SU525377A1 - Плазменный источник ионов - Google Patents
Плазменный источник ионов Download PDFInfo
- Publication number
- SU525377A1 SU525377A1 SU742071335A SU2071335A SU525377A1 SU 525377 A1 SU525377 A1 SU 525377A1 SU 742071335 A SU742071335 A SU 742071335A SU 2071335 A SU2071335 A SU 2071335A SU 525377 A1 SU525377 A1 SU 525377A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- ion source
- plasma ion
- anode
- chamber
- magnetic
- Prior art date
Links
Description
дитс под отрицательным потенциалом относительно электродов 1 и 3. Магнитные катушки 5 и 6 создают магнитное поле пробочной конфигурации. Электроны, эммитируемые термокатодом 1, ускор ютс полем анода 2, пролетают его и, отража сь от антикатода 3, осциллирзют около анода 2. Магнитные пробки ограничивают уход частнц иа торцовые стенки камеры и привод т к осцилл ции электронов в продольном направлении, что способствует дополнительной ионизацип газа. Радиальный поток ионов выт гиваетс из плазмы под действием пол извлекающего электрода 4. Величину магнитного нол подбирают так, чтобы Ларморовскне радиусы электронов были малы по сравнению с характерными цонеречными размерами камеры mcVt
В
еа
где 1/1 - компонента скорости
.магнитного пол .
При давлении пор дка 10- мм рт. ст. выигрыш в токе по сравнению с источником без адиабатической логзушки составл ет 2-3 раза. Ионный ток нри этом может сниматьс со всей боковой поверхности источника.
Другое преимуш ество ионного источника с адиабатической магнитной ловушкой заключаетс в том, что осцилл ции электронов между област ми сильного магнитного пол увеличивают полный пробег электронов и, следовательно, число образуемых ими ионов.
Claims (1)
- Формула изобретениПлазменный источник ионов, содержаший цилиндрическую камеру, помещенную внутри магнитной системы, термокатод, коаксиальный сеточный анод, отличающийс тем , что, с целью увеличени полного тока, между цилиндрической стенкой камеры и анодом коаксиально помещен сепоперек точный антикатод, а магнитна система образована двум соленоидами, расположенны .ми на торцах камеры.4г±гXI I IL
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU742071335A SU525377A1 (ru) | 1974-11-01 | 1974-11-01 | Плазменный источник ионов |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU742071335A SU525377A1 (ru) | 1974-11-01 | 1974-11-01 | Плазменный источник ионов |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU525377A1 true SU525377A1 (ru) | 1982-06-15 |
Family
ID=20599562
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU742071335A SU525377A1 (ru) | 1974-11-01 | 1974-11-01 | Плазменный источник ионов |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU525377A1 (ru) |
-
1974
- 1974-11-01 SU SU742071335A patent/SU525377A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4122347A (en) | Ion source | |
JPS6280950A (ja) | イオン源 | |
US3460745A (en) | Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell | |
US3274436A (en) | Ion source with selective hot or cold cathode | |
SU525377A1 (ru) | Плазменный источник ионов | |
US3448315A (en) | Ion gun improvements for operation in the micron pressure range and utilizing a diffuse discharge | |
US4087720A (en) | Multi-beam, multi-aperture ion sources of the beam-plasma type | |
US3280365A (en) | Penning-type discharge ionization gauge with discharge initiation electron source | |
US3287589A (en) | Electron-collision ion source, particularly for electric mass spectrometers | |
JPH0762989B2 (ja) | 電子ビ−ム励起イオン源 | |
US3118077A (en) | Ionic vacuum pumps | |
JPS5740845A (en) | Ion beam generator | |
ES330374A1 (es) | Un dispositivo de manantial de iones que tiene un recinto de vacio. | |
US2685046A (en) | Magnetron | |
SU908193A1 (ru) | Источник ионов | |
SU496868A1 (ru) | Ионна пушка | |
RU1766201C (ru) | Источник ионов | |
RU2030015C1 (ru) | Полый катод плазменного эмиттера ионов | |
SU854192A1 (ru) | Источник ионов | |
RU76164U1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
US3214086A (en) | Vacuum pumps | |
SU519066A1 (ru) | Источник ионов | |
JPS60243957A (ja) | マイクロ波イオン源 | |
RU2371804C1 (ru) | Газоразрядный источник ионов | |
US3368100A (en) | Vacuum pump having a radially segmented, annular anode |