JP2000256747A - エッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法 - Google Patents
エッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法Info
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- JP2000256747A JP2000256747A JP11064456A JP6445699A JP2000256747A JP 2000256747 A JP2000256747 A JP 2000256747A JP 11064456 A JP11064456 A JP 11064456A JP 6445699 A JP6445699 A JP 6445699A JP 2000256747 A JP2000256747 A JP 2000256747A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｆｅ−Ｎｉ系インバ−シャドウマスク材にお
いて、エッチング後のスジムラの発生しないエッチング
性に優れたシャドウマスク材の製造方法を提供する。 【解決手段】 重量％で、Ｎｉを３４〜３８％含有し、
残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系合金よりなる厚さ２
〜２０ｍｍの熱間圧延板あるいは連鋳片に、温度：１２
５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条件で連続
加熱処理するシャドウマスク材の製造方法である。連続
加熱処理における加熱手段に通電加熱方式かまたは誘導
加熱方式を適用する。また、上記のいずれかの方法で製
造されたシャドウマスク材を用いて、冷間圧延−焼鈍の
組合せを３回以上繰り返して仕上げ帯材とする。
いて、エッチング後のスジムラの発生しないエッチング
性に優れたシャドウマスク材の製造方法を提供する。 【解決手段】 重量％で、Ｎｉを３４〜３８％含有し、
残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系合金よりなる厚さ２
〜２０ｍｍの熱間圧延板あるいは連鋳片に、温度：１２
５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条件で連続
加熱処理するシャドウマスク材の製造方法である。連続
加熱処理における加熱手段に通電加熱方式かまたは誘導
加熱方式を適用する。また、上記のいずれかの方法で製
造されたシャドウマスク材を用いて、冷間圧延−焼鈍の
組合せを３回以上繰り返して仕上げ帯材とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ブラウン管に利用
されるシャドウマスク材で、特にエッチング性に優れた
材料の製造方法に関するものである。
されるシャドウマスク材で、特にエッチング性に優れた
材料の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ブラウン管内部では、電子ビ−ムがシャ
ドウマスクの微小孔を通過することにより、所定の蛍光
体に照射され特定の色が発光する。この微小孔は、エッ
チングにより穿孔されているが、このエッチングの際に
はスジムラと呼ばれる不良が発生することがあり、孔形
状の精度劣化の要因として問題となっている。このスジ
ムラの原因は、Ｎｉの偏析によって生じるため、この偏
析を改善する方法として種々の熱拡散処理方法が提案さ
れている。この熱拡散に係る加熱処理が施される時点で
の材料形態としては、インゴットや熱間鍛造後のスラ
ブ、熱間圧延後のフ−プ、あるいは連続鋳造片があり、
それぞれの形態に適した加熱処理方法が提案されてい
る。
ドウマスクの微小孔を通過することにより、所定の蛍光
体に照射され特定の色が発光する。この微小孔は、エッ
チングにより穿孔されているが、このエッチングの際に
はスジムラと呼ばれる不良が発生することがあり、孔形
状の精度劣化の要因として問題となっている。このスジ
ムラの原因は、Ｎｉの偏析によって生じるため、この偏
析を改善する方法として種々の熱拡散処理方法が提案さ
れている。この熱拡散に係る加熱処理が施される時点で
の材料形態としては、インゴットや熱間鍛造後のスラ
ブ、熱間圧延後のフ−プ、あるいは連続鋳造片があり、
それぞれの形態に適した加熱処理方法が提案されてい
る。
【０００３】その中でも、スラブやフープ、連鋳片とい
った板形状にて施される熱拡散処理方法は、その速やか
な加熱目標温度への到達の点から有利である。これら方
