JP2000246008A - 連続脱気脱泡装置 - Google Patents
連続脱気脱泡装置Info
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- JP2000246008A JP2000246008A JP11055027A JP5502799A JP2000246008A JP 2000246008 A JP2000246008 A JP 2000246008A JP 11055027 A JP11055027 A JP 11055027A JP 5502799 A JP5502799 A JP 5502799A JP 2000246008 A JP2000246008 A JP 2000246008A
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- coating
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- coating liquid
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- Coating Apparatus (AREA)
- Degasification And Air Bubble Elimination (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】塗布装置に塗布液を供給する前処理として、塗
布液に含まれている気体成分を除去するのに利用される
連続脱気脱泡装置を提供する。 【解決手段】回転円盤の周縁部に環状フレームを配置
し、円盤中央部上方から供給した塗布液を遠心力により
薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜
りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除
去する装置において、前記環状フレームの内側に、非接
触状態で円盤状の案内盤を配置すると共に、この案内盤
の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の
取り出しを行なうことを特徴とする連続脱気脱泡装置で
ある。
布液に含まれている気体成分を除去するのに利用される
連続脱気脱泡装置を提供する。 【解決手段】回転円盤の周縁部に環状フレームを配置
し、円盤中央部上方から供給した塗布液を遠心力により
薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜
りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除
去する装置において、前記環状フレームの内側に、非接
触状態で円盤状の案内盤を配置すると共に、この案内盤
の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の
取り出しを行なうことを特徴とする連続脱気脱泡装置で
ある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、塗布装置に塗布液
を供給する前処理として、塗布液に含まれている気体成
分を除去するのに利用される連続脱気脱泡装置に関す
る。
を供給する前処理として、塗布液に含まれている気体成
分を除去するのに利用される連続脱気脱泡装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】支持体上にミクロン単位の膜厚で塗布液
の塗布を行なうには、塗布液中に気体成分（大きいもの
は気泡と呼ばれる）が混入していると、塗布故障が発生
することから、塗布液を塗布装置に供給する前処理とし
て、塗布液中に含まれている気体成分を除去する必要が
ある。特に、塗布液が感光液である場合、塗布故障に対
する許容が厳しく、より重要である。
の塗布を行なうには、塗布液中に気体成分（大きいもの
は気泡と呼ばれる）が混入していると、塗布故障が発生
することから、塗布液を塗布装置に供給する前処理とし
て、塗布液中に含まれている気体成分を除去する必要が
ある。特に、塗布液が感光液である場合、塗布故障に対
する許容が厳しく、より重要である。
【０００３】上記前処理に利用される装置として、従
来、貯槽に溜められている塗布液に対して超音波を照射
して振動により脱気脱泡を行なう装置が知られている。
来、貯槽に溜められている塗布液に対して超音波を照射
して振動により脱気脱泡を行なう装置が知られている。
【０００４】特開平５−２５３４１２号公報には、減圧
ハウジング内で円盤を水平方向に回転させ、この円盤の
中央部上方から塗布液を少量づつ供給して、遠心力によ
り塗布液を薄膜状に引き伸ばしながら円盤周縁部の液溜
りに送り込み、液溜りの中に一カ所用意されている固定
式の液取り出し口から処理済みの塗布液を取り出す装置
が開示されている。
ハウジング内で円盤を水平方向に回転させ、この円盤の
中央部上方から塗布液を少量づつ供給して、遠心力によ
り塗布液を薄膜状に引き伸ばしながら円盤周縁部の液溜
りに送り込み、液溜りの中に一カ所用意されている固定
式の液取り出し口から処理済みの塗布液を取り出す装置
が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】超音波を利用した脱気
