JP2000251741A

JP2000251741A - ディスプレイパネル用部材およびその製造方法

Info

Publication number: JP2000251741A
Application number: JP5551499A
Authority: JP
Inventors: Yoshiki Masaki; 孝樹正木; Takeshi Horiuchi; 健堀内; Akiko Okino; 暁子沖野
Original assignee: Toray Industries Inc
Current assignee: Toray Industries Inc
Priority date: 1999-03-03
Filing date: 1999-03-03
Publication date: 2000-09-14

Abstract

(57)【要約】【課題】良好な隔壁パターンを形成し、焼成後に得られ
る隔壁が白色で、全光線反射率が高く、輝度および色純
度の高いディスプレイパネル用部材を得る。【解決手段】隔壁が形成されたディスプレイパネル用部
材であって、該隔壁がＸＹＺ表色系における刺激値Ｙの
値が５０〜９０の白隔壁であり、隔壁の炭素含有量が
０．１重量％以下であることを特徴とするディスプレイ
パネル用部材。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明は隔壁（障壁、リブ、
スペーサーともいう）を有するディスプレイパネル部材
およびその製造方法に関するものであり、プラズマディ
スプレイパネル（ＰＤＰ）、プラズマアドレス液晶ディ
スプレイ、電子放出素子を用いた画像表示装置などに用
いることができる。

【従来の技術】大きく重いブラウン管に代わる画像表示
装置として、軽い薄型のいわゆるフラットパネルディス
プレイが注目されている。フラットパネルディスプレイ
として液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）が盛んに開発されて
いるが、これには画像が暗い、視野角が狭いといった短
所がある。一方、自発光型の放電型ディスプレイである
ＰＤＰや電子放出素子を用いた画像表示装置は、液晶デ
ィスプレイに比べて明るい画像が得られると共に、視野
角が広い、さらに大画面化、高精細化の要求に応えられ
ることから、そのニーズが高まりつつある。電子放出素
子を用いた画像表示装置は、平面でかつ明るく見やすい
などの利点を有している。電子放出素子には、熱電子放
出素子と冷陰極電子放出素子がある。冷陰極電子放出素
子には電界放出型(ＦＥ型）、金属／絶縁層／金属型(Ｍ
ＩＭ型）や表面伝導型などがある。このような冷陰極電
子源を用いた画像形成装置は、それぞれのタイプの電子
放出素子から放出される電子ビームを蛍光体に照射して
蛍光を発生させることで画像を表示するものである。こ
の装置において、前面ガラス基板(フェースプレートと
もいう）と背面ガラス基板(素子基板ともいう）にそれ
ぞれの機能を付与して用いるが、背面ガラス基板には、
複数の電子放出素子とそれらの素子の電極を接続するマ
トリックス状の配線が設けられる。これらの配線は、電
子放出素子の電極部分で交差することになるので絶縁す
るための絶縁層(誘電体層）が設けられる。さらに両基
板の間で耐大気圧支持部材として隔壁が形成される。Ｐ
ＤＰは、液晶ディスプレイに比べて高速の表示が可能で
あり、かつ大型化が容易であることからＯＡ機器および
情報表示装置などの分野に浸透している。また、高品位
テレビジョンの分野などでの進展が非常に期待されてい
る。ＰＤＰは、前面ガラス基板と背面ガラス基板との間
に設けられた隔壁で仕切られた放電空間内で対向するア
ノード電極およびカソード電極間にプラズマ放電を生じ
させ、この空間内に封入されているガスから発生する紫
外線を放電空間内に塗布された蛍光体に当てることによ
って表示を行うものである。プラズマアドレス液晶（Ｐ
ＡＬＣ）ディスプレイは、ＴＦＴ−ＬＣＤのＴＦＴ（薄
膜トランジスター）アレイ部分をプラズマチャネルに置
き換えたもので、プラズマ部分以外は基本的にＴＦＴ−
ＬＣＤと同じ構造である。また、プラズマ発生部分につ
いては、ＰＤＰにおける技術が適用されている。これら
の隔壁は、スクリーン印刷法、サンドブラスト法、アデ
ィティブ（埋め込み）法、加圧成型法、型転写法、感光
性ペースト法などの方法で形成される。スクリーン印刷
法は、ガラスペーストをスクリーン印刷版によりパター
ン状に塗布する方法であり、隔壁形成の方法として最も
一般的なものであるが、高精細で大画面を有するディス
プレイへの適用には困難がある。サンドブラスト法はガ
ラスペースト塗布膜上に形成したフォトレジストのパタ
ーンを利用して、ガラスペースト膜をサンドブラストし
て隔壁パターンを形成する。また、フォトレジストで形
成した溝にガラスペーストを埋め込む方法やガラスペー
ストの塗布膜にパターンを有する金型を押し当てて隔壁
パターンを形成する方法も提案されている。高精細で大
面積化にも対応できる方法としてガラスペーストに感光
性を付与して、紫外線などの活性光線を照射してパター
ニングを行う感光性ペースト法も開発されている。それ
ぞれの隔壁形成方法は、目的とするディスプレイパネル
用部材のサイズや隔壁パターンの精細度などにより選択
して適用することができる。これらはいずれも隔壁パタ
ーンの形成方法であり、隔壁を得るには、さらに焼成工
程を経ることが必要である。ＰＤＰの場合、蛍光体層か
らの発光の効率を向上するために隔壁の反射率を高くし
てディスプレイの品質を高める必要性が増加している。
すなわち、隔壁が着色していたり、光の透過率が高い
と、隔壁側面や隔壁間の底面に塗布されている蛍光体層
から発光される表示光の反射が不足し、さらに、隣の隔
壁間の蛍光体層の表示光の洩れ混みが起こり、輝度が高
く色純度の良好なディスプレイが得られない。これに対
し、特公平６−４４４５２号公報には、ガラス粉末とそ
れと異なる屈折率を有する充填材との混合物を用いた白
