JP2000243356A

JP2000243356A - ホローカソードランプ

Info

Publication number: JP2000243356A
Application number: JP11044583A
Authority: JP
Inventors: Takeshige Shimazu; 雄滋嶋津; Toshio Ito; 敏夫伊藤; Junichi Imagama; 潤一今釜
Original assignee: Hamamatsu Photonics KK
Current assignee: Hamamatsu Photonics KK
Priority date: 1999-02-23
Filing date: 1999-02-23
Publication date: 2000-09-08
Also published as: EP1162648A4; WO2000051162A1; AU2689700A; US6548958B2; US20020000775A1; EP1162648A1

Abstract

(57)【要約】【課題】光出力が高く、バルブの内面が汚れにくいホ
ローカソードランプを提供すること。【解決手段】光出射窓３を有するバルブ４内に、当該
光出射窓３と対向する中空陰極１４および陽極８を備え
るホローカソードランプにおいて、筒状形状をなし、一
の開放端２０ａが中空陰極１４に接続され、他の開放端
２０ｂが光出射窓３と対向すると共に、その周側面に穴
２２が形成された筒状フード２０と、穴２２に臨む位置
に配置された電子供給源２４と、を備え、電子供給源２
４と陽極８との間で熱電子を利用した放電が行われるこ
とを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、原子吸光分析、原
子蛍光分析などの光源として使用されるホローカソード
ランプに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】原子吸光分析には、分析元素そのものの
原子スペクトル線を出力する光源を用いる必要があり、
このような光源として、ホローカソードランプ（中空陰
極ランプ）が知られている。このホローカソードランプ
は、中空陰極を形成する分析元素を、イオン衝撃に伴う
スパッタリングによって放電空間に原子状態で飛散さ
せ、電子エネルギの授受によってスペクトル線を発生さ
せるものである。

【０００３】ところで、従来から、このようなホローカ
ソードランプの使用時に生じる問題として、スペクトル
線の一部が放電空間に存在する励起されていない元素原
子（未励起元素原子）にエネルギを与え、これによりス
ペクトル線の強度が減少してしまう自己吸収という現象
が知られている。この自己吸収率が高いと、ホローカソ
ードランプへ供給する電流値を上げても光出力の向上が
図れない。

【０００４】かかる自己吸収に対応する技術として、例
えば特公平７−５６７８１号公報やＵＳＰ４，８８５，
５０４号公報に掲載されたホローカソードランプがあ
る。これらの各公報に掲載されたホローカソードランプ
は、ともに熱電子を放出する熱電子供給源（熱電子放射
用の補助電極，electron emitter）を備えており、この
熱電子供給源を陰極とした放電により、未励起原子を励
起状態にするものである。このように、熱電子供給源を
陰極とした放電により未励起原子を励起させることで、
未励起原子によるスペクトル線の吸収を防止することが
できる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記特公平７
−５６７８１号公報およびＵＳＰ４，８８５，５０４号
公報に掲載されたホローカソードランプには、次のよう
な問題があった。すなわち、上述のスパッタリングによ
り陰極の元素は飛散するが、ランプへの供給電流をある
程度高くすると、この飛散元素が飛び散ってしまい飛散
元素によりスペクトル線が散乱したり、また、元素が激
しく飛び散ってしまっているので熱電子供給源を陰極と
した放電を行っても未励起元素を励起状態にする効果が
低下してしまう。そのため、ランプの動作電流を上げて
も所望の光出力が得られないという問題があった。ま
た、飛散元素が激しく飛び散ってランプのバルブ内周面
に付着しバルブの汚染原因となり、以後好適な使用が困
難となるだけでなくランプの寿命が著しく短くなるとい
う問題もあった。

【０００６】本発明は、かかる事情に鑑みてなされたも
のであり、光出力が高く、バルブの内面が汚れにくいホ
ローカソードランプを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、光出射窓を有するバルブ内に、当該光出
射窓と対向する中空陰極および陽極を備えるホローカソ
ードランプにおいて、筒状形状をなし、一の開放端が中
空陰極に接続され、他の開放端が光出射窓と対向すると
共に、その周側面に穴が形成された筒状フードと、穴に
臨む位置に配置された電子供給源と、を備え、電子供給
源と陽極との間で熱電子を利用した放電が行われること
を特徴とする。

