】また、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイにおいては、前記電磁誘導コイルは、複数に積層し
て形成されていることを特徴とする。また、本発明に係
るマイクロ磁気ヘッドアレイにおいては、前記支持体上
の高透磁率層は、同時に電流を流す複数個の電磁誘導コ
イルの占める面積と実質的に同等の面積に切断されてお
り、コイルに同時に励磁電流が流されることを特徴とす
る。さらに、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイに
おいては、前記電磁誘導コイル上面に、１０μｍ以下の
厚みの絶縁体保護層を設けたことを特徴とする。

【００１０】請求項１に係る発明によれば、支持体上に
設けた連続した高透磁率層に直接接続された高透磁率な
コアと、該コアに電磁誘導コイルを配した磁気ヘッド
を、１次元または２次元的に配列し、コイルへの電流
を、各別に、時系列的にスイッチによって流すようにし
たので、効率的に磁界が発生でき、従って発熱も少な
く、耐久性の高いマイクロ磁気ヘッドアレイを実現する
ことができる。請求項２に係る発明によれば、高透磁率
なコアの外径を、前記電磁誘導コイルの端面外部では該
コイル内部寸法より縮小したことにより、磁束密度が高
められ、かつ、均一な磁界を得られるマイクロ磁気ヘッ
ドアレイを実現することができる。

【００１１】請求項３に係る発明によれば、各磁気ヘッ
ドを、プラスチックフィルムなどの可撓性支持体上に配
設したので、多少の変形に耐えられ、耐久性の高いマイ
クロ磁気ヘッドアレイを実現することができる。請求項
４に係る発明によれば、配列された各ライン上の磁気ヘ
ッドを、隣接するラインとは中心位置を少しずらして、
２次元的に配列したことにより、実際のドットピッチよ
りも高密度な磁気記録が可能なマイクロ磁気ヘッドアレ
イを実現することができる。請求項５に係る発明によれ
ば、磁気ヘッドの外径を、２００μｍ以下としたので、
記録ドットのピッチが高密度となり、高分解能画像が可
能なマイクロ磁気ヘッドアレイを実現することができ
る。

【００１２】請求項６に係る発明によれば、電磁誘導コ
イル用導線の高さを、５μｍ以上としたので、電気抵抗
が低下し、また、コイル作製上のばらつきによる局部的
発熱による断線が少なくなり、高耐久性のマイクロ磁気
ヘッドアレイを実現することができる。請求項７に係る
発明によれば、電磁誘導コイルを、複数に積層して形成
したので、コイル線幅やコア径を広くすることができ、
効率的に強磁界が得られるようになり、また耐久性も向
上させたマイクロ磁気ヘッドアレイを実現することがで
きる。

【００１３】請求項８に係る発明によれば、支持体上の
高透磁率層は、同時に電流を流す複数個の電磁誘導コイ
ルの占める面積と実質的に同等の面積に切断加工したの
で、複数個のコイルに同時に電流を流して使用しても、
磁気的性能が低下することなく、従って高速度で磁気記
録が可能なマイクロ磁気ヘッドアレイを実現することが
できる。請求項９に係る発明によれば、電磁誘導コイル
上面に、１０μｍ以下の厚みの絶縁体保護層を設けたの
で、コイルやコアを電気的および物理的に保護かのうと
したマイクロ磁気ヘッドアレイを実現することができ
る。

【００１４】

【発明の実施の形態】上述のように、本発明に係るマイ
クロ磁気ヘッドアレイにおいては、コイルによる発生磁
界を有効に集めて用いるために、ヘッド基板全体に高透
磁率層を設けて、電磁誘導コイルの中心のコアと連続さ
せた構造とした（図１参照）。また、本発明に係るマイ
クロ磁気ヘッドアレイは、外径が２００μｍ以下（請求
項５）の電磁誘導コイルと、該コイルの中心に高透磁率
コアを配した磁気ヘッドを、１次元または２次元的に複
数個並べたものである。