脱泡装置では、塗布液が高粘度である場合や大容量であ
る場合に十分な脱気脱泡を行なうことが困難となってい
る。
脱泡装置では、塗布液が高粘度である場合や大容量であ
る場合に十分な脱気脱泡を行なうことが困難となってい
る。
【０００６】上記した特開平５−２５３４１２号公報に
開示されている装置では、液溜り中に一カ所用意されて
いる固定式の液取り出し口を細長い断面形状（スリット
状）としているが、円盤と共に回転している液溜り中の
塗布液が液取り出し口に衝突して塗布液をかき乱し、新
たに発泡を生じさせたり、遠心分離された気泡を再び塗
布液中に巻き込んでしまう現象が発生している。
開示されている装置では、液溜り中に一カ所用意されて
いる固定式の液取り出し口を細長い断面形状（スリット
状）としているが、円盤と共に回転している液溜り中の
塗布液が液取り出し口に衝突して塗布液をかき乱し、新
たに発泡を生じさせたり、遠心分離された気泡を再び塗
布液中に巻き込んでしまう現象が発生している。
【０００７】特に発泡し易く、発生した気泡が安定して
いる塗布液を処理しようとすると、回転円盤の上面で薄
膜状に形成した部分だけでは、十分な脱泡が困難であ
り、液溜り部分に持ち込まれる気泡が多いことから、液
取り出し口への塗布液の衝突の問題は重要である。本発
明は、上記した問題を解決することを課題とする。
いる塗布液を処理しようとすると、回転円盤の上面で薄
膜状に形成した部分だけでは、十分な脱泡が困難であ
り、液溜り部分に持ち込まれる気泡が多いことから、液
取り出し口への塗布液の衝突の問題は重要である。本発
明は、上記した問題を解決することを課題とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明に係る連続脱気脱
泡装置は、回転円盤の周縁部に環状フレームを配置
し、円盤中央部上方から供給した塗布液を遠心力により
薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜
りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除
去する装置において、前記環状フレームの内側に、非接
触状態で円盤状の案内盤を配置すると共に、この案内盤
の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の
取り出しを行なうこと、液溜りに対する案内盤の先端
部の侵入深度が３０ｍｍ以下となるよう設定されている
こと、案内盤の下面が、下方に位置する回転する円盤
の上面から１０ｍｍ以上離れていること、塗布液が感
光液であること、をそれぞれ特徴とする。
泡装置は、回転円盤の周縁部に環状フレームを配置
し、円盤中央部上方から供給した塗布液を遠心力により
薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜
りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除
去する装置において、前記環状フレームの内側に、非接
触状態で円盤状の案内盤を配置すると共に、この案内盤
の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の
取り出しを行なうこと、液溜りに対する案内盤の先端
部の侵入深度が３０ｍｍ以下となるよう設定されている
こと、案内盤の下面が、下方に位置する回転する円盤
の上面から１０ｍｍ以上離れていること、塗布液が感
光液であること、をそれぞれ特徴とする。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１に従って本発明に係る装置を
説明する。ハウジング１０は、内部を気密状態に保って
あり、真空ポンプ１１による吸気により減圧されてい
る。円盤２０は水平に支持されており、モータ２１によ
り回転される。円盤２０の周縁には、塗布液に液溜り３
０を形成させるための環状フレーム２２が用意されてい
る。
説明する。ハウジング１０は、内部を気密状態に保って
あり、真空ポンプ１１による吸気により減圧されてい
る。円盤２０は水平に支持されており、モータ２１によ
り回転される。円盤２０の周縁には、塗布液に液溜り３
０を形成させるための環状フレーム２２が用意されてい
る。
【００１０】処理しようとする塗布液は、円盤２０の中
央部近傍に吐出口を持つ液供給管１２により供給され
る。
央部近傍に吐出口を持つ液供給管１２により供給され
る。
【００１１】円盤２０の環状フレーム２２の内側には、
これと非接触の状態で、円盤状の案内盤２３が配置され
ており、円盤２０の回転に対して不動である。この案内
盤２３の内側には、液取り出し管２４が引き込まれてお
り、周縁の一カ所に液取り出し口２５が開口されてい
る。
これと非接触の状態で、円盤状の案内盤２３が配置され
ており、円盤２０の回転に対して不動である。この案内
盤２３の内側には、液取り出し管２４が引き込まれてお
り、周縁の一カ所に液取り出し口２５が開口されてい
る。
【００１２】円盤２０がモータ２１の駆動により回転さ
れ、処理しようとする塗布液が液供給管１２を通して円
盤２０の上面に供給されると、塗布液は遠心力によって
外方に移動し薄膜状に引き伸ばされる。この時、塗布液
に含まれる気体成分の多くは減圧状態にあるハウジング
１０内に飛散し、一部の気泡も除去される。更に外方に