【０００８】本発明に係るホローカソードランプによれ
ば、中空陰極がスパッタリングされる際に飛散する陰極
元素は、筒状フードの内周面に付着するため、バルブの
内周面は殆ど汚れない。また、筒状フードによって、飛
散元素が激しく広範囲に飛び散るという事態を防止でき
る。このため、ランプから出力されるスペクトル線の散
乱が防止され、光出力が向上する。また、筒状フードの
周側面には穴が形成されており、さらに、当該穴に臨む
位置に、陽極との間で熱電子放出を利用した放電を中空
陰極内および筒状フード内で生じさせるための電子供給
源が配置されている。そして、この穴を介して電子供給
源と陽極との間で生じる放電によって、中空陰極内およ
び筒状フード内に存在する未励起原子を予め励起状態に
することができ、当該未励起原子による自己吸収が防止
される。このとき、上述のように、筒状フードによって
飛散元素が激しく広範囲に飛び散るという事態が防止さ
れているため、当該放電により未励起元素が効率良く励
起状態にされる。

【０００９】また、本発明に係るホローカソードランプ
において、電子供給源および穴を覆うカバーを更に備え
ることも望ましい。このような構成を採用した場合、中
空陰極がスパッタリングされる際に飛散する上記陰極元
素が、電子供給用の穴から飛び出してバルブの内周面に
付着するという事態が防止される。

【００１０】本発明の他の発明に係るホローカソードラ
ンプは、光出射窓を有するバルブ内に、光出射窓と対向
する中空陰極および陽極を備えるホローカソードランプ
において、筒状形状をなし、一の開放端が中空陰極に接
続され、他の開放端が光出射窓と対向すると共に、その
周側面にスリットが形成された筒状フードと、スリット
に臨む位置に配置された電子供給源と、を備え、電子供
給源と陽極との間で熱電子を利用した放電が行われるこ
とを特徴とする。

【００１１】このホローカソードランプによれば、中空
陰極がスパッタリングされる際に飛散する陰極元素は、
筒状フードの内周面に付着するため、バルブの内周面は
殆ど汚れない。また、筒状フードによって、飛散元素が
激しく広範囲に飛び散るという事態を防止でき、これに
より、ランプから出力されるスペクトル線の散乱が防止
され、光出力が向上する。また、筒状フードの周側面に
はスリットが形成されており、さらに、当該スリットに
臨む位置に、陽極との間で熱電子放出を利用した放電を
筒状フード内で生じさせるための電子供給源が配置され
ている。そして、スリットを介して電子供給源と陽極と
の間で生じる放電によって、中空陰極内に存在する未励
起原子を予め励起状態にすることができ、当該未励起原
子による自己吸収が防止される。

【００１２】また、当該ホローカソードランプにおい
て、電子供給源およびスリットを覆うカバーを更に備え
ることも望ましい。このような構成を採用した場合、中
空陰極がスパッタリングされる際に飛散する上記陰極元
素が、電子供給用のスリットから飛び出してバルブの内
周面に付着するという事態が防止される。

【００１３】さらに、本発明に係るホローカソードラン
プにおいて、中空陰極は、内部が貫通した貫通陰極であ
ると共に、光出射窓と陽極との間に位置することが望ま
しい。このような構成を採用した場合、陽極は中空陰極
と光出射窓との間の空間に位置しないため、中空陰極内
の原子が基底状態になる際に当該原子から放出される光
の進行が、陽極の存在によって妨げられることはない。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に係るホローカソードランプの好適な実施形態につい
て詳細に説明する。尚、同一要素には同一符号を用いる
ものとし、重複する記載は省略する。

【００１５】［第１実施形態］まず、図１および図２を
用いて、本実施形態のホローカソードランプ２の構成を
説明する。図１は、本実施形態のホローカソードランプ
を示す断面図であり、図２は、図１に示すホローカソー
ドランプをＸ方向から見た中空陰極近傍の拡大図であ
る。ホローカソードランプ２は、光出射面（光出射窓）
３を上部に有する石英ガラス製のバルブ４内に、その内
部が図１における上下方向に貫通した中空陰極１４と、
この中空陰極１４の下方に配置された陽極８と、を備え
ている。なお、バルブ４は気密にされており、その内部
にはネオンガスが封入されている。