【００１５】なお、磁気ヘッドを１次元（直線状）に配
列したものでは、磁気ヘッドと画像形成用の磁気光学素
子（磁気ヘッドによって磁化した部位と未磁化部位とで
は磁気旋光角度が異なり、コントラストを与えて画像と
するもの）とを分離して、磁気光学素子を、磁気ヘッド
上を、磁気ヘッド列と直角に移動させて、一般的なプリ
ンターのように記録に用いる。なお、磁気光学素子は、
磁気ヘッドによって磁化した部位と未磁化部位とで磁気
旋光角度が異なり、コントラストを与えて画像とするも
のである。これに対して、磁気ヘッドを２次元に配列し
たものでは、磁気光学素子と磁気ヘッドアレイとを相対
的に移動することなく、磁気ヘッドアレイへの電流を逐
次スイッチングして画像を形成する。

【００１６】また、高分解能の画面形成用とするため、
本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイにおいては、ヘ
ッドの外径が２００μｍと小さい。これは、本発明に係
るマイクロ磁気ヘッドアレイが高解像度画像形成用であ
り、１２７ｄｐｉ（ドットピッチは２００μｍ）以上の
画像解像度を必要とするためである。このため、コイル
形成のためのスペースは小さく、限られている。そこ
で、磁界発生効率が高めることが必要である。そこで、
本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイにおいては、コ
イルによって発生した磁界を有効に集めて、磁気記録媒
体である磁気光学素子に印加するように構成した。

【００１７】また、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイにおいては、従来の磁気ヘッドアレイと異なり、個
々のヘッドへの電流は、１個ずつ順に流されることを前
提としている（請求項１〜７、請求項８のみ複数個同時
に駆動。）この理由は、前述のようにヘッドの外径が小さいので、
配線幅が細く、１個のヘッド電流は大きくすることはで
きないことから、１個のヘッドへの通電時間は数マイク
ロ秒以下（磁気記録媒体の通常の磁化に要する時間は、
数マイクロ秒である）でよいことに鑑みて、上述のよう
に１個ずつ順次通電しても、全ヘッドへの通電時間は、
比較的短くて済むためである。

【００１８】本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイに
おいては、電磁誘導コイルの中心に形成される高透磁率
なコアを、磁気ヘッド支持体上全面に設けられた高透磁
率層によって全マイクロ磁気ヘッドと接続し（図１参
照、請求項１）、ヘッドを一斉に使用する使用方法はと
らず、１個ずつ順番にスイッチによって通電・駆動する
ように構成したため、上述のコイル下側の高透磁率層を
共通化できる。これらによって、コイルの利用効率が向
上するだけでなく、マイクロ磁気ヘッドアレイの制作が
大幅に容易となる効果がある。また、コイルに発生する
熱を放熱する効果も有する。

【００１９】また、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイにおいては、電磁誘導コイルの高透磁率コア外径
を、コイル上端面の上部ではコイル内部寸法より縮小し
て、磁束密度を高めている。これは磁束を集中させるこ
とにより、できる限り磁束の発散を抑えて、強い磁界強
度を磁気記録媒体に印加するためである。従って、コア
の断面形状は、角柱，円柱などを問わない。

【００２０】また、本発明に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイにおいては、アレイに柔軟性を付与するために、支
持体にプラスチックフィルムを用いている（請求項
３）。すなわち、画像形成という応用上、本実施の形態
に係るマイクロ磁気ヘッドアレイは、シリコンウェハや
ガラスなどのように固くて変形しにくい支持体上に形成
されるのではなく、比較的大きな変形が可能な、例えば
プラスチックフィルムのような支持体上に形成されるこ
とが好ましい。

【００２１】磁気ヘッドアレイの上に配置される画像形
成用磁気光学素子は、プラスチックフィルムで形成され
る。プラスチックフィルムは非磁性であり、絶縁体であ
りまた軽量であり、割れにくい点も支持体としては好ま
しい。本発明に用いられる支持体には、ＭＭＡ，ＰＭＭ
Ａ，ＡＢＳ樹脂，ポリカーボネート，ポリプロピレン，
アクリル樹脂，スチレン樹脂，ポリアリレート，ポリサ
ルフォン，ポリエーテルサルフォン，エポキシ樹脂，ポ
リ−４−メチルペンテン−１，フッ素化ポリイミド，フ
ッ素樹脂，フェノキシ樹脂，ポリオレフィン系樹脂，ナ
イロン樹脂，ポリイミド等の一般的なプラスチックフィ
ルムが用いられる。厚みは、２０〜２００μｍ程度が、
取扱上の柔軟性の点で好ましい。