隔壁の形成が提案されているが、色純度や輝度の向上に
ついては十分でなかった。また、特開平８−１３８５５
９号公報および特開平４−４７６３９号公報には、形成
された隔壁の表面または底面に、表示に特定な波長の光
のみを反射する反射膜を形成する方法が提案されてい
る。しかしながら、隔壁自体を白色化してパネルとして
の表示品質を向上させるというものではなかった。

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、良好
なパターニングが可能で、輝度や色純度向上に寄与する
反射率の高い白色隔壁を有するディスプレイパネル用部
材を提供することにある。

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、隔壁が
形成されたディスプレイパネル用部材であって、該隔壁
がＸＹＺ表色系における刺激値Ｙの値が５０〜９０の白
隔壁であり、隔壁の炭素含有量が０．１重量％以下であ
ることを特徴とするディスプレイパネル用部材によって
達成される。また、本発明の目的は、ガラス材料５０〜
９０重量％、フィラー１０〜５０重量％を含む無機粉末
と感光性有機成分とを必須成分とする感光性ペーストを
基板上に塗布し、フォトリソグラフィ法で隔壁パターン
を形成した後、焼成して炭素含有量が０．１重量％以
下、ＸＹＺ表色系における刺激値Ｙの値が５０〜９０で
ある白隔壁を形成することを特徴とするディスプレイパ
ネル用部材の製造方法によって達成される。

【発明の実施の形態】隔壁が形成されたディスプレイパ
ネル用部材において、隔壁によって蛍光体層からの発光
を反射し、輝度や色純度を向上させるために、隔壁の白
色化が好ましい。白色度としては、輝度や色純度を十分
に向上させるためには、ＸＹＺ表色系における刺激値Ｙ
の値が５０〜９０である。光源色の３刺激値ＸＹＺおよ
びそれらから求められる色度座標のｘ、ｙは、ＪＩＳ
Ｚ８７２２（物体色の測定方法）、ＪＩＳＺ８７１７
（蛍光物体色の測定方法、ＪＩＳＺ８７０１（ＸＹＺ
表色系およびＸ₁₀Ｙ₁₀Ｚ₁₀表色系における色の表示方
法）に規定された方法で求められる。これらの刺激値や
色度座標を測定する装置としては、一般的に、カラーコ
ンピューターが用いられるが、本発明で表示する値は、
スガ試験機（株）製カラーコンピューターＳＭ−７−Ｃ
Ｈ（光学条件４５°照明、０°受光）を用いて測定した
ものである。刺激値Ｙを５０〜９０にすることが反射率
を高くし、ディスプレイの輝度向上に有効である。刺激
値Ｙが５０より小さいと隔壁に光が吸収され輝度が下が
る。また刺激値Ｙが９０より大きいと消灯時にも画面が
白く見えるため、コントラスト、色純度の低下が起こ
る。隔壁を白色化する技術としては、白色のフィラーを
添加する技術が知られているが、色純度や輝度の向上に
ついては十分でなかった。本発明においては、十分な色
純度や輝度が得られない原因が、隔壁中に含まれる炭素
の含有量にあることを見いだした。すなわち本発明の隔
壁は、白隔壁であり炭素含有量が０．１重量％以下であ
ることが特徴である。隔壁の炭素含有量が０．１重量％
を越えると、たとえ白色フィラーを添加するなどのこと
を行っても、ディスプレイの放電時に表示光が隔壁に吸
収されて輝度、コントラストが低下する。隔壁の炭素含
有量は、隔壁形成に用いるペーストの成分である有機物
に由来するものである。すなわち、焼成の際のガラス成
分が溶融固化する際に、有機物がガラス中に残留するた
めと推定される。さらに、炭素含有量が多いと放電電圧
の経時変化が大きくなり、輝度低下や放電特性の低下が
起こるため好ましくない。炭素含有量は０．０８重量％
以下であることがより好ましい。本発明の炭素含有量の
測定は、ＪＩＳＺ２６１５−１９７９（金属材料の炭
素定量方法通則）に準拠するものであり、管状電気抵抗
炉加熱−赤外線吸収法を用いる。赤外線吸収法は、試料
を酸素気流中で加熱し、炭素を十分に二酸化炭素とし、
燃焼ガス中の水分を除去した後、赤外線吸収セルに導
き、二酸化炭素による赤外線吸収量を積分法または循環
法で測定する方法であり、原則として炭素０．００１重
量％以上の試料に適用される。測定装置は堀場製作所製
ＥＭＩＡ−８１０型である。その校正には、ＪＳＳ１５
５−１２（鉄鋼）を用い、標準値０．０４１％に対し
て、０．０４１１％を検出することを確認している。測
定試料は、隔壁粉末１００ｍｇを使用して繰り返し数２
で測定した。測定値の単位は重量％である。本発明の隔
壁は、全光線反射率が５０％以上であることが好まし
い。反射率の測定の条件は下記の通りである。測定装置：ＵＶ−３１０１ＰＣ型自記分光光度計（島津製作所製）スリット幅：７．５ｎｍ測定速度：SLOW(約４points/sec) 光源：ハロゲンランプ(340nm以上）検出器：ＰＭＴ(860nm以下）副白板：ＢａＳＯ₄ 入射角：８度測定に用いた試料は、ガラス基板に隔壁形成用ペースト
をスクリーン印刷法で全面に塗布し乾燥した後、５７０
℃で１５分間焼成した厚さ約３０μｍの膜である。全光
線反射率（Ｒｔ）は入射角８度で入射した光の全反射を
測定したものである。隔壁によって表示光を反射して輝
度を高め、色純度を向上させるには、隔壁の全光線反射
率は５０％以上であることが好ましく、より好ましくは
７０％以上、さらに好ましくは８０％以上である。全光
線反射率が高いことは、蛍光体層からの発光を高い割合
で開口部から外部に放射することになり輝度を高めると
共に、隣の発光色への影響を遮断することができ、それ
ぞれの発光色の色純度が高まるからである。本発明の隔
壁は、ガラス転移点４５０〜５５０℃、軟化点５００〜
６００℃であるガラス材料を用いることが好ましい。ガ
ラス転移点が４５０℃以下では、ディスプレイ形成の後
工程において隔壁が変形するという問題があり、軟化点
が６００℃を越えると焼成時に溶融せずに強度の低い隔
壁になるという問題が生じる。さらに、このガラス材料
は平均屈折率が１．４５〜１．６５を有することが好ま
しい。ガラス材料が有機成分中に分散・混合されている
