JP2000259097A - 画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
Tで構成された出力バッファを有する画像表示装置を提
供する。 【解決手段】 出力バッファのドライバTFTを、それ
よりドレイン側に存在する第1の領域よりしきい値電圧
が高い第2の領域が存在する構造にする。 【効果】 線形性の良い出力バッファを有する高品位の
画像表示装置を実現できる。
Description
トランジスタで構成され、利得が大きく高性能な電圧増
幅回路を含む画像表示装置に関する。
技術におけるTFT(Thin−Film−Trans
istor)液晶表示装置を説明する。図10は透明絶
縁基板(図示せず)上に設けられたTFT液晶表示装置
の回路構成図である。画素は液晶容量202と多結晶半
導体薄膜トランジスタで構成された画素スイッチ201
とから構成されている。画素スイッチ201のゲートは
ゲート線204を介してゲート線走査レジスタ205に
よって駆動される。画素スイッチ201のドレインは信
号線203を介して出力バッファ206に接続されてい
る。一方、アナログ信号入力線212は信号サンプリン
グスイッチ211を経て信号サンプリング容量210に
接続されており、更に信号ホールドスイッチ208、信
号ホールド容量207を介して、出力バッファ206に
入力している。ここで、信号サンプリングスイッチ21
1は信号サンプリングレジスタ213により制御され
る。また、信号ホールドスイッチ208と出力バッファ
206は信号ホールド線209により制御される。
グ信号入力線212から入力されたアナログ画像信号
は、信号サンプリングレジスタ213により順次走査さ
れる信号サンプリングスイッチ211を介して、信号サ
ンプリング容量210に記憶される。一行分の画素信号
が信号サンプリング容量210に記憶された後、これら
の画像信号は、水平ブランキング期間内に信号ホールド
線209のクロックにより、信号ホールドスイッチ20
8を介して信号ホールド容量207に転送され、出力バ
ッファ206に入力される。出力バッファ206は入力
された信号に応じた出力を信号線203に供給する。こ
の時、ゲート線走査レジスタ205が駆動され、所定の
ゲート線204が選択されて一行分の画素スイッチ20
1が導通状態となる。その結果、信号線203に供給さ
れた出力信号は液晶容量202に書き込まれる。
である。i領域224、n−領域225、i領域226
でチャネル領域が構成され、その両側のp+領域でソー
ス223、ドレイン227が構成されている。これらは
多結晶半導体膜で形成されている。チャネル領域上には
絶縁膜222を介してゲート電極221が設けられてい
る。本従来技術の画素スイッチ201は、チャネル領域
にn−領域225を設けることによってドレインとの間
にi層を挟んだ逆方向pin接合を形成し、オフ状態に
おけるリーク電流の低減を図っている。このような従来
技術は特開平8−32069号公報に詳しく開示されて
いる。
周辺回路である出力バッファ206を多結晶半導体薄膜
トランジスタで構成する技術も開示されている。図12
にこのトランジスタの断面構造を示す。このトランジス
タはLDD(Lightly−Doped−Drai
n)構造で構成されている。上述の画素スイッチ201
のトランジスタと構造が異なっている理由は、このトラ
ンジスタは低いリーク電流よりも高速動作が要求される
為である。 i領域235でチャネル領域が構成され、
その両側のn+領域とn−領域の2つの領域でソース2
33、234、ドレイン237、236が構成されてい
る。これらは多結晶半導体膜で形成されている。チャネ
ル領域上には絶縁膜232を介してゲート電極231が
設けられている。
ッファ206を多結晶半導体薄膜トランジスタで構成し
た場合、このトランジスタの電流電圧特性を示す図13
から明らかなように、ドレイン電圧Vdsがピンチオフ
電圧VAを越えたとき、ドレイン電流Idsの実際の値
241は本来の飽和特性値242とはならず、これに比
