SU525377A1 - Плазменный источник ионов - Google Patents

Плазменный источник ионов Download PDF

Info

Publication number
SU525377A1
SU525377A1 SU742071335A SU2071335A SU525377A1 SU 525377 A1 SU525377 A1 SU 525377A1 SU 742071335 A SU742071335 A SU 742071335A SU 2071335 A SU2071335 A SU 2071335A SU 525377 A1 SU525377 A1 SU 525377A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
ion source
plasma ion
anode
chamber
magnetic
Prior art date
Application number
SU742071335A
Other languages
English (en)
Inventor
А.В. Абрамов
С.Г. Панкратов
Ю.К. Самошенков
Я.М. Спектор
Original Assignee
Предприятие П/Я В-8584
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-8584 filed Critical Предприятие П/Я В-8584
Priority to SU742071335A priority Critical patent/SU525377A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU525377A1 publication Critical patent/SU525377A1/ru

Links

Description

дитс  под отрицательным потенциалом относительно электродов 1 и 3. Магнитные катушки 5 и 6 создают магнитное поле пробочной конфигурации. Электроны, эммитируемые термокатодом 1, ускор ютс  полем анода 2, пролетают его и, отража сь от антикатода 3, осциллирзют около анода 2. Магнитные пробки ограничивают уход частнц иа торцовые стенки камеры и привод т к осцилл ции электронов в продольном направлении, что способствует дополнительной ионизацип газа. Радиальный поток ионов выт гиваетс  из плазмы под действием пол  извлекающего электрода 4. Величину магнитного нол  подбирают так, чтобы Ларморовскне радиусы электронов были малы по сравнению с характерными цонеречными размерами камеры mcVt
В
еа
где 1/1 - компонента скорости
.магнитного пол .
При давлении пор дка 10- мм рт. ст. выигрыш в токе по сравнению с источником без адиабатической логзушки составл ет 2-3 раза. Ионный ток нри этом может сниматьс  со всей боковой поверхности источника.
Другое преимуш ество ионного источника с адиабатической магнитной ловушкой заключаетс  в том, что осцилл ции электронов между област ми сильного магнитного пол  увеличивают полный пробег электронов и, следовательно, число образуемых ими ионов.

Claims (1)

  1. Формула изобретени 
    Плазменный источник ионов, содержаший цилиндрическую камеру, помещенную внутри магнитной системы, термокатод, коаксиальный сеточный анод, отличающийс тем , что, с целью увеличени  полного тока, между цилиндрической стенкой камеры и анодом коаксиально помещен сепоперек точный антикатод, а магнитна  система образована двум  соленоидами, расположенны .ми на торцах камеры.
    4г±г
    X
    I I I
    L
SU742071335A 1974-11-01 1974-11-01 Плазменный источник ионов SU525377A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU742071335A SU525377A1 (ru) 1974-11-01 1974-11-01 Плазменный источник ионов

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU742071335A SU525377A1 (ru) 1974-11-01 1974-11-01 Плазменный источник ионов

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU525377A1 true SU525377A1 (ru) 1982-06-15

Family

ID=20599562

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU742071335A SU525377A1 (ru) 1974-11-01 1974-11-01 Плазменный источник ионов

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU525377A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US4122347A (en) Ion source
JPS6280950A (ja) イオン源
US3460745A (en) Magnetically confined electrical discharge getter ion vacuum pump having a cathode projection extending into the anode cell
US3274436A (en) Ion source with selective hot or cold cathode
SU525377A1 (ru) Плазменный источник ионов
US3448315A (en) Ion gun improvements for operation in the micron pressure range and utilizing a diffuse discharge
US4087720A (en) Multi-beam, multi-aperture ion sources of the beam-plasma type
US3280365A (en) Penning-type discharge ionization gauge with discharge initiation electron source
US3287589A (en) Electron-collision ion source, particularly for electric mass spectrometers
JPH0762989B2 (ja) 電子ビ−ム励起イオン源
US3118077A (en) Ionic vacuum pumps
JPS5740845A (en) Ion beam generator
ES330374A1 (es) Un dispositivo de manantial de iones que tiene un recinto de vacio.
US2685046A (en) Magnetron
SU908193A1 (ru) Источник ионов
SU496868A1 (ru) Ионна пушка
RU1766201C (ru) Источник ионов
RU2030015C1 (ru) Полый катод плазменного эмиттера ионов
SU854192A1 (ru) Источник ионов
RU76164U1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US3214086A (en) Vacuum pumps
SU519066A1 (ru) Источник ионов
JPS60243957A (ja) マイクロ波イオン源
RU2371804C1 (ru) Газоразрядный источник ионов
US3368100A (en) Vacuum pump having a radially segmented, annular anode