ペーストの塗布膜を用いて、フォトリソグラフィ法で高
アスペクト比で高精細なパターンを形成する場合、構成
成分の平均屈折率を整合させることが必要条件である。
構成成分の屈折率が異なる場合には、パターン間の不要
な硬化などの障害が起こる。光の散乱を抑制し、パター
ン形成に用いる光をペースト塗布膜の最下部まで透過さ
せるにはガラス材料と有機成分との平均屈折率の差を
０．０５以下にすることが好ましい。一般的な有機成分
の屈折率は１．４５〜１．７程度であり、屈折率を整合
させるためには、ガラス粉末の平均屈折率を１．４５〜
１．６５とすることが重要な要件となる。このような熱
特性と平均屈折率を有するガラス材料としては、次の組
成を含むものが好ましい。酸化リチウム３〜１５重量％酸化珪素１０〜５０重量％酸化ホウ素２０〜４０重量％酸化バリウム２〜１５重量％酸化アルミニウム６〜２５重量％酸化リチウムを３〜１５重量％含有するガラス粉末を用
いることによって、ガラスの軟化点、熱膨張係数のコン
トロールが容易になるだけでなく、ガラスの平均屈折率
を低くすることができるため、有機物との屈折率差を小
さくすることが容易になる。酸化リチウムを含めてアル
カリ金属の酸化物の添加量はペーストの安定性を向上さ
せるためには、１８重量％以下が好ましく、より好まし
くは１５重量％以下である。酸化珪素は１０〜５０重量
％の範囲で配合することが好ましい。１０重量％以上と
することによりガラス層の緻密性、強度や安定性を向上
させ、また熱膨張係数がガラス基板の値に近いものとな
り、従ってガラス基板とのミスマッチによる剥離などを
防ぐことができる。５０重量％以下にすることによっ
て、軟化点が低くなり、ガラス基板への焼き付けが可能
になるなどの利点がある。酸化ホウ素は２０〜４０重量
％の範囲で配合することが好ましい。４０重量％以下と
することでガラスの安定性を保つことができる。２０重
量％以上とすることで強度やガラスの安定性を向上させ
ることができる。酸化バリウムは２〜１５重量％の範囲
で用いることが好ましい。２重量％以上とすることでガ
ラス焼き付け温度および電気絶縁性を制御できる。ま
た、１５重量％以下とすることで隔壁層の安定性や緻密
性を保つことができる。酸化アルミニウムは６〜２５重
量％の範囲で用いられ、ガラスの歪み点を高めたり、ガ
ラス組成の安定化やペーストのポットライフ延長のため
に添加される。６重量％以上とすることで、隔壁層の強
度を向上させることができる。２５重量％以下とするこ
とで、ガラスの耐熱温度が高くなり過ぎてガラス基板上
に焼き付けが難しくなることを防ぎ、また、緻密な隔壁
層を６００℃以下の温度で得ることができる。上記の組
成には表記されていないが、酸化カルシウムあるいは酸
化マグネシウムが加えられることがあるが、好ましくは
それぞれ２〜１０重量％および１〜１０重量％の範囲で
ある。酸化カルシウムや酸化マグネシウムは、ガラスを
溶融しやすくすると共に熱膨張係数を制御するために添
加される。酸化カルシウムが２重量％より少ないと、歪
み点が低くなり過ぎる。また、酸化マグネシウムが１０
重量％を越えると失透しやすくなり好ましくない。本発
明の隔壁は、上記のようなガラス材料５０〜９０重量％
とフィラー１０〜５０重量％を含有することが好まし
い。フィラーの添加は、隔壁パターンを焼成する工程で
の焼成収縮率を小さくする効果を有し、隔壁の剥離や変
形を抑制すると共に隔壁の形状および強度保持性を向上
させる。その添加量が１０重量％未満では添加による効
果が十分発揮されず、５０重量％を越えると、隔壁の強
度が低下するなどの問題を発生するので好ましくない。
このような効果を発揮するフィラーとして、アルミナ、
ジルコニア、ムライト、コーディエライト、スピネル、
チタニア、酸化亜鉛、セリア、シリカおよび高融点ガラ
スからなる群から選ばれた少なくとも一種を用いること
が好ましい。用いるフィラーが一種であってもその粒子
の形状、平均粒子径や粒径分布の異なるものを混合して
使用することや、種々の形状、平均粒子径や粒径分布を
有する２種以上のフィラーを混合して用いることも可能
である。さらに本発明においては、フィラーを少なくと
も２種類用い、平均粒子径１．５〜５μｍのフィラーＡ
と平均粒子径０．００５〜０．０８μｍのフィラーＢを
用いることが好ましい。本発明において粒子径は、レー
ザー回折散乱法を利用した粒度分布計（マイクロトラッ
クＨＲＡ粒度分布計ＭＯＤＥＬＮｏ．９３２０−Ｘ１
００）を用いて測定した。測定条件は下記の通り。測定量：１ｇ分散条件：精製水中で１〜１．５分間超音波分散。分
散しにくい場合は０．２％ヘキサメタリン酸ナトリウム
水溶液中で行う。粒子屈折率：無機粉末の種類によって変更する。溶媒屈指率：１．３３測定数：２回フィラーＡは、焼成後の隔壁の強度を保持し、焼成収縮
率を小さくする効果に加えて、形状保持率を高める効果
がある。また、反射率を上げる効果もある。フィラーＢ
は、特に反射率を一層高める効果がある。フィラーＡだ
けでは、強度を保持しながら反射率を上げるには、限界
がある。フィラーＡを多く添加し過ぎると、焼結温度が
高くなりすぎて５８０℃以下の焼結が難しくなる。５８
０℃より温度を上げるとガラス基板の耐熱性が悪くな
り、基板の変形（歪み）が大きくなり、高精度な隔壁形
成ができなくなる。フィラーＡとフィラーＢをバランス
よく添加することが重要である。フィラーＡを５〜３０
重量％、フィラーＢを５〜２０重量％、合計で１０〜５
０重量％用いることが好ましい。フィラーＢとしては、
特に反射率の高い微粒子の酸化物粉末を用いるのが好ま
しい。本発明の隔壁のパターニングには従来の技術の項
に記述した種々の方法を適用することができるが、高精
細でかつ大画面化に対応する隔壁パターンの形成には、
感光性ペースト法を用いることが好ましい。この場合、
塗布されたペースト膜の底部まで露光された紫外線を透
過させることが必要であり、さらにペースト膜内での紫
外線の散乱をできるだけ少なくすることが所望の形状の
隔壁パターンを得るために必要である。このため、ペー
ストを構成するガラス材料やフィラーからなる無機粉末