法に関しては、例えばフ−プを対象とするものとして特
開昭６０−５６０５３、特開平２−５０９１９があり、
連鋳片を対象とするもとして特公平７−１１０３４が提
案されている。
った板形状にて施される熱拡散処理方法は、その速やか
な加熱目標温度への到達の点から有利である。これら方
法に関しては、例えばフ−プを対象とするものとして特
開昭６０−５６０５３、特開平２−５０９１９があり、
連鋳片を対象とするもとして特公平７−１１０３４が提
案されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】特開昭６０−５６０５
３号は、熱間圧延後のフ−プに１１００℃×１ｈ以上の
熱処理を施し、Ｎｉを拡散させるものである。しかし、
この方法では、１ｈ以上の加熱処理を条件とするため、
熱拡散処理工程を効率良く行なうべく“板状の素材を非
コイル状態で加熱炉中に送り流して処理する”連続加熱
処理方式を適用する場合には、該加熱炉内での材料の送
り速度を極めて遅くする必要があり、生産性が悪く量産
に難がある。
３号は、熱間圧延後のフ−プに１１００℃×１ｈ以上の
熱処理を施し、Ｎｉを拡散させるものである。しかし、
この方法では、１ｈ以上の加熱処理を条件とするため、
熱拡散処理工程を効率良く行なうべく“板状の素材を非
コイル状態で加熱炉中に送り流して処理する”連続加熱
処理方式を適用する場合には、該加熱炉内での材料の送
り速度を極めて遅くする必要があり、生産性が悪く量産
に難がある。
【０００５】特開平２−５０９１９号は、熱間圧延後の
フ−プに１０００〜１４００℃の温度で熱処理を施し、
成分偏析を解消する方法である。しかし、その具体的条
件には、連続加熱処理の適用に重要な加熱時間が考慮さ
れず、更にはフ−プを酸化防止のため鉄製の箱に入れて
から加熱処理を施すものでもある。従って、この方法で
は、連続加熱処理への適用が難しいため、生産性が悪い
だけでなく、その加熱処理毎にフ−プを入れる鉄製の箱
を作製する必要があり、コスト面でも不利なものであ
る。
フ−プに１０００〜１４００℃の温度で熱処理を施し、
成分偏析を解消する方法である。しかし、その具体的条
件には、連続加熱処理の適用に重要な加熱時間が考慮さ
れず、更にはフ−プを酸化防止のため鉄製の箱に入れて
から加熱処理を施すものでもある。従って、この方法で
は、連続加熱処理への適用が難しいため、生産性が悪い
だけでなく、その加熱処理毎にフ−プを入れる鉄製の箱
を作製する必要があり、コスト面でも不利なものであ
る。
【０００６】特公平７−１１０３４号は、連続鋳造スラ
ブに１２００〜１３５０℃×１ｈ以上の条件でソ−キン
グ熱処理を施し、成分偏析を解消する方法である。しか
し、この方法においても、やはり加熱保持時間が１ｈ以
上と長いため、連続加熱処理を適用する場合には生産性
の面で不十分である。
ブに１２００〜１３５０℃×１ｈ以上の条件でソ−キン
グ熱処理を施し、成分偏析を解消する方法である。しか
し、この方法においても、やはり加熱保持時間が１ｈ以
上と長いため、連続加熱処理を適用する場合には生産性
の面で不十分である。
【０００７】本発明は、以上の事項に鑑み、生産性およ
びコスト面に優れた加熱処理条件を確立することで、エ
ッチング時のスジムラ発生を抑制できるエッチング性に
優れたシャドウマスク材の製造方法を提供するもので
る。
びコスト面に優れた加熱処理条件を確立することで、エ
ッチング時のスジムラ発生を抑制できるエッチング性に
優れたシャドウマスク材の製造方法を提供するもので
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】まず、本発明者は、熱拡
散処理工程を効率良く行なえる連続加熱処理方式の適用
を前提に据えた。そして、スジムラを抑制できるシャド
ウマスク材を製造すべくその方式にて偏析や酸化を抑制
し、かつ生産性やコスト面にも優れた加熱条件を確立
し、本発明に至った。
散処理工程を効率良く行なえる連続加熱処理方式の適用
を前提に据えた。そして、スジムラを抑制できるシャド
ウマスク材を製造すべくその方式にて偏析や酸化を抑制
し、かつ生産性やコスト面にも優れた加熱条件を確立
し、本発明に至った。
【０００９】すなわち、本発明は、重量％で、Ｎｉを３
４〜３８％含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系
合金を、熱間圧延により厚さ：２〜２０ｍｍの板材とし
た後、温度：１２５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ
以下の条件で連続加熱処理するシャドウマスク材の製造
方法である。あるいは、重量％で、Ｎｉを３４〜３８％