【００２２】また、本発明のマイクロ磁気ヘッドアレイ
においては、各ライン上の磁気ヘッドは、中心位置が直
線上からずれていて、いわゆる千鳥状に２次元的に配設
される（図２参照、請求項４）。これは、高解像度の画
像を形成するためであり、ラインプリンター用磁気ヘッ
ドとして用いる場合は、例えば、奇数列（１列目と３列
目）内では１／２ピッチだけ中心をずらして配置し、電
気的な制御によって記録媒体上では１列のドットとなる
ように記録する。このようにすると、画像上のドットピ
ッチは、磁気ヘッドアレイ上のピッチの２倍になる（詳
細に関しては、本発明者による、特願平１０−３４１４
０３号「磁気光学素子及び磁気ヘッドアレイ」出願明細
書，図面参照）。

【００２３】なお、コイルに用いられる材料は、一般的
な銅が電気抵抗値の点から好ましいが、Ａｕ，Ａｇ，Ａ
ｌ，Ｐｔなどその他の材料も用い得る。マイクロ磁気ヘ
ッドアレイの製造方法は、大別して、フォトリソグラフ
ィー法，電気メッキ法が用いられる。配線のパターン形
成用マスクには、各種レーザー光や軟Ｘ線，紫外線など
が用いられる。配線の加工においては、導線の断面積
（線幅，線高さ）がより大きいことが、電気抵抗を低下
させる点から重要であるが、前述のように、コイル間ピ
ッチには制限があるので、導線間の絶縁層体積がより少
ない方法を選ぶことが好ましい。本実施の形態では、コ
イル形成用導線の高さは５μｍ以上とすることにより、
電気抵抗を下げて、発熱や断線を防止している（請求項
６）。

【００２４】上述のように、マイクロ磁気ヘッドアレイ
は大きい面積で作成することが許されない。従って、コ
イル幅を細く作成せねばならないが、作製技術的な理由
と共に、低電気抵抗化が必要な点から、これにも限界が
ある。本実施の形態では、コイルを複数段階に積み重ね
て、この課題を解決している。コイルから発生する磁界
強度は、（コイルの巻き数×電流値）の大きさに依存す
るので、コイルを複数層にして設けることで、比較的低
電流で大きな磁界強度を得ることが可能となった（請求
項７）。

【００２５】画像形成は、そのスピードが速いほど好ま
しい。請求項８は、この課題をも同時に解決するもので
ある。支持体上の高透磁率層は、同時に電流を流して駆
動する複数個の電磁誘導コイルの占める面積と同時に励
磁電流が流されるので、より画像構成を高速化しやすく
するものである。３個ずつか５個ずつかなどは、適宜選
択されるが、１０個以下が電流値の点から少なくて好ま
しい。本発明に係るマイクロ磁気ヘッドアレイは、使用
方法の如何を問わず、電気的絶縁性確保や、防錆，傷防
止などのために、上面に保護層を設けることが好ましい
（請求項９）。なお、磁界強度は、磁気ヘッドと磁気記
録媒体の距離の２乗に比例して低下するので、保護層の
膜厚は、１０μｍ以下が好ましい。

【００２６】保護膜材料には次のものがあげられる。Ｓ
ｎＳ，ＳｉＯ₂，Ｔａ₂Ｏ₅，ＩＴＯ，ＺｒＣ，ＴｉＣ，
ＭｇＦ₂，Ａｌ₂Ｏ₃，ＭｇＯ，ＢｅＯ，ＺｒＯ₂，Ｙ₂Ｏ₃
などの無機物やそれらの混合物が利用できる。有機樹脂
保護膜としては、重合性モノマー及びオリゴマーを主成
分とする、光硬化性樹脂組成物や、熱硬化性樹脂組成物
を用いることができる。

【００２７】高透磁率コアに用いる軟磁性材料として
は、従来から多用されている、純鉄，珪素鋼，鉄やニッ
ケルおよびコバルトとの各種合金（Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系，
Ｃｏ−Ｆｅ−Ｓｉ−Ｂ系）などが用いられる。特に、本
発明の目的には、これら鉄とニッケルで構成されるパー
マロイが、好適に用いられる。透磁率は１０００以上も
しくは１００００以上が良い。

