JP2000249816A - 光学ミラーおよびこの光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびにレーザー測距装置 - Google Patents
光学ミラーおよびこの光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびにレーザー測距装置Info
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- JP2000249816A JP2000249816A JP11005891A JP589199A JP2000249816A JP 2000249816 A JP2000249816 A JP 2000249816A JP 11005891 A JP11005891 A JP 11005891A JP 589199 A JP589199 A JP 589199A JP 2000249816 A JP2000249816 A JP 2000249816A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】反射光をより効果的に集光する。
【解決手段】透過率が異なる部分を有する反射ミラー5
であって、中心部に透過率が高いハーフミラー部5aを
形成するとともに、その周囲に透過率が低い全反射ミラ
ー部5bを形成し、ハーフミラー部5aと全反射ミラー
部5bとを、ガラス母材21に蒸着する金属鏡面材料2
2の膜の密度または非金属鏡面材料23の膜厚を変化さ
せて一体に形成した。
であって、中心部に透過率が高いハーフミラー部5aを
形成するとともに、その周囲に透過率が低い全反射ミラ
ー部5bを形成し、ハーフミラー部5aと全反射ミラー
部5bとを、ガラス母材21に蒸着する金属鏡面材料2
2の膜の密度または非金属鏡面材料23の膜厚を変化さ
せて一体に形成した。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、自動走行車両や移
動装置などにおける誘導や位置計測、自然物や大型構造
物の測量や異常計測などに使用される光学ミラーおよび
この光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびに
レーザー測距装置に関する。
動装置などにおける誘導や位置計測、自然物や大型構造
物の測量や異常計測などに使用される光学ミラーおよび
この光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびに
レーザー測距装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ターゲットにレーザーパルス投射し、そ
の反射光を受光してターゲットまでの距離を測定する測
定装置がある。この測距装置のレーザー投受光装置で
は、投光軸と受光軸とを同一に設定するため、投射レー
ザーパルスと反射レーザーパルスとを分離する反射ミラ
ーが設置されている。従来の反射ミラーは、中心位置に
投射レーザーパルスを通過させるための貫通孔が形成さ
れた穴明きミラー式により構成されたり、あるいは反射
ミラー全体をハーフミラー式により形成したものが採用
されていた。
の反射光を受光してターゲットまでの距離を測定する測
定装置がある。この測距装置のレーザー投受光装置で
は、投光軸と受光軸とを同一に設定するため、投射レー
ザーパルスと反射レーザーパルスとを分離する反射ミラ
ーが設置されている。従来の反射ミラーは、中心位置に
投射レーザーパルスを通過させるための貫通孔が形成さ
れた穴明きミラー式により構成されたり、あるいは反射
ミラー全体をハーフミラー式により形成したものが採用
されていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ターゲットの
距離が長い場合、ターゲットからの微弱な反射レーザー
光を拾い出す必要があることから、貫通穴部分で反射の
ない穴明きミラー式や、透過時の透過損失と反射時の反
射損失があるハーフミラー式では、反射レーザー光の減
衰があり集光能力が低いという問題があった。
距離が長い場合、ターゲットからの微弱な反射レーザー
光を拾い出す必要があることから、貫通穴部分で反射の
ない穴明きミラー式や、透過時の透過損失と反射時の反
射損失があるハーフミラー式では、反射レーザー光の減
衰があり集光能力が低いという問題があった。
【0004】本発明は上記問題点を解決して、より効果
的に反射レーザー光あるいは反射レーザーパルスを集光
できる光学ミラーとこの光学ミラーを使用したレーザー
投受光装置ならびにレーザー測距装置を提供することを
目的とする。
的に反射レーザー光あるいは反射レーザーパルスを集光
できる光学ミラーとこの光学ミラーを使用したレーザー
投受光装置ならびにレーザー測距装置を提供することを