と有機成分とは十分に混合・混練されて無機粉末が均一
に分散されていること、無機粉末は凝集することなく単
分散していること、用いる無機粉末の平均屈折率と有機
成分の平均屈折率が整合していることなどの条件を満足
するペーストを用いることが重要である。有機成分の平
均屈折率に整合させる無機粉末を構成するガラス材料の
平均屈折率は、ガラス成分の配合により調整することが
可能である。しかしながら、ペースト塗膜状態でできる
だけ光線透過率を上げたいという要求と焼成された後の
隔壁では、できるだけ光線反射率をあげるという要求と
を両立させるフィラーを見出すことが難しい。フィラー
Ａとしては、平均屈折率が１．４５〜１．６５を示す高
融点ガラスまたはコーディエライトから選ばれた少なく
とも一種を用いることが好ましい。ガラス材料および有
機成分の平均屈折率と整合する屈折率を有する高融点ガ
ラスとコーディエライトから選ばれたものとすることに
よって、パターン形成性を悪化させることが少ない。高
融点ガラスとしては、ガラス転移点５００〜１２００
℃、軟化点５５０〜１２００℃を有するものが好まし
い。このような高融点ガラスは、酸化珪素および酸化ア
ルミニウムをそれぞれ１５重量％以上含有する組成を有
するものが好ましく、これらの含有量合計が５０重量％
以上であることが必要な熱特性を得るのに有効である。
より詳しくは、酸化物換算組成で以下の組成を含むもの
が好ましい。酸化珪素１５〜５０重量％酸化ホウ素５〜２０重量％酸化バリウム２〜１０重量％酸化アルミニウム１５〜５０重量％高融点ガラスをフィラーＡとして用いる場合、配合され
るガラス材料の平均屈折率と整合した平均屈折率を有す
るように組成配分を考慮することが好ましい。るコーデ
ィエライトの屈折率は１．５８であり、本発明の成分と
して好適である。本フィラーＢとしては、アルミナ、ジ
ルコニア、チタニア、イットリア、セリア、酸化亜鉛お
よびシリカの群から選ばれた少なくとも一種を用いるこ
とが好ましい。これらの酸化物フィラーは、白色度が高
く、凝集の少ない微粒子であるので好ましく用いられ
る。この中で、特にシリカとアルミナは、屈折率が低い
ため有機成分の屈折率に近付けることができるので好ま
しい。フィラーＢの平均粒子径は、０．００５〜０．０
８μｍが好ましく、より好ましく用いられるのは０．０
０５〜０．０５μｍである。０．００５μｍ未満の平均
粒子径を有するフィラーは、微細になりすぎて凝集しや
すくなりペースト中に均一に充填・分散することが技術
的に難しくなり、ペーストのパターニング性が悪化す
る。一方、０．０８μｍを超える平均粒子径のフィラー
を用いた場合には、フィラー粒子が大きくなり過ぎてパ
ターニング性が低下するようになり好ましくない。これ
らのフィラーの粒径が上記範囲にあると、感光性ペース
ト法を用いる場合であっても、露光する光の波長である
３５０〜４２０ｎｍより小さいので、ペースト中に分散
して存在してもパターン露光の妨げにならない。従っ
て、フィラーはペースト塗布膜段階では、パターン形成
に悪影響を与えることがなく、焼成後の隔壁の白色化に
有効に作用する。このような微細な平均粒子径を有する
フィラーＢの添加による隔壁の反射率の向上効果の原因
については、必ずしも明らかではないが、焼成後に隔壁
が完全に緻密化されず微細な気泡などのボイドがフィラ
ーＡ粒子間に均一な状態で存在し、かつ微細なフィラー
Ｂの粒子による散乱によって隔壁を白色化して反射率の
向上効果を示すものと推定している。これらのフィラー
成分をペーストの中に均一分散したものを用いることに
より、種々の隔壁パターン形成法で優れた形状の隔壁パ
ターンを形成することができ、かつ、焼成した隔壁の炭
素含有量を低く、全光線反射率を高くすることができ
る。本発明のディスプレイパネル用部材は、次のように
して製造することが好ましいが、これに限定されるもの
ではない。すなわち、ガラス材料５０〜９０重量％とフ
ィラー１０〜５０重量％からなる無機粉末と感光性有機
成分とを必須成分とする感光性ペーストを基板上に塗布
し、フォトリソグラフィ法で隔壁パターンを形成した
後、焼成することで隔壁を形成する。感光性有機成分と
しては、露光する光を吸収して生起する重合および／ま
たは架橋反応などによって光硬化して溶剤に不溶になる
型の感光性成分を用いることが好ましい。すなわち、感
光性有機成分は、感光性モノマー、オリゴマーもしくは
ポリマーを主成分とし、光重合開始剤を含有する。感光
性有機成分には、必要に応じて紫外線吸収剤、重合禁止
剤、増感剤、可塑剤、増粘剤、酸化防止剤、分散剤、そ
の他の添加剤を加えることもできる。感光性モノマーと
しては、活性な炭素−炭素二重結合を有する化合物が好
ましく、官能基として、ビニル基、アリル基、アクリレ
ート基、メタクリレート基、アクリルアミド基を有する
単官能および多官能化合物が応用される。特に多官能ア
クリレート化合物および／または多官能メタクリレート
化合物を有機成分中に１０〜８０重量％含有させたもの
が好ましい。多官能アクリレート化合物および／または
多官能メタクリレート化合物には多様な種類の化合物が
開発されているので、それらから反応性、屈折率などを
考慮して選択することが可能である。感光性有機成分の
屈折率を制御する方法として、屈折率１．５５〜１．７
を有する感光性モノマーを選んで含有させて、感光性有
機成分の平均屈折率を無機微粒子材料の平均屈折率に近
づける方法が簡便である。このような高い屈折率を有す
る感光性モノマーは、ベンゼン環、ナフタレン環などの
芳香環や硫黄原子を含有するアクリレートもしくはメタ
クリレートモノマから選択することができる。感光性有
機成分として、光反応で形成される硬化物物性の向上や
ペーストの粘度の調整などの役割を果たすと成分として
オリゴマーもしくはポリマーが加えられる。これらのオ
リゴマーもしくはポリマーは、炭素−炭素二重結合を有
する化合物から選ばれた成分の重合または共重合により
得られた炭素連鎖の骨格を有するものである。特に、分
子側鎖にカルボキシル基と不飽和二重結合を有する重量