【００２８】本マイクロ磁気ヘッドを用いて記録する磁
気記録媒体は制限されないが、特に適しているのは画像
形成用の磁気記録媒体である。すなわち、２００μｍ以
下のドットピッチで作成されるので、分解能の高い画像
が得られる。例えば、本発明者が提案している、複数の
誘電体膜と透明磁性体とで構成される、磁気光学効果の
大きな表示素子（ディスプレイ）や、磁気潜像を記録し
磁性トナーで現像した後転写するような磁気プリンター
といわれるものの磁気記録媒体がある。

【００２９】また、いわゆる一般的な磁気メモリー媒体
を用いても良い。磁性材料の保持力は２００〜２０００
Ｏｅが好ましい。本マイクロ磁気ヘッドアレイを用いて
消去しても良いし、永久磁石を用いるか、交流磁界消去
法を用いて消去しても良い。本マイクロ磁気ヘッドアレ
イの電気的な駆動法は、ＦＥＴなどを用いてスイッチン
グによって個々の磁気ヘッドを電流を順次供給してなさ
れる方法が任意に用いられる。

【００３０】以下、図面に示す好適実施例に基づいて、
本発明をより詳細に説明する。

【００３１】図１は、本発明の一実施例に係るマイクロ
磁気ヘッドアレイの詳細な構成を示す要部断面図、図２
は、外観を示す上面図である。本実施例に係るマイクロ
磁気ヘッドアレイは、外径が２００μｍ以下（請求項
５）の電磁誘導コイル３０２と、該コイル３０２の中心
に高透磁率コア３０１を配した磁気ヘッド３００を、２
次元的に複数個並べたものである。

【００３２】実施例１（請求項１〜７，９に対する実施
例）０．５ｍｍ厚の石英基板上にスパッタ法を用いて、Ｓｉ
Ｏ₂膜（屈折率ｎ＝１．４７）を８ｎｍ、ついでＢｉ置
換希土類鉄ガーネット膜（ｎ＝２．０５）を１２６ｎ
ｍ、さらにその上にＳｉＯ₂膜を８８ｎｍの厚みに作製
した。以上の透明磁性層と誘電体膜の構成を１ペアとし
て、３ペア合計９層積層した。基板温度は３００℃、投
入電力２９９Ｗ、ガス圧力は共に７．０Ｐａ（Ａｒ：Ｏ
₂＝９０：１０）であった。製膜レートはＳｉＯ₂の場合
は２ｎｍ／秒、Ｂｉ置換希土類鉄ガーネット膜の場合は
０．５ｎｍ／秒であった。各膜の膜厚分布は最も厚いと
ころと薄いところの差異が、全膜厚の３％であった。

【００３３】次いで、この基板上に膜を、６５０℃（空
気中）で３時間加熱してＢｉ置換希土類鉄ガーネット膜
を結晶化した。膜の組成は、Ｂｉ２．２、Ｄｙ０．８、
Ｆｅ３．８、Ａｌ１．２、Ｏ１２であった。磁気光学効
果測定装置（日本分光（株）製Ｋ２５０、ビーム径２ｍ
ｍ角）で測定したファラデー回転角の波長依存性から、
ピーク（波長５２０ｎｍ）の半値幅を求めると１９ｎｍ
であった。ピークのファラデー回転角は２２度であっ
た。ＶＳＭで磁界を膜面に垂直に印加して測定した保持
力は５６０Ｏｅであった。

【００３４】市販のフィルム偏光子の片面に、ＳｉＯ₂
（９５ｎｍ厚み）／ＴｉＯ₂（１１０ｎｍ厚み）を２回
繰り返し製膜して、反射防止膜とした。可視光域の光透
過率は、反射防止膜がない場合に比較して、約３％増加
した。以上の膜構成物に、上述のフィルム偏光子を張り
合わせて、磁気記録媒体とした。直径１ｍｍの棒状永久
磁石を用いて、フィルム偏光子上から磁気記録した。記
録した文字のコントラストは４．３であった。

【００３５】次に、以下に示すようなマイクロ磁気ヘッ
ドアレイを作製した。５０μｍ厚のポリイミド基板上
に、５ｎｍ厚のＰｔ膜をスパッタ法により設けた。その
上に、６０μｍ厚のパーマロイ（Ｎｉ：Ｆｅ＝８０：２
０）膜をメッキ法で設けた。エッチング法により、６０
μｍ径で高さ４０μｍの丸棒状のコアを、ピッチ１８０
μｍとして残した。コアの上端を図１のように細くし
た。