目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の光学ミラーは、透過率が異なる部分を有する
光学ミラーであって、所定部位に透過率が高いハーフミ
ラー部が形成されるとともに、ハーフミラー部の外周部
に透過率が低い全反射ミラー部が形成されたものであ
る。
に本発明の光学ミラーは、透過率が異なる部分を有する
光学ミラーであって、所定部位に透過率が高いハーフミ
ラー部が形成されるとともに、ハーフミラー部の外周部
に透過率が低い全反射ミラー部が形成されたものであ
る。
【0006】上記構成によれば、投射光をハーフミラー
部を透過して投射し、その反射光を、ハーフミラー部と
全反射ミラー部とで反射するので、従来の穴明きミラー
やハーフミラーに比較して反射光の集光率を向上させる
ことができ、微弱な反射光を高精度で計測することがで
きる。
部を透過して投射し、その反射光を、ハーフミラー部と
全反射ミラー部とで反射するので、従来の穴明きミラー
やハーフミラーに比較して反射光の集光率を向上させる
ことができ、微弱な反射光を高精度で計測することがで
きる。
【0007】また請求項2記載の光学ミラーは、ガラス
母材に蒸着する金属鏡面材料の膜の密度または非金属鏡
面材料の膜厚を変化させて、ハーフミラー部と全反射ミ
ラー部とを一体に形成したものである。
母材に蒸着する金属鏡面材料の膜の密度または非金属鏡
面材料の膜厚を変化させて、ハーフミラー部と全反射ミ
ラー部とを一体に形成したものである。
【0008】上記構成によれば、ハーフミラー部と全反
射ミラー部とを同一のガラス母材に一体に形成したの
で、製造コストを低く抑えることができる。
射ミラー部とを同一のガラス母材に一体に形成したの
で、製造コストを低く抑えることができる。
【0009】さらに請求項3記載のレーザー光投受光装
置は、投射光軸上に所定角度傾斜して配置された反射ミ
ラーを備え、この投射光軸上に投射レーザー光を投射す
るレーザー発振器を配置するとともに、反射ミラーに反
射される反射光軸上にターゲットに反射して戻る反射レ
ーザー光を受光する受光部を配置したレーザー投受光装
置であって、前記反射ミラーを、所定部位に形成された
ハーフミラー部と、ハーフミラー部の残部に形成された
全反射ミラー部とで構成するとともに、このハーフミラ
ー部が投射光軸上に位置するように配置したものであ
る。
置は、投射光軸上に所定角度傾斜して配置された反射ミ
ラーを備え、この投射光軸上に投射レーザー光を投射す
るレーザー発振器を配置するとともに、反射ミラーに反
射される反射光軸上にターゲットに反射して戻る反射レ
ーザー光を受光する受光部を配置したレーザー投受光装
置であって、前記反射ミラーを、所定部位に形成された
ハーフミラー部と、ハーフミラー部の残部に形成された
全反射ミラー部とで構成するとともに、このハーフミラ
ー部が投射光軸上に位置するように配置したものであ
る。
【0010】上記構成によれば、装置外への投射レーザ
ー光の出力は規制により制限されるが、装置内でのレー
ザー光は出力の制限がないことから、レーザー発振器の
出力を上げることでターゲットへのレーザー光は一定の
出力を確保することができる。したがって、受光部に集
光される反射レーザー光は、従来の穴明きミラー式に比
べて透孔部がハーフミラーに反射される分、多く集光す
ることができ、また従来のハーフミラー式に比べて透過
損失が無い分集光能力が高く、遠距離のターゲットに反
射された微弱な反射レーザー光であっても、高精度で検
出することができる。
ー光の出力は規制により制限されるが、装置内でのレー
ザー光は出力の制限がないことから、レーザー発振器の
出力を上げることでターゲットへのレーザー光は一定の
出力を確保することができる。したがって、受光部に集
光される反射レーザー光は、従来の穴明きミラー式に比
べて透孔部がハーフミラーに反射される分、多く集光す
ることができ、また従来のハーフミラー式に比べて透過
損失が無い分集光能力が高く、遠距離のターゲットに反
射された微弱な反射レーザー光であっても、高精度で検
出することができる。
【0011】さらにまた請求項4記載のレーザー測距装
置は、パルス発生器からの制御パルス信号に基づいて投
射レーザーパルスを投射するレーザー発振器と、この投
射レーザーパルスの投射光軸上に所定角度傾斜して配置
され投射レーザーパルスを透過させる反射ミラーと、タ
ーゲットに反射して戻る反射レーザーパルスが前記反射
ミラーで反射される反射光軸上に配置された受光部と、
前記投射レーザーパルスと反射レーザーパルスの到達時
間差を検出する時間差測定回路と、この時間差測定回路
で得られた到達時間差からターゲットまでの距離を測定
する信号処理回路とを具備し、前記反射ミラーを、所定
部位に形成されたハーフミラー部と、その残部に形成さ
れた全反射ミラー部とで構成するとともに、このハーフ
ミラー部が投射光軸上に位置するように配置したもので
ある。
置は、パルス発生器からの制御パルス信号に基づいて投