平均分子量２０００〜６万、より好ましくは３０００〜
４万のオリゴマーもしくはポリマーが用いられる。側鎖
のカルボキシル基を有するので、感光後に未露光部分を
アルカリ水溶液で現像できる感光性ペーストを与えるこ
とができる。このような側鎖にカルボキシル基などの酸
基を有するオリゴマーもしくはポリマーの酸価は５０〜
１５０、好ましくは７０〜１２０の範囲になるようにコ
ントロールすることが好ましい。感光性オリゴマーもし
くはポリマーを得るために、不飽和二重結合を導入する
には、カルボキシル基を側鎖に有するオリゴマーもしく
はポリマーに、グリシジル基やイソシアネート基を有す
るエチレン性不飽和化合物やアクリル酸クロライド、メ
タクリル酸クロライドまたはアリルクロライドを付加反
応させるとよい。さらに、上記のようにカルボキシル基
を側鎖に有するオリゴマーもしくはポリマーに不飽和二
重結合を導入して感光性を付与するには、カルボキシル
基とアミン系化合物との間で塩結合を形成させる方法を
用いることもできる。例えば、ジアルキルアミノアクリ
レートやジアルキルアミノメタクリレートを反応させて
塩結合を形成してアクリレートまたはメタクリレート基
を感光性基とすることができる。エチレン性不飽和基数
は、反応条件により適宜選択することができる。光反応
を開始するために、さらに光重合開始剤を添加すること
が好ましい。場合によって光重合開始剤の効果を補助す
るために増感剤を加えることがある。光重合開始剤に
は、１分子系直接開裂型、イオン対間電子移動型、水素
引き抜き型、２分子複合系など機構的に異なる種類があ
り、それらから選択して用いられる。感光性ペーストの
無機粉末と感光性有機成分との配合比率としては、６０
／４０〜９０／１０（重量部）が好ましい。さらに、６
５／３５〜８５／１５（重量部)であることが焼成収縮
率の点からも好ましい。感光性ペーストは、通常、無機
粉末、感光性モノマー、オリゴマーもしくはポリマー、
光重合開始剤を基本成分とし、必要に応じてその他の添
加剤および溶媒などの各種成分を所定の組成となるよう
に調合した後、３本ローラや混練機で均質に混合・分散
することにより製造することができる。感光性ペースト
の粘度は、有機溶媒により１万〜２０万ｃｐｓ(センチ
・ポイズ）程度に調整して使用される。この時使用され
る有機溶媒としては、メチルセロソルブ、エチルセロソ
ルブ、ブチルセロソルブ、メチルエチルケトン、ジオキ
サン、アセトン、シクロヘキサノン、シクロペンタノ
ン、イソブチルアルコール、イソプロピルアルコール、
テトラヒドロフラン、ジメチルスルフォキシド、γ−ブ
チロラクトンなどやこれらのうちの１種以上を含有する
有機溶媒混合物が挙げられる。本発明のディスプレイパ
ネル用部材では、隔壁はガラス基板上に直接形成する場
合もあるが、多くはガラス基板上の電極を被覆するよう
に形成されている誘電体層の上に形成される。いずれの
場合においても、感光性ペーストを塗布する前に、塗布
面の表面処理を行って接着性を向上させることが有効で
ある。このような表面処理にはシラン系カップリング剤
や金属アルコキシ化合物などが用いられる。感光性ペー
ストの塗布は、スクリーン印刷法、バーコーター法、ロ
ールコータ法、ドクターブレード法などの一般的な方法
で行うことができる。塗布厚さは、所望の隔壁の高さと
ペーストの焼成収縮率を考慮して決めることができる。
塗布・乾燥した感光性ペースト膜にフォトマスクを介し
て露光を行って、隔壁パターンを形成する。露光の際、
ペースト塗布膜とフォトマスクを密着して行う方法と一
定の間隔をあけて行う方法（プロキシミティ露光）のい
ずれを用いてもよい。露光用の光源としては、水銀灯や
ハロゲンランプが適当であるが、超高圧水銀灯が最もよ
く使用される。超高圧水銀灯を光源として、プロキシミ
ティ露光を行うのが一般的である。露光条件はペースト
の塗布膜厚さによって異なるが、５〜６０ｍＷ／ｃｍ²
の出力の超高圧水銀灯を用いて２０秒〜１０分間露光を
行う。露光後、露光部分と未露光部分の現像液に対する
溶解度差を利用して、現像を行うが、この場合、浸漬
法、スプレー法、ブラシ法などが用いられる。本発明で
好ましく用いられる感光性ペーストは、側鎖にカルボキ
シル基を有するので、アルカリ水溶液での現像が可能に
なる。アルカリとしては、有機アルカリ水溶液を用いた
方が焼成時にアルカリ成分を除去し易いので好ましい。
有機アルカリとしては、一般的なアミン化合物を用いる
ことができる。具体的には、テトラメチルアンモニウム
ヒドロキサイド、トリメチルベンジルアンモニウムヒド
ロキサイド、モノエタノールアミン、ジエタノールアミ
ンなどがあげられる。アルカリ水溶液の濃度は通常０．
０５〜２重量％、より好ましくは０．１〜０．８重量％
である。アルカリ濃度が低すぎれば可溶部が完全に除去
されず、アルカリ濃度が高すぎれば、露光部のパターン
を剥離させたり、侵食したりするおそれがある。現像時
の温度は、２０〜５０℃で行うことが工程管理上好まし
い。感光性ペーストの塗布膜から露光・現像の工程を経
て形成された隔壁パターンは次に焼成炉で焼成されて、
有機成分を熱分解して除去し、同時に無機粉末成分中の
低融点ガラスを溶融させて無機質の隔壁を形成する。焼
成雰囲気や温度は、ペーストや基板の特性によって異な
るが、通常は、空気中で焼成される。焼成炉としては、
バッチ式の焼成炉やベルト式の連続型焼成炉を用いるこ
とができる。バッチ式の焼成を行うには通常、隔壁パタ
ーンが形成されたガラス基板を室温から５００℃程度ま
で数時間掛けてほぼ等速で昇温した後、焼成温度として
設定された５２０〜５７０℃に３０〜１２０分間で上昇
させて、約１５〜３０分間保持して焼成を行う。焼成温
度は用いるガラス基板のガラス転移点より低くなければ
ならないので自ずから上限が存在する。焼成温度が高す
ぎたり、焼成時間が長すぎたりすると隔壁の形状にダレ
などの欠陥が発生する。また、有機成分に含まれる感光
性モノマー、オリゴマーもしくはポリマー、種々の添加