【００３６】上記パーマロイコア間にポリイミド層を設
けた。ついでこのポリイミド層をパターニングして、ス
パイラル状のポリイミドの壁を作製した。無電界Ｃｕメ
ッキ法を用いてこのポリイミドの壁間に、高さ１０μ
ｍ、幅５μｍのＣｕ配線を設けた。このＣｕ配線上に、
さらにポリイミド層を設けた後、上下Ｃｕ配線をつなぐ
ためのコンタクトホールを設けた。次いで、同様にして
もう一層のＣｕ配線をポリイミド上に設けた。その上に
５μｍ厚のポリイミド保護層を設けた。パーマロイコア
は、約１０μｍ表面保護層の上に突出させた。この上
に、約２μｍ厚のポリイミド（日産化学工業株製サンバ
ー８１２）保護膜を設けた。

【００３７】コイルの並べ方は次のようにした。１００
個のコイル中心（パーマロイコアの中心）が直線上に並
ぶようにしてまず第一のコイル列とし、第二の１００個
のコイル列との間隔はコイル中心が１８０μｍとなるよ
うにした。また第一列のコイル中心の中間点に第二コイ
ル列の中心が並ぶようにして２列を配した。コア先端の
磁界強度は、２００ｍＡの通電時で約１０００ガウスで
あった。各コイルへの導電端はＩＮとＯＵＴに分離して
集中させ、ＦＥＴを用いたスイッチを設けて、マイクロ
磁気ヘッドアレイとした。

【００３８】上述のように作製した磁気記録媒体の一方
の偏光子を除いて、マイクロ磁気ヘッドアレイ上に磁気
記録媒体面と間隔を空けないようにして乗せ、１個づつ
コイルに通電し、第一列が終わったところで１８０μｍ
コイル列と直角に移動した後、第二列に通電した。磁気
記録媒体には１８０／２の９０μｍ間隔でドット状磁気
記録がなされ、このドットはサイド偏光子を張り合わせ
ると個々に分離して確認できた。磁気記録媒体にデジタ
ル磁気記録が可能であることがわかった。

【００３９】実施例２（請求項８に対する実施例）マイクロ磁気ヘッドアレイ作製の中で、基板上パーマロ
イ層作製の際、３個分のコアに対応するパーマロイ層は
連続させ、次の３個分のコア用パーマロイとは１０μｍ
の間隔を設けた以外は実施例１と同様にして、磁気記録
媒体とマイクロ磁気ヘッドアレイを作製した。各磁気ヘ
ッドの磁気的性能は実施例１とほぼ同様であった。各コ
アへの通電は３個づつ同時、他は実施例１と同様に磁気
記録を行った。記録時間は約３分の１であったが、各ド
ットは実施例１と同様の良好な画像品質であった。

【００４０】比較例１（請求項１に対する比較例）実施例１の棒状コアをポリイミド上に直接設けた（つま
り、基板上全面のパーマロイ膜を設けなかった）こと以
外は、実施例１と全く同様に、磁気記録媒体とマイクロ
磁気ヘッドアレイを作製した。得られたマイクロ磁気ヘ
ッドアレイの、コア先端の磁界強度は、７４０ガウスと
低く、磁気記録媒体上のドットは、コントラストが実施
例１より低かった。

【００４１】比較例２（請求項２に対する比較例）実施例１におけるパーマロイコアの先端部面積を狭くす
ることなく、単なる丸棒状のままとしたこと以外は、実
施例１と同様に、磁気記録媒体とマイクロ磁気ヘッドア
レイを作製した。得られたマイクロ磁気ヘッドアレイ
の、コア先端の磁界強度は円周の縁が強く、不均一であ
り、円中心部では４６０ガウスと低く、磁気記録媒体状
のドットはコントラストが実施例１の場合より低かっ
た。

【００４２】比較例３（請求項３に対する比較例）基板としてポリイミドフィルムの代わりに、厚み１００
のシリコンウェハを用いたこと以外は、実施例１と全く
同様に、磁気記録媒体とマイクロ磁気ヘッドアレイを作
製した。得られたマイクロ磁気ヘッドアレイの、磁気的
な性能は実施例１と同様であったが、曲げ応力や衝撃を
与えると容易に破壊し、実際的な使用に耐えなかった。