射レーザーパルスを投射するレーザー発振器と、この投
射レーザーパルスの投射光軸上に所定角度傾斜して配置
され投射レーザーパルスを透過させる反射ミラーと、タ
ーゲットに反射して戻る反射レーザーパルスが前記反射
ミラーで反射される反射光軸上に配置された受光部と、
前記投射レーザーパルスと反射レーザーパルスの到達時
間差を検出する時間差測定回路と、この時間差測定回路
で得られた到達時間差からターゲットまでの距離を測定
する信号処理回路とを具備し、前記反射ミラーを、所定
部位に形成されたハーフミラー部と、その残部に形成さ
れた全反射ミラー部とで構成するとともに、このハーフ
ミラー部が投射光軸上に位置するように配置したもので
ある。
【0012】上記構成によれば、集光能力の高い反射ミ
ラーを使用するので、遠距離のターゲットからの微弱な
反射レーザーパルスであっても高精度で認識することが
でき、遠距離のターゲットとの距離を正確に測定するこ
とができる。
ラーを使用するので、遠距離のターゲットからの微弱な
反射レーザーパルスであっても高精度で認識することが
でき、遠距離のターゲットとの距離を正確に測定するこ
とができる。
【0013】
【発明の実施の形態】ここで、本発明に係るレーザー測
距装置の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。
距装置の実施の形態を図1〜図4に基づいて説明する。
【0014】このレーザー測距装置は、図1に示すよう
に、建造物の特定位置に設置されたターゲット1までの
距離Lを測定するもので、レーザー投受光装置であるセ
ンサーヘッド部2と、センサーコントローラ部3とが具
備されている。そしてセンサーヘッド部2のレーザー発
振器4から反射ミラー5を透過してターゲット1に向っ
て投射レーザ光である投射レーザーパルスLsを投射
し、ターゲット1に達して反射された反射レーザーパル
スLrを反射ミラー5に反射させて受光部7の集光レン
ズ部6から受光素子11で検出する。そして、センサコ
ントローラ部3で投射レーザーパルスLsと反射レーザ
ーパルスLrの到達時間差(位相差)からターゲット1
までの距離Lを測定するものである。
に、建造物の特定位置に設置されたターゲット1までの
距離Lを測定するもので、レーザー投受光装置であるセ
ンサーヘッド部2と、センサーコントローラ部3とが具
備されている。そしてセンサーヘッド部2のレーザー発
振器4から反射ミラー5を透過してターゲット1に向っ
て投射レーザ光である投射レーザーパルスLsを投射
し、ターゲット1に達して反射された反射レーザーパル
スLrを反射ミラー5に反射させて受光部7の集光レン
ズ部6から受光素子11で検出する。そして、センサコ
ントローラ部3で投射レーザーパルスLsと反射レーザ
ーパルスLrの到達時間差(位相差)からターゲット1
までの距離Lを測定するものである。
【0015】すなわち、センサコントローラ部3には、
センサーヘッド部2のレーザー発振器4に制御パルス信
号を送るパルス発生器10が配置されている。そしてセ
ンサーヘッド部2には、この制御パルス信号によりター
ゲット1に投射レーザーパルスLsを投射するレーザー
発振器4と、この投射レーザーパルスLsの投射光軸O
s上にたとえば投射光軸Osに対して45度傾斜して配
置された反射ミラー5と、この反射ミラー5に反射され
た反射レーザーパルスLrの反射光軸Or上に配置され
た集光レンズ部6および受光素子11からなる受光部7
が具備されている。またセンサコントローラ部3には、
増幅器12と、増幅器12からの出力に応じてゲインを
自動調整するゲイン自動調節器(AGC)13と、投射
レーザーパルスLsと反射レーザーパルスLrの検出信
号から到達時間差を測定する時間差測定回路14と、こ
の到達時間差からターゲット1までの距離Lを演算する
信号処理回路15と、この信号処理回路15により得ら
れた距離Lを表示または出力する表示装置16および電
流出力部17ならびに電圧出力部18とが具備されてい
る。
センサーヘッド部2のレーザー発振器4に制御パルス信
号を送るパルス発生器10が配置されている。そしてセ
ンサーヘッド部2には、この制御パルス信号によりター
ゲット1に投射レーザーパルスLsを投射するレーザー
発振器4と、この投射レーザーパルスLsの投射光軸O
s上にたとえば投射光軸Osに対して45度傾斜して配
置された反射ミラー5と、この反射ミラー5に反射され
た反射レーザーパルスLrの反射光軸Or上に配置され
た集光レンズ部6および受光素子11からなる受光部7
が具備されている。またセンサコントローラ部3には、
増幅器12と、増幅器12からの出力に応じてゲインを
自動調整するゲイン自動調節器(AGC)13と、投射
レーザーパルスLsと反射レーザーパルスLrの検出信
号から到達時間差を測定する時間差測定回路14と、こ
の到達時間差からターゲット1までの距離Lを演算する
信号処理回路15と、この信号処理回路15により得ら