移動した塗布液は、環状フレーム２２の内側に至って液
溜り３０を形成する。この液溜り３０の部分では、遠心
力により塗布液成分と気泡との分離が生じ、重い塗布液
成分は環状フレーム２２の深い方に溜り込むことにな
る。円盤２０と共に回転する液溜り３０の中には案内盤
２３が静止している。逆に表現すると、案内盤２３の外
周縁に沿って塗布液が還流することになる。従って、上
記した特開平５−２５３４１２号公報に開示されている
装置におけるような塗布液と液取り出し口との衝突は問
題は生じない。このことからも、液取り出し口２５は、
塗布液の還流方向に向かって傾斜されていることが好ま
しい。
れ、処理しようとする塗布液が液供給管１２を通して円
盤２０の上面に供給されると、塗布液は遠心力によって
外方に移動し薄膜状に引き伸ばされる。この時、塗布液
に含まれる気体成分の多くは減圧状態にあるハウジング
１０内に飛散し、一部の気泡も除去される。更に外方に
移動した塗布液は、環状フレーム２２の内側に至って液
溜り３０を形成する。この液溜り３０の部分では、遠心
力により塗布液成分と気泡との分離が生じ、重い塗布液
成分は環状フレーム２２の深い方に溜り込むことにな
る。円盤２０と共に回転する液溜り３０の中には案内盤
２３が静止している。逆に表現すると、案内盤２３の外
周縁に沿って塗布液が還流することになる。従って、上
記した特開平５−２５３４１２号公報に開示されている
装置におけるような塗布液と液取り出し口との衝突は問
題は生じない。このことからも、液取り出し口２５は、
塗布液の還流方向に向かって傾斜されていることが好ま
しい。
【００１３】案内盤の下面が、下方に位置する回転する
円盤の上面から１０ｍｍ以上離れている構成によって、
隙間の液体に溜りが発生して気泡の分離を妨害すること
を抑制できる。
円盤の上面から１０ｍｍ以上離れている構成によって、
隙間の液体に溜りが発生して気泡の分離を妨害すること
を抑制できる。
【００１４】脱気脱泡された塗布液は、液溜り３０の深
部に位置する液取り出し口２５から液取り出し管２４へ
と取り出される。
部に位置する液取り出し口２５から液取り出し管２４へ
と取り出される。
【００１５】液溜り３０に対する案内盤２３の先端部
（液取り出し口２５が位置する）の侵入深度が深くなれ
ばなる程、抵抗が大きくなり、塗布液の回転が妨げられ
ることになり、脱気・脱泡効果が低下することになる。
従って、この深度を３０ｍｍ以下に設定することが好ま
しく、更に好ましくは５ｍｍ以下とすることである。
（液取り出し口２５が位置する）の侵入深度が深くなれ
ばなる程、抵抗が大きくなり、塗布液の回転が妨げられ
ることになり、脱気・脱泡効果が低下することになる。
従って、この深度を３０ｍｍ以下に設定することが好ま
しく、更に好ましくは５ｍｍ以下とすることである。
【００１６】
【実施例】〈実施例１〉図１に示した装置を、下記の設
計条件で利用した。 円盤２０の外径： ３５０ｍｍ 環状フレーム２２の高さ： ５０ｍｍ 環状フレーム２２の深さ： ３５ｍｍ 案内盤２３の直径： ３４０ｍｍ 案内盤２３の高さ： １５ｍｍ 円盤２０の回転速度： ３０００ｒｐｍ ハウジング１０内の減圧： １５０ｍｍＨｇ 粘度の異なる下記塗布液を用意し、それぞれ５リットル
／ｍｉｎの量を供給した。
計条件で利用した。 円盤２０の外径： ３５０ｍｍ 環状フレーム２２の高さ： ５０ｍｍ 環状フレーム２２の深さ： ３５ｍｍ 案内盤２３の直径： ３４０ｍｍ 案内盤２３の高さ： １５ｍｍ 円盤２０の回転速度： ３０００ｒｐｍ ハウジング１０内の減圧： １５０ｍｍＨｇ 粘度の異なる下記塗布液を用意し、それぞれ５リットル
／ｍｉｎの量を供給した。
【００１７】 塗布液Ａ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加） 粘度：１００ｃｐ 塗布液Ｂ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加） 粘度：２００ｃｐ 塗布液Ｃ：１０％ゼラチン液（増粘多糖類添加） 粘度：５００ｃｐ 結果を表１に示す。尚、脱気率は、処理前後の溶存酸素
濃度を測定する方法で検出し、脱泡効果は、処理後の液
をサンプルとして最大気泡直径を測定する方法で検出し
た。
濃度を測定する方法で検出し、脱泡効果は、処理後の液
をサンプルとして最大気泡直径を測定する方法で検出し
た。
【００１８】〈参考例１〉図１に示した装置から、案内
盤２３と液取り出し管２４を取り外し、幅１ｍｍ、長さ
１０ｍｍの開口を持つ液取り出し口を厚み１ｍｍの金属
板で形成して、液取り出し管に接続し、図１の装置にお
ける液取り出し口２５と同様の位置に配置した。
盤２３と液取り出し管２４を取り外し、幅１ｍｍ、長さ
１０ｍｍの開口を持つ液取り出し口を厚み１ｍｍの金属
板で形成して、液取り出し管に接続し、図１の装置にお
ける液取り出し口２５と同様の位置に配置した。
【００１９】上記の装置を用い、実施例１と同一の条件
で実験を行なった。但し、円盤２０の回転速度は、発泡
・液の飛び散りにより、環状フレーム２２から塗布液が
あふれ出ることが許容できる最大回転速度５００ｒｐｍ
で実験を行なった。結果を表１に示す。
で実験を行なった。但し、円盤２０の回転速度は、発泡
・液の飛び散りにより、環状フレーム２２から塗布液が
あふれ出ることが許容できる最大回転速度５００ｒｐｍ