含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系溶湯を、連
続鋳造により厚さ：２〜２０ｍｍの板材とした後、温
度：１２５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条
件で連続加熱処理するシャドウマスク材の製造方法であ
る。なお、本発明の連続加熱処理における加熱手段に
は、通電加熱方式かまたは誘導加熱方式を適用すればよ
い。
４〜３８％含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系
合金を、熱間圧延により厚さ：２〜２０ｍｍの板材とし
た後、温度：１２５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ
以下の条件で連続加熱処理するシャドウマスク材の製造
方法である。あるいは、重量％で、Ｎｉを３４〜３８％
含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系溶湯を、連
続鋳造により厚さ：２〜２０ｍｍの板材とした後、温
度：１２５０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条
件で連続加熱処理するシャドウマスク材の製造方法であ
る。なお、本発明の連続加熱処理における加熱手段に
は、通電加熱方式かまたは誘導加熱方式を適用すればよ
い。
【００１０】そして、上記のいずれかの方法で製造され
たシャドウマスク材を用いて、冷間圧延−焼鈍の組合せ
を３回以上繰り返して仕上げ帯材とすることで、優れた
エッチング性を維持するものである。
たシャドウマスク材を用いて、冷間圧延−焼鈍の組合せ
を３回以上繰り返して仕上げ帯材とすることで、優れた
エッチング性を維持するものである。
【００１１】
【発明の実施の形態】本発明の特徴は、従来の提案方法
に比して、その加熱処理手段に連続加熱処理方式の適用
を前提にし、その方式に最適な処理条件を見いだしたと
ころにある。すなわち、スジムラを抑制できるシャドウ
マスク材を製造すべく、その方式にて偏析や酸化を抑制
し、かつ生産性やコスト面にも優れた加熱条件として、
本方式による望ましい製造方法を見いだしたものであ
る。以下、本発明を構成する合金成分の作用に併せ、製
造条件の限定理由について説明する。
に比して、その加熱処理手段に連続加熱処理方式の適用
を前提にし、その方式に最適な処理条件を見いだしたと
ころにある。すなわち、スジムラを抑制できるシャドウ
マスク材を製造すべく、その方式にて偏析や酸化を抑制
し、かつ生産性やコスト面にも優れた加熱条件として、
本方式による望ましい製造方法を見いだしたものであ
る。以下、本発明を構成する合金成分の作用に併せ、製
造条件の限定理由について説明する。
【００１２】本発明に適用される材料は、重量％で、Ｎ
ｉを３４〜３８％含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−
Ｎｉ系合金である。Ｎｉ量は、シャドウマスクに求めら
れるに十分な低熱膨張特性を付与すべく、残部Ｆｅを主
体とする本発明の材料において、そのインバ−効果を有
効に利用して低熱膨張化するために３４〜３８％とす
る。なお、更なる低熱膨張特性の付与からＮｉの一部を
３％以下のＣｏに置換してもよい。
ｉを３４〜３８％含有し、残部Ｆｅを主体とするＦｅ−
Ｎｉ系合金である。Ｎｉ量は、シャドウマスクに求めら
れるに十分な低熱膨張特性を付与すべく、残部Ｆｅを主
体とする本発明の材料において、そのインバ−効果を有
効に利用して低熱膨張化するために３４〜３８％とす
る。なお、更なる低熱膨張特性の付与からＮｉの一部を
３％以下のＣｏに置換してもよい。
【００１３】また、本発明に適用される材料は、その低
熱膨張特性の確保から、所定のＮｉ量を含有した残部を
Ｆｅ主体とするものであるが、これに関しては、インバ
ー効果を損なわない範囲で種々特性の向上に応じるべ
く、Ｆｅの一部を他種元素に置換することも可能であっ
て、これによって本発明の効果が損なわれるものではな
い。
熱膨張特性の確保から、所定のＮｉ量を含有した残部を
Ｆｅ主体とするものであるが、これに関しては、インバ
ー効果を損なわない範囲で種々特性の向上に応じるべ
く、Ｆｅの一部を他種元素に置換することも可能であっ
て、これによって本発明の効果が損なわれるものではな
い。
【００１４】次に、本発明の連続加熱処理について説明
する。まず、供される板材の板厚としては、２ｍｍ未満
では表面酸化により単位重量当りの滅失量が多くなるた
め、歩留まりが悪くなる。また、２０ｍｍを超えると存
在する偏析サイズが大きくなり、施す拡散処理に長時間
を要すため、生産性が低下する。以上から、本発明の連