れた距離Lを表示または出力する表示装置16および電
流出力部17ならびに電圧出力部18とが具備されてい
る。
【0016】前記反射ミラー5は、投射レーザーパルス
Lsをたとえば中心部のハーフミラー部5aで透過させ
るとともに、反射レーザーパルスLrをハーフミラー部
5aとその周囲の全反射ミラー部5bとにより反射光軸
Or方向に反射させるように構成される。なお、ハーフ
ミラー部5aが反射ミラー5の中心からずれた位置であ
っても、光軸Os,Or上に配置されれば問題が無い。
Lsをたとえば中心部のハーフミラー部5aで透過させ
るとともに、反射レーザーパルスLrをハーフミラー部
5aとその周囲の全反射ミラー部5bとにより反射光軸
Or方向に反射させるように構成される。なお、ハーフ
ミラー部5aが反射ミラー5の中心からずれた位置であ
っても、光軸Os,Or上に配置されれば問題が無い。
【0017】この反射ミラー5は、たとえば図2,図3
に示すように、1枚のガラス母材21の表面全体に非金
属鏡面材料22を所定の膜厚で蒸着するか、または金属
鏡面材料23を所定の密度で蒸着して、透過率T.R.
50%(T:R=5:5)のハーフミラーを形成し、さ
らにこのハーフミラーのハーフミラー部5a対応位置を
マスクして、同種または異種の非金属鏡面材料22また
は金属鏡面材料23をさらに蒸着して全反射の全反射ミ
ラー部5bを形成する。これにより、1枚のガラス母材
21の表面に、たとえば直径8〜10mm(使用する投
射レーザー光径により変化される)のハーフミラー部5
aとその周囲の全反射ミラー部5bとを一体に形成する
ことができる。
に示すように、1枚のガラス母材21の表面全体に非金
属鏡面材料22を所定の膜厚で蒸着するか、または金属
鏡面材料23を所定の密度で蒸着して、透過率T.R.
50%(T:R=5:5)のハーフミラーを形成し、さ
らにこのハーフミラーのハーフミラー部5a対応位置を
マスクして、同種または異種の非金属鏡面材料22また
は金属鏡面材料23をさらに蒸着して全反射の全反射ミ
ラー部5bを形成する。これにより、1枚のガラス母材
21の表面に、たとえば直径8〜10mm(使用する投
射レーザー光径により変化される)のハーフミラー部5
aとその周囲の全反射ミラー部5bとを一体に形成する
ことができる。
【0018】さらに他の例として、1枚のガラス母材2
1の全反射ミラー部5bの対応部をマスクして、非金属
鏡面材料22を所定の膜厚で蒸着するか、または金属鏡
面材料23を所定の密度で蒸着して透過率T.R.50
%(T:R=5:5)のハーフミラー部5aを形成し、
次にハーフミラー部5aをマスクして同種または異種の
非金属鏡面材料32または金属鏡面材料33を蒸着し、
全反射の全反射ミラー部5bを一体に形成する。または
この逆の手順で、全反射ミラー部5bを形成後、ハーフ
ミラー部5aを形成してもよい。
1の全反射ミラー部5bの対応部をマスクして、非金属
鏡面材料22を所定の膜厚で蒸着するか、または金属鏡
面材料23を所定の密度で蒸着して透過率T.R.50
%(T:R=5:5)のハーフミラー部5aを形成し、
次にハーフミラー部5aをマスクして同種または異種の
非金属鏡面材料32または金属鏡面材料33を蒸着し、
全反射の全反射ミラー部5bを一体に形成する。または
この逆の手順で、全反射ミラー部5bを形成後、ハーフ
ミラー部5aを形成してもよい。
【0019】ここで、ハーフミラー部5aおよび全反射
ミラー部5aを形成する非金属鏡面材料32は、Zn
S,CeO2,TiO2などがあり、また金属鏡面材料3
3は、Al,Ag,Cr,Auなどがある。また、全反
射ミラー部5bには、使用する波長の反射率が高く、他
の周波数の反射率の低い材料あるいは付着方法で鏡面を
形成することにより、他の余分な光(ノイズ)を排除す
ることができるフィルタ機能を発揮させることができ
る。
ミラー部5aを形成する非金属鏡面材料32は、Zn
S,CeO2,TiO2などがあり、また金属鏡面材料3
3は、Al,Ag,Cr,Auなどがある。また、全反
射ミラー部5bには、使用する波長の反射率が高く、他
の周波数の反射率の低い材料あるいは付着方法で鏡面を
形成することにより、他の余分な光(ノイズ)を排除す
ることができるフィルタ機能を発揮させることができ
る。
【0020】さらに他の例として、図4に示すように、
中心部に直径8〜10mmの貫通孔31aが形成された
穴明きミラー31により全反射ミラー部5bが形成さ
れ、この貫通孔21aに取付けられたハーフミラー板3
2によりハーフミラー部5aが形成される。
中心部に直径8〜10mmの貫通孔31aが形成された
穴明きミラー31により全反射ミラー部5bが形成さ
れ、この貫通孔21aに取付けられたハーフミラー板3
2によりハーフミラー部5aが形成される。
【0021】上記実施の形態によれば、屋内外へ放射さ
れるレーザー光の出力は規制により制限されており、装
置内での出力の制限がないことから、レーザー発振器4
の出力を上げることにより、ハーフミラー部5aを透過