【００４３】比較例４（請求項６に対する比較例）コイル用導線の高さを４μｍとした以外は実施例１と同
様にして磁気記録媒体とマイクロ磁気ヘッドアレイを作
製した。得られたマイクロ磁気ヘッドアレイにおいて
は、実施例１の高さ１０μｍの場合に比較して、断線ま
での耐久回数が３４回と約半分であった。

【００４４】比較例５（請求項７に対する比較例）実施例１のようにコイルが８ターンで、ドットピッチが
１８０μｍの磁気ヘッドは、平面上に設けるとなると導
線幅及び線間が２〜３μｍとなり作製できなかった。

【００４５】比較例６（請求項９に対する比較例）ポリイミド層の厚みを２０μｍとした以外は、実施例１
と全く同様にして磁気記録媒体とマイクロ磁気ヘッドア
レイを作製した。実施例１と同様に磁気記録したが、磁
気ヘッドと記録媒体の間隔が空きすぎたために、ドット
は確認できなかった。

【００４６】上記実施例，比較例に示した通り、本発明
によれば、従来の技術における前述のような問題点を解
消して、種々の点で性能を向上させたマイクロ磁気ヘッ
ドアレイを実現することができる。

【００４７】なお、上記各実施の形態、ならびに実施例
は、いずれも本発明の一例を示したものであり、本発明
はこれらに限定されるべきものではないことは言うまで
もないことである。

【００４８】

【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、効率的に磁界を発生させることが可能で、全体
の発熱を少なくし、耐久性を高めたマイクロ磁気ヘッド
アレイ，磁束密度を高め、かつ均一な磁界が得られるマ
イクロ磁気ヘッドアレイ，支持体の柔軟性を高め、磁気
プリンターに好適に使用可能なマイクロ磁気ヘッドアレ
イ，さらに高密度化を図ったマイクロ磁気ヘッドアレイ
を実現できるという顕著な効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るマイクロ磁気ヘッドア
レイの詳細な構成を示す要部断面図である。

【図２】実施例に係るマイクロ磁気ヘッドアレイの外観
を示す上面図である。

【図３】従来のマイクロ磁気ヘッドアレイの構成を示す
斜視図である。

【符号の説明】

３００磁気ヘッド３０１コア３０２コイル３０３ポリイミド基板

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】支持体上に設けた連続した高透磁率層に
直接接続された高透磁率なコアと、該コアに電磁誘導コ
イルを配した磁気ヘッドを、１次元または２次元的に配
列し、コイルへの電流を、各別に、時系列的にスイッチ
によって流すことを特徴とするマイクロ磁気ヘッドアレ
イ。
【請求項２】前記磁気ヘッドは、前記高透磁率なコア
の外径を、前記電磁誘導コイルの端面外部では該コイル
内部寸法より縮小して磁束密度を高めたものであること
を特徴とする請求項１記載のマイクロ磁気ヘッドアレ
イ。
【請求項３】前記各磁気ヘッドを、可撓性支持体上に
配設したことを特徴とする請求項１または２記載のマイ
クロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項４】前記配列された各ライン上の磁気ヘッド
は、隣接するラインとは中心位置を少しずらして、２次
元的に配列されたことを特徴とする請求項１〜３のいず
れかに記載のマイクロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項５】前記磁気ヘッドの外径は、２００μｍ以
下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれかに記
載のマイクロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項６】前記電磁誘導コイル用導線の高さは、５
μｍ以上であることを特徴とする請求項１〜５のいずれ
かに記載のマイクロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項７】前記電磁誘導コイルは、複数に積層して
形成されていることを特徴とする請求項１〜６のいずれ
かに記載のマイクロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項８】前記支持体上の高透磁率層は、同時に電
流を流す複数個の電磁誘導コイルの占める面積と実質的
に同等の面積に切断されており、コイルに同時に励磁電
流が流されることを特徴とする請求項１〜７のいずれか
に記載のマイクロ磁気ヘッドアレイ。
【請求項９】前記電磁誘導コイル上面に、１０μｍ以
下の厚みの絶縁体保護層を設けたことを特徴とする請求
項１〜８のいずれかに記載のマイクロ磁気ヘッドアレ
イ。