【００１６】陽極８は、セラミックス製の絶縁碍子管６
によって支持固定され、さらに絶縁碍子管６内を貫通す
るリード線と電気的に接続されている。一方、中空陰極
１４は、マイカ（雲母）製の基板１０ａにそのフランジ
部１２ｆが載置された電気絶縁性の陰極支持部材１２に
よって、バルブ４に対して支持固定されている。また、
基板１０ａの下方には、二本の絶縁碍子管１６ａが陽極
８を挟むように配置され、さらに、陰極支持部材１２の
フランジ部１２ｆと基板１０ａの上方に配置された基板
１０ｂとの間には、絶縁性碍子管１６ｂが設けられてい
る。そして、絶縁碍子管１６ａおよび絶縁性碍子管１６
ｂ内を貫通するリード線１７が基板１０ｂ上に突出して
いる。なお、基板１０ａおよび基板１０ｂは、リング形
状をなしており、その内周部は陰極支持部材１２と接触
し、外周部はバルブ４の内周壁に接触しており、絶縁碍
子管１６ａおよび絶縁性碍子管１６ｂの揺動を防止して
いる。

【００１７】中空陰極１４は、ステンレス製の円筒状の
外部筒１４ａと当該外部筒１４ａの内周面に形成された
バナジウム製の内部筒１４ｂとから構成されている。な
お、中空陰極１４の内部筒１４ｂを形成する材料は、バ
ナジウムに限られず分析元素に応じて種々変更すること
ができ、たとえばセレン、ヒ素などがある。また、外部
筒１４ａを形成する材料もステンレスに限られず、さら
に、内部筒１４ｂを形成する材料によっては外部筒１４
ａを設けなくてもよい。

【００１８】また、中空陰極１４の上部には、当該中空
陰極１４と同軸に本実施形態の特徴である筒状のフード
２０が装着されている。詳しくは、中空陰極１４の上部
外周に対してフード２０の下部内周が嵌合するようにフ
ード２０は中空陰極１４に装着されている。また、フー
ド２０の下部は、二枚の金属製のフード固定板１８によ
って中空陰極１４に締め付けられている。なお、図１に
おいては、二枚のフード固定板１８のうち中空陰極１４
の図中奥側に位置する一方のみが図示されているが、実
際は中空陰極１４の図中手前側にもフード固定板１８は
配置され、二つのフード固定板１８は溶接によって接着
固定されている。また、二つのフード固定板１８によっ
て上記リード線１７が挟み込まれ、これにより中空陰極
１４への導通が図られている。なお、このフード２０の
下方の開放端２０ａは中空陰極１４と接触し、上方の開
放端２０ｂはバルブ４の光出射面３と対向している。ま
た、フード２０は、熱伝導性が良くスパッタリングされ
にくいニッケルによって形成されている。なお、フード
２０を構成する材料はニッケルに限られず、ステンレ
ス、アルミニウム等でもよい。

【００１９】さらに、フード２０の周側面には、円形の
穴２２が形成されている。そして、この穴２２に臨む位
置には、フード２０内で陽極８との間で熱電子放出を利
用した放電を行うための熱電子放出陰極２４が配置され
ている。すなわち、穴２２は、熱電子放出陰極２４と陽
極８との間で放電を生じさせるために形成されている。
なお、熱電子放出陰極２４は、内部にリード線が通って
いる支持管２６によって支持されている。以上が、ホロ
ーカソードランプ２の構成である。

【００２０】次に、ホローカソードランプ２の作用を説
明する。まず、陽極８と中空陰極１４との間に電圧をか
けて、この両者の間で放電を生じさせる。すると、この
放電により、バルブ４に封入されたネオンガス原子が電
離する。このガスの電離作用によって生じた陽イオンは
電界に引っ張られて中空陰極１４の内部筒１４ｂの内周
面に衝突し、このときの運動エネルギによって中空陰極
１４の内周表面から陰極物質（バナジウム）が原子状に
飛散する。この飛散陰極元素は、基底状態にある単原子
等からなり、中空陰極１４の内部空間に熱拡散される。
そして、拡散中の基底状態の飛散陰極元素は、陽極８と
中空陰極１４との間の放電により励起され、短時間（約
１０^-8程度）後に再び基底状態に遷移する。この際、そ
の遷移エネルギに等しいバナジウム固有の単色光（スペ
クトル線）が発せられ、この光が光出射面３より出力さ
れる。なお、上記マイカ製の基板１０ａおよび基板１０
ｂの内周部が陰極支持部材１２と接触し、外周部がバル
ブ４の内周壁に接触しているため、陽極８と中空陰極１
４との間の放電経路が中空陰極１４の外側になる事態を
防止することができる。