した投射レーザーパルスの出力は、制限値の出力を確保
することができる。このため、反射レーザーパルスLr
は、従来の穴明きミラー式に比べて貫通孔部分がハーフ
ミラー部5aに反射される分を多く集光することができ
る。また従来のハーフミラー式に比べて、全反射ミラー
部5bの反射損失が無い分だけ集光能力を高くすること
ができる。したがって、遠距離のターゲット1に反射さ
れた微弱な反射レーザーパルスLrであっても、高精度
で認識することができる。このため、レーザー測距装置
の場合、測定範囲が広くなって微弱な反射レーザーパル
スLrでも高精度を検出することができる。
れるレーザー光の出力は規制により制限されており、装
置内での出力の制限がないことから、レーザー発振器4
の出力を上げることにより、ハーフミラー部5aを透過
した投射レーザーパルスの出力は、制限値の出力を確保
することができる。このため、反射レーザーパルスLr
は、従来の穴明きミラー式に比べて貫通孔部分がハーフ
ミラー部5aに反射される分を多く集光することができ
る。また従来のハーフミラー式に比べて、全反射ミラー
部5bの反射損失が無い分だけ集光能力を高くすること
ができる。したがって、遠距離のターゲット1に反射さ
れた微弱な反射レーザーパルスLrであっても、高精度
で認識することができる。このため、レーザー測距装置
の場合、測定範囲が広くなって微弱な反射レーザーパル
スLrでも高精度を検出することができる。
【0022】また反射ミラー5を1枚のガラス母材21
に蒸着した金属膜の密度または非金属膜の膜厚を変化さ
せてハーフミラー部5aと全反射ミラー部5bとを一体
に形成したので、穴明きミラー31とハーフミラー板3
2とで構成されたものに比較して、製造コストを低く抑
えることができ、さらに貫通孔31aの周囲エッジ部の
損失や乱反射を考慮する必要も無い。
に蒸着した金属膜の密度または非金属膜の膜厚を変化さ
せてハーフミラー部5aと全反射ミラー部5bとを一体
に形成したので、穴明きミラー31とハーフミラー板3
2とで構成されたものに比較して、製造コストを低く抑
えることができ、さらに貫通孔31aの周囲エッジ部の
損失や乱反射を考慮する必要も無い。
【0023】なお、上記実施の形態では、ターゲット1
を自然反射体としたが、投射レーザーパルスLsの光軸
と反射レーザーパルスLrの光軸とが互いに平行となる
再帰型の反射体であってもよい。
を自然反射体としたが、投射レーザーパルスLsの光軸
と反射レーザーパルスLrの光軸とが互いに平行となる
再帰型の反射体であってもよい。
【0024】
【発明の効果】以上に述べたごとく請求項1記載の光学
ミラーによれば、投射光をハーフミラー部を透過して投
射し、その反射光を、ハーブミラー部と全反射ミラー部
とで反射するので、従来の穴明きミラーやハーフミラー
に比較して反射光の集光率を向上させることができ、微
弱な反射光を高精度で計測することができる。
ミラーによれば、投射光をハーフミラー部を透過して投
射し、その反射光を、ハーブミラー部と全反射ミラー部
とで反射するので、従来の穴明きミラーやハーフミラー
に比較して反射光の集光率を向上させることができ、微
弱な反射光を高精度で計測することができる。
【0025】また請求項2記載の光学ミラーによれば、
ハーフミラー部と全反射ミラー部とを同一のガラス母材
に一体に形成したので、製造コストを低く抑えることが
できる。
ハーフミラー部と全反射ミラー部とを同一のガラス母材
に一体に形成したので、製造コストを低く抑えることが
できる。
【0026】さらに請求項3記載のレーザー投受光装置
によれば、装置外への投射レーザー光の出力は規制によ
り制限されるが、装置内でのレーザー光は出力の制限が
ないことから、レーザー発振器の出力を揚げることでタ
ーゲットへのレーザー光は一定の出力を確保することが
できる。したがって、受光素子に集光される反射レーザ
ー光は、従来の穴明きミラー式に比べて透孔部がハーフ
ミラーに反射される分、多く集光することができ、また
従来のハーフミラー式に比べて透過損失が無い分集光能
力が高く、遠距離のターゲットに反射された微弱な反射
レーザー光であっても、高精度で検出することができ
る。
によれば、装置外への投射レーザー光の出力は規制によ
り制限されるが、装置内でのレーザー光は出力の制限が
ないことから、レーザー発振器の出力を揚げることでタ
ーゲットへのレーザー光は一定の出力を確保することが
できる。したがって、受光素子に集光される反射レーザ
ー光は、従来の穴明きミラー式に比べて透孔部がハーフ
ミラーに反射される分、多く集光することができ、また
従来のハーフミラー式に比べて透過損失が無い分集光能
力が高く、遠距離のターゲットに反射された微弱な反射
レーザー光であっても、高精度で検出することができ
る。
【0027】さらにまた請求項4記載のレーザー測距装
置によれば、集光能力の高い反射ミラーを使用するの
で、遠距離のターゲットからの微弱な反射レーザーパル