べてかなり大きくなってしまうというドレイン電流の増
加現象が生じることが明らかとなった。
えられる。 図12におけるi領域235とn−領域2
36との境界には比較的大きな電界が印可されるため、
この境界領域においてインパクトイオン化に起因する電
子・正孔対が発生する。発生した正孔はチャネル内で電
子と対消滅しつつソース234に向かって流れるが、こ
の過程でドレイン236近傍のチャネル内における正孔
の密度が上昇し、この部分のチャネルポテンシャルが引
き下がる。この結果、ドレイン電圧を上げると、ドレイ
ン236近傍の見かけ上のしきい値電圧Vthが小さく
なり、ドレイン電流は上記の正孔起因の電流成分だけ増
大する。
帰還増幅器で構成される出力バッファ206に影響を与
える。すなわち、出力バッファの線形性を確保するため
に、増幅器の利得を十分に大きく設計しなくてはならな
い。しかしながらこの現象が生じると、ドレインコンダ
クタンスが異常に大きくなり、増幅器の高利得設計が極
めて困難になってしまう。
を抑えた構造のTFTで構成された出力バッファ等の電
圧増幅回路を有する画像表示装置を提供することにあ
る。
リクスが形成された絶縁基板と、この絶縁基板と対向す
る基板との間に液晶層が設けられた画像表示部を有する
画像表示装置において、絶縁基板上の上記液晶層側に、
信号線群と、この信号線群を介して画素マトリクスを駆
動する駆動回路と、駆動回路と信号線群との間に設けら
れた多結晶半導体薄膜トランジスタにより構成された電
圧増幅回路を形成し、この多結晶半導体薄膜トランジス
タのチャネル、ソースおよびドレインを多結晶半導体膜
で構成し、この多結晶半導体膜上にゲート絶縁膜および
ゲート電極をこの順序で積層形成し、かつそれよりドレ
イン側に存在する第1の領域よりしきい値電圧が高い第
2の領域が存在するように成すことにより達成できる。
表示装置を説明する。図1は透明絶縁基板(図示せず)
上に設けられたTFT液晶表示装置の回路構成図であ
る。画素は液晶容量2と多結晶薄膜トランジスタで構成
された画素スイッチ1とから構成されている。画素スイ
ッチ1のゲートはゲート線4を介してゲート線走査レジ
スタ5によって駆動される。画素スイッチ1のドレイン
は信号線3を介して出力バッファ6に接続されている。
一方、デジタル信号入力線14は信号サンプリングスイ
ッチ13を経て信号サンプリング容量12に接続されて
おり、更に信号ホールドスイッチ10、信号ホールド容
量9を介して、64階調選択方式DA変換器7に入力し
ている。64階調選択方式DA変換器7の出力は出力バ
ッファ6に入力している。さらに、64階調選択方式D
A変換器7には、別に64階調基準信号線8が入力して
いる。ここで、信号サンプリングスイッチ13は信号サ
ンプリングレジスタ15により制御される。また、信号
ホールドスイッチ10と出力バッファ6は信号ホールド
線11により制御される。ここで、デジタル信号入力線
14は6ビット分の6本存在する。従って、信号サンプ
リングスイッチ13、信号サンプリング容量12、信号
ホールドスイッチ10、信号ホールド容量9もそれぞれ
各列毎に6個ずつ存在するが、ここでは図示していな
い。液晶容量2に関しても、液晶や対向基板等は簡略化
のため図示していない。
信号入力線14から入力されたデジタル画像信号は、信
号サンプリングレジスタ15により順次走査される信号
サンプリングスイッチ13を介して、信号サンプリング
容量12に記憶される。一行分の画素信号が信号サンプ
リング容量12に記憶された後、これらの画像信号は、
水平ブランキング期間内に信号ホールド線11のクロッ
クにより、信号ホールドスイッチ10を介して信号ホー
ルド容量9に転送され、64階調選択方式DA変換器7
に入力される。64階調選択方式DA変換器7は一種の
マルチプレクサとして動作し、入力された6ビット信号
に対応する出力電圧信号を、64階調基準信号線から選
択し、この出力電圧信号は出力バッファ6に入力され
る。出力バッファ6は入力された信号に応じた出力を信
号線3に供給する。この時、ゲート線走査レジスタ5が
