SU1769630A2 - Источник ионов - Google Patents

Abstract

Изобретение относится к устройствам для получения моноэнергетических интенсивных пучков ионов различных газов, в том числе активных, и может быть использовано для различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.д.). Целью изобретения является увеличение срока службы и повышение электрической экономичности источника ионов на основе разряда с холодным катодом, контрагированного в скрещенных электрическом и магнитном полях. Источник ионов содержит эквипотенциальный полый катод, кольцевой анод, магнитную систему, многоапертурную систему извлечения, дополнительную полость и конус. Напуск рабочего газа осуществляется через герметизированную полость 12 с кольцевым выходным зазором в сторону центрального стержня 14 и через контрагирующую щель 2 в полость полого катода 1. При подаче напряжения между анодом 4 и катодом 1 при наличии радиального магнитного поля зажигается основной разряд между полостью 12 и анодом. За счет попадания образовавшихся ионов через контрагирующие щели в полый катод 1 зажигается вспомогательный разряд за счет вторичных электронов со стенок полого катода. С конуса 15, выполненного из материала с высоким коэффициентом вторичной эмиссии, вторичные электроны, двигаясь через щель 2 к аноду, генерируют дополнительные ионы. Форма вставки позволяет не искажать полный поток, формируемый полого катода с конуса 15, выполненного из материала с высоким коэффициентом вторичной эмиссии, вторичные электроны, двигаясь через щель 2 к аноду, генерируют дополнительные ионы. Вставка находится в зоне максимальной удельной плотности ионов и в тоже время может интенсивно охлаждаться при работе на активных газах. При работе на инертных газах за счет использования теплового затвора возможно обеспечение термоэмиссии и дополнительное снижение разрядного напряжения. 1 з. п. ф-лы, 1 ил.