スであっても高精度で認識することができ、遠距離のタ
ーゲットとの距離を正確に測定することができる。
置によれば、集光能力の高い反射ミラーを使用するの
で、遠距離のターゲットからの微弱な反射レーザーパル
スであっても高精度で認識することができ、遠距離のタ
ーゲットとの距離を正確に測定することができる。
【図1】本発明に係るレーザー測距装置の実施の形態を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図2】同反射ミラーの斜視図である。
【図3】同反射ミラーの断面図である。
【図4】同反射ミラーの変形例を示す断面図である。
1 ターゲット 2 センサーヘッド部 3 センサーコントローラ部 4 レーザー発振器 5 反射ミラー 5a ハーフミラー部 5b 全反射ミラー部 6 集光レンズ部 7 受光部 10 パルス発生器 11 受光素子 14 時間差測定回路 15 信号処理回路 21 ガラス母材 22 非金属鏡面材料 23 金属鏡面材料 31 穴明きミラー 32 ハーフミラー板 L 測定距離 Ls 投射レーザーパルス Lr 反射レーザーパルス Os 投射光軸 Or 反射光軸
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H042 AA02 AA16 AA21 DA01 DA22 DE07 5J084 AC02 AD01 BA03 BA32 BB21 BB24 BB25 CA03 EA04
Claims (4)
- 【請求項1】透過率が異なる部分を有する光学ミラーで
あって、 所定部位に透過率が高いハーフミラー部が形成されると
ともに、ハーフミラー部の外周部に透過率が低い全反射
ミラー部が形成されたことを特徴とする光学ミラー。 - 【請求項2】ガラス母材に蒸着する金属鏡面材料の膜の
密度または非金属鏡面材料の膜厚を変化させて、ハーフ
ミラー部と全反射ミラー部とを一体に形成したことを特
徴とする請求項1記載の光学ミラー。 - 【請求項3】投射光軸上に所定角度傾斜して配置された
反射ミラーを備え、この投射光軸上に投射レーザー光を
投射するレーザー発振器を配置するとともに、反射ミラ
ーに反射される反射光軸上にターゲットに反射して戻る
反射レーザー光を受光する受光部を配置したレーザー投
受光装置であって、 前記反射ミラーを、所定部位に形成されたハーフミラー
部と、このハーフミラー部の残部に形成された全反射ミ
ラー部とで構成するとともに、このハーフミラー部が投
射光軸上に位置するように配置したことを特徴とするレ
ーザー投受光装置。 - 【請求項4】パルス発生器からの制御パルス信号に基づ
いて投射レーザーパルスを投射するレーザー発振器と、 この投射レーザーパルスの投射光軸上に所定角度傾斜し
て配置され投射レーザーパルスを透過させる反射ミラー
と、 ターゲットに反射して戻る反射レーザーパルスが前記反
射ミラーで反射される反射光軸上に配置された受光部
と、 前記投射レーザーパルスと反射レーザーパルスの到達時
間差を検出する時間差測定回路と、 この時間差測定回路で得られた到達時間差からターゲッ
トまでの距離を測定する信号処理回路とを具備し、 前記反射ミラーを、所定部位に形成されたハーフミラー
部と、その残部に形成された全反射ミラー部とで構成す
るとともに、このハーフミラー部が投射光軸上に位置す
るように配置したことを特徴とするレーザー測距装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11005891A JP2000249816A (ja) | 1998-12-28 | 1999-01-13 | 光学ミラーおよびこの光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびにレーザー測距装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP37180898 | 1998-12-28 | ||
JP10-371808 | 1998-12-28 | ||
JP11005891A JP2000249816A (ja) | 1998-12-28 | 1999-01-13 | 光学ミラーおよびこの光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびにレーザー測距装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000249816A true JP2000249816A (ja) | 2000-09-14 |
Family
ID=26339918