で実験を行なった。結果を表１に示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】 （注１）＊：処理後の最大残留気泡径を示す。 （注２）＊＊：気泡除去効果が認められない。
【００２2】
【発明の効果】本発明によれば、高粘度の塗布液の脱気
脱泡を有効に行なうことができ、処理時間も短縮できる
ので大容量の処理に最適であり、頭記した課題を解決す
ることができる。
脱泡を有効に行なうことができ、処理時間も短縮できる
ので大容量の処理に最適であり、頭記した課題を解決す
ることができる。
【図１】本発明に係る装置の概略断面図
【図２】案内盤の斜視図
１０−ハウジング １１−真空ポンプ １２−液供給管 ２０−円盤 ２１−モータ ２２−環状フレーム ２３−案内盤 ２４−液取り出し管 ２５−液取り出し口 ３０−液溜り
Claims (4)
- 【請求項１】回転円盤の周縁部に環状フレームを配置
し、円盤中央部上方から供給した塗布液を遠心力により
薄膜状で外方に移動させ前記環状フレームの内側に液溜
りを形成し、塗布液に含まれる気体成分並びに気泡を除
去する装置において、前記環状フレームの内側に、非接
触状態で円盤状の案内盤を配置すると共に、この案内盤
の周縁部に設けた液取り出し口から処理済みの塗布液の
取り出しを行なうことを特徴とする連続脱気脱泡装置。 - 【請求項２】液溜りに対する案内盤の先端部の侵入深度
が３０ｍｍ以下となるよう設定されていることを特徴と
する請求項１に記載の連続脱気脱泡装置。 - 【請求項３】案内盤の下面が、下方に位置する回転する
円盤の上面から１０ｍｍ以上離れていることを特徴とす
る請求項１又は２に記載の連続脱気脱泡装置。 - 【請求項４】塗布液が感光液であることを特徴とする請
求項１〜３の何れかに記載の連続脱気脱泡装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05502799A JP3959882B2 (ja) | 1999-03-03 | 1999-03-03 | 連続脱気脱泡装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05502799A JP3959882B2 (ja) | 1999-03-03 | 1999-03-03 | 連続脱気脱泡装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000246008A true JP2000246008A (ja) | 2000-09-12 |
| JP3959882B2 JP3959882B2 (ja) | 2007-08-15 |
Family
ID=12987195
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05502799A Expired - Fee Related JP3959882B2 (ja) | 1999-03-03 | 1999-03-03 | 連続脱気脱泡装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3959882B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030010486A (ko) * | 2002-03-28 | 2003-02-05 | 주식회사 피엠시코리아 | 도공액 탈기장치 |
| JP2008284451A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Izumi Food Machinery Co Ltd | 連続脱気脱泡装置 |
-
1999
- 1999-03-03 JP JP05502799A patent/JP3959882B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20030010486A (ko) * | 2002-03-28 | 2003-02-05 | 주식회사 피엠시코리아 | 도공액 탈기장치 |
| JP2008284451A (ja) * | 2007-05-17 | 2008-11-27 | Izumi Food Machinery Co Ltd | 連続脱気脱泡装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3959882B2 (ja) | 2007-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040518 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061225 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070130 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070327 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070424 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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