【００２１】ここで、本実施形態では、中空陰極１４の
上方に上記フード２０が装着されており、中空陰極１４
から飛散する飛散陰極元素は当該フード２０の内周面に
付着するため、バルブ４の内周面に飛散陰極元素が付着
して汚れるという事態を防止することができる。また、
フード２０によって、飛散陰極元素が激しく広範囲に飛
び散るという事態を防止でき、これにより、光出射面３
から出力されるスペクトル線の散乱を防止でき、光出力
が向上する。また、フード２０内において飛散陰極元素
の密度が高くなる。さらに、中空陰極１４に接続された
フード２０は、熱伝導性の良いニッケルから形成されて
おり、中空陰極１４の放熱部材としての役割も果たして
いる。このため、ランプ２の動作電流の増加に伴う中空
陰極１４の温度上昇率は低くなり、ランプ２の動作電流
を従来よりも高くすることができ、光出力が向上する。
また、中空陰極１４がスパッタリングされる前に熱で溶
けるという事態を防止することもできる。またさらに、
陽極８は中空陰極１４と光出射面３との間の空間に位置
しないため、中空陰極１４内の飛散陰極元素から光出射
面３に向かうスペクトル線が陽極８の存在によって妨げ
られることはない。

【００２２】なお、一般的に、光（スペクトル線）出力
過程において、当該スペクトル線のエネルギが、未励起
状態（基底状態）にある飛散陰極元素によって吸収され
る、いわゆる自己吸収という現象が生じる可能性があ
る。自己吸収が生じると、スペクトル線の強度が弱ま
り、さらに、スペクトル線の輪郭がぼやけて分析吸収感
度が低下することになる。しかし、本実施形態では、フ
ード２０の周側面に穴２２が形成されており、さらに、
この穴２２に臨む位置に熱電子放出陰極２４が配置され
ている。熱電子放出陰極２４に支持管２６内の導線を介
して電圧を印加すると、当該熱電子放出陰極２４と陽極
８との間で、熱電子放出を利用した放電が行われる。そ
して、この放電によって、未励起原子をスペクトル線と
の衝突前に予め励起状態にすることができ、当該未励起
原子による自己吸収を防止できる。このとき、上述のよ
うに、フード２０によって飛散陰極元素が激しく広範囲
に飛び散るという事態が防止されているため、熱電子放
出を利用した放電により未励起元素を効率良く励起状態
にすることができる。

【００２３】図３は、本実施形態のホローカソードラン
プ２の動作電流と光出力の関係を示すグラフであり、横
軸を動作電流とし、縦軸を相対出力としている。また、
このグラフ上には、熱電子放出陰極は有するがフード２
０を装備しない従来タイプのホローカソードランプに関
するデータもプロットしてある。本実施形態のホローカ
ソードランプ２のデータは、黒く塗りつぶした丸印、三
角印、四角印のプロットを実線で繋いで示し、従来タイ
プのデータは、白抜きの丸印、三角印、四角印のプロッ
トを破線で繋いで示した。なお、丸印、三角印、四角印
は、それぞれ熱電子放出陰極２４に流す電流値を５ｍ
Ａ，１５ｍＡ，２５ｍＡとしたものである。このグラフ
より、熱電子放出陰極２４に流す電流値をどの値にして
も、従来タイプのランプよりも本実施形態のランプ２の
方が、光出力が遙かに高いことがわかる。特に、ランプ
の動作電流を約７０ｍＡ程度まで上げた場合は、本実施
形態のランプ２の出力は、従来タイプのランプの出力の
１．５倍以上になる。

【００２４】図４は、本実施形態のホローカソードラン
プ２において、中空陰極の材料としてバナジウムの代わ
りにバナジウムよりもスパッタリングされ易いセレンを
用いた場合のデータを示すグラフである。図３と同様
に、本実施形態のホローカソードランプ２のデータは、
各プロットを実線で繋いで示し、従来タイプのホローカ
ソードランプのデータは、各プロットを破線で繋いで示
した。また、本実施形態の熱電子放出陰極２４に流す電
流値は、３０ｍＡ，６０ｍＡ，８０ｍＡ，９０ｍＡ，１
１０ｍＡとし、従来タイプの熱電子放出陰極２４に流す
電流値は、２０ｍＡ，３０ｍＡ，４０ｍＡ，５０ｍＡ，
８０ｍＡとした。