駆動され、所定のゲート線4が選択されて一行分の画素
スイッチ1が導通状態となる。その結果、信号線3に供
給された出力信号は液晶容量2に書き込まれる。
おり、図2に示すように、ドライバTFT21,24、
負荷TFT22,25、電流源TFT23より構成され
ている。ドライバTFT21,24の断面構造図を図3
に示す。 p−領域34、i領域35でチャネル領域が
構成され、その両側のn+領域でソース33、ドレイン
36が構成されている。これらは多結晶Si半導体膜で
形成されている。チャネル領域上には絶縁膜32を介し
てゲート電極31が設けられている。
バTFT21,24単体の電流電圧特性を示す。
sがピンチオフ電圧VAを越えても、ドレイン電流Id
sの実際の値38は本来の飽和特性値39のままであ
る。 そしてVBを越えて初めてドレイン電流が増加し
始める。
も、ドレイン電流Idsの実際の値38が本来の飽和特
性値39のまま一定値を保つ理由としては次のことが考
えられる。ドライバTFT21,24のi領域35とド
レイン36との境界には比較的大きな電界が印可される
ため、この境界領域においてはインパクトイオン化に起
因する電子・正孔対が発生する。発生した正孔はチャネ
ル内で電子と対消滅しつつソース33に向かって流れる
が、この過程でドレイン36近傍のチャネル内における
正孔の密度が上昇し、この部分のチャネルポテンシャル
が引き下げる。ここまでは従来技術における説明と同じ
である。しかしながら本実施例においては、チャネル領
域のソース33側にi領域35よりしきい値電圧Vth
が大きいp−領域34が設けられているため、ドレイン
電流特性はp−領域34で規定される。即ち、本TFT
の実効的チャネルを構成するのはp−領域34であり、
i領域35は付加的に設けられているにすぎない。この
結果、 正孔の密度上昇によりi領域35のVthが見
かけ上いくら小さくなっても、ドレイン電流Idsの実
際の値38は増加せず、本来の飽和特性値39のまま一
定値を保つ。 そしてインパクトイオン化によって生じ
た正孔がp−領域34にまで拡散し始める電圧すなわち
図4中でVBで示した電圧を越えて初めてドレイン電流
が増加し始める。
技術のTFTに現れる、ドレイン電流の増加現象が現れ
ない。この結果、差動増幅器のドライバTFT21,2
4のドレインコンダクタンスは極めて低い値に設計する
ことが可能となり、(相互コンダクタンス)/(ドレイ
ンコンダクタンス)の値で近似できる差動増幅器の利得
を十分に確保することが可能となる。
も図3と同様な構造を採用することが好ましい。また、
負荷TFT22,25にも図3とはpとnを逆極性にし
た構造を採用することが好ましい。また、これらのTF
Tのうちの一部に本実施例の構造を採用しても一定の効
果がある。
をnチャネルとしたが、pとnを逆にすることも設計の
自由度として可能である。また、コプレーナ構造のTF
Tを用いたが、逆スタガ等、変形構造を用いることも本
発明の趣旨を外れない限り可能である。またp−領域3
4はソース33と接していなくとも、両者の間に例えば
新たなi領域が設けてあっても、本発明の効果が得られ
ることは原理的に明らかである。
造には本質的には制限はない。すなわち反射型、透過型
いずれのタイプでも良く、TN(Twist−Nema
tic)、GH(Guest−Host)等、様々な液
晶に適用可能である。
コンダクタンスを低下させることが可能であるが、 p
−領域34がソース33と接しているため、TFTのソ
ースとドレインの接続を反転させた場合、本発明の効果
は無くなり、ドレインコンダクタンスはより大きくなっ
てしまう。また、より低電圧でソースからドレインへの
パンチスルーが生じるようになる。従って本実施例にお
いては、ソースとドレインの方向性は大切であり、差動
増幅器として用いる限り、動作中にソースとドレインの
極性反転を行うことは好ましくない。
増幅器を構成するTFTの構造を変えたものである。そ
の断面構造を図5に示す。
ャネル領域が構成され、その両側のn+領域でソース4
3、ドレイン46が構成されている。これらは多結晶S
