Изобретение относитс к устройст вам дл получени моноэнергетичных: интенсивных пучков ионов различных газов, включа активные, при высоки газовой и электрической экономичност х и может быть использовано дл различных технологических операций в вакууме (травление подложек, нанесение пленок, легирование и т.п.. Моноэнергетические пучки ионов обеспечиваютс при разделении функций генерации и ускорени , зар женны части в источниках ионов, Генераци зар женных частиц осуществл етс в разр дной камере, а ускорение ионов до необходимой энергии происходит в электрическом поле вакуумного ускор ющего промежутка при отборе ионо с границы плазмы без возмущечи раз р да fl.Возникновение ионов в ускор ющем промежутке и изменение параметров разр да при введении ускор ющего напр жени приводит к ухудвиению моноэнергетичности пучка. Наиболее близким техническим решением к предпагаемому вл етс источник ионов J2j , содержащий анод, промежуточный электрод с кольцевой контрагирующей щелью, магнитную систему броневого типа, источник питани , положитель {шй вывод которого соединен с анодом, катодj по крайней мере с одним отверстием дл извлечени ионов и ускор кндий электрод При этом катод выполнен в виде термокатода . Недостатком его вл етс низка надежность работы из-за наличи тер мокатода иограничение диапазона ра бочих газов. Исключение термокатода из -разр д ной камеры и переход в той же геометрии к разр ду между боковыми сте ками контрагирующей щели и анодом приводит при одинаковый услови х к увеличению напр жени горени разр да в несколько раз. и уменьшению раз р дного тока и тока ионов пучка боt лее чем на пор док. Эти обсто тельс ва привод т к существенному снижению газовой и электрической экономичное -.зги источника ионов., Целью изобретени вл етс повышение газовой экономичности путем дополнительной ионизации газа в кам ре катода при Hcnojjb зова НИИ любых г эов, включа активные. Указанна цель достигаетс тем, что катод выполнен полам в виде металлической камеры, при этом входно отверстие расположено со стороны промежутрчно1;о электрода, электриче ки изолироаанногб от катода, соединенного с отрицательньот выводом источника питани и через ограничител ное сопротивление с промежуточным электродом. На чертеже изображено предлагаемое устройство. Источник ионов содержит катод 1 в форме металлической полости, фероомагнитный промежуточный элект;род 2, с контрагирующей кольцевой щелью, медный анод 3, электромагнитную катушку 4 дл создани .радиального магнитного пол в щели, ускор ющий электрод 5, источник б питани , положительный вывод которого соединен с анодом, а отрицательный - с катодом и через ограничительное сопротивление 7 с промежуточным электродом. Также в источнике имеютс изол торы 8-11. Напуск рабочего газа в источник производитс с анодной стороны, а откачка разр дной камеры - через эмиссионные отверсти в стенке полости . Источник работает следующим образом . При введении радиального магнитного пол в щели и включении напр жени первоначгшь НО .инициируетс слаботочный разр д между стенками кольцевой контрагирующей щели в промежуточном электроде 2 и анодом 3. Ионы, ускоренные в анодном слое этого разр да, попадают на внутренние стенки полости катода.через его входное отверстие и выбивают вторичные электроны,, каждый из которых соверша многократные колебани в полости, производит несколько новых пар зар женных частиц. Образовавшиес в полости электроны попадают в щель, увеличивают в ней выход ионов и разр дный ток. В результате в полости образуетс плазма, отделеннай от стенок катодным падением, а также двойным электростатическим слоем с катодной стороны контрагирующей щели. Двойной электростатический слой обеспечивает ускорение ионизирующих электронов из полости в контрагирующую щель и образовавшихс в щели ионов в направлении эмиссионных отверстий . Дополнительна ионизаци газа в полости повышает плотность ионов на границе токоотбора и газовую эконсмичность источника ионов. Величина ограничительного соп о тивленй 7 выбираетс из услови минимального сопротивлени разр да и максимального тока пучка при постоЯННОМ напр жении источника питани и составл ет 100-200 Ом. Образ цепи промежуточного электрода переводит разр д в слаботочную и на пор док уменьшает ток пучка. При ограничительном сопротивлении R О возрастает Сопротивление и уменьшаетс ток пучка примерно А 1,5 раза по сравнению с током при вышел.указанном эначении;В. Дл возбуждени полого катода необходимо большое врем жизни.вторичных электронов в полости, что обес .печиваетс при линейных размерах полости , превыиающих более чем на пор док ширину иели. Входное отверстие полости катода должно быть не менее внешнего диаметра щели и соосно с ним, чтобы ионы, ускоренные двойным слоем, по падали в полость. Отбор ионов из плазмы и их ускорение до необходимых энергий осуществл етс электрическим полем при подаче высокою напр жени между полостью и ускор ющим электродом 5. Получен пучок ионов кислорода с током 0,25 А и энергией ионов 10 кВ при газовой экономичности 0,7, электрической экономичности 0,8 и разбросом ионов по энергии в пределах 2%. Предлагаемый источник ионов обладает следующими преимуществами по сравнению с прототипом: повьшаетс надежность работы источника и позвол ет использовать в качестве рабочих активные газы, повышаетс степень ионизации на границе токоотбора} в случае исключени из него термокатода повышаетс ток пучка ионов более чем на пор док, повышаетс газова экономичность путем дополнительной ионизации газа в полости катода, снижаетс разр дное Нсшр жение в несколько раз.