続加熱処理に供される板材として適正な板厚は２〜２０
ｍｍである。
する。まず、供される板材の板厚としては、２ｍｍ未満
では表面酸化により単位重量当りの滅失量が多くなるた
め、歩留まりが悪くなる。また、２０ｍｍを超えると存
在する偏析サイズが大きくなり、施す拡散処理に長時間
を要すため、生産性が低下する。以上から、本発明の連
続加熱処理に供される板材として適正な板厚は２〜２０
ｍｍである。
【００１５】そして、本発明の加熱処理温度であるが、
本発明では上記適正な板厚を有する板材において、その
連続加熱処理による十分な偏析解消を１ｈ以下で行なう
ことを目標とするものである。この場合、加熱処理温度
が１２５０℃未満では、１ｈ以下の拡散処理ではＮｉの
拡散が不十分でスジムラが改善されない。一方、１４０
０℃を超える加熱処理温度では板材の強度が落ちるた
め、例えば加熱処理後のコイルへの巻取りにてコイルに
十分なテンションがかけられず、巻取りに不具合が生じ
る。従って、本発明の効果を得るに適正な温度として１
２５０℃以上を設定し、生産効率の上で１４００℃を上
限とする。
本発明では上記適正な板厚を有する板材において、その
連続加熱処理による十分な偏析解消を１ｈ以下で行なう
ことを目標とするものである。この場合、加熱処理温度
が１２５０℃未満では、１ｈ以下の拡散処理ではＮｉの
拡散が不十分でスジムラが改善されない。一方、１４０
０℃を超える加熱処理温度では板材の強度が落ちるた
め、例えば加熱処理後のコイルへの巻取りにてコイルに
十分なテンションがかけられず、巻取りに不具合が生じ
る。従って、本発明の効果を得るに適正な温度として１
２５０℃以上を設定し、生産効率の上で１４００℃を上
限とする。
【００１６】また、本発明の連続加熱処理における加熱
手段には、通電加熱方式かまたは誘導加熱方式のいずれ
かを適用すればよい。具体的に述べると、板材の厚さが
５ｍｍ以下ではエネルギ−効率の観点から通電方式が好
ましく、１０ｍｍ以上では誘導加熱方式が好ましい。
手段には、通電加熱方式かまたは誘導加熱方式のいずれ
かを適用すればよい。具体的に述べると、板材の厚さが
５ｍｍ以下ではエネルギ−効率の観点から通電方式が好
ましく、１０ｍｍ以上では誘導加熱方式が好ましい。
【００１７】ところで、上記条件による連続加熱処理を
施す板材としては、通常の溶製法で製造した合金塊を熱
間鍛造−熱間圧延したフ−プを用いるか、溶湯から連続
して直接板状に凝固させた連続鋳造片のいずれかを使用
するが、共にその板厚は上記の理由で２〜２０ｍｍと
し、本発明の加熱処理条件を適用することで本発明の効
果が達成される。
施す板材としては、通常の溶製法で製造した合金塊を熱
間鍛造−熱間圧延したフ−プを用いるか、溶湯から連続
して直接板状に凝固させた連続鋳造片のいずれかを使用
するが、共にその板厚は上記の理由で２〜２０ｍｍと
し、本発明の加熱処理条件を適用することで本発明の効
果が達成される。
【００１８】次に、本発明の加熱処理を経たシャドウマ
スク材は、冷間圧延を施して製品サイズの厚みに加工さ
れることになるが、この場合、冷間圧延−焼鈍による組
合せが１〜２回の場合、加熱処理によって粗大化した結
晶粒が材料中に残存し混粒組織となって、エッチング時
の精度劣化が懸念される。一方、冷間圧延−焼鈍の組み
合わせを３回以上繰り返すことで、粗大な結晶粒をＪＩ
Ｓ Ｇ ０５５１でＮｏ．９レベルかあるいはそれを超
える結晶粒度番号にまで微細・均一化することができ、
製品に要求される特性に応じることが可能となる。よっ
て、本発明では、好ましい条件として、加熱処理後のシ
ャドウマスク材を仕上げ帯材とするにあたり３回以上の
冷間圧延−焼鈍の組合せを繰り返すものとする。
スク材は、冷間圧延を施して製品サイズの厚みに加工さ
れることになるが、この場合、冷間圧延−焼鈍による組
合せが１〜２回の場合、加熱処理によって粗大化した結
晶粒が材料中に残存し混粒組織となって、エッチング時
の精度劣化が懸念される。一方、冷間圧延−焼鈍の組み
合わせを３回以上繰り返すことで、粗大な結晶粒をＪＩ
Ｓ Ｇ ０５５１でＮｏ．９レベルかあるいはそれを超
える結晶粒度番号にまで微細・均一化することができ、
製品に要求される特性に応じることが可能となる。よっ
て、本発明では、好ましい条件として、加熱処理後のシ
ャドウマスク材を仕上げ帯材とするにあたり３回以上の
冷間圧延−焼鈍の組合せを繰り返すものとする。
【００１９】
【実施例】［実施例１］真空誘導溶解炉により調整した
Ｎｉを３６％含有するＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯を鋳造、合
金塊を作製した。その後、熱間鍛造−熱間圧延を施し
て、厚さ：１．５〜３０ｍｍのフ−プとした。そして、