剤の熱分解特性とガラス材料の熱特性が不釣り合いにな
ると、炭素含有量が増加して隔壁が褐色に着色したり、
隔壁が基板から剥がれたりする欠陥が発生する。このよ
うにして得られた隔壁に挟まれたセル内に、赤、緑、青
に発光する蛍光体ペーストを塗布してプラズマディスプ
レイパネル用の背面基板が構成される。この背面基板と
前面基板とを張り合わせた後、封着、ガス封入してプラ
ズマディスプレイが作製される。これらの技術は、プラ
ズマアドレス液晶ディスプレイおよび電子放出素子を用
いたディスプレイにおいても、好ましく適用される。

【実施例】以下、実施例を用いて本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらに限定されるものではない。な
お、濃度（％）は特に断らない限り重量％である。実施例１組成（分析値）が、酸化リチウム６．８％、酸化珪素２
３％、酸化ホウ素３３％、酸化バリウム４．５％、酸化
アルミニウム１９．５％、酸化亜鉛２．８％、酸化マグ
ネシウム５．８％、酸化カルシウム４．６％のガラス材
料を用いた。このガラス材料は、ガラス転移点４９７
℃、軟化点５３０℃、熱膨張係数７５×１０^-7／Ｋ、平
均粒子径２．６μｍ、トップサイズ２４μｍで、屈折率
は１．５９であった。このガラス材料７５％とコーディ
エライト粉末（平均粒子径２．１μｍ、トップサイズ１
１μｍ、熱膨張係数３０×１０^-7／Ｋ、屈折率１．５
８）２５％からなる無機粉末を使用した。この無機粉末
をエチルセルロースをバインダーとして隔壁形成用ペー
ストを調製した。溶剤はテルピネオールを用いた。この
隔壁形成用ガラスペーストをバーコーターで塗布し、塗
布厚み２３０μｍの塗布膜を作成し、暫く自然乾燥した
後、８０℃で３０分間乾燥した。この状態で開口部幅が
５５μｍ、底部幅が４５μｍ、深さ１５０μｍの凹部が
１５０μｍピッチで形成された金型を押し当てて隔壁パ
ターンを形成した。型を外した後、さらに８０℃で１時
間乾燥した。バッチ式焼成炉に入れて、ゆっくり５００
℃まで等速で昇温した後、３０分で５６０℃とし、この
温度に保持して２０分間焼成した。得られた隔壁の形状
は台形で、隔壁の頂部幅は３５μｍで高さは１１０μｍ
であった。隔壁のＹ値は７８であり、白色を呈し、その
炭素含有量は０．０５％であり、全光線反射率は６０％
であった。実施例２実施例１で形成した隔壁形成用ガラスペーストを幅５０
μｍのストライプ状開口部を２００μｍピッチで有する
スクリーン印刷版を用いて印刷し乾燥することを繰り返
して高さ１３０μｍの隔壁パターンを形成した。実施例
１と同様の焼成工程を経て得られた隔壁は線幅３５μｍ
で高さ１００μｍであった。この隔壁のＹ値は８０、炭
素含有量は０．０６％であり、全光線反射率は５８％で
あった。実施例３実施例１で用いたガラス材料７５％とコーディエライト
２５％からなる無機粉末を用いた。このように配合した
無機粉末に対して、紫外線吸光剤をコーティング処理し
た。紫外線吸光剤としては、スダンIV（アゾ系有機染料
東京化成工業（株）製）をガラス材料に対して０．０
８％使用した。紫外線吸収剤処理した無機粉末７０重量
部に、感光性有機成分として、感光性ポリマ（Ｘ−４０
０７）１５重量部、感光性モノマ（ＭＧＰ４００）１５
重量部、光重合開始剤（ＩＣ−３６９）３重量部および
増感剤（ＤＥＴＸ−Ｓ）１．８重量部を配合し感光性ペ
ーストを作製した。感光性ペーストは、有機成分の各成
分および紫外線吸光剤処理した無機粉末を混合し、３本
ローラーで混練するという手順で作製した。粘度はγ−
ブチロラクトンの量で調整したが、ペースト中の溶媒量
は１０〜４０％になるように調整した。高歪み点ガラス
基板ＰＤ−２００（旭硝子製）上に、得られた感光性ペ
ーストをスクリーン印刷により、均一に塗布した。塗布
膜にピンホールなどの発生をなくすために塗布・乾燥を
数回繰り返し行い、乾燥厚みが１８０μｍになるように
塗布した。途中の乾燥は８０℃で１０分間行った。所定
の厚みに塗布した後、８０℃で４０分乾燥した。次にプ
ラズマディスプレイ用の隔壁パターン形成を目的とした
フォトマスク（ストライプ状パターン、パターンピッチ
１５０μｍ、線幅２０μｍ）を介してパターン形成用サ
ンプルに露光ギャップ３０μｍで露光を行った。露光
は、５０ｍＷ／ｃｍ²の出力の超高圧水銀灯で１Ｊ／ｃ
ｍ²の紫外線露光を行った。その後、モノエタノールア
ミンの０．２％水溶液をシャワーで３００秒間かけるこ
とにより現像し、さらに、シャワースプレーを用いて水
洗浄し、光硬化していないスペース部分を除去してガラ
ス基板上にストライプ状の隔壁パターンを形成した。隔
壁パターンの加工を終了したガラス基板を８０℃で１５
分乾燥した後、加熱速度２００℃／時間で５７０℃まで
昇温し、その温度で１５分間保持して隔壁を形成した。
焼成により約３０％程度の収縮が生じた。隔壁パターン
の形状を電子顕微鏡観察したところ、断面形状は下部に
向かってやや広がった台形状であり、頂部の巾は３０μ
ｍであった。スペース部分に残膜はなく高アスペクト比
の隔壁パターンが得られた。焼成した後に得られる隔壁
中の炭素含有量を分析したところ、全炭素量は、０．０
４２重量％であり、Ｙ値は８５の白色の隔壁が得られ、
剥がれ等の欠点は見られなかった。この隔壁の全光線反
射率は５５％であった。実施例４下記の組成と特性を有するガラス材料を用いる他は実施
例３と同様に行った。ガラス材料の組成（分析値）：酸
化リチウム９．１％、酸化珪素２１．３％、酸化ホウ素
３２．９％、酸化バリウム４％、酸化アルミニウム２
１．９％、酸化マグネシウム６．３％、酸化カルシウム
４．５％。ガラス材料の特性：ガラス転移点４７２℃、
軟化点５１５℃、熱膨張係数８３×１０^-7／Ｋ、屈折率
１．５８、平均粒子径２．３μｍ、トップサイズ２５μ
ｍ。得られた隔壁は着色がなく、剥がれも発生しないこ
とが確認された。この隔壁の炭素含有量の分析値は０．
０６２重量％であり、Ｙ値は８２、全光線反射率は５６
％であった。実施例５フィラーとしてコーディエライトに替えて下記の高融点
