SU1665717A1 - Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором - Google Patents
Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизаторомInfo
- Publication number
- SU1665717A1 SU1665717A1 SU4706170/21,4706171/21A SU4706170A SU1665717A1 SU 1665717 A1 SU1665717 A1 SU 1665717A1 SU 4706170 A SU4706170 A SU 4706170A SU 1665717 A1 SU1665717 A1 SU 1665717A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cavity
- anode
- zone
- thermoelectronic
- electrons
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Abstract
Изобретение относится к пленочной микроэлектронике, в частности к магнетронным устройствам ионно-плазменного нанесения пленок материалов в производстве тонкопленочных элементов интегральных микросхем. Устройство позволяет повысить эффективность и стабильность работы в процессе нанесения пленки при рабочем давлении 0,05-Па. С этой целью в катоде выполняют полость, в которой устанавливают термокатод. Над полостью установлен экран-отражатель. Термоэлектронный эмиттер обеспечивает эмиссию электронов в область магнитной ловушки, что позволяет обеспечить эффективную ионизацию рабочего газа. При этом необходим равномерный ввод электронов в зону ионизации, что достигается симметричным размещением термокатода и анода относительно кольцеобразной зоны плазмы. Анод, магнитная система, полость и экран в устройстве осесимметричны, а магнитная система всегда расположена между анодом и полостью. 3 з.п. ф-лы, 2 ил.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU1665717A1 true SU1665717A1 (ru) | 1995-02-09 |
Family
ID=60531932
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU4706170/21,4706171/21A SU1665717A1 (ru) | 1989-07-21 | 1989-07-21 | Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU1665717A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631553C2 (ru) * | 2015-12-17 | 2017-09-25 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов |
RU183113U1 (ru) * | 2017-12-06 | 2018-09-11 | Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" | Узел катода магнетронного распылителя |
RU2691357C1 (ru) * | 2018-07-09 | 2019-06-11 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) | Устройство для ионно-плазменного напыления |
-
1989
- 1989-07-21 SU SU4706170/21,4706171/21A patent/SU1665717A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2631553C2 (ru) * | 2015-12-17 | 2017-09-25 | Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук (ИСЭ СО РАН) | Магнетронная распылительная система с инжекцией электронов |
RU183113U1 (ru) * | 2017-12-06 | 2018-09-11 | Общество с ограниченной ответственностью "Инженерно-внедренческий центр Плазмаинструмент" | Узел катода магнетронного распылителя |
RU2691357C1 (ru) * | 2018-07-09 | 2019-06-11 | Федеральное государственное бюджетное научное учреждение "Федеральный исследовательский центр "Красноярский научный центр Сибирского отделения Российской академии наук" (ФИЦ КНЦ СО РАН, КНЦ СО РАН) | Устройство для ионно-плазменного напыления |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4785220A (en) | Multi-cathode metal vapor arc ion source | |
US4714860A (en) | Ion beam generating apparatus | |
GB1420061A (en) | Sputtering method and apparatus | |
DE69017071D1 (de) | Plasmaätzvorrichtung mit Magnetfeldern an der Oberfläche. | |
SE8801144L (sv) | Jonplasmakanon | |
DE69222211T2 (de) | Elektronzyklotronresonanz-Ionentriebwerk | |
WO1989010000A1 (en) | Plasma-assisted high-power microwave generator | |
SE8700017D0 (sv) | Ion plasma electron gun | |
SE8801145D0 (sv) | Ion plasma electron gun with dose rate control via amplitude modulation of the plasma discharge | |
EP0289577B1 (en) | Dynamic electron emitter | |
US4952843A (en) | High current ion source | |
SU1665717A1 (ru) | Магнетронное распылительное устройство с термоэлектронным ионизатором | |
CA2220605A1 (en) | Ion source block filament with labyrinth conductive path | |
GB1454196A (en) | Electron beam apparatus | |
JPS5760658A (en) | Cathode ray tube for light source | |
RU2035789C1 (ru) | Способ получения пучка ускоренных частиц в технологической вакуумной камере | |
US2491425A (en) | Electrode structure for gaseous discharge devices | |
RU2759425C1 (ru) | Плазменный эмиттер импульсного форвакуумного источника электронов на основе дугового разряда | |
US4886992A (en) | Electron source with magnetic means | |
GB1398167A (en) | High pressure ion sources | |
US3437260A (en) | Vacuum arc gettering pump | |
GB845495A (en) | Microwave tube | |
JPS53105699A (en) | Cold cathod discharging type ion source device | |
TW342516B (en) | Color cathode ray tube having an improved first grid electrode | |
SU1271134A1 (ru) | Источник ионов дл обработки подложек в вакууме |