表１に記載の加熱条件でＮ２ガス中での連続拡散熱処理
を施した。通板速度は１ｍ／分とした。
Ｎｉを３６％含有するＦｅ−Ｎｉ系合金溶湯を鋳造、合
金塊を作製した。その後、熱間鍛造−熱間圧延を施し
て、厚さ：１．５〜３０ｍｍのフ−プとした。そして、
表１に記載の加熱条件でＮ２ガス中での連続拡散熱処理
を施した。通板速度は１ｍ／分とした。
【００２０】それから、この加熱処理後の板材に冷間圧
延と焼鈍の組合せを３回繰り返して、厚さ：０．２０ｍ
ｍの薄板とした。そして、この薄板にシャドウマスクの
孔形状にエッチング加工を施し、目視にてスジムラの判
定を行った。スジムラの判定は、目視にてスジムラの見
受けられないものを○、スジムラが確認されるも軽微で
あり、シャドウマスクへの適用が十分に可能なものを
△、そして、シャドウマスクへの適用困難なスジムラが
確認されるものを×とした。また同時に、加熱処理によ
る表面酸化程度に係り、歩留まりの評価として表面スケ
ールを研磨除去後に材料の重量が９０％以上確保されて
いるものを○で評価した。
延と焼鈍の組合せを３回繰り返して、厚さ：０．２０ｍ
ｍの薄板とした。そして、この薄板にシャドウマスクの
孔形状にエッチング加工を施し、目視にてスジムラの判
定を行った。スジムラの判定は、目視にてスジムラの見
受けられないものを○、スジムラが確認されるも軽微で
あり、シャドウマスクへの適用が十分に可能なものを
△、そして、シャドウマスクへの適用困難なスジムラが
確認されるものを×とした。また同時に、加熱処理によ
る表面酸化程度に係り、歩留まりの評価として表面スケ
ールを研磨除去後に材料の重量が９０％以上確保されて
いるものを○で評価した。
【００２１】
【表１】
【００２２】表１から、本発明の製造方法を適用したシ
ャドウマスク材が優れたスジムラ品位と歩留まりを達成
していることが判る（実施Ｎｏ．３，４，６，７）。一
方、厚みが２ｍｍを下回る板材を連続加熱処理した場合
では、スジムラの解消程度は良好なるも表面酸化により
歩留まりが悪いこと（実施Ｎｏ．１）、そして、２０ｍ
ｍを超える板材では、連続加熱処理時の成分拡散が不十
分なことによるスジムラ品位が悪いことが判る（実施Ｎ
ｏ．８）。
ャドウマスク材が優れたスジムラ品位と歩留まりを達成
していることが判る（実施Ｎｏ．３，４，６，７）。一
方、厚みが２ｍｍを下回る板材を連続加熱処理した場合
では、スジムラの解消程度は良好なるも表面酸化により
歩留まりが悪いこと（実施Ｎｏ．１）、そして、２０ｍ
ｍを超える板材では、連続加熱処理時の成分拡散が不十
分なことによるスジムラ品位が悪いことが判る（実施Ｎ
ｏ．８）。
【００２３】また、本発明の板厚による連続加熱処理を
行なった場合でも、その加熱処理温度が１２５０℃に満
たないと、やはり成分拡散が不十分なことによるスジム
ラ品位の低下が生じる（実施Ｎｏ．２）。よって、スジ
ムラ品位の向上の上で、加熱温度は最低でも１２５０℃
必要であるが、１４００℃を超えると板材の強度が低く
なり、巻取りができなかった（実施Ｎｏ．５）。
行なった場合でも、その加熱処理温度が１２５０℃に満
たないと、やはり成分拡散が不十分なことによるスジム
ラ品位の低下が生じる（実施Ｎｏ．２）。よって、スジ
ムラ品位の向上の上で、加熱温度は最低でも１２５０℃
必要であるが、１４００℃を超えると板材の強度が低く
なり、巻取りができなかった（実施Ｎｏ．５）。
【００２４】［実施例２］実施例１のフ−プの代わり
に、連続鋳造により厚さ：１．５〜３０ｍｍのＦｅ−３
６％Ｎｉ系合金連鋳片を作製し、加熱処理に供する板材
とした。この板材で表１の条件と同様のテストを実施し
たところ、表１とほぼ同様の結果となった。
に、連続鋳造により厚さ：１．５〜３０ｍｍのＦｅ−３
６％Ｎｉ系合金連鋳片を作製し、加熱処理に供する板材
とした。この板材で表１の条件と同様のテストを実施し
たところ、表１とほぼ同様の結果となった。
【００２５】［実施例３］実施例１と同様にして厚さ５
ｍｍのフ−プを作製した。次に、表１の実施Ｎｏ．４と
同じ条件で連続加熱処理を施した後、冷間圧延−焼鈍の
組合せを２回繰り返したものと、３回繰り返して厚さ
０．２０ｍｍの薄板としたもの２種類について結晶粒を
調査した。その結果、３回繰り返したものは、結晶粒が
整粒でほぼ均一なサイズとなっており、結晶粒度番号
（ＪＩＳ Ｇ ０５５１）がＮｏ．９．５であった。し
かし、２回繰り返したのみのものは、結晶粒が混粒とな
っており、粒度番号がＮｏ．９．５のものとＮｏ．７の
ものが混在していた。
ｍｍのフ−プを作製した。次に、表１の実施Ｎｏ．４と
同じ条件で連続加熱処理を施した後、冷間圧延−焼鈍の
組合せを２回繰り返したものと、３回繰り返して厚さ
０．２０ｍｍの薄板としたもの２種類について結晶粒を