ガラスを用い、ガラス材料７０％に対して、フィラーを
３０％加えた以外は実施例３と同様に行った。高融点ガ
ラスの組成は、酸化珪素３８％、酸化ホウ素９％、酸化
バリウム５％、酸化アルミニウム３５％、酸化亜鉛３
％、酸化マグネシウム５％、酸化カルシウム５％、平均
粒子径２．７μｍ、屈折率１．５８、粒状、ガラス転移
点が６５２℃、軟化点８００℃である。実施例３と同様
にして、パターン化と焼成を行ったところ、着色がな
く、剥がれのない隔壁が得られることを確認した。得ら
れた隔壁の炭素含有量の分析値は０．０３重量％、Ｙ値
は８０で白色であり、全光線反射率は６５％であった。実施例６フィラーとしてコーディエライトに替えて平均粒径０．
２４μｍのチタニアを用いた以外は実施例２と同様に行
った。焼成温度を１０℃上げた以外は、実施例２と同様
にして、隔壁パターンを形成し焼成を行ったところ、着
色のない隔壁が形成された。得られた隔壁の炭素含有量
の分析値は０．０２重量％であり、Ｙ値は７５、全光線
反射率は７５％であった。実施例７フィラーとして平均粒径０．０１２μｍのシリカ粉末
(アエロジル社製、製品番号：２００）を用いた以外は
実施例５と同様に行った。隔壁パターンを空気中、５６
０℃で３０分間焼成して白色隔壁を形成した。形成され
た隔壁の断面形状を電子顕微鏡で観察したところ、高さ
１５５μｍ、隔壁中央部の線幅３０μｍ、ピッチ１５０
μｍであった。隔壁の炭素含有量は０．０３２％であ
り、Ｙ値は７２、全光線反射率は７０％であった。電
極、誘電体層および白色隔壁が形成された基板上に、蛍
光体層を形成し、前面板と合わせた後、封着しガス封入
し駆動回路を接続してプラズマディスプレイを作製し
た。このパネルに電圧を印加して表示を行った。全面点
灯時の輝度を大塚電子社製の測光機ＭＣＰＤ−２００を
用いて測定した。輝度は４００ｃｄ／ｍ ²であった。実施例８実施例３で用いたガラス材料および実施例５で用いた高
融点ガラスとの混合物を実施例３と同様に紫外線吸収剤
処理した。一方、γ−ブチロラクトンに感光性ポリマー
（Ｘ−４００７）を４０％溶液になるように混合し、撹
拌しながら６０℃まで加熱して全てのポリマーを溶解し
た。室温の感光性ポリマー溶液に、感光性モノマー(Ｍ
ＧＰ４００）、光重合開始剤(ＩＣ−３６９）、ゲル化
防止剤（ＢＴ）、分散剤（ノプコスパース）、重合禁止
剤（ＨＱＭＥ）および可塑剤（ＤＢＰ）を加えて溶解さ
せた。その後、この溶液を４００メッシュのフィルター
を用いて濾過し、有機ビヒクルを作製した。溶剤を除去
した有機成分の配合割合は、感光性ポリマー３８％、感
光性モノマー３８％、光重合開始剤９．２％、ゲル化防
止剤８．１％、分散剤１．４％、重合禁止剤０．３％、
可塑剤４．２％である。ガラス材料、高融点ガラス(フ
ィラーＡ）および平均粒子径０．０１２μｍのシリカ粉
末(アエロジル社製、製品番号：２００）（フィラー
Ｂ）と有機ビヒクルを３本ローラで混合・分散して感光
性ペーストを得た。感光性ペーストに含まれる各成分
（重量部）は、ガラス材料５０、高融点ガラス(フィラ
ーＡ）１２、シリカ粉末(フィラーＢ）３．３、感光性
有機成分３５であった。ガラス材料、フィラーＡおよび
フィラーＢの混合比率は７６．５：１８．５：５であ
る。実施例３と同様の方法で形成された隔壁パターンを
空気中、５６０℃で３０分間焼成して隔壁を形成した。
形成された隔壁の断面形状を電子顕微鏡で観察したとこ
ろ、高さ１６０μｍ、隔壁中央部の線幅３３μｍ、ピッ
チ１５０μｍであった。得られた隔壁の炭素含有量は
０．０４％であり、Ｙ値は７４、全光線反射率は８０％
であった。実施例９フィラーＢとして平均粒子径０．０３０μｍのチタニア
粉末(石原産業製、製品番号：ＴＴＯ−５５）を用いた
以外は、実施例８と同様に行った。得られた隔壁の炭素
含有量は０．０４％であり、Ｙ値は８０、全光線反射率
は８５％であった。実施例１０ガラス材料を実施例４で用いた組成を有するものに変更
し、フィラーＢ成分として平均粒子径０．０１３μｍの
アルミナ粉末(デグサ社製、製品番号：アルミナＣ）を
用いた以外は、実施例８と同様に行った。得られた隔壁
の炭素含有量は０．０３８％であり、Ｙ値は７６、全光
線反射率は８１％であった。実施例１１ガラス材料として下記の組成を有するものを用いた。ガラス材料の組成：酸化リチウム１３％、酸化ケイ素４
７％、酸化ホウ素２１％、酸化バリウム５％、酸化アル
ミニウム８％、酸化亜鉛６％。ガラス材料の特性：平均粒径２．８μｍ、トップサイズ
２６μｍ、ガラス転移点４６０℃、軟化点５２０℃、屈
折率１．６２。フィラーＡとして以下の組成を有する高
融点ガラスを用いた。高融点ガラスの組成：酸化ケイ素３２．５％、酸化ホウ
素５．４％、酸化アルミニウム１８％、酸化亜鉛１６．
７％、酸化マグネシウム１．２％、酸化カルシウム１
４．４％、酸化チタン１１．８％。高融点ガラスの特性：平均粒径２．２μｍ、トップサイ
ズ２４μｍ、ガラス転移点６３０℃、軟化点７８０℃、
屈折率１．６４。上記のガラス材料、高融点ガラスを用
いた以外は実施例８と同様に隔壁を形成した。得られた
隔壁の炭素含有量は０．０４％であり、Ｙ値は８０、全
光線反射率は７５％であった。比較例１実施例１において、フィラー成分であるコーディエライ
トを除きガラス材料だけを用いた隔壁形成用ガラスペー
ストを使用した。得られた隔壁の炭素含有量が高く
（０．１５％）、Ｙ値は３５で褐色を呈し、全光線反射
率は３０％しかなく外観的にも白色隔壁は得られなかっ
た。比較例２隔壁パターンの焼成温度を５１０℃とした以外は実施例
３と同様に行った。得られた隔壁の炭素含有量は０．１
８％あり、Ｙ値は２２で褐色の外観を示していた。全光
線反射率は４５％であった。比較例３感光性モノマーをＭＧＰ４００に替えてＧＸとした以外
は実施例３と同様に行った。得られた隔壁はＹ値が１０
で着色が著しく、剥がれが発生した。得られた隔壁の炭
素含有量を測定したところ、０．２％であった。比較例４感光性モノマーをＭＧＰ４００に替えてＧＸとした以外
は実施例８と同様に行ったセられた隔壁はＹ値が８であ