i半導体膜で形成されている。チャネル領域上にはゲー
ト絶縁膜42を介してゲート電極41が設けられてい
る。
る結晶粒のサイズをドレイン46側よりソース43側を
小さくすることによって、ソース43側のチャネルのし
きい値電圧Vthの方を大きくしている。これは、結晶
粒界に多く存在するキャリア捕獲準位によってTFTの
Vthが増加するという事実を利用し、チャネル領域の
ソース43側を結晶粒界の多い小結晶粒領域44とした
ものである。
ても、原理的に実施例1と同様にインパクトイオン化の
よるドレインコンダクタンス増加を抑制することができ
る。
不要であること、ドレイン端の粒界欠陥準位が少ないこ
とによってインパクトイオン化そのものを少なくするこ
とができること、等の利点がある。
た種々の変形が可能である。
増幅器を構成するTFTの構造を変えたものである。そ
の断面構造を図6に示す。
の両側のn+領域でソース53、ドレイン56が構成さ
れている。これらは多結晶Si半導体膜で形成されてい
る。チャネル領域上にはゲート絶縁膜52を介してゲー
ト電極51が設けられている。ゲート絶縁膜52の膜厚
はドレイン56側よりソース53側の方が厚い。
膜厚をドレイン56側よりソース53側を厚くすること
によって、ソース53側のチャネルのしきい値電圧Vt
hの方を大きくしている。
ても、原理的に実施例1と同様にインパクトイオン化の
よるドレインコンダクタンス増加を抑制することができ
る。
不要であること、チャネル膜に何らの加工も不要である
こと等の利点がある。
た種々の変形が可能である。
増幅器を構成するTFTの構造を変えたものである。そ
の断面構造を図7に示す。
の両側のn+領域でソース63、ドレイン66が構成さ
れている。これらは多結晶Si半導体膜で形成されてい
る。チャネル領域上にはゲート絶縁膜62を介してゲー
ト電極61が設けられている。i領域65の膜厚はドレ
イン66側よりソース63側の方が厚い。
をドレイン66側よりソース63側を厚くすることによ
って、ソース63側のチャネルのしきい値電圧Vthの
方を大きくしている。これは、チャネル膜厚が厚くなれ
ば単位面積当たりのキャリア捕獲準位密度が大きくなり
TFTのVthが増加するという事実を利用し、チャネ
ル領域のソース63側をドレイン66側より膜厚を厚く
したものである。
ても、原理的に実施例1と同様にインパクトイオン化の
よるドレインコンダクタンス増加を抑制することができ
る。
不要であること、ドレイン端のチャネル領域の膜厚が薄
い分、インパクトイオン化の発生量が小さくなること等
の利点がある。
た種々の変形が可能である。
増幅器を構成するTFTの構造を変えたものである。そ
の断面構造を図8に示す。
の両側のn+領域でソース73、ドレイン76が構成さ
れている。これらは多結晶Si半導体膜で形成されてい
る。チャネル領域上にはゲート絶縁膜72を介してゲー
ト電極71、77が設けられている。ここで、ソース7
3側のゲート電極71の仕事関数の方が、ドレイン76
側のゲート電極77の仕事関数より大きい材料で構成さ
れている。
関数をドレイン76側よりソース73側を大きくするこ
とによって、ソース73側のチャネルのしきい値電圧V
thの方を大きくしている。
ても、原理的に実施例1と同様にインパクトイオン化の
よるドレインコンダクタンス増加を抑制することができ
る。
不要であることの利点がある。ゲート電極71と77は
電気的には接続されているため、一方に比較的抵抗が大
きい材料を用いたとしても、全体としては問題は生じな
い。
た種々の変形が可能である。
構成図を用いて説明する。 画素表示領域81を走査す
るゲート線走査レジスタ82、画素表示領域81に画像
信号を入力する信号入力回路84および出力バッファ8
3、外部から入力される画像データ89およびユーザの
リクエスト90を画像信号に変換し出力するインタフェ
ース回路群85、画像信号の一部を蓄える記憶回路87
等が一枚の透明絶縁基板88上にTFT回路で構成され
ている。
A、IEEE1394等に準拠した無線、或いは有線の