調査した。その結果、３回繰り返したものは、結晶粒が
整粒でほぼ均一なサイズとなっており、結晶粒度番号
（ＪＩＳ Ｇ ０５５１）がＮｏ．９．５であった。し
かし、２回繰り返したのみのものは、結晶粒が混粒とな
っており、粒度番号がＮｏ．９．５のものとＮｏ．７の
ものが混在していた。
【００２６】
【発明の効果】本発明によれば、シャドウマスク用材料
の偏析が解消され、エッチング後のスジムラ品位が改善
されるだけでなく、コスト面から見ても量産性のあるプ
ロセスであるため、従来技術程度のコストにて優れたエ
ッチング性を有するシャドウマスク材の生産が可能であ
る。
の偏析が解消され、エッチング後のスジムラ品位が改善
されるだけでなく、コスト面から見ても量産性のあるプ
ロセスであるため、従来技術程度のコストにて優れたエ
ッチング性を有するシャドウマスク材の生産が可能であ
る。
Claims (4)
- 【請求項１】 重量％で、Ｎｉを３４〜３８％含有し、
残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系合金を、熱間圧延に
より厚さ：２〜２０ｍｍの板材とした後、温度：１２５
０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条件で連続加
熱処理することを特徴とするエッチング性に優れたシャ
ドウマスク材の製造方法。 - 【請求項２】 重量％で、Ｎｉを３４〜３８％含有し、
残部Ｆｅを主体とするＦｅ−Ｎｉ系溶湯を、連続鋳造に
より厚さ：２〜２０ｍｍの板材とした後、温度：１２５
０℃〜１４００℃、保持時間：１ｈ以下の条件で連続加
熱処理することを特徴とするエッチング性に優れたシャ
ドウマスク材の製造方法。 - 【請求項３】 連続加熱処理における加熱手段が、通電
加熱方式かまたは誘導加熱方式であることを特徴とする
請求項１または２に記載のエッチング性に優れたシャド
ウマスク材の製造方法。 - 【請求項４】 請求項１ないし３のいずれかに記載のシ
ャドウマスク材を用いて、冷間圧延−焼鈍の組合せを３
回以上繰り返して仕上げ帯材とすることを特徴とするエ
ッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064456A JP2000256747A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | エッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11064456A JP2000256747A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | エッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000256747A true JP2000256747A (ja) | 2000-09-19 |
Family
ID=13258775
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11064456A Pending JP2000256747A (ja) | 1999-03-11 | 1999-03-11 | エッチング性に優れたシャドウマスク材の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000256747A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7833570B2 (en) | 2007-07-09 | 2010-11-16 | Sony Corporation | Dimensional stabilization of precision etched masks |
-
1999
- 1999-03-11 JP JP11064456A patent/JP2000256747A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7833570B2 (en) | 2007-07-09 | 2010-11-16 | Sony Corporation | Dimensional stabilization of precision etched masks |
| US7972442B2 (en) | 2007-07-09 | 2011-07-05 | Sony Corporation | Photoplate for OLED deposition screen |
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