【００２５】図４に示されているように、従来タイプの
ランプの動作電流を約４０ｍＡまで上げると、光出力が
著しく低下した。これは、動作電流が大きくなるとスパ
ッタリングされる陰極元素の量が多くなり、飛散陰極元
素が中空陰極から飛び出し広範囲に飛び散ってしまうこ
とに起因している。さらに、この状態でランプを動作し
続けると、飛散陰極元素がバルブに付着しバルブの内周
面を汚してしまい、以後好適な使用が困難となるだけで
なくランプの寿命が著しく短くなってしまう。一方、本
実施形態のランプでは、動作電流を約８０ｍＡまで上げ
ても光出力は低下せずに高出力が得られた。すなわち、
本実施形態のランプによれば、従来のランプでは動作電
流を上げても得られなかった高出力を得ることができ、
その結果広い範囲での光出力を得ることが可能となっ
た。なお、本実施形態のランプでは、動作電流を８０ｍ
Ａまで上げてもバルブの内周面は殆ど汚れなかった。

【００２６】［第２実施形態］次に、本発明に係るホロ
ーカソードランプの第２実施形態について説明する。図
５は、本実施形態のホローカソードランプの特徴部分を
示す図である。本実施形態のホローカソードランプが第
１実施形態のランプ２と異なるのは、フード２０の構成
にある。図５に示されているように、本実施形態のフー
ド２０には、熱電子放出陰極２４と陽極８との間で放電
を生じさせるため、第１実施形態のような円形の穴２２
（図２参照）でなく、その周側面にスリット３４が形成
されている。スリット３４は、フード２０の上方の開放
端２０ｂから下方の開放端２０ａまで延びている。な
お、このスリット３４に臨む位置には、スリット３４と
直交するように、熱電子放出陰極２４が配置されてい
る。

【００２７】このような構成を採用した場合も、第１実
施形態と同様に、中空陰極１４から飛散する飛散陰極元
素はフード２０の内周面に付着するため、バルブ４の内
周面に飛散陰極元素が付着して汚れるという事態を防止
することができる。また、フード２０によって、飛散陰
極元素が激しく広範囲に飛び散るという事態を防止で
き、これにより、光出射面３から出力されるスペクトル
線の散乱を防止でき、光出力が向上する。さらに、フー
ド２０は、中空陰極１４の放熱部材としての役割も果た
し、ランプ２の動作電流の増加に伴う中空陰極１４の温
度上昇率は低くなり、ランプ２の動作電流を従来よりも
高くすることができ、光出力が向上する。また、中空陰
極１４がスパッタリングされる前に熱で溶けるという事
態を防止することもできる。

【００２８】またさらに、スリット３４を介して熱電子
放出陰極２４と陽極８との間で生じる熱電子放出を利用
した放電によって、中空陰極１４内に存在する未励起原
子をスペクトル線との衝突前に予め励起状態にすること
ができ、当該未励起原子による自己吸収を防止できる。
このとき、上述のように、フード２０によって飛散陰極
元素が広範囲に飛び散るという事態が防止されているた
め、熱電子放出を利用した放電により未励起元素を効率
良く励起状態にすることができる。

【００２９】図６は、第２実施形態の変形例を示す図で
ある。この変形例では、熱電子放出陰極２４は、スリッ
ト３４と直交せず、スリット３４と平行に配置されてい
る。このような構成を採用した場合、熱電子放出陰極２
４からの熱電子を利用する放電を、効率よく発生させる
ことができる。

【００３０】［第３実施形態］図７および図８を用い
て、第３実施形態のホローカソードランプを説明する。
図７は、本実施形態のホローカソードランプの特徴部分
を示す図であり、図８は、図７に示すランプのVIII−VI
II方向の断面図である。本実施形態のホローカソードラ
ンプが第１実施形態のランプ２と異なるのは、フード２
０の構成にある。図７および図８に示されているよう
に、フード２０には、フード２０に形成された穴２２と
熱電子放熱陰極２４とを覆うカバー４０が備えられてい
る。

【００３１】このような構成を採用した本実施形態のホ
ローカソードランプによれば、中空陰極１４から飛散す
る上述の飛散陰極元素が、電子供給用の穴２２から外部
に飛び出してバルブの内周面に付着するという事態を防
止することができ、ランプの寿命が長くなることにな
る。

【００３２】なお、本実施形態のホローカソードランプ
は、第１実施形態のランプにカバー４０を装着したもの
であるが、このほか第２実施形態のホローカソードラン
プにカバー４０を装着することもできる。すなわち、熱
電子放出陰極２４とスリット３４をカバー４０によって
覆うことも望ましい。