形態でインタフェース回路群85に入力される。ユーザ
のリクエストにはユーザ命令とユーザからの書込み情報
がある。ユーザからのリクエストが入ると、外部からの
画像データ、記憶回路87に画像信号の形態で蓄えられ
ていた画像データ、あるいはユーザからの書込み情報が
画素表示領域81に表示される。画素表示領域81、ゲ
ート線走査レジスタ82、信号入力回路84、出力バッ
ファ83に関しては、構成及び動作とも既に述べた実施
例1と同じである。
出力バッファによって、いつでもユーザのリクエストに
応じた高品位な映像情報を画素表示領域81上に表示で
きる。
ファを有する高品位の画像表示装置を実現できる。
構成図である。
バッファを構成する差動増幅器の構成図である。
増幅器のドライバTFTの断面構造図である。
増幅器のドライバTFTの電流電圧特性図である。
バッファを構成する差動増幅器のドライバTFTの断面
構造図である。
バッファを構成する差動増幅器のドライバTFTの断面
構造図である。
バッファを構成する差動増幅器のドライバTFTの断面
構造図である。
バッファを構成する差動増幅器のドライバTFTの断面
構造図である。
構成図である。
である。
チを構成するTFTの断面構造図である。
トランジスタの断面構造図。
ァを構成するTFTの電流電圧特性図である。
3、203…信号線、4、204…ゲート線、5、8
2、205…ゲート線走査レジスタ、6、83、206
…出力バッファ、7…64階調選択方式DA変換器、8
…64階調基準信号線、9、207…信号ホールド容
量、10、208…信号ホールドスイッチ、11、20
9…信号ホールド線、12、210…信号サンプリング
容量、13、211…信号サンプリングスイッチ、14
…デジタル信号入力線、15、213…信号サンプリン
グレジスタ、21,24…ドライバTFT、22,25
…負荷TFT、23…電流源TFT、31、41、5
1、61、71、77、221、231…ゲート電極、
32、42、52、62、72、222、232…ゲー
ト絶縁膜、33、43、53、63、73、223…ソ
ース、34…p−チャネル領域、35、55、65、7
5、235…iチャネル領域、36、46、56、6
6、76、227…ドレイン、38…ドレイン電流Id
sの実際の値、39…飽和特性値、44…小結晶粒領
域、45…大結晶粒領域、81…画素表示領域、84…
信号入力回路、85…インタフェース回路群、87…記
憶回路、88…透明絶縁基板、89…画像データ、90
…ユーザのリクエスト、212…アナログ信号入力線、
225…n−チャネル領域、233…n+ソース領域、
234… n−ソース領域、236…n−ドレイン領
域、 237…n+ドレイン領域、VA…ピンチオフ電
圧、VB…この電圧を超えるとドレイン電流が増加し始
める電圧。
Claims (14)
- 【請求項1】画素マトリクスが形成された絶縁基板と、
該絶縁基板と対向する基板との間に液晶層が設けられた
画像表示部を有する画像表示装置において、上記絶縁基
板上の上記液晶層側には、 信号線群と、該信号線群を
介して上記画素マトリクスを駆動する駆動回路と、上記
駆動回路と上記信号線群との間に設けられた多結晶半導
体薄膜トランジスタにより構成された電圧増幅回路が形
成されており、該多結晶半導体薄膜トランジスタはチャ
ネル、ソースおよびドレインが多結晶半導体膜で構成さ
れ、該多結晶半導体膜上にゲート絶縁膜およびゲート電
極がこの順序で積層形成されており、かつそれよりドレ
イン側に存在する第1の領域よりしきい値電圧が高い第
2の領域が存在することを特徴とする画像表示装置。 - 【請求項2】外部から入力される画像データおよびユー
ザのリクエストを画像信号に変換し出力するインタフェ
ース回路群および上記画像信号の一部を蓄える記憶回路
が上記絶縁基板上にさらに設けられており、上記駆動回
路は上記画像信号を上記画素マトリクスに伝えることを
特徴とする請求項1記載の画像表示装置。 - 【請求項3】上記多結晶半導体膜は多結晶Si半導体膜
であることを特徴とする請求項1又は2に記載の画像表