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP11005891A Pending JP2000249816A (ja) | 1998-12-28 | 1999-01-13 | 光学ミラーおよびこの光学ミラーを使用したレーザー投受光装置ならびにレーザー測距装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2000249816A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006053055A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Inc Engineering Co Ltd | レーザ測定装置 |
JP2007225392A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Spectratech Inc | 光干渉装置 |
JP2008216238A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Denso Wave Inc | レーザレーダ装置 |
JP2009121836A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Denso Wave Inc | レーザレーダ装置 |
US8350882B2 (en) | 2007-03-28 | 2013-01-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical unit, image forming apparatus including the same and optical element thereof |
CN106199991A (zh) * | 2015-09-18 | 2016-12-07 | 王治霞 | 分光片及其激光共轴测距仪和应用 |
WO2018011591A1 (en) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Oxford University Innovation Limited | Interferometric scattering microscopy |
-
1999
- 1999-01-13 JP JP11005891A patent/JP2000249816A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006053055A (ja) * | 2004-08-12 | 2006-02-23 | Inc Engineering Co Ltd | レーザ測定装置 |
JP2007225392A (ja) * | 2006-02-22 | 2007-09-06 | Spectratech Inc | 光干渉装置 |
JP2008216238A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-09-18 | Denso Wave Inc | レーザレーダ装置 |
US8350882B2 (en) | 2007-03-28 | 2013-01-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical unit, image forming apparatus including the same and optical element thereof |
KR101239967B1 (ko) * | 2007-03-28 | 2013-03-06 | 삼성전자주식회사 | 광학유닛, 이를 포함하는 화상형성장치 및 그 광학소자 |
JP2009121836A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Denso Wave Inc | レーザレーダ装置 |
CN106199991A (zh) * | 2015-09-18 | 2016-12-07 | 王治霞 | 分光片及其激光共轴测距仪和应用 |
WO2018011591A1 (en) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | Oxford University Innovation Limited | Interferometric scattering microscopy |
US10775597B2 (en) | 2016-07-13 | 2020-09-15 | Oxford University Innovation Limited | Interferometric scattering microscopy |
EP3923054A1 (en) * | 2016-07-13 | 2021-12-15 | Oxford University Innovation Limited | Interferometric scattering microscopy |
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