【００３３】以上、本発明者によってなされた発明を実
施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施
形態に限定されるものではない。例えば、フードは、断
面円形の筒に限られず、中空陰極の形状に合わせて、角
筒等にしてもよい。また、フードに形成する穴は円形に
限られず、方形、楕円形などに適宜変更することができ
る。さらに、中空陰極が内部筒と外部筒とから形成され
ている場合に、別途フードを設けずに外部筒を光出射面
方向に延ばし、この外部筒の延在部分をフードとみなし
て当該延在部分に電子供給源と陽極との間で放電を起こ
させるための穴を形成してもよい。

【００３４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るホロ
ーカソードランプによれば、中空陰極がスパッタリング
される際に飛散する陰極元素は、筒状フードの内周面に
付着するため、バルブの内周面は殆ど汚れない。また、
筒状フードによって、飛散元素が激しく広範囲に飛び散
るという事態を防止することができる。このため、ラン
プから出力されるスペクトル線の散乱を防止でき、ラン
プの光出力を向上することができる。

【００３５】また、筒状フードの周側面には穴またはス
リットが形成されており、さらに、当該穴またはスリッ
トに臨む位置に、陽極との間で熱電子放出を利用した放
電を中空陰極内および筒状フード内で生じさせるための
電子供給源が配置されている。そして、当該穴またはス
リットを介して電子供給源と陽極との間で生じる放電に
よって、中空陰極内および筒状フード内に存在する未励
起原子を予め励起状態にすることができ、当該未励起原
子による自己吸収を防止することができる。このとき、
上述のように、筒状フードによって飛散元素の広範囲へ
の飛び散りが防止されているため、電子供給源を陰極と
した放電により効率良く未励起元素を励起状態にするこ
とが可能となり、光出力が一層向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】第１実施形態のホローカソードランプを示す断
面図である。

【図２】図１に示すホローカソードランプをＸ方向から
見た中空陰極近傍の拡大図である。

【図３】第１実施形態のホローカソードランプの動作電
流と光出力の関係を示すグラフである。

【図４】第１実施形態のホローカソードランプにおいて
中空陰極をセレンで形成した場合の動作電流と光出力の
関係を示すグラフである。

【図５】第２実施形態のホローカソードランプの特徴部
分を示す図である。

【図６】第２実施形態のホローカソードランプの変形例
を示す図である。

【図７】第３実施形態のホローカソードランプの特徴部
分を示す図である。

【図８】図７に示すホローカソードランプのVIII−VIII
方向の断面図である。

【符号の説明】

２…ホローカソードランプ、３…光出射面（光出射
窓）、４…バルブ、８…陽極、１４…中空陰極、１６
ａ，１６ｂ…絶縁碍子管、１８…フード固定板、２０…
フード、２２…穴、２４…熱電子放出陰極（電子供給
源）、３４…スリット、４０…カバー。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者今釜潤一静岡県浜松市市野町1126番地の１浜松ホトニクス株式会社内Ｆターム(参考） 2G059 AA01 EE01 EE12 GG10 JJ21 JJ30 KK01 LL02 NN07

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光出射窓を有するバルブ内に、当該光出
射窓と対向する中空陰極および陽極を備えるホローカソ
ードランプにおいて、筒状形状をなし、一の開放端が前記中空陰極に接続さ
れ、他の開放端が前記光出射窓と対向すると共に、その
周側面に穴が形成された筒状フードと、前記穴に臨む位置に配置された電子供給源と、を備え、前記電子供給源と前記陽極との間で熱電子を利用した放
電が行われることを特徴とするホローカソードランプ。
【請求項２】前記電子供給源および前記穴を覆うカバ
ーを更に備えることを特徴とする請求項１記載のホロー
カソードランプ。
【請求項３】光出射窓を有するバルブ内に、当該光出
射窓と対向する中空陰極および陽極を備えるホローカソ
ードランプにおいて、筒状形状をなし、一の開放端が前記中空陰極に接続さ
れ、他の開放端が前記光出射窓と対向すると共に、その
周側面にスリットが形成された筒状フードと、前記スリットに臨む位置に配置された電子供給源と、を
備え、前記電子供給源と前記陽極との間で熱電子を利用した放
電が行われることを特徴とするホローカソードランプ。
【請求項４】前記電子供給源および前記スリットを覆
うカバーを更に備えることを特徴とする請求項３記載の
ホローカソードランプ。
【請求項５】前記中空陰極は、内部が貫通した貫通陰
極であると共に、前記光出射窓と前記陽極との間に位置
することを特徴とする請求項１〜請求項４のうち何れか
一項記載のホローカソードランプ。