示装置。 - 【請求項4】上記第2の領域は、上記ソースに接してい
ることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記
載の画像表示装置。 - 【請求項5】上記第2の領域より上記ソース側に上記第
2の領域よりしきい値電圧が低い第3の領域が存在する
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載
の画像表示装置。 - 【請求項6】上記第1の領域および上記第3の領域の少
なくとも一方の上記多結晶半導体膜には、不純物が特に
は導入されていないことを特徴とする請求項1乃至5の
いずれか一項に記載の画像表示装置。 - 【請求項7】上記第2の領域の上記多結晶半導体膜に
は、上記ソース、ドレインと反対の導電型を呈する不純
物が導入されていることを特徴とする請求項1乃至6の
いずれか一項に記載の画像表示装置。 - 【請求項8】上記第2の領域の上記多結晶半導体膜の結
晶粒径は上記第1の領域および上記第3の領域の少なく
とも一方の上記多結晶半導体膜の結晶粒径より小さいこ
とを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の
画像表示装置。 - 【請求項9】上記第2の領域の上記絶縁膜の膜厚は上記
第1の領域および上記第3の領域の少なくとも一方の上
記絶縁膜の膜厚より厚いことを特徴とする請求項1乃至
7のいずれか一項に記載の画像表示装置。 - 【請求項10】上記第2の領域の上記多結晶半導体膜の
膜厚は上記第1の領域および上記第3の領域の少なくと
も一方の上記多結晶半導体膜の膜厚より厚いことを特徴
とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の画像表示
装置。 - 【請求項11】上記第2の領域の上記ゲート電極の仕事
関数は上記第1の領域および上記第3の領域の少なくと
も一方の上記ゲート電極の仕事関数より大きいことを特
徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の画像表
示装置。 - 【請求項12】画素マトリクスが形成された絶縁基板
と、該絶縁基板と対向する基板との間に液晶層が設けら
れた画像表示部を有する画像表示装置において、上記絶
縁基板上の上記液晶層側には、 信号線群と、該信号線
群を介して上記画素マトリクスを駆動する駆動回路と、
上記駆動回路と上記信号線群との間に設けられた多結晶
半導体薄膜トランジスタにより構成された電圧増幅回路
が形成されており、該多結晶半導体薄膜トランジスタの
ドレインコンダクタンスはソースとドレインの接続を入
れ替えた場合の方が入れ替える前よりも大きいことを特
徴とする画像表示装置。 - 【請求項13】画素マトリクスが形成された絶縁基板
と、該絶縁基板と対向する基板との間に液晶層が設けら
れた画像表示部を有する画像表示装置において、上記絶
縁基板上の上記液晶層側には、 信号線群と、該信号線
群を介して上記画素マトリクスを駆動する駆動回路と、
上記駆動回路と上記信号線群との間に設けられた多結晶
半導体薄膜トランジスタにより構成された電圧増幅回路
が形成されており、該多結晶半導体薄膜トランジスタの
ソースからドレインへの電荷のパンチスルーが生じる際
のドレイン電圧はソースとドレインの接続を入れ替えた
場合の方が入れ替える前よりも小さいことを特徴とする
画像表示装置。 - 【請求項14】上記多結晶半導体薄膜トランジスタは逆
スタガ構造であることを特徴とする請求項1乃至13の
いずれか一項に記載の画像表示装置。画像表示装置。
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- 2000-03-07 US US09/519,995 patent/US6480179B1/en not_active Expired - Lifetime
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