SU1665717A1 - Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором - Google Patents

Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором

Info

Publication number
SU1665717A1
SU1665717A1 SU4706170/21,4706171/21A SU4706170A SU1665717A1 SU 1665717 A1 SU1665717 A1 SU 1665717A1 SU 4706170 A SU4706170 A SU 4706170A SU 1665717 A1 SU1665717 A1 SU 1665717A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
cavity
anode
zone
thermoelectronic
electrons
Prior art date
Application number
SU4706170/21,4706171/21A
Other languages
English (en)
Inventor
А.А. Ванин
М.А. Кремеров
А.Ю. Малинов
В.К. Сырчин
Original Assignee
Московский институт электронной техники
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Московский институт электронной техники filed Critical Московский институт электронной техники
Priority to SU4706170/21,4706171/21A priority Critical patent/SU1665717A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU1665717A1 publication Critical patent/SU1665717A1/ru

Links

Landscapes

  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)

Abstract

Изобретение относится к пленочной микроэлектронике, в частности к магнетронным устройствам ионно-плазменного нанесения пленок материалов в производстве тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Устройство позволяет повысить эффективность и стабильность работы в процессе нанесения пленки при рабочем давлении 0,05-Па. С этой целью в катоде выполняют полость, в которой устанавливают термокатод. Над полостью установлен экран-отражатель. Термоэлектронный эмиттер обеспечивает эмиссию электронов в область магнитной ловушки, что позволяет обеспечить эффективную ионизацию рабочего газа. При этом необходим равномерный ввод электронов в зону ионизации, что достигается симметричным размещением термокатода и анода относительно кольцеобразной зоны плазмы. Анод, магнитная система, полость и экран в устройстве осесимметричны, а магнитная система всегда расположена между анодом и полостью. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
SU4706170/21,4706171/21A 1989-07-21 1989-07-21 Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором SU1665717A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) 1989-07-21 1989-07-21 Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) 1989-07-21 1989-07-21 Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU1665717A1 true SU1665717A1 (ru) 1995-02-09

Family

ID=60531932

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) 1989-07-21 1989-07-21 Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU1665717A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2631553C2 (ru) * 2015-12-17 2017-09-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов
RU183113U1 (ru) * 2017-12-06 2018-09-11 Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" Узел катода магнетронного распылителя
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2631553C2 (ru) * 2015-12-17 2017-09-25 Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов
RU183113U1 (ru) * 2017-12-06 2018-09-11 Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" Узел катода магнетронного распылителя
RU2691357C1 (ru) * 2018-07-09 2019-06-11 Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) Устройство для ионно-плазменного напыления

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4785220A (en) Multi-cathode metal vapor arc ion source
US4714860A (en) Ion beam generating apparatus
GB1420061A (en) Sputtering method and apparatus
DE69017071D1 (de) Plasmaätzvorrichtung mit Magnetfeldern an der Oberfläche.
SE8801144L (sv) Jonplasmakanon
DE69222211T2 (de) Elektronzyklotronresonanz-Ionentriebwerk
WO1989010000A1 (en) Plasma-assisted high-power microwave generator
SE8700017D0 (sv) Ion plasma electron gun
SE8801145D0 (sv) Ion plasma electron gun with dose rate control via amplitude modulation of the plasma discharge
EP0289577B1 (en) Dynamic electron emitter
US4952843A (en) High current ion source
SU1665717A1 (ru) Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором
CA2220605A1 (en) Ion source block filament with labyrinth conductive path
GB1454196A (en) Electron beam apparatus
JPS5760658A (en) Cathode ray tube for light source
RU2035789C1 (ru) Способ получения пучка ускоренных частиц в технологической вакуумной камере
US2491425A (en) Electrode structure for gaseous discharge devices
RU2759425C1 (ru) Плазменный эмиттер импульсного форвакуумного источника электронов на основе дугового разряда
US4886992A (en) Electron source with magnetic means
GB1398167A (en) High pressure ion sources
US3437260A (en) Vacuum arc gettering pump
GB845495A (en) Microwave tube
JPS53105699A (en) Cold cathod discharging type ion source device
TW342516B (en) Color cathode ray tube having an improved first grid electrode
SU1271134A1 (ru) Источник ионов дл обработки подложек в вакууме