り、着色が大で炭素含有量は０．１８％あり、全光線反
射率は４３％であった。略記号の説明Ｘ−４００７：メタクリル酸４０％、メチルメタクリレ
ート３０％およびスチレン３０％からなる共重合体のカ
ルボキシル基に対して０．４当量のグリシジルメタクリ
レートを付加反応させたもの。重量平均分子量は４３，
０００，酸価は９５。ＭＧＰ４００：X₂N-CH(CH₃)-CH₂-(OCH₂CH(CH₃))_n-NX₂ Ｘ：-CH₂CH(H)-CH₂O-CO-C(CH₃)=CH₂ ｎ：２〜１０ＧＸ：キシリレンジアミン１モルとグリシジルメタクリレート４モルとの反応生成物ＩＣ−３６９：Irgacure369（チバガイギー社製品） 2-ヘ゛ンシ゛ル-2-シ゛メチルアミノ-1-(4-モルフォリノフェニル)フ゛タノン-1 ＤＥＴＸ−Ｓ：２，４−ジエチルチオキサントンＢＴ：ベンゾチアゾールＤＢＰ：ジブチルフタレートＨＱＭＥ：ハイドロキノンモノエチルエーテル

【発明の効果】隔壁の炭素含有量を０．１重量％以下と
することにより、輝度および色純度の向上したディスプ
レイパネル用部材を得ることができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4G062 AA08 AA09 AA15 BB05 CC01 DA04 DA05 DB03 DB04 DC04 DC05 DD01 DE01 DF01 EA03 EA04 EB01 EC01 ED01 EE01 EF01 EG03 EG04 FA01 FA10 FB01 FC01 FD01 FE01 FF01 FG01 FH01 FJ01 FK01 FL01 GA01 GA10 GB01 GC01 GD01 GE01 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ05 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM07 MM12 NN26 NN32 PP01 PP02 PP03 PP04 PP05 PP09 PP13 PP14 5C027 AA09 5C040 GF18 5C094 AA08 AA10 BA31 BA32 BA34 BA43 CA19 EC03 EC04 ED11 FB02 FB03 FB15 JA01 JA13 JA20

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】隔壁が形成されたディスプレイパネル用部
材であって、該隔壁がＸＹＺ表色系における刺激値Ｙの
値が５０〜９０の白隔壁であり、隔壁の炭素含有量が
０．１重量％以下であることを特徴とするディスプレイ
パネル用部材。
【請求項２】隔壁の全光線反射率が５０％以上であるこ
とを特徴とする請求項１に記載のディスプレイパネル用
部材。
【請求項３】隔壁が、ガラス転移点４５０〜５５０℃、
軟化点５００〜６００℃であるガラス材料から構成され
ていることを特徴とする請求項１または２に記載のディ
スプレイパネル用部材。
【請求項４】隔壁が、平均屈折率１．４５〜１．６５の
ガラス材料から構成されていることを特徴とする請求項
１〜３のいずれかに記載のディスプレイパネル用部材。
【請求項５】ガラス材料が、次の組成を含むことを特徴
とする請求項３または４に記載のディスプレイパネル用
部材。酸化リチウム３〜１５重量％酸化ケイ素１０〜５０重量％酸化ホウ素２０〜４０重量％酸化バリウム２〜１５重量％酸化アルミニウム６〜２５重量％
【請求項６】隔壁が、ガラス転移点４５０〜５５０℃、
軟化点５００〜６００℃であるガラス材料を５０〜９０
重量％、フィラーを１０〜５０重量％含むことを特徴と
する請求項１〜５のいずれかに記載のディスプレイパネ
ル用部材。
【請求項７】フィラーが、アルミナ、ジルコニア、ムラ
イト、コーディエライト、スピネル、チタニア、酸化亜
鉛、セリア、シリカおよび高融点ガラスからなる群より
選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする請求項
６に記載のディスプレイパネル用部材。
【請求項８】フィラーが、フィラーＡおよびフィラーＢ
の少なくとも２種類からなり、フィラーＡの平均粒子径
が１．５〜５μｍであって、フィラーＢの平均粒子径が
０．００５〜０．０８μｍであることを特徴とする請求
項６に記載のディスプレイパネル用部材。
【請求項９】フィラーＡの平均屈折率が１．４５〜１．
６５であることを特徴とする請求項８に記載のディスプ
レイパネル用部材。
【請求項１０】フィラーＡが、コーディエライトおよび
高融点ガラスから選ばれた少なくとも一種を含むことを
特徴とする請求項８または９に記載のディスプレイパネ
ル用部材。
【請求項１１】高融点ガラスが、ガラス転移点５００〜
１２００℃、軟化点５５０〜１２００℃であることを特
徴とする請求項７または１０に記載のディスプレイパネ
ル用部材。
【請求項１２】高融点ガラスが下記組成を含むことを特
徴とする請求項７、１０または１１に記載のディスプレ
イパネル用部材。酸化ケイ素１５〜５０重量％酸化ホウ素５〜２０重量％酸化アルミニウム１５〜５０重量％酸化バリウム２〜１０重量％
【請求項１３】フィラーＢが、アルミナ、ジルコニア、
チタニア、イットリア、セリア、酸化亜鉛およびシリカ
の群から選ばれた少なくとも一種を含むことを特徴とす
る請求項８に記載のディスプレイパネル用部材。
【請求項１４】プラズマディスプレイ、プラズマアドレ
ス液晶ディスプレイまたは電子放出素子を用いた画像表
示装置の隔壁形成に用いることを特徴とする請求項１〜
１３のいずれかに記載のディスプレイパネル用部材。
【請求項１５】ガラス材料５０〜９０重量％、フィラー
１０〜５０重量％を含む無機粉末と感光性有機成分とを
必須成分とする感光性ペーストを基板上に塗布し、フォ
トリソグラフィ法で隔壁パターンを形成した後、焼成し
て炭素含有量が０．１重量％以下、ＸＹＺ表色系におけ
る刺激値Ｙの値が５０〜９０である白隔壁を形成するこ
とを特徴とするディスプレイパネル用部材の製造方法。